JPH07204482A - 有害ガスを空気と混合するための混合装置 - Google Patents
有害ガスを空気と混合するための混合装置Info
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- JPH07204482A JPH07204482A JP6271457A JP27145794A JPH07204482A JP H07204482 A JPH07204482 A JP H07204482A JP 6271457 A JP6271457 A JP 6271457A JP 27145794 A JP27145794 A JP 27145794A JP H07204482 A JPH07204482 A JP H07204482A
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- air
- housing
- mixing device
- chamber
- gas
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- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D11/00—Control of flow ratio
- G05D11/02—Controlling ratio of two or more flows of fluid or fluent material
- G05D11/13—Controlling ratio of two or more flows of fluid or fluent material characterised by the use of electric means
- G05D11/135—Controlling ratio of two or more flows of fluid or fluent material characterised by the use of electric means by sensing at least one property of the mixture
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Y10T137/00—Fluid handling
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Incineration Of Waste (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 有害ガスの危険性を低下させるための処理を
安全に行う。 【構成】 空気が導入手段を通じてハウジング内へ導入
される。導入された空気はローターアセンブリのブレー
ドに作用し、このブレードによって空気が分散される。
一方、有害ガスが導入管を通じてハウジング内へ導入さ
れる。分散によって形成された空気流は有害ガスに作用
してこれと混合される。混合気体はハウジングの壁に衝
突した後、排出導管から排出される。ローターアセンブ
リは導入される空気によって駆動されるように、導入手
段の近くに配置されている。
安全に行う。 【構成】 空気が導入手段を通じてハウジング内へ導入
される。導入された空気はローターアセンブリのブレー
ドに作用し、このブレードによって空気が分散される。
一方、有害ガスが導入管を通じてハウジング内へ導入さ
れる。分散によって形成された空気流は有害ガスに作用
してこれと混合される。混合気体はハウジングの壁に衝
突した後、排出導管から排出される。ローターアセンブ
リは導入される空気によって駆動されるように、導入手
段の近くに配置されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は有害ガスを空気と混合す
ることによってその危険性を低下させるための混合装置
に関する。
ることによってその危険性を低下させるための混合装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】有毒ガス、腐食性ガス、爆発性ガス等の
有害ガスの廃棄はその危険性や環境破壊の観点から重大
な関心事となっている。こうした有害ガスは化学蒸着法
を使用した製造工程等の種々の製造工程において生成さ
れる。可燃性ガスもその廃棄に際しては問題がある。爆
発性のガスの危険性を低下させる上での問題点の一つ
は、こうしたガスの中には引火性の高いものがあるた
め、火花による発火の危険性の観点から電気部品を使用
が制限されることである。また、腐食性のガスの危険性
を低下させる上での問題点は、送風機、ファン、フィル
タ等を使用すると、それらの製造コストが高くなるだけ
でなくそれらの耐用年数も短いことである。このような
ガスの危険性を低下させるための一つの方法は燃焼させ
て廃棄する方法であるが、この方法においては、有害ガ
スをその発生源（製造工程等）から燃焼場所まで移送す
るときにかなりの危険を伴う。ガスの移送中にガスポケ
ットが形成されることがあるが、このようなガスポケッ
トは作業者を傷つけたり死に到らしめたりするだけでな
く、爆発によって施設の破壊する原因となる。したがっ
て、有害ガスを廃棄装置すなわちバーナーまで移送する
ためには、ガスポケットを形成し難い移送管すなわちガ
スを漏出させ難い移送管を使用する必要があるが、それ
には高いコストがかかる。また、このような移送管は耐
蝕性に優れた材料で形成されなくてはならないが、この
点もコストを上げる一因である。さらに、有害ガスの廃
棄に関する公的な規制も進行しており、廃棄の基準値は
百万分の一（ＰＰＭ）のオーダーとなる見込みである。
有害ガスの廃棄はその危険性や環境破壊の観点から重大
な関心事となっている。こうした有害ガスは化学蒸着法
を使用した製造工程等の種々の製造工程において生成さ
れる。可燃性ガスもその廃棄に際しては問題がある。爆
発性のガスの危険性を低下させる上での問題点の一つ
は、こうしたガスの中には引火性の高いものがあるた
め、火花による発火の危険性の観点から電気部品を使用
が制限されることである。また、腐食性のガスの危険性
を低下させる上での問題点は、送風機、ファン、フィル
タ等を使用すると、それらの製造コストが高くなるだけ
でなくそれらの耐用年数も短いことである。このような
ガスの危険性を低下させるための一つの方法は燃焼させ
て廃棄する方法であるが、この方法においては、有害ガ
スをその発生源（製造工程等）から燃焼場所まで移送す
るときにかなりの危険を伴う。ガスの移送中にガスポケ
ットが形成されることがあるが、このようなガスポケッ
トは作業者を傷つけたり死に到らしめたりするだけでな
く、爆発によって施設の破壊する原因となる。したがっ
て、有害ガスを廃棄装置すなわちバーナーまで移送する
ためには、ガスポケットを形成し難い移送管すなわちガ
スを漏出させ難い移送管を使用する必要があるが、それ
には高いコストがかかる。また、このような移送管は耐
蝕性に優れた材料で形成されなくてはならないが、この
点もコストを上げる一因である。さらに、有害ガスの廃
棄に関する公的な規制も進行しており、廃棄の基準値は
百万分の一（ＰＰＭ）のオーダーとなる見込みである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、大気
圧以下の負圧源によって空気及び有害ガスを導入してこ
れら両者を混合させることのできるチャンバを有するハ
ウジングを開発することである。この発明の目的は、導
入される空気流の作用によって駆動されるローターアセ
ンブリを有し、このローターアセンブリのブレードによ
って空気の流れを多様な流れに変化させ、形成された空
気流が有害ガスと混合された後に排出導管へと導かれる
ように構成されたハウジングを開発することである。こ
の発明の目的は、電気的な構成部材を使用した場合に予
想される危険性を避けるために、遠隔配置された作用源
によってハウジング内へ導入された空気によって有害ガ
スを処理するための装置を開発することである。
圧以下の負圧源によって空気及び有害ガスを導入してこ
れら両者を混合させることのできるチャンバを有するハ
ウジングを開発することである。この発明の目的は、導
入される空気流の作用によって駆動されるローターアセ
ンブリを有し、このローターアセンブリのブレードによ
って空気の流れを多様な流れに変化させ、形成された空
気流が有害ガスと混合された後に排出導管へと導かれる
ように構成されたハウジングを開発することである。こ
の発明の目的は、電気的な構成部材を使用した場合に予
想される危険性を避けるために、遠隔配置された作用源
によってハウジング内へ導入された空気によって有害ガ
スを処理するための装置を開発することである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の装置は大気圧以
下に減圧されたチャンバ内で有害ガスの流れを空気の流
れと混合するための混合装置である。有害ガスと空気は
遠隔配置されたファン等の負圧供給源によってハウジン
グ内に形成されたチャンバ内へ導入される。ハウジング
のチャンバ内にはローターアセンブリが配置されてい
る。ローターアセンブリはハウジングに形成された空気
導入手段を通じて導入された空気の中に配置され、空気
を種々の形状の空気流に分散させることができるように
配置されている。分散によって形成された多様な空気流
は導入管からチャンバ内へ導入された有害ガスと混合さ
れる。導入管の放出端は空気導入手段の下流側に配置さ
れており、多様な空気流が導入管の放出端の脇を連続的
に流れるため、有害ガスの流れの形状が変化する。導入
された空気と有害ガスの混合作用はチャンバ内において
連続的に行われ、混合気体の少なくとも一部は排出導管
に連結された負圧供給源の作用によってハウジングの壁
に衝突する。また、導入管、ハウジング及び排出導管内
は共に大気圧以下に減圧されているため、有害ガスがこ
の混合装置から漏出する危険性は少ない。
下に減圧されたチャンバ内で有害ガスの流れを空気の流
れと混合するための混合装置である。有害ガスと空気は
遠隔配置されたファン等の負圧供給源によってハウジン
グ内に形成されたチャンバ内へ導入される。ハウジング
のチャンバ内にはローターアセンブリが配置されてい
る。ローターアセンブリはハウジングに形成された空気
導入手段を通じて導入された空気の中に配置され、空気
を種々の形状の空気流に分散させることができるように
配置されている。分散によって形成された多様な空気流
は導入管からチャンバ内へ導入された有害ガスと混合さ
れる。導入管の放出端は空気導入手段の下流側に配置さ
れており、多様な空気流が導入管の放出端の脇を連続的
に流れるため、有害ガスの流れの形状が変化する。導入
された空気と有害ガスの混合作用はチャンバ内において
連続的に行われ、混合気体の少なくとも一部は排出導管
に連結された負圧供給源の作用によってハウジングの壁
に衝突する。また、導入管、ハウジング及び排出導管内
は共に大気圧以下に減圧されているため、有害ガスがこ
の混合装置から漏出する危険性は少ない。
【０００５】
【実施例】以下、好ましい実施例について説明する。な
お、図中の同一の参照番号は同様な部材を示すものとす
る。参照番号１は本体部と延出部とから成るハウジング
を示している。ハウジング１はチャンバ２を有し、この
チャンバ２内には導入管３を通じて有害ガスが導入され
る。ハウジング１は一対の側壁４、上壁５及び底壁６を
有する。チャンバ２の上端部２Ａ（ハウジング１の延出
部に対応する部分）は側壁４、端部壁７、中間側壁８及
び第２上壁９とによって限定されている。図示１０は排
出導管である。なお、導入管３から導入される有害ガス
に耐えられるように、ハウジング１はステンレス鋼で形
成されるのが望ましい。ハウジング１の第２端部壁１３
には雰囲気である空気を導入するための空気導入手段す
なわち開口１２が形成されている。空気はこの開口１２
からチャンバ２内へ導入され、導入管３から導入された
有害ガスと混合される。導入管３はハウジング１の内部
へと延びており、その先端部には湾曲部３Ａが形成され
るとともに、開口端３Ｂにおいてハウジング１内へ開口
されている。ハウジング１の本体部内にはシャフト２１
を含むローターアセンブリが設けられている。シャフト
２１は側壁４に取り付けられたカラー２２内の軸受（図
示せず）に連結されている。シャフト２１には複数のブ
レード２４が取り付けられている。各ブレード２４は開
口１２を通じて導入される空気によって駆動されるよう
な形状に形成されている。また、ブレード２４には孔２
４Ａが形成されており、導入さた空気が効果的に分散さ
れるように構成されている。
お、図中の同一の参照番号は同様な部材を示すものとす
る。参照番号１は本体部と延出部とから成るハウジング
を示している。ハウジング１はチャンバ２を有し、この
チャンバ２内には導入管３を通じて有害ガスが導入され
る。ハウジング１は一対の側壁４、上壁５及び底壁６を
有する。チャンバ２の上端部２Ａ（ハウジング１の延出
部に対応する部分）は側壁４、端部壁７、中間側壁８及
び第２上壁９とによって限定されている。図示１０は排
出導管である。なお、導入管３から導入される有害ガス
に耐えられるように、ハウジング１はステンレス鋼で形
成されるのが望ましい。ハウジング１の第２端部壁１３
には雰囲気である空気を導入するための空気導入手段す
なわち開口１２が形成されている。空気はこの開口１２
からチャンバ２内へ導入され、導入管３から導入された
有害ガスと混合される。導入管３はハウジング１の内部
へと延びており、その先端部には湾曲部３Ａが形成され
るとともに、開口端３Ｂにおいてハウジング１内へ開口
されている。ハウジング１の本体部内にはシャフト２１
を含むローターアセンブリが設けられている。シャフト
２１は側壁４に取り付けられたカラー２２内の軸受（図
示せず）に連結されている。シャフト２１には複数のブ
レード２４が取り付けられている。各ブレード２４は開
口１２を通じて導入される空気によって駆動されるよう
な形状に形成されている。また、ブレード２４には孔２
４Ａが形成されており、導入さた空気が効果的に分散さ
れるように構成されている。
【０００６】開口１２は次のように位置決めされてい
る。すなわち、この開口１２からハウジング１内へ導入
された空気がシャフト２１に取り付けられたブレード２
４に向って流され、ローターアセンブリを駆動させ、そ
れによって導入された空気（ファン等によって圧送され
る）に乱流を生じさせるような位置に形成されている。
ブレード２４はその回転（回転軸Ａ回りの回転）方向に
対して後方に湾曲（断面弓形）されていることが望まし
い。このような形状のブレード２４によって形成される
乱流は破線の矢印２６で示されるような形状である。乱
流となった空気は有害ガス用の導入管３の開口端３Ｂの
脇を流れるため、導入管３から導入された有害ガスはこ
の乱流空気と混合され、破線の矢印２７で示されるよう
な形状に分散される。このような混合作用は連続的に行
われ、生成された混合気体がチャンバ２に沿って移動す
る。混合気体が移動してハウジング１の端部壁７の内面
に衝突すると、破線の矢印２８で示されるような最終混
合気体が形成される。このようにして形成された最終混
合気体は排出導管１０へと吸引される。なお、排出導管
１０はファンユニット２５又は除塵ユニットの吸引口等
の減圧源に連結されており、最終混合気体を容易に排出
できるように構成されている。
る。すなわち、この開口１２からハウジング１内へ導入
された空気がシャフト２１に取り付けられたブレード２
４に向って流され、ローターアセンブリを駆動させ、そ
れによって導入された空気（ファン等によって圧送され
る）に乱流を生じさせるような位置に形成されている。
ブレード２４はその回転（回転軸Ａ回りの回転）方向に
対して後方に湾曲（断面弓形）されていることが望まし
い。このような形状のブレード２４によって形成される
乱流は破線の矢印２６で示されるような形状である。乱
流となった空気は有害ガス用の導入管３の開口端３Ｂの
脇を流れるため、導入管３から導入された有害ガスはこ
の乱流空気と混合され、破線の矢印２７で示されるよう
な形状に分散される。このような混合作用は連続的に行
われ、生成された混合気体がチャンバ２に沿って移動す
る。混合気体が移動してハウジング１の端部壁７の内面
に衝突すると、破線の矢印２８で示されるような最終混
合気体が形成される。このようにして形成された最終混
合気体は排出導管１０へと吸引される。なお、排出導管
１０はファンユニット２５又は除塵ユニットの吸引口等
の減圧源に連結されており、最終混合気体を容易に排出
できるように構成されている。
【０００７】ハウジング１内から排出導管１０へと導か
れる最終混合気体の流量を調節するために、排出導管１
０内には揺動式のダンパ３０が配置されている。また、
排出導管１０を通って流れる混合気体の流量を監視する
ために、排出導管１０内には流量センサ３３が設けられ
ている。流量センサ３３はリード線３５，３６を介して
ダンパ手段すなわちインレットバルブ３４に連結されて
おり、排出導管１０内の混合気体の流量が減少したこと
を検知すると、インレットバルブ３４を閉じて導入管３
に供給される有害ガスの供給を遮断するように設定され
ている。導入管３内の有害ガスの流量に対する排出導管
１０内の混合気体の流量の比は有害ガス０．０２８m3(1
CFM)に対して混合気体２．８m3(100CFM)から７．０m3(2
50CFM)の範囲であるが、処理される有害ガスを最良の効
率で処理できるように変更することは可能である。な
お、当業者であれば容易に理解できるであろうが、ここ
に記載された以外のセンサや制御部材を必要に応じて使
用することもできる。開口１２から導入される空気がブ
レード２４に対して効率的に衝突するように、開口１２
の中心面Ｐはローターアセンブリのシャフト２１の軸Ａ
に対して偏心されている。また、前述したように、ブレ
ード２４には孔２４Ａが形成されているので、空気が効
果的に分散されて多様な流れを生じ、この空気の流れが
導入管３の開口端３Ｂから供給される有害ガスに作用
し、この有害ガスと混合されることによって、有害ガス
の危険性が上記の程度まで低下される。
れる最終混合気体の流量を調節するために、排出導管１
０内には揺動式のダンパ３０が配置されている。また、
排出導管１０を通って流れる混合気体の流量を監視する
ために、排出導管１０内には流量センサ３３が設けられ
ている。流量センサ３３はリード線３５，３６を介して
ダンパ手段すなわちインレットバルブ３４に連結されて
おり、排出導管１０内の混合気体の流量が減少したこと
を検知すると、インレットバルブ３４を閉じて導入管３
に供給される有害ガスの供給を遮断するように設定され
ている。導入管３内の有害ガスの流量に対する排出導管
１０内の混合気体の流量の比は有害ガス０．０２８m3(1
CFM)に対して混合気体２．８m3(100CFM)から７．０m3(2
50CFM)の範囲であるが、処理される有害ガスを最良の効
率で処理できるように変更することは可能である。な
お、当業者であれば容易に理解できるであろうが、ここ
に記載された以外のセンサや制御部材を必要に応じて使
用することもできる。開口１２から導入される空気がブ
レード２４に対して効率的に衝突するように、開口１２
の中心面Ｐはローターアセンブリのシャフト２１の軸Ａ
に対して偏心されている。また、前述したように、ブレ
ード２４には孔２４Ａが形成されているので、空気が効
果的に分散されて多様な流れを生じ、この空気の流れが
導入管３の開口端３Ｂから供給される有害ガスに作用
し、この有害ガスと混合されることによって、有害ガス
の危険性が上記の程度まで低下される。
【０００８】以下に、本発明の装置で処理可能な有害ガ
スの一例を挙げる。 水素（可燃性ガス） モノシラン（可燃性ガス） ブテン（可燃性ガス） フォスフェン（phosphene,毒性ガス） ゲルマン（毒性ガス） 塩素（毒性ガス） ジクロロシラン（腐食性ガス） 三フッ化塩素（腐食性ガス） 塩化水素（腐食性ガス）
スの一例を挙げる。 水素（可燃性ガス） モノシラン（可燃性ガス） ブテン（可燃性ガス） フォスフェン（phosphene,毒性ガス） ゲルマン（毒性ガス） 塩素（毒性ガス） ジクロロシラン（腐食性ガス） 三フッ化塩素（腐食性ガス） 塩化水素（腐食性ガス）
【０００９】以上、この発明の好適な実施例を説明した
が、この発明は上記実施例に限定されるものではなく、
請求の範囲によって限定される発明の範囲を逸脱しない
限りどのような態様においても実施可能である。なお、
記載されている数値に関し、括弧書によって別の数値が
併記されている数値は括弧内の数値を基に換算されたも
のである。したがって、その数値と括弧内の数値との間
に不一致がある場合には、括弧内の数値が正しい数値と
されなくてはならない。
が、この発明は上記実施例に限定されるものではなく、
請求の範囲によって限定される発明の範囲を逸脱しない
限りどのような態様においても実施可能である。なお、
記載されている数値に関し、括弧書によって別の数値が
併記されている数値は括弧内の数値を基に換算されたも
のである。したがって、その数値と括弧内の数値との間
に不一致がある場合には、括弧内の数値が正しい数値と
されなくてはならない。
【図１】本発明の装置の斜視図である。
【図２】本発明の装置の一部切り欠き側面図である。
【図３】図２の左端面図である。
１ ハウジング ２ チャンバ ３ 導入管 ３Ｂ 開口端 ７ 端部壁 １０ 排出導管 １２ 開口 ２４ ブレード ２４Ａ 孔 ２５ ファンユニット ３３ 流量センサ ３４ インレットバルブ
Claims (7)
- 【請求項１】 有害ガスを空気と混合してその危険性を
低下させるための混合装置であって、 チャンバとこのチャンバに空気を導入させる空気導入手
段とを有するハウジングと、 前記チャンバ内に配置されたローターアセンブリと、 有害ガスを前記チャンバ内へ導入するための導入管と、 前記チャンバと連通された排出導管と、 吸引手段と、 を有し、前記ローターアセンブリはブレードを有し、前
記ブレードは前記チャンバ内に導入された前記空気によ
って回転されてその空気を分散させて所定の空気流を形
成することができるような位置に配置され、前記導入管
は前記チャンバ内において形成された前記空気流内に開
口する開口端を有し、前記吸引手段によって前記空気と
前記有害ガスとの混合気体が前記排出導管から強制排出
されるように構成された混合装置。 - 【請求項２】 前記ハウジングが本体部を有し、前記本
体部内には前記ローターアセンブリ及び前記導入管の前
記開口端が配置され、前記ハウジングはさらに前記本体
部の軸と交差する端部壁を有し、この端部壁に対して前
記空気流と前記有害ガスとの前記混合気体が衝突するよ
うに構成されている請求項１に記載の混合装置。 - 【請求項３】 前記ブレードには孔が形成されている請
求項１に記載の混合装置。 - 【請求項４】 前記ブレードが断面弓形である請求項３
に記載の混合装置。 - 【請求項５】 前記ハウジングが壁を有し、前記空気導
入手段が前記壁に形成された開口であり、前記開口の中
心面が前記ローターアセンブリの前記ブレードの回転軸
に対して偏心されている請求項１に記載の混合装置。 - 【請求項６】 前記排出導管内に配置された流量センサ
と、前記導入管に取り付けられた調節可能なダンパ手段
とをさらに有し、前記ダンパ手段は前記流量センサから
の信号に応答して作動するように設定されている請求項
１に記載の混合装置。 - 【請求項７】 前記吸引手段が前記排出導管に取り付け
られたファンユニットである請求項１に記載の混合装
置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US08/179,067 US5353829A (en) | 1994-01-10 | 1994-01-10 | Apparatus for mixing hazardous gas with an airflow |
| US179067 | 1994-01-10 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07204482A true JPH07204482A (ja) | 1995-08-08 |
| JP2723474B2 JP2723474B2 (ja) | 1998-03-09 |
Family
ID=22655104
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6271457A Expired - Lifetime JP2723474B2 (ja) | 1994-01-10 | 1994-11-04 | 有害ガスを空気と混合するための混合装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5353829A (ja) |
| JP (1) | JP2723474B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7488460B2 (en) | 2004-01-05 | 2009-02-10 | Innovative Engineering Solutions, Inc. | Combined chemical agent and dynamic oxidation treatment of hazardous gas |
| US7601307B2 (en) | 2004-03-10 | 2009-10-13 | Innovative Engineering Solutions, Inc. | Hazardous gas abatement system using electrical heater and water scrubber |
| WO2011040618A1 (en) * | 2009-09-30 | 2011-04-07 | Sumitomo Chemical Company, Limited | Mixing apparatus of combustible gas and combustion supporting gas |
| US8192693B2 (en) | 2008-02-12 | 2012-06-05 | Innovative Engineering Solutions, Inc. | Apparatus for dynamic oxidation of process gas |
| KR101384352B1 (ko) * | 2013-07-24 | 2014-04-22 | 이엠씨(주) | 산업설비 안전용 유해가스 원격제어방법 |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5662722A (en) * | 1995-08-01 | 1997-09-02 | Innovative Engineering Solutions, Inc. | Air and gas mixing apparatus with removable baffle plates |
| US5699826A (en) * | 1996-09-03 | 1997-12-23 | Innovative Engineering Solutions, Inc. | Hazardous gas mixing apparatus with rake for dislodging conduit deposits |
| US5980835A (en) * | 1998-01-02 | 1999-11-09 | Innovative Engineering Solutions, Inc. | Ambient air inlet assembly for a hazardous gas mixing apparatus |
| US6030584A (en) * | 1998-03-09 | 2000-02-29 | Innovative Engineering Solutions, Inc. | Hazardous gas precipitator |
| US6030585A (en) * | 1998-03-30 | 2000-02-29 | Innovative Engineering Solutions, Inc. | Apparatus for oxidizing and removing matter from a hazardous gas flow |
| AUPQ416399A0 (en) * | 1999-11-19 | 1999-12-16 | Cytec Industries Inc. | Process for supplying a fumigant gas |
| GB2595938A (en) * | 2020-06-12 | 2021-12-15 | Edwards Ltd | Flammable gas dilution |
Family Cites Families (5)
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Also Published As
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