JPH0727107A - Servo valve - Google Patents

Servo valve

Info

Publication number
JPH0727107A
JPH0727107A JP16824593A JP16824593A JPH0727107A JP H0727107 A JPH0727107 A JP H0727107A JP 16824593 A JP16824593 A JP 16824593A JP 16824593 A JP16824593 A JP 16824593A JP H0727107 A JPH0727107 A JP H0727107A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
nozzle
flapper
servo valve
slide
tip
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP16824593A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP3404805B2 (en
Inventor
Yukio Ando
幸夫 安藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
IHI Corp
Original Assignee
IHI Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by IHI Corp filed Critical IHI Corp
Priority to JP16824593A priority Critical patent/JP3404805B2/en
Publication of JPH0727107A publication Critical patent/JPH0727107A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3404805B2 publication Critical patent/JP3404805B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Servomotors (AREA)
  • Supply Devices, Intensifiers, Converters, And Telemotors (AREA)

Abstract

PURPOSE:To remove the foreign matters entering the tip part of a flapper nozzle while an adequate operation is ensured. CONSTITUTION:A slide nozzle 14 having a passage 18 in its center part is slidably provided in a nozzle body 43. A spring 16 for energizing the slide nozzle 14 toward the tip part is provided in a space 15 between the slide nozzle 14 and the nozzle body 13. Passages 20 are formed between the outer peripheral surfaces close to the tip part and the rear end part of the slide nozzle 14 and the inner peripheral surface of the nozzle body 13 so as to allow the passages 20 to function as dampers for damping the sliding speed of the slide nozzle 14. The gap DELTAZ between the tip part of the nozzle body 13 and a flapper 6 is made larger than the gap DELTAx between the tip part of the slide nozzle 14 and the flapper 6.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、サーボ機構等に使用
されるサーボ弁に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a servo valve used for a servo mechanism or the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、サーボ機構等において、サー
ボ弁が多用されている。ここで、このサーボ弁を使用し
たサーボ機構を図4に示すものを例にとって説明する。
このサーボ機構1のレバー2に外力Fが作用すると、こ
のレバー2が支点3を中心として揺動され、サーボ弁4
のフラッパノズル5とレバー2の端部に設けられたフラ
ッパ6との間隔Δxが狭められる。そして、この間隔Δ
xが狭められることにより、フラッパノズル5内の空間
部7の圧力が高まり、空間部8との圧力に差が生じる。
これにより、ピストン9が図4中矢印イ方向へ移動し、
フラッパ6とフラッパノズル5の先端部との間隔Δxが
所定間隔に戻される。
2. Description of the Related Art Conventionally, servo valves have been widely used in servo mechanisms and the like. Here, a servo mechanism using this servo valve will be described by taking the one shown in FIG. 4 as an example.
When an external force F acts on the lever 2 of the servo mechanism 1, the lever 2 is swung about the fulcrum 3 and the servo valve 4
The distance Δx between the flapper nozzle 5 and the flapper 6 provided at the end of the lever 2 is narrowed. And this interval Δ
By narrowing x, the pressure in the space 7 inside the flapper nozzle 5 increases and a difference in pressure with the space 8 occurs.
As a result, the piston 9 moves in the direction of arrow A in FIG.
The distance Δx between the flapper 6 and the tip of the flapper nozzle 5 is returned to the predetermined distance.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のよう
な、フラッパノズル5及びフラッパ6からなるサーボ弁
4を使用したサーボ機構1にあっては、例えば、フラッ
パノズル5へ供給する流体中に異物が混入している場
合、この異物がフラッパノズル5の先端部とフラッパ6
との間に入り込み、レバー2の正確な動作が行われなく
なり、このサーボ機構1を使用した装置の誤動作を引き
起こしてしまう恐れがあった。
By the way, in the servo mechanism 1 using the servo valve 4 including the flapper nozzle 5 and the flapper 6 as described above, for example, foreign matter is contained in the fluid supplied to the flapper nozzle 5. When the foreign matter is mixed in, the foreign matter is caught by the tip of the flapper nozzle 5 and the flapper 6.
There is a risk that the lever 2 may not operate correctly and the device using the servo mechanism 1 may malfunction.

【0004】この発明は、上記事情に鑑みてなされたも
ので、フラッパノズルの先端部に入り込んだ異物を極め
て容易に排除して、適切な作動を得ることが可能なサー
ボ弁を提供することを目的としている。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and it is an object of the present invention to provide a servo valve capable of extremely easily removing foreign matter that has entered the tip end portion of a flapper nozzle and obtaining an appropriate operation. Has an aim.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】第1の発明のサーボ弁
は、フラッパと、このフラッパを流体の圧力によって所
定間隔をあけた位置に維持させるフラッパノズルとを有
するサーボ弁において、前記フラッパノズルは、前記フ
ラッパに対して所定間隔をあけてかつフラッパノズルの
軸線方向へ摺動可能に設けられた第1のノズル部と、前
記所定間隔よりも大きな間隔をあけて設けられた第2の
ノズル部とを有してなり、前記第1のノズル部は、前記
フラッパ方向へ付勢手段によって付勢されてなることを
特徴としている。第2の発明のサーボ弁は、第1の発明
の第1のノズル部が、ダンパーによってその摺動速度が
減衰されてなることを特徴としている。
A servo valve according to a first aspect of the present invention is a servo valve having a flapper and a flapper nozzle for maintaining the flapper at positions spaced apart by a pressure of fluid, the flapper nozzle comprising: A first nozzle portion provided at a predetermined interval with respect to the flapper and slidable in the axial direction of the flapper nozzle, and a second nozzle portion provided at an interval larger than the predetermined interval. And the first nozzle portion is urged in the flapper direction by urging means. The servo valve of the second invention is characterized in that the sliding speed of the first nozzle portion of the first invention is damped by a damper.

【0006】第3の発明のサーボ弁は、フラッパと、こ
のフラッパを流体の圧力によって所定間隔をあけた位置
に維持させるフラッパノズルとを有するサーボ弁におい
て、前記フラッパノズルは、前記フラッパに対して所定
間隔をあけて設けられた第1のノズル部と、前記所定間
隔よりも大きな間隔をあけて設けられた第2のノズル部
とを有してなり、前記フラッパは、前記第1のノズル部
との対向位置に、フラッパノズルの軸線方向へ摺動可能
に設けられた板体を有してなり、前記板体は、前記フラ
ッパノズル方向へ付勢手段によって付勢されてなること
を特徴としている。第4の発明のサーボ弁は、第3の発
明の板体が、ダンパーによってその摺動速度が減衰され
てなることを特徴としている。
A servo valve according to a third aspect of the present invention is a servo valve having a flapper and a flapper nozzle for maintaining the flapper at positions spaced apart by a predetermined pressure by fluid pressure, wherein the flapper nozzle is provided with respect to the flapper. A first nozzle portion provided with a predetermined interval and a second nozzle portion provided with an interval larger than the predetermined interval, and the flapper has the first nozzle portion. A plate body slidably provided in the axial direction of the flapper nozzle at a position facing the flapper nozzle, and the plate body is biased in the flapper nozzle direction by a biasing means. There is. A servo valve of a fourth invention is characterized in that the sliding speed of the plate body of the third invention is damped by a damper.

【0007】[0007]

【作用】第1の発明のサーボ弁によれば、外力によって
フラッパが第1のノズル部方向へ移動された際に、この
フラッパと第1のノズル部との間に異物が挟まった場
合、第1のノズル部が付勢力に反して摺動され、第2の
ノズル部とフラッパとの間隔が狭められる。
According to the servo valve of the first invention, when foreign matter is caught between the flapper and the first nozzle portion when the flapper is moved toward the first nozzle portion by an external force, The first nozzle portion slides against the biasing force, and the interval between the second nozzle portion and the flapper is narrowed.

【0008】これにより、フラッパがフラッパノズル内
の流体の圧力によってフラッパノズルから離間する方向
へ移動され、第1のノズル部も付勢手段によってフラッ
パ方向へ摺動される。このとき、フラッパが先に移動さ
れることより、第1のノズル部の付勢手段によるフラッ
パ方向への摺動がフラッパの移動より遅れ、これによ
り、第1のノズル部とフラッパとの間隔が拡がり、挟み
込まれていた異物が脱落されて排除される。
As a result, the flapper is moved in the direction away from the flapper nozzle by the pressure of the fluid in the flapper nozzle, and the first nozzle portion is also slid in the flapper direction by the biasing means. At this time, since the flapper is moved first, the sliding of the first nozzle portion in the flapper direction by the biasing means is delayed compared to the movement of the flapper, and thus the distance between the first nozzle portion and the flapper is increased. The foreign material that has spread and is caught is dropped and eliminated.

【0009】第2の発明のサーボ弁によれば、第1の発
明に加えてさらに、第1のノズル部の付勢手段による摺
動がダンパーによってさらに遅らされるので、第1のノ
ズル部とフラッパとの間隔が確実に拡げられる。
According to the servo valve of the second invention, in addition to the first invention, the sliding of the first nozzle portion by the urging means is further delayed by the damper, so that the first nozzle portion is further delayed. The distance between the flapper and the flapper can be expanded reliably.

【0010】第3の発明のサーボ弁によれば、外力によ
ってフラッパがフラッパノズル方向へ移動された際に、
このフラッパと第1のノズル部との間に異物が挟まった
場合、フラッパの板体が付勢手段の付勢力に反して摺動
され、第2のノズル部とフラッパとの間隔が狭められ
る。
According to the servo valve of the third invention, when the flapper is moved toward the flapper nozzle by an external force,
When a foreign substance is caught between the flapper and the first nozzle portion, the flapper plate is slid against the urging force of the urging means, and the distance between the second nozzle portion and the flapper is narrowed.

【0011】これにより、フラッパがフラッパノズル内
の流体の圧力によってフラッパノズルから離間する方向
へ移動され、板体が付勢手段によって第1のノズル部方
向へ摺動される。このとき、板体よりもフラッパ本体が
先に移動されることより、板体の付勢手段による第1の
ノズル部方向への摺動がフラッパ本体の移動より遅れ、
これにより、第1のノズル部と板体との間隔が拡がり、
挟み込まれていた異物が脱落されて排除される。
As a result, the flapper is moved in the direction away from the flapper nozzle by the pressure of the fluid in the flapper nozzle, and the plate member is slid toward the first nozzle portion by the biasing means. At this time, since the flapper body is moved earlier than the plate body, the sliding of the plate body in the direction of the first nozzle portion by the biasing means is delayed compared to the movement of the flapper body.
As a result, the gap between the first nozzle portion and the plate body is expanded,
The foreign matter that was sandwiched is dropped and eliminated.

【0012】第4の発明のサーボ弁によれば、第3の発
明に加えてさらに、板体の付勢手段による摺動がダンパ
ーによってさらに遅らされるので、第1のノズル部と板
体との間隔が確実に拡げられる。
According to the servo valve of the fourth invention, in addition to the third invention, the sliding of the plate body by the urging means is further delayed by the damper, so that the first nozzle portion and the plate body are further delayed. The space between and can be reliably expanded.

【0013】[0013]

【実施例】以下、本発明のサーボ弁の一実施例を図によ
って説明する。なお、従来例と同一構造部分には、同一
符号を付して説明を省略する。まず、第1の実施例のサ
ーボ弁を図1によって説明する。図において、符号11
は、本実施例のサーボ弁であり、符号12は、フラッパ
ノズルである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the servo valve of the present invention will be described below with reference to the drawings. The same parts as those of the conventional example are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted. First, the servo valve of the first embodiment will be described with reference to FIG. In the figure, reference numeral 11
Is a servo valve of the present embodiment, and reference numeral 12 is a flapper nozzle.

【0014】このフラッパノズル12は、ノズル本体
(第2のノズル部)13と、中心に流路18を有し、ノ
ズル本体13の先端部に摺動可能に設けられたスライド
ノズル(第1のノズル部)14とを有しており、このス
ライドノズル14とノズル本体13との間には、空間部
15が形成されている。
The flapper nozzle 12 has a nozzle body (second nozzle portion) 13 and a flow passage 18 at the center, and a slide nozzle (first nozzle) which is slidably provided at the tip of the nozzle body 13. Nozzle portion) 14, and a space portion 15 is formed between the slide nozzle 14 and the nozzle body 13.

【0015】この空間部15には、スプリング(付勢手
段)16が設けられており、このスプリング16によっ
てスライドノズル14が先端部方向へ常に付勢されてい
る。また、ノズル本体13の先端部近傍における内周側
には、係止片17が設けられており、この係止片17
へ、前記スプリング16によって先端部方向へ付勢され
ているスライドノズル14が係止されて、スライドノズ
ル14がノズル本体13の先端部から脱落しないように
なっている。
A spring (biasing means) 16 is provided in the space portion 15, and the spring 16 constantly biases the slide nozzle 14 toward the distal end portion. A locking piece 17 is provided on the inner peripheral side near the tip of the nozzle body 13, and the locking piece 17 is provided.
The slide nozzle 14 urged by the spring 16 toward the tip portion is locked so that the slide nozzle 14 does not drop from the tip portion of the nozzle body 13.

【0016】また、スライドノズル14の先端部近傍の
外周とノズル本体13の内周との間及びスライドノズル
14の後端部近傍の外周とノズル本体13の内周との間
には、これらの間隙からなる流路20、20がそれぞれ
形成されている。そして、上記構成のフラッパノズル1
2とフラッパ6からなるサーボ弁11では、流体の供給
により、スライドノズル14の先端部とフラッパ6との
間隔がΔxとなり、また、ノズル本体13の先端部とフ
ラッパ6との間隔がΔxよりも大きなΔzとなるように
なっている。
Further, between the outer periphery near the tip of the slide nozzle 14 and the inner periphery of the nozzle body 13, and between the outer periphery near the rear end of the slide nozzle 14 and the inner periphery of the nozzle body 13, Flow paths 20 and 20 formed of gaps are formed respectively. Then, the flapper nozzle 1 having the above configuration
In the servo valve 11 including 2 and the flapper 6, the distance between the tip of the slide nozzle 14 and the flapper 6 becomes Δx due to the supply of fluid, and the distance between the tip of the nozzle body 13 and the flapper 6 becomes larger than Δx. It has a large Δz.

【0017】次に、上記構成のサーボ弁11の作動を図
4を参照しながら説明する。レバー2に外力Fが作用す
ると、このレバー2が支点3を中心として揺動され、サ
ーボ弁11のフラッパノズル12とフラッパ6との間隔
Δxが狭められる。そして、この間隔Δxが狭められる
ことにより、フラッパノズル12内の空間部7の圧力が
高まり、空間部8との圧力に差が生じる。これにより、
ピストン9が図4中矢印イ方向へ移動し、フラッパ6と
フラッパノズル12の先端部との間隔Δxが所定間隔に
戻される。
Next, the operation of the servo valve 11 having the above structure will be described with reference to FIG. When the external force F acts on the lever 2, the lever 2 is swung about the fulcrum 3 and the distance Δx between the flapper nozzle 12 of the servo valve 11 and the flapper 6 is narrowed. Then, by narrowing this interval Δx, the pressure in the space 7 inside the flapper nozzle 12 increases, and a difference in pressure with the space 8 occurs. This allows
The piston 9 moves in the direction of arrow B in FIG. 4, and the distance Δx between the flapper 6 and the tip of the flapper nozzle 12 is returned to the predetermined distance.

【0018】ここで、空間部7を介してフラッパノズル
12の流路18へ供給される流体中に異物が混入してい
た場合、この異物がフラッパノズル12のスライドノズ
ル14の先端部とフラッパ6との間に挟まることがあ
る。このとき、本実施例のサーボ弁11によれば、下記
の作動が行われて、これらスライドノズル14の先端部
とフラッパ6との間に挟まった異物が排除されるように
なっている。
When foreign matter is mixed in the fluid supplied to the flow path 18 of the flapper nozzle 12 through the space 7, the foreign matter is mixed with the tip of the slide nozzle 14 of the flapper nozzle 12 and the flapper 6. It may be sandwiched between and. At this time, according to the servo valve 11 of the present embodiment, the following operation is performed to remove the foreign matter sandwiched between the tip end of the slide nozzle 14 and the flapper 6.

【0019】スライドノズル14の先端部とフラッパ6
との間に異物が挟まった状態にてレバー2に外力Fが作
用すると、スライドノズル14の先端部とフラッパ6と
の間隔Δxは小さくならず、このフラッパ6とともにス
ライドノズル14がスプリング16の付勢力に反して図
1中矢印ロ方向へ移動される。これにより、フラッパ6
の移動にともなってこのフラッパ6とノズル本体13の
先端部との間隔Δzが狭められる。なお、このとき、ノ
ズル本体13とスライドノズル14との間の空間部15
内の流体が、流路20、20から流出される。
The tip of the slide nozzle 14 and the flapper 6
When an external force F acts on the lever 2 with a foreign substance sandwiched between the flap nozzle 6 and the flapper 6, the gap Δx between the tip of the slide nozzle 14 and the flapper 6 does not decrease, and the slide nozzle 14 and the flapper 6 are attached to the spring 16. Contrary to the influence, it is moved in the direction of arrow B in FIG. As a result, the flapper 6
The distance Δz between the flapper 6 and the tip of the nozzle body 13 is narrowed with the movement of. At this time, the space 15 between the nozzle body 13 and the slide nozzle 14
The fluid therein flows out from the flow paths 20, 20.

【0020】そして、この間隔Δzが狭められることに
より、フラッパノズル12内の空間部7の圧力が高ま
り、空間部8との圧力に差が生じ、ピストン9が図4中
矢印イ方向へ移動し、間隔Δzが拡げられる。また、こ
のフラッパ6の移動時に、スライドノズル14もスプリ
ング16の付勢力によって先端部方向(図1中矢印ハ方
向)へ追従して移動する。
By narrowing this interval Δz, the pressure in the space 7 inside the flapper nozzle 12 rises, and a pressure difference with the space 8 occurs, and the piston 9 moves in the direction of arrow a in FIG. , The interval Δz is expanded. Further, when the flapper 6 moves, the slide nozzle 14 also follows the tip end direction (direction of arrow C in FIG. 1) by the urging force of the spring 16.

【0021】このとき、まず初めに、フラッパ6が移動
されるため、スライドノズル14は、このフラッパ6の
移動よりも僅かに遅れて移動されるとともに、スライド
ノズル14が先端部方向へ移動する際に、スライドノズ
ル14とノズル本体13との間のスプリング16が収納
されている空間部15へ流路20、20から流体が徐徐
に流入されるため、スプリング16によるスライドノズ
ル14のフラッパ6方向への移動がさらに遅らされる。
即ち、この流路20、20がスライドノズル14の摺動
を遅らせるダンパーとして機能する。
At this time, first, since the flapper 6 is moved, the slide nozzle 14 is moved slightly later than the movement of the flapper 6, and when the slide nozzle 14 moves toward the tip end portion. In addition, since the fluid gradually flows from the flow paths 20, 20 into the space 15 in which the spring 16 between the slide nozzle 14 and the nozzle body 13 is accommodated, the spring 16 moves the slide nozzle 14 in the flapper 6 direction. Is further delayed.
That is, the flow paths 20 and 20 function as a damper that delays the sliding of the slide nozzle 14.

【0022】これにより、このスライドノズル14の先
端部とフラッパ6との間隔Δxが僅かに拡げられ、この
スライドノズル14の先端部とフラッパ6との間に挟ま
れていた異物が脱落して排除される。このように、上記
実施例のサーボ弁11によれば、フラッパノズル12へ
供給される流体中に混入していた異物がスライドノズル
14の先端部とフラッパ6との間に挟まったとしても、
サーボ弁11の機能を維持しつつこの異物を極めて容易
に排除させることができ、この異物の挟み込みによるサ
ーボ機構1の誤動作を確実に防止することができ、サー
ボ機構1の信頼性を大幅に向上させることができる。
As a result, the distance Δx between the tip of the slide nozzle 14 and the flapper 6 is slightly widened, and the foreign matter sandwiched between the tip of the slide nozzle 14 and the flapper 6 falls off and is eliminated. To be done. As described above, according to the servo valve 11 of the above-described embodiment, even if the foreign matter mixed in the fluid supplied to the flapper nozzle 12 is caught between the tip portion of the slide nozzle 14 and the flapper 6,
The foreign matter can be removed very easily while maintaining the function of the servo valve 11, and the malfunction of the servo mechanism 1 due to the entrapment of the foreign matter can be surely prevented, and the reliability of the servo mechanism 1 is greatly improved. Can be made.

【0023】次に、第2の実施例のサーボ弁について図
2によって説明する。図に示すように、このサーボ弁2
1を構成するフラッパノズル22は、ノズル本体(第2
のノズル部)23の内部にノズル部(第1のノズル部)
24が形成されたもので、このノズル部24の先端部か
ら流体が噴出されるようになっている。そして、このノ
ズル部24の先端部とフラッパ6との間隔がΔxとさ
れ、また、前記ノズル本体23の先端部とフラッパ6と
の間隔が、Δxよりも大きなΔzとされている。
Next, the servo valve of the second embodiment will be described with reference to FIG. As shown in the figure, this servo valve 2
The flapper nozzle 22 constituting the first nozzle is a nozzle body (second
Nozzle part) 23 inside the nozzle part (first nozzle part)
24 is formed, and the fluid is ejected from the tip of the nozzle portion 24. The distance between the tip of the nozzle portion 24 and the flapper 6 is Δx, and the distance between the tip of the nozzle body 23 and the flapper 6 is Δz, which is larger than Δx.

【0024】また、この実施例のフラッパ6は、フラッ
パ本体6aに、フラッパノズル22のノズル部24と対
向する位置に凹部25が形成されており、この凹部25
には、フラッパノズル22の軸線方向へ摺動可能に設け
られた板体26が設けられ、開口縁部に取り付けられた
係止片29によってこの板体26が凹部25から脱落し
ないようになっている。また、凹部25の底部25aと
板体26との間には、この板体26をノズル部24方向
へ付勢するスプリング(付勢手段)27と、この板体2
6の摺動速度を減衰させるダンパー28とが設けられて
いる。
Further, in the flapper 6 of this embodiment, a concave portion 25 is formed in the flapper body 6a at a position facing the nozzle portion 24 of the flapper nozzle 22, and the concave portion 25 is formed.
Is provided with a plate 26 that is slidable in the axial direction of the flapper nozzle 22, and a locking piece 29 attached to the opening edge prevents the plate 26 from falling out of the recess 25. There is. Further, between the bottom portion 25a of the recess 25 and the plate body 26, a spring (biasing means) 27 for urging the plate body 26 toward the nozzle portion 24, and the plate body 2 are provided.
And a damper 28 for damping the sliding speed of No. 6 are provided.

【0025】そして、このように構成されたサーボ弁2
1にあっては、例えば、フラッパノズル22のノズル部
24の先端部とフラッパ6の板体26との間に異物が挟
まった状態にて、レバー2に外力Fが作用し、フラッパ
6がフラッパノズル22方向へ移動されると、板体26
とノズル部24との間に異物が挟み込まれているので、
板体26はノズル部24方向へ移動されず、フラッパ本
体6aのみがフラッパノズル22方向(図2中矢印ニ方
向)へ移動される。
Then, the servo valve 2 thus constructed
In the case of 1, the external force F acts on the lever 2 and the flapper 6 causes the flapper 6 to operate when the foreign matter is sandwiched between the tip end of the nozzle portion 24 of the flapper nozzle 22 and the plate body 26 of the flapper 6. When moved toward the nozzle 22, the plate 26
Since foreign matter is sandwiched between the nozzle 24 and
The plate member 26 is not moved in the direction of the nozzle portion 24, but only the flapper body 6a is moved in the direction of the flapper nozzle 22 (direction of arrow D in FIG. 2).

【0026】即ち、フラッパ6の移動にともなって板体
26が凹部25内にてスプリング27の付勢力に反して
凹部25の底部25a方向へ移動されることとなる。こ
れにより、フラッパ本体6aとノズル本体23との間隔
Δzが狭められ、フラッパノズル22内の空間部7の圧
力が高められ、空間部8との圧力に差が生じ、ピストン
9が図4中矢印イ方向へ移動し、フラッパ6がフラッパ
ノズル22から離間する方向(図2中矢印ホ方向)へ移
動する。
That is, as the flapper 6 moves, the plate member 26 moves in the recess 25 in the direction of the bottom 25a of the recess 25 against the biasing force of the spring 27. As a result, the gap Δz between the flapper body 6a and the nozzle body 23 is narrowed, the pressure in the space portion 7 inside the flapper nozzle 22 is increased, and the pressure in the space portion 8 becomes different, and the piston 9 moves in the direction of the arrow in FIG. In the direction a, the flapper 6 moves in a direction away from the flapper nozzle 22 (direction indicated by arrow E in FIG. 2).

【0027】このフラッパ6の移動時に、板体26はス
プリング27の付勢力によってノズル部24に近づく方
向へ移動するが、このスプリング27による板体26の
移動に僅かに遅れが生じる。即ち、ダンパー28の作用
により、板体26の移動は更に遅らされる。
When the flapper 6 moves, the plate body 26 moves toward the nozzle portion 24 due to the urging force of the spring 27, but the movement of the plate body 26 by the spring 27 is slightly delayed. That is, the movement of the plate 26 is further delayed by the action of the damper 28.

【0028】これにより、このノズル部24の先端部と
板体26との間隔Δxが僅かに拡げられ、このノズル部
24の先端部と板体26との間に挟まれていた異物が脱
落して排除される。このように、上記実施例のサーボ弁
21によれば、第1の実施例と同様に、フラッパノズル
22へ供給される流体中に混入していた異物が先端部と
フラッパ6との間に挟まったとしても、サーボ弁21の
機能を維持しつつこの異物を極めて容易に排除させるこ
とができ、この異物の挟み込みによるサーボ機構1の誤
動作を確実に防止することができ、サーボ機構1の信頼
性を大幅に向上させることができる。
As a result, the distance Δx between the tip of the nozzle 24 and the plate 26 is slightly widened, and the foreign matter sandwiched between the tip of the nozzle 24 and the plate 26 falls off. Are eliminated. As described above, according to the servo valve 21 of the above-described embodiment, the foreign matter mixed in the fluid supplied to the flapper nozzle 22 is trapped between the tip portion and the flapper 6 as in the first embodiment. Even if this is the case, it is possible to very easily remove this foreign substance while maintaining the function of the servo valve 21, and it is possible to reliably prevent malfunction of the servo mechanism 1 due to the entrapment of this foreign substance, and to improve the reliability of the servo mechanism 1. Can be significantly improved.

【0029】なお、上記実施例では、スライドノズル1
4または板体26を付勢する付勢手段としてスプリング
16、27を使用したが、このスプリング16、27の
代わりに板バネを用いることにより、小型化を図ること
ができる。また、スプリング16、27による付勢手段
として油圧を使用しても良い。即ち、上記実施例にてス
プリング16、27が収納されている空間部内へ、スプ
リング16、27の代わりに圧油を供給してこの圧油に
よってスライドノズル14または板体26に付勢力を与
えても良い。
In the above embodiment, the slide nozzle 1
Although the springs 16 and 27 are used as the urging means for urging the plate 4 or the plate body 26, the size can be reduced by using the plate springs instead of the springs 16 and 27. Also, hydraulic pressure may be used as the biasing means by the springs 16 and 27. That is, in the above-described embodiment, pressure oil is supplied into the space portion in which the springs 16 and 27 are housed, instead of the springs 16 and 27, and the slide nozzle 14 or the plate 26 is biased by the pressure oil. Is also good.

【0030】なおまた、上記実施例では、ダンパーとし
て機能させる流路20あるいはダンパー28によってそ
れぞれスライドノズル14あるいは板体26の摺動速度
を減衰させて、これらスライドノズル14、板体26の
移動を積極的に遅らせるようにしたが、これら流路20
あるいはダンパー28を設けずに、スライドノズル1
4、板体26のスプリング16、27による追従の僅か
な遅れだけでもスライドノズル14とフラッパ6との間
隔、あるいは板体26とノズル部24との間隔を拡げて
確実に異物を排除させることができるのは勿論である。
Further, in the above embodiment, the sliding speed of the slide nozzle 14 or the plate body 26 is attenuated by the flow passage 20 or the damper 28 functioning as a damper to move the slide nozzle 14 or the plate body 26, respectively. The flow path 20
Alternatively, without providing the damper 28, the slide nozzle 1
4. Even with a slight delay in the follow-up of the plate member 26 by the springs 16 and 27, the distance between the slide nozzle 14 and the flapper 6 or the distance between the plate member 26 and the nozzle portion 24 can be increased to reliably remove foreign matter. Of course you can.

【0031】なお、上記実施例のサーボ弁11、21を
用いたサーボ機構としては、実施例に限定されることな
く、例えば、図3に示す電油サーボ機構に用いても良
い。ここで、図3において、符号31は、入力電流をト
ルクに変更するトルクモータ、符号32は、油圧装置3
6からの油圧によって駆動されるスプールである。トル
クモータ31は、一種の直流電磁石であり、トルク伝達
用のトーションバネ33に卷回されたコイル34へ通電
した入力電流を、電磁力によるトルクに変換するように
なっている。また、スプール32は、フラッパ6からの
変換信号圧力により駆動されて変位するものであり、フ
ラッパ6の端部に配設されたフィードバックバネ35に
は、スプール32の変位によるフィードバックトルクが
作用するようになっている。
The servo mechanism using the servo valves 11 and 21 of the above embodiment is not limited to the embodiment, and may be used in the electro-hydraulic servo mechanism shown in FIG. 3, for example. Here, in FIG. 3, reference numeral 31 is a torque motor that changes the input current into torque, and reference numeral 32 is the hydraulic device 3.
6 is a spool driven by hydraulic pressure from 6. The torque motor 31 is a kind of DC electromagnet, and is adapted to convert an input current supplied to a coil 34 wound around a torsion spring 33 for torque transmission into torque by electromagnetic force. The spool 32 is driven by the converted signal pressure from the flapper 6 to be displaced, and the feedback spring 35 arranged at the end of the flapper 6 is acted on by the feedback torque due to the displacement of the spool 32. It has become.

【0032】なおまた、上記実施例では、フラッパノズ
ル12、22から流体を噴出させる構造のサーボ弁1
1、21を例にとって説明したが、このサーボ弁11、
21としては、フラッパノズル内へ流体を流入して、フ
ラッパノズル内に設けられたフラッパをノズル内へ引き
込むタイプのサーボ弁、つまりネガティブ型のサーボ弁
にも適応することができるのは勿論である。
Further, in the above embodiment, the servo valve 1 having a structure in which the fluid is ejected from the flapper nozzles 12 and 22.
1 and 21 have been described as an example, this servo valve 11,
As a reference numeral 21, it is needless to say that it can be applied to a servo valve of a type in which a fluid is introduced into the flapper nozzle and the flapper provided in the flapper nozzle is drawn into the nozzle, that is, a negative type servo valve. .

【0033】[0033]

【発明の効果】以上、説明したように、本発明のサーボ
弁によれば、下記の効果を得ることができる。第1また
は第3の発明によれば、フラッパノズルの第1のノズル
部とフラッパとの間に異物が挟まったとしても、サーボ
弁の機能を維持しつつ第1のノズル部とフラッパとの間
隔または第1のノズル部とフラッパの板体との間隔を拡
げて異物を極めて容易に排除させることができ、この異
物の挟み込みによるサーボ機構の誤動作を確実に防止す
ることができ、サーボ機構の信頼性を大幅に向上させる
ことができる。
As described above, according to the servo valve of the present invention, the following effects can be obtained. According to the first or third aspect, even if foreign matter is caught between the flapper nozzle's first nozzle portion and the flapper, the gap between the flapper nozzle's first nozzle portion and the flapper is maintained while maintaining the function of the servo valve. Alternatively, the foreign matter can be removed very easily by expanding the distance between the first nozzle portion and the flapper plate, and the malfunction of the servo mechanism due to the entrapment of the foreign matter can be reliably prevented, and the reliability of the servo mechanism can be improved. It is possible to significantly improve the sex.

【0034】また、第2または第4の発明によれば、ダ
ンパーによって第1のノズル部またはフラッパの板体の
摺動速度を減衰させることができるので、第1のノズル
部とフラッパとの間隔または第1のノズル部と板体との
間隔をさらに容易に拡げて異物の排除をさらに確実に行
わせることができる。
Further, according to the second or fourth aspect of the invention, since the sliding speed of the plate of the first nozzle portion or the flapper can be attenuated by the damper, the gap between the first nozzle portion and the flapper can be reduced. Alternatively, the gap between the first nozzle portion and the plate body can be expanded more easily to more reliably remove the foreign matter.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の第1の実施例のサーボ弁の構成及び構
造を説明するサーボ弁の断面図である。
FIG. 1 is a sectional view of a servo valve illustrating a configuration and a structure of a servo valve according to a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の第2の実施例のサーボ弁の構成及び構
造を説明するサーボ弁の断面図である。
FIG. 2 is a sectional view of a servo valve for explaining the configuration and structure of the servo valve of the second embodiment of the present invention.

【図3】サーボ弁を用いた他のサーボ機構の例を説明す
るサーボ機構の概略構成図である。
FIG. 3 is a schematic configuration diagram of a servo mechanism for explaining an example of another servo mechanism using a servo valve.

【図4】サーボ弁が用いられたサーボ機構の一例を説明
するサーボ機構の概略構成図である。
FIG. 4 is a schematic configuration diagram of a servo mechanism for explaining an example of a servo mechanism using a servo valve.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

6 フラッパ 11、21 サーボ弁 12、22 フラッパノズル 13、23 ノズル本体(第2のノズル部) 14 スライドノズル(第1のノズル部) 16、27 スプリング(付勢手段) 20 流路(ダンパー) 26 板体 28 ダンパー 6 flapper 11, 21 servo valve 12, 22 flapper nozzle 13, 23 nozzle body (second nozzle part) 14 slide nozzle (first nozzle part) 16, 27 spring (biasing means) 20 flow path (damper) 26 Plate 28 damper

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 フラッパと、このフラッパを流体の圧力
によって所定間隔をあけた位置に維持させるフラッパノ
ズルとを有するサーボ弁において、 前記フラッパノズルは、前記フラッパに対して所定間隔
をあけてかつフラッパノズルの軸線方向へ摺動可能に設
けられた第1のノズル部と、前記所定間隔よりも大きな
間隔をあけて設けられた第2のノズル部とを有してな
り、 前記第1のノズル部は、前記フラッパ方向へ付勢手段に
よって付勢されてなることを特徴とするサーボ弁。
1. A servo valve having a flapper and a flapper nozzle for maintaining the flapper at a position spaced apart by a pressure of a fluid, wherein the flapper nozzle is spaced apart from the flapper by a predetermined distance. A first nozzle part slidably provided in the axial direction of the nozzle, and a second nozzle part provided with a gap larger than the predetermined gap, the first nozzle part Is a servo valve which is biased in the flapper direction by a biasing means.
【請求項2】 前記第1のノズル部は、ダンパーによっ
てその摺動速度が減衰されてなることを特徴とする請求
項1記載のサーボ弁。
2. The servo valve according to claim 1, wherein a sliding speed of the first nozzle portion is damped by a damper.
【請求項3】 フラッパと、このフラッパを流体の圧力
によって所定間隔をあけた位置に維持させるフラッパノ
ズルとを有するサーボ弁において、 前記フラッパノズルは、前記フラッパに対して所定間隔
をあけて設けられた第1のノズル部と、前記所定間隔よ
りも大きな間隔をあけて設けられた第2のノズル部とを
有してなり、 前記フラッパは、前記第1のノズル部との対向位置に、
フラッパノズルの軸線方向へ摺動可能に設けられた板体
を有してなり、 前記板体は、前記フラッパノズル方向へ付勢手段によっ
て付勢されてなることを特徴とするサーボ弁。
3. A servo valve having a flapper and a flapper nozzle for maintaining the flapper at a position spaced apart by a fluid pressure, wherein the flapper nozzle is provided at a predetermined distance from the flapper. A first nozzle part and a second nozzle part provided with a space larger than the predetermined space, and the flapper is provided at a position facing the first nozzle part.
A servo valve comprising a plate body slidably provided in an axial direction of the flapper nozzle, the plate body being biased in the flapper nozzle direction by a biasing means.
【請求項4】 前記板体は、ダンパーによってその摺動
速度が減衰されてなることを特徴とする請求項3記載の
サーボ弁。
4. The servo valve according to claim 3, wherein a sliding speed of the plate body is damped by a damper.
JP16824593A 1993-07-07 1993-07-07 Servo valve Expired - Lifetime JP3404805B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP16824593A JP3404805B2 (en) 1993-07-07 1993-07-07 Servo valve

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP16824593A JP3404805B2 (en) 1993-07-07 1993-07-07 Servo valve

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0727107A true JPH0727107A (en) 1995-01-27
JP3404805B2 JP3404805B2 (en) 2003-05-12

Family

ID=15864454

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP16824593A Expired - Lifetime JP3404805B2 (en) 1993-07-07 1993-07-07 Servo valve

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3404805B2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003021107A (en) * 2001-07-09 2003-01-24 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd Nozzle flapper mechanism for servo valve

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003021107A (en) * 2001-07-09 2003-01-24 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd Nozzle flapper mechanism for servo valve

Also Published As

Publication number Publication date
JP3404805B2 (en) 2003-05-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5366202A (en) Displacement controlled hydraulic proportional valve
KR20090099479A (en) Damping valve
EP3220026B1 (en) Flow limiter valve
US4666125A (en) Low leakage solenoid valve
US2969044A (en) Hydraulic valve and servo-systems
JP3404805B2 (en) Servo valve
US6038956A (en) Dynamic pressure regulator cushion
US4345736A (en) Solenoid operated valve and dashpot assembly
JP7304423B2 (en) Pressure regulating valves for controlling or regulating the pressure of pressurized fluid in pilot pressure chambers and devices comprising such pressure regulating valves
JP2008008380A (en) Solenoid valve
US20060011875A1 (en) Hydraulically controlled valve comprising at least one hydraulic drive unit
JPH0735122Y2 (en) Shockless valve
US4471940A (en) Dashpot assembly
JP4199644B2 (en) Spool valve with a structure that reduces fluid force due to notches
JPH0276902A (en) Fluid control valve
JP2001304441A (en) Valve structure
JPH08107016A (en) Solenoid
JP7078140B2 (en) Pressure control valve
JPH0962365A (en) Pressure compensating flow regurating valve having check valve
JPH06700Y2 (en) solenoid valve
JPH0337069B2 (en)
JP2531884Y2 (en) Spool valve
CA2586533A1 (en) Two stage master brake cylinder
JP2000266221A (en) Electro-magnetic proportional control valve
JP2002061605A (en) Regeneration selector valve of hydraulic cylinder

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20030204

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080307

Year of fee payment: 5

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080307

Year of fee payment: 5

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090307

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100307

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110307

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120307

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120307

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130307

Year of fee payment: 10