JPH07259919A - Vibration isolating device using active damper of electroviscous fluid - Google Patents
Vibration isolating device using active damper of electroviscous fluidInfo
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- JPH07259919A JPH07259919A JP7934394A JP7934394A JPH07259919A JP H07259919 A JPH07259919 A JP H07259919A JP 7934394 A JP7934394 A JP 7934394A JP 7934394 A JP7934394 A JP 7934394A JP H07259919 A JPH07259919 A JP H07259919A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、精密機器の支持装置や
車両の懸架装置等において振動成分を吸収除去するため
の除振装置に関し、更に詳細には、電気粘性流体が電場
の作用の下で粘性を変化させる性質を利用して、広範な
周波数領域及び振幅領域に対して一様かつ高水準な除振
性能を実現できる除振装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vibration isolation device for absorbing and removing a vibration component in a supporting device for precision equipment, a suspension device for a vehicle, and the like. The present invention relates to a vibration isolation device that can realize uniform and high-level vibration isolation performance over a wide frequency range and amplitude range by utilizing the property of changing viscosity.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、精密機器のような振動を嫌う機器
を振動から保護するため、機械的なバネと固定減衰ダン
パとにより振動を除去することが行われている。また、
自動車等の車両においても乗り心地及び操縦安定性向上
のため、車体と車軸との間に機械的なバネと固定減衰ダ
ンパとを介在させ振動を吸収することが行われている。
これらの機械的除振システムは、入力された振動成分に
対し、予め定められた特性を有するバネ及びダンパが受
動的に作用して振動を吸収除去するものであり、いわゆ
るパッシブ除振システムである。かかるパッシブ制御シ
ステムでは、バネやダンパの特性が固定値であるため、
広範な周波数領域及び振幅領域に対する一様な除振性能
を得ることが困難であった。2. Description of the Related Art Conventionally, in order to protect equipment, such as precision equipment, which is sensitive to vibration from vibration, vibration is removed by a mechanical spring and a fixed damping damper. Also,
In vehicles such as automobiles, vibration is absorbed by interposing a mechanical spring and a fixed damping damper between the vehicle body and the axle in order to improve riding comfort and steering stability.
These mechanical vibration isolation systems are so-called passive vibration isolation systems in which a spring and a damper having a predetermined characteristic passively act on the input vibration component to absorb and remove the vibration. . In such a passive control system, the characteristics of the spring and damper are fixed values,
It was difficult to obtain uniform vibration isolation performance over a wide frequency range and amplitude range.
【０００３】これに対し近年では、振動センサと、リニ
アアクチュエータ、エアアクチュエータ、油圧アクチュ
エータなどのアクチュエータとを設け、振動を打ち消す
力（以下、「制動力」という）を外部から能動的に供給
するアクティブ除振システムが種々提案されている。ま
た、電気粘性流体が電場の作用の下で粘性を変化させる
性質を利用して、これを可変減衰ダンパとして用いたセ
ミアクティブ除振システムも種々提案されている。これ
らアクティブ若しくはセミアクティブ除振システムは、
バネやダンパに相当する要素の特性を能動的若しくは半
能動的に制御することにより、より広範な周波数領域及
び振幅領域に対して、パッシブ制御システムでは得難い
一様な除振性能を得ようとするものである。On the other hand, in recent years, a vibration sensor and an actuator such as a linear actuator, an air actuator, and a hydraulic actuator are provided to actively supply a force for canceling vibration (hereinafter, referred to as "braking force") from the outside. Various vibration isolation systems have been proposed. In addition, various semi-active vibration isolation systems have been proposed in which the electro-rheological fluid changes its viscosity under the action of an electric field and is used as a variable damping damper. These active or semi-active vibration isolation systems
By actively or semi-actively controlling the characteristics of elements equivalent to springs and dampers, we try to obtain uniform vibration isolation performance over a wider frequency range and amplitude range, which is difficult to obtain with a passive control system. It is a thing.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかし、前記従来のア
クティブ若しくはセミアクティブ除振システムには、以
下のような問題点があった。まず、アクチュエータとし
てリニアアクチュエータを用いるアクティブ除振システ
ムの問題点について説明する。リニアアクチュエータの
場合、供給できる制動力に限界があり、従って高周波数
又は大振幅の入力があった場合の除振性能が不十分なた
め、パッシブ制御システムに対する利点が小さいのであ
る。更に、リニアアクチュエータは磁気を使用するの
で、精密機器等外部磁場を嫌う装置の除振に用いる場合
には、入念な磁気シールド対策を必要とする。However, the above-mentioned conventional active or semi-active vibration isolation system has the following problems. First, the problems of the active vibration isolation system using a linear actuator as an actuator will be described. In the case of a linear actuator, there is a limit to the braking force that can be supplied, and therefore, the vibration isolation performance in the case of a high frequency or large amplitude input is insufficient, so that there is little advantage over the passive control system. Further, since the linear actuator uses magnetism, when it is used for vibration isolation of a device such as a precision instrument that is not sensitive to an external magnetic field, careful magnetic shield measures are required.
【０００５】次に、アクチュエータとしてエアアクチュ
エータを用いるアクティブ除振システムの問題点につい
て説明する。エアアクチュエータの場合、制動力を発揮
するためには常に圧縮空気の供給を受けている必要があ
る。このため、エアコンプレッサ等の空気圧源を備える
必要があり、コスト等の点で不利である。また車両の懸
架装置に用いる場合には、原動機の出力の一部がエアコ
ンプレッサ等の駆動に費やされることとなる。さらにエ
アアクチュエータの場合、作動流体が気体であるため、
高周波数領域での制御性能が不十分となる。Next, problems of the active vibration isolation system using the air actuator as the actuator will be described. In the case of an air actuator, compressed air must be constantly supplied in order to exert a braking force. Therefore, it is necessary to provide an air pressure source such as an air compressor, which is disadvantageous in terms of cost and the like. When used in a vehicle suspension system, a part of the output of the prime mover is spent driving an air compressor or the like. Furthermore, in the case of an air actuator, since the working fluid is a gas,
Control performance in the high frequency range becomes insufficient.
【０００６】次に、アクチュエータとして油圧アクチュ
エータを用いるアクティブ除振システムの問題点につい
て説明する。油圧アクチュエータの場合、作動流体が非
圧縮性の液体であるため、高周波数領域での制御性能で
はエアアクチュエータの場合より優れるが、常に高い油
圧の供給を受ける必要がある点では同様である。このた
め油圧供給装置等を必要とし、エアアクチュエータの場
合と同様にコストや原動機出力の損失の問題がある。Next, problems of the active vibration isolation system using the hydraulic actuator as the actuator will be described. In the case of a hydraulic actuator, since the working fluid is a non-compressible liquid, the control performance in the high frequency range is superior to that of the air actuator, but it is the same in that a high hydraulic pressure must always be supplied. For this reason, a hydraulic supply device or the like is required, and there are problems of cost and loss of output of the prime mover as in the case of the air actuator.
【０００７】次に、電気粘性流体を利用した可変減衰ダ
ンパを用いる従来のセミアクティブ除振システムの問題
点について説明する。電気粘性流体可変減衰ダンパの場
合、油圧の供給を必要としないで高周波数領域でも減衰
性能を有するという利点があるが、電気粘性流体に印加
する電圧と発生する制動力との間の関係は線形ではな
い。電気粘性流体の粘度と印加する電圧との関係が非線
形だからである。このため、制御量及び各種状態量を検
出してこれらの信号に基づいて一次式による振動制御を
行うと、制動力が周波数や振幅との依存性を示す。Next, the problems of the conventional semi-active vibration isolation system using the variable damping damper using the electrorheological fluid will be described. The electro-rheological fluid variable damping damper has the advantage that it has damping performance even in the high frequency range without requiring hydraulic pressure supply, but the relationship between the voltage applied to the electro-rheological fluid and the braking force generated is linear. is not. This is because the relationship between the viscosity of the electrorheological fluid and the applied voltage is non-linear. Therefore, when the control amount and various state amounts are detected and the vibration control by the linear equation is performed based on these signals, the braking force shows the dependency on the frequency and the amplitude.
【０００８】電気粘性流体可変減衰ダンパの制動力が示
す周波数及び振幅依存性を説明する。図１０は、負荷５
０と基脚５１との間に電気粘性流体可変減衰ダンパ５２
とコイルスプリング５３とを並列に配し、負荷５０の振
動信号を制御器５４を介して電気粘性流体可変減衰ダン
パ５２にフィードバックするようにしたものである。制
御器５４では、負荷５０の速度信号に比例した電圧を電
気粘性流体可変減衰ダンパ５２に印加するようになって
いる。The frequency and amplitude dependence of the braking force of the electrorheological fluid variable damping damper will be described. FIG. 10 shows a load 5
0 and the base leg 51 between the electrorheological fluid variable damping damper 52
And a coil spring 53 are arranged in parallel, and the vibration signal of the load 50 is fed back to the electrorheological fluid variable damping damper 52 via the controller 54. The controller 54 applies a voltage proportional to the speed signal of the load 50 to the electrorheological fluid variable damping damper 52.
【０００９】図１０のように構成した系において、基脚
５１に正弦振動を入力したときの制振特性を図７、図８
のグラフに示す。図７、８のグラフは、横軸に入力周波
数を、縦軸に伝達率Ｔをとったものである。ここで横軸
は、入力周波数ωを共振周波数ω0 で除した比周波数ω
／ω0 の値で示している。共振周波数ω0 は、コイルス
プリング５３のバネ定数と負荷５０の質量とにより定ま
る。伝達率Ｔは、基脚５１への入力振幅と負荷５０の振
幅との比である。伝達率Ｔが低いほど除振能力が高いこ
とを示す。In the system configured as shown in FIG. 10, the damping characteristics when a sine vibration is input to the base leg 51 are shown in FIGS.
Is shown in the graph. In the graphs of FIGS. 7 and 8, the horizontal axis represents the input frequency and the vertical axis represents the transmissibility T. Here, the horizontal axis is the specific frequency ω obtained by dividing the input frequency ω by the resonance frequency ω 0.
The value of / ω 0 is shown. The resonance frequency ω 0 is determined by the spring constant of the coil spring 53 and the mass of the load 50. The transmissibility T is the ratio of the amplitude of the input to the base leg 51 and the amplitude of the load 50. The lower the transmissibility T, the higher the vibration isolation capability.
【００１０】図７のグラフは、入力振幅が０．２ｍｍで
ある場合を示している。まず、制御器５４における増幅
率が０である場合、即ち電気粘性流体可変減衰ダンパ５
２に信号のフィードバックをしない場合について考察す
る。この場合は通常のオイルダンパと変わりなく、横軸
が１のときに高い伝達率を示している。共振状態にある
からである。また、比周波数ω／ω0 が高くなると伝達
率が低下するのは、入力周波数ωが大きいときには電気
粘性流体可変減衰ダンパ５２におけるピストンスピード
が大きく、制動力がその分大きいからである。そして、
電気粘性流体可変減衰ダンパ５２に信号のフィードバッ
クをし、高電圧増幅器１７における増幅率を２５０、５
００、７５０と増加すると、共振周波数域においても伝
達率Ｔが低下し除振能力が高くなる。特に、増幅率７５
０の場合には、共振周波数域においても伝達率Ｔの増大
はほとんどない。The graph of FIG. 7 shows the case where the input amplitude is 0.2 mm. First, when the amplification factor in the controller 54 is 0, that is, the electrorheological fluid variable damping damper 5
Consider the case where no signal feedback is performed in 2. In this case, the transmissibility is high when the horizontal axis is 1, which is the same as a normal oil damper. This is because they are in resonance. Further, the reason why the transmissibility decreases as the specific frequency ω / ω 0 increases is that the piston speed in the electrorheological fluid variable damping damper 52 is large and the braking force is correspondingly large when the input frequency ω is large. And
The signal is fed back to the electrorheological fluid variable damping damper 52, and the amplification factor in the high voltage amplifier 17 is set to 250,5.
When it increases from 00 to 750, the transmissibility T decreases and the vibration isolation performance increases even in the resonance frequency range. In particular, the amplification rate is 75
In the case of 0, the transmissibility T hardly increases even in the resonance frequency range.
【００１１】図８のグラフは、入力振幅を図７の１０倍
の２ｍｍとした場合を示している。図８では増幅率が２
５０または５００である場合に、図７における相当する
カーブと異なる形状であることから、電気粘性流体可変
減衰ダンパ５２の制振特性に振幅依存性があることがわ
かる。次に図９のグラフは、図１０の系で基脚５１を固
定した上で負荷５０に正弦振動を入力（振幅１ｍｍ）し
て測定した、電気粘性流体可変減衰ダンパ５２の等価減
衰係数Ｃをプロットしたものである。いずれの増幅率に
おいても等価減衰係数Ｃは周波数に比例して変化してい
るため、入力振動の周波数により得られる制振性能が異
なることを示している。即ち、電気粘性流体可変減衰ダ
ンパ５２は、入力される振動の周波数や振幅により制振
性能が異なる。従って、現実の機器支持装置や車両懸架
装置に適用する場合に、予想される振動の振幅や周波数
に合わせて減衰特性を設計することが著しく困難とな
る。The graph of FIG. 8 shows the case where the input amplitude is 2 mm, which is ten times that of FIG. In Figure 8, the amplification factor is 2
In the case of 50 or 500, since the shape is different from the corresponding curve in FIG. 7, it can be seen that the damping characteristic of the electrorheological fluid variable damping damper 52 has amplitude dependency. Next, the graph of FIG. 9 shows an equivalent damping coefficient C of the electrorheological fluid variable damping damper 52 measured by inputting sine vibration to the load 50 (amplitude 1 mm) after fixing the base leg 51 in the system of FIG. It is a plot. Since the equivalent damping coefficient C changes in proportion to the frequency at any amplification factor, it is shown that the damping performance obtained varies depending on the frequency of the input vibration. That is, the vibration damping performance of the electrorheological fluid variable damping damper 52 differs depending on the frequency and amplitude of the input vibration. Therefore, when it is applied to an actual device supporting device or a vehicle suspension device, it becomes extremely difficult to design the damping characteristic in accordance with the expected amplitude or frequency of vibration.
【００１２】本発明は、前記従来技術に係るアクティブ
若しくはセミアクティブ除振システムの問題点を解決す
るためになされたものであり、電気粘性流体可変減衰ダ
ンパを制動力を可変できる一種のアクチュエータとして
用い、除振しようとする物体の速度信号を平方根関数を
介してフィードバックして制動力を変化させ、もって広
範な周波数領域及び振幅領域に対して一様かつ高水準な
除振性能を発揮する除振装置を提供することを目的とす
る。The present invention has been made in order to solve the problems of the active or semi-active vibration isolation system according to the prior art, and uses an electrorheological fluid variable damping damper as a kind of actuator capable of varying the braking force. , The vibration signal of the object to be isolated is fed back through the square root function to change the braking force, and thus the uniform and high level isolation performance is exhibited over a wide frequency range and amplitude range. The purpose is to provide a device.
【００１３】[0013]
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に本発明は、内部に作動流体を満たしたシリンダと、シ
リンダ内に摺動可能に設けられるとともにシリンダ内部
を２つの作用室に区画するピストンと、シリンダ内部の
２つの作用室を連通する流体流路と、ピストンと連結さ
れた負荷支持部とを有する除振装置であって、前記作動
流体が電気粘性流体であり、前記流体流路を挟持する位
置に設けられ、流体流路内の電気粘性流体に電場を印加
する電極群と、前記シリンダと前記負荷支持部との振動
を速度信号として検知する振動センサと、前記振動セン
サが検知した負荷支持部の速度信号の絶対値の平方根を
演算する平方根演算手段と、前記平方根演算手段の算出
値に比例する電圧を前記電極群に印加する電圧印加手段
とを有することを特徴とする電気粘性流体アクティブダ
ンパを用いた除振装置とされる。In order to achieve the above object, the present invention provides a cylinder having a working fluid filled therein, and a slidable inside of the cylinder which divides the inside of the cylinder into two working chambers. A vibration isolator having a piston, a fluid flow passage communicating between two working chambers inside a cylinder, and a load support connected to the piston, wherein the working fluid is an electrorheological fluid. An electrode group that is provided at a position for sandwiching the electrode and applies an electric field to the electrorheological fluid in the fluid flow path, a vibration sensor that detects the vibration of the cylinder and the load support section as a speed signal, and the vibration sensor detects A square root calculating means for calculating the square root of the absolute value of the speed signal of the load supporting portion, and a voltage applying means for applying a voltage proportional to the calculated value of the square root calculating means to the electrode group. It is anti-vibration apparatus using electrorheological fluid active damper to symptoms.
【００１４】[0014]
【作用】前記構成を有する本発明の電気粘性流体アクテ
ィブダンパを用いた除振装置では、負荷支持部に印加さ
れた外力によりピストンがシリンダ内で摺動すると、そ
の動きに伴い２つの作用室の一方の容積が減少し、他方
の作用室の容積が増加する。このため流体流路を経由し
て２つの作用室間で電気粘性流体の流れが発生する。こ
のときの抵抗により、ダンパの制動力を生ずる。そし
て、流体流路を挟持する位置に設けられた電極群に電圧
を印加すると、流体流路内の電気粘性流体に電場が印加
される。このため電気粘性流体の粘性変化に伴いダンパ
の制動力も変化する。ここで平方根演算手段が、負荷支
持部に設けられた振動センサの速度信号の絶対値の平方
根を演算する。そして、電圧印加手段が、平方根演算手
段の算出値に比例する電圧を電極群に印加する。In the vibration isolator using the electrorheological fluid active damper of the present invention having the above-mentioned structure, when the piston slides in the cylinder by the external force applied to the load supporting portion, the two action chambers are moved by the movement of the piston. The volume of one decreases and the volume of the other working chamber increases. Therefore, a flow of the electrorheological fluid is generated between the two working chambers via the fluid flow path. The resistance at this time causes a braking force of the damper. Then, when a voltage is applied to the electrode group provided at the position sandwiching the fluid channel, an electric field is applied to the electrorheological fluid in the fluid channel. Therefore, the braking force of the damper changes as the viscosity of the electrorheological fluid changes. Here, the square root calculating means calculates the square root of the absolute value of the speed signal of the vibration sensor provided in the load supporting portion. Then, the voltage applying means applies a voltage proportional to the calculated value of the square root calculating means to the electrode group.
【００１５】[0015]
【実施例】以下、本発明の電気粘性流体アクティブダン
パを用いた除振装置を具現化した一実施例を図面を参照
しつつ説明する。図１に本実施例の電気粘性流体アクテ
ィブダンパを用いた除振装置の構成を断面図により示
す。図１の除振装置は、シリンダ１と、シリンダ１から
突出するピストンロッド６とにより外観をなす電気粘性
流体アクティブダンパ８を中心に、このシリンダ１を基
台たる除振脚メンバ９にボルト止めし、ピストンロッド
６の可動端２０に設けられた支持板１１を除振テーブル
１２にボルト止めして成るものである。そして、除振脚
メンバ９と支持板１１との間にはコイルスプリング１０
が挟持されている。また、除振脚メンバ９と除振テーブ
ル１２とにはそれぞれ、振動センサ１４、１５が設けら
れている。振動センサ１４、１５の出力信号は、後述す
る制御部Ｇに速度信号として入力される。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of a vibration isolator using an electrorheological fluid active damper of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a sectional view showing the structure of a vibration isolator using the electrorheological fluid active damper of this embodiment. The vibration isolator of FIG. 1 has a cylinder 1 and a piston rod 6 protruding from the cylinder 1 around which an electrorheological fluid active damper 8 is formed, and is bolted to a vibration isolation leg member 9 which is the base of the cylinder 1. The support plate 11 provided on the movable end 20 of the piston rod 6 is bolted to the vibration isolation table 12. A coil spring 10 is provided between the vibration isolation leg member 9 and the support plate 11.
Are pinched. The vibration isolation leg member 9 and the vibration isolation table 12 are provided with vibration sensors 14 and 15, respectively. The output signals of the vibration sensors 14 and 15 are input to the control unit G described later as a speed signal.
【００１６】電気粘性流体アクティブダンパ８について
更に説明する。電気粘性流体アクティブダンパ８の中空
筒状のシリンダ１の内面には、外電極２が設けられてい
る。そして、外電極２との間に所定の間隙７をもって内
電極３が保持されている。外電極２、内電極３は共に円
筒形状である。内電極３は、図２に示すＡ−Ａ断面図に
見るように、絶縁性リブ４を介して固定して保持されて
いる。内電極３の内面には、主ピストン５が摺動可能に
嵌装されている。主ピストン５によりシリンダ１の内部
は、上室１８と下室１９とに２分されている。主ピスト
ン５にはピストンロッド６が固設され、ピストンロッド
６はシリンダ１の上面中央に設けられた孔より電気粘性
流体アクティブダンパ８の外部に突出している。ピスト
ンロッド６とシリンダ１の上面の孔とは、摺動可能にか
つ気密に嵌装されている。The electrorheological fluid active damper 8 will be further described. The outer electrode 2 is provided on the inner surface of the hollow cylindrical cylinder 1 of the electrorheological fluid active damper 8. The inner electrode 3 is held with a predetermined gap 7 between it and the outer electrode 2. Both the outer electrode 2 and the inner electrode 3 have a cylindrical shape. The inner electrode 3 is fixedly held via an insulating rib 4 as seen in the AA cross-sectional view shown in FIG. A main piston 5 is slidably fitted on the inner surface of the inner electrode 3. The main piston 5 divides the inside of the cylinder 1 into an upper chamber 18 and a lower chamber 19. A piston rod 6 is fixed to the main piston 5, and the piston rod 6 projects to the outside of the electrorheological fluid active damper 8 from a hole provided in the center of the upper surface of the cylinder 1. The piston rod 6 and the hole on the upper surface of the cylinder 1 are slidably and airtightly fitted.
【００１７】上室１８と下室１９とには、後述する電気
粘性流体ＥＲＦが充填されている。主ピストン５が上下
動すると、上室１８と下室１９との容積が共に変化する
ので、電気粘性流体ＥＲＦは、外電極２と内電極３との
間の間隙７を通って上室１８と下室１９との間を行き来
する。かかる流体の流路抵抗により、電気粘性流体アク
ティブダンパ８は、除振脚メンバ９と除振テーブル１２
との間の振動を減衰させる作用を奏する。ピストンロッ
ド６の上端には球形に形成された可動端２０が設けられ
ている。可動端２０と支持板１１とが球面接触すること
により、ピストンロッド６が常にシリンダ１の軸方向に
平行に保たれつつ、ピストンロッド６と支持板１１との
相互角度が変化し得るようになっている。The upper chamber 18 and the lower chamber 19 are filled with an electrorheological fluid ERF described later. When the main piston 5 moves up and down, the volumes of the upper chamber 18 and the lower chamber 19 both change, so that the electrorheological fluid ERF passes through the gap 7 between the outer electrode 2 and the inner electrode 3 to the upper chamber 18. It goes back and forth between the lower chamber 19. Due to the flow path resistance of the fluid, the electrorheological fluid active damper 8 is connected to the vibration isolation leg member 9 and the vibration isolation table 12.
It acts to damp the vibration between and. A movable end 20 formed in a spherical shape is provided on the upper end of the piston rod 6. By the spherical contact between the movable end 20 and the support plate 11, the mutual angle between the piston rod 6 and the support plate 11 can be changed while the piston rod 6 is always kept parallel to the axial direction of the cylinder 1. ing.
【００１８】シリンダ１の内部の下室１９の下方には、
緩衝ピストン２１が摺動可能に嵌装されている。緩衝ピ
ストン２１の下部は空気室２２となっており、緩衝ピス
トン２１はバネ２３により上方に付勢されている。主ピ
ストン５の上下動に伴いピストンロッド６がシリンダ１
の内部に占める体積が変化するので、上室１８と下室１
９との合計容積が変化するのを、緩衝ピストン２１の上
下動により吸収するためである。Below the lower chamber 19 inside the cylinder 1,
The buffer piston 21 is slidably fitted. The lower part of the buffer piston 21 is an air chamber 22, and the buffer piston 21 is biased upward by a spring 23. As the main piston 5 moves up and down, the piston rod 6 moves into the cylinder 1.
Since the volume occupied inside the chamber changes, the upper chamber 18 and the lower chamber 1
This is because the change in the total volume with 9 is absorbed by the vertical movement of the buffer piston 21.
【００１９】ここで、上室１８と下室１９とに充填され
る電気粘性流体ＥＲＦについて説明する。電気粘性流体
ＥＲＦは、シリコンオイル等の非圧縮性流体を基液と
し、これに微粒子を分散懸濁させたものである。基液中
に分散懸濁された微粒子は、表面分極作用により一定の
表面電位を形成し、電場中では荷電粒子のごとく振舞
う。このため電気粘性流体ＥＲＦは、電場がかかってい
ない状態では基液の粘度を有する流体として振舞うが、
電場が印加されると電場と微粒子との相互作用により見
かけの粘度が顕著に変化するものである。かかる粘度変
化は、数ミリ秒程度の時間的オーダーで印加電場の変化
に可逆的に追随できる。尚、電気粘性流体ＥＲＦに電場
を印加するために必要な消費電力は、数Ｗａｔｔ程度で
済む。電流を流す必要がないからである。Here, the electrorheological fluid ERF filled in the upper chamber 18 and the lower chamber 19 will be described. The electrorheological fluid ERF is obtained by dispersing and suspending fine particles in a non-compressible fluid such as silicone oil as a base liquid. The fine particles dispersed and suspended in the base liquid form a constant surface potential due to the surface polarization action, and behave like charged particles in the electric field. Therefore, the electrorheological fluid ERF behaves as a fluid having the viscosity of the base liquid in a state where no electric field is applied,
When an electric field is applied, the apparent viscosity significantly changes due to the interaction between the electric field and the fine particles. Such a change in viscosity can reversibly follow the change in the applied electric field on the order of several milliseconds. The power consumption required to apply the electric field to the electrorheological fluid ERF is about several Watts. This is because it is not necessary to pass an electric current.
【００２０】従って本実施例の電気粘性流体アクティブ
ダンパ８は、外電極２と内電極３との間に電圧を印加す
ることにより、電極間の間隙７に存在する電気粘性流体
ＥＲＦに電場が印加されその部分での粘度が変化し、こ
れにより上室１８と下室１９との間の流路抵抗が変化し
て制動力を変化させるものである。本実施例では、基液
として粘度２０ｃＳｔのシリコンオイルを用い、分散粒
子として強酸性イオン交換樹脂アンバーライトＩＲ−１
２４を乾燥後ジェットミルで粉砕して平均粒子径５μ
ｍ、含水率２重量％の粒子としたものを用いている。む
ろん、基液、分散粒子とも、当該目的に適したものであ
れば他のものを用いてもよい。Therefore, the electrorheological fluid active damper 8 of this embodiment applies an electric field to the electrorheological fluid ERF existing in the gap 7 between the electrodes by applying a voltage between the outer electrode 2 and the inner electrode 3. Then, the viscosity in that portion changes, which changes the flow path resistance between the upper chamber 18 and the lower chamber 19 to change the braking force. In this example, silicone oil having a viscosity of 20 cSt was used as the base liquid, and strongly acidic ion exchange resin Amberlite IR-1 was used as the dispersed particles.
24 was dried and then pulverized with a jet mill to obtain an average particle size of 5μ.
m and water content of 2% by weight are used. Of course, as the base liquid and the dispersed particles, other ones may be used as long as they are suitable for the purpose.
【００２１】次に、制御部Ｇについて説明する。制御部
Ｇは、振動センサ１４、１５から振動状況に関する速度
信号を受け、外電極２と内電極３との間に印加する電圧
を決定し、電気粘性流体アクティブダンパ８に振動状況
に応じた適切な制動力を発揮させるように制御するもの
である。制御部Ｇは、コントローラ２６と演算処理部１
３と高電圧増幅器１７とを有している。かかる制御部Ｇ
のコントローラ２６と演算手段１３とは、公知のＣＰ
Ｕ、ＲＯＭ、ＲＡＭにより構成されている。振動センサ
１４、１５からコントローラ２６に入力された速度信号
は、演算処理部１３において後述するように絶対値演算
され更に平方根演算される。そして高電圧増幅器１７
は、演算処理部１３の出力値に比例する電圧を外電極２
と内電極３との間に印加する。Next, the control unit G will be described. The control unit G receives a speed signal relating to the vibration condition from the vibration sensors 14 and 15, determines the voltage applied between the outer electrode 2 and the inner electrode 3, and appropriately controls the electrorheological fluid active damper 8 according to the vibration condition. The control is performed so as to exert a great braking force. The control unit G includes the controller 26 and the arithmetic processing unit 1.
3 and a high voltage amplifier 17. Such control unit G
The controller 26 and the calculation means 13 of
It is composed of U, ROM, and RAM. The speed signals input from the vibration sensors 14 and 15 to the controller 26 are subjected to absolute value calculation and square root calculation as will be described later in the calculation processing unit 13. And high voltage amplifier 17
Is a voltage proportional to the output value of the arithmetic processing unit 13
And the inner electrode 3 are applied.
【００２２】次に、上記構成を有する電気粘性流体アク
ティブダンパ８の作用を説明する。まず、制御部Ｇを除
いた部分の機械的作用を説明する。電気粘性流体アクテ
ィブダンパ８において、除振脚メンバ９と除振テーブル
１２との間に振動が加えられると、その振動はピストン
ロッド６を介して主ピストン５に伝達される。このため
主ピストン５は、シリンダ１に対して上下方向に往復摺
動運動する。Next, the operation of the electrorheological fluid active damper 8 having the above structure will be described. First, the mechanical action of the portion excluding the control unit G will be described. In the electrorheological fluid active damper 8, when vibration is applied between the vibration isolation leg member 9 and the vibration isolation table 12, the vibration is transmitted to the main piston 5 via the piston rod 6. Therefore, the main piston 5 reciprocally slides in the vertical direction with respect to the cylinder 1.
【００２３】主ピストン５が下方に動くときには、下室
１９の溶積が減少し上室１８の溶積が増加する。このた
め、下室１９に充填されていた電気粘性流体ＥＲＦは、
外電極２と内電極３との間の間隙７を経由して上室１８
に流入する。ここで、外電極２、内電極３の間隙７が狭
いこと、電気粘性流体ＥＲＦの基液であるシリコンオイ
ルの粘度が高いことから流れに対して抵抗があり、主ピ
ストン５の動きを妨げようとする。このとき、主ピスト
ン５の動きとともにピストンロッド６がシリンダ１内に
占める体積が増加するので、緩衝ピストン２１がバネ２
３の付勢に抗して下方に移動して空気室２２の容積を減
少させることによりこれを調整する。When the main piston 5 moves downward, the molten volume of the lower chamber 19 decreases and the molten volume of the upper chamber 18 increases. Therefore, the electrorheological fluid ERF filled in the lower chamber 19 is
The upper chamber 18 is passed through the gap 7 between the outer electrode 2 and the inner electrode 3.
Flow into. Here, since the gap 7 between the outer electrode 2 and the inner electrode 3 is narrow, and the viscosity of the silicone oil that is the base liquid of the electrorheological fluid ERF is high, there is resistance to the flow and the movement of the main piston 5 is impeded. And At this time, the volume occupied by the piston rod 6 in the cylinder 1 increases with the movement of the main piston 5, so that the buffer piston 21 moves toward the spring 2.
This is adjusted by moving downwards against the bias of 3 to reduce the volume of the air chamber 22.
【００２４】主ピストン５が上方に動くときには、上室
１８の溶積が減少し下室１９の溶積が増加する。このた
め、上室１８に充填されていた電気粘性流体ＥＲＦは、
外電極２と内電極３との間の間隙７を経由して下室１９
に流入する。ここで、前記と同様に流れに対して抵抗が
あることから、主ピストン５の動きを妨げようとする。
このとき、主ピストン５の動きとともにピストンロッド
６がシリンダ１内に占める体積が減少するので、緩衝ピ
ストン２１がバネ２３の付勢により上方に移動して空気
室２２の容積を増加させることによりこれを調整する。
かくして、電気粘性流体アクティブダンパ８では主ピス
トン５の上下方向いずれの動きも抑制され、振動に対し
て制動力Ｆが働く。When the main piston 5 moves upward, the molten volume in the upper chamber 18 decreases and the molten volume in the lower chamber 19 increases. Therefore, the electrorheological fluid ERF filled in the upper chamber 18 is
Through the gap 7 between the outer electrode 2 and the inner electrode 3, the lower chamber 19
Flow into. Here, as with the above, there is resistance to the flow, so that the movement of the main piston 5 is tried to be impeded.
At this time, since the volume occupied by the piston rod 6 in the cylinder 1 decreases with the movement of the main piston 5, the buffer piston 21 moves upward due to the urging force of the spring 23 to increase the volume of the air chamber 22. Adjust.
Thus, the electrorheological fluid active damper 8 suppresses any movement of the main piston 5 in the vertical direction, and the braking force F acts on the vibration.
【００２５】次に、制御部Ｇによる制御作用を説明す
る。制御部Ｇは、高電圧増幅器１７により外電極２と内
電極３との間に電圧を印加して、電極間の間隙７におけ
る電気粘性流体ＥＲＦの粘度を変化させ、電気粘性流体
アクティブダンパ８の制動力を制御するものである。こ
の種のダンパにおける制動力Ｆは、一般に次式で表され
る。 Ｆ ＝ ＡＸ＋ＢＶ2 （１） ここで、Ｘは主ピストン５の速度、Ｖは外電極２と内電
極３との間の印加電圧を示す。また、Ａ、Ｂは比例定数
である。即ち、制動力Ｆは、ピストン速度Ｘに比例する
成分と、印加電圧Ｖの２乗に比例する成分とからなる。Next, the control operation of the control section G will be described. The control unit G applies a voltage between the outer electrode 2 and the inner electrode 3 by the high voltage amplifier 17 to change the viscosity of the electrorheological fluid ERF in the gap 7 between the electrodes, so that the electrorheological fluid active damper 8 is controlled. It controls the braking force. The braking force F in this type of damper is generally expressed by the following equation. F = AX + BV 2 (1) Here, X represents the speed of the main piston 5, and V represents the applied voltage between the outer electrode 2 and the inner electrode 3. A and B are constants of proportionality. That is, the braking force F is composed of a component proportional to the piston speed X and a component proportional to the square of the applied voltage V.
【００２６】この関係を図６のグラフに示す。図６のグ
ラフは、横軸にピストン速度Ｘ、縦軸に制動力Ｆをとっ
たものである。印加電圧Ｖが０であるときには、ピスト
ン速度Ｘと制動力Ｆとは比例している。電圧Ｖを印加す
ると、両者の関係を平行に維持しつつ制動力Ｆが増加す
る。制動力Ｆのうち印加電圧Ｖに依存する成分（ＢＶ
2 ）を、ピストン速度Ｘに比例して可変させると、制動
力Ｆ全体を線形化することができる。成分（ＢＶ2 ）が
印加電圧Ｖの２乗に比例することから、振動センサ１
４、１５からのフィードバック信号に平方根演算を施し
て印加電圧Ｖを決定することにより、制御系の線形化が
実現され、振動振幅、振動周波数等に依存せず除振性能
を向上させることができる。This relationship is shown in the graph of FIG. In the graph of FIG. 6, the horizontal axis represents the piston speed X and the vertical axis represents the braking force F. When the applied voltage V is 0, the piston speed X and the braking force F are proportional. When the voltage V is applied, the braking force F increases while maintaining the relationship between them in parallel. A component of the braking force F that depends on the applied voltage V (BV
By varying 2 ) in proportion to the piston speed X, the entire braking force F can be linearized. Since the component (BV 2 ) is proportional to the square of the applied voltage V, the vibration sensor 1
By performing a square root operation on the feedback signals from 4 and 15 to determine the applied voltage V, linearization of the control system is realized, and the vibration isolation performance can be improved without depending on the vibration amplitude, the vibration frequency, or the like. .
【００２７】このため制御部Ｇでは、コントローラ２６
が振動センサ１４、１５から受信した速度信号につい
て、演算処理部１３が平方根演算を行う。ここで、平方
根演算をするためには演算前の値が正である必要がある
ので、演算処理部１３は絶対値演算をしてから平方根演
算を行う。演算処理部１３の平方根演算後の出力信号は
高電圧増幅器１７により増幅されて、外電極２と内電極
３とに印加される。かくして、制御部Ｇにより電気粘性
流体アクティブダンパ８の線形な制御がなされるもので
ある。Therefore, in the control section G, the controller 26
The arithmetic processing unit 13 performs a square root operation on the velocity signals received from the vibration sensors 14 and 15. Here, since the value before the calculation needs to be positive in order to perform the square root calculation, the calculation processing unit 13 performs the absolute value calculation and then the square root calculation. The output signal after the square root calculation of the arithmetic processing unit 13 is amplified by the high voltage amplifier 17 and applied to the outer electrode 2 and the inner electrode 3. Thus, the control section G linearly controls the electrorheological fluid active damper 8.
【００２８】かかる電気粘性流体アクティブダンパ８の
除振脚メンバ９に正弦振動を入力したときの制振特性を
図３、図４のグラフに示す。図３、４のグラフは、横軸
に入力周波数を、縦軸に伝達率Ｔをとったものである。
ここで横軸は、入力周波数ωを共振周波数ω0 で除した
比周波数ω／ω0 の値で示している。共振周波数ω
0は、コイルスプリング１０のバネ定数と負荷の質量と
により定まる。伝達率Ｔは、除振脚メンバ９への入力振
幅と出力振幅との比である。伝達率Ｔが低いほど除振能
力が高いことを示す。The vibration damping characteristics when sinusoidal vibration is input to the vibration isolation leg member 9 of the electrorheological fluid active damper 8 are shown in the graphs of FIGS. In the graphs of FIGS. 3 and 4, the horizontal axis represents the input frequency and the vertical axis represents the transmissibility T.
Here, the horizontal axis represents the value of the specific frequency ω / ω 0 obtained by dividing the input frequency ω by the resonance frequency ω 0 . Resonance frequency ω
0 is determined by the spring constant of the coil spring 10 and the mass of the load. The transmissibility T is the ratio of the input amplitude to the vibration isolation leg member 9 and the output amplitude. The lower the transmissibility T, the higher the vibration isolation capability.
【００２９】図３のグラフは、入力振幅が０．２ｍｍで
ある場合を示している。まず、高電圧増幅器１７におけ
る増幅率が０である場合、即ち外電極２と内電極３とに
電圧を印加しない場合について考察する。この場合は前
記（１）式におけるＢＶ2 項の寄与がないため通常のオ
イルダンパと変わりなく、横軸が１のときに高い伝達率
を示している。共振状態にあるからである。また、比周
波数ω／ω0 が高くなると伝達率が低下するのは、入力
周波数ωが大きいときには前記（１）式におけるピスト
ンスピードＸが大きく、制動力Ｆがその分大きいからで
ある。そして、外電極２と内電極３とに電圧を印加し、
高電圧増幅器１７における増幅率を２５０、５００、７
５０と増加して前記（１）式におけるＢＶ2 項の寄与を
大きくすると、共振周波数域においても伝達率Ｔが低下
し除振能力が高くなる。特に、増幅率７５０の場合に
は、伝達率Ｔは比周波数ω／ω0 に対してほぼ直線的に
変化しており、制振特性が優れていることを示す。The graph of FIG. 3 shows the case where the input amplitude is 0.2 mm. First, the case where the amplification factor in the high voltage amplifier 17 is 0, that is, the case where no voltage is applied to the outer electrode 2 and the inner electrode 3 will be considered. In this case, since there is no contribution of the BV 2 term in the equation (1), it is the same as an ordinary oil damper, and a high transmissibility is shown when the horizontal axis is 1. This is because they are in resonance. Further, the reason why the transmissibility decreases when the specific frequency ω / ω 0 increases is that the piston speed X in the equation (1) is large and the braking force F is correspondingly large when the input frequency ω is large. Then, a voltage is applied to the outer electrode 2 and the inner electrode 3,
The amplification factor in the high voltage amplifier 17 is 250, 500, 7
If the contribution of the BV 2 term in the equation (1) is increased by increasing the value to 50, the transmissibility T is reduced even in the resonance frequency range, and the vibration isolation capability is increased. Particularly, in the case of the amplification factor 750, the transmissibility T changes almost linearly with respect to the specific frequency ω / ω 0 , which shows that the damping characteristic is excellent.
【００３０】図４のグラフは、入力振幅を図３の１０倍
の２ｍｍとした場合を示している。増幅率が０、２５
０、５００、７５０のいずれの場合も、図３における相
当するカーブとほとんど同じ形状であることから、電気
粘性流体アクティブダンパ８の制振特性に振幅依存性が
ないことが理解できる。次に図５のグラフは、除振脚メ
ンバ９を固定した上で除振テーブル１２に正弦振動を入
力（振幅１ｍｍ）して測定した、電気粘性流体アクティ
ブダンパ８の等価減衰係数Ｃをプロットしたものであ
る。いずれの増幅率においても等価減衰係数Ｃは周波数
によらず一定であるため、入力振動の周波数により得ら
れる制振性能が変化しないことを示している。即ち、電
気粘性流体アクティブダンパ８を用いた除振装置は、高
電圧増幅器１７における増幅率を適宜設定することによ
り、周波数に対しても振幅に対しても線形な制振特性を
得ることができるものである。The graph of FIG. 4 shows the case where the input amplitude is 2 mm, which is ten times that of FIG. Amplification factor is 0, 25
In all cases of 0, 500, and 750, since the curve has almost the same shape as the corresponding curve in FIG. 3, it can be understood that the damping characteristic of the electrorheological fluid active damper 8 has no amplitude dependence. Next, the graph of FIG. 5 plots the equivalent damping coefficient C of the electrorheological fluid active damper 8 measured by fixing the vibration damping leg member 9 and inputting sine vibration to the vibration damping table 12 (amplitude 1 mm). It is a thing. Since the equivalent damping coefficient C is constant regardless of the frequency at any amplification factor, it is shown that the damping performance obtained by the frequency of the input vibration does not change. That is, the vibration isolation device using the electrorheological fluid active damper 8 can obtain a vibration damping characteristic that is linear with respect to both frequency and amplitude by appropriately setting the amplification factor in the high voltage amplifier 17. It is a thing.
【００３１】以上詳細に説明したように、本実施例に係
る電気粘性流体アクティブダンパ８を用いた除振装置で
は、除振脚メンバ９と除振テーブル１２との間に振動が
加えられると、振動センサ１４、１５により検知され速
度信号として制御部Ｇに入力される。制御部Ｇではこの
信号の絶対値の平方根を演算してこれに比例する電圧を
外電極２と内電極３とに印加して制動力を制御する。従
って、電気粘性流体ＥＲＦを作動流体として用いるダン
パ８の制動力特性が、周波数に対しても振幅に対しても
線形なものとなる。これにより、広範な振幅領域や周波
数領域において優れた制振性能を発揮できるものであ
る。また、ダンパ８の駆動源として高圧の空気圧や油圧
を供給する必要がなく、電極部分からの磁場の発生もな
いので、周辺装置への負担や悪影響もない。As described in detail above, in the vibration isolator using the electrorheological fluid active damper 8 according to this embodiment, when vibration is applied between the vibration isolation leg member 9 and the vibration isolation table 12, It is detected by the vibration sensors 14 and 15 and is input to the control unit G as a speed signal. The control unit G calculates the square root of the absolute value of this signal and applies a voltage proportional thereto to the outer electrode 2 and the inner electrode 3 to control the braking force. Therefore, the braking force characteristic of the damper 8 using the electrorheological fluid ERF as a working fluid becomes linear with respect to both frequency and amplitude. As a result, excellent vibration damping performance can be exhibited in a wide amplitude range and frequency range. Further, since it is not necessary to supply high-pressure air pressure or hydraulic pressure as a drive source for the damper 8 and no magnetic field is generated from the electrode portion, there is no burden or adverse effect on peripheral devices.
【００３２】尚、本発明は前記実施例に限定されるもの
ではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々
の変形、改良が可能であることはもちろんである。例え
ば前記実施例では、制御部Ｇの演算処理部１３におい
て、平方根演算を行うこととしたが、厳密な平方根演算
のかわりにテーラー展開等の級数展開手法により得られ
た平方根演算と実質的に等価な疑似関数を使用してもよ
い。The present invention is not limited to the above-mentioned embodiments, and it goes without saying that various modifications and improvements can be made without departing from the scope of the invention. For example, in the embodiment described above, the square root calculation is performed in the calculation processing unit 13 of the control unit G, but instead of the strict square root calculation, it is substantially equivalent to the square root calculation obtained by a series expansion method such as Taylor expansion. Pseudo functions may be used.
【００３３】[0033]
【発明の効果】以上説明したように、本発明の電気粘性
流体アクティブダンパを用いた除振装置においては、電
気粘性流体可変減衰ダンパを制動力を可変できる一種の
アクチュエータとして用い、除振しようとする物体の速
度信号を平方根関数を介してフィードバックして制動力
を変化させることにより、広範な周波数領域及び振幅領
域に対して一様かつ高水準な除振性能を発揮する除振装
置を実現しているものである。また、消費電力も少なく
高圧の空気圧や油圧の供給を要しないので全体を小型化
でき、磁場による周辺機器への影響もないので磁気シー
ルド対策も不要な除振装置を提供できるものである。As described above, in the vibration isolator using the electrorheological fluid active damper according to the present invention, the electrorheological fluid variable damping damper is used as a kind of actuator capable of varying the braking force in order to perform vibration isolation. The vibration signal is fed back through the square root function to change the braking force to realize a vibration isolation device that exhibits uniform and high-level vibration isolation performance over a wide frequency range and amplitude range. It is what Further, since the power consumption is small and the supply of high-pressure air pressure or hydraulic pressure is not required, the whole can be downsized, and since the magnetic field does not affect peripheral devices, it is possible to provide a vibration isolation device that does not require magnetic shield measures.
【図１】本実施例に係る電気粘性流体アクティブダンパ
を用いた除振装置の構成を説明する図である。FIG. 1 is a diagram illustrating a configuration of a vibration isolation device using an electrorheological fluid active damper according to an embodiment.
【図２】図１に示す電気粘性流体アクティブダンパの断
面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view of the electrorheological fluid active damper shown in FIG.
【図３】図１に示す電気粘性流体アクティブダンパを用
いた除振装置の振動伝達特性を示すグラフである。FIG. 3 is a graph showing vibration transfer characteristics of a vibration isolation device using the electrorheological fluid active damper shown in FIG.
【図４】図１に示す電気粘性流体アクティブダンパを用
いた除振装置の振動伝達特性を示すグラフである。FIG. 4 is a graph showing vibration transfer characteristics of a vibration isolation device using the electrorheological fluid active damper shown in FIG.
【図５】図１に示す電気粘性流体アクティブダンパを用
いた除振装置の制動力特性を示すグラフである。5 is a graph showing a braking force characteristic of a vibration isolation device using the electrorheological fluid active damper shown in FIG.
【図６】電気粘性流体アクティブダンパの発生制動力を
示すグラフである。FIG. 6 is a graph showing a braking force generated by an electrorheological fluid active damper.
【図７】従来の除振装置の振動伝達特性を示すグラフで
ある。FIG. 7 is a graph showing vibration transfer characteristics of a conventional vibration isolation device.
【図８】従来の除振装置の振動伝達特性を示すグラフで
ある。FIG. 8 is a graph showing vibration transfer characteristics of a conventional vibration isolation device.
【図９】従来の除振装置の制動力特性を示すグラフであ
る。FIG. 9 is a graph showing a braking force characteristic of a conventional vibration isolation device.
【図１０】従来の除振装置の構成を説明する図である。FIG. 10 is a diagram illustrating a configuration of a conventional vibration isolation device.
１ シリンダ ２、３ 電極群 ５ ピストン ７ 流体流路 ８ 電気粘性流体アクティブダンパ １３ 演算処理部 １４、１５ 振動センサ １７ 高電圧増幅器 １８、１９ 作用室 ＥＲＦ 電気粘性流体 Ｇ 制御部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 cylinder 2, 3 electrode group 5 piston 7 fluid flow path 8 electrorheological fluid active damper 13 arithmetic processing unit 14, 15 vibration sensor 17 high voltage amplifier 18, 19 working chamber ERF electrorheological fluid G control unit
Claims (1)
シリンダ内に摺動可能に設けられるとともにシリンダ内
部を２つの作用室に区画するピストンと、シリンダ内部
の２つの作用室を連通する流体流路と、ピストンと連結
された負荷支持部とを有する除振装置において、 前記作動流体が電気粘性流体であり、 前記流体流路を挟持する位置に設けられ、流体流路内の
電気粘性流体に電場を印加する電極群と、 前記シリンダと前記負荷支持部との振動を速度信号とし
て検知する振動センサと、 前記振動センサが検知した負荷支持部の速度信号の絶対
値の平方根を演算する平方根演算手段と、 前記平方根演算手段の算出値に比例する電圧を前記電極
群に印加する電圧印加手段とを有することを特徴とする
電気粘性流体アクティブダンパを用いた除振装置。1. A cylinder having a working fluid filled therein,
A piston that is slidably provided in the cylinder and divides the inside of the cylinder into two working chambers, a fluid flow path that connects the two working chambers inside the cylinder, and a load support portion connected to the piston. In the vibration device, the working fluid is an electrorheological fluid, the electrode group is provided at a position sandwiching the fluid channel, and applies an electric field to the electrorheological fluid in the fluid channel, the cylinder and the load support portion. A vibration sensor for detecting the vibration of the as a speed signal, a square root calculating means for calculating the square root of the absolute value of the speed signal of the load supporting portion detected by the vibration sensor, and a voltage proportional to the calculated value of the square root calculating means. A vibration isolation device using an electrorheological fluid active damper, characterized in that it has a voltage application means for applying to the electrode group.
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|---|---|---|---|
| JP6079343A JP2677515B2 (en) | 1994-03-25 | 1994-03-25 | Vibration isolation system using electrorheological fluid active damper |
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