JPH0716889B2 - Polishing sheet having hard abrasive grains and method for manufacturing the same - Google Patents
Polishing sheet having hard abrasive grains and method for manufacturing the sameInfo
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- JPH0716889B2 JPH0716889B2 JP33242888A JP33242888A JPH0716889B2 JP H0716889 B2 JPH0716889 B2 JP H0716889B2 JP 33242888 A JP33242888 A JP 33242888A JP 33242888 A JP33242888 A JP 33242888A JP H0716889 B2 JPH0716889 B2 JP H0716889B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、フレッキシブルタイプの研磨シートの構造
とその製造方法の改良に関する。TECHNICAL FIELD The present invention relates to an improvement in the structure of a flexible type polishing sheet and the manufacturing method thereof.
更に詳しくいえば、ニューセラミックス、超硬質材、ガ
ラスなどの硬質材を研磨するに際して使用される研磨シ
ート用の硬質砥粒の結合を導電性接着剤を利用した構造
とその固定方法の改良に関する。More specifically, the present invention relates to an improvement in a structure using a conductive adhesive for bonding hard abrasive grains for a polishing sheet used when polishing a hard material such as new ceramics, an ultra-hard material and glass, and a fixing method thereof.
この種の従来例として特開昭59−161267号公報に記載さ
れた発明が知られており、この公報には、基材に砥粒を
固定させるに際して基材上にドータイトD−500などの
導電性接着剤が塗布され、砥粒径を90%程度露出された
状態で砥粒が基材上に前記した導電性接着剤を介して仮
止め状態に接着され、その接着剤の乾燥後に、電気めっ
き方法等によりニッケルめっきを施し、砥粒径50〜60%
程度をニッケルで被覆させてなるものが記載されてい
る。As a conventional example of this type, the invention described in Japanese Patent Laid-Open No. 59-161267 is known, and in this publication, when fixing abrasive grains to a base material, a conductive material such as DOTITE D-500 is formed on the base material. Adhesive is applied, and the abrasive grains are exposed to about 90%, the abrasive grains are adhered on the base material in a temporarily fixed state via the above-mentioned conductive adhesive, and after the adhesive is dried, the Nickel plating is applied by the plating method, etc., and the grain size is 50-60%.
It is described to be coated with nickel to a certain extent.
前記したダイヤモンド砥粒などの電着方法およびその方
法に基づく製品は、基材に砥粒を電着させるに先立って
予め導電性接着剤を基材に接着させ、この導電性接着剤
により砥粒を仮止めさせ、その後にいわゆる電着手段に
よって砥粒を基材に固定させてなるものであるから、一
般的に広く実施されている電着方法に比較して着床めっ
きによる砥粒の分散・固定に際してガス発生による基材
に対する砥粒の未着、攪拌不均一による砥粒分散の不均
一などの不利益を解消を図ることができることや従来の
一般的手法に比較して基材に固定される量に比較して多
量の砥粒を必ずしも必要としなく砥粒のロスを少なくで
きるなどの利点を有することは評価できる。The above-mentioned electrodeposition method such as diamond abrasive grains and products based on the method, the electroconductive adhesive is preliminarily adhered to the base material prior to electrodeposition of the abrasive particles on the base material, and the electroconductive adhesive is used to polish the abrasive particles. Is temporarily fixed, and then the so-called electrodeposition means is used to fix the abrasive grains to the base material, so that the dispersion of the abrasive grains by landing plating compared to the generally widely used electrodeposition method.・ Can fix disadvantages such as non-adhesion of abrasive grains to the substrate due to gas generation during fixing, uneven distribution of abrasive grains due to non-uniform stirring, and fixing to the substrate compared to conventional general methods It can be appreciated that it has an advantage that the loss of the abrasive grains can be reduced without necessarily requiring a large amount of the abrasive grains as compared with the amount.
しかし、この導電性接着剤を砥粒の仮止め用として採用
する方法は、基材の相当部分に該接着剤が塗布されて砥
粒の電着が実施されるから、砥粒が基材の相当部分に接
着されることになり、過剰な砥粒を固定する結果を発生
し、依然として砥粒のロスが少なくないなどの問題点が
あった。However, in the method of adopting this conductive adhesive for temporary fixing of abrasive grains, since the adhesive is applied to a considerable portion of the base material to carry out electrodeposition of the abrasive grains, There was a problem in that it was adhered to a considerable portion, resulting in the fixing of excessive abrasive grains, and the loss of abrasive grains was still small.
また、この従来技術では、いわゆるパターンめっきによ
る砥粒の仮止めを導電性接着剤のみで行われるため、パ
ターンが脱落し易い不利益がある。Further, in this conventional technique, since the temporary fixing of the abrasive grains by so-called pattern plating is performed only by the conductive adhesive, there is a disadvantage that the pattern is easily dropped.
この発明は、前記した問題点を解消しようとするもので
あって、研磨に必要な有効最小限の砥粒群を基材に固定
することにより、砥粒の使用上のロスを少なくさせ、砥
粒の有効使用を図ることなどを目的としている。This invention is intended to solve the above problems, by fixing the effective minimum abrasive grain group necessary for polishing to the substrate, to reduce the loss of use of abrasive grains, The purpose is to effectively use the grains.
更には、砥粒の基材に対する固定を一層確実化し、脱落
し難くすることも目的としている。Furthermore, the purpose is to further secure the fixing of the abrasive grains to the base material and make it difficult for the abrasive grains to fall off.
上記の目的を達成するために、この発明は、基材に無数
の非マスキング部が形成され、この非マスキング部の面
積より小さい面積内に導電性接着剤を介して硬質砥粒が
接着されるとともに、非マスキンク部内における導電性
接着剤の非接着部分から硬質砥粒に掛けてめっきが施さ
れてなる製品の発明と、 基材に無数の非マスキング部群を斑点状に形成し、これ
らの各非マスキング部の面積より小さな面積によりこれ
らの各非マスキング部内に導電性接着剤をコーティング
させ、その導電性接着剤を介して硬質砥粒を接着させて
その導電性接着剤を乾燥させ、ついでその硬質砥粒を電
着してなる方法の発明である。In order to achieve the above object, according to the present invention, innumerable non-masking portions are formed on a base material, and hard abrasive grains are adhered to the area smaller than the area of the non-masking portions via a conductive adhesive. At the same time, the invention of the product in which the non-adhesive part of the conductive adhesive in the non-maskink part is hung on the hard abrasive grains and plated, and a myriad of non-masking part groups are formed in spots, A conductive adhesive is coated in each of these non-masking parts with an area smaller than the area of each non-masking part, and hard abrasive grains are adhered through the conductive adhesive to dry the conductive adhesive, and then It is an invention of a method in which the hard abrasive grains are electrodeposited.
〔実施例1〕 この実施例について図面を参照して説明すると、第1図
に示されるように、基材を構成する布地製の研磨シート
10の一側面に後述する硬質砥粒20が研削荷重により埋没
することを抑制しかつ研削効果の向上化を図るために硬
質粒子層12が設けられている。もっとも、この粒子層12
を省略することのある場合を発明者は予定している。Example 1 This example will be described with reference to the drawings, and as shown in FIG. 1, a polishing sheet made of a fabric constituting a base material.
A hard particle layer 12 is provided on one side face of the hard particle 20 in order to prevent the hard abrasive grains 20 described later from being buried under a grinding load and to improve the grinding effect. However, this particle layer 12
The inventor intends to omit the case.
そしてこの硬質粒子層12上に次工程の導電層16を設ける
ため導電剤をコーティングしたときの密着性の向上化と
導電層16が硬質粒子層12に染み込むことを抑制するため
にプライマーコート14が厚さ5〜50μ程度により施され
ている。And in order to provide the conductive layer 16 in the next step on the hard particle layer 12 to improve the adhesion when coated with a conductive agent and the conductive layer 16 to prevent the hard particle layer 12 from seeping into the primer coat 14 The thickness is about 5 to 50μ.
導電層16を設けるため導電剤として高分子樹脂自体が
導電性を有するものが採用される。In order to provide the conductive layer 16, a polymer resin having conductivity is used as the conductive agent.
具体例を挙げるならば、ドーピング処理されたポリアセ
チレン、ポリパラフェニレンなどである。絶縁性高分
子樹脂に導電性粉を混練したものを採用してもよく、具
体例はフェノール、エポキシ、ウレタン、ポリエステ
ル、ポリイミドなどの樹脂と、Ag、Cu、Ni、Cなどの粉
末の混練物が挙げられる。Specific examples include doped polyacetylene and polyparaphenylene. The insulating polymer resin may be kneaded with conductive powder, and specific examples are kneaded products of resin such as phenol, epoxy, urethane, polyester, polyimide and powder of Ag, Cu, Ni, C and the like. Is mentioned.
これらの導電剤は、2〜100μ程度の厚みに設けられ、
ロールコート、ナイフコート、グラビアコート、スクリ
ーン印刷などの手法によって実施される。These conductive agents are provided in a thickness of about 2 ~ 100μ,
It is carried out by a method such as roll coating, knife coating, gravure coating and screen printing.
プライマーコート14の乾燥後にこのプライマーコート14
上に導電層16が設けられて導電層16の乾燥後にその導電
層16上に局部的に2〜200μ程度の厚みによるポリエス
テル、塩化ビビール、エポキシ、ウレタン、セルロー
ス、SBRなどの絶縁材18によりマスキングが施されてい
る。After drying the primer coat 14, this primer coat 14
After the conductive layer 16 is provided on the conductive layer 16, the conductive layer 16 is locally masked on the conductive layer 16 with an insulating material 18 such as polyester, vinyl chloride, epoxy, urethane, cellulose, or SBR having a thickness of about 2 to 200 μm. Has been applied.
このマスキング処理は、後述する硬質砥粒20を局部的に
接着する目的のためであり、その具体的手法は、いわゆ
るパターンコーティングによって実施され、スクリーン
印刷、グラビア印刷、オフセット印刷、フォトレジスト
印刷などの手法によって行うことができる。This masking treatment is for the purpose of locally adhering the hard abrasive grains 20 described later, and its specific method is performed by so-called pattern coating, such as screen printing, gravure printing, offset printing, and photoresist printing. It can be done by a technique.
前記したマスキング処理の具体例をスクリーン印刷法に
よって実施した場合について第2図、第3図および第4
図を参照して説明する。When the specific example of the above-mentioned masking process is carried out by the screen printing method, FIG. 2, FIG. 3 and FIG.
It will be described with reference to the drawings.
基材10上に所定の原稿に基づいて造られた下スクリーン
22を当接する。A lower screen made on the base material 10 based on a predetermined manuscript
Abut 22.
もとより、この下スクリーン22には基材10上に非マスキ
ング部32を形成するため一定の形態と間隔による乳剤24
が斑点状に多数塗布されているものである。Naturally, the lower screen 22 has an emulsion 24 of a certain shape and a certain interval for forming the non-masking portion 32 on the substrate 10.
Is applied in a lot of spots.
そこで、第3図に示されるように乳剤24を塗布させた下
スクリーン22を基材10に当てがい下スクリーン22側から
基材10側に向けてマスキング剤を塗布させる。Then, as shown in FIG. 3, the lower screen 22 coated with the emulsion 24 is applied to the base material 10, and the masking agent is applied from the lower screen 22 side toward the base material 10 side.
かくして乳剤24間の非乳剤塗布部分27には乳剤24が塗布
されていないから、そのままスクリーン部として残存し
ている。Thus, since the non-emulsion coated portion 27 between the emulsions 24 is not coated with the emulsion 24, it remains as the screen portion as it is.
従ってこの非乳剤塗布部分27を通じて絶縁剤18はその下
に位置している基材10に斑点状に塗布されることによ
り、その塗布部分にマスキング部33が構成される。Therefore, the insulating agent 18 is applied through the non-emulsion coated portion 27 to the underlying substrate 10 in spots to form the masking portion 33 on the coated portion.
次に、他方、前記した下スクリーン22とは、別に乳剤23
が一定の形態と間隔により塗布された上スクリーン26を
用意するが、隣接するその乳剤23の間に形成されるオー
プニング28の中心は前記した下スクリーン22の非マスキ
ング部32の中心と一致しているが、その面積は下スクリ
ーン22の非マスキング部32の面積より小さいものであ
る。Next, on the other hand, separately from the above-mentioned lower screen 22, an emulsion 23
An upper screen 26 is prepared by applying a uniform pattern and a certain interval, but the center of the opening 28 formed between the adjacent emulsions 23 is aligned with the center of the unmasked portion 32 of the lower screen 22 described above. However, the area is smaller than the area of the non-masking portion 32 of the lower screen 22.
そこで、この上スクリーン26のオープニング28の中心を
下スクリーン22の非マスキング部32の中心に一致させた
上、上スクリーン26側から前記した導電接着剤30を塗布
させる。Therefore, the center of the opening 28 of the upper screen 26 is aligned with the center of the non-masking portion 32 of the lower screen 22, and then the conductive adhesive 30 is applied from the upper screen 26 side.
かくして基材10には非マスキング部32とマスキング部33
が形成され、非マスキング部32内には、その面積より小
さい面積において導電性接着剤30が塗布されることにな
る。Thus, the base material 10 has a non-masking portion 32 and a masking portion 33.
Thus, the conductive adhesive 30 is applied within the non-masking portion 32 in an area smaller than that area.
かくして、パターンコーティングを行うことにより、導
電層16上には無数の非マスキング部32群が形成される
(第2図参照ないし第4図参照)。Thus, by performing pattern coating, an innumerable group of non-masking portions 32 are formed on the conductive layer 16 (see FIGS. 2 to 4).
また、パターンは、円、四角、菱形、六角など任意の形
状が採用される。Further, as the pattern, any shape such as a circle, a square, a rhombus, and a hexagon is adopted.
そこで、この非マスキング部32に用途に応じて0.3〜700
μ程度の大きさによるダイヤモンド、ボラゾン、BC、Ti
N、SiC、Al2O3、TiC、ZrO2などの硬質砥粒20が導電粉と
高分子樹脂が混練されたものであって、一般的にAgペー
スト、Cuペースト、Cペーストと言われる導電化された
接着剤30を介して砥粒20の粒径の約10%程度が埋没する
ように接着されている。この接着剤30の組成は、原則的
に前記した導電層16の組成と同じものである。Therefore, depending on the application, the non-masking part 32 should have 0.3 to 700
Diamond, borazon, BC, Ti depending on the size of μ
Hard abrasive grains 20 such as N, SiC, Al 2 O 3 , TiC, and ZrO 2 are obtained by kneading conductive powder and polymer resin, and are generally called Ag paste, Cu paste, and C paste. About 10% of the grain size of the abrasive grains 20 is adhered through the converted adhesive 30 so that the grains are buried. The composition of the adhesive 30 is basically the same as the composition of the conductive layer 16 described above.
この導電化された接着剤30の電気抵抗値における指定を
特に必要とするものではない。It is not particularly necessary to specify the electric resistance value of the conductive adhesive 30.
此処に導電性接着剤30とは、導電フィラーと樹脂バイン
ダーおよび硬化剤から構成されるものであり、フィラー
として金属粉末が採用され、その金属として前記したと
おり、Ag、Cu、Al、Niなどが挙げられる。また、バイン
ダーとしてはエポキシ樹脂、アクリル樹脂、ウレタン樹
脂などが採用され、硬化剤については物性上検討を必要
とするが、エポキシ樹脂のバインダーの場合では酸無水
物、ポリアミンなどが採用される。The conductive adhesive 30 here is composed of a conductive filler, a resin binder, and a curing agent, and a metal powder is adopted as the filler, and as described above as the metal, Ag, Cu, Al, Ni, etc. Can be mentioned. Further, epoxy resin, acrylic resin, urethane resin or the like is adopted as the binder, and the curing agent needs to be examined in terms of physical properties, but in the case of the epoxy resin binder, acid anhydride, polyamine or the like is adopted.
そして前記の工程の処理がなされた硬質砥粒20が前記し
た接着剤30により仮止め処理された布地製の研磨シート
10を公知のとおりメッキ槽内に浸潰した後その槽内で前
記したダイヤモンド砥粒の電着が実施される。Then, the abrasive sheet made of cloth, in which the hard abrasive grains 20 subjected to the treatment in the above steps are temporarily fixed with the adhesive 30 described above.
After immersing 10 in a plating bath as is known, the electrodeposition of the diamond abrasive grains described above is carried out in the bath.
砥粒20群の固定手段である電着方法は従来例と同様であ
る。The electrodeposition method for fixing the group of abrasive grains 20 is the same as the conventional example.
〔実施例2〕 この実施例を第5図を参照して説明すると、この実施例
は、基材の材質が実施例1と相違するが、発明の本質に
おいて実施例1と相違するものではない。従って大部分
の構成は実施例1の説明を援用できる。Example 2 This example will be described with reference to FIG. 5. In this example, the material of the base material is different from Example 1, but the essence of the invention is not different from Example 1. . Therefore, the description of Embodiment 1 can be applied to most of the structures.
布地などの基材36の一側面に銅などの導電体による金属
箔38が設けられている。A metal foil 38 made of a conductor such as copper is provided on one side of a base material 36 such as cloth.
次にこの金属箔38の一側に実施例1について説明した要
領により絶縁材40がいわゆるパターンコーティングさ
れ、この絶縁材40が乾燥処理される。Next, an insulating material 40 is so-called pattern coated on one side of the metal foil 38 according to the procedure described in the first embodiment, and the insulating material 40 is dried.
そして実施例1に説明した導電性接着剤42が無数の非マ
スキング部内にその面積より小さい範囲において塗布さ
れる。そこで、非マスキング部内の該接着剤42を介して
硬質砥粒44が仮止め状態に接着される。Then, the conductive adhesive 42 described in the first embodiment is applied to a myriad of unmasked portions in a range smaller than the area. Then, the hard abrasive grains 44 are adhered in a temporarily fixed state through the adhesive 42 in the non-masking portion.
その後、実施例1と同様に硬質砥粒44群が電着手段によ
り固定される。After that, the group of hard abrasive grains 44 is fixed by the electrodeposition means as in the first embodiment.
この発明は、上記の構成であるから、以下の利点を奏す
る。Since the present invention has the above configuration, it has the following advantages.
(1)硬質砥粒が固定される部分は、基材の非マスキン
グ部内の導電性接着剤の塗布された局部的個所だけであ
るから、研磨に必要な有効最小限の砥粒を固定できる。
従って、砥粒の使用が過剰になることがなく、高価な硬
質砥粒の生産上のロスが著しく少ない。(1) Since the hard abrasive grains are fixed only at the local portions of the base material where the conductive adhesive is applied in the non-masking portion, the minimum effective abrasive grain necessary for polishing can be fixed.
Therefore, the abrasive grains are not excessively used, and the loss in production of expensive hard abrasive grains is significantly small.
(2)非マスキング部内においてその面積より小さい範
囲の面積により、導電性接着剤を塗布した後にその接着
剤を介して硬質砥粒を電着手段によって基材に固定する
から、非マスキング部の外側輪郭と硬質砥粒との間に多
少の面積による非マスキング部が残存する結果、電着工
程時にニッケルめっきが前記した残存する非マスキング
部を被覆するから、基材を硬質砥粒を一層強固に固定で
きる。(2) Since the hard abrasive grains are fixed to the base material by the electrodeposition means through the adhesive after the conductive adhesive is applied with the area smaller than the area in the non-masked portion, the outside of the non-masked portion As a result of the non-masking portion remaining due to some area between the contour and the hard abrasive grain, nickel plating covers the remaining non-masking portion during the electrodeposition process, so that the hard abrasive grain is made to be a stronger base material. Can be fixed.
よって着床めっきによる砥粒の分散・固定に際してガス
発生による基材に対する硬質砥粒の未着、攪拌不均一に
よる砥粒分散の不均一、砥粒の基材の未接触による基材
に対する砥粒の未着などの抑制を一層図ることができ、
更に、砥粒の切削性能や耐久性の向上化を一層図ること
ができる。Therefore, when the abrasive grains are dispersed / fixed by landing plating, hard abrasive grains are not adhered to the substrate due to gas generation, uneven distribution of abrasive grains due to uneven stirring, and abrasive grains on the substrate due to non-contact of the abrasive grains on the substrate. It is possible to further control the non-arrival of
Furthermore, it is possible to further improve the cutting performance and durability of the abrasive grains.
第1図は、実施例1に基づく概略的に示す製品の拡大断
面図、第2図は実施例1の要部拡大平面図、第3図およ
び第4図はこの発明の工程を示す拡大断面図、第5図は
実施例2に基づく概略的に示す製品の拡大断面図であ
る。 (主要部分の符号の説明) 10、36……基材 20、44……硬質砥粒 32……非マスキング部 30、42……導電性接着剤FIG. 1 is an enlarged cross-sectional view of a product schematically shown based on the first embodiment, FIG. 2 is an enlarged plan view of an essential part of the first embodiment, and FIGS. 3 and 4 are enlarged cross-sectional views showing steps of the present invention. FIG. 5 and FIG. 5 are enlarged cross-sectional views of a product schematically shown according to the second embodiment. (Explanation of symbols of main parts) 10, 36 …… Base material 20, 44 …… Hard abrasive grains 32 …… Non-masking part 30, 42 …… Conductive adhesive
Claims (2)
非マスキング部の面積より小さい面積内に導電性接着剤
を介して硬質砥粒が接着されるとともに、非マスキング
部における導電性接着剤の非接着部から硬質砥粒に掛け
てめっきを施してなることを特徴とする硬質砥粒を備え
た研磨シート。1. A myriad of non-masking portions are formed on a substrate,
Hard abrasive grains are bonded via an electrically conductive adhesive in an area smaller than the area of the non-masking portion, and the non-masking portion is plated on the hard abrasive grains from the non-adhesive portion of the conductive adhesive. A polishing sheet provided with hard abrasive grains.
ささた後に硬質砥粒を電着手段により基材に結合させる
硬質砥粒を備えた研磨シートの製造方法において、 基材に無数の非マスキング部を形成し、これらの各非マ
スキング部内において非マスキング部の面積より小さい
面積により導電性接着剤をコーティングさせ、その導電
性接着剤を介して硬質砥粒を接着させて導電性接着剤を
乾燥させ、ついで前記した硬質砥粒を電着してなること
を特徴とする硬質砥粒を備えた研磨シートの製造方法。2. A method for producing a polishing sheet having hard abrasive grains, comprising: fixing hard abrasive grains to a substrate by a conductive adhesive and then bonding the hard abrasive grains to the substrate by electrodeposition means. An innumerable non-masking area is formed, and a conductive adhesive is coated with an area smaller than the area of the non-masking area within each of these non-masking areas. A method for producing a polishing sheet provided with hard abrasive particles, which comprises drying the adhesive and then electrodepositing the hard abrasive particles described above.
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JPH10193269A (en) * | 1996-12-27 | 1998-07-28 | Asahi Diamond Ind Co Ltd | Electrodeposition tool and manufacture therefor |
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