JPH0726716Y2 - IC test connection tool - Google Patents

IC test connection tool

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JPH0726716Y2
JPH0726716Y2 JP8896589U JP8896589U JPH0726716Y2 JP H0726716 Y2 JPH0726716 Y2 JP H0726716Y2 JP 8896589 U JP8896589 U JP 8896589U JP 8896589 U JP8896589 U JP 8896589U JP H0726716 Y2 JPH0726716 Y2 JP H0726716Y2
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card
frog
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pogo
circuit board
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和成 菅
文男 渡辺
利明 淡路
久仁夫 竹内
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Description

【考案の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この考案はICテスト装置に用いるICテスト用接続具に関
する。
[Detailed Description of Device] [Industrial Application Field] This device relates to an IC test connector used in an IC test apparatus.

「従来の技術」 ICテスト装置は一般にパフォーマンスボードを具備し、
パフォーマンスボードを介して被試験ICとテスト装置と
が電気的に接続される。
"Prior Art" IC test equipment is generally equipped with a performance board,
The IC under test and the test device are electrically connected via the performance board.

つまり完成されたICをテストするテスト装置の場合はパ
フォーマンスボード上にICソケットが用意され、このIC
ソケットに被試験ICを装着して被試験ICをICテスタに電
気的に接続し、試験が行なわれる。
In other words, in the case of a test device that tests a completed IC, an IC socket is prepared on the performance board.
The IC to be tested is mounted in the socket, and the IC to be tested is electrically connected to the IC tester for testing.

これに対し、製造工程上にあるウエハの段階で試験を行
なうテスト装置の場合には、パフォーマンスボードにフ
ロッグリングと呼ばれる接続具を搭載し、この接続具を
介してプローブカードをパフォーマンスボードに接続
し、プローブカードに設けられたプローブをウエハに形
成されたチップの端子部分に接触させてウエハ上のチッ
プをテスト装置に接続している。
On the other hand, in the case of a tester that conducts tests at the wafer stage in the manufacturing process, a performance board is equipped with a connector called a frog ring, and the probe card is connected to the performance board via this connector. The probe provided on the probe card is brought into contact with the terminal portion of the chip formed on the wafer to connect the chip on the wafer to the test apparatus.

この考案は上記したパフォーマンスボードとプローブカ
ードとの間に介挿されて両者間を電気的に接続する接続
具の改良に関するものである。
The present invention relates to an improvement of a connector which is inserted between the performance board and the probe card to electrically connect the performance board and the probe card.

パフォーマンスボード及びプローブカードは共に円盤状
とされ、円盤の中心部にICソケット乃至プローブ群が設
けられる。
Both the performance board and the probe card are disk-shaped, and an IC socket or probe group is provided at the center of the disk.

ICソケットの端子及びプローブカードに設けられるプロ
ーブ群は狭い面積内に密集して設けられるから、この部
分で直接他のユニットへの接続を行なうことは不可能で
ある。このため中心部から配線導体が放射状に延長形成
され、パフォーマンスボード及びプローブカードを構成
する円盤の外周縁に設けた電極にICソケットの各端子乃
至プローブ群の各プローブを電気的に接続し、広い面積
を使ってテストヘッド等の他のユニットへの接続部が形
成される。
Since the terminals of the IC socket and the probe group provided on the probe card are densely arranged in a small area, it is impossible to directly connect to another unit at this portion. For this reason, wiring conductors are radially extended from the central part, and each terminal of the IC socket or each probe of the probe group is electrically connected to the electrodes provided on the outer peripheral edge of the disk constituting the performance board and the probe card, and a wide area is formed. The area is used to form connections to other units such as test heads.

このような背景からフロッグリングと呼ばれる接続具は
第6図に示すようにリング状の形状とされ、その上面側
及び下面側にポゴコンタクト2が弾性的に突出して支持
され、このポゴコンタクト2がプローブカード及びパフ
ォーマンスボードに形成した電極に接触し、プローブカ
ードとパフォーマンスボードとを電気的に接続する。
From such a background, a connector called a frog ring has a ring shape as shown in FIG. 6, and the pogo contact 2 is elastically projected and supported on the upper surface side and the lower surface side thereof, and the pogo contact 2 is The probe card and the performance board are electrically contacted by contacting the electrodes formed on the probe card and the performance board.

従来の接続具はリング状のハウジング1が樹脂材によっ
て形成され、この樹脂材によって形成されたハウジング
1に孔が形成され、この孔の内にコンタクト2が支持さ
れる。つまりコンタクト2は第7図に示すように金属パ
イプ3の両端部に抜き止めされて支持され、金属パイプ
3の内部に設けたバネ4によって外方に弾性的に偏倚さ
れている。金属パイプ3がハウジング1に形成した孔に
圧入されてハウジング1に金属パイプ3が固定され、こ
れによってポゴコンタクト2がハウジング1の面から弾
性的に突出して支持され、この弾性によって相手の電極
との接触を確実に行なえるようにしている。つまりコン
タクト2の数は数100〜1000の数に及ぶから、これだけ
の数のコンタクトを固定のままパフォーマンスボード及
びプローブカードに形成された電極に接触させるには、
電極の形成面の平面度が高くなくてはならない。しかし
ながらポゴコンタクト2を用いることによってコンタク
トは弾性的に支持されるから電極形成面が多少凹凸して
いても確実に接触を達することができる。
In a conventional connector, a ring-shaped housing 1 is made of a resin material, a hole is formed in the housing 1 made of the resin material, and a contact 2 is supported in the hole. That is, as shown in FIG. 7, the contact 2 is supported by being prevented from being pulled out at both ends of the metal pipe 3, and is elastically biased outward by the spring 4 provided inside the metal pipe 3. The metal pipe 3 is press-fitted into the hole formed in the housing 1 and the metal pipe 3 is fixed to the housing 1, whereby the pogo contact 2 is elastically projected and supported from the surface of the housing 1, and by this elasticity, the mating electrode I can make sure to make contact with each other. In other words, the number of contacts 2 ranges from several hundreds to several thousand, so in order to make such number of contacts fixed to the electrodes formed on the performance board and the probe card,
The flatness of the electrode formation surface must be high. However, since the contact is elastically supported by using the pogo contact 2, the contact can be surely reached even if the electrode formation surface is somewhat uneven.

「考案が解決しようとする課題」 上述した従来の接続具の構造において、ポゴコンタクト
2が不良になると、その交換が面倒である。
[Problems to be Solved by the Invention] In the structure of the conventional connector described above, if the pogo contact 2 becomes defective, replacement thereof is troublesome.

また接続具の部分の電気回路はポゴコンタクト2とこれ
を支持する金属パイプ3とによって構成される。このた
めに信号伝送路として見た場合、この部分でインピーダ
ンスが乱れ、波形を劣化させる欠点がある。
The electric circuit of the connector is composed of the pogo contact 2 and the metal pipe 3 supporting the pogo contact 2. Therefore, when viewed as a signal transmission line, there is a drawback that the impedance is disturbed at this portion and the waveform is deteriorated.

この考案の目的はポゴコンタクト2の交換を容易に行な
うことができ、然もインピーダンス整合がとれた状態で
信号を伝えることができるICテスト用接続具を提供しよ
うとするものである。
An object of the present invention is to provide an IC test connector which can easily replace the pogo contact 2 and can transmit a signal in a state where impedance matching is achieved.

「課題を解決するための手段」 この考案では、伝送インピーダンスが整合された状態で
形成された複数の信号伝送路が互に平行する二辺間に形
成されたプリント板、このプリント板に形成された信号
伝送路に電気的、機械的に結合されて支持されたポゴコ
ンタクト、このポゴコンタクトの取付面を覆うピンホル
ダとによって構成されたフロッグカードと、 このフロッグカードを放射状に収納する溝を有し、上下
方向にコンタクトが弾性的に突出した姿勢で支持するリ
ングハウジングとによってICテスト用接続具を構成した
ものである。
[Means for Solving the Problems] According to the present invention, a printed board having a plurality of signal transmission lines formed in a state where transmission impedances are matched is formed between two sides parallel to each other. A pogo contact electrically and mechanically coupled to and supported by the signal transmission line, a frog card composed of a pin holder covering the mounting surface of the pogo contact, and a groove for radially accommodating the frog card. An IC test connector is configured by a ring housing that supports the contacts in a posture in which the contacts elastically protrude in the vertical direction.

この考案の構成によればポゴコンタクトはフロッグカー
ドに取付けられて支持される。よってポゴコンタクトが
不良になったとき、フロッグカードを交換すればよく、
ポゴコンタクトの交換を簡単に行なうことができる。
According to the structure of the present invention, the pogo contact is attached to and supported by the frog card. Therefore, when the Pogo contact becomes defective, you can replace the frog card,
Pogo contacts can be easily replaced.

またプリント板に形成した信号伝送路はインピーダンス
整合がとれた状態で形成されているから接続具の部分で
信号の波形が劣化することはない。よって品質の高い信
号伝送路によって被試験ICとテスト装置とを接続するこ
とができる。
Further, since the signal transmission path formed on the printed board is formed in a state where impedance matching is achieved, the signal waveform does not deteriorate at the connecting part. Therefore, the IC under test and the test device can be connected by a high-quality signal transmission path.

「実施例」 第1図乃至第5図にこの考案の一実施例を示す。"Embodiment" FIGS. 1 to 5 show an embodiment of the present invention.

図中10はフロッグカード、20はリングハウジングを示
す。
In the figure, 10 is a frog card and 20 is a ring housing.

フロッグカード10はプリント板11と、このプリント板11
に取付たポゴコンタクト12と、このポゴコンタクト12の
取付面を被うピンホルダ13とによって構成される。プリ
ント板11は第3図に示すようにマイクロストリップライ
ン構造によってインピーダンス整合された信号伝送路14
を具備している。マイクロストリップライン構造の信号
伝送路14は周知のようにプリント板の一方の面に接地導
体14Aが形成され、他方の面にこの接地導体14Aと対向し
て信号線14Bが形成されて構成される。図の例では一枚
のプリント板11に四組の信号伝送路14を形成した場合を
示す。
The frog card 10 has a printed board 11 and this printed board 11
And a pin holder 13 that covers the mounting surface of the pogo contact 12. The printed board 11 is a signal transmission line 14 whose impedance is matched by a microstrip line structure as shown in FIG.
It is equipped with. As is well known, the signal transmission path 14 of the microstrip line structure is formed by forming a ground conductor 14A on one surface of a printed board and forming a signal line 14B on the other surface of the printed board so as to face the ground conductor 14A. . The example shown in the figure shows a case where four sets of signal transmission paths 14 are formed on one printed board 11.

マイクロストリップラインを構成する信号線14Bにポゴ
コンタクト12を電気的及び機械的に結合して取付る。図
の例では接地導体14Aもスルーホームを通じて信号線14B
の形成面に導出し、信号線14Bの形成面上に接地回路を
接続するためのポゴコンタクト12を配置した場合を示
す。
The pogo contact 12 is electrically and mechanically coupled and attached to the signal line 14B constituting the microstrip line. In the example of the figure, the ground conductor 14A is also connected to the signal line 14B through the through-home.
The case where the pogo contact 12 for connecting the ground circuit is arranged on the formation surface of the signal line 14B is shown.

ポゴコンタクト12の取付面にはポゴコンタクト12を収納
する溝を持ったピンホルダ13が被せられる。ピンホルダ
13は絶縁樹脂材によって形成され、プリント板11との結
合爪を具備し、爪がプリント板11と係合してピンホルダ
13とプリント板11は合体され、フロッグカード10が形成
される。
The mounting surface of the pogo contact 12 is covered with a pin holder 13 having a groove for housing the pogo contact 12. Pin holder
The pin holder 13 is made of an insulating resin material and has a coupling claw for coupling with the printed board 11.
The frog card 10 is formed by uniting 13 and the printed board 11.

フロッグカード10は第2図に示すリングハウジング20に
差し込まれる。リングハウジング20は第4図に示すよう
に凹溝21を有し、この凹溝21にフロッグカード10を放射
状に支持させる。このために凹溝21の互に対向する周壁
面に沿ってレールガイド22を接着し、このレールガイド
22の凹溝22Aにフロッグカード10を差し込んでフロッグ
カード10の板面がリングハウジング20の中心を通る放射
線と平行する向に支持する。
The frog card 10 is inserted into the ring housing 20 shown in FIG. The ring housing 20 has a groove 21 as shown in FIG. 4, and the groove 21 allows the frog card 10 to be supported radially. For this purpose, the rail guides 22 are adhered along the circumferential wall surfaces of the groove 21 that face each other, and
The frog card 10 is inserted into the groove 22A of the groove 22 to support the plate surface of the frog card 10 in a direction parallel to the radiation passing through the center of the ring housing 20.

リングハウジング20に形成された凹溝21の底面側には突
片23が両側から突出され、この突片23によってレールガ
イド22とフロッグカード10が下側に抜け出るのを阻止さ
れている。レールガイド22は可撓性樹脂材によって形成
された長方形状の板の一方の面に凹溝22Aが配列形成さ
れ、この可撓性樹脂材によって形成された板がリングハ
ウジング20の円弧に沿って曲げられて凹溝21の内周の二
面に装着される。
Projecting pieces 23 project from both sides on the bottom surface side of the concave groove 21 formed in the ring housing 20, and the projecting pieces 23 prevent the rail guide 22 and the frog card 10 from coming out downward. In the rail guide 22, concave grooves 22A are formed in an array on one surface of a rectangular plate formed of a flexible resin material, and the plates formed of the flexible resin material are arranged along an arc of the ring housing 20. It is bent and attached to two inner surfaces of the concave groove 21.

レールガイド22の凹溝22Aにフロッグカード10を挿入し
て支持した状態において、凹溝21の上部開放面に枠状の
押え具24を被せ、この押え具24をビス25で固定する。押
え具24を取付ることによってレールガイド22とフロッグ
カード10は上下方向から押えられ抜け止めされる。よっ
てこの状態では第5図に示すようにリングハウジング20
の上面と下面にフロッグカード10から突出したポゴコン
タクト12が環状に突出して配列される。
With the frog card 10 inserted and supported in the concave groove 22A of the rail guide 22, a frame-shaped pressing member 24 is covered on the upper open surface of the concave groove 21, and the pressing member 24 is fixed with screws 25. By attaching the retainer 24, the rail guide 22 and the frog card 10 are retained in the vertical direction and prevented from coming off. Therefore, in this state, as shown in FIG.
Pogo contacts (12) protruding from the frog card (10) are arranged in an annular shape on the upper and lower surfaces of the.

「考案の効果」 上述したようにこの考案によればポゴコンタクト12はフ
ロッグカード10に支持されてリングハウジング20に装着
されている。従ってポゴコンタクト12が不良になった場
合、その不良となったポゴコンタクト12を支持したフロ
ッグカード10を交換すればよい。フロッグカード10は押
え具24を取外すだけで簡単に行なうことができる。よっ
て保守が容易で使い勝手のよい接続具を提供することが
できる。
[Advantage of Invention] As described above, according to this invention, the pogo contact 12 is supported by the frog card 10 and mounted on the ring housing 20. Therefore, when the pogo contact 12 becomes defective, the frog card 10 supporting the defective pogo contact 12 may be replaced. The frog card 10 can be easily installed by removing the holding member 24. Therefore, it is possible to provide a connector which is easy to maintain and easy to use.

更にこの考案によればポゴコンタクト12をプリント板11
に形成したインピーダンス整合がとれた信号伝送路に電
気的に接続して支持したからフロッグカード10は信号に
対してインピーダンス整合がとれた信号伝送路を提供す
ることができる。従って接続具の部分で信号の波形を乱
すことはなく、良質の信号伝送路を構成することができ
る。
Further, according to this invention, the pogo contact 12 is attached to the printed board 11
Since the frog card 10 is electrically connected to and supported by the impedance-matched signal transmission path formed in the above, the frog card 10 can provide the impedance-matched signal transmission path. Therefore, the signal waveform is not disturbed at the connecting part, and a good signal transmission path can be constructed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図はこの考案の一実施例を示す分解斜視図、第2図
はこの考案の実施例に用いたリングハウジングの構造を
説明するための斜視図、第3図はプリント板に形成した
インピーダンス整合がとれた信号伝送路の構造の一例を
示す断面図、第4図はリングハウジングに対するフロッ
グカードの収納状態を説明するための分解斜視図、第5
図は同様の断面図、第6図は従来の技術を説明するため
の斜視図、第7図はその断面図である。 10:フロッグカード、11:プリント板、12:ポゴコンタク
ト、13:ピンホルダ、20:リングハウジング、21:凹溝、2
2:レールガイド。
FIG. 1 is an exploded perspective view showing an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a perspective view for explaining the structure of a ring housing used in the embodiment of the present invention, and FIG. 3 is an impedance formed on a printed board. FIG. 4 is a cross-sectional view showing an example of the structure of a matched signal transmission path, FIG. 4 is an exploded perspective view for explaining a housed state of a frog card in a ring housing, and FIG.
The figure is a similar sectional view, FIG. 6 is a perspective view for explaining the conventional technique, and FIG. 7 is a sectional view thereof. 10: Frog card, 11: Printed board, 12: Pogo contact, 13: Pin holder, 20: Ring housing, 21: Recessed groove, 2
2: Rail guide.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 竹内 久仁夫 東京都練馬区旭町1丁目32番1号 株式会 社アドバンテスト内 (56)参考文献 特開 昭57−194367(JP,A) 特開 昭64−53429(JP,A) 特開 昭63−293934(JP,A) ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Creator Kunio Takeuchi 1-32-1, Asahi-cho, Nerima-ku, Tokyo Inside Advantest Co., Ltd. (56) References JP-A-57-194367 (JP, A) JP-A- 64-53429 (JP, A) JP-A-63-293934 (JP, A)

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 【請求項1】A.絶縁板の一方の面に接地導体が形成さ
れ、他方の面に信号導体が複数本形成されてインピーダ
ンス整合がとれた状態の複数の信号伝送路が互に平行し
た二辺間に形成されたプリント基板、このプリント基板
に形成された信号導体及び接地導体に電気的に接続さ
れ、上記プリント基板の二辺からコンタクトが弾性的に
突出した姿勢で取付けられた複数のポゴコンタクト、こ
のポゴコンタクトの取付面を覆うピンホルダとによって
構成されたフロッグカードと、 B.このフロッグカードを放射状に収納する溝を有し、上
下方向にポゴコンタクトを弾性的に突出した姿勢で複数
のフロッグカードを支持するリングハウジングと、 によって構成したICテスト用接続具。
1. A. A grounding conductor is formed on one surface of an insulating plate, and a plurality of signal conductors are formed on the other surface of the insulating plate, and a plurality of signal transmission lines in a state of impedance matching are parallel to each other. A printed circuit board formed between the sides, a plurality of pogos electrically connected to the signal conductors and the ground conductors formed on the printed circuit board, and with the contacts elastically protruding from the two sides of the printed circuit board. A frog card composed of a contact and a pin holder that covers the mounting surface of this pogo contact, and B. a groove for radially accommodating this frog card, and a plurality of pogo contacts that are elastically projected vertically An IC test connector made up of a ring housing that supports the frog card.
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JP6046200B2 (en) * 2015-04-30 2016-12-14 東京特殊電線株式会社 Transmission line and inspection jig

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