JPH07212310A - Optical detector - Google Patents

Optical detector

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JPH07212310A
JPH07212310A JP6001401A JP140194A JPH07212310A JP H07212310 A JPH07212310 A JP H07212310A JP 6001401 A JP6001401 A JP 6001401A JP 140194 A JP140194 A JP 140194A JP H07212310 A JPH07212310 A JP H07212310A
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JP
Japan
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photodetector
semiconductor laser
optical
light
optical element
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Application number
JP6001401A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Ikuo Kato
幾雄 加藤
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Ricoh Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Co Ltd
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Filing date
Publication date
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Publication of JPH07212310A publication Critical patent/JPH07212310A/en
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Abstract

PURPOSE:To share a detection optical system with a discharge optical system and to make positioning easy by unnecessitating a deflection means separating a discharge system and a detection system, drastically reducing the influence of return light from a reflector to a semiconductor laser. CONSTITUTION:On the optical path between a semiconductor laser 21 and a reflector 24 reflecting laser light emitted from this semiconductor laser 21, an optical axis shift optical element 26 shifting optical axes 23 and 34 depending on a polarization direction and a polarization control optical element 27 controlling the polarization direction of light are arranged. Further, in the vicinity of the semiconductor laser 21, an optical detector 29 receiving light which is reflected from the reflector 24 and transmits a polarization control optical element 27 and an optical axis shift optical element 26 is arranged.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、光ディスク用ピックア
ップを始めとし、光通信における光伝送装置、光計測器
等に適用可能な光検出器に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a photodetector applicable to an optical transmission device, an optical measuring instrument and the like in optical communication including an optical disc pickup.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般に、半導体レーザから放出されたレ
ーザ光は、反射体において入射と同じ光軸(ビーム中
心)上に反射される場合、入射と反射とで同じ光学系を
透過させると、反射光は半導体レーザに対してレーザ光
を放出した位置に再び戻ることになる。これが、光ディ
スク装置や光通信等において、一般に、「半導体レーザ
への戻り光」と称されているものである。このような戻
り光が存在すると、半導体レーザの発振状態が変化して
しまい、そのレーザパワー、波長或いはモード等が変化
する要因となるので、好ましくないものである。
2. Description of the Related Art Generally, when a laser beam emitted from a semiconductor laser is reflected by a reflector on the same optical axis (beam center) as the incident beam, the laser beam is reflected by the same optical system for the incident beam and the reflected beam. The light returns again to the position where the laser light was emitted to the semiconductor laser. This is what is generally called "return light to the semiconductor laser" in optical disk devices, optical communications, and the like. The presence of such returning light is not preferable because it changes the oscillation state of the semiconductor laser and causes a change in the laser power, wavelength, mode, or the like.

【0003】例えば、光ディスクのピットの反射率を検
出する光ピックアップ光学系の例を示す図12を参照し
て説明する。まず、半導体レーザ1の放出位置2から放
出されたレーザ光のビーム3は、コリメートレンズ4で
平行光に変換された後、無偏光ビームスプリッタ5を直
進透過し(透過光量は半分である)、対物レンズ6で集
光されることにより光ディスク7の記録面上にスポット
を結び、反射される。このとき、スポット結像位置が対
物レンズ6の合焦点位置であれば、照射されたレーザ光
は回折面により、同一方向に反射されると考えてよい。
この反射光は対物レンズ6を再び透過することにより平
行光となり、無偏光ビームスプリッタ5で90°異なる
方向に反射され(反射光量は半分である)、検出用のビ
ーム8となり、集光レンズ9による集光を経て光検出器
10の検出位置11にスポットを結び、電気信号に変換
される。即ち、光ディスク7に向かう行きのビーム3の
光軸12と、光ディスク7で反射されて光検出器10に
向かう帰りのビーム8の光軸13とは90°異なる状態
に偏向されているものとなる。
For example, description will be made with reference to FIG. 12 showing an example of an optical pickup optical system for detecting the reflectance of pits of an optical disk. First, the beam 3 of laser light emitted from the emission position 2 of the semiconductor laser 1 is converted into parallel light by the collimator lens 4 and then straightly transmitted through the non-polarizing beam splitter 5 (the amount of transmitted light is half). By being condensed by the objective lens 6, a spot is formed on the recording surface of the optical disk 7 and reflected. At this time, if the spot image forming position is the focus position of the objective lens 6, it can be considered that the irradiated laser light is reflected by the diffraction surface in the same direction.
This reflected light becomes parallel light by passing through the objective lens 6 again, and is reflected by the non-polarizing beam splitter 5 in different directions by 90 ° (the amount of reflected light is half), becomes a beam 8 for detection, and a condenser lens 9 A spot is connected to the detection position 11 of the photodetector 10 after the light is condensed by and is converted into an electric signal. That is, the optical axis 12 of the beam 3 going to the optical disk 7 and the optical axis 13 of the beam 8 returning to the photodetector 10 reflected by the optical disk 7 are deflected by 90 °. .

【0004】このような構成による場合、半導体レーザ
1にも光検出器10に入射する光量とほぼ同じ光量の光
が戻り光として入射することになり(反射光の約半分が
無偏光ビームスプリッタ5を直進透過する)、戻り光の
大きなものである。
In the case of such a configuration, the semiconductor laser 1 also has a light amount substantially the same as the light amount incident on the photodetector 10 as return light (about half of the reflected light is the unpolarized beam splitter 5). Through the straight), the return light is large.

【0005】なお、このような光ピックアップ光学系に
おいて、ビームスプリッタを用いてレーザ光を偏向させ
るのは、半導体レーザ1のレーザ光の放出位置2に光検
出器10を配設することはできないためであり、ビーム
スプリッタにより入射光と分離偏向された光に基づきフ
ォーカス情報、トラック情報、ピット情報等を得るよう
にしている。
In such an optical pickup optical system, the beam splitter is used to deflect the laser beam because the photodetector 10 cannot be arranged at the laser beam emission position 2 of the semiconductor laser 1. Therefore, focus information, track information, pit information, and the like are obtained based on the incident light and the light that is separated and deflected by the beam splitter.

【0006】このようなことから、従来にあっては、半
導体レーザへの戻り光を減少させるために何らかの対策
が講じられている。例えば、光通信にあっては、ファラ
デー回転子と2枚の偏光子とを組合せた光アイソレータ
を用いた例がある。また、光ディスク用ピックアップに
あっては、偏光ビームスプリッタと1/4波長板とを組
合せることにより、戻り光を減少させるようにしたもの
がある(例えば、文献「ディスクシステム」応用物理学
会光学懇話会編、朝倉書店、1989中の第37〜39頁の
「3.光学系設計論」参照)。
For this reason, conventionally, some measures have been taken to reduce the light returning to the semiconductor laser. For example, in optical communication, there is an example using an optical isolator in which a Faraday rotator and two polarizers are combined. In addition, some optical disk pickups have a combination of a polarization beam splitter and a quarter-wave plate so as to reduce the return light (for example, refer to "Disc System", Applied Physics Society of Japan Kai, edited by Asakura Shoten, 1989, pp. 37-39, “3. Optical System Design Theory”).

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】ところが、このような
戻り光を減少させる対策による場合、偏光ビームスプリ
ッタ等を用いて半導体レーザから光ディスク等の反射体
までの光学系と、この反射体から光検出器までの光学系
とを異なるように構成する必要があり(図12の構成の
場合も同様であるが)、複雑になる上に、光検出器の高
精度な位置決めを要し、さらには、高価な偏光ビームス
プリッタを用いる必要もある。
However, as a measure to reduce such return light, an optical system from a semiconductor laser to a reflector such as an optical disk using a polarization beam splitter and the like, and optical detection from this reflector. It is necessary to configure the optical system up to the detector differently (the same applies to the configuration of FIG. 12), which is complicated and requires high-precision positioning of the photodetector. It is also necessary to use an expensive polarization beam splitter.

【0008】このようなことから、本発明は、反射体か
ら半導体レーザへの戻り光の影響を大幅に低減させ得る
とともに、光検出器の位置調整が容易で、検出光学系全
体を簡単に構成し得る光検出装置を得ることを目的とす
る。
As described above, according to the present invention, the influence of the returning light from the reflector to the semiconductor laser can be greatly reduced, the position of the photodetector can be easily adjusted, and the entire detection optical system can be easily constructed. The purpose is to obtain a photodetector capable of

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明で
は、半導体レーザと、この半導体レーザから出射された
レーザ光を反射させる反射体と、前記半導体レーザとこ
の反射体との間の光路上に配設されて偏光方向に依存し
て光軸をシフトさせる光軸シフト光学素子と、この光軸
シフト光学素子と前記反射体との間の光路上に配設され
て光の偏光方向を制御する偏光制御光学素子と、前記半
導体レーザ付近に配設されて前記反射体から反射され前
記偏光制御光学素子及び光軸シフト光学素子を透過した
光を受光する光検出器とにより構成した。
According to another aspect of the present invention, there is provided a semiconductor laser, a reflector for reflecting laser light emitted from the semiconductor laser, and an optical path between the semiconductor laser and the reflector. And an optical axis shift optical element that shifts the optical axis depending on the polarization direction, and is disposed on the optical path between the optical axis shift optical element and the reflector to control the polarization direction of light. And a photodetector which is arranged near the semiconductor laser and receives light reflected by the reflector and transmitted through the polarization control optical element and the optical axis shift optical element.

【0010】請求項2記載の発明では、請求項1記載の
発明の構成における光検出器を、反射体から反射され偏
光制御光学素子及び光軸シフト光学素子を透過した光が
結合される光集積回路の導波路上に形成された導波路型
光検出器とした。
According to a second aspect of the present invention, the photodetector according to the first aspect of the present invention is an optical integrated device in which light reflected from a reflector and transmitted through the polarization control optical element and the optical axis shift optical element is combined. The waveguide type photodetector is formed on the waveguide of the circuit.

【0011】請求項3記載の発明では、請求項1又は2
記載の発明の構成に関し、半導体レーザのレーザ光の放
出位置と、少なくとも1つ以上の光検出器の検出位置と
を、前記半導体レーザを搭載した基板に平行な方向に配
列させた。
According to the invention of claim 3, claim 1 or 2
With regard to the configuration of the invention described above, the emission position of the laser light of the semiconductor laser and the detection position of at least one or more photodetectors are arranged in a direction parallel to the substrate on which the semiconductor laser is mounted.

【0012】請求項4記載の発明では、請求項1又は2
記載の発明の構成に関し、少なくとも2つ以上の光検出
器の検出位置を、半導体レーザを搭載した基板に平行な
方向で前記半導体レーザのレーザ光の放出位置を含まな
い位置に配列させた。
According to the invention of claim 4, claim 1 or 2
With regard to the configuration of the invention described above, the detection positions of at least two or more photodetectors are arranged at positions not including the emission position of the laser light of the semiconductor laser in a direction parallel to the substrate on which the semiconductor laser is mounted.

【0013】請求項5記載の発明では、請求項1又は2
記載の発明の構成に関し、半導体レーザと光検出器又は
導波路型光検出器を有する光集積回路とを密着させて一
体化した。
According to the invention of claim 5, claim 1 or 2
Regarding the configuration of the described invention, the semiconductor laser and the photodetector or the optical integrated circuit having the waveguide type photodetector are brought into close contact with each other and integrated.

【0014】請求項6記載の発明では、請求項1又は2
記載の発明の構成に関し、半導体レーザと光検出器又は
導波路型光検出器を有する光集積回路とを同一基板上に
作製した。
According to the invention of claim 6, claim 1 or 2
Regarding the configuration of the described invention, a semiconductor laser and an optical integrated circuit having a photodetector or a waveguide type photodetector are manufactured on the same substrate.

【0015】請求項7記載の発明では、請求項1又は2
記載の発明の構成において、反射体を光ディスクとし、
光検出器の検出出力に基づきフォーカス情報、トラック
情報又はピット情報の少なくとも1つの情報を得る信号
処理手段を設けた。
According to the invention of claim 7, claim 1 or 2
In the structure of the invention described, the reflector is an optical disk,
A signal processing means for obtaining at least one of focus information, track information or pit information based on the detection output of the photodetector is provided.

【0016】請求項8記載の発明では、請求項2記載の
発明の構成において、複数個の導波路型光検出器とし、
各導波路型光検出器間の導波路上に導波光分離偏向素子
を設けた。
According to an eighth aspect of the invention, in the configuration of the second aspect of the invention, a plurality of waveguide type photodetectors are provided,
A guided light separating / deflecting element is provided on the waveguide between the respective waveguide type photodetectors.

【0017】請求項9記載の発明では、請求項1又は2
記載の発明の構成に関し、偏光制御光学素子を1/4波
長板とした。
According to the invention of claim 9, claim 1 or 2
Regarding the configuration of the described invention, the polarization control optical element is a quarter wavelength plate.

【0018】請求項10記載の発明では、請求項1又は
2記載の発明の構成に加え、半導体レーザ又は光検出器
の前方に平行平板を設けた。
According to a tenth aspect of the invention, in addition to the structure of the first or second aspect of the invention, a parallel plate is provided in front of the semiconductor laser or the photodetector.

【0019】請求項11記載の発明では、請求項1又は
2記載の発明の構成に関し、光軸シフト光学素子と偏光
制御光学素子とを一体化した。
The eleventh aspect of the present invention relates to the configuration of the first or second aspect of the invention, in which the optical axis shift optical element and the polarization control optical element are integrated.

【0020】[0020]

【作用】請求項1記載の発明においては、半導体レーザ
と反射体との間の光路上に、偏光方向に依存して光軸を
シフトさせる光軸シフト光学素子と光の偏光方向を制御
する偏光制御光学素子とを設けたので、共通の光学系で
シフトにより異なる光軸を持つ放出光と光量損失の殆ど
ない反射光とを得ることができ、光検出器を半導体レー
ザ付近に配設させて簡単な光学系構成とすることができ
る上に、半導体レーザ自体への戻り光を大幅に減少させ
得るものとなる。
According to the invention of claim 1, an optical axis shift optical element for shifting the optical axis depending on the polarization direction and a polarization for controlling the polarization direction of the light are provided on the optical path between the semiconductor laser and the reflector. Since the control optical element is provided, it is possible to obtain the emitted light having different optical axes and the reflected light with almost no light amount loss by the shift in the common optical system, and dispose the photodetector near the semiconductor laser. In addition to having a simple optical system configuration, the return light to the semiconductor laser itself can be greatly reduced.

【0021】特に、請求項2記載の発明においては、請
求項1記載の発明の構成における光検出器を、光集積回
路の導波路上に形成された導波路型光検出器としている
ので、導波路型光検出器を有する光集積回路基板に対す
る横方向からの光を効率よく検出でき、さらには、光集
積回路基板と平行方向の波面情報を利用する光集積回路
とすることも可能となる。
Particularly, in the invention described in claim 2, since the photodetector in the configuration of the invention described in claim 1 is a waveguide type photodetector formed on the waveguide of the optical integrated circuit, Light from the lateral direction with respect to the optical integrated circuit board having the waveguide type photodetector can be efficiently detected, and further, an optical integrated circuit using wavefront information in the direction parallel to the optical integrated circuit board is possible.

【0022】請求項3記載の発明においては、半導体レ
ーザのレーザ光の放出位置と光検出器の検出位置とを半
導体レーザを搭載した基板に平行な方向に配列させてい
るので、光検出器を半導体レーザ用の基板上で同じ方向
に保持し得るものとなり、光検出器の位置合わせが容易
となる。
According to the third aspect of the present invention, the laser light emission position of the semiconductor laser and the detection position of the photodetector are arranged in a direction parallel to the substrate on which the semiconductor laser is mounted. It can be held in the same direction on the substrate for the semiconductor laser, and the alignment of the photodetector becomes easy.

【0023】請求項4記載の発明においては、複数の光
検出器の検出位置を、半導体レーザを搭載した基板に平
行な方向で半導体レーザのレーザ光の放出位置を含まな
い位置に配列させているので、光検出器を半導体レーザ
用の基板の反対面で保持し得るものとなり、光検出器の
位置合わせが比較的容易となる。
In a fourth aspect of the present invention, the detection positions of the plurality of photodetectors are arranged in a position parallel to the substrate on which the semiconductor laser is mounted and at a position not including the laser light emission position of the semiconductor laser. Therefore, the photodetector can be held on the opposite surface of the substrate for the semiconductor laser, and the alignment of the photodetector becomes relatively easy.

【0024】請求項5記載の発明においては、半導体レ
ーザと光検出器又は導波路型光検出器を有する光集積回
路とを密着させて一体化しているので、光の放出・受光
部を小型に構成できる。
In the fifth aspect of the invention, the semiconductor laser and the optical integrated circuit having the photodetector or the waveguide type photodetector are brought into close contact with each other so as to be integrated, so that the light emitting / receiving unit can be made compact. Can be configured.

【0025】請求項6記載の発明においては、半導体レ
ーザと光検出器又は導波路型光検出器を有する光集積回
路とを同一基板上に作製しているので、半導体レーザと
光検出器とをフォトリソグラフィ法によって簡単にして
高精度に位置合わせできる。
According to the invention of claim 6, the semiconductor laser and the photodetector or the optical integrated circuit having the waveguide type photodetector are formed on the same substrate. Therefore, the semiconductor laser and the photodetector are provided. The photolithography method enables simple and highly accurate alignment.

【0026】請求項7記載の発明においては、反射体を
光ディスクとし、光検出器の検出出力に基づきフォーカ
ス情報、トラック情報又はピット情報を得る信号処理手
段を設けているので、戻り光の影響が殆どなく、かつ、
光利用効率が高く、簡単な光学系構成の光ピックアップ
を提供できる。
According to the seventh aspect of the invention, since the reflector is an optical disk and the signal processing means for obtaining the focus information, the track information or the pit information based on the detection output of the photodetector is provided, the influence of the returning light is affected. Almost none, and
It is possible to provide an optical pickup having a high optical utilization efficiency and a simple optical system configuration.

【0027】請求項8記載の発明においては、複数個の
導波路型光検出器とし、各導波路型光検出器間の導波路
上に導波光分離偏向素子を設けているので、複数の導波
路型光検出器間の実効的な間隔を詰めて構成でき、導波
路型光検出器を作製しやすくなる。
In the eighth aspect of the present invention, since a plurality of waveguide type photodetectors are provided and a guided light separating / deflecting element is provided on the waveguide between the waveguide type photodetectors, a plurality of waveguide type photodetectors are provided. The waveguide-type photodetectors can be configured so that the effective spacing between them can be reduced, and the waveguide-type photodetectors can be easily manufactured.

【0028】請求項9記載の発明においては、偏光制御
光学素子を1/4波長板としているので、簡単で小型・
安価にして偏光方向の90°回転を実現できるため、検
出光学系全体の小型・低コスト化を図れる。
In the invention described in claim 9, since the polarization control optical element is a quarter wavelength plate, it is simple and compact.
Since 90 ° rotation of the polarization direction can be realized at low cost, the size and cost of the entire detection optical system can be reduced.

【0029】請求項10記載の発明においては、半導体
レーザ又は光検出器の前方に平行平板を設けているの
で、放出光と反射光との光路長を調整し得るものとな
り、光検出器の検出位置でのレーザ光の特性を容易に変
化させ得るものとなる。
According to the tenth aspect of the invention, since the parallel plate is provided in front of the semiconductor laser or the photodetector, the optical path lengths of the emitted light and the reflected light can be adjusted, and the detection of the photodetector can be performed. This makes it possible to easily change the characteristics of the laser light at the position.

【0030】請求項11記載の発明においては、光軸シ
フト光学素子と偏光制御光学素子とを一体化しているの
で、これらの光学素子の組付け時の位置調整等を容易化
し得るとともに、検出光学系の一層の小型化を図れる。
In the eleventh aspect of the invention, since the optical axis shift optical element and the polarization control optical element are integrated, it is possible to facilitate position adjustment of these optical elements at the time of assembling, and at the same time, the detection optical element. The system can be further miniaturized.

【0031】[0031]

【実施例】本発明の第一の実施例を図1に基づいて説明
する。本実施例は、請求項1記載の発明に相当し、ま
ず、半導体レーザ21のレーザ放出位置22により規定
される光軸23上には反射体24が対向配設されてい
る。これらの半導体レーザ21と反射体24とを結ぶ光
路上には、半導体レーザ21側から順に、コリメートレ
ンズ25、方解石26、ファラデー回転子27、対物レ
ンズ28が設けられている。さらに、前記半導体レーザ
21の近傍には前記反射体24から反射される光を受光
検出する光検出器29が並設されている。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A first embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. The present embodiment corresponds to the invention described in claim 1, and first of all, a reflector 24 is arranged oppositely on an optical axis 23 defined by a laser emission position 22 of a semiconductor laser 21. A collimator lens 25, a calcite 26, a Faraday rotator 27, and an objective lens 28 are provided in this order from the semiconductor laser 21 side on the optical path connecting the semiconductor laser 21 and the reflector 24. Further, in the vicinity of the semiconductor laser 21, a photodetector 29 for receiving and detecting the light reflected from the reflector 24 is arranged in parallel.

【0032】前記コリメートレンズ25は前記半導体レ
ーザ21から放出される行きのビーム30を平行光に変
換するとともに、前記反射体24の反射位置31から反
射された帰りのビーム32を前記光検出器29の検出位
置33に集光させるためのものである。前記方解石26
は光軸シフト光学素子となるもので、行きのビーム30
と帰りのビーム32との光軸を、光の偏光方向に依存し
てシフトさせるものである。本実施例の方解石26は、
行きのビーム30の偏光方向に対して常光線となるよう
に結晶面方向が設定されている。前記ファラデー回転子
27は偏光制御光学素子となるもので、透過する光の偏
光方向を45°回転させるものである。前記対物レンズ
28は前記半導体レーザ21から放出され、コリメート
レンズ25、方解石26及びファラデー回転子27を経
た光のスポットを反射体24の反射位置31に結像させ
るためのものである。光検出器29は例えばフォトトラ
ンジスタ等のフォトセンサによるものである。
The collimator lens 25 converts the outgoing beam 30 emitted from the semiconductor laser 21 into parallel light, and the return beam 32 reflected from the reflection position 31 of the reflector 24 to the photodetector 29. The light is focused on the detection position 33. The calcite 26
Is an optical axis shift optical element, and the outgoing beam 30
The optical axis of the return beam 32 is shifted depending on the polarization direction of the light. The calcite 26 of this embodiment is
The crystal plane direction is set so as to be an ordinary ray with respect to the polarization direction of the outgoing beam 30. The Faraday rotator 27 serves as a polarization control optical element and rotates the polarization direction of transmitted light by 45 °. The objective lens 28 is for focusing the light spot emitted from the semiconductor laser 21 and passing through the collimator lens 25, the calcite 26 and the Faraday rotator 27, at the reflection position 31 of the reflector 24. The photodetector 29 is, for example, a photosensor such as a phototransistor.

【0033】このような構成において、半導体レーザ2
1の放出位置22から放出されたレーザ光のビーム30
はコリメートレンズ25により平行光に変換された後、
方解石26に入射する。この方解石26は前述したよう
にその結晶方向が行きのビーム30に対して常光線とな
るように設定されているので、ビーム30は方解石26
を直進透過して、ファラデー回転子27に入射する。ビ
ーム30はこのファラデー回転子27で偏光方向が45
°回転され、対物レンズ28によって反射体24上に集
光結像される。反射体24の反射位置31で反射される
帰りのビーム32は対物レンズ28を通ることにより再
び平行ビームとなりファラデー回転子27に入射する。
このファラデー回転子27でさらに偏光方向が同じ方向
に45°回転されることにより、ファラデー回転子27
を通過した帰りのビーム32は行きのビーム30とは9
0°偏光方向の異なるものとなる。よって、このファラ
デー回転子27を経て方解石26に入射する帰りのビー
ム32は異常光線となるので、方解石26を透過した後
の帰りのビーム32の光軸34は行きのビーム30の光
軸23と平行にシフトされたものとなる。この後、コリ
メートレンズ25による集光作用を受けてビーム32は
光軸34上に配設させた光検出器29の検出位置33に
集光され、電気信号に変換される。
In such a structure, the semiconductor laser 2
1. Beam 30 of laser light emitted from emission position 22
Is converted into parallel light by the collimator lens 25,
It is incident on the calcite 26. Since the calcite 26 is set to be an ordinary ray with respect to the beam 30 whose crystal direction is the going direction as described above, the beam 30 is the calcite 26.
Travels straight through and enters the Faraday rotator 27. The beam 30 has a polarization direction of 45 with the Faraday rotator 27.
The image is rotated by an angle of ° and is focused and imaged on the reflector 24 by the objective lens 28. The return beam 32 reflected at the reflection position 31 of the reflector 24 passes through the objective lens 28 and becomes a parallel beam again and enters the Faraday rotator 27.
By further rotating the Faraday rotator 27 by 45 ° in the same polarization direction, the Faraday rotator 27 is rotated.
The return beam 32 that passed through is 9
The polarization directions are different by 0 °. Therefore, the return beam 32 that enters the calcite 26 through the Faraday rotator 27 becomes an extraordinary ray, and the optical axis 34 of the return beam 32 after passing through the calcite 26 is the optical axis 23 of the going beam 30. It will be shifted in parallel. Thereafter, the beam 32 is focused by the collimating lens 25 and focused on the detection position 33 of the photodetector 29 disposed on the optical axis 34, and converted into an electric signal.

【0034】本実施例によれば、光路上に光の偏光方向
によって屈折率の異なる方解石26を用いるとともに、
行きのビーム30と帰りのビーム32とで偏光方向を9
0°回転させるファラデー回転子27を設けているの
で、半導体レーザ21側と反射体24側とを結ぶ同じ光
学系にして、行きと帰りとで平行にずれた2つの光軸2
3,34を得ることができるため、反射体24からの戻
り光が半導体レーザ21に入射することがなくなるとと
もに、半導体レーザ21近傍に並設させた光検出器29
に全ての帰りのビーム32を集光させて検出に供するこ
とができ、光損失の少ない検出が可能となる。即ち、従
来のビームスプリッタを用いた方式では、検出系にとっ
て損失となっていた半導体レーザ側への戻り光成分も、
光検出器29に集光させることができ、損失の少ないも
のとなる。この場合、半導体レーザ21から放出される
ビーム30の光軸23と、光検出器29の検出位置33
に集光される帰りのビーム32の光軸34とが平行であ
り、光検出器29が半導体レーザ21近傍に並設されて
いるので、光検出器29を含む光学系の位置調整、構成
が容易なものとなる。
According to this embodiment, a calcite 26 having a different refractive index depending on the polarization direction of light is used on the optical path,
The polarization direction of the incoming beam 30 and the returning beam 32 is 9
Since the Faraday rotator 27 that rotates by 0 ° is provided, the same optical system that connects the semiconductor laser 21 side and the reflector 24 side is used, and two optical axes 2 that are deviated in parallel on the going and returning sides are provided.
Since the light beams 3 and 34 can be obtained, the return light from the reflector 24 does not enter the semiconductor laser 21, and the photodetectors 29 arranged in the vicinity of the semiconductor laser 21 are arranged.
All the returning beams 32 can be collected and used for detection, and detection with little optical loss becomes possible. That is, in the method using the conventional beam splitter, the return light component to the semiconductor laser side, which has been a loss for the detection system,
The light can be condensed on the photodetector 29, and the loss is small. In this case, the optical axis 23 of the beam 30 emitted from the semiconductor laser 21 and the detection position 33 of the photodetector 29.
Since the optical axis 34 of the return beam 32 focused on is parallel and the photodetector 29 is arranged in the vicinity of the semiconductor laser 21, the position adjustment and configuration of the optical system including the photodetector 29 can be performed. It will be easy.

【0035】なお、本実施例では、光軸シフト光学素子
として、方解石26を用いたが、これに限らず、例え
ば、ルチル等に代表される複屈折率を持つ光学素子を用
いてもよく、さらには、回折格子やホログラムなどの光
学素子を用いてもよい。また、方解石26に関して、そ
の結晶面や厚さを変化させることにより、光軸23,3
4の位置関係を比較的自由に変化させることができる。
また、本実施例では、帰りのビーム32の光軸34をシ
フトさせるようにしたが、相対的なものであり、行きの
ビーム30の光軸23をシフトさせ、帰りのビーム32
が直進するようにしてもよい。
In this embodiment, the calcite 26 is used as the optical axis shift optical element, but the invention is not limited to this, and an optical element having a birefringence index represented by rutile or the like may be used. Further, an optical element such as a diffraction grating or a hologram may be used. Further, regarding the calcite 26, by changing its crystal plane and thickness, the optical axes 23, 3
The positional relationship of 4 can be changed relatively freely.
Further, in this embodiment, the optical axis 34 of the returning beam 32 is shifted, but it is relative, and the optical axis 23 of the outgoing beam 30 is shifted, and the returning beam 32 is shifted.
May go straight.

【0036】つづいて、本発明の第二の実施例を図2に
より説明する。前記実施例で示した部分と同一部分は同
一符号を用いて示す(以下の実施例でも同様とする)。
本実施例は、請求項2記載の発明に相当し、フォトセン
サ等の単体素子で構成された光検出器29に代えて、導
波路型光検出器35を用いるようにしたものである。こ
の導波路型光検出器35は導波路36を有する光集積回
路37の一部として形成されたものである。即ち、導波
路36はクラッド領域38に囲まれたコア領域39によ
り形成されており、これらの領域38,39の境界面に
位置させて前記導波路型光検出器35が形成されてい
る。このような光集積回路37はコア領域39の端面が
コリメートレンズ25による帰りのビーム32の検出位
置33とされ、端面結合により導波させ得るように構成
されている。
Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. The same parts as those shown in the above-mentioned embodiments are designated by the same reference numerals (the same applies to the following embodiments).
This embodiment corresponds to the invention described in claim 2, and uses a waveguide type photodetector 35 instead of the photodetector 29 constituted by a single element such as a photosensor. The waveguide type photodetector 35 is formed as a part of an optical integrated circuit 37 having a waveguide 36. That is, the waveguide 36 is formed by the core region 39 surrounded by the cladding region 38, and the waveguide type photodetector 35 is formed at the boundary surface between these regions 38, 39. In such an optical integrated circuit 37, the end face of the core region 39 is set as the detection position 33 of the return beam 32 by the collimating lens 25, and the light can be guided by the end face coupling.

【0037】ここに、光集積回路37は光検出器29の
場合と同様に半導体レーザ21近傍に並設されるもので
あり、本実施例では、半導体レーザ21用の基板40を
共用する形で同一面上に搭載されている。
Here, the optical integrated circuits 37 are arranged side by side in the vicinity of the semiconductor laser 21 as in the case of the photodetector 29. In this embodiment, the substrate 40 for the semiconductor laser 21 is shared. It is mounted on the same surface.

【0038】このような構成において、コリメートレン
ズ25で集光された帰りのビーム32のスポットはコア
領域39の端面に位置調整され、このビーム32は端面
結合により導波路36中に結合し導波光として伝搬す
る。この導波光は導波路型光検出器35で受光され、電
気信号に変換される。
In such a structure, the spot of the returning beam 32 condensed by the collimating lens 25 is adjusted in position on the end face of the core region 39, and this beam 32 is coupled into the waveguide 36 by the end face coupling to guide the guided light. Propagate as. This guided light is received by the waveguide photodetector 35 and converted into an electric signal.

【0039】今、具体例として、コリメートレンズ25
として開口数NA=0.3のものを用い、半導体レーザ
21から放出されるレーザ光の波長を0.78μmとす
ると、回折限界のスポット径は約3μmとなるので、コ
ア領域39の厚さを2μm程度とすれば、実用上、十分
な結合効率が得られたものである(コア領域39の厚さ
をさらに厚くすれば、結合効率はさらに大きくなる)。
Now, as a specific example, the collimator lens 25
Assuming that the numerical aperture NA = 0.3 is used and the wavelength of the laser light emitted from the semiconductor laser 21 is 0.78 μm, the diffraction-limited spot diameter is about 3 μm. When the thickness is about 2 μm, practically sufficient coupling efficiency is obtained (the coupling efficiency is further increased by further increasing the thickness of the core region 39).

【0040】よって、本実施例によれば、前記実施例の
効果に加え、導波路型光検出器35を有する光集積回路
37の基板に半導体レーザ21用の基板40を利用して
位置調整等を容易にした構造で、効率よく検出すること
ができる。
Therefore, according to the present embodiment, in addition to the effects of the above-mentioned embodiment, the substrate 40 for the semiconductor laser 21 is used as the substrate of the optical integrated circuit 37 having the waveguide type photodetector 35 for position adjustment and the like. With a structure that facilitates, it is possible to detect efficiently.

【0041】なお、本実施例では、導波路構造が3次元
構造の光集積回路37に適用したが、3次元構造に限ら
ず、スラブ型導波路構造を持つものにも同様に適用でき
る。この光集積回路の場合、基板に平行なレーザ光の波
面情報を利用することになる。
In this embodiment, the waveguide structure is applied to the optical integrated circuit 37 having a three-dimensional structure, but the present invention is not limited to the three-dimensional structure, but can be similarly applied to the one having the slab type waveguide structure. In the case of this optical integrated circuit, the wavefront information of the laser light parallel to the substrate is used.

【0042】つづいて、本発明の第三の実施例を図3に
より説明する。本実施例は、請求項3記載の発明に相当
し、例えば、前記第二の実施例で示した光集積回路37
に関して、複数のコア領域39a〜39dを有するもの
とし、これらのコア領域39a〜39dの端面により規
定される検出位置が、半導体レーザ21用の基板40上
において、半導体レーザ21の放出位置22と同一直線
上に並ぶように、基板40に平行に配設形成したもので
ある。別の観点からは、これらのコア領域39a〜39
dは光軸34のシフト方向に一直線上に並ぶように設定
されている。ここに、各コア領域39a〜39d毎に導
波路型光検出器(図示せず)が個別に設けられている。
Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. This embodiment corresponds to the invention described in claim 3, and, for example, the optical integrated circuit 37 shown in the second embodiment.
3, the plurality of core regions 39a to 39d are provided, and the detection position defined by the end faces of the core regions 39a to 39d is the same as the emission position 22 of the semiconductor laser 21 on the substrate 40 for the semiconductor laser 21. It is arranged and formed in parallel with the substrate 40 so as to be aligned on a straight line. From another perspective, these core regions 39a-39
d is set to be aligned on the straight line in the shift direction of the optical axis 34. Here, a waveguide type photodetector (not shown) is individually provided for each of the core regions 39a to 39d.

【0043】このような構成によれば、前述した実施例
の効果に加え、半導体レーザ21の放出位置22と同一
直線上にコア領域39a〜39dに対応する検出位置が
あることから、基板40からの高さが同じとなるため、
この基板40上に作製するデバイスの設計により、容易
に一定高さ(放出位置、検出位置の高さ)にすることが
できるものとなり、位置合わせを容易に行うことがで
き、かつ、半導体レーザ21と共通の基板40に同じ方
向に複数の導波路型光検出器を保持できる。また、組付
ける場合においても、半導体レーザ21と共通の基板4
0上に同じ方向で保持できることから、画像認識等によ
り半導体レーザ21との位置関係を測定することによ
り、位置合わせを容易に行えるものとなる。また、反射
体24から反射された帰りのビーム32の偏光方向と垂
直な方向にこれらのコア領域39a〜39d(従って、
検出位置ないしは導波路型光検出器)を配設させている
ため、この方向の光強度に関しては、その波面情報を複
数の導波路型光検出器で分割して検出することもでき、
後述する光ピックアップ適用例の場合のように、受光情
報の有効活用が可能となる。さらには、これらの複数の
導波路型光検出器に対するビーム32の光軸34のシフ
ト方向も、半導体レーザ21の偏光方向と同一であるの
で、容易にして高精度にシフト可能である。
According to such a configuration, in addition to the effect of the above-described embodiment, since the detection positions corresponding to the core regions 39a to 39d are on the same straight line as the emission position 22 of the semiconductor laser 21, the substrate 40 Since the height of
By designing the device manufactured on the substrate 40, the device can be easily set to a constant height (height of emission position and detection position), alignment can be easily performed, and the semiconductor laser 21 It is possible to hold a plurality of waveguide type photodetectors on the same substrate 40 in the same direction. Further, even when assembled, the substrate 4 common to the semiconductor laser 21 is used.
Since it can be held in the same direction on 0, the alignment can be easily performed by measuring the positional relationship with the semiconductor laser 21 by image recognition or the like. Also, these core regions 39a-39d (hence, in the direction perpendicular to the polarization direction of the return beam 32 reflected from the reflector 24 (hence,
Since the detection position or the waveguide type photodetector) is provided, the wavefront information of the light intensity in this direction can be detected by being divided by a plurality of waveguide type photodetectors.
As in the case of an optical pickup application example described later, it is possible to effectively use the received light information. Furthermore, since the shift direction of the optical axis 34 of the beam 32 with respect to the plurality of waveguide type photodetectors is also the same as the polarization direction of the semiconductor laser 21, it is possible to shift easily and with high precision.

【0044】本実施例の場合も、3次元導波路構造のも
のに限らず、スラブ型導波路構造のものにも同様に適用
でき、さらには、導波路型光検出器によるものに限ら
ず、第一の実施例の場合の光検出器29のような単体素
子構造の複数の光検出器を用いる場合にも同様に適用で
きる。
Also in the case of this embodiment, the present invention is not limited to the one having a three-dimensional waveguide structure, but can be similarly applied to the one having a slab type waveguide structure, and is not limited to the one using a waveguide type photodetector. The same can be applied to the case of using a plurality of photodetectors having a single element structure such as the photodetector 29 of the first embodiment.

【0045】本発明の第四の実施例を図4により説明す
る。本実施例は、請求項4記載の発明に相当し、基本的
には、前記実施例と同様に構成したものであるが、前記
実施例で半導体レーザ21用の基板40の同一面に搭載
配列させた光集積回路37を、本実施例では基板40の
反対面(下面)側に搭載配列させたものである。即ち、
一直線上に並んだ複数のコア領域39a〜39d(従っ
て、検出位置ないしは導波路型光検出器)の配列方向
が、半導体レーザ21の放出位置22を含まない位置に
設定されている。
A fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. The present embodiment corresponds to the invention described in claim 4, and basically has the same configuration as that of the above-mentioned embodiment, but in the embodiment, the mounting array is arranged on the same surface of the substrate 40 for the semiconductor laser 21. In this embodiment, the optical integrated circuits 37 thus arranged are mounted and arranged on the opposite surface (lower surface) side of the substrate 40. That is,
The array direction of the plurality of core regions 39a to 39d (hence, the detection positions or the waveguide type photodetectors) arranged in a straight line is set to a position not including the emission position 22 of the semiconductor laser 21.

【0046】このような構成によれば、前述した第一,
二の実施例の効果に加え、半導体レーザ21の放出位置
22を含まない同一直線上にコア領域39a〜39dに
対応する検出位置があることから、基板40下面からの
高さが同じとなるため、この基板40に作製するデバイ
スの設計により、容易に一定高さ(検出位置の高さ)に
することができるものとなり、位置合わせを容易に行う
ことができる。特に、半導体レーザ21とは反対面に位
置させて光集積回路37を保持できるため、設計上の裕
度の大きいものとなる。もっとも、半導体レーザ21上
に別の支持体を介して光集積回路37を保持させるよう
にしてもよい。また、本実施例にあっても、反射体24
から反射された帰りのビーム32の偏光方向と垂直な方
向にこれらのコア領域39a〜39d(従って、検出位
置ないしは導波路型光検出器)を配設させているため、
この方向の光強度に関しては、その波面情報を複数の導
波路型光検出器で分割して検出することもでき、後述す
る光ピックアップ適用例の場合のように、受光情報の有
効活用が可能となる。さらには、これらの複数の導波路
型光検出器に対するビーム32の光軸34のシフト方向
も、半導体レーザ21の偏光方向と同一であるので、容
易にして高精度にシフト可能である。
According to such a configuration, the above-mentioned first,
In addition to the effect of the second embodiment, since the detection positions corresponding to the core regions 39a to 39d are on the same straight line not including the emission position 22 of the semiconductor laser 21, the height from the lower surface of the substrate 40 is the same. By designing the device manufactured on the substrate 40, the height can be easily made constant (the height of the detection position), and the alignment can be easily performed. In particular, since the optical integrated circuit 37 can be held on the surface opposite to the semiconductor laser 21, the design latitude is large. However, the optical integrated circuit 37 may be held on the semiconductor laser 21 via another support. Further, even in this embodiment, the reflector 24
Since these core regions 39a to 39d (therefore, detection positions or waveguide type photodetectors) are arranged in the direction perpendicular to the polarization direction of the return beam 32 reflected from
Regarding the light intensity in this direction, the wavefront information can be detected by dividing it with a plurality of waveguide type photodetectors, and it is possible to effectively use the received light information as in the case of the optical pickup application described later. Become. Furthermore, since the shift direction of the optical axis 34 of the beam 32 with respect to the plurality of waveguide type photodetectors is also the same as the polarization direction of the semiconductor laser 21, it is possible to shift easily and with high precision.

【0047】本実施例の場合も、3次元導波路構造のも
のに限らず、スラブ型導波路構造のものにも同様に適用
でき、さらには、導波路型光検出器によるものに限ら
ず、第一の実施例の場合の光検出器29のような単体素
子構造の複数の光検出器を用いる場合にも同様に適用で
きる。
The present embodiment is not limited to the one having a three-dimensional waveguide structure, but can be similarly applied to the one having a slab type waveguide structure, and is not limited to the one using a waveguide type photodetector. The same can be applied to the case of using a plurality of photodetectors having a single element structure such as the photodetector 29 of the first embodiment.

【0048】本発明の第五の実施例を図5により説明す
る。本実施例は、請求項5記載の発明に相当し、半導体
レーザ21と導波路型光検出器35を有する光集積回路
37とを接合面41を介して密着一体化して基板40上
に設けたものである。接合面41による一体化は、半導
体レーザ21上に光集積回路37を単に位置合わせした
後、接着するようにしてもよく、或いは、少なくとも一
方に凹凸形状を形成しておき、自己整合させて接着させ
るようにしてもよく、さらには、中間層を介在させても
よい。
A fifth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. This embodiment corresponds to the invention described in claim 5, and the semiconductor laser 21 and the optical integrated circuit 37 having the waveguide type photodetector 35 are provided in close contact with each other via the bonding surface 41 and provided on the substrate 40. It is a thing. The integration by the bonding surface 41 may be performed by simply aligning the optical integrated circuit 37 on the semiconductor laser 21 and then adhering it, or by forming concavo-convex shape on at least one side and self-aligning and adhering. Alternatively, an intermediate layer may be interposed.

【0049】何れにしても、本実施例構成によれば、前
述した第一,二の実施例の効果に加え、半導体レーザ2
1と光集積回路37とが一体化されているので、半導体
レーザ21周りの発光・受光部を小型に構成することが
できる。
In any case, according to the configuration of this embodiment, in addition to the effects of the first and second embodiments described above, the semiconductor laser 2
Since the integrated circuit 1 and the optical integrated circuit 37 are integrated, the light emitting / receiving portion around the semiconductor laser 21 can be made compact.

【0050】なお、本実施例の場合も、導波路型光検出
器35を有する光集積回路37に代えて、第一の実施例
で示したような光検出器29を用いる場合にも同様に適
用できる。
Also in the case of this embodiment, the photodetector 29 as shown in the first embodiment is used instead of the optical integrated circuit 37 having the waveguide type photodetector 35. Applicable.

【0051】本発明の第六の実施例を図6により説明す
る。本実施例は、請求項6記載の発明に相当し、半導体
レーザ21用の基板40上に導波路型光検出器35を含
む光集積回路37を作製するようにしたものである。即
ち、光検出器は半導体レーザ21と同じ材料で構成する
ことが可能であり、作製プロセスの共通な部分も多いた
め、同一の基板40上に半導体レーザ21に隣接させて
光集積回路37を作製することができる。このような作
製法によれば、半導体レーザ21に対する光集積回路3
7(導波路型光検出器35)の位置合わせをフォトリソ
グラフィ法により行うので、非常に高精度に位置合わせ
でき、かつ、発光・受光部を小型に構成できる。本実施
例の場合も、適用し得る光検出器は、導波路型光検出器
に限らない。また、異種材料をエピタキシャル成長させ
る作製法による場合であれば、図5方式の構成のように
基板40に垂直な方向に光検出器を配設させることもで
きる。
A sixth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. This embodiment corresponds to the invention described in claim 6 and is one in which an optical integrated circuit 37 including a waveguide type photodetector 35 is manufactured on a substrate 40 for the semiconductor laser 21. That is, since the photodetector can be made of the same material as the semiconductor laser 21 and there are many common parts in the manufacturing process, the optical integrated circuit 37 is manufactured adjacent to the semiconductor laser 21 on the same substrate 40. can do. According to such a manufacturing method, the optical integrated circuit 3 for the semiconductor laser 21
Since the alignment of 7 (waveguide type photodetector 35) is performed by the photolithography method, the alignment can be performed with extremely high precision, and the light emitting / receiving unit can be configured in a small size. Also in the case of the present embodiment, the applicable photodetector is not limited to the waveguide type photodetector. Further, in the case of the manufacturing method of epitaxially growing a different material, the photodetector can be arranged in the direction perpendicular to the substrate 40 as in the structure of FIG.

【0052】本発明の第七の実施例を図7により説明す
る。本実施例は、光ピックアップ用に適用したもので、
請求項7記載の発明に相当する。このため、反射体24
としては、光ディスクが用いられている。また、半導体
レーザ21を搭載した基板40上には、スラブ型導波路
(導波路)42を有する光集積回路43が隣接されてい
る。前記スラブ型導波路42には複数の導波路型光検出
器44a〜44dが同一平面上で直線上に形成されてい
る。これらの導波路型光検出器44a〜44dは反射体
24(光ディスク)から反射されコリメートレンズ25
により集光される帰りのビーム32がスラブ型導波路4
2の端面(検出位置)で結合して導波光45を受光する
もので、導波路型光検出器44a,44bは導波光45
の一方の境界部分に位置し、導波路型光検出器44c,
44dは導波光45の他方の境界部分に位置する。
The seventh embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. This embodiment is applied to an optical pickup,
This corresponds to the invention described in claim 7. Therefore, the reflector 24
For this, an optical disk is used. An optical integrated circuit 43 having a slab type waveguide (waveguide) 42 is adjacent to the substrate 40 on which the semiconductor laser 21 is mounted. In the slab type waveguide 42, a plurality of waveguide type photodetectors 44a to 44d are formed linearly on the same plane. These waveguide type photodetectors 44a to 44d are reflected from the reflector 24 (optical disk) and collimate lens 25.
The return beam 32 focused by the slab type waveguide 4
The waveguide type photodetectors 44a and 44b are coupled to each other at the end face (detection position) of 2 to receive the guided light 45.
Is located at one of the boundary portions of the waveguide type photodetector 44c,
44d is located at the other boundary portion of the guided light 45.

【0053】さらに、これらの導波路型光検出器44a
〜44dにより光電変換された出力信号を適宜加減算処
理してフォーカス情報ΔF、トラック情報ΔT及びピッ
ト情報Sを得る加算器等による信号処理手段46が設け
られている。
Further, these waveguide type photodetectors 44a
Signal processing means 46 such as an adder for obtaining the focus information ΔF, the track information ΔT, and the pit information S by appropriately adding / subtracting the output signal photoelectrically converted by ˜44d is provided.

【0054】このような構成において、半導体レーザ2
1から放出された行きのビーム30はコリメートレンズ
25、方解石26、ファラデー回転子27及び対物レン
ズ28を経て反射体24(光ディスク)に集光照射さ
れ、その反射光は帰りのビーム32となって光軸23か
ら光軸34へシフトされてスラブ型導波路42の端面に
結像される。これにより、ビーム32はスラブ型導波路
42に端面結合し導波光45となってスラブ型導波路4
2中を導波し、その状態に応じて導波路型光検出器44
a〜44dで受光検知され、光電変換されて信号処理手
段46に出力される。
In such a structure, the semiconductor laser 2
The outgoing beam 30 emitted from the beam No. 1 passes through the collimator lens 25, the calcite 26, the Faraday rotator 27 and the objective lens 28 and is focused on the reflector 24 (optical disk). An image is formed on the end surface of the slab type waveguide 42 by shifting from the optical axis 23 to the optical axis 34. As a result, the beam 32 is end-face-coupled to the slab-type waveguide 42 and becomes the guided light 45, which is the slab-type waveguide 4
Waveguide in 2 and, according to the state, a waveguide type photodetector 44
The received light is detected by a to 44d, photoelectrically converted, and output to the signal processing unit 46.

【0055】より具体的には、ビームサイズ法によりフ
ォーカス情報ΔFが検出され(光検出器44a,44b
の出力の差と光検出器44c,44dの出力の差との和
の正負による)、プッシュプル法によりトラック情報Δ
Tが検出され(光検出器44a,44bの出力の和と光
検出器44c,44dの出力の和との差の正負による)
及び光検出器44a〜44dの出力の総和によりピット
情報Sが検出される。
More specifically, the focus information ΔF is detected by the beam size method (photodetectors 44a and 44b).
Of the difference between the output of the photodetector 44c and the output of the photodetector 44d) and the track information Δ by the push-pull method.
T is detected (due to the positive or negative difference between the sum of the outputs of the photodetectors 44a and 44b and the sum of the outputs of the photodetectors 44c and 44d).
And the pit information S is detected by the sum of the outputs of the photodetectors 44a to 44d.

【0056】このように、本実施例によれば、前述した
実施例構成を利用して光ピックアップ光学系を構成して
いるので、戻り光の影響が少なく、かつ、光学系の構成
・位置合わせを容易なものとすることができる。
As described above, according to this embodiment, since the optical pickup optical system is constructed by utilizing the construction of the embodiment described above, the influence of the returning light is small, and the construction and alignment of the optical system are small. Can be made easy.

【0057】本実施例のように光ピックアップに適用す
る場合にも、検出系は、導波路型光検出器44a〜44
d(或いは、導波路型光検出器35)に限らず、単独素
子構成の複数の光検出器29を用いるようにしてもよ
い。また、導波路構成によるものにおいても、その導波
路内で再びレンズ(導波路レンズを用いればよい)で偏
向させることにより、ナイフエッジ法によるフォーカス
信号を検出するものとしてもよい。
Also in the case of being applied to the optical pickup as in this embodiment, the detection system is the waveguide type photodetectors 44a to 44.
Not limited to d (or the waveguide type photodetector 35), a plurality of photodetectors 29 having a single element configuration may be used. Further, even in the case of the waveguide structure, the focus signal may be detected by the knife edge method by deflecting again with a lens (a waveguide lens may be used) in the waveguide.

【0058】本発明の第八の実施例を図8により説明す
る。本実施例は、請求項8記載の発明に相当し、例え
ば、前記実施例のようなスラブ型導波路42に形成され
る複数の導波路型光検出器44a〜44d間に導波光分
離偏向素子47a〜47cを設けたものである。これら
の導波光分離偏向素子47a〜47cは例えばスラブ型
導波路42を垂直エッチングすることにより、空気層を
形成し、その境界面での全反射を利用する導波路鏡とし
て形成すればよく、図示の如く、三角形状に限らず、適
宜曲率を有する形状として集光性を持たせるようにして
もよい。
An eighth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. The present embodiment corresponds to the invention described in claim 8, and, for example, a guided light separating / deflecting element is provided between a plurality of waveguide type photodetectors 44a to 44d formed in the slab type waveguide 42 as in the above embodiment. 47a to 47c are provided. These guided light separating / deflecting elements 47a to 47c may be formed as a waveguide mirror which forms an air layer by vertically etching the slab type waveguide 42 and utilizes total reflection at the boundary surface thereof. As described above, the shape is not limited to the triangular shape, and the shape having an appropriate curvature may be provided so as to have the light converging property.

【0059】図8では、各導波路型光検出器44a〜4
4dに向かう導波光45の進行方向を便宜的に矢印で示
すものであるが、前述した導波光分離偏向素子47a〜
47cを設けて各導波光45の進行方向を広げることに
より、各導波路型光検出器44a〜44dの配設間隔を
広げ得るとともに配設の自由度が増すことになり、光集
積回路43を作製しやすくなる。
In FIG. 8, each of the waveguide type photodetectors 44a to 44a is used.
The traveling direction of the guided light 45 toward 4d is indicated by an arrow for the sake of convenience.
By providing 47c to widen the traveling direction of each guided light 45, it is possible to widen the arrangement interval of each of the waveguide type photodetectors 44a to 44d and increase the degree of freedom of arrangement. Easy to make.

【0060】本実施例の場合、スラブ型導波路42に限
らず、3次元導波路によるものにも同様に適用できる。
In the case of this embodiment, not only the slab type waveguide 42 but also the one using a three-dimensional waveguide can be similarly applied.

【0061】本発明の第九の実施例を図9により説明す
る。本実施例は、請求項9記載の発明に相当し、例え
ば、第一の実施例に示したファラデー回転子27に代え
て、1/4波長板48を偏光制御光学素子として設けた
ものである。これにより、本実施例では、この1/4波
長板48までの光学系が直線偏光部49aとして構成さ
れ、1/4波長板48以降の光学系が回転偏光部49b
として構成されている。
The ninth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. This embodiment corresponds to the invention described in claim 9, and is one in which, for example, a quarter wavelength plate 48 is provided as a polarization control optical element instead of the Faraday rotator 27 shown in the first embodiment. . As a result, in this embodiment, the optical system up to the quarter wavelength plate 48 is configured as the linear polarization portion 49a, and the optical system after the quarter wavelength plate 48 is the rotation polarization portion 49b.
Is configured as.

【0062】このような構成において、半導体レーザ2
1から放出されたレーザ光はその基板が紙面に水平であ
るとすると、行きのビーム30の偏光面も紙面に垂直で
あり、振動面は矢印で示すように紙面に水平となる。こ
れは、1/4波長板48に至るまで維持され、1/4波
長板48を透過することにより右回転の偏光に変換され
る。そして、反射体24による反射光は左回転となり、
これが1/4波長板48を再び透過することにより、帰
りのビーム32の振動面は図示矢印の如く、紙面に垂直
となる。これは、方解石26に対して異常光線となるの
で、前述したように、行きの光軸23からシフトされた
光軸34に従い、光検出器29に向かうことになる。
In such a structure, the semiconductor laser 2
Assuming that the substrate of the laser beam emitted from No. 1 is horizontal to the paper surface, the polarization plane of the outgoing beam 30 is also vertical to the paper surface, and the vibrating surface is horizontal to the paper surface as indicated by the arrow. This is maintained up to the quarter-wave plate 48, and is converted into right-handed polarized light by passing through the quarter-wave plate 48. Then, the light reflected by the reflector 24 rotates counterclockwise,
As it passes through the quarter-wave plate 48 again, the vibrating surface of the returning beam 32 becomes perpendicular to the paper surface as indicated by the arrow in the figure. Since this becomes an extraordinary ray with respect to the calcite 26, it goes toward the photodetector 29 along the optical axis 34 shifted from the going optical axis 23, as described above.

【0063】本実施例によれば、偏光制御光学素子とし
て1/4波長板48を用いているので、小型・安価にし
て偏光方向の90°変換を行い、初期の目的を達成する
ことができる。
According to this embodiment, since the quarter-wave plate 48 is used as the polarization control optical element, it is possible to achieve the initial purpose by performing 90 ° conversion of the polarization direction with a small size and at a low cost. .

【0064】本実施例の場合も、光検出器29に代え
て、導波路型光検出器を有する光集積回路を用いるよう
にしてもよい。
Also in the case of the present embodiment, an optical integrated circuit having a waveguide type photodetector may be used instead of the photodetector 29.

【0065】本発明の第十の実施例を図10により説明
する。本実施例は、請求項10記載の発明に相当し、例
えば、図7に示した第七の実施例構成において、スラブ
型導波路42の結合端面の前方に、透過率の高い平行平
板50を配設させ、この平行平板50を経た光を結合導
波させるようにしたものである。
The tenth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. This embodiment corresponds to the invention described in claim 10, and, for example, in the configuration of the seventh embodiment shown in FIG. 7, a parallel plate 50 having a high transmittance is provided in front of the coupling end face of the slab type waveguide 42. It is arranged so that the light passing through the parallel plate 50 is coupled and guided.

【0066】前述した方解石26等のように複屈折率を
有する光学素子を往復透過させる光学系構成を有する場
合、行きと帰りとの光路長が若干変化する場合があるの
で、この光路長を調整するために平行平板50が設けら
れている。この平行平板50は行きと帰りとで光路長を
長くしたいほうに挿入されるものであり、本実施例では
帰りの光路長を長くしたいためにスラブ型導波路42の
前方に設けられているが、行きの光路長を長くしたい光
学系構成の場合であれば、半導体レーザ21の前方に配
設させればよい。このように往復の光路長が調整された
光学系によれば、スラブ型導波路42の検出位置なる結
合端面を最適なビームウエスト位置とすることができ
る。即ち、検出位置でのレーザ光の特性を容易に調整で
きるものとなる。ただし、平行平板50を挿入する分、
行きの光学系構成と帰りの光学系構成とは僅かに異なる
ものとなるが、組立て・位置合わせ等に特に支障はな
い。
When an optical system having an optical element having a birefringence, such as the calcite 26 described above, is configured to transmit and receive light in a reciprocating manner, the optical path lengths of the going and returning may change slightly, so this optical path length is adjusted. A parallel plate 50 is provided for this purpose. This parallel plate 50 is inserted in the direction where the optical path length is desired to be increased in the going and returning, and in the present embodiment, it is provided in front of the slab type waveguide 42 in order to increase the returning optical path. In the case of an optical system configuration in which it is desired to increase the length of the outgoing optical path, it may be arranged in front of the semiconductor laser 21. According to the optical system in which the reciprocal optical path length is adjusted in this way, the coupling end face which is the detection position of the slab type waveguide 42 can be set to the optimum beam waist position. That is, the characteristics of the laser light at the detection position can be easily adjusted. However, since the parallel plate 50 is inserted,
The configuration of the going optical system and the configuration of the returning optical system are slightly different, but there is no particular problem in assembling / positioning.

【0067】本実施例の場合も、導波路型光検出器44
a〜44d(或いは、導波路型光検出器35)に限ら
ず、単独素子構成の複数の光検出器29を用いるように
してもよい。
Also in this embodiment, the waveguide type photodetector 44 is used.
Not limited to a to 44d (or the waveguide type photodetector 35), a plurality of photodetectors 29 having a single element configuration may be used.

【0068】本発明の第十一の実施例を図11により説
明する。本実施例は、請求項11記載の発明に相当し、
例えば、同図(a)に示すように、前述した第九の実施
例構成に関して、方解石26と1/4波長板48とを光
硬化性樹脂などにより密着して一体化したものである。
これによれば、光学系組付け時の方解石26と1/4波
長板48との2つの光学部品の位置調整を簡易化し得る
と同時に、一層の小型化を図れるものとなる。
An eleventh embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. This embodiment corresponds to the invention of claim 11,
For example, as shown in FIG. 8A, in the configuration of the ninth embodiment described above, the calcite 26 and the quarter-wave plate 48 are closely adhered and integrated by a photocurable resin or the like.
According to this, the position adjustment of the two optical components of the calcite 26 and the quarter-wave plate 48 at the time of assembling the optical system can be simplified, and at the same time, the size can be further reduced.

【0069】或いは、このような密着に限らず、同図
(b)に示すように、方解石の結晶軸を適当に設定する
ことにより、1/4波長板機能と複屈折率機能とを同時
に実現させてなる平行平板51を光軸シフト光学素子兼
偏光制御光学素子とすることで、両光学素子を一体化し
てもよい。特に、同図(b)に示す構成の場合、平行平
板51に2軸結晶を用いれば、より効果的となる。
Alternatively, it is not limited to such a close contact, but as shown in FIG. 7B, by appropriately setting the crystal axis of calcite, the quarter-wave plate function and the birefringence function can be realized at the same time. By using the parallel plate 51 thus formed as an optical axis shift optical element and a polarization control optical element, both optical elements may be integrated. In particular, in the case of the configuration shown in FIG. 7B, it is more effective if a biaxial crystal is used for the parallel plate 51.

【0070】[0070]

【発明の効果】請求項1記載の発明によれば、半導体レ
ーザと、この半導体レーザから出射されたレーザ光を反
射させる反射体と、前記半導体レーザとこの反射体との
間の光路上に配設されて偏光方向に依存して光軸をシフ
トさせる光軸シフト光学素子と、この光軸シフト光学素
子と前記反射体との間の光路上に配設されて光の偏光方
向を制御する偏光制御光学素子と、前記半導体レーザ付
近に配設されて前記反射体から反射され前記偏光制御光
学素子及び光軸シフト光学素子を透過した光を受光する
光検出器とにより構成したので、共通の光学系でシフト
により異なる光軸を持つ放出光と光量損失の殆どない反
射光とを得ることができ、光検出器を半導体レーザ付近
に配設させて簡単な光学系構成とすることができる上
に、半導体レーザ自体への戻り光を大幅に減少させるこ
とができる。
According to the present invention, the semiconductor laser, the reflector for reflecting the laser light emitted from the semiconductor laser, and the optical path between the semiconductor laser and the reflector are arranged. An optical axis shift optical element that is provided to shift the optical axis depending on the polarization direction, and a polarization that is disposed on the optical path between the optical axis shift optical element and the reflector and that controls the polarization direction of light. Since it is constituted by a control optical element and a photodetector which is arranged in the vicinity of the semiconductor laser and receives the light reflected by the reflector and transmitted through the polarization control optical element and the optical axis shift optical element, common optical The emitted light having different optical axes and the reflected light with almost no light quantity loss can be obtained in the system by shifting, and the photodetector can be arranged near the semiconductor laser to form a simple optical system configuration. , Semiconductor laser The return light to the can be reduced significantly.

【0071】請求項2記載の発明によれば、請求項1記
載の発明の構成における光検出器を、反射体から反射さ
れ偏光制御光学素子及び光軸シフト光学素子を透過した
光が結合される光集積回路の導波路上に形成された導波
路型光検出器としたので、導波路型光検出器を有する光
集積回路基板に対する横方向からの光を効率よく検出で
き、さらには、光集積回路基板と平行方向の波面情報を
光集積回路に利用することも可能となる。
According to a second aspect of the present invention, the light reflected by the reflector and transmitted through the polarization control optical element and the optical axis shift optical element is coupled to the photodetector in the configuration of the first aspect. Since the waveguide type photodetector is formed on the waveguide of the optical integrated circuit, it is possible to efficiently detect light from the lateral direction with respect to the optical integrated circuit substrate having the waveguide type photodetector. It is also possible to use the wavefront information in the direction parallel to the circuit board for the optical integrated circuit.

【0072】請求項3記載の発明によれば、請求項1又
は2記載の発明の構成に関し、半導体レーザのレーザ光
の放出位置と光検出器の検出位置とを半導体レーザを搭
載した基板に平行な方向に配列させたので、光検出器を
半導体レーザ用の基板上で同じ方向に保持でき、光検出
器の位置合わせを容易なものとすることができる。
According to a third aspect of the present invention, in the configuration of the first or second aspect of the invention, the emission position of the laser light of the semiconductor laser and the detection position of the photodetector are parallel to the substrate on which the semiconductor laser is mounted. Since the photodetectors can be held in the same direction on the substrate for the semiconductor laser, the photodetectors can be easily aligned.

【0073】請求項4記載の発明によれば、請求項1又
は2記載の発明の構成に関し、複数の光検出器の検出位
置を、半導体レーザを搭載した基板に平行な方向で半導
体レーザのレーザ光の放出位置を含まない位置に配列さ
せたので、光検出器を半導体レーザ用の基板の反対面で
保持でき、光検出器の位置合わせも比較的容易なものと
することができる。
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided the structure of the first or second aspect of the invention, in which the detection positions of the plurality of photodetectors are set in a direction parallel to the substrate on which the semiconductor laser is mounted. Since the light detectors are arranged at the positions not including the light emission positions, the photodetectors can be held on the opposite surface of the substrate for the semiconductor laser, and the alignment of the photodetectors can be relatively easy.

【0074】請求項5記載の発明によれば、請求項1又
は2記載の発明の構成に関し、半導体レーザと光検出器
又は導波路型光検出器を有する光集積回路とを密着させ
て一体化したので、光の放出・受光部を小型に構成でき
る。
According to a fifth aspect of the present invention, in the configuration of the first or second aspect of the invention, the semiconductor laser and the optical integrated circuit having the photodetector or the waveguide type photodetector are brought into close contact with each other and integrated. Therefore, the light emitting / receiving unit can be made compact.

【0075】請求項6記載の発明によれば、請求項1又
は2記載の発明の構成に関し、半導体レーザと光検出器
又は導波路型光検出器を有する光集積回路とを同一基板
上に作製したので、半導体レーザと光検出器とをフォト
リソグラフィ法によって簡単にして高精度に位置合わせ
できる。
According to a sixth aspect of the present invention, with respect to the structure of the first or second aspect of the invention, the semiconductor laser and the photodetector or the optical integrated circuit having the waveguide type photodetector are formed on the same substrate. Therefore, the semiconductor laser and the photodetector can be easily and highly accurately aligned by the photolithography method.

【0076】請求項7記載の発明によれば、請求項1又
は2記載の発明の構成において、反射体を光ディスクと
し、光検出器の検出出力に基づきフォーカス情報、トラ
ック情報又はピット情報を得る信号処理手段を設けたの
で、戻り光の影響が殆どなく、かつ、光利用効率が高
く、簡単な光学系構成の光ピックアップを提供できる。
According to the invention of claim 7, in the structure of the invention of claim 1 or 2, the reflector is an optical disk, and a signal for obtaining focus information, track information or pit information based on the detection output of the photodetector. Since the processing means is provided, it is possible to provide an optical pickup having a simple optical system configuration, which is hardly affected by the returning light, has high light utilization efficiency.

【0077】請求項8記載の発明によれば、請求項2記
載の発明の構成において、複数個の導波路型光検出器と
し、各導波路型光検出器間の導波路上に導波光分離偏向
素子を設けたので、複数の導波路型光検出器間の実効的
な間隔を詰めて構成でき、導波路型光検出器を作製しや
すくなる。
According to an eighth aspect of the present invention, in the configuration of the second aspect of the invention, a plurality of waveguide type photodetectors are provided, and guided light separation is performed on the waveguide between the respective waveguide type photodetectors. Since the deflecting element is provided, the plurality of waveguide type photodetectors can be effectively spaced and configured, and the waveguide type photodetector can be easily manufactured.

【0078】請求項9記載の発明によれば、請求項1又
は2記載の発明の構成に関し、偏光制御光学素子を1/
4波長板としたので、簡単で小型・安価にして偏光方向
の90°回転を実現でき、検出光学系全体の小型・低コ
スト化を図れる。
According to a ninth aspect of the present invention, with respect to the configuration of the first or second aspect of the invention, the polarization control optical element is
Since it is a four-wave plate, it is possible to realize a 90 ° rotation of the polarization direction in a simple, compact and inexpensive manner, and to reduce the size and cost of the entire detection optical system.

【0079】請求項10記載の発明によれば、請求項1
又は2記載の発明の構成に加え、半導体レーザ又は光検
出器の前方に平行平板を設けたので、放出光と反射光と
の光路長を調整でき、光検出器の検出位置でのレーザ光
の特性を容易に変化させ得るものとなる。
According to the invention of claim 10, claim 1
Alternatively, in addition to the configuration of the invention described in 2, since the parallel plate is provided in front of the semiconductor laser or the photodetector, the optical path lengths of the emitted light and the reflected light can be adjusted, and the laser light at the detection position of the photodetector can be adjusted. The characteristics can be changed easily.

【0080】請求項11記載の発明によれば、請求項1
又は2記載の発明の構成に関し、光軸シフト光学素子と
偏光制御光学素子とを一体化したので、これらの光学素
子の組付け時の位置調整等を容易化し得るとともに、検
出光学系の一層の小型化を図れる。
According to the invention of claim 11, claim 1
Alternatively, regarding the configuration of the invention described in 2, since the optical axis shift optical element and the polarization control optical element are integrated, position adjustment and the like at the time of assembling these optical elements can be facilitated, and a further improvement of the detection optical system can be achieved. Can be miniaturized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の第一の実施例を示す光学系の概略構成
図である。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an optical system showing a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の第二の実施例を示し、(a)は正面
図、(b)はその一部の概略断面図である。
2A and 2B show a second embodiment of the present invention, in which FIG. 2A is a front view and FIG. 2B is a schematic sectional view of a part thereof.

【図3】本発明の第三の実施例を示す正面図である。FIG. 3 is a front view showing a third embodiment of the present invention.

【図4】本発明の第四の実施例を示す正面図である。FIG. 4 is a front view showing a fourth embodiment of the present invention.

【図5】本発明の第五の実施例を示す正面図である。FIG. 5 is a front view showing a fifth embodiment of the present invention.

【図6】本発明の第六の実施例を示す正面図である。FIG. 6 is a front view showing a sixth embodiment of the present invention.

【図7】本発明の第七の実施例を示す信号処理手段を含
む概略平面図である。
FIG. 7 is a schematic plan view including signal processing means showing a seventh embodiment of the present invention.

【図8】本発明の第八の実施例を示す概略平面図であ
る。
FIG. 8 is a schematic plan view showing an eighth embodiment of the present invention.

【図9】本発明の第九の実施例を示す光学系の概略構成
図である。
FIG. 9 is a schematic configuration diagram of an optical system showing a ninth embodiment of the present invention.

【図10】本発明の第十の実施例を示す概略平面図であ
る。
FIG. 10 is a schematic plan view showing a tenth embodiment of the present invention.

【図11】本発明の第十一の実施例を示す光学素子の概
略側面図である。
FIG. 11 is a schematic side view of an optical element showing an eleventh embodiment of the present invention.

【図12】従来例を示す光学系の概略構成図である。FIG. 12 is a schematic configuration diagram of an optical system showing a conventional example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

21 半導体レーザ 22 放出位置 23 光軸 24 反射体 26 光軸シフト光学素子 27 偏光制御光学素子 29 光検出器 33 検出位置 34 光軸 35 導波路型光検出器 36 導波路 37 光集積回路 40 半導体レーザ用の基板 42 導波路 43 光集積回路 44a〜44d 導波路型光検出器 46 信号処理手段 47a〜47c 導波光分離偏向素子 48 1/4波長板,偏光制御光学素子 50 平行平板 51 光軸シフト光学素子兼偏光制御光学素子 21 semiconductor laser 22 emission position 23 optical axis 24 reflector 26 optical axis shift optical element 27 polarization control optical element 29 photodetector 33 detection position 34 optical axis 35 waveguide type photodetector 36 waveguide 37 optical integrated circuit 40 semiconductor laser Substrate 42 Waveguide 43 Optical integrated circuit 44a-44d Waveguide type photodetector 46 Signal processing means 47a-47c Waveguide light separating / deflecting element 48 1/4 wavelength plate, polarization control optical element 50 Parallel plate 51 Optical axis shift optics Element and polarization control optical element

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 G11B 7/13 7247−5D 7/135 Z 7247−5D ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code Internal reference number FI Technical display location G11B 7/13 7247-5D 7/135 Z 7247-5D

Claims (11)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 半導体レーザと、この半導体レーザから
出射されたレーザ光を反射させる反射体と、前記半導体
レーザとこの反射体との間の光路上に配設されて偏光方
向に依存して光軸をシフトさせる光軸シフト光学素子
と、この光軸シフト光学素子と前記反射体との間の光路
上に配設されて光の偏光方向を制御する偏光制御光学素
子と、前記半導体レーザ付近に配設されて前記反射体か
ら反射され前記偏光制御光学素子及び光軸シフト光学素
子を透過した光を受光する光検出器とよりなることを特
徴とする光検出装置。
1. A semiconductor laser, a reflector for reflecting laser light emitted from the semiconductor laser, and an optical path disposed between the semiconductor laser and the reflector, the light depending on the polarization direction. An optical axis shift optical element for shifting the axis, a polarization control optical element arranged on the optical path between the optical axis shift optical element and the reflector for controlling the polarization direction of light, and near the semiconductor laser. A photodetector, comprising: a photodetector that is arranged and reflected from the reflector and receives light that has passed through the polarization control optical element and the optical axis shift optical element.
【請求項2】 光検出器を、反射体から反射され偏光制
御光学素子及び光軸シフト光学素子を透過した光が結合
される光集積回路の導波路上に形成された導波路型光検
出器としたことを特徴とする請求項1記載の光検出装
置。
2. A photodetector formed on a waveguide of an optical integrated circuit to which light reflected from a reflector and transmitted through a polarization control optical element and an optical axis shift optical element is coupled. The photodetector according to claim 1, wherein
【請求項3】 半導体レーザのレーザ光の放出位置と、
少なくとも1つ以上の光検出器の検出位置とを、前記半
導体レーザを搭載した基板に平行な方向に配列させたこ
とを特徴とする請求項1又は2記載の光検出装置。
3. A laser beam emitting position of a semiconductor laser,
3. The photodetector according to claim 1, wherein at least one or more photodetector detection positions are arranged in a direction parallel to the substrate on which the semiconductor laser is mounted.
【請求項4】 少なくとも2つ以上の光検出器の検出位
置を、半導体レーザを搭載した基板に平行な方向で前記
半導体レーザのレーザ光の放出位置を含まない位置に配
列させたことを特徴とする請求項1又は2記載の光検出
装置。
4. A detection position of at least two or more photodetectors is arranged in a position parallel to a substrate on which a semiconductor laser is mounted and at a position not including a laser light emission position of the semiconductor laser. The photodetector according to claim 1 or 2.
【請求項5】 半導体レーザと光検出器又は導波路型光
検出器を有する光集積回路とを密着させて一体化したこ
とを特徴とする請求項1又は2記載の光検出装置。
5. The photodetector according to claim 1, wherein the semiconductor laser and an optical integrated circuit having a photodetector or a waveguide type photodetector are brought into close contact with each other and integrated.
【請求項6】 半導体レーザと光検出器又は導波路型光
検出器を有する光集積回路とを同一基板上に作製したこ
とを特徴とする請求項1又は2記載の光検出装置。
6. The photodetector according to claim 1, wherein the semiconductor laser and the photodetector or an optical integrated circuit having a waveguide photodetector are formed on the same substrate.
【請求項7】 反射体を光ディスクとし、光検出器の検
出出力に基づきフォーカス情報、トラック情報又はピッ
ト情報の少なくとも1つの情報を得る信号処理手段を設
けたことを特徴とする請求項1又は2記載の光検出装
置。
7. The optical disk as the reflector, and signal processing means for obtaining at least one of focus information, track information or pit information based on the detection output of the photodetector is provided. The photodetector described.
【請求項8】 複数個の導波路型光検出器とし、各導波
路型光検出器間の導波路上に導波光分離偏向素子を設け
たことを特徴とする請求項2記載の光検出装置。
8. The photodetector according to claim 2, wherein a plurality of waveguide type photodetectors are provided, and a guided light separating / deflecting element is provided on a waveguide between the waveguide type photodetectors. .
【請求項9】 偏光制御光学素子を1/4波長板とした
ことを特徴とする請求項1又は2記載の光検出装置。
9. The photodetector according to claim 1, wherein the polarization control optical element is a quarter wavelength plate.
【請求項10】 半導体レーザ又は光検出器の前方に平
行平板を設けたことを特徴とする請求項1又は2記載の
光検出装置。
10. The photodetector according to claim 1, wherein a parallel plate is provided in front of the semiconductor laser or the photodetector.
【請求項11】 光軸シフト光学素子と偏光制御光学素
子とを一体化してなることを特徴とする請求項1又は2
記載の光検出装置。
11. The optical axis shift optical element and the polarization control optical element are integrated with each other.
The photodetector described.
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