JPH07174601A - Vibrating type measuring instrument - Google Patents

Vibrating type measuring instrument

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Publication number
JPH07174601A
JPH07174601A JP5320560A JP32056093A JPH07174601A JP H07174601 A JPH07174601 A JP H07174601A JP 5320560 A JP5320560 A JP 5320560A JP 32056093 A JP32056093 A JP 32056093A JP H07174601 A JPH07174601 A JP H07174601A
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JP
Japan
Prior art keywords
vibration
storage case
flow rate
tube
measured
Prior art date
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Pending
Application number
JP5320560A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hidenori Wakabayashi
秀則 若林
Futoshi Takahashi
太 高橋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tokico Ltd
Original Assignee
Tokico Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Tokico Ltd filed Critical Tokico Ltd
Priority to JP5320560A priority Critical patent/JPH07174601A/en
Publication of JPH07174601A publication Critical patent/JPH07174601A/en
Pending legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/76Devices for measuring mass flow of a fluid or a fluent solid material
    • G01F1/78Direct mass flowmeters
    • G01F1/80Direct mass flowmeters operating by measuring pressure, force, momentum, or frequency of a fluid flow to which a rotational movement has been imparted
    • G01F1/84Coriolis or gyroscopic mass flowmeters

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Volume Flow (AREA)

Abstract

PURPOSE:To provide a vibrating type measuring instrument which is constituted in such a way that external vibrations are not propagated to a measuring unit which measures the mass flow rate or density of a fluid to be measured. CONSTITUTION:A mass flowmeter 13 is equipped with the vibrating type measuring unit 22 which measures the Coriolis force proportional to the flow rate of a fluid to be measured. The unit 22 is provided with a sensor tube 25, a pair of exciters 26a and 26b supported by brackets, and pickups 27a and 27b and the tube 25, exciters 26a and 26b, and pickups 27a and 27b are housed in a cylindrical housing case 28. The upper opening of the case 28 is capped with a discoid lid 32. The unit 22 is hung down from the lid 32. A vibration absorbing member 19 which absorbs external vibrations is interposed between the upper opening of the case 28 and step section of the lid 32 so as to flexibly absorb vibrations propagated from the case 28.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は振動式測定装置に係り、
特に外部振動が被測流体の質量流量又は密度を測定する
測定ユニットに伝播しないよう構成した振動式測定装置
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vibration type measuring device,
In particular, the present invention relates to a vibration type measuring device configured so that external vibration does not propagate to a measuring unit that measures the mass flow rate or density of a fluid to be measured.

【0002】[0002]

【従来の技術】例えば、コンベヤ等により搬送されるワ
ークに塗装を施す塗装ラインにおいては、コンベヤの近
傍に塗装用ロボットが設置され自動的に塗装作業が行わ
れるようになっている。塗装用ロボットは移動装置の台
車に設置され、コンベヤにより搬送されるワークに追従
しながらアーム先端に取付けられた塗装ガンを予めティ
ーチングされた塗装プログラムにしたがって動作させ、
ワーク表面に塗装を施す。
2. Description of the Related Art For example, in a painting line for painting a work conveyed by a conveyor or the like, a painting robot is installed near the conveyor to automatically perform painting work. The painting robot is installed on the trolley of the moving device, and follows the work conveyed by the conveyor to operate the painting gun attached to the end of the arm according to the painting program pre-teached.
Paint the work surface.

【0003】このような塗装用ロボットを用いて自動的
に塗装する場合、ワーク表面に吹き付けられる塗料の吐
出量が一定になるように、即ち塗装膜が均一となるよう
に要望されており、塗装ガンへ供給される塗料をより高
精度に制御する必要がある。
When automatically coating with such a coating robot, there is a demand for a constant discharge amount of the coating material sprayed on the surface of the work, that is, for a uniform coating film. It is necessary to control the paint supplied to the gun with higher accuracy.

【0004】そのため、塗装用ロボット装置では、塗料
を供給する塗料供給ユニットと塗装用ロボットのアーム
先端に設けられた塗装ガンとを接続する塗料チューブと
の間に塗料供給量を計測する流量計を設け、流量計から
の計測信号に基づいて塗料送出用ポンプを制御して塗装
ガンからの噴霧される塗料の吐出量を調整していた。そ
して、流量計としては例えば計測精度の高い振動式測定
装置であるコリオリ式質量流量計(以下「質量流量計」
と言う)が適用され、塗料の吐出量がより高精度に制御
される構成となっている。
Therefore, in the coating robot apparatus, a flow meter for measuring the amount of coating material is provided between the coating material supply unit for supplying the coating material and the coating material tube connecting the coating gun provided at the arm tip of the coating robot. The paint delivery pump was controlled based on the measurement signal from the flow meter to adjust the discharge amount of the paint sprayed from the coating gun. As a flow meter, for example, a Coriolis mass flow meter (hereinafter referred to as a “mass flow meter”) that is a vibration measurement device with high measurement accuracy.
Is applied, and the discharge amount of the paint is controlled with higher accuracy.

【0005】この種の質量流量計では、塗料が流れるセ
ンサチューブを振動させたときに生ずるコリオリ力が流
量に比例し、センサチューブの流入側と流出側とでコオ
リオ力の作用方向が逆向きになるため、その位相差より
流量が計測される構成となっている。従って、上記のよ
うな質量流量計では、センサチューブに外部振動が伝播
すると検出信号にノイズが生ずるため、従来はセンサチ
ューブに外部振動が伝わらないように質量流量計を塗装
用ロボットから離れた床面上等に固定して質量流量計の
計測精度を維持していた。
In this type of mass flow meter, the Coriolis force generated when the sensor tube through which the paint flows is vibrated is proportional to the flow rate, and the action direction of the Coriolis force is opposite between the inflow side and the outflow side of the sensor tube. Therefore, the flow rate is measured from the phase difference. Therefore, in the above mass flowmeter, when external vibration propagates to the sensor tube, noise is generated in the detection signal.Therefore, conventionally, the mass flowmeter is separated from the painting robot to prevent external vibration from being transmitted to the sensor tube. The measurement accuracy of the mass flowmeter was maintained by fixing it on the surface.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記のよう
な塗装用ロボット装置においては、センサチューブがロ
ボット動作に影響されないようにロボットの動作領域外
に質量流量計を設けるため、塗装ガンと質量流量計との
距離が長くなる。
However, in the coating robot apparatus as described above, since the mass flow meter is provided outside the operation area of the robot so that the sensor tube is not affected by the robot operation, the coating gun and the mass flow rate are reduced. The distance to the meter becomes longer.

【0007】しかも、塗装用ロボットは移動装置の台車
に設置されており、ワーク搬送に応じて移動できるよう
になっている。そのため、塗装ガンと質量流量計とを接
続するチューブがロボットの移動を妨げないようにたる
ませた状態で装架されていることになり、それだけチュ
ーブが余分に長くなって色替時の洗浄性が低下する。
In addition, the coating robot is installed on the carriage of the moving device so that it can be moved according to the work transfer. Therefore, the tube connecting the coating gun and mass flow meter is mounted in a slack state so as not to hinder the movement of the robot, which makes the tube extra long and makes it easier to clean when changing colors. Is reduced.

【0008】又、塗装用ロボットを使用した塗装システ
ムでは、塗料の色替が行なわれるため、塗料供給ユニッ
トと質量流量計との間には色替バルブ及びパージユニッ
トが配設されている。従って、塗装ガンと質量流量計と
の間のチューブが長くなると、それだけ色替時にパージ
されるチューブ内の残量塗料が増えしかもチューブ内を
パージするためのシンナーの量も増えることになり、無
駄が多くなる。
Further, in the coating system using the coating robot, since the color of the paint is changed, a color change valve and a purge unit are arranged between the paint supply unit and the mass flow meter. Therefore, if the tube between the coating gun and the mass flowmeter becomes long, the amount of residual paint in the tube that is purged during color change increases, and the amount of thinner for purging the tube also increases, resulting in waste. Will increase.

【0009】さらに、チューブが長いため塗装ガンより
実際に噴霧した量と計測値との間に遅れが生ずるため実
流量に対する計測値の応答性が低下して塗料供給量の制
御が遅れてしまう。
Further, since the tube is long, there is a delay between the amount actually sprayed from the coating gun and the measured value, so that the responsiveness of the measured value to the actual flow rate is lowered and the control of the paint supply amount is delayed.

【0010】上記のような各問題を解決するため、質量
流量計を移動装置の台車又は塗装用ロボットのアームに
設けて質量流量計と塗装ガンとの間を接続する上記チュ
ーブ長さを短くしようとすると、台車の移動、停止によ
る振動あるいはアーム動作による振動が質量流量計のセ
ンサチューブに作用してコリオリ力が変動してしまい正
確な流量計測が行なえなくなる。
In order to solve each of the problems described above, a mass flow meter is provided on a carriage of a moving device or an arm of a coating robot to shorten the length of the tube connecting the mass flow meter and the coating gun. Then, the vibration caused by the movement or stop of the carriage or the vibration caused by the arm operation acts on the sensor tube of the mass flow meter, and the Coriolis force fluctuates, so that accurate flow rate measurement cannot be performed.

【0011】そこで、本発明は上記課題を解決した振動
式測定装置の取付構造を提供することを目的とする。
Therefore, an object of the present invention is to provide a mounting structure for a vibration type measuring device which solves the above problems.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】上記請求項1の発明は、
被測流体が通過するセンサチューブを振動させて被測流
体の質量流量又は密度を測定する測定ユニットと、該測
定ユニットを支持する支持部材と、該支持部材が開口部
に嵌合されて該測定ユニットを収納する収納ケースとを
有してなる振動式測定装置において、前記収納ケースの
開口部と前記支持部材との間に外部振動を吸収する振動
吸収部材を設けてなることを特徴とする。
The invention according to claim 1 is
A measurement unit that vibrates a sensor tube through which a fluid to be measured passes to measure the mass flow rate or density of the fluid to be measured, a support member that supports the measurement unit, and the support member is fitted into an opening to perform the measurement. In a vibration type measuring device having a storage case for storing a unit, a vibration absorbing member for absorbing external vibration is provided between the opening of the storage case and the support member.

【0013】又、請求項2の発明は、被測流体が通過す
るセンサチューブを振動させて被測流体の質量流量又は
密度を測定する測定ユニットと、該測定ユニットを支持
する支持部材と、該支持部材が開口部に嵌合されて該測
定ユニットを収納する収納ケースとを有してなる振動式
測定装置において、前記収納ケースの開口部と前記支持
部材との間に外部振動を吸収する振動吸収部材を設け、
前記収納ケースを合成樹脂により形成してなることを特
徴とする。
According to a second aspect of the invention, a measuring unit for vibrating a sensor tube through which the fluid to be measured passes to measure the mass flow rate or density of the fluid to be measured, a support member for supporting the measuring unit, In a vibration type measuring device having a storage case in which a support member is fitted in the opening and stores the measurement unit, a vibration for absorbing external vibration between the opening of the storage case and the support member. Providing an absorbing member,
The storage case is made of synthetic resin.

【0014】[0014]

【作用】上記請求項1によれば、収納ケースの開口部と
支持部材との間に外部振動を吸収する振動吸収部材を設
けることにより、センサチューブを振動させて被測流体
の質量流量又は密度を測定する測定ユニットに外部振動
が伝播することを防止することができる。
According to the first aspect of the present invention, the vibration absorbing member for absorbing the external vibration is provided between the opening of the storage case and the supporting member, so that the sensor tube is vibrated and the mass flow rate or density of the fluid to be measured is increased. It is possible to prevent external vibration from propagating to the measurement unit that measures the.

【0015】又、請求項2によれば、収納ケースの開口
部と支持部材との間に外部振動を吸収する振動吸収部材
を設けるとともに、収納ケースを合成樹脂により形成す
ることにより、装置全体の防振性の向上及び軽量化を図
れる。
According to a second aspect of the present invention, a vibration absorbing member that absorbs external vibration is provided between the opening of the storage case and the support member, and the storage case is made of synthetic resin. It is possible to improve the vibration damping property and reduce the weight.

【0016】[0016]

【実施例】図1乃至図4に本発明になる振動式測定装置
の一実施例が適用された塗装用ロボットシステムを示
す。
1 to 4 show a coating robot system to which an embodiment of a vibration measuring apparatus according to the present invention is applied.

【0017】各図中、塗装用ロボットシステムでは、塗
装用ロボット1が移動装置2の台車3上に設置され、ワ
ーク4がコンベヤ装置5により搬送されて塗装ブースを
通過する間に塗装用ロボット1を台車3とともに移動さ
せながら塗装作業を行うようになっている。
In each of the drawings, in the coating robot system, a coating robot 1 is installed on a trolley 3 of a moving device 2, and a work 4 is conveyed by a conveyor device 5 and a coating robot 1 is passed while passing through a coating booth. The painting work is carried out while moving the carriage with the carriage 3.

【0018】尚、コンベヤ装置5はワーク4を一定速度
でX方向に搬送しており、移動装置2はこのコンベヤ装
置5に同期して台車3をベース6に沿ってX方向に移動
させる。
The conveyor device 5 conveys the work 4 in the X direction at a constant speed, and the moving device 2 moves the carriage 3 in the X direction along the base 6 in synchronization with the conveyor device 5.

【0019】塗装用ロボット1は、台車3上に固定され
た基台7と、基台7上で旋回する旋回ベース8と、旋回
ベース8のブラケット8aに支持された第1アーム9
と、第1アーム9の上端より水平方向に延在する第2ア
ーム10と、第2アーム10先端の手首部11に設けら
れた塗装ガン12とよりなる。塗装用ロボット1はワー
ク4の形状に対応する塗装動作が予めティーチングされ
ており、このティーチングデータに基づいて塗装作業を
実行する。
The coating robot 1 has a base 7 fixed on a carriage 3, a swivel base 8 swiveling on the base 7, and a first arm 9 supported by a bracket 8a of the swivel base 8.
The second arm 10 extends horizontally from the upper end of the first arm 9, and the coating gun 12 provided on the wrist 11 at the tip of the second arm 10. The painting robot 1 is previously taught a painting operation corresponding to the shape of the work 4, and executes the painting work based on the teaching data.

【0020】又、台車3上には、コリオリ式の質量流量
計13が設置されている。この質量流量計13は上部に
流入側塗料チューブ14と、流出側塗料チューブ15と
が接続されている。
A Coriolis mass flowmeter 13 is installed on the carriage 3. An inflow side paint tube 14 and an outflow side paint tube 15 are connected to the upper part of the mass flow meter 13.

【0021】流入側塗料チューブ14は塗料を供給する
塗料供給ユニットの切替バルブ(共に図示せず)と接続
されている。又、流出側塗料チューブ15は第2アーム
10に沿って装架されて塗装ガン12に接続されてい
る。
The inflow side paint tube 14 is connected to a switching valve (both not shown) of a paint supply unit for supplying paint. The outflow-side paint tube 15 is mounted along the second arm 10 and connected to the paint gun 12.

【0022】従って、塗料供給ユニットから圧送された
塗料は、流入側塗料チューブ14を通過して、質量流量
計13に供給されて流量計測される。そして、質量流量
計13より流出した塗料は、流出側塗料チューブ15を
介して塗装ガン12に供給され、ワーク4へ噴霧され
る。
Therefore, the paint pressure-fed from the paint supply unit passes through the inflow paint tube 14 and is supplied to the mass flowmeter 13 to measure the flow rate. Then, the paint flowing out from the mass flowmeter 13 is supplied to the coating gun 12 via the outflow side paint tube 15 and sprayed onto the work 4.

【0023】このように、質量流量計13が台車3上に
設けられているので、質量流量計13から塗装ガン12
までの距離が短く流出側塗料チューブ15の全長がかな
り短くできる。そのため、流出側塗料チューブ15内に
残留する塗料が少なくなり、切替時にパージされる塗料
及びシンナーが少量で済み無駄が少なくなっている。
又、実際に塗料が噴霧された吐出量に対し、質量流量計
13の流量計測の応答性が向上し、流量計測の遅れが小
さくなる。
As described above, since the mass flow meter 13 is provided on the trolley 3, the mass flow meter 13 is moved from the coating gun 12 to the coating gun 12.
Is short, and the total length of the outflow side paint tube 15 can be considerably shortened. Therefore, the amount of paint remaining in the outflow-side paint tube 15 is reduced, and a small amount of paint and thinner are purged at the time of switching and waste is reduced.
Further, the responsiveness of the mass flowmeter 13 for measuring the flow rate with respect to the actual discharge amount of the sprayed paint is improved, and the delay in the flow rate measurement is reduced.

【0024】ここで、上記質量流量計13の構成につい
て説明する。
Here, the structure of the mass flowmeter 13 will be described.

【0025】図3,図4に示す如く、質量流量計13
は、被測流体の流量に比例したコリオリ力を計測する振
動式の測定ユニット22を有する。
As shown in FIGS. 3 and 4, the mass flow meter 13
Has a vibration type measurement unit 22 for measuring the Coriolis force proportional to the flow rate of the fluid to be measured.

【0026】図5に示すように、測定ユニット22は、
センサチューブ25と、ブラケット23,24に支持さ
れた一対の加振器26a,26b,ピックアップ27
a,27bを有し、これらが円筒状の収納ケース28内
に収納されている。収納ケース28の下部開口には、円
盤状の底板29が嵌合固定されている。
As shown in FIG. 5, the measuring unit 22 includes
The sensor tube 25, a pair of vibrators 26a and 26b supported by the brackets 23 and 24, and a pickup 27.
a and 27b, which are housed in a cylindrical housing case 28. A disc-shaped bottom plate 29 is fitted and fixed to the lower opening of the storage case 28.

【0027】底板29は、上記台車3の取付面3aに載
置され、収納ケース28の下端外周に突出するフランジ
30がボルト31により取付面3aに締結される。この
ように、本実施例では、収納ケース28及び底板29の
底面が平面であるので、取り付け場所を選ぶことなく直
接取付面3aに締結できるので、平面状の部分があれば
容易に取り付けることができる。
The bottom plate 29 is placed on the mounting surface 3a of the dolly 3, and the flange 30 projecting to the outer periphery of the lower end of the storage case 28 is fastened to the mounting surface 3a with bolts 31. As described above, in this embodiment, since the bottom surfaces of the storage case 28 and the bottom plate 29 are flat, they can be fastened directly to the mounting surface 3a without selecting a mounting location, so that if there is a planar portion, they can be easily mounted. it can.

【0028】又、収納ケース28の上部開口には、円盤
状の蓋32が嵌合している。そして、この蓋32にセン
サチューブ25の両端及び加振器26a,26b,ピッ
クアップ27a,27bを支持する支柱47の上端部が
固定される。従って、測定ユニット22は収納ケース2
8の上部開口に嵌合する蓋32から下方に延在するよう
に吊下される。
A disk-shaped lid 32 is fitted in the upper opening of the storage case 28. Then, both ends of the sensor tube 25 and the upper ends of the columns 47 that support the vibrators 26a and 26b and the pickups 27a and 27b are fixed to the lid 32. Therefore, the measurement unit 22 is stored in the storage case 2
It is hung so that it may extend downward from the lid 32 that fits into the upper opening of 8.

【0029】図3,図4及び図6に示すように、収納ケ
ース28の上部開口28aと蓋32の段部32aとの間
には、外部振動を吸収するための振動吸収部材19が介
在している。この振動吸収部材19は、環状に形成され
たゴム製のチューブであり、内部に空気室19aを有す
る空気ばね構造になっており、材質自体の弾性とともに
空気室19a内の空気の圧力により収納ケース28から
伝播される振動を弾力的に吸収する。又、振動吸収部材
19は、外周に鍔部19bが突出しており、該鍔部19
bが収納ケース28の上部開口周縁に当接して保持され
る。
As shown in FIGS. 3, 4 and 6, a vibration absorbing member 19 for absorbing external vibration is interposed between the upper opening 28a of the storage case 28 and the step portion 32a of the lid 32. ing. The vibration absorbing member 19 is an annular rubber tube and has an air spring structure having an air chamber 19a inside. The vibration absorbing member 19 is elastic due to the material itself and the pressure of the air in the air chamber 19a causes the storage case to move. The vibration propagated from 28 is elastically absorbed. Further, the vibration absorbing member 19 has a flange portion 19b protruding on the outer periphery thereof.
b is held in contact with the upper opening peripheral edge of the storage case 28.

【0030】よって、上記測定ユニット22は、この振
動吸収部材19により弾力的に支持されるように吊下さ
れている。
Therefore, the measuring unit 22 is suspended so as to be elastically supported by the vibration absorbing member 19.

【0031】又、振動吸収部材19には、上面及び外周
に正方形状の板状ナット20が埋設されるようにインサ
ート成形されている。従って、固定用ボルト21が蓋3
2の鍔部32bに穿設された孔32c及び収納ケース2
8の外周に穿設された孔28cに挿通されて上記板状ナ
ット20に螺合して締め付けられることにより、振動吸
収部材19は収納ケース28の上部開口28aと蓋32
の段部32aとの間で挟持された状態に固定される。
Further, the vibration absorbing member 19 is insert-molded so that a square plate nut 20 is embedded in the upper surface and the outer periphery thereof. Therefore, the fixing bolt 21 is attached to the lid 3
Hole 32c formed in the flange portion 32b of the second and the storage case 2
The vibration absorbing member 19 is inserted into the hole 28c formed in the outer periphery of the plate 8 and screwed into the plate-like nut 20 to be tightened.
It is fixed in a state of being sandwiched between the stepped portion 32a.

【0032】このように、収納ケース28の上部開口2
8aと蓋32との間に振動吸収部材19が介在している
ため、例え収納ケース28に外部振動が伝播しても、弾
性を有する振動吸収部材19の空気室19aが空気ばね
として機能して外部振動を吸収する。
Thus, the upper opening 2 of the storage case 28
Since the vibration absorbing member 19 is interposed between the cover 8a and the lid 32, even if external vibration propagates to the storage case 28, the air chamber 19a of the elastic vibration absorbing member 19 functions as an air spring. Absorbs external vibration.

【0033】しかるに、本実施例では、測定ユニット2
2の蓋32が振動吸収部材19に弾力的に支持される構
成であるので、収納ケース28に伝播した振動は振動吸
収部材19により絶縁されて収納ケース28内に収納さ
れた測定ユニット22に伝播することが防止される。そ
のため、測定ユニット22は、後述するように外部振動
の影響を受けることなく正確な流量計測が行える。
However, in this embodiment, the measuring unit 2
Since the second lid 32 is elastically supported by the vibration absorbing member 19, the vibration propagated to the storage case 28 is propagated to the measurement unit 22 housed in the storage case 28 while being insulated by the vibration absorbing member 19. Is prevented. Therefore, the measurement unit 22 can perform accurate flow rate measurement without being affected by external vibration as described later.

【0034】上記収納ケース28,底板29,蓋32
は、夫々合成樹脂製であり、例えば耐薬品性に優れたポ
リアセタール樹脂などにより成形されている。従って、
測定ユニット22を収納する収納ケース28,底板2
9,蓋32の軽量化が図られている。尚、被測流体が直
接流れるセンサチューブ25は耐食性に優れたステンレ
ス製である。
The storage case 28, bottom plate 29, lid 32
Are each made of synthetic resin, and are formed of, for example, polyacetal resin having excellent chemical resistance. Therefore,
Storage case 28 for storing the measurement unit 22, bottom plate 2
9. The weight of the lid 32 is reduced. The sensor tube 25 through which the fluid to be measured directly flows is made of stainless steel having excellent corrosion resistance.

【0035】従って、測定ユニット22は、合成樹脂製
の収納ケース28,底板29,蓋32により形成された
気密容器内に収納されており、上記振動吸収部材19が
シール部材としても機能するため、外部と遮断された密
閉された空間内で外部の雰囲気から保護されるととも
に、センサチューブ25に結露が発生することを防止で
きる。さらに、収納ケース28の内部には、乾燥した気
体(例えば窒素ガスなど)を封入しておく。これによ
り、収納ケース28の外部の温度,湿度の変化による影
響を受けることなく正確な流量計測を行える。
Therefore, the measuring unit 22 is housed in the airtight container formed by the housing case 28 made of synthetic resin, the bottom plate 29, and the lid 32, and the vibration absorbing member 19 also functions as a seal member. It is possible to protect the sensor tube 25 from dew condensation while being protected from the outside atmosphere in the sealed space that is shielded from the outside. Further, a dry gas (for example, nitrogen gas) is enclosed in the storage case 28. As a result, accurate flow rate measurement can be performed without being affected by changes in temperature and humidity outside the storage case 28.

【0036】又、蓋32の上面には、流入側塗料チュー
ブ14が接続される流入口34と流出側塗料チューブ1
5が接続される流出口35とが穿設されている。この流
入口34及び流出口35には、センサチューブ25の両
端部を固定するための継手36,37が嵌合し、且つ各
継手36,37と流入口34,流出口35との間はシー
ル部材38,39によりシールされている。
On the upper surface of the lid 32, the inflow port 34 to which the inflow side paint tube 14 is connected and the outflow side paint tube 1 are provided.
An outflow port 35 to which 5 is connected is bored. Joints 36 and 37 for fixing both ends of the sensor tube 25 are fitted to the inflow port 34 and the outflow port 35, and a seal is provided between each of the joints 36 and 37 and the inflow port 34 and the outflow port 35. It is sealed by members 38 and 39.

【0037】上記センサチューブ25は、塗装用ロボッ
ト1の後方からみるとJ字状に形成されており、垂下方
向に平行に延在する流入側の直管部25a,流出側の直
管部25bと、直管部25a,25bの下端よりU字状
に湾曲した曲部25c,25dと、曲部25c,25d
とを接続する逆U字状の接続部25eとよりなる。又、
流入側の直管部25aの上端は流入口34に連通する孔
に嵌合する。流出側の直管部25bは上端が流出口35
に連通する孔に嵌合する。
The sensor tube 25 is formed in a J shape when viewed from the rear of the painting robot 1, and has a straight pipe portion 25a on the inflow side and a straight pipe portion 25b on the outflow side that extend parallel to the hanging direction. And curved portions 25c and 25d curved in a U shape from the lower ends of the straight pipe portions 25a and 25b, and curved portions 25c and 25d.
It is composed of an inverted U-shaped connecting portion 25e for connecting and. or,
The upper end of the straight pipe portion 25a on the inflow side is fitted into a hole communicating with the inflow port 34. The straight pipe portion 25b on the outflow side has an outlet 35 at the upper end.
Fit into the hole communicating with the.

【0038】43はコネクタボックスで、蓋32の上面
に固着され、内部には加振器26a,26b及びピック
アップ27a,27bからの複数のコード44が引き込
まれている。加振器26a,26bは実質電磁ソレノイ
ドと同様な構成であり、センサチューブ25の直管部2
5a,25bの下端に設けられたマグネット26a1
26b1 と、マグネット26a1 ,26b1 を台車3の
移動方向(X方向)と直交するY方向に駆動するコイル
26a2 ,26b2 とよりなる。
A connector box 43 is fixed to the upper surface of the lid 32, and a plurality of cords 44 from the vibrators 26a and 26b and the pickups 27a and 27b are drawn therein. The vibrators 26a and 26b have substantially the same structure as the electromagnetic solenoid, and the straight pipe portion 2 of the sensor tube 25 is used.
Magnets 26a 1 provided at the lower ends of 5a and 25b,
26b 1 and coils 26a 2 and 26b 2 for driving the magnets 26a 1 and 26b 1 in the Y direction orthogonal to the moving direction (X direction) of the carriage 3.

【0039】又、ピックアップ27a,27bは加振器
26a,26bと同様な構成であり、直管部25a,2
5bの中間部分に設けられた円柱状のマグネット27a
1 ,27b1 と、マグネット27a1 ,27b1 との相
対変位に応じた電圧を発生する筒状のコイル27a2
27b2 とよりなり、直管部25a,25bのY方向の
変位を検出する。
The pickups 27a and 27b have the same structure as the vibrators 26a and 26b, and the straight pipe portions 25a and 2b.
A cylindrical magnet 27a provided in the middle portion of 5b
A cylindrical coil 27a 2 , which generates a voltage corresponding to the relative displacement between the 1 , 27b 1 and the magnets 27a 1 , 27b 1 ,
27b 2 and detects the displacement of the straight pipe portions 25a and 25b in the Y direction.

【0040】45は第1のサポート板で、直管部25
a,25bに上端部分が貫通し、且つろう付け等により
直管部25a,25b外周に固着されている。46は第
2のサポート板で、接続部25eと曲部25c,25d
との間で装架され接続部25eの両端を保持するよう固
着されている。
Reference numeral 45 is a first support plate, which is a straight pipe portion 25.
The upper end portion penetrates a and 25b and is fixed to the outer circumference of the straight pipe portions 25a and 25b by brazing or the like. Reference numeral 46 denotes a second support plate, which is a connection portion 25e and curved portions 25c and 25d.
It is mounted between and and is fixed so as to hold both ends of the connecting portion 25e.

【0041】従って、加振器26a,26bにより直管
部25a,25bの下端が加振されると、直管部25
a,25bは第1のサポート板45を支点とし、曲部2
5c,25dは第2のサポート板46を支点としてY方
向に振動する。このようにセンサチューブ25の直管部
25a,25bは上下方向の外部振動に対して直交する
水平方向に振動するため、外部振動の影響を受けにく
い。
Therefore, when the lower ends of the straight pipe portions 25a, 25b are vibrated by the vibrators 26a, 26b, the straight pipe portion 25
a and 25b use the first support plate 45 as a fulcrum, and the curved portion 2
5c and 25d vibrate in the Y direction with the second support plate 46 as a fulcrum. As described above, the straight pipe portions 25a and 25b of the sensor tube 25 vibrate in the horizontal direction orthogonal to the external vibration in the vertical direction, and thus are not easily affected by the external vibration.

【0042】そして、ピックアップ27a,27bは振
動する直管部25a,25b内を流れる流量に比例した
コリオリ力による水平方向(Y方向)の変位を検出する
ため、外部振動の上下方向成分を検出せず流量に応じて
直管部25a,25bの変位を正確に検出する。
The pickups 27a and 27b detect horizontal displacement (Y direction) due to the Coriolis force proportional to the flow rate in the vibrating straight pipe portions 25a and 25b. The displacement of the straight pipe portions 25a and 25b is accurately detected according to the flow rate.

【0043】47は前記センサチューブ25,加振器2
6a,26b、ピックアップ27a,27bを支持する
支柱で、上端が蓋32に固定され、下端が垂下方向に延
在するよう設けられている。そして、支柱47は下端が
底板29より離間した自由端になっており、底板29を
介して外部振動が伝播しないようになっている。
Reference numeral 47 denotes the sensor tube 25 and the vibrator 2
6a, 26b, and a column that supports the pickups 27a, 27b, the upper end of which is fixed to the lid 32 and the lower end of which is extended in the hanging direction. The lower end of the column 47 is a free end separated from the bottom plate 29 so that external vibration does not propagate through the bottom plate 29.

【0044】流量計測時は、前述の如く加振器26a,
26bがセンサチューブ25の直管部25a,25bを
水平方向(Y方向)に加振し、一対の直管部25a,2
5bが互いに近接又は離間するように水平方向(Y方
向)に振動する。被測流体としての塗料はこのように振
動するセンサチューブ25の直管部25aに流入し曲部
25c,接続部25e,曲部25d,直管部25bを通
過して流出口35より下流側塗料チューブ15へ流出す
る。直管部25a,25bでは流量に比例した大きさの
コリオリ力が発生し、流入側と流出側では逆向きのコリ
オリ力が発生する。
When measuring the flow rate, as described above, the vibrator 26a,
26b vibrates the straight pipe portions 25a and 25b of the sensor tube 25 in the horizontal direction (Y direction), and a pair of straight pipe portions 25a and 25b
5b vibrates in the horizontal direction (Y direction) so as to approach or separate from each other. The paint as the fluid to be measured flows into the straight pipe portion 25a of the vibrating sensor tube 25 as described above, passes through the curved portion 25c, the connecting portion 25e, the curved portion 25d, and the straight pipe portion 25b, and is downstream from the outflow port 35. It flows out to the tube 15. A Coriolis force having a magnitude proportional to the flow rate is generated in the straight pipe portions 25a and 25b, and opposite Coriolis forces are generated on the inflow side and the outflow side.

【0045】これにより、直管部25aと25bとでは
時間的な遅れが生じ、これがピックアップ27aの出力
信号と27bの出力信号との位相差となって検出され
る。尚、流量計測の原理についての詳細は同出願人によ
り先に出願された例えば特開昭63−262526号の
ものと同じなのでここでは省略する。
This causes a time delay between the straight pipe portions 25a and 25b, which is detected as a phase difference between the output signal of the pickup 27a and the output signal of 27b. The details of the principle of flow rate measurement are the same as those disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-262526 previously filed by the same applicant, and therefore will not be repeated here.

【0046】ところが、上記構成になる質量流量計13
には、振動が台車3を介して伝播される。
However, the mass flowmeter 13 having the above structure
The vibration is propagated through the carriage 3.

【0047】しかるに、本実施例では、測定ユニット2
2が上記空気ばね構造の振動吸収部材19を介して吊下
されているので、台車3からの外部振動は振動吸収部材
19の空気室19aの空気圧及び振動吸収部材19自体
の弾性により弾力的に吸収される。従って、測定ユニッ
ト22には、台車3の移動による振動が伝播せず、振動
吸収部材19により外部振動が良好に絶縁される。
However, in this embodiment, the measuring unit 2
Since 2 is suspended via the vibration absorbing member 19 of the air spring structure, the external vibration from the truck 3 is elastically caused by the air pressure of the air chamber 19a of the vibration absorbing member 19 and the elasticity of the vibration absorbing member 19 itself. Be absorbed. Therefore, the vibration due to the movement of the carriage 3 does not propagate to the measuring unit 22, and the vibration absorbing member 19 effectively insulates the external vibration.

【0048】しかも、本実施例では、外部振動の上下方
向成分が収納ケース28,底板29に伝播しても、セン
サチューブ25の直管部25a,25bが振動成分と直
交する水平方向に加振され、ピックアップ27a,27
bはY方向に発生するコリオリ力による直管部25a,
25bの変位を検出するため、外部振動の影響をほとん
ど受けることなく流量計測することができる。そのた
め、質量流量計13は移動する台車3上に設置された状
態でも流量を正確に計測できる。
Moreover, in this embodiment, even if the vertical component of the external vibration propagates to the storage case 28 and the bottom plate 29, the straight pipe portions 25a and 25b of the sensor tube 25 are horizontally vibrated perpendicular to the vibration component. The pickup 27a, 27
b is the straight pipe portion 25a due to the Coriolis force generated in the Y direction,
Since the displacement of 25b is detected, the flow rate can be measured with almost no influence of external vibration. Therefore, the mass flow meter 13 can accurately measure the flow rate even when installed on the moving carriage 3.

【0049】さらに、質量流量計13は台車3がX方向
に移動する際、同方向の加速度を受けることになる。し
かるに、前述の如く質量流量計13のセンサチューブ2
5は台車3の移動方向に対し直交方向であるY方向に加
振されるように設けられており、従ってピックアップ2
7a,27bは台車3の移動に伴う加速度の影響を受け
ないY方向のコリオリ力を検出することになる。
Furthermore, when the carriage 3 moves in the X direction, the mass flowmeter 13 receives acceleration in the same direction. However, as described above, the sensor tube 2 of the mass flowmeter 13
5 is provided so as to be vibrated in the Y direction, which is a direction orthogonal to the moving direction of the carriage 3, and therefore the pickup 2
7a and 27b detect the Coriolis force in the Y direction that is not affected by the acceleration accompanying the movement of the carriage 3.

【0050】そのため、質量流量計13は移動する台車
3上に塗装用ロボット1とともに設置されても、塗料の
供給量を正確に計測することができる。
Therefore, even if the mass flowmeter 13 is installed on the moving carriage 3 together with the painting robot 1, the amount of paint supplied can be accurately measured.

【0051】上記実施例ではセンサチューブ形状がJ字
状に曲げられた構成の質量流量計13を一例として説明
したが、センサチューブ形状はこれに限らないのは勿論
である。
In the above embodiment, the mass flowmeter 13 having a configuration in which the sensor tube shape is bent in a J shape has been described as an example, but it goes without saying that the sensor tube shape is not limited to this.

【0052】図6に本発明の変形例を示す。FIG. 6 shows a modification of the present invention.

【0053】同図中、塗装用ロボット1の第1アーム1
0の上面10aには、質量流量計13が設置されてお
り、質量流量計13は固定用ベルト51により第1アー
ム10に固定されている。
In the figure, the first arm 1 of the painting robot 1
The mass flowmeter 13 is installed on the upper surface 10 a of 0, and the mass flowmeter 13 is fixed to the first arm 10 by a fixing belt 51.

【0054】質量流量計13は前述したように収納ケー
ス28の上部開口28aと蓋32との間に振動吸収部材
19が介在しているため、例え第1アーム10の回動動
作による振動が収納ケース28に伝播しても、弾性を有
する振動吸収部材19の空気室19aが空気ばねとして
機能して外部振動を吸収する。
Since the mass flowmeter 13 has the vibration absorbing member 19 interposed between the upper opening 28a of the storage case 28 and the lid 32 as described above, the vibration caused by the rotating operation of the first arm 10 is stored. Even when propagating to the case 28, the air chamber 19a of the elastic vibration absorbing member 19 functions as an air spring to absorb external vibration.

【0055】即ち、測定ユニット22が振動吸収部材1
9を介して吊下された状態に支持されているので、収納
ケース28の振動は、振動吸収部材19により絶縁され
て収納ケース28内に収納された測定ユニット22に伝
播するこが防止される。そのため、測定ユニット22
は、第1アーム10の回動動作に伴う振動の影響を受け
ることなく正確な流量計測が行える。
That is, the measuring unit 22 is the vibration absorbing member 1
The vibration of the storage case 28 is prevented from propagating to the measurement unit 22 housed in the storage case 28, which is insulated by the vibration absorbing member 19 and is supported in a suspended state via 9. . Therefore, the measurement unit 22
The accurate flow rate measurement can be performed without being affected by the vibration associated with the rotation operation of the first arm 10.

【0056】さらに、質量流量計13から塗装ガン12
までの距離が上記実施例の構成よりも短いので、質量流
量計13から引き出され塗装ガン12との間を接続する
塗料チューブ15が大幅に短くなり、その分塗装ガン1
2のオン、オフによる塗料の流量変化を応答性良く計測
できる。
Further, from the mass flow meter 13 to the coating gun 12
Since the distance to the coating gun 15 is shorter than that of the configuration of the above embodiment, the paint tube 15 drawn from the mass flowmeter 13 and connected to the coating gun 12 is significantly shortened, and the coating gun 1 is correspondingly shortened.
It is possible to measure the flow rate change of the paint depending on the turning on and off of No. 2 with good responsiveness.

【0057】又、質量流量計13は、前述したように収
納ケース28,底板29,蓋32は、夫々合成樹脂製で
あり、軽量化が図られているので、第1アーム10に取
り付けられても第1アーム10の旋回動作を妨げること
がない。従って、第1アーム10の強度を補強したり、
あるいは第1アーム10を駆動する駆動用モータを大型
化する必要もない。
Further, in the mass flowmeter 13, the storage case 28, the bottom plate 29, and the lid 32 are made of synthetic resin, respectively, as described above, and since they are made lightweight, they are attached to the first arm 10. Also does not hinder the turning motion of the first arm 10. Therefore, the strength of the first arm 10 is reinforced,
Alternatively, it is not necessary to upsize the drive motor that drives the first arm 10.

【0058】尚、上記実施例では、質量流量計を一例と
して説明したが、振動式の密度計として使用することも
できる。
In the above embodiment, the mass flowmeter has been described as an example, but it may be used as a vibration type density meter.

【0059】又、センサチューブの形状は、上記実施例
の形状に限らず、例えばU字状に曲げられた形状あるい
は直線状に延在する形状を採用しても良いのは勿論であ
る。
Further, the shape of the sensor tube is not limited to the shape of the above-mentioned embodiment, and it goes without saying that a shape bent into a U shape or a shape extending linearly may be adopted.

【0060】又、上記実施例では、センサチューブが1
本の構成された質量流量計を用いたが、これ以外の例え
ば特開平1−136026号公報にみられるように一対
のセンサチューブを互いに近接、離間するよう振動させ
る構成にも適用できる。その場合、外部信号をキャンセ
ルできるが、加振方向が台車の移動方向と直交する向き
となるように設けても良いのは勿論である。
In the above embodiment, the number of sensor tubes is 1.
Although the mass flowmeter configured as a book is used, it can be applied to a configuration in which a pair of sensor tubes are vibrated so as to come close to or away from each other as shown in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-136026. In that case, the external signal can be canceled, but it is needless to say that the excitation signal may be provided so as to be orthogonal to the moving direction of the carriage.

【0061】[0061]

【発明の効果】上述の如く、請求項1の発明によれば、
収納ケースの開口部と支持部材との間に外部振動を吸収
する振動吸収部材を設けたため、センサチューブを振動
させて被測流体の質量流量又は密度を測定する測定ユニ
ットに外部振動が伝播することを防止することができ、
振動の影響を受けることなく正確の計測が可能になる。
又、底面を直接取付面に当接させて取り付けることがで
きるので、取り付け作業が容易に行える。
As described above, according to the invention of claim 1,
Since a vibration absorbing member that absorbs external vibration is provided between the opening of the storage case and the support member, external vibration should propagate to the measurement unit that vibrates the sensor tube and measures the mass flow rate or density of the fluid to be measured. Can be prevented
Accurate measurement is possible without being affected by vibration.
Further, since the bottom surface can be directly attached to the mounting surface for mounting, the mounting work can be easily performed.

【0062】又、請求項2によれば、収納ケースの開口
部と支持部材との間に外部振動を吸収する振動吸収部材
を設けるとともに、収納ケースを合成樹脂により形成し
たため、装置全体の防振性の向上及び軽量化を図ること
ができ、可動部分に取り付ける際に可動部分を補強した
り駆動部の負荷が増大する必要がないので、設置場所を
選ぶことなく設置することができる。
According to the second aspect of the present invention, the vibration absorbing member for absorbing external vibration is provided between the opening of the storage case and the support member, and the storage case is made of synthetic resin. Since it is not necessary to reinforce the movable part or increase the load of the driving part when it is attached to the movable part, it can be installed without selecting an installation place.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明になる振動式測定装置の一実施例が適用
された塗装システムを示す斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view showing a coating system to which an embodiment of a vibration measuring apparatus according to the present invention is applied.

【図2】塗装用ロボットの背面図である。FIG. 2 is a rear view of the painting robot.

【図3】質量流量計の構成を説明するための縦断面図で
ある。
FIG. 3 is a vertical cross-sectional view for explaining the configuration of the mass flow meter.

【図4】質量流量計の背面から見た縦断面図である。FIG. 4 is a vertical cross-sectional view of the mass flow meter as viewed from the back side.

【図5】測定ユニットの斜視図である。FIG. 5 is a perspective view of a measurement unit.

【図6】本発明の要部を拡大して示す縦断面図である。FIG. 6 is a vertical cross-sectional view showing an enlarged main part of the present invention.

【図7】本発明の変形例の斜視図である。FIG. 7 is a perspective view of a modified example of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 塗装用ロボット 2 移動装置 3 台車 4 ワーク 5 コンベヤ装置 6 ベース 12 塗装ガン 13 質量流量計 14 流入側塗装チューブ 15 流出側塗装チューブ 19 振動吸収部材 25 センサチューブ 26a,26b 加振器 27a,27b ピックアップ 28 収納ケース 32 蓋 47 支柱 1 Painting Robot 2 Moving Device 3 Cart 4 Work 5 Conveyor Device 6 Base 12 Coating Gun 13 Mass Flow Meter 14 Inflow Side Coating Tube 15 Outflow Side Coating Tube 19 Vibration Absorbing Member 25 Sensor Tube 26a, 26b Vibrators 27a, 27b Pickup 28 Storage Case 32 Lid 47 Support

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 被測流体が通過するセンサチューブを振
動させて被測流体の質量流量又は密度を測定する測定ユ
ニットと、該測定ユニットを支持する支持部材と、該支
持部材が開口部に嵌合されて該測定ユニットを収納する
収納ケースとを有してなる振動式測定装置において、 前記収納ケースの開口部と前記支持部材との間に外部振
動を吸収する振動吸収部材を設けてなることを特徴とす
る振動式測定装置。
1. A measurement unit for measuring a mass flow rate or density of a fluid to be measured by vibrating a sensor tube through which the fluid to be measured passes, a support member for supporting the measurement unit, and the support member fitted in an opening. A vibration-type measuring device having a storage case that is assembled to store the measurement unit, wherein a vibration absorbing member that absorbs external vibration is provided between the opening of the storage case and the support member. Vibration type measuring device.
【請求項2】 被測流体が通過するセンサチューブを振
動させて被測流体の質量流量又は密度を測定する測定ユ
ニットと、該測定ユニットを支持する支持部材と、該支
持部材が開口部に嵌合されて該測定ユニットを収納する
収納ケースとを有してなる振動式測定装置において、 前記収納ケースの開口部と前記支持部材との間に外部振
動を吸収する振動吸収部材を設け、 前記収納ケースを合成樹脂により形成してなることを特
徴とする振動式測定装置。
2. A measuring unit for vibrating a sensor tube through which the fluid to be measured passes to measure the mass flow rate or density of the fluid to be measured, a supporting member for supporting the measuring unit, and the supporting member fitted in the opening. A vibration-type measuring device having a storage case that is assembled to store the measurement unit, wherein a vibration absorbing member that absorbs external vibration is provided between the opening of the storage case and the support member, A vibration-type measuring device, characterized in that the case is made of synthetic resin.
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