JPH07190886A - Inspection apparatus of optical fiber - Google Patents

Inspection apparatus of optical fiber

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JPH07190886A
JPH07190886A JP12104594A JP12104594A JPH07190886A JP H07190886 A JPH07190886 A JP H07190886A JP 12104594 A JP12104594 A JP 12104594A JP 12104594 A JP12104594 A JP 12104594A JP H07190886 A JPH07190886 A JP H07190886A
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light
optical fiber
frequency
interference
reflection
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Yasuyuki Suzuki
泰幸 鈴木
Yoshihiko Tachikawa
義彦 立川
Makoto Komiyama
誠 小宮山
Mamoru Arihara
守 在原
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Yokogawa Electric Corp
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Abstract

PURPOSE:To recognize a ghost by a method wherein the optical path of reference light is changed, interference light is measured, measured results are overlapped, length resolution and reflection-loss measuring accuracy are enhanced and the existence of the shift of a frequency is detected. CONSTITUTION:The wavelength of output light is swept by a variable- wavelength light source 1. Reflected light by a moving mirror 3a is made to interfere with reflected light from the reflection point of an optical fiber 5. Interference light is converted into an electric signal by a photodetector 6, and the electric signal is frequency-analyzed 7. Thereby, the distance between a beam splitter 2 and the reflection point of the optical fiber 5 is found. At this time, the moving mirror 3a is moved by an arithmetic ask control means 51, the optical path length of reference light is changed by La within the range of resolution L, the interference light is measured, a spectrum is found, and the intensity of interference with reference to a distance difference L is displayed. Thereby, the spectrum is narrowed, length resolution is enhanced, a peak value is increased, and reflection-loss measuring accuracy is enhanced. In addition, when the existence of the shift of a frequency is detected, a ghost can be recognized.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、光の干渉を用いた光フ
ァイバ検査装置に関し、特に長さ分解能及び反射損失測
定確度を改善した光ファイバ検査装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical fiber inspection apparatus using optical interference, and more particularly to an optical fiber inspection apparatus having improved length resolution and reflection loss measurement accuracy.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来の光の干渉を用いた光ファイバ検査
装置(OFDR:Optical FrequencyDomain Reflectmet
er )は検査対象である光ファイバの反射点の距離及び
前記反射点からの反射量を求めるものであり、マイケル
ソン干渉計を用いたものがある。図4はこのような従来
の光ファイバ検査装置の一例を示す構成ブロック図であ
る。
2. Description of the Related Art A conventional optical fiber inspection device (OFDR: Optical Frequency Domain Reflectmet) using optical interference.
er) is for obtaining the distance of the reflection point of the optical fiber to be inspected and the reflection amount from the reflection point, and there is one using a Michelson interferometer. FIG. 4 is a configuration block diagram showing an example of such a conventional optical fiber inspection apparatus.

【0003】図4において1は可変波長光源、2はビー
ムスプリッタ、3はミラー、4はレンズ、5は検査対象
である光ファイバ、6は光検出器、7はFFT等の周波
数解析装置である。ここで、2〜4はマイケルソン干渉
計50を構成している。
In FIG. 4, 1 is a variable wavelength light source, 2 is a beam splitter, 3 is a mirror, 4 is a lens, 5 is an optical fiber to be inspected, 6 is a photodetector, and 7 is a frequency analysis device such as FFT. . Here, 2 to 4 compose a Michelson interferometer 50.

【0004】可変波長光源1の出力光はビームスプリッ
タ2に入射され、ビームスプリッタ2は前記入射光の一
部を反射してミラー3に入射し、残りの入射光を透過さ
せレンズ4を介して光ファイバ5に入射する。
The output light of the variable wavelength light source 1 is incident on a beam splitter 2, the beam splitter 2 reflects a part of the incident light and makes it incident on a mirror 3, and transmits the remaining incident light through a lens 4. It is incident on the optical fiber 5.

【0005】ミラー3で反射された光は再びビームスプ
リッタ2に入射される。一方、光ファイバ5の反射点か
らの反射光もレンズ4を介してビームスプリッタ2に入
射され、ミラー3からの反射光と合波される。
The light reflected by the mirror 3 enters the beam splitter 2 again. On the other hand, the reflected light from the reflection point of the optical fiber 5 is also incident on the beam splitter 2 via the lens 4, and is combined with the reflected light from the mirror 3.

【0006】合波された結果生じる干渉光は光検出器6
に入射され電気信号に変換される。光検出器6の出力は
周波数解析装置7に接続され、周波数解析装置7からの
制御信号が可変波長光源1に接続される。
The interference light generated as a result of the multiplexing is the photodetector 6
And is converted into an electric signal. The output of the photodetector 6 is connected to the frequency analysis device 7, and the control signal from the frequency analysis device 7 is connected to the variable wavelength light source 1.

【0007】ここで、図4に示す従来例の動作を説明す
る。可変波長光源1により出力光の波長を掃引し、ミラ
ー3の反射光及び光ファイバ5の反射点からの反射光を
干渉させる。この干渉光は光検出器6で検出され、周波
数解析装置7において解析される。
The operation of the conventional example shown in FIG. 4 will be described. The wavelength of the output light is swept by the variable wavelength light source 1, and the reflected light from the mirror 3 and the reflected light from the reflection point of the optical fiber 5 interfere with each other. This interference light is detected by the photodetector 6 and analyzed by the frequency analysis device 7.

【0008】前記波長の掃引速度が光周波数換算で一定
の場合、ミラー3の反射光及び光ファイバ5の反射点か
らの反射光の干渉光はある光周波数で干渉強度のピーク
を持つ。この光周波数はビームスプリッタ2・ミラー3
間とビームスプリッタ2・光ファイバ5の反射点間との
距離の差に比例する。
When the sweep speed of the wavelength is constant in terms of optical frequency, the interference light of the reflected light of the mirror 3 and the reflected light from the reflection point of the optical fiber 5 has a peak of interference intensity at a certain optical frequency. This optical frequency is beam splitter 2 and mirror 3
Is proportional to the difference in distance between the beam splitter 2 and the reflection point of the optical fiber 5.

【0009】即ち、ビームスプリッタ2とミラー3間の
距離は既知であるので、周波数解析装置7において周波
数解析することにより前記ビームスプリッタ2と光ファ
イバ5の反射点間の距離を求めることができる。
That is, since the distance between the beam splitter 2 and the mirror 3 is known, the distance between the beam splitter 2 and the reflection point of the optical fiber 5 can be obtained by frequency analysis in the frequency analysis device 7.

【0010】例えば、光検出器6で検出された周波数
を”fm”、ビームスプリッタ2・ミラー3間とビーム
スプリッタ2・光ファイバ5の反射点間との距離の差
を”L”、距離差”L”内の光の波数を”N”、媒質の
屈折率を”n”、真空中の光速を”c0 ”、可変波長光
源1の出力光の周波数を”f”とすれば、周波数”f
m”は、 fm=dN/dt =(2・n・L/c0)・df/dt (1) となる。
For example, the frequency detected by the photodetector 6 is "fm", the difference in distance between the beam splitter 2 and the mirror 3 and between the beam splitter 2 and the reflection point of the optical fiber 5 is "L", and the distance difference is If the wave number of light in “L” is “N”, the refractive index of the medium is “n”, the speed of light in vacuum is “c 0 ”, and the frequency of the output light of the variable wavelength light source 1 is “f”, then the frequency is "F
m ″ is fm = dN / dt = (2 · n · L / c 0 ) · df / dt (1).

【0011】式(1)を距離差”L”に関して変形すれ
ば、 L=fm/{(2・n/c0)・df/dt} (2) となる。
When the equation (1) is modified with respect to the distance difference "L", L = fm / {(2n / c 0 ) df / dt} (2)

【0012】式(2)において”n”及び”c0 ”は定
数であり、波長の掃引が光周波数換算で一定であるの
で”df/dt”も一定となる。従って、光検出器6で
検出された周波数を”fm”から距離差”L”を特定す
ることが可能となる。
In equation (2), "n" and "c 0 " are constants, and since the wavelength sweep is constant in terms of optical frequency, "df / dt" is also constant. Therefore, it is possible to specify the distance difference "L" from the frequency "fm" detected by the photodetector 6.

【0013】さらに、前述のようにビームスプリッタ2
とミラー3間の距離は既知であるので、ビームスプリッ
タ2と光ファイバ5の反射点間の距離を求めることがで
きる。
Further, as described above, the beam splitter 2
Since the distance between the mirror 3 and the mirror 3 is known, the distance between the beam splitter 2 and the reflection point of the optical fiber 5 can be obtained.

【0014】ここで、図5は従来例による測定例を示す
特性曲線図であり、光ファイバ5として30m、20c
m及び60cmの光ファイバを接続し、各接続点からの
反射を測定したものである。図5中”イ”、”ロ”及
び”ハ”は各接続点からの反射を示している。
FIG. 5 is a characteristic curve diagram showing a measurement example according to the conventional example, in which the optical fiber 5 is 30 m, 20 c.
The optical fibers of m and 60 cm are connected, and the reflection from each connection point is measured. In FIG. 5, "a", "b", and "c" indicate reflections from each connection point.

【0015】また、図5に示す測定の掃引条件は、 df/dt=71GHz/s =2.27GHz/32ms (3) である。The sweep condition of the measurement shown in FIG. 5 is df / dt = 71 GHz / s = 2.27 GHz / 32 ms (3).

【0016】縦軸である干渉強度は可変波長光源1のコ
ヒーレント長当たり”−4.3dB”の減衰があるの
で、前記コヒーレント長が長い、言い換えれば可変波長
光源1ののスペクトル線幅が狭いほど長距離な測定が可
能となる。
Since the interference intensity on the vertical axis has an attenuation of "-4.3 dB" per coherent length of the variable wavelength light source 1, the longer the coherent length, in other words, the narrower the spectral line width of the variable wavelength light source 1 is. It enables long-distance measurement.

【0017】また、長さの分解能”ΔL”は式(2)か
ら、 ΔL=Δfm/{(2・n/c0)・df/dt} (4) となる。
Further, the length resolution "ΔL" is given by the equation (2) as follows: ΔL = Δfm / {(2n / c 0 ) df / dt} (4)

【0018】[0018]

【発明が解決しようとする課題】しかし、FFT等によ
り周波数成分を分析する場合、式(4)における”Δf
m”はデータ時間幅で決まり、”n”及び”c0 ”は一
定であるので、長さ分解能”ΔL”を向上させるために
は”df”を大きくしなければならない。
However, when the frequency component is analyzed by FFT or the like, "Δf" in equation (4) is
Since “m” is determined by the data time width and “n” and “c 0 ” are constant, “df” must be increased in order to improve the length resolution “ΔL”.

【0019】ここで、”df”を大きくすることは光周
波数の掃引幅を大きくすることに対応する。この場合、
掃引レート”df/dt”が線形または一定ではなくな
ってしまい、”df/dt”を一定に維持することが困
難であるため長さ分解能の向上は困難になる。
Increasing "df" corresponds to increasing the sweep width of the optical frequency. in this case,
Since the sweep rate “df / dt” is not linear or constant and it is difficult to keep “df / dt” constant, it is difficult to improve the length resolution.

【0020】また、FFTでは干渉光の周波数とFFT
での解析周波数が一致しないと、解析されたスペクトル
が劣化して十分な分解能が得られない場合がある。図6
〜図9はこのような具体例を示す特性曲線図である。
In the FFT, the frequency of the interference light and the FFT
If the analysis frequencies do not match, the analyzed spectrum may deteriorate and sufficient resolution may not be obtained. Figure 6
9 is a characteristic curve diagram showing such a specific example.

【0021】図6は干渉光周波数と解析周波数とが一致
している場合、図7は干渉光周波数と解析周波数とが周
波数分解能の1/4だけずれている場合、図8は干渉光
周波数と解析周波数とが周波数分解能の1/2だけずれ
ている場合、図9は図6〜図8を重ね合わせた場合をそ
れぞれ示している。
FIG. 6 shows the case where the interference light frequency and the analysis frequency match, FIG. 7 shows the case where the interference light frequency and the analysis frequency deviate by 1/4 of the frequency resolution, and FIG. 8 shows the interference light frequency. FIG. 9 shows the case where the analysis frequency is shifted by ½ of the frequency resolution, and FIG. 9 shows the case where FIGS.

【0022】干渉光周波数と解析周波数とがずれるとス
ペクトルが広がり長さ分解能が低下し、また、ピーク値
が1dB以上変化していまい反射損失測定確度が低下し
てしまう。
When the interference light frequency and the analysis frequency are deviated, the spectrum spreads and the length resolution deteriorates, and the peak value changes by 1 dB or more, and the reflection loss measurement accuracy decreases.

【0023】また、検査対象である光ファイバ5に複数
の反射点が存在する場合には、各反射点における反射光
が互いに干渉して、差周波数に相当するゴーストが検出
される恐れがある。
When the optical fiber 5 to be inspected has a plurality of reflection points, the reflected lights at the reflection points may interfere with each other and a ghost corresponding to the difference frequency may be detected.

【0024】例えば、反射点が”L1”及び”L2”の
2箇所であれば、2つの周波数”f1”及び”f2”が
演算制御手段51により検出され、さらに”f1−f
2”に相当するゴーストも同時に検出される。
For example, if there are two reflection points "L1" and "L2", two frequencies "f1" and "f2" are detected by the arithmetic control means 51, and further "f1-f".
A ghost equivalent to 2 "is also detected at the same time.

【0025】演算制御手段51では周波数”f1”及
び”f2”と周波数”f1−f2”の違いを識別するこ
とはできないので、あたかも”L1−L2”の位置に反
射点が存在するものと観測される恐れがある。従って本
発明の目的は、長さ分解能及び反射損失測定確度を向上
させ、ゴーストを認識することが可能な光ファイバ検査
装置を実現することにある。
Since the arithmetic control means 51 cannot discriminate the difference between the frequencies "f1" and "f2" and the frequency "f1-f2", it is observed that the reflection point exists at the position "L1-L2". May be Therefore, an object of the present invention is to realize an optical fiber inspection device capable of recognizing a ghost by improving the length resolution and the reflection loss measurement accuracy.

【0026】[0026]

【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明では、光の干渉を用いて検査対象であ
る光ファイバの反射点の距離及び前記反射点からの反射
量を求める光ファイバ検査装置において、出力光周波数
を掃引可能な可変波長光源と、この可変波長光源の出力
光を可動ミラー及び前記光ファイバに入射し、前記可動
ミラー及び前記光ファイバからの反射光を干渉させるマ
イケルソン干渉計と、このマイケルソン干渉計の出力光
を検出する光検出器と、前記可動ミラーの位置を制御す
ると共に、前記光検出器の出力に基づき前記反射点の前
記距離及び前記反射量を求める演算制御手段とを備えた
ことを特徴とするものである。
In order to achieve such an object, according to the present invention, the distance of a reflection point of an optical fiber to be inspected and the reflection amount from the reflection point are obtained by using light interference. In an optical fiber inspection device, a variable wavelength light source capable of sweeping an output light frequency, and output light of the variable wavelength light source is incident on a movable mirror and the optical fiber, and reflected light from the movable mirror and the optical fiber is interfered with each other. A Michelson interferometer, a photodetector that detects the output light of this Michelson interferometer, and the position of the movable mirror are controlled, and the distance and the reflection amount of the reflection point are based on the output of the photodetector. And a calculation control means for obtaining

【0027】[0027]

【作用】参照光の光路を変化させて干渉光を測定し、測
定結果を重ね合わせることにより、長さ分解能及び反射
損失測定確度が向上する。参照光の光路を変化させて干
渉光を測定し、この際の周波数シフトの有無を検出する
ことにより、ゴーストを認識することができる。
By measuring the interference light by changing the optical path of the reference light and superposing the measurement results, the length resolution and the reflection loss measurement accuracy are improved. The ghost can be recognized by changing the optical path of the reference light, measuring the interference light, and detecting the presence or absence of the frequency shift at this time.

【0028】[0028]

【実施例】以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。
図1は本発明に係る光ファイバ検査装置の一実施例を示
す構成ブロック図である。ここで、1,2及び4〜7は
図4と同一符号を付してある。図1において3aは可動
ミラー、8は制御装置である。
The present invention will be described in detail below with reference to the drawings.
FIG. 1 is a configuration block diagram showing an embodiment of an optical fiber inspection apparatus according to the present invention. Here, 1, 2, and 4 to 7 are assigned the same reference numerals as in FIG. In FIG. 1, 3a is a movable mirror, and 8 is a control device.

【0029】また、2,3a及び4はマイケルソン干渉
計50aを、7及び8は演算制御手段51をそれぞれ構
成している。
Reference numerals 2, 3a and 4 constitute Michelson interferometer 50a, and 7 and 8 constitute arithmetic control means 51, respectively.

【0030】可変波長光源1の出力光はビームスプリッ
タ2に入射される。ビームスプリッタ2は前記入射光の
一部を反射して可動ミラー3aに入射し、残りの入射光
を透過させレンズ4を介して光ファイバ5に入射する。
The output light of the variable wavelength light source 1 is incident on the beam splitter 2. The beam splitter 2 reflects a part of the incident light and makes it enter the movable mirror 3 a, and transmits the remaining incident light and makes it enter the optical fiber 5 via the lens 4.

【0031】可動ミラー3aで反射された光は再びビー
ムスプリッタ2に入射される。一方、光ファイバ5の反
射点からの反射光もレンズ4を介してビームスプリッタ
2に入射され、可動ミラー3aからの反射光と合波され
る。
The light reflected by the movable mirror 3a is incident on the beam splitter 2 again. On the other hand, the reflected light from the reflection point of the optical fiber 5 is also incident on the beam splitter 2 via the lens 4, and is combined with the reflected light from the movable mirror 3a.

【0032】合波された結果生じる干渉光は光検出器6
に入射され電気信号に変換される。光検出器6の出力は
周波数解析装置7に接続され、周波数解析装置7からの
制御信号が可変波長光源1に接続される。
The interference light generated as a result of the multiplexing is the photodetector 6
And is converted into an electric signal. The output of the photodetector 6 is connected to the frequency analysis device 7, and the control signal from the frequency analysis device 7 is connected to the variable wavelength light source 1.

【0033】また、周波数解析装置7の出力は制御装置
8に接続され、制御装置8の制御信号が可動ミラー3a
に接続される。
Further, the output of the frequency analysis device 7 is connected to the control device 8, and the control signal of the control device 8 is transmitted to the movable mirror 3a.
Connected to.

【0034】ここで、図1に示す実施例の動作を説明す
る。基本的動作は図4に示す従来例と同様であり、異な
る点は制御装置8に対して周波数解析装置7からのスペ
クトル及び可動ミラー3aの位置情報が与えられ、制御
装置8はこの位置情報に基づき可動ミラー3aの位置を
制御する点である。
The operation of the embodiment shown in FIG. 1 will be described here. The basic operation is the same as in the conventional example shown in FIG. 4, except that the spectrum from the frequency analysis device 7 and the position information of the movable mirror 3a are given to the control device 8, and the control device 8 uses this position information. The point is to control the position of the movable mirror 3a based on the above.

【0035】演算制御手段51は可動ミラー3aにより
参照光の光路を”L3a”だけ変化させ、干渉光を測定し
てスペクトルを求め、距離差”L”に対する干渉強度を
表示する。
The arithmetic control means 51 changes the optical path of the reference light by "L 3a " by the movable mirror 3a, measures the interference light to obtain a spectrum, and displays the interference intensity for the distance difference "L".

【0036】また、可動ミラー3aにより参照光の光路
を”L3a”だけ変化させると式(2)は、 L=L3a+fm/{(2・n/c0)・df/dt} (5) と変形される。この”L3a”は長さ分解能”ΔL”の範
囲で変化させられる。
Further, when the optical path of the reference light is changed by "L 3a " by the movable mirror 3a, the equation (2) becomes L = L 3a + fm / {(2 · n / c 0 ) · df / dt} (5 ) Is transformed. This "L 3a " can be changed within the range of the length resolution "ΔL".

【0037】さらに、演算制御手段51での処理をフロ
ーチャート用いて説明する。図2は図1に示す実施例の
演算制御手段51での処理を示すフローチャートであ
る。また、可動ミラー3aにより参照光の光路”L3a
を”ΔL/k”(kは整数。)ずつ変化させるものとし
ている。
Further, the processing in the arithmetic control means 51 will be described with reference to a flowchart. FIG. 2 is a flow chart showing the processing in the arithmetic control means 51 of the embodiment shown in FIG. Further, the movable mirror 3a allows the optical path "L 3a " of the reference light
Is changed by “ΔL / k” (k is an integer).

【0038】先ず、(a)において初期化等を行い、
(b)において干渉光を測定する。(c)において周波
数解析装置7により周波数スペクトルを求める。(d)
及び(e)において可動ミラー3aにより参照光の光路
を”ΔL/k”変化させ、移動量が”ΔL”以下であれ
ば(b)及び(c)を繰り返す。
First, in (a), initialization and the like are performed,
In (b), the interference light is measured. In (c), the frequency analyzer 7 obtains a frequency spectrum. (D)
In (e) and (e), the optical path of the reference light is changed by “ΔL / k” by the movable mirror 3a, and if the movement amount is “ΔL” or less, (b) and (c) are repeated.

【0039】次に、(f)において式(5)を用いて距
離差”L”を求める。(g)において干渉強度を縦軸、
距離差”L”を横軸としてプロットする。(h)及び
(i)において式(5)中”L3a”の値を”ΔL/k”
変化させ、変化後の値が”ΔL”以下であれば(f)及
び(g)を繰り返す。
Next, in (f), the distance difference "L" is obtained by using the equation (5). In (g), the interference intensity is the vertical axis,
The distance difference “L” is plotted on the horizontal axis. In (h) and (i), the value of “L 3a ” in the equation (5) is set to “ΔL / k”.
If the changed value is equal to or less than “ΔL”, (f) and (g) are repeated.

【0040】また、”L3a”の値を”ΔL”だけ変化さ
せた後は、(j)において式(5)中”fm”を”Δf
m”変化させ、変化後の値がfmの最大値以下であれば
(f)〜(i)を繰り返す。
After changing the value of "L 3a " by "ΔL", "fm" in equation (5) in (j) is changed to "Δf".
m ”is changed, and if the changed value is less than or equal to the maximum value of fm, (f) to (i) are repeated.

【0041】図3は図2に示すフローチャートにより求
めた距離差”L”に対する干渉強度の特性を示す特性曲
線図である。図3から分かるようにスペクトルが狭くな
り長さ分解能が向上し、ピーク値も大きくなり反射損失
測定確度が向上する。
FIG. 3 is a characteristic curve diagram showing the characteristic of the interference intensity with respect to the distance difference "L" obtained by the flow chart shown in FIG. As can be seen from FIG. 3, the spectrum is narrowed, the length resolution is improved, the peak value is increased, and the reflection loss measurement accuracy is improved.

【0042】この結果、参照光の光路を変化させて干渉
光を測定し、測定結果を重ね合わせることにより、長さ
分解能及び反射損失測定確度が向上する。
As a result, by changing the optical path of the reference light to measure the interference light and superposing the measurement results, the length resolution and the reflection loss measurement accuracy are improved.

【0043】また、参照光の光路を変化させることによ
って干渉のピークが裾周辺が凹凸になってしまうので、
干渉のピークを中心に”2ΔL”程度の範囲でのみ参照
光の光路を変化させてその測定結果を重ね合わせた方が
良い。
Further, by changing the optical path of the reference light, the peak of interference becomes uneven around the hem,
It is better to change the optical path of the reference light only in the range of about "2ΔL" around the interference peak and superimpose the measurement results.

【0044】また、ゴーストを認識する方法について説
明する。ここで、可動ミラー3aを距離”D”の位置に
して通常の測定を行う。従来例の条件であれば周波数”
f1”、”f2”及び”f1−f2”が演算制御手段5
1において検出される。
A method of recognizing a ghost will be described. Here, the movable mirror 3a is set at the position of the distance "D", and normal measurement is performed. If it is the condition of the conventional example, frequency ”
f1 "," f2 "and" f1-f2 "are the operation control means 5
Detected in 1.

【0045】この周波数”f1”及び”f2”は式
(1)より、 f1=(2・n・L1/c0)・df/dt (6) f2=(2・n・L2/c0)・df/dt (7) となる。
[0045] The frequency "f1" and "f2" with the formula (1), f1 = (2 · n · L1 / c 0) · df / dt (6) f2 = (2 · n · L2 / c 0)・ It becomes df / dt (7).

【0046】次に、可動ミラー3aを距離”d”だけ移
動して再び測定すると、 f1’={2・n・(L1+d)/c0}・df/dt =(2・n・L1/c0)・df/dt +(2・n・d/c0)・df/dt (8) f2’={2・n・(L2+d)/c0}・df/dt =(2・n・L2/c0)・df/dt +(2・n・d/c0)・df/dt (9)が検出
される。
Next, as measured again by moving the movable mirror 3a distance "d" only, f1 '= {2 · n · (L1 + d) / c 0} · df / dt = (2 · n · L1 / c 0 ) .df / dt + (2.n.d / c 0 ) .df / dt (8) f2 '= {2.n. (L2 + d) / c 0 } .df / dt = (2.n.L2 / C 0 ) · df / dt + (2 · n · d / c 0 ) · df / dt (9) is detected.

【0047】式(8)及び式(9)の第2項をそれぞ
れ”f0”とすれば、演算制御手段51において検出さ
れる周波数は、 f1’=f1+f0 (10) f2’=f2+f0 (11) となる。
If the second terms of equations (8) and (9) are respectively set to "f0", the frequency detected by the arithmetic control means 51 is f1 '= f1 + f0 (10) f2' = f2 + f0 (11) Becomes

【0048】この時、前述と同様に周波数”f1’”
と”f2’”とが干渉して生じるゴースト”f1’−f
2’”は、 f1’−f2=(f1+f0)−(f2+f0) =f1−f2 (12) となり、移動ミラー3aを距離”d”だけ移動させた影
響を受けないことになる。
At this time, the frequency "f1 '" is the same as described above.
"F1'-f caused by the interference between" f2 '"and"f2'"
2 ′ ″ becomes f1′−f2 = (f1 + f0) − (f2 + f0) = f1−f2 (12), and is not affected by moving the moving mirror 3a by the distance “d”.

【0049】この結果、演算制御手段51は測定位置か
ら移動ミラー3aを距離”d”だけ移動させて、周波数
のシフトが生じなかったものはゴーストであると判断す
ることが可能になる。従って、演算制御手段51は表示
を制御してこのゴーストの表示を削除したり、反射点か
らの反射光とは区別して表示させることが可能になる。
As a result, the arithmetic control means 51 can move the movable mirror 3a from the measurement position by the distance "d", and judge that the object having no frequency shift is a ghost. Therefore, the arithmetic control unit 51 can control the display to delete the display of the ghost or display the ghost separately from the reflected light from the reflection point.

【0050】また、可動ミラー3aを用いずに参照光が
戻らない状態にしてゴーストを識別することも可能であ
る。即ち、この状態で検出される周波数は反射点での反
射光相互の干渉によるゴーストのみであるので、演算制
御手段51はこの周波数を認識して処理することが可能
になる。
It is also possible to identify the ghost without using the movable mirror 3a in a state where the reference light does not return. That is, since the frequency detected in this state is only the ghost due to the mutual interference of the reflected lights at the reflection points, the arithmetic control unit 51 can recognize and process this frequency.

【0051】なお、図1に示す実施例において検査対象
として光ファイバ5を用いているがこれに限る分けでは
ない。
Although the optical fiber 5 is used as the inspection target in the embodiment shown in FIG. 1, the invention is not limited to this.

【0052】また、ゴーストの認識に関しては2点の反
射点で説明しているが3点以上であっても良い。
Further, although recognition of a ghost has been described with two reflection points, it may be three or more.

【0053】[0053]

【発明の効果】以上説明したことから明らかなように、
本発明によれば次のような効果がある。参照光の光路を
変化させて干渉光を測定し、測定結果を重ね合わせるこ
とにより、長さ分解能及び反射損失測定確度を向上させ
ることが可能な光ファイバ検査装置が実現できる。
As is apparent from the above description,
The present invention has the following effects. By changing the optical path of the reference light, measuring the interference light, and superposing the measurement results, it is possible to realize an optical fiber inspection device capable of improving the length resolution and the reflection loss measurement accuracy.

【0054】また、参照光の光路を変化させて干渉光を
測定し、この際の周波数シフトの有無を検出することに
より、ゴーストを認識することが可能な光ファイバ検査
装置が実現できる。
Further, by changing the optical path of the reference light to measure the interference light and detecting the presence or absence of the frequency shift at this time, an optical fiber inspection apparatus capable of recognizing the ghost can be realized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明に係る光ファイバ検査装置の一実施例を
示す構成ブロック図である。
FIG. 1 is a configuration block diagram showing an embodiment of an optical fiber inspection apparatus according to the present invention.

【図2】実施例の演算制御手段での処理を示すフローチ
ャートである。
FIG. 2 is a flowchart showing a process in an arithmetic control unit of the embodiment.

【図3】干渉強度の特性を示す特性曲線図である。FIG. 3 is a characteristic curve diagram showing characteristics of interference intensity.

【図4】従来の光ファイバ検査装置の一例を示す構成ブ
ロック図である。
FIG. 4 is a configuration block diagram showing an example of a conventional optical fiber inspection apparatus.

【図5】従来例による測定例を示す特性曲線図である。FIG. 5 is a characteristic curve diagram showing a measurement example according to a conventional example.

【図6】具体例を示す特性曲線図である。FIG. 6 is a characteristic curve diagram showing a specific example.

【図7】具体例を示す特性曲線図である。FIG. 7 is a characteristic curve diagram showing a specific example.

【図8】具体例を示す特性曲線図である。FIG. 8 is a characteristic curve diagram showing a specific example.

【図9】具体例を示す特性曲線図である。FIG. 9 is a characteristic curve diagram showing a specific example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

【0000】1 可変波長光源 2 ビームスプリッタ 3 ミラー 3a 可動ミラー 4 レンズ 5 光ファイバ 6 光検出器 7 周波数解析装置 8 制御装置 50,50a マイケルソン干渉計 51 演算制御手段1 variable wavelength light source 2 beam splitter 3 mirror 3a movable mirror 4 lens 5 optical fiber 6 photodetector 7 frequency analysis device 8 control device 50, 50a Michelson interferometer 51 calculation control means

フロントページの続き (72)発明者 在原 守 東京都武蔵野市中町2丁目9番32号 横河 電機株式会社内Front page continued (72) Inventor Mamoru Arihara 2-932 Nakamachi, Musashino City, Tokyo Yokogawa Electric Co., Ltd.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】光の干渉を用いて検査対象である光ファイ
バの反射点の距離及び前記反射点からの反射量を求める
光ファイバ検査装置において、 出力光周波数を掃引可能な可変波長光源と、 この可変波長光源の出力光を可動ミラー及び前記光ファ
イバに入射し、前記可動ミラー及び前記光ファイバから
の反射光を干渉させるマイケルソン干渉計と、 このマイケルソン干渉計の出力光を検出する光検出器
と、 前記可動ミラーの位置を制御すると共に、前記光検出器
の出力に基づき前記反射点の前記距離及び前記反射量を
求める演算制御手段とを備えたことを特徴とする光ファ
イバ検査装置。
1. A variable wavelength light source capable of sweeping an output optical frequency in an optical fiber inspection device for obtaining a distance of a reflection point of an optical fiber to be inspected and a reflection amount from the reflection point by using light interference, A Michelson interferometer that causes the output light of the variable wavelength light source to enter the movable mirror and the optical fiber and causes the reflected light from the movable mirror and the optical fiber to interfere, and a light that detects the output light of the Michelson interferometer. An optical fiber inspection apparatus comprising: a detector; and an arithmetic control unit for controlling the position of the movable mirror and obtaining the distance and the reflection amount of the reflection point based on the output of the photodetector. .
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