JPH07234898A - Method and apparatus for decision of initial time limit - Google Patents
Method and apparatus for decision of initial time limitInfo
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- JPH07234898A JPH07234898A JP20124594A JP20124594A JPH07234898A JP H07234898 A JPH07234898 A JP H07234898A JP 20124594 A JP20124594 A JP 20124594A JP 20124594 A JP20124594 A JP 20124594A JP H07234898 A JPH07234898 A JP H07234898A
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Abstract
Description
【０００１】この発明は、米国空軍によって与えられた
契約Ｎｏ．Ｆ３３６１５−８８−Ｃ−５４４８による政
府の援助により成された。政府はこの発明に関して一定
の権利を有する。This invention is a Contract No. awarded by the United States Air Force. Made with government support from F33615-88-C-5448. The government has certain rights in this invention.
【０００２】関連する特許出願の参照 本発明は、全て１９９３年７月２２日に出願された、代
理人参照番号ＴＩ−１８２２４−名称“ビームサーチを
行う方法及び装置”、ＴＩ−１８２２６−名称“設備の
選択を提供する方法及び装置”、ＴＩ−１８２２７−名
称“計画を解析する方法及び装置”の内容が参照され
る。[0002] Related patent applications reference the present invention, all filed July 22, 1993, Attorney Reference No. TI-18224- entitled "METHOD perform beam search and apparatus", TI-18226- entitled " Reference is made to the content of "Method and apparatus for providing equipment selection", TI-18227-Name "Method and apparatus for analyzing plans".
【０００３】[0003]
【産業上の利用分野】本発明は、工場システムに関し、
更には生産計画のための方法及びシステムに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to a factory system,
Further, it relates to a method and system for production planning.
【０００４】[0004]
【従来の技術】生産計画は、能力を最大にする計画（ｐ
ｌａｎ）に従い、将来のある期間、即ち、時限（ｔｉｍ
ｅ ｉｎｔｅｒｖａｌ）において、製造設備で開始され
作業（ｗｏｒｋ）される対象物（ｏｂｊｅｃｔ）を選択
する処理である。これら対象物は、異なるリソースを要
求し、異なる顧客に提供される種々の製品タイプから通
常選択される。従って、対象物の選択は、サイクルタイ
ムのような顧客−独立性能測度と、オン−タイム配送の
ような顧客−依存性能測度とにより最適にしなければな
らない。2. Description of the Related Art A production plan is a plan for maximizing capacity (p
lan) according to a certain period in the future, that is, a time limit (tim)
e interval) is a process of selecting an object to be started and started in a manufacturing facility. These objects require different resources and are typically selected from various product types offered to different customers. Therefore, object selection must be optimized by customer-independent performance measures such as cycle time and customer-dependent performance measures such as on-time delivery.
【０００５】進化した生産計画を必要とする理由は、各
々の製造設備において種々である。例えば、１つの設備
が、製造のための時間内に器具が発注され配送されるよ
う進化した計画を要求することがある。他の設備では、
製品、即ち、対象物の配送の遅れを予測する、或いは、
顧客への配送義務を作成する進化した計画を必要とす
る。There are various reasons for requiring an advanced production plan in each manufacturing facility. For example, a piece of equipment may require an evolved plan to order and deliver equipment within the time for manufacturing. With other equipment,
Predict delivery delays for products, or objects, or
You need an evolved plan to create delivery obligations to your customers.
【０００６】最大の作業量、客量、能力を発生する製造
計画を形成するため、取り扱うことのできる設備は、同
じ方式でモジュール化しなければならない。これは、計
画される対象物が、該設備の能力が妥当な能力に達する
とき作業されるため、積極的な利点を生み出さないから
である。In order to form a manufacturing plan that produces the maximum work load, customer load, and capacity, the equipment that can be handled must be modularized in the same manner. This is because the planned objects do not produce a positive benefit as they are worked on when the capacity of the equipment reaches a reasonable capacity.
【０００７】生産計画は、設備のジョブショップで対象
物の指令の製造を管理し作業する、対象物の作業計画
（ｓｃｈｅｄｕｌｅ）の構造を通常伴う。該作業計画の
構造は、設備の種々のソースから集められた知識により
影響される作業計画において複雑な問題となる。特定の
作業計画の容認性は、異なり且つ対立する要素に依存
し、それは、期限日要求、コスト制限、製品レベル、機
器容量、代用性、他の製造処理、オーダ（ｏｒｄｅｒ）
特性、リソース要求、リソース利用性のような対象物へ
影響する。[0007] A production plan typically involves the structure of an object work schedule, which manages and works on the command manufacturing of the object at the equipment job shop. The structure of the work plan becomes a complex problem in the work plan, which is affected by knowledge gathered from various sources of equipment. The acceptability of a particular work plan depends on different and conflicting factors, which include deadline requirements, cost limits, product levels, equipment capacity, substitutability, other manufacturing processes, and order.
Affects objects such as characteristics, resource requirements, resource availability.
【０００８】ジョブ作業計画問題の特性は、職種機種別
作業計画（ｊｏｂ−ｓｈｏｐ ｓｃｈｅｄｕｌｉｎｇ）
問題が例えば処理経路指示のような動作のシーケンスの
選択で規定されることにあり、その遂行は、対象物に影
響するそれぞれの動作のリソースと、例えば、開始及び
終了時間のような割り当て時間と、オーダの完了とに帰
結する。歴史的に、作業計画の問題は２つの分離した処
理に分割されている。処理経路指示選択は、歴史的に計
画処理の製造（ｐｒｏｄｕｃｔ）であり、他方、時間と
リソースとの割り当ては、歴史的に作業計画の目的であ
る。実際に、計画と作業計画との間の区別は、随行する
作業計画を発生することなく対象物の経路指示の選択を
最終的に行えないことを含む上記記述のように識別する
ことができない。処理経路指示の導入は、それぞれの選
択された動作の実行性に依存し、動作は、該動作が実施
される時限の間そのリソース要求が満足されるときのみ
実行可能である。したがって、許容される処理経路指示
発行（ｒｅｌｅａｓｅ）の決定は、該経路指示（ｒｏｕ
ｔｉｎｇ）のそれぞれの動作へのリソース及び時間の事
前の割り当てを含んでいる。[0008] The characteristics of the job work planning problem are the job type, job type, and work plan (job-scheduling).
The problem lies in the fact that it is defined by the choice of a sequence of actions, such as, for example, process routing, the performance of which depends on the resources of each action affecting the object and the allocated time, eg the start and end times. , Resulting in the completion of the order. Historically, work planning problems have been divided into two separate processes. Processing route selection is historically the production of planned processing, while time and resource allocation is historically the purpose of work planning. In fact, the distinction between a plan and a work plan cannot be discriminated as in the above description, which involves the final inability to select an object's routing without generating an accompanying work plan. The introduction of a processing path directive depends on the executability of each selected action, which is only viable when its resource requirements are satisfied for the time period during which the action is performed. Therefore, the determination of the allowable processing route instruction issuance (release) is made by determining the route instruction (rou).
ing) of each operation and pre-allocation of resources and time.
【０００９】順番（ｓｅｑｕｅｎｃｉｎｇ）の問題の大
きさを認識するため、５つの動作で１０のオーダのみの
順番を考慮する。単一の機械が、例えば、代用の経路指
示やタイムギャップのない仮定のようなそれぞれの動作
と関速すると仮定すると、作業計画が作られるとき、ほ
ぼ（１０１）５、即ち、約１０３２の可能な作業計画
が、上記作業計画問題で可能となる。To recognize the magnitude of the sequencing problem, consider the order of only 10 orders of 5 operations. Assuming that a single machine is responsible for each movement, such as surrogate routing and assumptions without time gaps, when a work plan is created, there are approximately (101) 5 , or approximately 10 32 Possible work plans are possible with the work plan problem above.
【００１０】実際に、現実の製造設備は、記述に含まれ
るよりも更に複雑である。動作、オーダ及びリソースの
数は、実質的により多く、また、例えば、機械故障、オ
ーダ変更等の設備の動的な特性は、選択処理をより複雑
にする。In reality, real manufacturing equipment is even more complex than included in the description. The number of operations, orders and resources is substantially higher, and the dynamic characteristics of the equipment, eg machine failures, order changes, etc., make the selection process more complex.
【００１１】上記記述の処理の例で、半導体製造は大雑
把に３つの領域、即ち、材料の用意と製造する回路設計
を含む設計、写真平板マスクの用意と生ウエハーの製
造、回路をウエハーに構築するウエハー処理と組み立
て、実装及び実装品及びそれぞれ独立の回路の試験とに
分けることができる。典型的には、ウエハーを処理する
半導体製造のステップ数は、一般に２００程度のステッ
プである。設備、例えば、半導体工場は、リソースの故
障合間（ｍｅａｎ−ｔｉｍｅ−ｂｅｔｗｅｅｎ−ｆａｉ
ｌｕｒｅ ＭＴＢＦ）或いは、修理合間（ｍｅａｎ−ｔ
ｉｍｅ−ｔｏ−ｒｅｐａｉｒ ＭＴＴＲ）のような測定
において考慮される、機械が対象物に対して作業してい
る時限を含む処理能力により規定することができる。設
備のリソース即ち機械の処理能力は、任意の長さを有し
得る隣接する時限に分割することができ、しかしなが
ら、時限は単一のシフト或いは単一の遅延に一般に対応
することができる。例示的に、該時限は等しいサイズ
で、現在の時間から計画された水平軸まで延長し、これ
は、作業する対象物が完了することを考慮し実施可能な
将来の最も遠い点である。In the processing example described above, semiconductor manufacturing is roughly divided into three areas: design including material preparation and circuit design for manufacturing, preparation of photolithographic mask and manufacture of raw wafer, and circuit construction on wafer. Wafer processing and assembly, mounting, and mounting products and independent circuit testing. Typically, the number of semiconductor manufacturing steps that process a wafer is generally on the order of 200 steps. Equipment, for example, a semiconductor factory, has a mean-time-between-fai resource failure interval.
lure MTBF) or repair interval (mean-t)
It can be defined by the throughput, including the time period during which the machine is working on the object, taken into account in measurements such as the image-to-repair MTTR). The equipment resources or machine throughput can be divided into contiguous time periods, which can have any length, however, the time periods can generally correspond to a single shift or a single delay. Illustratively, the time periods are of equal size and extend from the current time to the planned horizontal axis, which is the farthest point in the future practicable in view of the completion of the work object.
【００１２】例えば、利用可能なそれぞれの時限のため
のリソースの処理容量の利用処理、即ち、ステップの連
続である、対象物の作業を計画することが、いずれかの
製造計画の対象である。３つの試験を達成するため、計
画器は、設備のため作業計画から計画への構築を促進す
るため種々の案とツールとを開発してきた。計画器が採
用するこのようなツールの一つが図１に示されている。
図１に示されているように、ツリー（ｔｒｅｅ，１０
２）は、例えばノード（１１０）のような複数のノード
を含む。該ノード（複数）はブランチ（ｂｒａｎｃｈ，
１０４）でリンクされ、ツリー（１０２）を形成する。
該ブランチは、子ブランチと共に親ブランチに直接接続
されている。例えば、親ノード（１１０）は子ノード
（１１２）にブランチ（１０５）で接続されている。ツ
リー（１０２）の頂上のノード（１００）は、親を有さ
ず、ルート（ｒｏｏｔ）ノードとして参照される。そし
て、子を有さないノード（１２０）は端子ノードとして
参照される。計画器はノードを時限として表し、これ
は、例えば製造処理の種々のステップを実行する設備の
機械であるリソースの処理容量に相当し、ツリー（１０
２）は、対象物を発行する全ての可能な時限のためのサ
ーチツリー（ｓｅａｒｃｈ ｔｒｅｅ）を表している。
ブランチは時限の２つのノードの関係を表している。サ
ーチの選別、或いは、代用は２つのブランチで表され、
そのブランチはノードから該ノードの子へのものであ
る。ツリー（１０２）をサーチする別の１つの方法は、
拘束されない深さ−第１（ｄｅｐｔｈ−ｆｉｒｓｔ）サ
ーチである。従事又は選択されるブランチは、それぞれ
のノードで任意に選択され、端子ノードへの動きは、同
じレベルの他のブランチを無視して進む。しかしなが
ら、このようなサーチは問題を有し、与えられたノード
又はブランチが解を得るのに長いサーチ時間を必要とす
るノードの巨大なサブネットワークへの通路となること
があり、解へ至る潜在的に短いサーチを無視した。最適
の解を見い出すために、サーチはツリーの全ての位置で
完全に調査しなければならないため、そのようなサーチ
は不経済である。従って、上記例から非常に明白である
ように、計画の解のためのツリーのサーチは任意に行う
ことができなかった。[0012] For example, the planning of the utilization process of the resource's processing capacity for each available time period, ie the work of the object, which is a succession of steps, is the subject of any manufacturing plan. To achieve the three tests, the planner has developed various ideas and tools to facilitate the construction of a work plan to plan for the facility. One such tool employed by the planner is shown in FIG.
As shown in FIG. 1, the tree (tree, 10
2) includes a plurality of nodes, eg node (110). The nodes are a branch,
Linked at 104) to form a tree (102).
The branch is directly connected to the parent branch as well as the child branch. For example, the parent node (110) is connected to the child node (112) by the branch (105). The node (100) at the top of the tree (102) has no parent and is referred to as the root node. Then, the node (120) having no child is referred to as a terminal node. The planner represents a node as a time period, which corresponds to the processing capacity of a resource, for example the machine of the equipment performing the various steps of the manufacturing process, the tree
2) represents the search tree for all possible time limits for publishing the object.
A branch represents a relationship between two timed nodes. Search selection or substitution is represented by two branches,
The branch is from a node to its children. Another way to search the tree (102) is
Unconstrained depth-first search. The engaged or selected branch is arbitrarily selected at each node and movement to the terminal node proceeds ignoring other branches at the same level. However, such a search is problematic and can be a path to a huge sub-network of nodes where a given node or branch requires a long search time to obtain a solution, potentially leading to a solution. I ignored the short search. Such a search is uneconomical because it has to traverse all positions of the tree to find the optimal solution. Therefore, as is very clear from the above example, the search of the tree for the solution of the plan could not be done arbitrarily.
【００１３】[0013]
【発明の目的】本発明の目的は、作業が設備に何時発行
されるかを決定する計画を維持し開発することにあり、
そして、作業される対象物が何時完了するかを予想する
ことにある。OBJECT OF THE INVENTION It is an object of the present invention to maintain and develop a plan which determines when work is issued to a facility,
And it is to predict when the object to be worked will be completed.
【００１４】更に、本発明の目的は、計画のために継続
的且つ迅速に計画を更新することを可能にすることにあ
る。ユーザの要求に答えるため、機械故障中のリソース
の使用不能のような予期せぬ事態を考膚し、付加の対象
物を計画する。本発明の目的は、作業される対象物を計
画するためのアルゴリズムによる解を求める動作を最小
にしながら、作業される対象物を正確に計画することに
ある。本発明の目的は、代用計画（ｐｌａｎｎｉｎｇ
ａｌｔｅｒｎａｔｉｖｅｓ）の選択を提供することにあ
る。本発明の目的は、他の代用計画に影響するように、
或いは影響しないように代用計画を選択することにあ
る。Furthermore, it is an object of the present invention to make it possible to update a plan continuously and quickly for the plan. To respond to user demands, plan for additional objects by considering unforeseen circumstances such as resource unavailability during machine failure. It is an object of the present invention to accurately plan an object to be worked while minimizing the algorithmic solution for planning the object to be worked. The purpose of the present invention is to provide a planning scheme.
to provide alternatives). The purpose of the invention is to affect other surrogate plans,
Alternatively, the alternative plan should be selected so that it will not be affected.
【００１５】本発明の目的は、例えば、可能なとき計
画、可能な配送日（ｄｉｌｉｖｅｒｙｄａｔｅ）で計
画、可能な限り早い計画等の計画器の選択に従い、初期
時限を決定することにある。本発明の目的は、計画され
る予期されない事態を許容することにある。本発明の目
的は、配送日の重要性を認識することにある。An object of the present invention is to determine the initial time limit according to the selection of the planner, for example, a plan when possible, a plan with a possible delivery date, a plan as early as possible, and the like. The purpose of the invention is to allow for planned and unforeseen events. An object of the present invention is to recognize the importance of delivery dates.
【００１６】[0016]
【発明の概要】本発明は、作業が設備に何時発行される
かを決定する計画を維持し開発し、そして、作業される
対象物が何時完了するかを正確に予想する。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention maintains and develops a plan that determines when work is issued to a facility, and accurately predicts when the object being worked will be completed.
【００１７】本発明は、ユーザの要求に答え、継続的且
つ迅速に計画を更新することを可能にし、機械故障中の
リソースの使用不能のような予期せぬ事態を考慮する。
本発明は、作業される対象物を計画する解を求める時間
を最小することを試みる。本発明は、ユーザの要求に応
じて代用計画の選択を許容する。本発明は、代用計画の
選択に従い作業される他の対象物に影響し、或いは、影
響しない。The present invention allows users to respond to user requests and update plans on a continuous and rapid basis, allowing for unforeseen events such as resource unavailability during machine failure.
The present invention attempts to minimize the time to find a solution that plans the object to be worked on. The present invention allows the selection of alternative plans according to the user's requirements. The present invention affects or does not affect other objects that are operated according to the choice of surrogate plan.
【００１８】本発明は、例えば可能なとき計画、可能な
配送日で計画、可能な限り早い計画等の計画器の選択に
従い、作業される対象物が計画される初期時限を決定す
る。本発明は、計画された予期されない事態が起こった
とき計画される対象物を許容する。The present invention determines the initial time period for which the object to be worked is planned according to the planner's choice, such as planning when possible, planning with possible delivery dates, planning as early as possible. The present invention allows for planned objects when a planned unexpected event occurs.
【００１９】本発明は、サーチツリーのノードに対応す
る初期時限を決定する装置から成り、該サーチツリーの
複数のノードを読み出す回路と、該サーチツリーのルー
トノードを決定する回路と、無機能ノードが該サーチツ
リーの解を表すことがないように、１つのルートノード
が無機能ノードかを決定するため該ルートノードを評価
する回路と、ユーザの要求に従い、該無機能ノードから
ではなく、該ルートノードから該初期時限を選択する回
路とを有する。The present invention comprises a device for determining an initial time period corresponding to a node of a search tree, a circuit for reading a plurality of nodes of the search tree, a circuit for determining a root node of the search tree, and a non-functioning node. So as not to represent a solution of the search tree, a circuit that evaluates one root node to determine if it is a non-functioning node and, according to the user's request, not from the non-functioning node, A circuit for selecting the initial time period from a root node.
【００２０】本発明は更に、全ての以前に計画された対
象物の期限日に間に合うように該対象物を計画する要求
を有する。本発明は更に、全ての以前に計画された対象
物の期限日に間に合い、そして、該対象物の期限日に間
に合うように計画し、該計画がビームサーチにより得ら
れる要求を有する。本発明は更に、該対象物が他の対象
物の期限日に影響することなく計画できないときに、該
対象物が、該対象物よりも低い優先性を有する該計画か
ら該他の対象物を除くことにより計画されるよう、該対
象物を計画する要求を有する。The present invention further has the requirement of planning all previously planned objects in time to meet their deadlines. The invention further comprises the requirement that all previously planned objects have their deadlines in time and plan to meet the deadlines of said objects, the plan having a requirement obtained by beam search. The invention further provides that when the object cannot be planned without affecting the deadline date of the other object, the object has the other object from the plan having a lower priority than the object. There is a requirement to plan the object as planned by removing.
【００２１】本発明は更に、発見に従う該ルートノード
の決定を有する。本発明は更に、年代順バックグラウン
ドの拡張ビームサーチであるビームサーチを有する。本
発明は更に、ビームサーチで計画される対象物を有す
る。The invention further comprises determining the root node according to the discovery. The invention further comprises a beam search, which is an expanded beam search of chronological background. The invention further comprises objects planned with a beam search.
【００２２】本発明は更に、サーチツリーのノードに対
応する初期時限を決定する方法であって、該サーチツリ
ーの複数のノードを読み出し、該サーチツリーのルート
ノードを決定し、１つのルートノードが該サーチツリー
の解を表わさない無機能ノードかを決定するため該ルー
トノードを評価し、ユーザの要求に従い、該無機能ノー
ドを除く該ルートノードから該初期ノードを選択する方
法から成る。The present invention is also a method of determining an initial time period corresponding to a node of a search tree, wherein a plurality of nodes of the search tree are read, a root node of the search tree is determined, and one root node is The method comprises evaluating the root node to determine if it is a non-functioning node that does not represent a solution of the search tree and selecting the initial node from the root nodes excluding the non-functioning node according to a user's request.
【００２３】本発明は更に、全ての以前に計画された対
象物が間に合うように期限日を決定するステップを有す
る方法から成る。本発明は更に、ビームサーチにより計
画を得るステップを有する方法から成る。本発明は更
に、該対象物よりも低い優先性を有する該計画から対象
物を除くステップを有する方法から成る。本発明は更
に、発見に従いルートノードを決定するステップを有す
る方法から成る。本発明は更に、年代順バックグラウン
ドの拡張ビームサーチを得るステップを有する方法から
成る。The present invention further comprises a method comprising the step of determining a deadline date in time for all previously planned objects. The invention further comprises a method comprising the step of obtaining a plan by means of a beam search. The invention further comprises a method comprising the step of removing an object from the plan having a lower priority than the object. The invention further comprises a method comprising the step of determining a root node according to the discovery. The invention further comprises a method comprising the step of obtaining an expanded beam search of a chronological background.
【００２４】これらの本発明の特徴は、添付の図面を参
照し以下の本発明の詳細な記述から当業者に明らかにな
るであろう。These features of the invention will be apparent to those skilled in the art from the following detailed description of the invention with reference to the accompanying drawings.
【００２５】[0025]
【実施例】図２には、計画器回路１０が、工場の状態に
閲する情報を該計画器に提供する工場状態回路１６と、
ユーザ１２と、工場の動作のシュミレーションを提供す
るシュミレータ回路２０と、要求回路１４と、計画器に
パラメータを入力するパラメータ回路１９と、工場で作
業される対象物の作業計画を立てる作業計画回路１８と
に接続されていることが示されている。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT Referring to FIG. 2, a planner circuit 10 provides a factory status circuit 16 which provides the planner with information for viewing the factory condition.
A user 12, a simulator circuit 20 that provides a simulation of the operation of the factory, a request circuit 14, a parameter circuit 19 that inputs parameters to the planner, and a work planning circuit 18 that creates a work plan for objects to be worked in the factory. It is shown to be connected to and.
【００２６】図３には、計画回路２６が、作業される対
象物のための初期時限を決定する初期配置作業２０と、
計画を管理する計画管理回路２０と、作業される対象物
の発行（ｒｅｌｅａｓｅ）を管理する発行回路２８と、
設備の容量をモデル化する容量モデル回路２２とに接続
されていることが示されている。該計画菅理回路２４
は、ユーザ１２と工場状態回路１６と接続されている。
例示的には、計画器回路１０は、コンピュータ、ミニコ
ンピュータ、或いはマイクロコンピュータ等であること
ができる。In FIG. 3, the planning circuit 26 shows an initial placement operation 20 which determines an initial time limit for the object to be worked,
A plan management circuit 20 that manages a plan, an issue circuit 28 that manages the release of an object to be worked,
It is shown connected to a capacity model circuit 22, which models the capacity of the facility. The planning management circuit 24
Is connected to the user 12 and the factory status circuit 16.
Illustratively, the planner circuit 10 can be a computer, a minicomputer, a microcomputer, or the like.
【００２７】図４には、３つのリソースの処理容量の間
の関係、即ち、第１時限Ｔ１の間の機械グループＭＧ
１，ＭＧ２，ＭＧ３と、時限Ｔ２の間の３つの機械グル
ープＭＧ１，ＭＧ２．ＭＧ３の処理客量に対するそれぞ
れ対象物１と対象物２との計画処理刊用性（ｐｒｏｃｅ
ｓｓｉｎｇ ｕｔｉｌｉｚａｔｉｏｎ）２１０，２１２
が示されている。時限Ｔ１の間、機械グループＭＧ１
は、ＭＧ１の処理容量の約５０％の対象物１のための計
画処理利用性を有している。時限Ｔ１の間の約５０％の
処理客量は、他の対象物の更なる処理刊用性のために利
用できるよう残される。加えて、時限Ｔ１の間、ＭＧ２
のため約２５％の処理容量が、対象物２の処理利用性２
１２のため計画され、ＭＧ２の約５０％の処理容量は、
対象物１の処理利用性２１０のため計画される。時限Ｔ
１の間のＭＧ２のための約２５％の残りの処理容量は、
他の対象物の処理利用性のための計画に利用できる。時
限Ｔ１の間のＭＧ３の約４５％の処理容量は、対象物２
の処理利用性２１２のため計画される。時限Ｔ１の間の
ためのＭＧ３の残りの約５５％の計画容量は、他の対象
物の付加的な処理利用性のための計画に利用できる。FIG. 4 shows the relationship between the processing capacities of the three resources, namely the machine group MG during the first time period T 1.
1, and MG2, MG3, 3 one machine groups MG1 during timed T 2, MG2. The planned processing publicationability (process) of each of the object 1 and the object 2 with respect to the processing customer amount of the MG3.
210, 212
It is shown. Machine group MG1 during time period T 1
Has a planned process availability for Object 1 of about 50% of the processing capacity of MG1. During the time period T 1 , about 50% of the throughput is left available for further processability of other objects. In addition, during the time period T 1 , MG2
The processing capacity of about 25% is due to
12 planned, about 50% processing capacity of MG2,
Planned for processing availability 210 of Object 1. Time T
The remaining processing capacity of about 25% for MG2 between 1
It can be used to plan for the processing availability of other objects. Approximately 45% of the processing capacity of MG3 during time period T 1 is
Is scheduled for processing availability 212. The remaining approximately 55% planned capacity of MG3 for time period T 1 is available for planning for additional processing availability of other objects.
【００２８】図４は更に時限Ｔ２の間の処理容量を示
し、ここで、時限Ｔ２の間のＭＧ１の約７５％の処理容
量は、対象物２の処理利用性２１２のため計画され、他
方、約２５％の処理容量が計画されるために利用可能で
ある。時限Ｔ２の間のＭＧ２の約６０％の処理容量は、
対象物１の処理利用性２１０のため計画され、約４０％
の処理容量が他の対象物の処理利用性の計画のため利用
可能である。最後に、時限Ｔ２の間のＭＧ３の約２０％
の処理容量は、対象物１の処理利用性２１０のため計画
され、残りの処理容量は、他の対象物の処理利用性の計
画のために利用可能である。付加的な対象物が時限の間
に計画できるかを決定するため、この付加的な対象物の
処理利用性が機械グループの利用可能な処理容量と比較
される。もし機械グループが処理利用性を計画するのに
充分な処理容量を有していたなら、対象物がこの時限に
計画できる。FIG. 4 further shows the processing capacity during time period T 2 , where about 75% of the processing capacity of MG1 during time period T 2 is planned for object 2 processing availability 212. On the other hand, a processing capacity of about 25% is available to be planned. The processing capacity of about 60% of MG2 during the time period T 2 is
Planned for processing availability 210 of Object 1, approximately 40%
Processing capacity is available for planning the processing availability of other objects. Finally, about 20% of MG3 during timed T 2
Processing capacity is planned for the processing availability 210 of the object 1 and the remaining processing capacity is available for planning the processing availability of other objects. The processing availability of this additional object is compared to the available processing capacity of the machine group to determine if the additional object can be planned during the time period. If the machine group had sufficient processing capacity to plan processing availability, the object could be planned at this time.
【００２９】図５を参照し、異なる機械グループのため
の対象物の処理利用性を計画する、利用可能な処理容量
を有する時限を決定するサーチツリーが示されている。
図５には、種々のレベル、即ち、レベル１、レベル２、
レベル３がサーチツリーに関連することが示され、それ
ぞれのレベルは、端子ノード或いはルートノードのいず
れかへサーチされるノードの間のノードの数に対応して
いる。例えば、レベル１を含む端子ノードが、時限
Ｔ０、時限Ｔ１、時限Ｔ２を含んでいる。レベル２は、
時限Ｔ２、時限Ｔ３、時限Ｔ１を含んでいる。レベル３
は、時限Ｔ１から時限Ｔ６を含んでいる。以前に記述し
たように、解の数が大きくなるため、サーチツリーを完
全にサーチすることにより全ての可能な時限を考慮する
ことによって、合理的な時間内に最適の解を得ることは
不可能である。該サーチツリーのサーチを短くするため
に、サーチの全ての時限をサーチしないように幾つかの
拘束が課せられる。例えば、時限即ちサーチツリーのサ
ーチが境界２５０で制限され、例えば図５のビーム幅か
ら外れる境界２５０の左側のように、境界の外側では時
限のサーチを試みないことにより境界を越えるものは残
される。レベル２で、時限Ｔ１は、該時限の選択がビー
ム幅から外れるため考慮されない。これは、共に特許出
願中であるＴＩ−１８２２４、名称“ビームサーチを行
う方法及び装置”に記述されている。他の拘束は、サー
チツリーのサーチを選択する時限の制限である。例え
ば、ステップのある連続を他のステップの連続の後に行
わなければならないようにする。これにより、図５に示
すように、例えばレベル３の時限Ｔ１のように、一定の
時限は、連続の拘束から外れるようになり取り除かれ
る。Referring to FIG. 5, a search tree is shown which determines the processing availability of objects for different machine groups, and which determines a time limit with available processing capacity.
FIG. 5 shows various levels, namely level 1, level 2,
It has been shown that level 3 is associated with the search tree, each level corresponding to the number of nodes between the nodes searched to either the terminal node or the root node. For example, the terminal node including level 1 includes time period T 0 , time period T 1 , and time period T 2 . Level 2 is
It includes a time period T 2 , a time period T 3 , and a time period T 1 . Level 3
Includes time periods T 1 to T 6 . As mentioned previously, the number of solutions is large, so it is not possible to find the optimal solution in a reasonable amount of time by fully searching the search tree and considering all possible times. Is. In order to shorten the search of the search tree, some constraints are imposed so that it does not search all the time periods of the search. For example, the timed or search tree search is bounded by boundaries 250, and those beyond the boundaries are left out by not attempting a timed search outside the boundaries, such as to the left of boundary 250 which deviates from the beamwidth in FIG. . At level 2, the time period T 1 is not considered because the time period selection deviates from the beam width. This is described in the patent-pending TI-18224, entitled "Method and Apparatus for Performing Beam Search." Another constraint is the time limit for selecting a search in the search tree. For example, one sequence of steps must occur after another sequence of steps. As a result, as shown in FIG. 5, the fixed time period is removed from the continuous constraint, for example, the time period T 1 of level 3.
【００３０】図５では、時限Ｔ０が無機能（ｆａｉｌｅ
ｄ）ノードに相当し、時限Ｔ１が機能（ｓｕｃｃｅｓｓ
ｆｕｌｌｙ）計画ノードに相当することが示されてい
る。特定のノードが機能しない理由は変化するが、理由
の１つには、特定の対象物の処理利用性を計画するため
に充分な処理容量が存在しないことにある。In FIG. 5, the time period T 0 has no function (file).
d) corresponds to a node, and the time T 1 has a function (success)
It is shown that it corresponds to a full) plan node. The reason why a particular node does not work varies, but one reason is that there is not enough processing capacity to plan the processing availability of a particular object.
【００３１】サーチツリーのサーチを開始するため、計
画器はサーチツリーのサーチを開始するレベル１の時限
を選択する。To initiate a search of the search tree, the planner selects the level 1 time period at which the search of the search tree is initiated.
【００３２】しかしながら、該時限が選択される前に、
計画器は、該対象物が他の対象物に関して如何に計画さ
れるかを選択しなければならない。設備は与えられた時
限における１以上の対象物の通常処理であるので、追加
された対象物の計画は、該設備のために既に計画された
対象物と衝突する。例えば、対象物が与えられた期限日
までに完成するよう計画されなければならないとき、こ
れが既に計画された他の対象物に影響することがあっ
た。従って、対象物の計画の際に考慮しなければならな
い重要事項は、該設備のために既に計画された対象物
の、特定の対象物の作業計画への衝突にある。However, before the time period is selected,
The planner has to choose how the object is planned with respect to other objects. Since equipment is the normal treatment of one or more objects at a given time, the plans for added objects will collide with objects already planned for the equipment. For example, when an object had to be planned to be completed by a given deadline, this could affect other objects already planned. Therefore, an important consideration that must be taken into account when planning an object is the conflict of the objects already planned for the installation with the work plan of the particular object.
【００３３】計画する上で特定の対象物を計画するとき
の衝突を評価する際の計画器の他の考慮事項は、対象物
を完成する期限ミスによる影響である。例えば、特定の
対象物が、対象物を完成させるための絶対的な期限に間
に合うことを要求し、他方、他の対象物が期限に間に合
うことを要求しないこともあり得る。この面において、
計画器の要求と合うことがある。対象物の作業計画の作
成により既に作業計画された他の対象物が影響されない
ように、対象物が、非−分裂（ｎｏｎ−ｄｉｓｒｕｐｔ
ｉｖｅ）要求に基づき完成される前に計画されることが
ある。反対に、分裂（ｄｉｓｒｕｐｔｉｖｅ）要求と関
運する対象物が要求された時限で完成するよう計画する
ことを確実にするため、他の対象物を含む計画が変更さ
れるように、計画器が分裂要求を作り出すこともでき
る。非−分裂要求の例は、“可能なとき計画”であり、
これは、既に作業計画された他の対象物に影響、即ち、
変更させないことにより、現在の時限に関して、可能な
限り早くサーチツリーのレベル１での時限の発行のため
対象物の計画を試みる。他の非−分裂要求は、“可能な
らば配送日で計画”である。このタイプの要求は、現在
の時限に関連して可能な限り早い時限で開始する代わり
に、計画器が配送日に完成する対象物の計画を試み、配
送日に間に合う予め定められた確認レベルを識別し、そ
して、配送日の前の時限を評価することにおいて、“可
能なら計画”と異なる。図５に示すように、時限は、最
も左の位置を好適な時限に対応させ、予め定められたレ
ベルで左から右へと並べられる。“可能なら計画”要求
が要求されたなら、計画器は、このサーチツリーの最も
左の位置から時限を選択し、初期時限を捜し出すために
右側へ移動させる。Another consideration of the planner in assessing collisions when planning a particular object in planning is the effect of missed deadlines to complete the object. For example, a particular object may require that an absolute deadline for completing the object be met, while other objects do not require the deadline to be met. In this respect,
It may meet the requirements of the planner. The object is non-disrupted so that the creation of the work plan for the object does not affect other objects already scheduled.
iv) May be planned before being completed on demand. On the contrary, to ensure that the object involved in the disruptive request is planned to be completed at the required time, the planner splits so that the plan containing other objects is modified. You can also make demands. An example of a non-split request is "plan when possible",
This affects other objects already planned for work, namely:
By not changing, we try to plan the object for timed publication at level 1 of the search tree as soon as possible for the current timed. Another non-split requirement is "plan on delivery date if possible". This type of request is such that instead of starting at the earliest possible time with respect to the current time period, the planner attempts to plan for objects that will be completed on the delivery date, with a predetermined confirmation level in time for the delivery date. Differs from "plan if possible" in identifying and evaluating the time limit before the delivery date. As shown in FIG. 5, the time periods are arranged from left to right at a predetermined level, with the leftmost position corresponding to a suitable time period. If a "plan if possible" request is requested, the planner selects a time period from the leftmost position of this search tree and moves it to the right to find the initial time period.
【００３４】“可能なら配送日で計画”要求が要求され
たなら、計画器は該初期時眼のため時限を選択する。こ
れは、レベル１に沿ってサーチツリーの左側をサーチす
ることにより該配送日に間に合うように可能な限り要求
された配送日に近接している。If a "plan by delivery date if possible" request is requested, the planner selects a time period for the initial eye. It is as close as possible to the requested delivery date to meet the delivery date by searching the left side of the search tree along Level 1.
【００３５】分裂要求の第２の代用は“可能な限り早く
計画”であり、該計画の計画された対象物へ潜在的に影
響を与える。このタイプの要求は、要求されたとき、該
計画から要求に対応する対象物よりも低い優先性を有す
る対象物を取り除き、そして、要求されたなら、該計画
は、対象物がより低い優先性の対象物なしで計画できる
かを決定するための評価がなされる。“可能なとき計
画”要求において、計画はサーチツリーの左から右側へ
サーチツリーをサーチする。事実、もし要求に対応する
対象物が計画できるなら、計画から低い優先性の対象物
を除くことにより、該低い優先性の対象物は、作業計画
で高い優先性の対象物で再度作業計画される。“可能な
限り早く計画”に関して、計画されているが、処理され
る設備へ発行されていない対象物のみが再計画され、こ
れは計画器と作業計画器との間の境界に従い、計画器
は、例えば、発行されていない対象物である、作業を設
備に発行する計画のみを立てる。該計画器はひとたび設
備へ発行された対象物については計画できない。加え
て、低い優先性の対象物が計画へと再度計画されたな
ら、上述したいずれかのタイプの要求が、当該低い優先
性の対象物の計画を実行するのに用いられる。該“可能
ときに計画”要求が、計画の変更が大きくなるのにもか
かわらず、計画されなければならない対象物の数を最小
にする。反対に、他のタイプの計画が、変更される対象
物の数を多くするにもかかわらず計画の変更を最小にす
る。しかしながら、要求を実施する全ての方法は、１つ
の作業を置き換えたとき幾つかの対象物の置き換えを引
き起こすドミノ効果を減少させる。更に、これらのタイ
プの要求は、計画が、同じ対象物が連続的に計画され該
計画から取り除かれる循環になることを防ぐ。The second surrogate for fragmentation requirements is "plan as soon as possible", potentially affecting the planned objects of the plan. This type of request, when requested, removes objects from the plan that have a lower priority than the object corresponding to the request, and if requested, the plan indicates that the object has a lower priority. An evaluation is made to determine if it can be planned without the objects of. In the "Plan When Possible" request, the plan searches the search tree from left to right of the search tree. In fact, if an object can be planned for the requirement, then by removing the lower priority objects from the plan, the lower priority objects will be re-planned in the work plan with the higher priority objects. It With regard to "plan as soon as possible", only objects that have been planned but not issued to the equipment being processed are re-planned, which follows the boundaries between the planner and the work planner, For example, only make a plan to issue work to equipment, which is an unissued object. The planner cannot plan for objects once issued to the facility. In addition, if a low priority object is re-planned into a plan, any type of request described above may be used to implement the low priority object plan. The "plan when possible" requirement minimizes the number of objects that must be planned, despite large changes in the plan. Conversely, other types of plans minimize plan changes despite the large number of objects being changed. However, all methods of fulfilling the requirements reduce the domino effect that causes the replacement of several objects when replacing one task. Moreover, these types of requirements prevent plans from becoming a cycle in which the same objects are continuously planned and removed from the plan.
【００３６】更に、計画は機械の状態の変化に伴い変更
されることがある。これは、計画器に利用可能な機械グ
ループの処理容量を対応的に変化させる。例えば、僅か
な機械グループのみが対象物の処理に利用可能なら、計
画は減少した処理容量を反映して変更されるべきであ
る。計画器は、予期せぬ修理により特定の機械グループ
の利用不能がどれだけ長くなるかについての概算ととも
に、工場状態回路１６から機械状態情報を継続的に受信
する。機械グループが利用不能になった後の再計画の方
法は、“可能なとき計画”と似ている。しかしながら、
低い優先性の対象物を除くことにより新しい対象物を計
画する代わりに、該低い優先性の対象物を設備の減少し
た容量に応じて再配置する。該計画は、作業されていた
対象物計画及び現在作業されている対象物が発生した容
量の変化により影響され得るとの警告を、例えばワーク
スチェションを通じて計画器のユーザに発する。非−分
裂要求の１つの利点は、このうよな非−分裂要求が計算
時間を最小にすることにある。例えば、“可能なとき計
画”の要求に従う新たな対象物を計画するのに、５−Ｃ
ＰＵ秒必要とし、既存の計画の３％に影響する。反対
に、分裂要求は典型的にはより長い計算時間を必要とす
る。例えば、“可能な限り早く計画”に従う対象物の計
画に、２０−ＣＰＵ秒必要とし、これは既存の計画の１
５％に影響する。機械状態の変化により対象物を再計画
するとき、例えば、半導体ウエハ工場のイオン注入器、
ボルトネック装置について１２時間の停止が作業計画さ
れたなら、計画の再作業計画には、約８−ＣＰＵ秒必要
とし、計画の５％に影響する。以上記述した要求は、例
えば図９に示すパーソナルコンピュータにより入力され
る。図９は、例えばバス１００を介してサーパ１１０と
接続されたパーソナルコンピュータ１２４，１２５から
成る、ワークステェイションから構成される分配システ
ムを示している。以前に記述した要求は、例えば、ＲＡ
Ｍ，ＲＯＭ等から成る計画器のメモリに保持される。該
計画器はコンピュータ、ミニコンピューた、或いはマイ
クロコンピュータで実現できる。In addition, plans may change as machine conditions change. This correspondingly changes the processing capacity of the machine group available to the planner. For example, if only a few machine groups are available to process the object, the plan should be changed to reflect the reduced processing capacity. The planner continuously receives machine status information from the factory status circuit 16 with an estimate of how long a particular machine group will be unavailable due to unexpected repairs. The method of re-planning after a machine group becomes unavailable is similar to “planning when possible”. However,
Instead of planning a new object by removing the lower priority object, the lower priority object is relocated according to the reduced capacity of the equipment. The plan issues a warning to the user of the planner, for example through a workstation, that the object plan being worked on and the object currently being worked on may be affected by changes in the capacity generated. One advantage of non-split requirements is that such non-split requirements minimize computation time. For example, to plan a new object that complies with the "Plan When Possible" requirement, use 5-C
It requires PU seconds and affects 3% of existing plans. Conversely, fragmentation requirements typically require longer computation times. For example, planning an object according to "plan as soon as possible" requires 20-CPU seconds, which is one of the existing plans.
Affects 5%. When re-planning an object due to changes in mechanical conditions, such as ion implanters in a semiconductor wafer factory,
If a 12 hour outage was scheduled for a bolt neck device, rescheduling the plan would require about 8-CPU seconds, affecting 5% of the plan. The request described above is input, for example, by the personal computer shown in FIG. FIG. 9 shows a distribution system composed of workstations, which consists of personal computers 124, 125 connected to a server 110 via a bus 100, for example. The previously described requirements are, for example, RA
It is stored in the memory of the planner composed of M, ROM and the like. The planner can be realized by a computer, a minicomputer, or a microcomputer.
【００３７】図６を参照し、“可能なとき計画”の動作
が示されている。ステップ２００にて、該“可能なとき
計画”が開始される。ステップ２０２にて、変数Ｎに１
が設定される。ここでＮは異なる時限に対応し、Ｎの数
が大きくなるほど、時限に近づき、ここでＮは計画水平
軸になる。Ｎ＝１は最も現在に近い期間に相当する。ス
テップ２０４にて、“発見（ｈｅｕｒｉｓｔｉｃ）”、
例えば、対象物の処理利用性がこの時限に計画できるか
を決定するため、対象物の処理利用性のＮ番時限と該Ｎ
番時限の機械の処理容量との比較に計画水平軸を用いる
前に、サイクルタイムの完成が可能か否かを発見する。
もしも対象物が該計画水平軸内に計画できないならば、
ステップ２０６で該時限のサーチを終了し、例えば、ワ
ークステェイションに対象物が計画できないことを指示
する。もし対象物が計画できるなら、ステップ２０８
で、サーチツリーのビームサーチが対象物に対応する残
りの時限を計画するのに用いられる。ステップ２１０
で、対象物の残りの時限がビームサーチを用いることに
よりＮ番期間で計画できるか決定される。もし、対象物
がビームサーチを用いることにより計画できると決定し
たなら、ステップ２１２にて、サーチは対象物の再配置
の完成を指示し終了する。サーチツリーをサーチするの
に用いるビームサーチの正確な手法は、本発明に直接関
係しないが、共に出願中のＴＩ−１８２２４に記述され
ている年代順バックグラウンド（ｃｈｒｏｎｏｌｏｇｉ
ｃａｌ ｂａｃｋｇｒｏｕｎｄ）の拡張ビームサーチの
ような多くのタイプのビームサーチが好適に適用でき
る。Referring to FIG. 6, the "plan when possible" operation is illustrated. In step 200, the "plan when possible" begins. In step 202, the variable N is 1
Is set. Here, N corresponds to different time periods, and the larger the number of N, the closer to the time period, where N is the planned horizontal axis. N = 1 corresponds to the period closest to the present. In step 204, “heuristic”,
For example, in order to determine whether the processing availability of the object can be planned for this time period, the Nth time period of the processing availability of the object and the N
Before using the planning horizon for comparison with the time-limited machine throughput, discover if cycle time completion is possible.
If the object cannot be planned within the planned horizontal axis,
In step 206, the search for the time period is completed, and, for example, the work station is instructed that the object cannot be planned. If the object can be planned, step 208
, A beam search of the search tree is used to plan the remaining time period corresponding to the object. Step 210
Then, it is determined whether the remaining time limit of the object can be planned in the Nth period by using the beam search. If it is determined that the object can be planned using the beam search, then in step 212 the search indicates completion of the object relocation and ends. The exact technique of beam search used to search the search tree is not directly related to the present invention, but together with the chronological background described in pending application TI-18224.
Many types of beam search, such as an expanded beam search of a cal background) are preferably applicable.
【００３８】対象物がＮ番期間の間に発行できないな
ら、ステップ２１４で、該Ｎ番期間は、時間で年代順に
前に動かすことにより次の時限へ増大される。次のステ
ップ２１４で、制御はステップ２０４へと移行する。If the object cannot be issued during the Nth period, then in step 214 the Nth period is increased to the next time period by moving forward in chronological order in time. In the next step 214, control transfers to step 204.
【００３９】もし計画器が、“可能なら配送日で計画”
に従い対象物が計画されることを要求したなら、ステッ
プ２５０でいつ作業を完了させなければならないかの決
定がなされる。ステップ２５２において、例えば配送日
のように対象物が完成されなければならない日にちに従
い、Ｎが最新に発行された時限である時限に等しく設定
され、予め定められた確認レベルに従う配送までに対象
物の作業が完成されることが確認される。ステップ２４
５で、Ｎ番時限が現在の時限に相当する時限と比較され
る。Ｎ番時限が現在の時限よりも小さいなら、ステップ
２５６で、ユーザへの作業が計画できないとの指示が作
成され、計画は終了する。もしＮが現在の時限よりも小
さくないなら、ステップ２５８で、ビームサーチを用い
てＮの値に相当するＮ番時限で発行するため作業される
対象物が計画できるかを決定する。作業される対象物が
計画できるなら、ステップ２６０で、該対象物がＮ番時
限で発行するため計画される。もし対象物がＮ番時限で
発行するために計画できないなら、Ｎ番時限が現在の時
服に近づくようにＮ番時限を１減少させる。制御はステ
ップ２５４へ移行する。If the planner is "plan on delivery date if possible"
If the object has been requested to be scheduled according to, then in step 250 a determination is made as to when the work must be completed. In step 252, according to the date on which the object must be completed, for example, the delivery date, N is set equal to the latest issued time period, and the object is delivered by delivery according to a predetermined confirmation level. It is confirmed that the work is completed. Step 24
At 5, the Nth time period is compared to the time period corresponding to the current time period. If the Nth time period is less than the current time period, then in step 256 an instruction is made to the user that the work cannot be planned and the planning ends. If N is not less than the current time period, then in step 258 a beam search is used to determine if the object to be worked on can be planned to issue at time N times, which corresponds to the value of N. If the object to be worked on can be planned, then in step 260, the object is planned for publication in the Nth time period. If the object cannot be planned to issue in the N time limit, the N time limit is decremented by 1 so that the N time limit approaches the current outfit. Control transfers to step 254.
【００４０】“可能な限り早く計画”に相当するステッ
プの連続動作が図８に示されている。ステップ３００に
て、Ｎ番時限が１に初期化される。Ｎは、例えば現在時
限のように、発行のため対象物が計画でさる第１の時限
に相当する。ステップ２０３にて、発見を用い計画水平
軸を越えることなくＮ番時限のため対象物が計画できる
か決定される。もしも対象物がこの時限に計画できるな
ら、ステップ３１０へ移動する。しかしながら、この時
限には対象物が計画できないなら、ステップ３０４へ移
動する。ステップ３１０で、対象物の残りの時限が、ビ
ーム幅サーチ（例えば、年代順バックグラウンドの拡張
ビーム幅サーチのような）を用いることによりＮ番時限
で発行するため計画できるかが決定される。対象物が計
画できるなら、ステップ３１０で、対象物は計画され、
ステップの連続はステップ３１４で終了する。しかしな
がら、もし対象物がＮ番時限で計画できないなら、ステ
ップ３１６で、対象物がビーム幅サーチを用い、そし
て、計画から低い優先性の対象物を除くことにより計画
できるか否かが決定される。対象物が計画できないな
ら、ステップ３１８で、Ｎ番時限が次の時限へ増加さ
れ、制御はステップ３０２へ移る。対象物が計画できる
なら、計画のステップ３２０で、該対象物は低い優先性
の対象物なしに計画される。ステップ３２２にて、低い
優先性の対象物は該計画へ再配置され、運続するステッ
プはステップ３２４で終了する。The sequential operation of the steps corresponding to "plan as soon as possible" is shown in FIG. In step 300, the Nth time period is initialized to 1. N corresponds to a first time period in which the object is planned for issuance, for example, the current time period. In step 203, it is determined using discovery that the object can be planned for the Nth time period without crossing the planned horizontal axis. If the object can be planned for this time, move to step 310. However, if the object cannot be planned at this time, the process moves to step 304. At step 310, it is determined whether the remaining time period of the object can be planned for publication in the N th time period by using a beam width search (eg, such as a chronological background expanded beam width search). If the object can be planned, then in step 310 the object is planned,
The sequence of steps ends at step 314. However, if the object cannot be planned in the Nth time period, then in step 316 it is determined whether the object can be planned by using the beamwidth search and removing the lower priority objects from the plan. . If the object cannot be planned, then in step 318 the Nth time period is incremented to the next time period and control passes to step 302. If the object can be planned, then at step 320 of the planning, the object is planned without low priority objects. At step 322, lower priority objects are relocated to the plan and the step of continuing ends at step 324.
【００４１】計画が完了するとき、対象物は設備の機械
の機械列に対して発行される。本発明は、半導体工場、
即ち、設備に関して記述したが、連続するステップによ
り配置され、半導体ウエハーのような対象物を用いる工
場或いは設備にも適用可能である。When the planning is complete, the objects are published to the machine train of the equipment of the installation. The present invention is a semiconductor factory,
That is, although described with respect to equipment, it is also applicable to a factory or equipment that is arranged by successive steps and uses an object such as a semiconductor wafer.
【００４２】他の実施例 本発明とその利点について詳細に記述したが、添付の特
許請求の範囲で規定される発明の範囲及び精神から逸脱
することなく種々の改変、置換、代用が可能なことは理
解されるであろう。 Other Embodiments While the present invention and its advantages have been described in detail, various modifications, substitutions and substitutions are possible without departing from the scope and spirit of the invention as defined by the appended claims. Will be understood.
【００４３】以上の説明に関連して以下の項を開示す
る。 （１）サーチツリーのノードに対応する初期時限を決定
する装置であって、該サーチツリーの複数のノードを読
み出す回路と、該サーチツリーのルートノードを決定す
る回路と、無機能ノードが該サーチツリーの解を表すこ
とがないよう、１つのルートノードが無機能ノードかを
決定するために前記ルートノードを評価する回路と、ユ
ーザの要求に従い、前記無機能ノードからではなく、前
記ルートノードから前記初期時限を選択する回路とから
成る装置。 （２）第１項記載の初期時限を決定する装置であって、
前記要求が、全ての以前に計画された対象物の期限日に
間に合うように前記対象物を計画する装置。 （３）第１項記載の初期時限を決定する装置であって、
前記要求が、全ての以前に計画された対象物の期限日に
間に合い、そして、前記対象物の期限日に間に合うよう
に計画し、前記計画がビームサーチにより得られる装
置。The following sections are disclosed in connection with the above description. (1) A device for determining an initial time period corresponding to a node of a search tree, a circuit for reading a plurality of nodes of the search tree, a circuit for determining a root node of the search tree, and a non-functional node for performing the search. A circuit that evaluates one root node to determine if it is a non-functioning node so as not to represent a solution of the tree, and from the root node rather than from the non-functioning node according to the user's request. A circuit for selecting the initial time period. (2) A device for determining the initial time period according to item 1,
An apparatus for planning the object so that the request is in time for all previously planned object deadlines. (3) A device for determining the initial time period described in the item 1,
The apparatus wherein the request is to meet the deadlines of all previously planned objects, and plans to meet the deadlines of the objects, the plans being obtained by beam search.
【００４４】（４）第１項記載の初期時限を決定する装
置であって、前記対象物が他の対象物の期限日に影響す
ることなく計画できないときに、前記対象物が、前記対
象物よりも低い優先性を有する前記計画から前記他の対
象物を除くことにより計画されるよう、前記要求が前記
対象物を計画する装置。 （５）第２項記載の初期時限を決定する装置であって、
前記ルートノードの決定が発見に従う装置。 （６）第３項記載の初期時限を決定する装置であって、
前記ビームサーチが年代順バックグラウンドの拡張ビー
ムサーチである装置。 （７）第４項記載の初期時限を決定する装置であって、
前記対象物がビームサーチで計画される装置。 （８）サーチツリーのノードに対応する初期時限を決定
する方法であって、該サーチツリーの複数のノードを読
み出し、該サーチツリーのルートノードを決定し、１つ
のルートノードが該サーチツリーの解を表わさない無機
能ノードかを決定するため前記ルートノードを評価し、
ユーザの要求に従い、前記無機能ノードを除く前記ルー
トノードから前記初期ノードを選択する方法。(4) The apparatus for determining the initial time limit according to the first item, wherein when the object cannot be planned without affecting the deadline date of another object, the object is the object An apparatus for the request to plan the object as planned by removing the other object from the plan having a lower priority. (5) A device for determining the initial time period according to the second paragraph,
A device whose root node determination is subject to discovery. (6) A device for determining the initial time period described in the item 3,
The apparatus wherein the beam search is an expanded beam search with a chronological background. (7) A device for determining the initial time period according to the fourth item,
A device in which the object is planned by beam search. (8) A method of determining an initial time period corresponding to a node of a search tree, wherein a plurality of nodes of the search tree are read, a root node of the search tree is determined, and one root node is a solution of the search tree. Evaluate the root node to determine if it is a non-functional node that does not represent
A method of selecting the initial node from the root nodes excluding the non-functioning node according to a user's request.
【００４５】（９）第８項記載の初期時限を決定する方
法であって、全ての以前に計画された対象物が間に合う
ように期限日を決定するステップを有する方法。 （１０）第８項記載の初期時限を決定する方法であっ
て、前記計画がビームサーチにより計画を得るステップ
を有する方法。 （１１）第８項記載の初期時限を決定する方法であっ
て、前記対象物よりも低い優先性を有する前記計画から
対象物を除くステップを有する方法。 （１２）第９項記載の初期時限を決定する方法におい
て、決定の該ステップが発見に従い決定するステップを
有する方法。 （１３）第１０項記載の初期時限を決定する方法におい
て、前記得るステップが、年代順バックグラウンドの拡
張ビームサーチを得るステップを有する方法。 （１４）サーチツリーのルートから初期時限を決定する
方法及び装置。該初期時限は、要求に従い決定される。
該要求は、以前に計画された対象物の期限日に影響す
る。(9) A method for determining an initial time limit as described in paragraph 8, comprising the step of determining a deadline date in time for all previously planned objects. (10) A method for determining an initial time limit according to item 8, wherein the plan includes a step of obtaining a plan by beam search. (11) A method for determining an initial time limit according to item 8, comprising the step of removing an object from the plan having a lower priority than the object. (12) A method of determining an initial time period according to item 9, wherein the step of determining comprises the step of determining according to a finding. (13) A method for determining an initial time period according to item 10, wherein the obtaining step includes a step of obtaining an expanded beam search of a chronological background. (14) A method and apparatus for determining an initial time limit from the root of a search tree. The initial time period is determined according to requirements.
The request affects the previously planned deadline date for the object.
【図１】サーチツリーの図である。FIG. 1 is a diagram of a search tree.
【図２】本発明実施例のブロック図である。FIG. 2 is a block diagram of an embodiment of the present invention.
【図３】本発明実施例のブロック図である。FIG. 3 is a block diagram of an embodiment of the present invention.
【図４】時限のための計画容量に対する計画された処理
の利用性を示している。FIG. 4 shows the availability of planned treatment against planned capacity for timed periods.
【図５】本発明の時限に関するサーチツリーである。FIG. 5 is a search tree for the time limit of the present invention.
【図６】本発明に係る可能なときの計画のフローチャー
トである。FIG. 6 is a flow chart of a feasible schedule according to the present invention.
【図７】可能なときの配送日による計画のフローチャー
トである。FIG. 7 is a flow chart of planning by delivery date when possible.
【図８】可能な限り早い計画のフローチャートである。FIG. 8 is a flowchart of a plan as soon as possible.
【図９】配分システムの図である。FIG. 9 is a diagram of a distribution system.
１００ ノード １０２ ツリー １０４ ブランチ １０５ ブランチ 100 node 102 tree 104 branch 105 branch
─────────────────────────────────────────────────────
─────────────────────────────────────────────────── ───
【手続補正書】[Procedure amendment]
【提出日】平成６年９月２９日[Submission date] September 29, 1994
【手続補正１】[Procedure Amendment 1]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】全文[Correction target item name] Full text
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【書類名】 明細書[Document name] Statement
【発明の名称】 初期時限決定方法及び装置Title: Initial time limit determination method and apparatus
【特許請求の範囲】[Claims]
【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention
【０００１】この発明は、米国空軍によって与えられた
契約Ｎｏ．Ｆ３３６１５−８８−Ｃ−５４４８による政
府の援助により成された。政府はこの発明に関して一定
の権利を有する。This invention is a Contract No. awarded by the United States Air Force. Made with government support from F33615-88-C-5448. The government has certain rights in this invention.
【０００２】関連する特許出願の参照 本発明は、全て１９９３年７月２２日に出願された、代
理人参照番号ＴＩ−１８２２４−名称“ビームサーチを
行う方法及び装置”、ＴＩ−１８２２６−名称“設備の
選択を提供する方法及び装置”、ＴＩ−１８２２７−名
称“計画を解析する方法及び装置”の内容が参照され
る。[0002] Related patent applications reference the present invention, all filed July 22, 1993, Attorney Reference No. TI-18224- entitled "METHOD perform beam search and apparatus", TI-18226- entitled " Reference is made to the content of "Method and apparatus for providing equipment selection", TI-18227-Name "Method and apparatus for analyzing plans".
【０００３】[0003]
【産業上の利用分野】本発明は、工場システムに関し、
更には生産計画のための方法及びシステムに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to a factory system,
Further, it relates to a method and system for production planning.
【０００４】[0004]
【従来の技術】生産計画は、能力を最大にする計画（ｐ
ｌａｎ）に従い、将来のある期間、即ち、時限（ｔｉｍ
ｅｉｎｔｅｒｖａｌ）において、製造設備で開始され作
業（ｗｏｒｋ）される対象物（ｏｂｊｅｃｔ）を選択す
る処理である。これら対象物は、異なるリソースを要求
し、異なる顧客に提供される種々の製品タイプから通常
選択される。従って、対象物の選択は、サイクルタイム
のような顧客−独立性能測度と、オン−タイム配送のよ
うな顧客−依存性能測度とにより最適にしなければなら
ない。2. Description of the Related Art A production plan is a plan for maximizing capacity (p
lan) according to a certain period in the future, that is, a time limit (tim)
In the e-interval, it is a process of selecting an object to be started and started in the manufacturing facility. These objects require different resources and are typically selected from various product types offered to different customers. Therefore, object selection must be optimized by customer-independent performance measures such as cycle time and customer-dependent performance measures such as on-time delivery.
【０００５】進化した生産計画を必要とする理由は、各
々の製造設備において種々である。例えば、１つの設備
が、製造のための時間内に器具が発注され配送されるよ
う進化した計画を要求することがある。他の設備では、
製品、即ち、対象物の配送の遅れを予測する、或いは、
顧客への配送義務を作成する進化した計画を必要とす
る。There are various reasons for requiring an advanced production plan in each manufacturing facility. For example, a piece of equipment may require an evolved plan to order and deliver equipment within the time for manufacturing. With other equipment,
Predict delivery delays for products, or objects, or
You need an evolved plan to create delivery obligations to your customers.
【０００６】最大の作業量、容量、能力を発生する製造
計画を形成するため、取り扱うことのできる設備は、同
じ方式でモジュール化しなければならない。これは、計
画される対象物が、該設備の能力が妥当な能力に達する
とき作業されるため、積極的な利点を生み出さないから
である。In order to form a manufacturing plan that produces the maximum amount of work, capacity and capacity, the equipment that can be handled must be modularized in the same way. This is because the planned objects do not produce a positive benefit as they are worked on when the capacity of the equipment reaches a reasonable capacity.
【０００７】生産計画は、設備のジョブショップで対象
物の指令の製造を管理し作業する、対象物の作業計画
（ｓｃｈｅｄｕｌｅ）の構造を通常伴う。該作業計画の
構造は、設備の種々のソースから集められた知識により
影響される作業計画において複雑な問題となる。特定の
作業計画の容認性は、異なり且つ対立する要素に依存
し、それは、期限日要求、コスト制限、製品レベル、機
器容量、代用性、他の製造処理、オーダ（ｏｒｄｅｒ）
特性、リソース要求、リソース利用性のような対象物へ
影響する。[0007] A production plan typically involves the structure of an object work schedule, which manages and works on the command manufacturing of the object at the equipment job shop. The structure of the work plan becomes a complex problem in the work plan, which is affected by knowledge gathered from various sources of equipment. The acceptability of a particular work plan depends on different and conflicting factors, which include deadline requirements, cost limits, product levels, equipment capacity, substitutability, other manufacturing processes, and order.
Affects objects such as characteristics, resource requirements, resource availability.
【０００８】ジョブ作業計画問題の特性は、職種機種別
作業計画（ｊｏｂ−ｓｈｏｐ ｓｃｈｅｄｕｌｉｎｇ）
問題が例えば処理経路指示のような動作のシーケンスの
選択で規定されることにあり、その遂行は、対象物に影
響するそれぞれの動作のリソースと、例えば、開始及び
終了時間のような割り当て時間と、オーダの完了とに帰
結する。歴史的に、作業計画の問題は２つの分離した処
理に分割されている。処理経路指示選択は、歴史的に計
画処理の製造（ｐｒｏｄｕｃｔ）であり、他方、時間と
リソースとの割り当ては、歴史的に作業計画の目的であ
る。実際に、計画と作業計画との間の区別は、随行する
作業計画を発生することなく対象物の経路指示の選択を
最終的に行えないことを含む上記記述のように識別する
ことができない。処理経路指示の導入は、それぞれの選
択された動作の実行性に依存し、動作は、該動作が実施
される時限の間そのリソース要求が満足されるときのみ
実行可能である。したがって、許容される処理経路指示
発行（ｒｅｌｅａｓｅ）の決定は、該経路指示（ｒｏｕ
ｔｉｎｇ）のそれぞれの動作へのリソース及び時間の事
前の割り当てを含んでいる。[0008] The characteristics of the job work planning problem are the job type, job type, and work plan (job-scheduling).
The problem lies in the fact that it is defined by the choice of a sequence of actions, such as, for example, process routing, the performance of which depends on the resources of each action affecting the object and the allocated time, eg the start and end times. , Resulting in the completion of the order. Historically, work planning problems have been divided into two separate processes. Processing route selection is historically the production of planned processing, while time and resource allocation is historically the purpose of work planning. In fact, the distinction between a plan and a work plan cannot be discriminated as in the above description, which involves the final inability to select an object's routing without generating an accompanying work plan. The introduction of a processing path directive depends on the executability of each selected action, which is only viable when its resource requirements are satisfied for the time period during which the action is performed. Therefore, the determination of the allowable processing route instruction issuance (release) is made by determining the route instruction (rou).
ing) of each operation and pre-allocation of resources and time.
【０００９】順番（ｓｅｑｕｅｎｃｉｎｇ）の問題の大
きさを認識するため、５つの動作で１０のオーダのみの
順番を考慮する。単一の機械が、例えば、代用の経路指
示やタイムギャップのない仮定のようなそれぞれの動作
と関連すると仮定すると、作業計画が作られるとき、ほ
ぼ（１０１）５、即ち、約１０３２の可能な作業計画
が、上記作業計画問題で可能となる。To recognize the magnitude of the sequencing problem, consider the order of only 10 orders of 5 operations. Assuming that a single machine is associated with each movement, eg, surrogate routing and assumptions without time gaps, there are approximately (101) 5 or about 10 32 possible when the work plan is created. Various work plans are possible with the above work plan problem.
【００１０】実際に、現実の製造設備は、記述に含まれ
るよりも更に複雑である。動作、オーダ及びリソースの
数は、実質的により多く、また、例えば、機械故障、オ
ーダ変更等の設備の動的な特性は、選択処理をより複雑
にする。In reality, real manufacturing equipment is even more complex than included in the description. The number of operations, orders and resources is substantially higher, and the dynamic characteristics of the equipment, eg machine failures, order changes, etc., make the selection process more complex.
【００１１】上記記述の処理の例で、半導体製造は大雑
把に３つの領域、即ち、材料の用意と製造する回路設計
を含む設計、写真平板マスクの用意と生ウエハーの製
造、回路をウエハーに構築するウエハー処理と組み立
て、実装及び実装品及びそれぞれ独立の回路の試験とに
分けることができる。典型的には、ウエハーを処理する
半導体製造のステップ数は、一般に２００程度のステッ
プである。設備、例えば、半導体工場は、リソースの故
障合間（ｍｅａｎ−ｔｉｍｅ−ｂｅｔｗｅｅｎ−ｆａｉ
ｌｕｒｅ ＭＴＢＦ）或いは、修理合間（ｍｅａｎ−ｔ
ｉｍｅ−ｔｏ−ｒｅｐａｉｒ ＭＴＴＲ）のような測定
において考慮される、機械が対象物に対して作業してい
る時限を含む処理能力により規定することができる。設
備のリソース即ち機械の処理能力は、任意の長さを有し
得る隣接する時限に分割することができ、しかしなが
ら、時限は単一のシフト或いは単一の遅延に一般に対応
することができる。例示的に、該時限は等しいサイズ
で、現在の時間から計画された水平軸まで延長し、これ
は、作業する対象物が完了することを考慮し実施可能な
将来の最も遠い点である。In the processing example described above, semiconductor manufacturing is roughly divided into three areas: design including material preparation and circuit design for manufacturing, preparation of photolithographic mask and manufacture of raw wafer, and circuit construction on wafer. Wafer processing and assembly, mounting, and mounting products and independent circuit testing. Typically, the number of semiconductor manufacturing steps that process a wafer is generally on the order of 200 steps. Equipment, for example, a semiconductor factory, has a mean-time-between-fai resource failure interval.
lure MTBF) or repair interval (mean-t)
It can be defined by the throughput, including the time period during which the machine is working on the object, taken into account in measurements such as the image-to-repair MTTR). The equipment resources or machine throughput can be divided into contiguous time periods, which can have any length, however, the time periods can generally correspond to a single shift or a single delay. Illustratively, the time periods are of equal size and extend from the current time to the planned horizontal axis, which is the farthest point in the future practicable in view of the completion of the work object.
【００１２】例えば、利用可能なそれぞれの時限のため
のリソースの処理容量の利用処理、即ち、ステップの連
続である、対象物の作業を計画することが、いずれかの
製造計画の対象である。３つの試験を達成するため、計
画器は、設備のため作業計画から計画への構築を促進す
るため種々の案とツールとを開発してきた。計画器が採
用するこのようなツールの一つが図１に示されている。
図１に示されているように、ツリー（ｔｒｅｅ，１０
２）は、例えばノード（１１０）のような複数のノード
を含む。該ノード（複数）はブランチ（ｂｒａｎｃｈ，
１０４）でリンクされ、ツリー（１０２）を形成する。
該ブランチは、子ブランチと共に親ブランチに直接接続
されている。例えば、親ノード（１１０）は子ノード
（１１２）にブランチ（１０５）で接続されている。ツ
リー（１０２）の頂上のノード（１００）は、親を有さ
ず、ルート（ｒｏｏｔ）ノードとして参照される。そし
て、子を有さないノード（１２０）は端子ノードとして
参照される。計画器はノードを時限として表し、これ
は、例えば製造処理の種々のステップを実行する設備の
機械であるリソースの処理容量に相当し、ツリー（１０
２）は、対象物を発行する全ての可能な時限のためのサ
ーチツリー（Ｓｅａｒｃｈ ｔｒｅｅ）を表している。
ブランチは時限の２つのノードの関係を表している。サ
ーチの選別、或いは、代用は２つのブランチで表され、
そのブランチはノードから該ノードの子へのものであ
る。ツリー（１０２）をサーチする別の１つの方法は、
拘束されない深さ−第１（ｄｅｐｔｈ−ｆｉｒｓｔ）サ
ーチである。従事又は選択されるブランチは、それぞれ
のノードで任意に選択され、端子ノードへの動きは、同
じレベルの他のブランチを無視して進む。しかしなが
ら、このようなサーチは問題を有し、与えられたノード
又はブランチが解を得るのに長いサーチ時間を必要とす
るノードの巨大なサブネットワークへの通路となること
があり、解へ至る潜在的に短いサーチを無視した。最適
の解を見い出すために、サーチはツリーの全ての位置で
完全に調査しなければならないため、そのようなサーチ
は不経済である。従って、上記例から非常に明白である
ように、計画の解のためのツリーのサーチは任意に行う
ことができなかった。[0012] For example, the planning of the utilization process of the resource's processing capacity for each available time period, ie the work of the object, which is a succession of steps, is the subject of any manufacturing plan. To achieve the three tests, the planner has developed various ideas and tools to facilitate the construction of a work plan to plan for the facility. One such tool employed by the planner is shown in FIG.
As shown in FIG. 1, the tree (tree, 10
2) includes a plurality of nodes, eg node (110). The nodes are a branch,
Linked at 104) to form a tree (102).
The branch is directly connected to the parent branch as well as the child branch. For example, the parent node (110) is connected to the child node (112) by the branch (105). The node (100) at the top of the tree (102) has no parent and is referred to as the root node. Then, the node (120) having no child is referred to as a terminal node. The planner represents a node as a time period, which corresponds to the processing capacity of a resource, for example the machine of the equipment performing the various steps of the manufacturing process, the tree (10
2) represents a search tree for all possible time limits for issuing the object.
A branch represents a relationship between two timed nodes. Search selection or substitution is represented by two branches,
The branch is from a node to its children. Another way to search the tree (102) is
Unconstrained depth-first search. The engaged or selected branch is arbitrarily selected at each node and movement to the terminal node proceeds ignoring other branches at the same level. However, such a search is problematic and can be a path to a huge sub-network of nodes where a given node or branch requires a long search time to obtain a solution, potentially leading to a solution. I ignored the short search. Such a search is uneconomical because it has to traverse all positions of the tree to find the optimal solution. Therefore, as is very clear from the above example, the search of the tree for the solution of the plan could not be done arbitrarily.
【００１３】[0013]
【発明の目的】本発明の目的は、作業が設備に何時発行
されるかを決定する計画を維持し開発することにあり、
そして、作業される対象物が何時完了するかを予想する
ことにある。OBJECT OF THE INVENTION It is an object of the present invention to maintain and develop a plan which determines when work is issued to a facility,
And it is to predict when the object to be worked will be completed.
【００１４】更に、本発明の目的は、計画のために継続
的且つ迅速に計画を更新することを可能にすることにあ
る。ユーザの要求に答えるため、機械故障中のリソース
の使用不能のような予期せぬ事態を考慮し、付加の対象
物を計画する。本発明の目的は、作業される対象物を計
画するためのアルゴリズムによる解を求める動作を最小
にしながら、作業される対象物を正確に計画することに
ある。本発明の目的は、代用計画（ｐｌａｎｎｉｎｇ
ａｌｔｅｒｎａｔｉｖｅｓ）の選択を提供することにあ
る。木発明の目的は、他の代用計画に影響するように、
或いは影響しないように代用計画を選択することにあ
る。Furthermore, it is an object of the present invention to make it possible to update a plan continuously and quickly for the plan. To respond to user requests, plan for additional objects, taking into account unforeseen circumstances such as resource unavailability during machine failure. It is an object of the present invention to accurately plan an object to be worked while minimizing the algorithmic solution for planning the object to be worked. The purpose of the present invention is to provide a planning scheme.
to provide alternatives). The purpose of the tree invention is to influence other alternative plans,
Alternatively, the alternative plan should be selected so that it will not be affected.
【００１５】本発明の目的は、例えば、可能なとき計
画、可能な配送日（ｄｅｌｉｖｅｒｙｄａｔｅ）で計
画、可能な限り早い計画等の計画器の選択に従い、初期
時限を決定することにある。本発明の目的は、計画され
る予期されない事態を許容することにある。本発明の目
的は、配送日の重要性を認識することにある。An object of the present invention is to determine the initial time limit according to the selection of the planner, for example, a plan when possible, a plan with possible delivery date, a plan as soon as possible, and the like. The purpose of the invention is to allow for planned and unforeseen events. An object of the present invention is to recognize the importance of delivery dates.
【００１６】[0016]
【発明の概要】本発明は、作業が設備に何時発行される
かを決定する計画を維持し開発し、そして、作業される
対象物が何時完了するかを正確に予想する。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention maintains and develops a plan that determines when work is issued to a facility, and accurately predicts when the object being worked will be completed.
【００１７】本発明は、ユーザの要求に答え、継続的且
つ迅速に計画を更新することを可能にし、機械故障中の
リソースの使用不能のような予期せぬ事態を考慮する。
本発明は、作業される対象物を計画する解を求める時間
を最小することを試みる。本発明は、ユーザの要求に応
じて代用計画の選択を許容する。本発明は、代用計画の
選択に従い作業される他の対象物に影響し、或いは、影
響しない。The present invention allows users to respond to user requests and update plans on a continuous and rapid basis, allowing for unforeseen events such as resource unavailability during machine failure.
The present invention attempts to minimize the time to find a solution that plans the object to be worked on. The present invention allows the selection of alternative plans according to the user's requirements. The present invention affects or does not affect other objects that are operated according to the choice of surrogate plan.
【００１８】本発明は、例えば可能なとき計画、可能な
配送日で計画、可能な限り早い計画等の計画器の選択に
従い、作業される対象物が計画される初期時限を決定す
る。本発明は、計画された予期されない事態が起こった
とき計画される対象物を許容する。The present invention determines the initial time period for which the object to be worked is planned according to the planner's choice, such as planning when possible, planning with possible delivery dates, planning as early as possible. The present invention allows for planned objects when a planned unexpected event occurs.
【００１９】本発明は、サーチツリーのノードに対応す
る初期時限を決定する装置から成り、該サーチツリーの
複数のノードを読み出す回路と、該サーチツリーのルー
トノードを決定する回路と、無機能ノードが該サーチツ
リーの解を表すことがないように、１つのルートノード
が無機能ノードかを決定するため該ルートノードを評価
する回路と、ユーザの要求に従い、該無機能ノードから
ではなく、該ルートノードから該初期時限を選択する回
路とを有する。The present invention comprises a device for determining an initial time period corresponding to a node of a search tree, a circuit for reading a plurality of nodes of the search tree, a circuit for determining a root node of the search tree, and a non-functioning node. So as not to represent a solution of the search tree, a circuit that evaluates one root node to determine if it is a non-functioning node and, according to the user's request, not from the non-functioning node, A circuit for selecting the initial time period from a root node.
【００２０】本発明は更に、全ての以前に計画された対
象物の期限日に間に合うように該対象物を計画する要求
を有する。本発明は更に、全ての以前に計画された対象
物の期限日に間に合い、そして、該対象物の期限日に間
に合うように計画し、該計画がビームサーチにより得ら
れる要求を有する。本発明は更に、該対象物が他の対象
物の期限日に影響することなく計画できないときに、該
対象物が、該対象物よりも低い優先性を有する該計画か
ら該他の対象物を除くことにより計画されるよう、該対
象物を計画する要求を有する。The present invention further has the requirement of planning all previously planned objects in time to meet their deadlines. The invention further comprises the requirement that all previously planned objects have their deadlines in time and plan to meet the deadlines of said objects, the plan having a requirement obtained by beam search. The invention further provides that when the object cannot be planned without affecting the deadline date of the other object, the object has the other object from the plan having a lower priority than the object. There is a requirement to plan the object as planned by removing.
【００２１】本発明は更に、発見に従う該ルートノード
の決定を有する。本発明は更に、年代順バックグラウン
ドの拡張ビームサーチであるビームサーチを有する。本
発明は更に、ビームサーチで計画される対象物を有す
る。The invention further comprises determining the root node according to the discovery. The invention further comprises a beam search, which is an expanded beam search of chronological background. The invention further comprises objects planned with a beam search.
【００２２】本発明は更に、サーチツリーのノードに対
応する初期時限を決定する方法であって、該サーチツリ
ーの複数のノードを読み出し、該サーチツリーのルート
ノードを決定し、１つのルートノードが該サーチツリー
の解を表わさない無機能ノードかを決定するため該ルー
トノードを評価し、ユーザの要求に従い、該無機能ノー
ドを除く該ルートノードから該初期ノードを選択する方
法から成る。The present invention is also a method of determining an initial time period corresponding to a node of a search tree, wherein a plurality of nodes of the search tree are read, a root node of the search tree is determined, and one root node is The method comprises evaluating the root node to determine if it is a non-functioning node that does not represent a solution of the search tree and selecting the initial node from the root nodes excluding the non-functioning node according to a user's request.
【００２３】本発明は更に、全ての以前に計画された対
象物が間に合うように期限日を決定するステップを有す
る方法から成る。本発明は更に、ビームサーチにより計
画を得るステップを有する方法から成る。本発明は更
に、該対象物よりも低い優先性を有する該計画から対象
物を除くステップを有する方法から成る。本発明は更
に、発見に従いルートノードを決定するステップを有す
る方法から成る。本発明は更に、年代順バックグラウン
ドの拡張ビームサーチを得るステップを有する方法から
成る。The present invention further comprises a method comprising the step of determining a deadline date in time for all previously planned objects. The invention further comprises a method comprising the step of obtaining a plan by means of a beam search. The invention further comprises a method comprising the step of removing an object from the plan having a lower priority than the object. The invention further comprises a method comprising the step of determining a root node according to the discovery. The invention further comprises a method comprising the step of obtaining an expanded beam search of a chronological background.
【００２４】これらの本発明の特徴は、添付の図面を参
照し以下の本発明の詳細な記述から当業者に明らかにな
るであろう。These features of the invention will be apparent to those skilled in the art from the following detailed description of the invention with reference to the accompanying drawings.
【００２５】[0025]
【実施例】図２には、計画器回路１０が、工場の状態に
関する情報を該計画器に提供する工場状態回路１６と、
ユーザ１２と、工場の動作のシュミレーションを提供す
るシュミレータ回路２０と、要求回路１４と、計画器に
パラメータを入力するパラメータ回路１９と、工場で作
業される対象物の作業計画を立てる作業計画回路１８と
に接続されていることが示されている。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT Referring to FIG. 2, a planner circuit 10 provides a factory status circuit 16 which provides the planner with information regarding the status of the factory.
A user 12, a simulator circuit 20 that provides a simulation of the operation of the factory, a request circuit 14, a parameter circuit 19 that inputs parameters to the planner, and a work planning circuit 18 that creates a work plan for objects to be worked in the factory. It is shown to be connected to and.
【００２６】図３には、計画回路２６が、作業される対
象物のための初期時限を決定する初期配置作業２０と、
計画を管理する計画管理回路２０と、作業される対象物
の発行（ｒｅｌｅａｓｅ）を管理する発行回路２８と、
設備の容量をモデル化する容量モデル回路２２とに接続
されていることが示されている。該計画管理回路２４
は、ユーザ１２と工場状態回路１６と接続されている。
例示的には、計画器回路１０は、コンピュータ、ミニコ
ンピュータ、或いはマイクロコンピュータ等であること
ができる。In FIG. 3, the planning circuit 26 shows an initial placement operation 20 which determines an initial time limit for the object to be worked,
A plan management circuit 20 that manages a plan, an issue circuit 28 that manages the release of an object to be worked,
It is shown connected to a capacity model circuit 22, which models the capacity of the facility. The plan management circuit 24
Is connected to the user 12 and the factory status circuit 16.
Illustratively, the planner circuit 10 can be a computer, a minicomputer, a microcomputer, or the like.
【００２７】図４には、３つのリソースの処理容量の間
の関係、即ち、第１時限Ｔ１の間の機械グループＭＧ
１，ＭＧ２，ＭＧ３とく時限Ｔ２の間の３つの機械グル
ープＭＧ１，ＭＧ２，ＭＧ３の処理容量に対するそれぞ
れ対象物１と対象物２との計画処理利用性（ｐｒｏｃｅ
ｓｓｉｎｇ ｕｔｉｌｉｚａｔｉｏｎ）２１０，２１２
が示されている。時限Ｔ１の間、機械グループＭＧ１
は、ＭＧ１の処理容量の約５０％の対象物１のための計
画処理利用性を有している。時限Ｔ１の間の約５０％の
処理容量は、他の対象物の更なる処理利用性のために利
用できるよう残される。加えて、時限Ｔ１の間、ＭＧ２
のため約２５％の処理容量が、対象物２の処理利用性２
１２のため計画され、ＭＧ２の約５０％の処理容量は、
対象物１の処理利用性２１０のため計画される。時限Ｔ
１の間のＭＧ２のための約２５％の残りの処理容量は、
他の対象物の処理利用性のための計画に利用できる。時
限Ｔ１の間のＭＧ３の約４５％の処理容量は、対象物２
の処理利用性２１２のため計画される。時限Ｔ１の間の
ためのＭＧ３の残りの約５５％の計画容量は、他の対象
物の付加的な処理利用性のための計画に利用できる。FIG. 4 shows the relationship between the processing capacities of the three resources, namely the machine group MG during the first time period T 1.
1, MG2, MG3, and the planned processing availability of object 1 and object 2, respectively, for the processing capacities of the three machine groups MG1, MG2, MG3 during the time period T 2.
210, 212
It is shown. Machine group MG1 during time period T 1
Has a planned process availability for Object 1 of about 50% of the processing capacity of MG1. About 50% of the processing capacity during the time period T 1 remains available for further processing availability of other objects. In addition, during the time period T 1 , MG2
The processing capacity of about 25% is due to
12 planned, about 50% processing capacity of MG2,
Planned for processing availability 210 of Object 1. Time T
The remaining processing capacity of about 25% for MG2 between 1
It can be used to plan for the processing availability of other objects. Approximately 45% of the processing capacity of MG3 during time period T 1 is
Is scheduled for processing availability 212. The remaining approximately 55% planned capacity of MG3 for time period T 1 is available for planning for additional processing availability of other objects.
【００２８】図４は更に時限Ｔ２の間の処理容量を示
し、ここで、時限Ｔ２の間のＭＧ１の約７５％の処理容
量は、対象物２の処理利用性２１２のため計画され、他
方、約２５％の処理容量が計画されるために利用可能で
ある。時限Ｔ２の間のＭＧ２の約６０％の処理容量は、
対象物１の処理利用性２１０のため計画され、約４０％
の処理容量が他の対象物の処理利用性の計画のため利用
可能である。最後に、時限Ｔ２の間のＭＧ３の約２０％
の処理容量は、対象物１の処理利用性２１０のため計画
され、残りの処理容量は、他の対象物の処理利用性の計
画のために利用可能である。付加的な対象物が時限の間
に計画できるかを決定するため、この付加的な対象物の
処理利用性が機械グループの利用可能な処理容量と比較
される。もし機械グルーブか処理利用性を計画するのに
充分な処理容量を有していたなら、対象物がこの時限に
計画できる。FIG. 4 further shows the processing capacity during time period T 2 , where about 75% of the processing capacity of MG1 during time period T 2 is planned for object 2 processing availability 212. On the other hand, a processing capacity of about 25% is available to be planned. The processing capacity of about 60% of MG2 during the time period T 2 is
Planned for processing availability 210 of Object 1, approximately 40%
Processing capacity is available for planning the processing availability of other objects. Finally, about 20% of MG3 during timed T 2
Processing capacity is planned for the processing availability 210 of the object 1 and the remaining processing capacity is available for planning the processing availability of other objects. The processing availability of this additional object is compared to the available processing capacity of the machine group to determine if the additional object can be planned during the time period. An object can be planned at this time if it has sufficient processing capacity to plan a machine groove or process availability.
【００２９】図５を参照し、異なる機械グループのため
の対象物の処理利用性を計画する、利用可能な処理容量
を有する時限を決定するサーチツリーが示されている。
図５には、種々のレベル、即ち、レベル１、レベル２、
レベル３がサーチツリーに関連することが示され、それ
ぞれのレベルは、端子ノード或いはルートノードのいず
れかへサーチされるノードの間のノードの数に対応して
いる。例えば、レベル１を含む端子ノードが、時限
Ｔ０、時限Ｔ１、時限Ｔ２を含んでいる。レベル２は、
時限Ｔ２、時限Ｔ３、時限Ｔ１を含んでいる。レベル３
は、時限Ｔ１から時限Ｔ６を含んでいる。以前に記述し
たように、解の数が大きくなるため、サーチツリーを完
全にサーチすることにより全ての可能な時限を考慮する
ことによって、合理的な時間内に最適の解を得ることは
不可能である。該サーチツリーのサーチを短くするため
に、サーチの全ての時限をサーチしないように幾つかの
拘束が課せられる。例えば、時限即ちサーチツリーのサ
ーチが境界２５０で制限され、例えば図５のビーム幅か
ら外れる境界２５０の左側のように、境界の外側では時
限のサーチを試みないことにより境界を越えるものは残
される。レベル２で、時限Ｔ１は、該時限の選択がビー
ム幅から外れるため考慮されない。これは、共に特許出
願中であるＴＩ−１８２２４、名称“ビームサーチを行
う方法及び装置”に記述されている。他の拘束は、サー
チツリーのサーチを選択する時限の制限である。例え
ば、ステップのある連続を他のステップの連続の後に行
わなければならないようにする。これにより、図５に示
すように、例えばレベル３の時限Ｔ１のように、一定の
時限は、連続の拘束から外れるようになり取り除かれ
る。Referring to FIG. 5, a search tree is shown which determines the processing availability of objects for different machine groups, and which determines a time limit with available processing capacity.
FIG. 5 shows various levels, namely level 1, level 2,
It has been shown that level 3 is associated with the search tree, each level corresponding to the number of nodes between the nodes searched to either the terminal node or the root node. For example, the terminal node including level 1 includes time period T 0 , time period T 1 , and time period T 2 . Level 2 is
It includes a time period T 2 , a time period T 3 , and a time period T 1 . Level 3
Includes time periods T 1 to T 6 . As mentioned previously, the number of solutions is large, so it is not possible to find the optimal solution in a reasonable amount of time by fully searching the search tree and considering all possible times. Is. In order to shorten the search of the search tree, some constraints are imposed so that it does not search all the time periods of the search. For example, the timed or search tree search is bounded by boundaries 250, and those beyond the boundaries are left out by not attempting a timed search outside the boundaries, such as to the left of boundary 250 which deviates from the beamwidth in FIG. . At level 2, the time period T 1 is not considered because the time period selection deviates from the beam width. This is described in the patent-pending TI-18224, entitled "Method and Apparatus for Performing Beam Search." Another constraint is the time limit for selecting a search in the search tree. For example, one sequence of steps must occur after another sequence of steps. As a result, as shown in FIG. 5, the fixed time period is removed from the continuous constraint, for example, the time period T 1 of level 3.
【００３０】図５では、時限Ｔ０が無機能（ｆａｉｌｅ
ｄ） ノードに相当し、時限Ｔ１が機能（ｓｕｃｃｅｓ
ｓｆｕｌｌｙ）計画ノードに相当することが示されてい
る。特定のノードが機能しない理由は変化するが、理由
の１つには、特定の対象物の処理利用性を計画するため
に充分な処理容量が存在しないことにある。In FIG. 5, the time period T 0 has no function (file).
d) Corresponds to a node, timed T 1 is a function (successes)
It is shown that this corresponds to a sfully) planning node. The reason why a particular node does not work varies, but one reason is that there is not enough processing capacity to plan the processing availability of a particular object.
【００３１】サーチツリーのサーチを開始するため、計
画器はサーチツリーのサーチを開始するレベル１の時限
を選択する。To initiate a search of the search tree, the planner selects the level 1 time period at which the search of the search tree is initiated.
【００３２】しかしながら、該時限が選択される前に、
計画器は、該対象物が他の対象物に関して如何に計画さ
れるかを選択しなければならない。設備は与えられた時
限における１以上の対象物の通常処理であるので、追加
された対象物の計画は、該設備のために既に計画された
対象物と衝突する。例えば、対象物が与えられた期限日
までに完成するよう計画されなければならないとき、こ
れが既に計画された他の対象物に影響することがあっ
た。従って、対象物の計画の際に考慮しなければならな
い重要事項は、該設備のために既に計画された対象物
の、特定の対象物の作業計画への衝突にある。However, before the time period is selected,
The planner has to choose how the object is planned with respect to other objects. Since equipment is the normal treatment of one or more objects at a given time, the plans for added objects will collide with objects already planned for the equipment. For example, when an object had to be planned to be completed by a given deadline, this could affect other objects already planned. Therefore, an important consideration that must be taken into account when planning an object is the conflict of the objects already planned for the installation with the work plan of the particular object.
【００３３】計画する上で特定の対象物を計画するとき
の衝突を評価する際の計画器の他の考慮事項は、対象物
を完成する期限ミスによる影響である。例えば、特定の
対象物が、対象物を完成させるための絶対的な期限に間
に合うことを要求し、他方、他の対象物が期限に間に合
うことを要求しないこともあり得る。この面において、
計画器の要求と合うことがある。対象物の作業計画の作
成により既に作業計画された他の対象物が影響されない
ように、対象物が、非−分裂（ｎｏｎ−ｄｉｓｒｕｐｔ
ｉｖｅ）要求に基づき完成される前に計画されることが
ある。反対に、分裂（ｄｉｓｒｕｐｔｉｖｅ）要求と関
連する対象物が要求された時限で完成するよう計画する
ことを確実にするため、他の対象物を含む計画が変更さ
れるように、計画器が分裂要求を作り出すこともでき
る。非−分裂要求の例は、“可能なとき計画”であり、
これは、既に作業計画された他の対象物に影響、即ち、
変更させないことにより、現在の時限に関して、可能な
限り早くサーチツリーのレベル１での時限の発行のため
対象物の計画を試みる。他の非−分裂要求は、“可能な
らば配送日で計画”である。このタイプの要求は、現在
の時限に関連して可能な限り早い時限で開始する代わり
に、計画器が配送日に完成する対象物の計画を試み、配
送日に間に合う予め定められた確認レベルを識別し、そ
して、配送日の前の時限を評価することにおいて、“可
能なら計画”と異なる。図５に示すように、時限は、最
も左の位置を好適な時限に対応させ、予め定められたレ
ベルで左から右へと並べられる。“可能なら計画”要求
が要求されたなら、計画器は、このサーチツリーの最も
左の位置から時限を選択し、初期時限を捜し出すために
右側へ移動させる。Another consideration of the planner in assessing collisions when planning a particular object in planning is the effect of missed deadlines to complete the object. For example, a particular object may require that an absolute deadline for completing the object be met, while other objects do not require the deadline to be met. In this respect,
It may meet the requirements of the planner. The object is non-disrupted so that the creation of the work plan for the object does not affect other objects already scheduled.
iv) May be planned before being completed on demand. Conversely, in order to ensure that the object associated with the disruptive request is planned to complete at the required time, the planner will request the split request so that the plan containing other objects is modified. Can also be created. An example of a non-split request is "plan when possible",
This affects other objects already planned for work, namely:
By not changing, we try to plan the object for timed publication at level 1 of the search tree as soon as possible for the current timed. Another non-split requirement is "plan on delivery date if possible". This type of request is such that instead of starting at the earliest possible time with respect to the current time period, the planner attempts to plan for objects that will be completed on the delivery date, with a predetermined confirmation level in time for the delivery date. Differs from "plan if possible" in identifying and evaluating the time limit before the delivery date. As shown in FIG. 5, the time periods are arranged from left to right at a predetermined level, with the leftmost position corresponding to a suitable time period. If a "plan if possible" request is requested, the planner selects a time period from the leftmost position of this search tree and moves it to the right to find the initial time period.
【００３４】“可能なら配送日で計画”要求が要求され
たなら、計画器は該初期時限のため時限を選択する。こ
れは、レベル１に沿ってサーチツリーの左側をサーチす
ることにより該配送日に間に合うように可能な限り要求
された配送日に近接している。If a "plan by delivery date if possible" request is requested, the planner selects a time period for the initial time period. It is as close as possible to the requested delivery date to meet the delivery date by searching the left side of the search tree along Level 1.
【００３５】分裂要求の第２の代用は“可能な限り早く
計画”であり、該計画の計画された対象物へ潜在的に影
響を与える。このタイプの要求は、要求されたとき、該
計画から要求に対応する対象物よりも低い優先性を有す
る対象物を取り除き、そして、要求されたなら、該計画
は、対象物がより低い優先性の対象物なしで計画できる
かを決定するための評価がなされる。“可能なとき計
画”要求において、計画はサーチツリーの左から右側へ
サーチツリーをサーチする。事実、もし要求に対応する
対象物が計画できるなら、計画から低い優先性の対象物
を除くことにより、該低い優先性の対象物は、作業計画
で高い優先性の対象物で再度作業計画される。“可能な
限り早く計画”に関して、計画されているが、処理され
る設備へ発行されていない対象物のみが再計画され、こ
れは計画器と作業計画器との間の境界に従い、計画器
は、例えば、発行されていない対象物である、作業を設
備に発行する計画のみを立てる。該計画器はひとたび設
備へ発行された対象物については計画できない。加え
て、低い優先性の対象物が計画へと再度計画されたな
ら、上述したいずれかのタイプの要求が、当該低い優先
性の対象物の計画を実行するのに用いられる。該“可能
ときに計画”要求が、計画の変更が大きくなるのにもか
かわらず、計画されなければならない対象物の数を最小
にする。反対に、他のタイプの計画が、変更される対象
物の数を多くするにもかかわらず計画の変更を最小にす
る。しかしながら、要求を実施する全ての方法は、１つ
の作業を置き換えたとき幾つかの対象物の置き換えを引
き起こすドミノ効果を減少させる。更に、これらのタイ
プの要求は、計画が、同じ対象物が連続的に計画され該
計画から取り除かれる循環になることを防ぐ。The second surrogate for fragmentation requirements is "plan as soon as possible", potentially affecting the planned objects of the plan. This type of request, when requested, removes objects from the plan that have a lower priority than the object corresponding to the request, and if requested, the plan indicates that the object has a lower priority. An evaluation is made to determine if it can be planned without the objects of. In the "Plan When Possible" request, the plan searches the search tree from left to right of the search tree. In fact, if an object can be planned for the requirement, then by removing the lower priority objects from the plan, the lower priority objects will be re-planned in the work plan with the higher priority objects. It With regard to "plan as soon as possible", only objects that have been planned but not issued to the equipment being processed are re-planned, which follows the boundaries between the planner and the work planner, For example, only make a plan to issue work to equipment, which is an unissued object. The planner cannot plan for objects once issued to the facility. In addition, if a low priority object is re-planned into a plan, any type of request described above may be used to implement the low priority object plan. The "plan when possible" requirement minimizes the number of objects that must be planned, despite large changes in the plan. Conversely, other types of plans minimize plan changes despite the large number of objects being changed. However, all methods of fulfilling the requirements reduce the domino effect that causes the replacement of several objects when replacing one task. Moreover, these types of requirements prevent plans from becoming a cycle in which the same objects are continuously planned and removed from the plan.
【００３６】更に、計画は機械の状態の変化に伴い変更
されることがある。これは、計画器に利用可能な機械グ
ループの処理容量を対応的に変化させる。例えば、僅か
な機械グループのみが対象物の処理に利用可能なら、計
画は減少した処理容量を反映して変更されるべきであ
る。計画器は、予期せぬ修理により特定の機械グループ
の利用不能がどれだけ長くなるかについての概算ととも
に、工場状態回路１６から機械状態情報を継続的に受信
する。機械グループが利用不能になった後の再計画の方
法は、“可能なとき計画”と似ている。しかしながら、
低い優先性の対象物を除くことにより新しい対象物を計
画する代わりに、該低い優先性の対象物を設備の減少し
た容量に応じて再配置する。該計画は、作業されていた
対象物計画及び現在作業されている対象物が発生した容
量の変化により影響され得るとの警告を、例えばワーク
ステェションを通じて計画器のユーザに発する。非−分
裂要求の１つの利点は、このうよな非−分裂要求が計算
時間を最小にすることにある。例えば、“可能なとき計
画”の要求に従う新たな対象物を計画するのに、５−Ｃ
ＰＵ秒必要とし、既存の計画の３％に影響する。反対
に、分裂要求は典型的にはより長い計算時間を必要とす
る。例えば、“可能な限り早く計画”に従う対象物の計
画に、２０−ＣＰＵ秒必要とし、これは既存の計画の１
５％に影響する。機械状態の変化により対象物を再計画
するとき、例えば、半導体ウエハ工場のイオン注入器、
ボルトネック装置について１２時間の停止が作業計画さ
れたなら、計画の再作業計画には、約８−ＣＰＵ秒必要
とし、計画の５％に影響する。以上記述した要求は、例
えば図９に示すパーソナルコンピュータにより入力され
る。図９は、例えばバス１００を介してサーバ１１０と
接続されたパーソナルコンピュータ１２４，１２５から
成る、ワークステェイションから構成される分配システ
ムを示している。以前に記述した要求は、例えば、ＲＡ
Ｍ，ＲＯＭ等から成る計画器のメモリに保持される。該
計画器はコンピュータ、ミニコンピュータ、或いはマイ
クロコンピュータで実現できる。In addition, plans may change as machine conditions change. This correspondingly changes the processing capacity of the machine group available to the planner. For example, if only a few machine groups are available to process the object, the plan should be changed to reflect the reduced processing capacity. The planner continuously receives machine status information from the factory status circuit 16 with an estimate of how long a particular machine group will be unavailable due to unexpected repairs. The method of re-planning after a machine group becomes unavailable is similar to “planning when possible”. However,
Instead of planning a new object by removing the lower priority object, the lower priority object is relocated according to the reduced capacity of the equipment. The plan issues a warning to the user of the planner, for example through a workstation, that the object plan being worked on and the object currently being worked on may be affected by changes in capacity generated. One advantage of non-split requirements is that such non-split requirements minimize computation time. For example, to plan a new object that complies with the "Plan When Possible" requirement, use 5-C
It requires PU seconds and affects 3% of existing plans. Conversely, fragmentation requirements typically require longer computation times. For example, planning an object according to "plan as soon as possible" requires 20-CPU seconds, which is one of the existing plans.
Affects 5%. When re-planning an object due to changes in mechanical conditions, such as ion implanters in a semiconductor wafer factory,
If a 12 hour outage was scheduled for a bolt neck device, rescheduling the plan would require about 8-CPU seconds, affecting 5% of the plan. The request described above is input, for example, by the personal computer shown in FIG. FIG. 9 shows a distribution system consisting of workstations, which consists of personal computers 124, 125 connected to the server 110, for example via the bus 100. The previously described requirements are, for example, RA
It is stored in the memory of the planner composed of M, ROM and the like. The planner can be realized by a computer, a minicomputer, or a microcomputer.
【００３７】図６を参照し、“可能なとき計画”の動作
が示されている。ステップ２００にて、該“可能なとき
計画”が開始される。ステップ２０２にて、変数Ｎに１
が設定される。ここでＮは異なる時限に対応し、Ｎの数
が大きくなるほど、時限に近づき、ここでＮは計画水平
軸になる。Ｎ＝１は最も現在に近い期間に相当する。ス
テップ２０４にて、“発見（ｈｅｕｒｉｓｔｉｃ）”、
例えば、対象物の処理利用性がこの時限に計画できるか
を決定するため、対象物の処理利用性のＮ番時限と該Ｎ
番時限の機械の処理容量との比較に計画水平軸を用いる
前に、サイクルタイムの完成が可能か否かを発見する。
もしも対象物が該計画水平軸内に計画できないならば、
ステップ２０６で該時限のサーチを終了し、例えば、ワ
ークステェイションに対象物が計画できないことを指示
する。もし対象物が計画できるなら、ステップ２０８
で、サーチツリーのビームサーチが対象物に対応する残
りの時限を計画するのに用いられる。ステップ２１０
で、対象物の残りの時限がビームサーチを用いることに
よりＮ番期間で計画できるか決定される。もし、対象物
がビームサーチを用いることにより計画できると決定し
たなら、ステップ２１２にて、サーチは対象物の再配置
の完成を指示し終了する。サーチツリーをサーチするの
に用いるビームサーチの正確な手法は、本発明に直接関
係しないが、共に出願中のＴＩ−１８２２４に記述され
ている年代順バックグラウンド（ｃｈｒｏｎｏｌｏｇｉ
ｃａｌ ｂａｃｋｇｒｏｕｎｄ）の拡張ビームサーチの
ような多くのタイプのビームサーチが好適に適用でき
る。Referring to FIG. 6, the "plan when possible" operation is illustrated. In step 200, the "plan when possible" begins. In step 202, the variable N is 1
Is set. Here, N corresponds to different time periods, and the larger the number of N, the closer to the time period, where N is the planned horizontal axis. N = 1 corresponds to the period closest to the present. In step 204, “heuristic”,
For example, in order to determine whether the processing availability of the object can be planned for this time period, the Nth time period of the processing availability of the object and the N
Before using the planning horizon for comparison with the time-limited machine throughput, discover if cycle time completion is possible.
If the object cannot be planned within the planned horizontal axis,
In step 206, the search for the time period is completed, and, for example, the work station is instructed that the object cannot be planned. If the object can be planned, step 208
, A beam search of the search tree is used to plan the remaining time period corresponding to the object. Step 210
Then, it is determined whether the remaining time limit of the object can be planned in the Nth period by using the beam search. If it is determined that the object can be planned using the beam search, then in step 212 the search indicates completion of the object relocation and ends. The exact technique of beam search used to search the search tree is not directly related to the present invention, but together with the chronological background described in pending application TI-18224.
Many types of beam search, such as an expanded beam search of a cal background) are preferably applicable.
【００３８】対象物がＮ番期間の間に発行できないな
ら、ステップ２１４で、該Ｎ番期間は、時間で年代順に
前に動かすことにより次の時限へ増大される。次のステ
ップ２１４で、制御はステップ２０４へと移行する。If the object cannot be issued during the Nth period, then in step 214 the Nth period is increased to the next time period by moving forward in chronological order in time. In the next step 214, control transfers to step 204.
【００３９】もし計画器が、“可能なら配送日で計画”
に従い対象物が計画されることを要求したなら、ステッ
プ２５０でいつ作業を完了させなければならないかの決
定がなされる。ステップ２５２において、例えば配送日
のように対象物が完成されなければならない日にちに従
い、Ｎが最新に発行された時限である時限に等しく設定
され、予め定められた確認レベルに従う配送までに対象
物の作業が完成されることが確認される。ステップ２４
５で、Ｎ番時限が現在の時限に相当する時限と比較され
る。Ｎ番時限が現在の時限よりも小さいなら、ステップ
２５６で、ユーザへの作業が計画できないとの指示が作
成され、計画は終了する。もしＮが現在の時限よりも小
さくないなら、ステップ２５８で、ビームサーチを用い
てＮの値に相当するＮ番時限で発行するため作業される
対象物が計画できるかを決定する。作業される対象物が
計画できるなら、ステップ２６０で、該対象物がＮ番時
限で発行するため計画される。もし対象物がＮ番時限で
発行するために計画できないなら、Ｎ番時限が現在の時
限に近づくようにＮ番時限を１減少させる。制御はステ
ップ２５４へ移行する。If the planner is "plan on delivery date if possible"
If the object has been requested to be scheduled according to, then in step 250 a determination is made as to when the work must be completed. In step 252, according to the date on which the object must be completed, for example, the delivery date, N is set equal to the time period that is the most recently issued time period, and the object is delivered by delivery according to a predetermined confirmation level. It is confirmed that the work is completed. Step 24
At 5, the Nth time period is compared to the time period corresponding to the current time period. If the Nth time period is less than the current time period, then in step 256 an instruction is made to the user that the work cannot be planned and the planning ends. If N is not less than the current time period, then in step 258 a beam search is used to determine if the object to be worked on can be planned to issue at time N times, which corresponds to the value of N. If the object to be worked on can be planned, then in step 260, the object is planned for publication in the Nth time period. If the object cannot be planned to be issued in the Nth time period, the Nth time period is decremented by 1 so that the Nth time period approaches the current time period. Control transfers to step 254.
【００４０】“可能な限り早く計画”に相当するステッ
プの連続動作が図８に示されている。ステップ３００に
て、Ｎ番時限が１に初期化される。Ｎは、例えば現在時
限のように、発行のため対象物が計画できる第１の時限
に相当する。ステップ２０３にて、発見を用い計画水平
軸を越えることなくＮ番時限のため対象物が計画できる
か決定される。もしも対象物がこの時限に計画できるな
ら、ステップ３１０へ移動する。しかしながら、この時
限には対象物が計画できないなら、ステップ３０４へ移
動する。ステップ３１０で、対象物の残りの時限が、ビ
ーム幅サーチ（例えば、年代順バックグラウンドの拡張
ビーム幅サーチのような）を用いることによりＮ番時限
で発行するため計画できるかが決定される。対象物が計
画できるなら、ステップ３１０で、対象物は計画され、
ステップの連続はステップ３１４で終了する。しかしな
がら、もし対象物がＮ番時限で計画できないなら、ステ
ップ３１６で、対象物がビーム幅サーチを用い、そし
て、計画から低い優先性の対象物を除くことにより計画
できるか否かが決定される。対象物が計画できないな
ら、ステップ３１８で、Ｎ番時限が次の時限へ増加さ
れ、制御はステップ３０２へ移る。対象物が計画できる
なら、計画のステップ３２０で、該対象物は低い優先性
の対象物なしに計画される。ステップ３２２にて、低い
優先性の対象物は該計画へ再配置され、連続するステッ
プはステップ３２４で終了する。The sequential operation of the steps corresponding to "plan as soon as possible" is shown in FIG. In step 300, the Nth time period is initialized to 1. N corresponds to a first time period in which the object can be planned for issuance, such as the current time period. In step 203, it is determined using discovery that the object can be planned for the Nth time period without crossing the planned horizontal axis. If the object can be planned for this time, move to step 310. However, if the object cannot be planned at this time, the process moves to step 304. At step 310, it is determined whether the remaining time period of the object can be planned for publication in the Nth time period by using a beamwidth search (such as, for example, a chronological background expanded beamwidth search). If the object can be planned, then in step 310 the object is planned,
The sequence of steps ends at step 314. However, if the object cannot be planned in the Nth time period, then in step 316 it is determined whether the object can be planned by using the beamwidth search and removing the lower priority objects from the plan. . If the object cannot be planned, then in step 318 the Nth time period is incremented to the next time period and control passes to step 302. If the object can be planned, then at step 320 of the planning, the object is planned without low priority objects. At step 322, lower priority objects are relocated to the plan and successive steps end at step 324.
【００４１】計画が完了するとき、対象物は設備の機械
の機械列に対して発行される。本発明は、半導体工場、
即ち、設備に関して記述したが、連続するステップによ
り配置され、半導体ウエハーのような対象物を用いる工
場或いは設備にも適用可能である。When the planning is complete, the objects are published to the machine train of the equipment of the installation. The present invention is a semiconductor factory,
That is, although described with respect to equipment, it is also applicable to a factory or equipment that is arranged by successive steps and uses an object such as a semiconductor wafer.
【００４２】他の実施例 本発明とその利点について詳細に記述したが、添付の特
許請求の範囲で規定される発明の範囲及び精神から逸脱
することなく種々の改変、置換、代用が可能なことは理
解されるであろう。 Other Embodiments While the present invention and its advantages have been described in detail, various modifications, substitutions and substitutions are possible without departing from the scope and spirit of the invention as defined by the appended claims. Will be understood.
【００４３】以上の説明に関連して以下の項を開示す
る。 （１）サーチツリーのノードに対応する初期時限を決定
する装置であって、該サーチツリーの複数のノードを読
み出す回路と、該サーチツリーのルートノードを決定す
る回路と、無機能ノードが該サーチツリーの解を表すこ
とがないよう、１つのルートノードが無機能ノードかを
決定するために前記ルートノードを評価する回路と、ユ
ーザの要求に従い、前記無機能ノードからではなく、前
記ルートノードから前記初期時限を選択する回路とから
成る装置。 （２）第１項記載の初期時限を決定する装置であって、
前記要求が、全ての以前に計画された対象物の期限日に
間に合うように前記対象物を計画する装置。 （３）第１項記載の初期時限を決定する装置であって、
前記要求が、全ての以前に計画された対象物の期限日に
間に合い、そして、前記対象物の期限日に間に合うよう
に計画し、前記計画がビームサーチにより得られる装
置。The following sections are disclosed in connection with the above description. (1) A device for determining an initial time period corresponding to a node of a search tree, a circuit for reading a plurality of nodes of the search tree, a circuit for determining a root node of the search tree, and a non-functional node for performing the search. A circuit that evaluates the root node to determine if one root node is a non-functional node so that it does not represent a solution of the tree; A circuit for selecting the initial time period. (2) A device for determining the initial time period according to item 1,
An apparatus for planning the object so that the request is in time for all previously planned object deadlines. (3) A device for determining the initial time period described in the item 1,
The apparatus wherein the request is to meet the deadlines of all previously planned objects, and plans to meet the deadlines of the objects, the plans being obtained by beam search.
【００４４】（４）第１項記載の初期時限を決定する装
置であって、前記対象物が他の対象物の期限日に影響す
ることなく計画できないときに、前記対象物が、前記対
象物よりも低い優先性を有する前記計画から前記他の対
象物を除くことにより計画されるよう、前記要求が前記
対象物を計画する装置。 （５）第２項記載の初期時限を決定する装置であって、
前記ルートノードの決定が発見に従う装置。 （６）第３項記載の初期時限を決定する装置であって、
前記ビームサーチが年代順バックグラウンドの拡張ビー
ムサーチである装置。 （７）第４項記載の初期時限を決定する装置であって、
前記対象物がビームサーチで計画される装置。 （８）サーチツリーのノードに対応する初期時限を決定
する方法であって、該サーチツリーの複数のノードを読
み出し、該サーチツリーのルートノードを決定し、１つ
のルートノードが該サーチツリーの解を表わさない無機
能ノードかを決定するため前記ルートノードを評価し、
ユーザの要求に従い、前記無機能ノードを除く前記ルー
トノードから前記初期ノードを選択する方法。(4) The apparatus for determining the initial time limit according to the first item, wherein when the object cannot be planned without affecting the deadline date of another object, the object is the object An apparatus for the request to plan the object as planned by removing the other object from the plan having a lower priority. (5) A device for determining the initial time period according to the second paragraph,
A device whose root node determination is subject to discovery. (6) A device for determining the initial time period described in the item 3,
The apparatus wherein the beam search is an expanded beam search with a chronological background. (7) A device for determining the initial time period according to the fourth item,
A device in which the object is planned by beam search. (8) A method of determining an initial time period corresponding to a node of a search tree, wherein a plurality of nodes of the search tree are read, a root node of the search tree is determined, and one root node is a solution of the search tree. Evaluate the root node to determine if it is a non-functional node that does not represent
A method of selecting the initial node from the root nodes excluding the non-functioning node according to a user's request.
【００４５】（９）第８項記載の初期時限を決定する方
法であって、全ての以前に計画された対象物が間に合う
ように期限日を決定するステップを有する方法。 （１０）第８項記載の初期時限を決定する方法であっ
て、前記計画がビームサーチにより計画を得るステップ
を有する方法。 （１１）第８項記載の初期時限を決定する方法であっ
て、前記対象物よりも低い優先性を有する前記計画から
対象物を除くステップを有する方法。 （１２）第９項記載の初期時限を決定する方法におい
て、決定の該ステップが発見に従い決定するステップを
有する方法。 （１３）第１０項記載の初期時限を決定する方法におい
て、前記得るステップが、年代順バックグラウンドの拡
張ビームサーチを得るステップを有する方法。 （１４）サーチツリーのルートから初期時限を決定する
方法及び装置。該初期時限は、要求に従い決定される。
該要求は、以前に計画された対象物の期限日に影響す
る。(9) A method for determining an initial time limit as described in paragraph 8, comprising the step of determining a deadline date in time for all previously planned objects. (10) A method for determining an initial time limit according to item 8, wherein the plan includes a step of obtaining a plan by beam search. (11) A method for determining an initial time limit according to item 8, comprising the step of removing an object from the plan having a lower priority than the object. (12) A method of determining an initial time period according to item 9, wherein the step of determining comprises the step of determining according to a finding. (13) A method for determining an initial time period according to item 10, wherein the obtaining step includes a step of obtaining an expanded beam search of a chronological background. (14) A method and apparatus for determining an initial time limit from the root of a search tree. The initial time period is determined according to requirements.
The request affects the previously planned deadline date for the object.
【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]
【図１】サーチツリーの図である。FIG. 1 is a diagram of a search tree.
【図２】本発明実施例のブロック図である。FIG. 2 is a block diagram of an embodiment of the present invention.
【図３】本発明実施例のブロック図である。FIG. 3 is a block diagram of an embodiment of the present invention.
【図４】時限のための計画容量に対する計画された処理
の利用性を示している。FIG. 4 shows the availability of planned treatment against planned capacity for timed periods.
【図５】本発明の時限に関するサーチツリーである。FIG. 5 is a search tree for the time limit of the present invention.
【図６】本発明に係る可能なときの計画のフローチャー
トである。FIG. 6 is a flow chart of a feasible schedule according to the present invention.
【図７】可能なときの配送日による計画のフローチャー
トである。FIG. 7 is a flow chart of planning by delivery date when possible.
【図８】可能な限り早い計画のフローチャートである。FIG. 8 is a flowchart of a plan as soon as possible.
【図９】配分システムの図である。FIG. 9 is a diagram of a distribution system.
【符号の説明】 １００ ノード １０２ ツリー １０４ ブランチ １０５ ブランチ[Explanation of symbols] 100 node 102 tree 104 branch 105 branch
Claims (2)
限を決定する装置であって、 該サーチツリーの複数のノードを読み出す回路と、 該サーチツリーのルートノードを決定する回路と、 無機能ノードが該サーチツリーの解を表すことがないよ
う、１つのルートノードが無機能ノードかを決定するた
めに前記ルートノードを評価する回路と、 ユーザの要求に従い、前記無機能ノードからではなく、
前記ルートノードから前記初期時限を選択する回路とか
ら成る装置。1. An apparatus for determining an initial time period corresponding to a node of a search tree, comprising: a circuit for reading a plurality of nodes of the search tree; a circuit for determining a root node of the search tree; A circuit that evaluates one root node to determine if it is a non-functioning node so as not to represent the solution of the search tree;
A circuit for selecting the initial time period from the root node.
限を決定する方法であって、 該サーチツリーの複数のノードを読み出し、 該サーチツリーのルートノードを決定し、 １つのルートノードが該サーチツリーの解を表わさない
無機能ノードかを決定するため前記ルートノードを評価
し、 ユーザの要求に従い、前記無機能ノードを除く前記ルー
トノードから前記初期ノードを選択する方法。2. A method for determining an initial time period corresponding to a node of a search tree, wherein a plurality of nodes of the search tree are read, a root node of the search tree is determined, and one root node is the search tree. Method for evaluating the root node to determine whether the non-functioning node does not represent the solution and selecting the initial node from the root nodes excluding the non-functioning node according to the user's request.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US9652993A | 1993-07-22 | 1993-07-22 | |
| US096529 | 1993-07-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07234898A true JPH07234898A (en) | 1995-09-05 |
Family
ID=22257783
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20124594A Pending JPH07234898A (en) | 1993-07-22 | 1994-07-22 | Method and apparatus for decision of initial time limit |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07234898A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014107570A (en) * | 2012-11-29 | 2014-06-09 | Asm Ip Holding B V | Scheduler for processing system |
-
1994
- 1994-07-22 JP JP20124594A patent/JPH07234898A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014107570A (en) * | 2012-11-29 | 2014-06-09 | Asm Ip Holding B V | Scheduler for processing system |
| KR20140070439A (en) * | 2012-11-29 | 2014-06-10 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | Scheduler for processing system |
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