JPH07237069A - Static pressure bearing spindle - Google Patents

Static pressure bearing spindle

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JPH07237069A
JPH07237069A JP3272594A JP3272594A JPH07237069A JP H07237069 A JPH07237069 A JP H07237069A JP 3272594 A JP3272594 A JP 3272594A JP 3272594 A JP3272594 A JP 3272594A JP H07237069 A JPH07237069 A JP H07237069A
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thrust
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hollow
main shaft
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芳夫 藤川
Shizuka Yamazaki
静 山▲崎▼
Naoyuki Uchiyama
尚行 内山
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Abstract

PURPOSE:To enable the coaxial disposition of a displacement sensor to a hollow spindle and heighten the detecting accuracy of displacement by thrust of the spindle. CONSTITUTION:A contactless displacement sensor 20 of hollow cylindrical shape for detecting the displacement by thrust of a spindle 2 is disposed in a position coaxial with the spindle 2 and opposed to the rear end face of the thrust plate 5 provided at the spindle 2. The tip of a push rod 12 for moving a collet chuck 9 longitudinally pierces the hollow part of the contactless displacement sensor 20 so as to be inserted into the through hole 2a of the spindle 2. The contactless displacement sensor 20 is an eddy current type sensor formed of a cylindrical sensor core 20a formed of insulating material such as synthetic resin material, and a coil 20b formed of conductive material and mounted to the outer diameter of the sensor core 20a.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、自動工具交換機構付き
スピンドル等の中空主軸を備えたスピンドルにおいて、
この中空主軸のスラスト力による変位を検出するための
手段に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a spindle having a hollow main shaft such as a spindle with an automatic tool changing mechanism,
The present invention relates to means for detecting a displacement of the hollow main shaft due to a thrust force.

【0002】[0002]

【従来の技術】小径の穴加工では、工具の径が小さいた
め加工時に折損しやすいという問題がある。このため、
従来から、加工状態を常時監視することにより工具の折
損を検出あるいは予知しようとする試みがなされてお
り、その一手段として、スピンドル内に変位センサを組
込み、加工反力を主軸のスラスト変位によって検出する
ものがある。特に、主軸を静圧気体軸受等で非接触支持
する場合には、軸受に起因する回転時の振動が非常に小
さいので、微小な加工反力でも主軸のスラスト変位とし
て検出することが可能である。
2. Description of the Related Art In machining a small-diameter hole, there is a problem that the diameter of the tool is small and the tool is easily broken during machining. For this reason,
Conventionally, attempts have been made to detect or predict tool breakage by constantly monitoring the machining state.As one means of this, a displacement sensor is incorporated in the spindle to detect machining reaction force by the thrust displacement of the spindle. There is something to do. In particular, when the main shaft is supported by a static pressure gas bearing in a non-contact manner, vibration during rotation due to the bearing is very small, so even a minute machining reaction force can be detected as a thrust displacement of the main shaft. .

【0003】このような主軸のスラスト変位を変位セン
サによって精度良く検出するためには、主軸の形状誤差
や振れ回りの等の影響を避けることが必要であり、その
ためには、変位を検出する変位センサは主軸と同軸に配
置するのが好ましい。
In order to detect such thrust displacement of the spindle with a displacement sensor with high accuracy, it is necessary to avoid the influence of the spindle shape error and whirling, and for that purpose, the displacement for detecting the displacement. The sensor is preferably arranged coaxially with the main axis.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ところで、NCボール
盤等に用いられるスピンドルでは、ドリル等の工具を精
度良くかつ自動的に交換することができるように、自動
工具交換機構を備えたものが多い。例えば、図9に示す
スピンドル(主軸部分のみを示している)は、主軸31
の貫通穴31aの先端(工具側)に設けたテーパ穴部3
1a1にコレットチャック32を前後動自在に装着する
と共に、貫通穴31aの後端(反工具側)からプッシュ
ロッド33の先端を挿入し、コレットチャック32をそ
の後端に連結したドローバー34を介してプッシュロッ
ド33で前後動させることにより、工具35の握持・開
放を自在に行なうものである。すなわち、プッシュロッ
ド33が圧縮エアー圧等を受けて前進すると、ドローバ
ー34を介してコレットチャック32が前方へ押し出さ
れ、工具35が開放される。一方、プッシュロッド33
が後退すると、コレットチャック32が弾性体36の弾
性力によってドローバー34を介して後方に引き込ま
れ、工具35が握持される。
By the way, many spindles used in NC drilling machines and the like are provided with an automatic tool changing mechanism so that tools such as drills can be changed accurately and automatically. For example, the spindle shown in FIG. 9 (only the main spindle portion is shown) has a main spindle 31
Taper hole 3 provided at the tip (tool side) of the through hole 31a
The collet chuck 32 is attached to 1a1 so as to be movable back and forth, the tip of the push rod 33 is inserted from the rear end (counter tool side) of the through hole 31a, and the collet chuck 32 is pushed through the draw bar 34 connected to the rear end. By moving the rod 33 back and forth, the tool 35 can be held and released freely. That is, when the push rod 33 is moved forward by receiving compressed air pressure or the like, the collet chuck 32 is pushed forward through the draw bar 34 and the tool 35 is opened. On the other hand, the push rod 33
When is retracted, the collet chuck 32 is pulled backward by the elastic force of the elastic body 36 via the draw bar 34, and the tool 35 is gripped.

【0005】上記のような自動工具交換機構を備えたス
ピンドルにおいては、主軸の貫通穴内に配置された部材
(図9ではドローバー34)に反工具側(後方)から押
圧力を付与するための押圧手段(図9ではプッシュロッ
ド33であるが、圧縮エアー等を用いる場合もある)を
主軸の後方に同軸配置することが必須である。したがっ
て、このようなスピンドルでは、通常使用される変位セ
ンサでは主軸との同軸配置が不可能であり、そのため、
主軸のスラスト変位を精度良く検出することができなか
った。
In the spindle having the automatic tool changing mechanism as described above, a pressing force is applied to the member (draw bar 34 in FIG. 9) arranged in the through hole of the main shaft from the side opposite to the tool (rear side). It is essential that the means (the push rod 33 in FIG. 9, but compressed air or the like may be used) is coaxially arranged behind the main shaft. Therefore, in such a spindle, a commonly used displacement sensor cannot be coaxially arranged with the spindle, and therefore,
The thrust displacement of the spindle could not be detected accurately.

【0006】そこで、本発明は、上記のような中空主軸
を有するスピンドルにおいて、変位センサの主軸との同
軸配置を可能にし、主軸のスラスト力による変位の検出
精度を高めることをその目的とするものである。
Therefore, an object of the present invention is to enable the spindle having the hollow main shaft as described above to be coaxially arranged with the main shaft of the displacement sensor and to improve the detection accuracy of the displacement due to the thrust force of the main shaft. Is.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明の静圧軸受スピン
ドルは、ハウジングに静圧流体軸受でラジアル方向およ
びスラスト方向に非接触支持された中空主軸と、この中
空主軸のスラスト力による変位を検出するための非接触
変位センサとを備えたものであって、非接触変位センサ
を中空円筒状とし、これを中空主軸と同軸に、かつ、中
空主軸における検出のターゲットとする部位に対向させ
て配置したものである。
SUMMARY OF THE INVENTION A hydrostatic bearing spindle of the present invention detects a hollow main shaft supported by a hydrostatic bearing in a housing in a radial direction and a thrust direction in a non-contact manner, and a displacement of the hollow main shaft due to a thrust force. And a non-contact displacement sensor for making a non-contact displacement sensor in the shape of a hollow cylinder, which is arranged coaxially with the hollow main shaft and opposite to the part of the hollow main shaft that is the target of detection. It was done.

【0008】非接触変位センサとして、絶縁材料で形成
された中空円筒状のセンサコアと、導電材料で形成さ
れ、このセンサコアの外径に装着されたコイルとからな
る渦電流型のものを用いることができる。
As the non-contact displacement sensor, an eddy current type sensor having a hollow cylindrical sensor core made of an insulating material and a coil made of a conductive material and attached to the outer diameter of the sensor core may be used. it can.

【0009】非接触変位センサには、ダミーセンサとダ
ミーターゲットとを一体に具備させても良い。この場
合、ダミーセンサは、導電材料で形成され、上記(非接
触変位センサの)センサコアの反中空主軸側の外径に装
着されたダミーコイルを備えた渦電流型のものとし、ダ
ミーターゲットは、導電材料で形成され、上記センサコ
アの反中空主軸側の端面に装着されたものとすると良
い。
The non-contact displacement sensor may be integrally provided with a dummy sensor and a dummy target. In this case, the dummy sensor is made of an electrically conductive material, and is an eddy current type equipped with a dummy coil attached to the outer diameter of the sensor core (of the non-contact displacement sensor) on the side opposite to the hollow main shaft side, and the dummy target is It may be formed of a conductive material and mounted on the end face of the sensor core on the side opposite to the hollow main shaft.

【0010】非接触変位センサのセンサコアは、合成樹
脂材又はセラミック材で形成することができる。
The sensor core of the non-contact displacement sensor can be formed of a synthetic resin material or a ceramic material.

【0011】また、中空主軸の貫通穴の一部に設けられ
たテーパ穴部に前後動自在に装着されたコレットチャッ
クと、貫通穴内に配置され、コレットチャックに連結さ
れたドローバーと、ドローバーに反コレットチャック側
から押圧力を付与可能なプッシュロッドとを備えた静圧
軸受スピンドルにおいて、プッシュロッドをセンサコア
の内径面で前後動自在に案内する構成としても良い。
Further, a collet chuck mounted in a taper hole portion provided in a part of the through hole of the hollow main spindle so as to be movable back and forth, a draw bar arranged in the through hole and connected to the collet chuck, and a draw bar opposed to the draw bar. In a hydrostatic bearing spindle including a push rod capable of applying a pressing force from the collet chuck side, the push rod may be configured to be guided back and forth on the inner diameter surface of the sensor core.

【0012】さらに、中空主軸をハウジングに対しスラ
スト方向に非接触支持するスラスト軸受の軸受面に、こ
のスラスト軸受の絞り孔に連通し、無負荷時のスラスト
軸受隙間よりも浅い円周溝または部分円周溝を形成して
も良い。
Further, a bearing surface of a thrust bearing that supports the hollow main shaft in a non-contact manner with respect to the housing in a thrust direction is communicated with a throttle hole of the thrust bearing, and a circumferential groove or a portion shallower than a thrust bearing gap under no load is provided. A circumferential groove may be formed.

【0013】[0013]

【作用】非接触変位センサを中空円筒状のものとするこ
とにより、中空主軸の場合でも、非接触変位センサを主
軸と同軸に配置することが可能となる。したがって、主
軸の形状誤差や、振れ等が非接触変位センサの出力に影
響しなくなり、外部から加わるスラスト力による主軸の
スラスト変位を精度良く検出することができる。また、
非接触変位センサとして、絶縁材料で形成された中空円
筒状のセンサコアと、導電材料で形成され、このセンサ
コアの外径に装着されたコイルとからなる渦電流型のも
のを用いることにより、センサ部を単純なセンサコアと
コイルとで構成することができるので、コンパクトでか
つ中空状にしやすい。
By making the non-contact displacement sensor a hollow cylinder, the non-contact displacement sensor can be arranged coaxially with the main shaft even in the case of a hollow main shaft. Therefore, the shape error of the main shaft, the shake, etc. do not affect the output of the non-contact displacement sensor, and the thrust displacement of the main shaft due to the thrust force applied from the outside can be accurately detected. Also,
As the non-contact displacement sensor, an eddy current type sensor including a hollow cylindrical sensor core formed of an insulating material and a coil formed of a conductive material and attached to the outer diameter of the sensor core is used. Since it can be composed of a simple sensor core and coil, it is easy to make it compact and hollow.

【0014】一般に、渦電流型変位センサはセンサ部お
よび検出回路部の温度変化によってセンサ出力がドリフ
トする可能性があるが、非接触変位センサにダミーセン
サとダミーターゲットとを一体に具備させ、非接触変位
センサとダミーセンサとの出力差をとることにより、ド
リフトによる影響を消去することができる。
Generally, an eddy current displacement sensor may have a sensor output drift due to a temperature change in the sensor section and the detection circuit section. However, a non-contact displacement sensor is integrally provided with a dummy sensor and a dummy target. By taking the output difference between the contact displacement sensor and the dummy sensor, the influence of drift can be eliminated.

【0015】非接触変位センサのセンサコアを合成樹脂
材又はセラミック材で形成することにより、センサコア
の内径を他部材のガイド面として用いることができる。
By forming the sensor core of the non-contact displacement sensor from a synthetic resin material or a ceramic material, the inner diameter of the sensor core can be used as a guide surface for other members.

【0016】コレットチャックに連結されたドローバー
に反コレットチャック側から押圧力を付与可能なプッシ
ュロッドをセンサコアの内径面で前後動自在に案内する
構成とすることにより、構造の簡単化を図ることができ
る。
The push rod capable of applying a pressing force from the side opposite to the collet chuck is guided to the draw bar connected to the collet chuck by the inner diameter surface of the sensor core so as to be movable back and forth, thereby simplifying the structure. it can.

【0017】スラスト軸受の軸受面に絞り孔に連通した
円周溝を設けることにより、絞り孔からスラスト軸受隙
間に流入する圧縮気体の多くが円周溝に沿って流通し、
中空主軸を全周にわたって支持するので、スラスト方向
の負荷容量が無負荷時に比べ顕著に増大する。スラスト
軸受の軸受面積や円周溝の溝深さ等の条件によりエアハ
ンマの発生が予測される場合には、絞り孔ごとに独立し
た部分円周溝を設け、溝全体の容積を小さくすることに
よりこれを防止することができる。
By providing the bearing surface of the thrust bearing with the circumferential groove communicating with the throttle hole, most of the compressed gas flowing from the throttle hole into the thrust bearing gap flows along the circumferential groove,
Since the hollow main shaft is supported over the entire circumference, the load capacity in the thrust direction is significantly increased as compared to when there is no load. If air hammer is predicted to occur due to conditions such as the bearing area of the thrust bearing and the groove depth of the circumferential groove, it is necessary to reduce the volume of the entire groove by providing an independent partial circumferential groove for each throttle hole. This can be prevented.

【0018】[0018]

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に従って説明す
る。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0019】図1に示すように、ハウジング1に回転自
在に挿通された主軸2の外径面は、軸受スリーブ3およ
び軸受スリーブ4の内径面とジャーナル軸受隙間を介し
て対向し、また、主軸2の後端に設けられたスラスト板
5の端面は、軸受スリーブ4の端面およびスラスト軸受
6の軸受面とスラスト軸受隙間を介して対向している。
ハウジング1に設けられた軸受給気口7から圧縮気体
(圧縮空気等)を供給すると、この圧縮気体が、ハウジ
ング1に設けられた給気通路8を介して、軸受スリーブ
3、4およびスラスト軸受6の絞り孔3a、4aおよび
4b、6aからジャーナル軸受隙間およびスラスト軸受
隙間に流入し、主軸2をハウジング1に対しラジアル方
向およびスラスト方向に非接触支持する。ジャーナル軸
受隙間およびスラスト軸受隙間から流出する軸受排気
は、ハウジング1に設けられた排気通路(図示省略)を
介してスピンドル外部に排出される。
As shown in FIG. 1, the outer diameter surface of the main shaft 2 rotatably inserted in the housing 1 opposes the inner diameter surfaces of the bearing sleeves 3 and 4 through the journal bearing gap, and the main shaft 2 The end surface of the thrust plate 5 provided at the rear end of the bearing 2 faces the end surface of the bearing sleeve 4 and the bearing surface of the thrust bearing 6 via a thrust bearing gap.
When compressed gas (compressed air or the like) is supplied from the bearing air supply port 7 provided in the housing 1, the compressed gas passes through the air supply passage 8 provided in the housing 1 and the bearing sleeves 3 and 4 and the thrust bearing. From the throttle holes 3a, 4a and 4b, 6a of No. 6 into the journal bearing gap and the thrust bearing gap, the main shaft 2 is supported with respect to the housing 1 in the radial direction and the thrust direction in a non-contact manner. The bearing exhaust flowing out from the journal bearing gap and the thrust bearing gap is discharged to the outside of the spindle via an exhaust passage (not shown) provided in the housing 1.

【0020】主軸2は、その軸中心に貫通穴2aを備え
た中空状のものである。貫通穴2aの先端部はテーパ穴
部2a1で、このテーパ穴部2a1の内径にコレットチ
ャック9が前後動自在に装着されている。コレットチャ
ック9の先端部は軸線に沿った複数のスリット(図示省
略)によって複数部分に分割されており、また、その外
径面はテーパ穴部2a1の内径面に適合したテーパ面9
aになっている。そのため、コレットチャック9は後方
に引き込まれるとテーパ穴部2a1の内径面から圧迫さ
れてその先端部が縮径し、テーパ穴部2a1に沿って前
方に押し出されるとその先端部が拡径する。コレットチ
ャック9は、常時は、その後端に連結されたドローバー
10を介して皿バネ等の弾性体11の弾性力によって後
方に付勢され、テーパ穴2a1部内に引き込んでいる。
The main shaft 2 is hollow and has a through hole 2a at the center thereof. The tip of the through hole 2a is a tapered hole portion 2a1, and the collet chuck 9 is attached to the inner diameter of the tapered hole portion 2a1 so as to be movable back and forth. The tip of the collet chuck 9 is divided into a plurality of parts by a plurality of slits (not shown) along the axis, and its outer diameter surface is a tapered surface 9 that matches the inner diameter surface of the tapered hole 2a1.
It is a. Therefore, when the collet chuck 9 is pulled rearward, the collet chuck 9 is pressed from the inner diameter surface of the tapered hole 2a1 and its tip portion is reduced in diameter, and when it is pushed forward along the tapered hole portion 2a1, its tip portion is enlarged. The collet chuck 9 is normally urged rearward by the elastic force of an elastic body 11 such as a disc spring via a draw bar 10 connected to the rear end thereof, and is drawn into the tapered hole 2a1 portion.

【0021】主軸2の貫通穴2aの後端は開口してお
り、この開口を貫通してプッシュロッド12の先端部が
貫通穴2a内に入り込んでいる。プッシュロッド12
は、常時は、圧縮バネ13の弾性力によって後方に付勢
され、その先端がドローバー10の後端と接触しない位
置に保持されている。ハウジング1の後端に設けられた
給気口14から圧縮気体を供給すると、プッシュロッド
12が圧縮バネ13の弾性力に抗して前進してドローバ
ー10の後端に当接し、さらに、圧縮バネ13および弾
性体11の弾性力に抗して前進することにより、ドロー
バー10を介してコレットチャック9を前方へ押し出
す。これにより、コレットチャック9が拡径し、これに
握持された工具15が開放されて着脱可能となる。給気
口14からの圧縮気体の供給を止めると、プッシュロッ
ド12は圧縮バネ13の弾性力によってドローバー10
と接触しない位置まで後退する。そして、コレットチャ
ック9が弾性体11の弾性力によってドローバー10を
介して後方に引き込まれる。これにより、コレットチャ
ック9が縮径し、工具15が握持される。
The rear end of the through hole 2a of the main shaft 2 is open, and the tip of the push rod 12 penetrates through this opening and enters the through hole 2a. Push rod 12
Is normally biased rearward by the elastic force of the compression spring 13, and is held at a position where its tip does not come into contact with the rear end of the drawbar 10. When compressed gas is supplied from the air supply port 14 provided at the rear end of the housing 1, the push rod 12 moves forward against the elastic force of the compression spring 13 to come into contact with the rear end of the drawbar 10, and the compression spring The collet chuck 9 is pushed forward through the drawbar 10 by advancing against the elastic force of the elastic body 13 and the elastic body 11. As a result, the diameter of the collet chuck 9 is expanded, and the tool 15 gripped by the collet chuck 9 is released and becomes detachable. When the supply of the compressed gas from the air supply port 14 is stopped, the push rod 12 is pushed by the elastic force of the compression spring 13 to the drawbar 10.
Retreat to a position where it does not come into contact with. Then, the collet chuck 9 is pulled rearward through the drawbar 10 by the elastic force of the elastic body 11. As a result, the collet chuck 9 is reduced in diameter and the tool 15 is gripped.

【0022】また、主軸2にはかご形のロータ16が一
体に設けられ、ハウジング1の内径にはロータ16に対
向して、ステータ17が固定されている。ステータ17
に電流を通じると主軸2が高速で回転し、これにより、
コレットチャック9、工具15、ドローバー10、弾性
体11が主軸2と一体となって高速回転する。
Further, a squirrel cage rotor 16 is integrally provided on the main shaft 2, and a stator 17 is fixed to the inner diameter of the housing 1 so as to face the rotor 16. Stator 17
Spindle 2 rotates at high speed when an electric current is applied to
The collet chuck 9, the tool 15, the draw bar 10, and the elastic body 11 rotate together at high speed with the main shaft 2.

【0023】主軸2のスラスト力による変位を検出する
中空円筒状の非接触変位センサ20は、主軸2と同軸
で、かつ、主軸2に設けられたスラスト板5の後端面と
対向する位置に配置されている。コレットチャック9を
前後動させるプッシュロッド12の先端は、非接触変位
センサ20の中空部を貫通して主軸2の貫通穴2aに挿
入される。この実施例では、非接触変位センサ20とし
て、合成樹脂材等の絶縁材料で形成された円筒状のセン
サコア20aと、導電材料で形成され、センサコア20
aの外径に装着されたコイル20bとからなる渦電流型
のものを用いている。尚、センサコア20aはハウジン
グ1にビス等で固定される。このような非接触変位セン
サ20を用いることによって、中空状の主軸2(後端か
らプッシュロッド12が挿入される)の場合でも、非接
触変位センサ20を主軸2と同軸に配置することが可能
となる。したがって、スラスト軸受6に対するスラスト
板5の傾き等の形状誤差や、主軸2の振れ等が非接触変
位センサ20の出力に影響しなくなり、外部から加わる
スラスト力による主軸2のスラスト変位を精度良く検出
することができる。また、非接触変位センサ20として
上記のような渦電流型のものを用いることにより、セン
サ部を単純なセンサコア20aとコイル20bとで構成
することができるので、コンパクトでかつ中空状にしや
すい。
The hollow cylindrical non-contact displacement sensor 20 for detecting the displacement of the main shaft 2 due to the thrust force is disposed coaxially with the main shaft 2 and at a position facing the rear end surface of the thrust plate 5 provided on the main shaft 2. Has been done. The tip of the push rod 12 that moves the collet chuck 9 back and forth penetrates the hollow portion of the non-contact displacement sensor 20 and is inserted into the through hole 2 a of the main shaft 2. In this embodiment, as the non-contact displacement sensor 20, a cylindrical sensor core 20a made of an insulating material such as a synthetic resin material and a sensor core 20 made of a conductive material are used.
An eddy current type coil including a coil 20b mounted on the outer diameter of a is used. The sensor core 20a is fixed to the housing 1 with screws or the like. By using such a non-contact displacement sensor 20, it is possible to arrange the non-contact displacement sensor 20 coaxially with the main shaft 2 even in the case of the hollow main shaft 2 (the push rod 12 is inserted from the rear end). Becomes Therefore, the shape error such as the inclination of the thrust plate 5 with respect to the thrust bearing 6 and the runout of the main shaft 2 do not affect the output of the non-contact displacement sensor 20, and the thrust displacement of the main shaft 2 due to the thrust force applied from the outside is accurately detected. can do. Further, by using the eddy current type sensor as described above as the non-contact displacement sensor 20, the sensor unit can be composed of the simple sensor core 20a and the coil 20b, so that it is easy to be compact and hollow.

【0024】図2に示す実施例は、図1におけるスラス
ト軸受6の軸受面に、絞り穴6aに連通した円周溝6b
を設けたものである。円周溝6bを設けたのは次の理由
による。一般に、変位計の出力をスラスト力の検出に用
いる場合、スラスト力に対する分解能は(スラスト軸受
の剛性×変位計の変位に対する分解能)で決まるので、
スラスト力を精度良く検出するためには、スラスト軸受
の剛性(スラスト剛性)は小さい方が良い。スラスト剛
性を低減する手段としては、絞り孔の径を小さくする、
絞り孔の個数を少なくする、さらに、スラスト軸受隙間
を大きくする手段等が考えられる。しかし、絞り孔を小
径化しあるいは個数を減少すると、負荷容量が必要以上
に低下し、加工時のスラスト力によって主軸とスラスト
軸受とが接触する可能性がある。また、スラスト軸受隙
間をあまり大きくすると、圧縮空気の消費量の増加が問
題になる。そこで、この実施例では、スラスト軸受6の
軸受面に円周溝6bを設けることにより、加工時の負荷
容量の低下、圧縮空気消費量の増加を招くことなくスラ
スト剛性を低減することを可能にしたものである。円周
溝6bの溝深さは、無負荷時のスラスト軸受隙間よりも
浅くし、また、スラスト軸受隙間は、スラスト剛性が比
(必要な力の分解能)/(変位計の変位に対する分解
能)よりも小さくなるような値に設定する。絞り孔6a
の個数は通常(7〜8個程度)よりも少なく3〜6個程
度(この実施例では4個)である。無負荷時には、円周
溝6bの溝深さがスラスト軸受隙間に比べ相対的に小さ
いため円周溝6bによる影響は少ないが、外部からスラ
スト力が加わってスラスト軸受隙間が小さくなると、円
周溝6bの溝深さがスラスト軸受隙間に比べ相対的に大
きくなるため、円周溝6bによる効果が顕著になる。す
なわち、スラスト軸受6の絞り孔6aからスラスト軸受
隙間に流入する圧縮気体の多くが円周溝6bに沿って流
通し、スラスト板5を全周にわたって支持することによ
り、スラスト方向の負荷容量が無負荷時に比べ顕著に増
大する。一方、絞り孔6aの個数は通常よりも少ないの
で、気体消費量の増加も少ない。したがって、この実施
例の構成によれば、スラスト剛性を低減することによっ
て微小なスラスト力を精度良く検出でき、しかも、負荷
容量の減少、気体消費量の増加といった弊害を生じさせ
る心配もない。
In the embodiment shown in FIG. 2, the circumferential surface of the thrust bearing 6 shown in FIG. 1 has a circumferential groove 6b communicating with the throttle hole 6a.
Is provided. The reason why the circumferential groove 6b is provided is as follows. Generally, when the output of the displacement gauge is used to detect the thrust force, the resolution for the thrust force is determined by (rigidity of thrust bearing x resolution for displacement of the displacement gauge).
In order to detect the thrust force with high accuracy, the rigidity of the thrust bearing (thrust rigidity) should be small. To reduce the thrust rigidity, reduce the diameter of the throttle hole,
A means for reducing the number of throttle holes and increasing the thrust bearing gap may be considered. However, if the diameter of the throttle holes is reduced or the number thereof is reduced, the load capacity may be reduced more than necessary, and the spindle force and the thrust bearing may come into contact with each other due to the thrust force during processing. Further, if the thrust bearing gap is made too large, there is a problem in that the consumption of compressed air increases. Therefore, in this embodiment, by providing the circumferential groove 6b on the bearing surface of the thrust bearing 6, it is possible to reduce the thrust rigidity without causing a decrease in load capacity during machining and an increase in compressed air consumption. It was done. The groove depth of the circumferential groove 6b is made shallower than the thrust bearing gap under no load, and the thrust bearing gap is defined by the ratio of thrust rigidity (resolution of necessary force) / (resolution for displacement of displacement gauge). Is also set to a value that is small. Aperture 6a
Is about 3 to 6 (4 in this embodiment), which is less than normal (about 7 to 8). When there is no load, the circumferential groove 6b has a smaller groove depth than the thrust bearing gap, so the influence of the circumferential groove 6b is small. However, when thrust force is applied from the outside to reduce the thrust bearing gap, the circumferential groove 6b is less affected. Since the groove depth of 6b becomes relatively larger than the thrust bearing gap, the effect of the circumferential groove 6b becomes remarkable. That is, most of the compressed gas flowing from the throttle hole 6a of the thrust bearing 6 into the thrust bearing gap flows along the circumferential groove 6b, and the thrust plate 5 is supported over the entire circumference, so that there is no load capacity in the thrust direction. Significantly increased compared to under load. On the other hand, since the number of the throttle holes 6a is smaller than usual, the increase in gas consumption is small. Therefore, according to the configuration of this embodiment, a minute thrust force can be accurately detected by reducing the thrust rigidity, and there is no fear of causing adverse effects such as a decrease in load capacity and an increase in gas consumption.

【0025】図3〜図5は、上記の円周溝6bの効果を
計算結果によって示したものである。図3〜図5におい
て、Aは本実施例品(円周溝:あり、絞り穴:4個)、
B、Cは比較品についての結果をそれぞれ示している。
比較品Bは(円周溝:なし、絞り孔:4個)、比較品C
は(円周溝:なし、絞り孔:24個)である。無負荷時
のスラスト軸受隙間はいずれもSである。
3 to 5 show the effect of the above-mentioned circumferential groove 6b by calculation results. 3 to 5, A is a product of this embodiment (circumferential groove: provided, throttle hole: 4),
B and C show the results of the comparative product, respectively.
Comparative product B (circumferential groove: none, throttle hole: 4), comparative product C
Is (circumferential groove: none, throttle hole: 24). The thrust bearing clearances under no load are all S.

【0026】図3に示すように、本実施例品Aのスラス
ト負荷容量は、スラスト軸受隙間が所定値よりも小さく
なった付近から急速に増大し、比較品Cと同等以上の値
を示した。また、図4および図5に示すように、本実施
例品Aのスラスト剛性および気体消費量は比較品Bより
も僅かに大きい程度であり、比較品Cと比べるとかなり
少なかった。
As shown in FIG. 3, the thrust load capacity of the product A of the present embodiment rapidly increased from the vicinity of the thrust bearing gap being smaller than the predetermined value, and showed a value equal to or higher than that of the comparative product C. . Further, as shown in FIGS. 4 and 5, the thrust rigidity and gas consumption of the product A of this example were slightly larger than those of the comparative product B, and were considerably smaller than those of the comparative product C.

【0027】尚、絞り孔6aの個数を減らし、円周溝6
bを設けると不安定な自励振動(エアハンマ)が発生し
やすくなる場合がある。スラスト軸受6の軸受面積や円
周溝6bの溝深さ等の条件によりエアハンマの発生が予
測される場合には、図6に示すように、絞り孔6aごと
に独立した部分円周溝6b’を設け、溝全体の容積を小
さくすることによりこれを防止することができる。
The number of the throttle holes 6a is reduced so that the circumferential groove 6
If b is provided, unstable self-excited vibration (air hammer) may easily occur. When the occurrence of the air hammer is predicted depending on the conditions such as the bearing area of the thrust bearing 6 and the groove depth of the circumferential groove 6b, as shown in FIG. 6, an independent partial circumferential groove 6b ′ is provided for each throttle hole 6a. This can be prevented by providing the groove and reducing the volume of the entire groove.

【0028】図7に示す実施例は、別体のセンサターゲ
ット21を主軸2のスラスト板5の後端面に一体に装着
すると共に、非接触変位センサ20にダミーセンサ2
0’とダミーターゲット22とを一体に具備させたもの
である。センサターゲット21は、渦電流型変位センサ
のターゲットとして好適な物性を有する材料例えばSU
S310S材等で形成されたものである。ダミーセンサ
20’は、非接触変位センサ20と共通のセンサコア2
0aと、センサコア20aの後端外径に装着されたダミ
ーコイル20b’とからなる。ダミーターゲット22は
センサターゲット21と同じ材料からなり、センサコア
20aの後端面に取付けられている。尚、センサコア2
0aの内径には、プッシュロッド12を前後動自在に案
内する中空円筒状のガイド25が装着されている。
In the embodiment shown in FIG. 7, a separate sensor target 21 is integrally mounted on the rear end surface of the thrust plate 5 of the main shaft 2, and the non-contact displacement sensor 20 is replaced by the dummy sensor 2.
0'and the dummy target 22 are integrally provided. The sensor target 21 is a material having physical properties suitable as a target of an eddy current displacement sensor, for example, SU.
It is formed of S310S material or the like. The dummy sensor 20 ′ has the same sensor core 2 as the non-contact displacement sensor 20.
0a and a dummy coil 20b 'mounted on the outer diameter of the rear end of the sensor core 20a. The dummy target 22 is made of the same material as the sensor target 21, and is attached to the rear end surface of the sensor core 20a. The sensor core 2
A hollow cylindrical guide 25 for guiding the push rod 12 back and forth is attached to the inner diameter of 0a.

【0029】主軸2はかご形のロータ16を一体に設け
るため磁性材料でなければならないが、これは渦電流型
変位センサのターゲットとして必ずしも好適ではなく、
材質のムラによってセンサ出力の変動を生じたり、電気
抵抗が大きく変位センサの感度が低下したりする懸念が
ある。センサターゲット21を主軸2とは別部品とし、
材料を自由に選択可能とすることにより、非接触変位セ
ンサ20の感度を高めることができる。また、渦電流型
変位センサはセンサ部および検出回路部の温度変化によ
ってセンサ出力がドリフトする可能性があるが、非接触
変位センサ20とダミーセンサ20’のそれぞれに検出
回路をつなぎ、その出力差をとることにより、ドリフト
による影響を消去することができる。
The main shaft 2 must be made of a magnetic material in order to integrally provide the squirrel cage rotor 16, but this is not necessarily suitable as a target of the eddy current displacement sensor.
There is a concern that the sensor output may fluctuate due to the unevenness of the material, or the electric resistance may be large and the sensitivity of the displacement sensor may decrease. The sensor target 21 is a separate part from the spindle 2,
By making the material freely selectable, the sensitivity of the non-contact displacement sensor 20 can be increased. Further, in the eddy current type displacement sensor, the sensor output may drift due to the temperature change of the sensor unit and the detection circuit unit, but the detection circuit is connected to each of the non-contact displacement sensor 20 and the dummy sensor 20 ′, and the output difference between them By taking, it is possible to eliminate the influence of the drift.

【0030】図8に示す実施例は、センサコア20aの
内径面でプッシュロッド12を前後動自在に案内する構
成としたものである。この場合、センサコア20aの材
料は絶縁体で、かつ、耐摩耗性、摺動性に優れたもので
あることが必要で、セラミックやナイロン、フッ素樹
脂、ポリアセタール等の合成樹脂が適している。
In the embodiment shown in FIG. 8, the push rod 12 is guided by the inner diameter surface of the sensor core 20a so as to be movable back and forth. In this case, the material of the sensor core 20a needs to be an insulator and has excellent wear resistance and slidability, and ceramics, nylon, synthetic resin such as fluororesin and polyacetal are suitable.

【0031】尚、本発明は、中空状の主軸を備えた構成
の(主軸の貫通穴内に配置された部材に反工具側から押
圧力を付与する手段を有する)スピンドル一般に適用す
ることができ、実施例の構成に限定されるものではな
い。例えば、上記のプッシュロッド12に代えて圧縮エ
アー等を用いる構成(主軸の貫通穴に反工具側から圧縮
エアー等を供給してドローバーを作動させる構成)のス
ピンドル等にも同様に適用できる。また、主軸のハウジ
ングに対する支持手段として、静圧流体軸受、磁気軸受
等の非接触支持手段、あるいは、一般ベアリング等の接
触支持手段を用いたスピンドルにも同様に適用できる。
そして、これらの場合にも、上記と同様の作用効果を奏
する。
The present invention can be applied to a general spindle having a hollow main shaft (having means for applying a pressing force from the opposite tool side to a member arranged in a through hole of the main shaft). It is not limited to the configuration of the embodiment. For example, it can be similarly applied to a spindle or the like having a configuration in which compressed air or the like is used instead of the push rod 12 (a configuration in which compressed air or the like is supplied to the through hole of the main shaft from the opposite tool side to operate the drawbar). Further, as a supporting means for the housing of the main shaft, a non-contact supporting means such as a hydrostatic bearing or a magnetic bearing, or a spindle using contact supporting means such as a general bearing can be similarly applied.
And in these cases, the same effects as the above can be obtained.

【0032】[0032]

【発明の効果】本発明は、以下に示す効果を有する。The present invention has the following effects.

【0033】(1)非接触変位センサを中空円筒状のも
のとしたので、中空主軸の場合でも、非接触変位センサ
を主軸と同軸に配置することが可能となる。したがっ
て、主軸の形状誤差や、振れ等が非接触変位センサの出
力に影響しなくなり、外部から加わるスラスト力による
主軸のスラスト変位を精度良く検出することができる。 (2)非接触変位センサとして、絶縁材料で形成された
中空円筒状のセンサコアと、導電材料で形成され、この
センサコアの外径に装着されたコイルとからなる渦電流
型のものを用いることにより、センサ部を単純なセンサ
コアとコイルとで構成することができるので、コンパク
トでかつ中空状にしやすい。
(1) Since the non-contact displacement sensor has a hollow cylindrical shape, the non-contact displacement sensor can be arranged coaxially with the main shaft even in the case of the hollow main shaft. Therefore, the shape error of the main shaft, the shake, etc. do not affect the output of the non-contact displacement sensor, and the thrust displacement of the main shaft due to the thrust force applied from the outside can be accurately detected. (2) By using, as the non-contact displacement sensor, an eddy current type sensor including a hollow cylindrical sensor core made of an insulating material and a coil made of a conductive material and attached to the outer diameter of the sensor core. Since the sensor unit can be composed of a simple sensor core and coil, it is easy to make it compact and hollow.

【0034】(3)非接触変位センサにダミーセンサと
ダミーターゲットとを一体に具備させ、非接触変位セン
サとダミーセンサとの出力差をとることにより、ドリフ
トによる影響を消去することができる。
(3) The influence of drift can be eliminated by integrally providing the non-contact displacement sensor with the dummy sensor and the dummy target and taking the output difference between the non-contact displacement sensor and the dummy sensor.

【0035】(4)非接触変位センサのセンサコアを合
成樹脂材又はセラミック材で形成することにより、セン
サコアの内径を他部材のガイド面として用いることがで
きる。(5)コレットチャックに連結されたドローバー
に反コレットチャック側から押圧力を付与可能なプッシ
ュロッドをセンサコアの内径面で前後動自在に案内する
構成とすることにより、構造の簡単化を図ることができ
る。
(4) By forming the sensor core of the non-contact displacement sensor from a synthetic resin material or a ceramic material, the inner diameter of the sensor core can be used as a guide surface for other members. (5) The structure can be simplified by adopting a structure in which a push rod capable of applying a pressing force from the side opposite to the collet chuck is guided to the draw bar connected to the collet chuck by the inner diameter surface of the sensor core so as to be movable back and forth. it can.

【0036】(6)スラスト軸受の軸受面に絞り孔に連
通し、無負荷時のスラスト軸受隙間よりも浅い円周溝ま
たは部分円周溝を設けることにより、負荷容量の減少、
気体消費量の増加といった弊害を生じさせることなくス
ラスト剛性を低減させて、微小なスラスト力を精度良く
検出することができる。尚、スラスト軸受の軸受面積や
円周溝の溝深さ等の条件によりエアハンマの発生が予測
される場合には、絞り孔ごとに独立した部分円周溝を設
け、溝全体の容積を小さくすることによりこれを防止す
ることができる。
(6) By reducing the load capacity by communicating with the throttle hole on the bearing surface of the thrust bearing and providing a circumferential groove or partial circumferential groove shallower than the thrust bearing gap when there is no load,
It is possible to accurately detect a minute thrust force by reducing thrust rigidity without causing an adverse effect such as an increase in gas consumption. When air hammer is predicted to occur due to conditions such as the bearing area of the thrust bearing and the groove depth of the circumferential groove, an independent partial circumferential groove is provided for each throttle hole to reduce the volume of the entire groove. This can be prevented.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の実施例に係わるスピンドルを示す断面
図でる。
FIG. 1 is a cross-sectional view showing a spindle according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の他の実施例に係わるスピンドルのスラ
スト軸受面を示す平面図である。
FIG. 2 is a plan view showing a thrust bearing surface of a spindle according to another embodiment of the present invention.

【図3】図2に示すスピンドルにおけるスラスト軸受隙
間ースラスト負荷容量の関係を比較試験した結果を示す
図である。
3 is a diagram showing the results of a comparative test of the relationship between thrust bearing gap and thrust load capacity in the spindle shown in FIG.

【図4】図2に示すスピンドルにおけるスラスト軸受隙
間ースラスト剛性の関係を比較試験した結果を示す図で
ある。
4 is a diagram showing the results of a comparative test of the relationship between thrust bearing clearance and thrust rigidity in the spindle shown in FIG.

【図5】図2に示すスピンドルにおけるスラスト軸受隙
間ー気体消費量の関係を比較試験した結果を示す図であ
る。
5 is a diagram showing the results of a comparative test of the relationship between thrust bearing gap and gas consumption in the spindle shown in FIG.

【図6】本発明の他の実施例に係わるスピンドルのスラ
スト軸受面を示す平面図である。
FIG. 6 is a plan view showing a thrust bearing surface of a spindle according to another embodiment of the present invention.

【図7】本発明の他の実施例に係わるスピンドルを示す
断面図でる。
FIG. 7 is a sectional view showing a spindle according to another embodiment of the present invention.

【図8】本発明の他の実施例に係わるスピンドルを示す
断面図でる。
FIG. 8 is a sectional view showing a spindle according to another embodiment of the present invention.

【図9】従来のスピンドル装置における主軸部分を示す
断面図である。
FIG. 9 is a cross-sectional view showing a main shaft portion in a conventional spindle device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ハウジング 2 中空主軸 3 軸受スリーブ 4 軸受スリーブ 5 スラスト板 6 スラスト軸受 6a 絞り孔 6b 円周溝 6b’部分円周溝 20 非接触変位センサ 20a センサコア 20b コイル 20’ ダミーセンサ 20b’ ダミーコイル 22 ダミーターゲット 1 housing 2 hollow main shaft 3 bearing sleeve 4 bearing sleeve 5 thrust plate 6 thrust bearing 6a throttle hole 6b circumferential groove 6b 'partial circumferential groove 20 non-contact displacement sensor 20a sensor core 20b coil 20' dummy sensor 20b 'dummy coil 22 dummy target

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ハウジングに静圧流体軸受でラジアル方
向およびスラスト方向に非接触支持された中空主軸と、
この中空主軸のスラスト力による変位を検出するための
非接触変位センサとを備えたものであって、 上記非接触変位センサを中空円筒状とし、これを上記中
空主軸と同軸に、かつ、上記中空主軸における検出のタ
ーゲットとする部位に対向させて配置したことを特徴と
する静圧軸受スピンドル。
1. A hollow main shaft supported by a hydrostatic bearing in a housing in a non-contact manner in a radial direction and a thrust direction,
A non-contact displacement sensor for detecting the displacement of the hollow main shaft due to the thrust force, wherein the non-contact displacement sensor is a hollow cylinder, which is coaxial with the hollow main shaft and which is hollow. A hydrostatic bearing spindle, which is arranged so as to face a detection target portion of a main shaft.
【請求項2】 上記非接触変位センサが、絶縁材料で形
成された中空円筒状のセンサコアと、導電材料で形成さ
れ、このセンサコアの外径に装着されたコイルとからな
る渦電流型のものであることを特徴とする請求項1の静
圧軸受スピンドル。
2. The eddy current type non-contact displacement sensor comprises a hollow cylindrical sensor core made of an insulating material and a coil made of a conductive material and attached to the outer diameter of the sensor core. The hydrostatic bearing spindle of claim 1, wherein:
【請求項3】 上記非接触変位センサにダミーセンサと
ダミーターゲットとを一体に具備させた請求項2の静圧
軸受スピンドルであって、上記ダミーセンサは導電材料
で形成され、上記センサコアの反中空主軸側の外径に装
着されたダミーコイルを備えた渦電流型のものであり、
上記ダミーターゲットは導電材料で形成され、上記セン
サコアの反中空主軸側の端面に装着されたものであるこ
とを特徴とする静圧軸受スピンドル。
3. The hydrostatic bearing spindle according to claim 2, wherein the non-contact displacement sensor is integrally provided with a dummy sensor and a dummy target, wherein the dummy sensor is made of a conductive material, and the hollow hollow of the sensor core. It is an eddy current type equipped with a dummy coil mounted on the outer diameter of the spindle side,
The hydrostatic bearing spindle, wherein the dummy target is made of a conductive material and is mounted on the end surface of the sensor core on the side opposite to the hollow main shaft.
【請求項4】 上記非接触変位センサのセンサコアが合
成樹脂材又はセラミック材で形成されたことを特徴とす
る請求項2または3の静圧軸受スピンドル。
4. The hydrostatic bearing spindle according to claim 2, wherein the sensor core of the non-contact displacement sensor is formed of a synthetic resin material or a ceramic material.
【請求項5】 上記中空主軸の貫通穴の一部に設けられ
たテーパ穴部に前後動自在に装着されたコレットチャッ
クと、上記貫通穴内に配置され、上記コレットチャック
に連結されたドローバーと、上記ドローバーに反コレッ
トチャック側から押圧力を付与可能なプッシュロッドと
を備え、上記プッシュロッドが上記センサコアの内径面
で前後動自在に案内されることを特徴とする請求項4の
静圧軸受スピンドル。
5. A collet chuck mounted in a tapered hole portion provided in a part of the through hole of the hollow spindle so as to be movable back and forth, and a draw bar arranged in the through hole and connected to the collet chuck. The hydrostatic bearing spindle according to claim 4, further comprising: a push rod capable of applying a pressing force to the draw bar from the side opposite to the collet chuck, and the push rod is guided by an inner diameter surface of the sensor core so as to be movable back and forth. .
【請求項6】 上記中空主軸をハウジングに対しスラス
ト方向に非接触支持するスラスト軸受の軸受面に、この
スラスト軸受の絞り孔に連通し、無負荷時のスラスト軸
受隙間よりも浅い円周溝または部分円周溝を形成したこ
とを特徴とする請求項1の静圧軸受スピンドル。
6. The bearing surface of a thrust bearing that supports the hollow main shaft in a non-contact manner in the thrust direction with respect to the housing, communicates with a throttle hole of the thrust bearing, and has a circumferential groove shallower than a thrust bearing gap under no load or 2. The hydrostatic bearing spindle according to claim 1, wherein a partial circumferential groove is formed.
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JP2003106333A (en) * 2001-09-28 2003-04-09 Ntn Corp Magnetic bearing device

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