JPH07276072A - Optical path protection device of laser working machine - Google Patents

Optical path protection device of laser working machine

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JPH07276072A
JPH07276072A JP6070421A JP7042194A JPH07276072A JP H07276072 A JPH07276072 A JP H07276072A JP 6070421 A JP6070421 A JP 6070421A JP 7042194 A JP7042194 A JP 7042194A JP H07276072 A JPH07276072 A JP H07276072A
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JP
Japan
Prior art keywords
optical path
air
drying means
processing machine
laser processing
Prior art date
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Pending
Application number
JP6070421A
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Japanese (ja)
Inventor
Seiichi Hayashi
清一 林
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Komatsu Ltd
Original Assignee
Komatsu Ltd
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Publication date
Application filed by Komatsu Ltd filed Critical Komatsu Ltd
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  • Laser Beam Processing (AREA)
  • Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
  • Drying Of Gases (AREA)

Abstract

PURPOSE:To easily obtain clean air which protects the inside of the optical path of the laser working machine by a small-sized device. CONSTITUTION:The optical path protection device of the laser working machine which protects the inside of the optical path 9 by preventing dust, etc., from entering the optical path 9 by supplying the clean air into the optical path 9 guiding a laser beam to a machining head is provided with an exit-side solenoid valve 8, which is cut off while the laser working machine is at a stop and opened a specific time after operation is started, at the exit side of an air drying means 6. Then the clean air which is discharged when the exit-side solenoid 8 is opened is supplied into the optical path 9. Therefore, the clean air can easily be obtained by the small-sized air drying means 6 which is formed of a hollow thread film.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は乾燥したクリーンエア
により光路内に塵埃などが侵入するのを防止するレーザ
加工機の光路保護装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical path protection device for a laser processing machine which prevents dust and the like from entering the optical path due to dry clean air.

【0002】[0002]

【従来の技術】レーザビームによりワークを熱加工する
レーザ加工機においては、ワーク加工時多量のヒューム
が発生して、このヒュームが光路を形成するミラーやレ
ンズなどの光学系に付着する。その結果加工ヘッドより
ワークへ照射されるレーザビームの出力が低下したり、
出力分布状態が変化して、切断不良などの原因となる。
このため従来では光路内にクリーンエアを流入して光学
系にヒュームなどが付着するのを防止している。またク
リーンエア中に水蒸気などの水分が含まれていると、光
学系に付着して曇りや割れなどの原因となるため、従来
では乾燥手段を用いて乾燥させたクリーンエアを光路内
へ流入させており、乾燥手段としては、一般に冷凍サイ
クルを利用した冷凍式ドライヤや、乾燥剤などを用いた
ヒートレスエアドライヤなどが採用されている。
2. Description of the Related Art In a laser processing machine that heat-processes a work with a laser beam, a large amount of fumes are generated during the work, and the fumes adhere to an optical system such as a mirror or a lens forming an optical path. As a result, the output of the laser beam irradiated to the work from the processing head decreases,
The output distribution changes, which may cause cutting failure.
For this reason, conventionally, clean air is prevented from flowing into the optical path to prevent fume and the like from adhering to the optical system. Also, if water such as water vapor is contained in the clean air, it will adhere to the optical system and cause fog or cracks.Therefore, clean air that has been dried using a drying means has been allowed to flow into the optical path. Therefore, as a drying means, a refrigerating dryer using a refrigerating cycle, a heatless air dryer using a desiccant, etc. are generally adopted.

【0003】上記冷凍式エアドライヤは、図1に示すよ
うに、空気入口aより吸入された暖かい湿った圧縮空気
は、アフタクーラbにより予冷された後プリクーラcで
冷却除湿され、さらにエバポレータdでフロンガスの気
化熱で予め設定された温度に冷却されて、空気中の水蒸
気は水滴となってドレンeより排出されるようになって
いる。そして冷却除湿された空気は再びプリクーラcへ
流入されて、暖かい湿った空気と熱交換することにより
暖められて空気出口fより排出されるようになってい
る。
In the refrigerating air dryer, as shown in FIG. 1, the warm moist compressed air sucked from the air inlet a is pre-cooled by the aftercooler b, then cooled and dehumidified by the precooler c, and further the fluorocarbon gas is evaporated by the evaporator d. It is cooled to a preset temperature by the heat of vaporization, and the water vapor in the air becomes water droplets and is discharged from the drain e. The cooled and dehumidified air again flows into the precooler c, is warmed by exchanging heat with the warm moist air, and is discharged from the air outlet f.

【0004】一方ヒートレスエアドライヤは例えば図2
に示すように乾燥剤を収容した複数の乾燥剤筒gを有し
ていて、シャトル弁hより湿った圧縮空気を交互に乾燥
剤筒gへ流すことにより、空気中の水分を除湿すると共
に、乾燥した空気は出口iより排出されるようになって
いる。
On the other hand, the heatless air dryer is shown in FIG.
As shown in (1), it has a plurality of desiccant cylinders g containing desiccant, and by alternately flowing moist compressed air from the shuttle valve h to the desiccant cylinder g, while dehumidifying the water content in the air, Dry air is discharged from the outlet i.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかし上記冷凍式エア
ドライヤはフロンガスを使用していることから、漏れた
フロンガスがオゾン層を破壊するなど、地球環境に悪影
響を及ぼすと共に、電力を必要とするため、ランニング
コストが高いなどの不具合がある。またヒートレスエア
ドライヤは上記冷凍式エアドライヤのような不具合はな
いが、ドライエア中に乾燥剤の微粉末が混入するため、
クリーンエアとして使用する場合、ドライヤの出力側に
フィルタを設けて乾燥剤の微粉末を除去しなければなら
ないと共に、長時間使用していると乾燥剤の能力が低下
するため、乾燥剤筒を複数設けてこれらを交互に使用し
なければならず、装置全体が大型となって設置するのに
多くのスペースを必要としたり、装置自体が高価となる
不具合がある。この発明はかかる従来の不具合を改善す
るためになされたもので、中空糸膜により得られる乾燥
したクリーンエアを光路内へ流入させて、光路内へ塵埃
などが侵入するのを防止したレーザ加工機の光路保護装
置を提供することを目的とするものである。
However, since the refrigerating air dryer uses Freon gas, the leaked Freon gas adversely affects the global environment such as destroying the ozone layer and requires electric power. There are problems such as high running costs. In addition, the heatless air dryer does not have the problem like the above-mentioned refrigeration type air dryer, but since fine powder of desiccant is mixed in the dry air,
When used as clean air, it is necessary to install a filter on the output side of the dryer to remove fine powder of desiccant, and if used for a long time, the capacity of the desiccant decreases, so multiple desiccant cylinders can be used. Since they must be provided and used alternately, the entire apparatus becomes large and requires a lot of space for installation, and the apparatus itself becomes expensive. The present invention has been made in order to improve the conventional problems, and a laser processing machine in which dry clean air obtained by a hollow fiber membrane is allowed to flow into the optical path to prevent dust and the like from entering the optical path. It is an object of the present invention to provide an optical path protection device.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】この発明は上記目的を達
成するために、レーザビームを加工ヘッドへ導く光路内
へクリーンエアを供給して、光路9内へ塵埃などが侵入
するのを防止することにより光路内を保護するレーザ加
工機の光路保護装置において、中空糸膜よりなる空気乾
燥手段の出口側に、レーザ加工機の休止とともに遮断さ
れ、かつ運転開始後所定時間が経過すると開放される出
口側電磁弁を設けると共に、この出口側電磁弁の開放と
ともに排出されるクリーンエアを上記光路内へ供給する
ようにしたものである。
In order to achieve the above object, the present invention supplies clean air into an optical path for guiding a laser beam to a processing head to prevent dust and the like from entering the optical path 9. In the optical path protection device for a laser processing machine that protects the inside of the optical path by the above, it is shut off at the exit side of the air drying means made of a hollow fiber membrane when the laser processing machine is stopped, and is opened when a predetermined time has elapsed after the start of operation. An outlet side electromagnetic valve is provided and clean air discharged when the outlet side electromagnetic valve is opened is supplied into the optical path.

【0007】[0007]

【作 用】上記構成によりレーザ加工機の運転準備時
間内に乾燥したクリーンエアを光路内へ供給して、光路
内へヒュームなどの塵埃が侵入するのを防止することが
できる。また空気乾燥手段の入口側に入口側電磁弁を設
けて、レーザ加工機の運転時のみ開放することにより、
レーザ加工機の休止中圧縮空気が空気乾燥手段へ流れる
ことがないので、圧縮空気の無駄な消費が防止できる。
[Operation] With the above configuration, dry clean air can be supplied into the optical path within the operation preparation time of the laser processing machine to prevent dust such as fumes from entering the optical path. Also, by providing an inlet side solenoid valve on the inlet side of the air drying means and opening it only when the laser processing machine is operating,
Since the compressed air does not flow to the air drying means while the laser processing machine is at rest, wasteful consumption of the compressed air can be prevented.

【0008】[0008]

【実 施 例】この発明の一実施例を図3及び図4に示
す図面を参照して詳述する。図3はこの装置の回路図、
図4は同構成図、図5は中空糸膜の除湿原理を示すもの
で、図示しないエア源より圧送された圧縮空気は回路の
入口1より入口側電磁弁2を経てエアフィルタ3へ供給
されるようになっている。上記エアフィルタ3により空
気中の塵埃などが除去された圧縮空気は、オイルミスト
フィルタ4により空気中に混入されたオイルミストが除
去され、一部は駆動エアとして駆動エア出口5より図示
しないエアアクチェエータへ送られ、残りは中空糸膜6
aよりなる空気乾燥手段6へ送られて、この空気乾燥手
段6により空気中の水分が除湿されるようになってい
る。上記空気乾燥手段6に使用されている中空糸膜6a
は図5に示すように中空な糸状をなしていて、水分を含
んだ圧縮空気を供給し、また乾燥空気の一部をパージエ
アとして外周部へ供給すると、膜6aの内側と外側の水
蒸気分圧差により圧縮空気中の水蒸気が膜6bに浸透し
て圧縮空気の除湿が行われるようになっており、膜6b
を透過した水蒸気はパージエアにより排出されることに
より、圧縮空気の連続除湿が可能となっている。
Embodiment An embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings shown in FIGS. Figure 3 shows the circuit diagram of this device.
4 shows the same configuration diagram, and FIG. 5 shows the principle of dehumidification of the hollow fiber membrane. Compressed air sent under pressure from an air source (not shown) is supplied from the inlet 1 of the circuit to the air filter 3 via the inlet side solenoid valve 2. It has become so. The compressed air from which dust and the like in the air has been removed by the air filter 3 has oil mist mixed in the air removed by an oil mist filter 4, and a part of the compressed air is used as drive air from a drive air outlet 5 (not shown). It is sent to the chainer, and the rest is the hollow fiber membrane 6
It is sent to the air drying means 6 made of a, and the moisture in the air is dehumidified by the air drying means 6. Hollow fiber membrane 6a used in the air drying means 6
5 has a hollow fiber shape as shown in FIG. 5, and when compressed air containing water is supplied and a part of dry air is supplied to the outer peripheral portion as purge air, the partial pressure difference of water vapor between the inside and outside of the membrane 6a is increased. Thus, the water vapor in the compressed air permeates the membrane 6b to dehumidify the compressed air.
The steam that has permeated through is discharged by the purge air, so that the compressed air can be continuously dehumidified.

【0009】上記中空糸膜6aは図4に示す空気乾燥手
段6のケース6c内に束ねられた状態で多数本収容され
ており、空気入口6dより供給された圧縮空気はケース
6c内の中空糸膜6a内を通過する際空気中の水分が除
去されると同時に、エアフィルタ3では除去できなかっ
た微小な粉塵なども除去される。そして乾燥したクリー
ンエアは空気出口6eよりレギュレータ7へ送られて一
定圧に調圧された後、出口側電磁弁8を経てレーザ加工
機の光路9内へ送り込まれるようになっている。
A large number of the hollow fiber membranes 6a are accommodated in a case 6c of the air drying means 6 shown in FIG. 4 in a bundled state, and the compressed air supplied from the air inlet 6d is a hollow fiber in the case 6c. Water in the air is removed when passing through the membrane 6a, and at the same time, minute dust and the like that cannot be removed by the air filter 3 are also removed. Then, the dry clean air is sent from the air outlet 6e to the regulator 7 and adjusted to a constant pressure, and then sent into the optical path 9 of the laser processing machine through the outlet side electromagnetic valve 8.

【0010】一方図3に示す回路を構成する各部品は図
4に示すようにユニット化されている。すなわち入口側
電磁弁2にエアフィルタ3が接続され、エアフィルタ3
にはオイルミストフィルタ4が接続されている。エアフ
ィルタ3及びオイルミストフィルタ4の底部には、除去
した塵埃やオイルミストを排出するドレン排出口3a,
4aが設けられていると共に、オイルミストフィルタ4
の上部には、入口側と出口側の差圧を表示する差圧計1
0が取付けられている。
On the other hand, each component forming the circuit shown in FIG. 3 is unitized as shown in FIG. That is, the air filter 3 is connected to the inlet side solenoid valve 2, and the air filter 3
An oil mist filter 4 is connected to. At the bottom of the air filter 3 and the oil mist filter 4, a drain discharge port 3a for discharging the removed dust and oil mist,
4a is provided and the oil mist filter 4 is provided.
At the top of the, the differential pressure gauge 1 that displays the differential pressure between the inlet side and the outlet side
0 is attached.

【0011】またオイルミストフィルタ4と空気乾燥手
段6が接続されていて、これらの間に駆動エア出口5が
設けられていると共に、空気乾燥手段6にレギュレータ
7が、そしてレギュレータ7に出口側電磁弁8が接続さ
れて、全体が一体化されたユニット構造となっており、
入口側電磁弁2と出口側電磁弁8を配管に接続すること
により使用できるようになっている。
Further, the oil mist filter 4 and the air drying means 6 are connected to each other, a drive air outlet 5 is provided between them, and the air drying means 6 is provided with a regulator 7 and the regulator 7 is provided with an outlet side electromagnetic wave. The valve 8 is connected to form an integrated unit structure,
The inlet side solenoid valve 2 and the outlet side solenoid valve 8 can be used by connecting them to the pipes.

【0012】次に作用を説明すると、一般のレーザ加工
機は、運転スイッチをオンにすると、まず真空ポンプが
起動し、ガス圧が4.5Torrになったところでレー
ザガスチヤージ循環ポンプが起動し、ガス圧が50To
rrになったところで準備が完了し、この動作に約3分
〜5分の時間が必要で、この間加工を開始することがで
きない。
The operation will be described next. In a general laser processing machine, when the operation switch is turned on, the vacuum pump is first activated, and when the gas pressure becomes 4.5 Torr, the laser gas charge circulation pump is activated. Gas pressure is 50To
When rr is reached, preparation is completed, and this operation requires about 3 to 5 minutes, during which time machining cannot be started.

【0013】一方中空糸膜6aを使用した空気乾燥手段
6は、内部圧が所定の圧力に達するまで除湿機能が十分
に働かないため、レーザ加工機が加工を開始できるまで
の時間を利用する。すなわちレーザ加工機の休止中は入
口側電磁弁2及び出口側電磁弁8は遮断されており、こ
の状態でレーザ加工機の運転スイッチをオンにすると、
入口側電磁弁2が開放され、出口側電磁弁8は遮断され
たままとなる。これによって入口1に供給された圧縮空
気はエアフィルタ3により塵埃が除去された後、オイル
ミストフィルタ4によりオイルミストが除去される。そ
して圧縮空気の一部は駆動エアとして駆動エア出口5よ
り排出され、残りは空気乾燥手段6へ供給されて、中空
糸膜6aにより空気中の水分の除湿が行われる。
On the other hand, the air drying means 6 using the hollow fiber membrane 6a uses the time until the laser processing machine can start processing because the dehumidifying function does not work sufficiently until the internal pressure reaches a predetermined pressure. That is, the inlet side solenoid valve 2 and the outlet side solenoid valve 8 are shut off while the laser processing machine is at rest, and when the operation switch of the laser processing machine is turned on in this state,
The inlet side solenoid valve 2 is opened, and the outlet side solenoid valve 8 remains blocked. As a result, the compressed air supplied to the inlet 1 has its dust removed by the air filter 3 and then has its oil mist removed by the oil mist filter 4. Then, a part of the compressed air is discharged as driving air from the driving air outlet 5, and the rest is supplied to the air drying means 6 to dehumidify the water content in the air by the hollow fiber membrane 6a.

【0014】このとき出口側電磁弁8は遮断されている
ため、まだ十分に乾燥されていない圧縮空気はパージエ
アとして排出され、レーザ加工機の光路9へは供給され
ない。そして空気乾燥手段6内が所定圧に達して圧縮空
気中の水分が十分に除湿される例えば3分後に出口側電
磁弁8が開放され、乾燥したクリーンエアがレーザ加工
機の光路9へ送り込まれるようになる。その後レーザ加
工機の準備が完了してワークの加工が開始されるが、レ
ーザ加工機の運転中は、ワークを切断していないときで
も常時乾燥したクリーンエアが光路9内へ送り込まれ、
切断中に発生したヒュームや、切断後も空気中に浮遊す
るヒュームや塵埃などが光路9内へ侵入するのを阻止
し、光路9内を保護するもので、ヒュームなどが光路9
上の光学系に付着して出力が低下するのを防止すること
ができる。
At this time, since the outlet-side electromagnetic valve 8 is shut off, the compressed air that has not been sufficiently dried is discharged as purge air and is not supplied to the optical path 9 of the laser processing machine. Then, after the inside of the air drying means 6 reaches a predetermined pressure and the moisture in the compressed air is sufficiently dehumidified, for example, after 3 minutes, the outlet side electromagnetic valve 8 is opened and the dry clean air is sent to the optical path 9 of the laser processing machine. Like After that, the preparation of the laser processing machine is completed and the processing of the work is started, but during the operation of the laser processing machine, dry air is always fed into the optical path 9 even when the work is not cut,
The fumes generated during cutting and the fumes and dust floating in the air after cutting are prevented from entering the optical path 9 and protect the inside of the optical path 9.
It is possible to prevent the output from being reduced by being attached to the upper optical system.

【0015】なお上記実施例では、エア源に工場エアを
使用するため乾燥手段6の入口側にエアフィルタ3及び
オイルミストフィルタ4を接続したが、塵埃や油分のな
いクリーンエアを使用する場合は、空気乾燥手段6の入
口に入口側電磁弁2を直接接続してユニット化し、エア
フィルタ3及びエアミストフィルタ4を省略してもよ
い。
In the above embodiment, since the factory air is used as the air source, the air filter 3 and the oil mist filter 4 are connected to the inlet side of the drying means 6, but when using clean air without dust or oil, The inlet side solenoid valve 2 may be directly connected to the inlet of the air drying means 6 to form a unit, and the air filter 3 and the air mist filter 4 may be omitted.

【0016】[0016]

【発明の効果】この発明は以上詳述したように中空糸膜
を使用した空気乾燥手段により除湿したクリーンエアを
レーザ加工機の光路内へ供給して、光路内へヒュームな
どが侵入するのを阻止するようにしたことから、従来の
冷凍式エアドライヤのようにフロンガスを使用しないた
め、地球環境に悪影響を及ぼすことがないと共に、装置
小型化できるため設置スペースも少なくできる。またヒ
ートレスエアドライヤのように乾燥エア中に乾燥剤の微
粉末が混入することがないため、クリーンな乾燥エアが
容易に得られると共に、ヒートレスエアドライヤのよう
に乾燥剤筒を複数設けて交互に使用する必要がないた
め、装置全体の小型化及び価格低減が図れる。
As described in detail above, the present invention supplies clean air dehumidified by the air drying means using a hollow fiber membrane into the optical path of a laser beam machine to prevent fumes from entering the optical path. Since CFCs are prevented, CFCs are not used unlike conventional refrigeration air dryers, which does not adversely affect the global environment, and the installation space can be reduced because the device can be downsized. Moreover, unlike the heatless air dryer, fine powder of the desiccant is not mixed in the dry air, so clean dry air can be easily obtained, and multiple desiccant cylinders are provided alternately like the heatless air dryer. Since there is no need to use it, the overall size of the device can be reduced and the cost can be reduced.

【0017】さらにレーザ加工機の準備時間を利用して
空気乾燥手段を立ち上げるため、時間的なロスがなく、
かつこの間出口側電磁弁を遮断して光路内へエアが供給
されないようにしたことから、圧縮空気の無駄な消費が
低減できると共に、十分に乾燥されていないクリーンエ
アが光路内へ供給されることもないので、光学系が曇っ
たり、割れたりするなどの不具合も解消することができ
る。しかも空気乾燥手段の入口側に電磁弁を設けて、レ
ーザ加工機の休止中はこの電磁弁を遮断して、空気乾燥
手段にエアを供給しないようにしたことから、クリーン
エアが必要ないときにはパージエアの消費がなく圧縮空
気の無駄な消費が低減できるようになる。
Further, since the air drying means is started by using the preparation time of the laser processing machine, there is no time loss,
In addition, the outlet side solenoid valve was shut off during this time to prevent air from being supplied into the optical path, so wasteful consumption of compressed air can be reduced and clean air that is not sufficiently dried can be supplied into the optical path. Since there is no such problem, it is possible to solve problems such as clouding or cracking of the optical system. Moreover, a solenoid valve was installed on the inlet side of the air drying means, and this solenoid valve was shut off during the rest of the laser processing machine so that air was not supplied to the air drying means. Therefore, wasteful consumption of compressed air can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】従来の冷凍式エアドライヤを示す説明図であ
る。
FIG. 1 is an explanatory view showing a conventional refrigeration type air dryer.

【図2】従来のヒートレスエアドライヤを示す説明図で
ある。
FIG. 2 is an explanatory view showing a conventional heatless air dryer.

【図3】この発明は一実施例になるレーザ加工機の光路
保護装置を示す回路図である。
FIG. 3 is a circuit diagram showing an optical path protection device of a laser processing machine according to an embodiment.

【図4】この発明の一実施例になるレーザ加工機の光路
保護装置を示す構成図である。
FIG. 4 is a configuration diagram showing an optical path protection device of a laser processing machine according to an embodiment of the present invention.

【図5】この発明の一実施例になるレーザ加工機の光路
保護装置に使用する中空糸膜の除湿原理を示す構成図で
ある。
FIG. 5 is a configuration diagram showing a principle of dehumidifying a hollow fiber membrane used in an optical path protection device of a laser beam machine according to an embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

2…入口側電磁弁、6…空気乾燥手段、6a…中空糸
膜、8…出口側電磁弁、9…光路。
2 ... inlet side solenoid valve, 6 ... air drying means, 6a ... hollow fiber membrane, 8 ... outlet side solenoid valve, 9 ... optical path.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 レーザビームを加工ヘッドへ導びく光路
9内へクリーンエアを供給して、光路9内へ塵埃などが
侵入するのを防止することにより光路9内を保護するレ
ーザ加工機の光路保護装置において、中空糸膜6aより
なる空気乾燥手段6の出口側に、レーザ加工機の休止と
ともに遮断され、かつ運転開始後所定時間が経過すると
開放される出口側電磁弁8を設けると共に、この出口側
電磁弁8の開放とともに排出されるクリーンエアを上記
光路9内へ供給することを特徴とするレーザ加工機の光
路保護装置。
1. An optical path of a laser processing machine that protects the inside of the optical path 9 by supplying clean air into the optical path 9 that guides a laser beam to the processing head to prevent dust and the like from entering the optical path 9. In the protective device, an outlet side electromagnetic valve 8 is provided on the outlet side of the air drying means 6 made of the hollow fiber membrane 6a, which is shut off when the laser beam machine is stopped and is opened when a predetermined time has passed after the start of operation. An optical path protection device for a laser processing machine, characterized in that clean air discharged when the outlet-side electromagnetic valve 8 is opened is supplied into the optical path 9.
【請求項2】 空気乾燥手段6の入口側に、レーザ加工
機の運転開始とともに開放される入口側電磁弁2を設け
てなる請求項1記載のレーザ加工機の光路保護装置。
2. The optical path protection device for a laser processing machine according to claim 1, wherein an inlet side electromagnetic valve 2 which is opened when the operation of the laser processing machine is started is provided on the inlet side of the air drying means 6.
JP6070421A 1994-04-08 1994-04-08 Optical path protection device of laser working machine Pending JPH07276072A (en)

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