JPH0716181U - IC measurement and sorting device - Google Patents

IC measurement and sorting device

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JPH0716181U
JPH0716181U JP5192493U JP5192493U JPH0716181U JP H0716181 U JPH0716181 U JP H0716181U JP 5192493 U JP5192493 U JP 5192493U JP 5192493 U JP5192493 U JP 5192493U JP H0716181 U JPH0716181 U JP H0716181U
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brush unit
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田中  透
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 IC測定選別装置における測定用ICソケッ
トの清掃機構を簡略化し、清掃機構の省スペース化およ
び製造コストダウンを図る。 【構成】 測定対象たるICをテスタに接続された測定
用ICソケットに導通接触させることによりICを測定
選別するIC測定選別装置において、測定するIC7を
テスタに接続された測定用ICソケット4上に吸着搬送
して測定用ICソケット4に導通接続させるためのハン
ド1と、ハンド1の移動可能領域内に設置されたハンド
に吸着されるブラシユニットと、ハンド1をX−Y方向
に自由に移動させるX−Yステージ2とをもつ。清掃時
は、ハンド1がブラシユニット3を吸着してICソケッ
ト4上で動作することにより、接触子4aに付着した半
田屑を除去する。
(57) [Abstract] [Purpose] To simplify the cleaning mechanism of the IC socket for measurement in the IC measurement and sorting device, to save space in the cleaning mechanism and to reduce the manufacturing cost. [Configuration] In an IC measurement / selection device for measuring / selecting an IC by bringing an IC to be measured into contact with a measurement IC socket connected to a tester, an IC 7 to be measured is placed on a measurement IC socket 4 connected to the tester. A hand 1 for adsorbing and conveying and connecting it to the measurement IC socket 4 in a conductive manner, a brush unit attached to the hand installed in a movable area of the hand 1, and a hand 1 freely moving in the XY directions. And an XY stage 2 to be operated. At the time of cleaning, the hand 1 attracts the brush unit 3 and operates on the IC socket 4, thereby removing the solder scraps attached to the contactor 4a.

Description

【考案の詳細な説明】[Detailed description of the device]

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】[Industrial applications]

この考案はICの電気的特性を自動で検査するIC測定選別装置に関し、特に 、IC測定用テスタに接続されたICソケットの接触子に付着した半田屑などを 自動で清掃除去するための構造についてのものである。 The present invention relates to an IC measurement / selection device for automatically inspecting the electrical characteristics of an IC, and more particularly to a structure for automatically cleaning and removing solder scraps and the like adhering to the contacts of an IC socket connected to an IC measurement tester. belongs to.

【0002】[0002]

【従来の技術】[Prior art]

従来のIC測定選別装置における測定用ICソケットの清掃機構としては、本 件出願人が先に開示した実願平3―26785号の明細書に開示した技術がある。即ち 、ここに開示された技術は、高温測定のときにテスタに接続された測定用ICソ ケットに測定対象たるICが押しつけられて、ICの半田メッキが付着した場合 に、測定用ICソケットの隣り合う接触子同士が短絡することを防止するものと して、清掃用ブラシをアクチュエータによって移動させ、測定用ICソケットの 接触子の半田屑を取り除いている。 As a cleaning mechanism for a measuring IC socket in a conventional IC measuring and sorting apparatus, there is a technique disclosed in the specification of Japanese Patent Application No. 3-26785 previously disclosed by the applicant of the present application. That is, the technology disclosed here is that when the IC to be measured is pressed against the measurement IC socket connected to the tester at the time of high temperature measurement and the solder plating of the IC adheres to the measurement IC socket, In order to prevent short-circuiting between adjacent contacts, the cleaning brush is moved by an actuator to remove the solder scraps from the contacts of the measuring IC socket.

【0003】[0003]

【考案が解決しようとする課題】[Problems to be solved by the device]

しかし、この方法によると、QFPのような測定用ICソケットでは、接触子 が4方向に配列されているため、接触子と接触子との間に溜まった半田屑を取り 除くのにブラシをX−Y方向に動かさなくてはならない。アクチュエータを増や すことにより前記課題は解決するが、アクチュエータを増やすと機構が複雑にな るばかりでなく、装置の製作費用が高額になるという不具合がある。 However, according to this method, in an IC socket for measurement such as QFP, the contacts are arranged in four directions, so the brush is used to remove the solder scraps accumulated between the contacts. -Must move in the Y direction. Although the above problem can be solved by increasing the number of actuators, there is a problem that not only the mechanism becomes complicated, but also the manufacturing cost of the device becomes high when the number of actuators is increased.

【0004】 この考案は、前記従来技術の課題に着目して提案されたもので、測定対象たる ICをX―Y方向に自由に移動可能なハンドで測定用ICソケットに運び、前記 ICを測定用ICソケットに押し付けることによってICテスタで測定し、測定 終了後、ハンドでICを所定の位置に運ぶIC測定選別装置において、前記ハン ドにブラシユニットを吸着させて測定用ICソケットを清掃させることにより、 清掃機構の省スペース化を図るとともに、清掃機構を安価で提供することを目的 とする。This invention has been proposed in view of the above problems of the prior art, in which an IC to be measured is carried to a measurement IC socket by a hand that can move freely in the XY directions, and the IC is measured. In the IC measurement / sorting device that carries out IC measurement to the specified position by hand after the measurement is completed by pressing it against the IC IC socket for cleaning, the brush unit is adsorbed to the hand to clean the measurement IC socket. This aims to save space in the cleaning mechanism and to provide the cleaning mechanism at low cost.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】[Means for Solving the Problems]

この目的を達成するため、この考案は、測定対象たるIC7をテスタに接続さ れた測定用ICソケットに接触させることによりICを測定選別するIC測定選 別装置において、測定するIC7をテスタに接続された測定用ICソケット4上 に吸着搬送して該測定用ICソケットに導通接続させるためのハンド1と、ハン ド1の移動可能領域内に設置されたハンドに吸着されるブラシユニットと、ハン ド1をX−Y方向に自由に移動させるX−Yステージ2とを備え、ハンド1の移 動によって測定ICソケット4を定期的にブラッシングする。 In order to achieve this object, the present invention connects an IC7 to be measured to an tester in an IC measurement selection device for measuring and selecting an IC by bringing the IC7 to be measured into contact with a measurement IC socket connected to the tester. A hand 1 for adsorbing and transporting it onto the measured IC socket 4 for conductive connection to the measuring IC socket, a brush unit installed in the movable area of the hand 1 for adhering to the hand, and a hand. The measurement IC socket 4 is regularly brushed by the movement of the hand 1 provided with the XY stage 2 which freely moves the battery 1 in the XY directions.

【0006】[0006]

【作用】[Action]

前記構成のこの考案によれば、測定対象たるICを吸着するハンドにブラシユ ニットを吸着させ、ハンドを測定用ICソケットの接触子の位置に合わせて動作 させることによりICソケットを定期的にブラッシングするので、測定用ICソ ケットに付着した半田屑を除去することができる。 According to this invention having the above-mentioned configuration, the brush unit is adsorbed to the hand that adsorbs the IC to be measured, and the hand is operated according to the position of the contact of the IC socket for measurement, thereby periodically brushing the IC socket. Therefore, it is possible to remove the solder scraps adhering to the measuring IC socket.

【0007】[0007]

【実施例】【Example】

次に、この考案による実施例を添付の図面を参照して説明する。 Next, an embodiment according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

【0008】 図1に示すように、IC測定選別装置は、ハンド1がX―Yステージ2上に、 X―Y方向に自由に移動可能に搭載されている。また、ハンド1はシリンダ5に よって上下方向にも移動可能に構成されている。ハンド1の下端には吸着ノズル 1aが設けられており、後述する測定対象たるIC7およびブラシユニット3を 吸着できるように構成されている。この吸着ノズル1aは図示しない真空ポンプ などの吸引装置に接続されている。As shown in FIG. 1, in the IC measurement / sorting apparatus, a hand 1 is mounted on an XY stage 2 so as to be freely movable in the XY directions. The hand 1 is also configured to be movable in the vertical direction by the cylinder 5. A suction nozzle 1a is provided at the lower end of the hand 1 so that the IC 7 and the brush unit 3, which will be described later, can be sucked. The suction nozzle 1a is connected to a suction device such as a vacuum pump (not shown).

【0009】 テーブルT上には、IC7の検査測定時にIC7と導通接続する測定用ICソ ケット4、IC7をハンド1に吸着させるためのIC供給ステージ6および位置 決め台8が設けられている。On the table T, there are provided an IC socket 4 for measurement, which is conductively connected to the IC 7 when the IC 7 is inspected and measured, an IC supply stage 6 for adsorbing the IC 7 onto the hand 1, and a positioning table 8.

【0010】 位置決め台8には、ハンド1の吸着ノズル1aに吸引保持される測定用ICソ ケット4清掃用のブラシユニット3が載置されている。ブラシユニット3の吸引 側には、吸着ノズル1aが嵌り込む大きさの溝部3aが形成されている。A brush unit 3 for cleaning the measurement IC socket 4 that is suction-held by the suction nozzle 1 a of the hand 1 is placed on the positioning table 8. On the suction side of the brush unit 3, a groove 3a having a size into which the suction nozzle 1a is fitted is formed.

【0011】 吸着ノズル1aは、この溝部3aに嵌り込むようになっているため、後述する ブラッシングによって横方向からの力を受けてもブラシユニット3がずれて吸着 ノズル1aから脱落することがない。Since the suction nozzle 1a is fitted in the groove portion 3a, the brush unit 3 does not shift and fall out of the suction nozzle 1a even if a lateral force is applied by brushing described later.

【0012】 なお、溝部3aを画定する壁面には、吸着ノズル1aが溝部3a内に進入し易 くするためのテーパー部3bが形成されている。また、ブラシユニット3を載置 する位置決め台8のブラシユニット収容口には、テーパー部8aが形成されてお り、ブラッシング終了後にブラシユニット3を位置決め台8に戻すときの案内と している。A taper portion 3b is formed on a wall surface defining the groove portion 3a so that the suction nozzle 1a can easily enter the groove portion 3a. Further, the positioning unit 8 on which the brush unit 3 is mounted has a taper portion 8a formed in the brush unit accommodation port, which serves as a guide when the brush unit 3 is returned to the positioning unit 8 after brushing is completed.

【0013】 次に、IC7の測定動作を図1から図3により説明する。図1では、IC供給 ステージ6には、測定対象たるIC7が載置されており、X―Yステージ2の移 動によって、ハンド1がIC供給ステージ6上のIC7の上方に位置させられる 。この後、シリンダ5の降下作動によってハンド1を降下させ、その先端に設け られた吸着ノズルでIC7を吸着する。IC7の吸着が完了すると、シリンダ5 を作動させ、図2に示すようにハンド1を上昇させる。Next, the measurement operation of the IC 7 will be described with reference to FIGS. 1 to 3. In FIG. 1, the IC 7 to be measured is placed on the IC supply stage 6, and the hand 1 is positioned above the IC 7 on the IC supply stage 6 by the movement of the XY stage 2. After that, the hand 1 is lowered by the lowering operation of the cylinder 5, and the IC 7 is sucked by the suction nozzle provided at the tip thereof. When the adsorption of the IC 7 is completed, the cylinder 5 is operated and the hand 1 is raised as shown in FIG.

【0014】 次に、X―Yステージ2を移動させて、IC7をICソケット4上に移送させ 、シリンダ5を作動させてIC7を測定用ICソケット4の接触子4aに導通接 続するように押しつける。図3はIC7をICソケット4に接触させた状態であ る。測定用ICソケット4は図示しないテスタに接続されており、IC7が測定 用ICソケット4の接触子4aに導通接続することによりIC7を測定する。こ のような手順で、IC供給ステージ6に供給されたIC7を順次測定用ICソケ ット4に運び、測定する。Next, the XY stage 2 is moved to transfer the IC 7 onto the IC socket 4, and the cylinder 5 is operated to connect the IC 7 to the contactor 4 a of the measurement IC socket 4 in a conductive manner. Press down. In FIG. 3, the IC 7 is in contact with the IC socket 4. The measurement IC socket 4 is connected to a tester (not shown), and the IC 7 is measured by connecting the IC 7 to the contact 4a of the measurement IC socket 4 in a conductive manner. With such a procedure, the IC 7 supplied to the IC supply stage 6 is sequentially carried to the measurement IC socket 4 and measured.

【0015】 ところで、IC7の高温測定の時には、ICの半田メッキなどの半田屑が測定 用ICソケット4の接触子4aに付着することがある。したがって、測定用IC ソケット4の接触子4aの短絡を防止し、測定に支障が無いようにすべく、この 半田屑の付着を防止し、または付着した半田屑を除去する必要が生じる。このた め、予め設定された所定の個数のIC7の測定が終了したとき、図4に示すよう にハンド1がブラシユニット3上に位置するようにX―Yステージ2を移動させ る。By the way, when measuring the high temperature of the IC 7, solder scraps such as solder plating of the IC may adhere to the contacts 4 a of the measurement IC socket 4. Therefore, it is necessary to prevent the solder scraps from adhering or to remove the adhered solder scraps in order to prevent the contactor 4a of the measuring IC socket 4 from being short-circuited and not hindering the measurement. For this reason, when the measurement of a predetermined number of ICs 7 set in advance is completed, the XY stage 2 is moved so that the hand 1 is positioned on the brush unit 3 as shown in FIG.

【0016】 次に、シリンダ5を降下作動させ、ハンド1をブラシユニット3に接触させる ように降下させる。そして、図示しない吸引装置を作動させて吸着ノズル1aに よってブラシユニット3を吸着させる。Next, the cylinder 5 is lowered, and the hand 1 is lowered so as to contact the brush unit 3. Then, a suction device (not shown) is operated to suck the brush unit 3 by the suction nozzle 1a.

【0017】 この後、吸着ノズル1aによって吸着されたブラシユニット3を清掃対象たる 測定用ICソケット4上に移動させるべく、X―Yステージ2を移動させる。そ して、ブラシユニット3がICソケット4上に位置したときに、シリンダ5を作 動させてブラシユニット3を降下させて測定用ICソケット4に接触せしめると ともに、ハンド1を作動させてICソケット4の接触子4aをブラッシングし、 接触子4aに付着した半田屑を除去する。図5はブラシユニット3がICソケッ ト4をブラッシングしている状態である。After that, the XY stage 2 is moved in order to move the brush unit 3 sucked by the suction nozzle 1 a onto the measurement IC socket 4 to be cleaned. Then, when the brush unit 3 is positioned on the IC socket 4, the cylinder 5 is operated to lower the brush unit 3 and bring it into contact with the measurement IC socket 4, and at the same time, the hand 1 is operated to operate the IC. The contactor 4a of the socket 4 is brushed to remove the solder chips attached to the contactor 4a. FIG. 5 shows a state in which the brush unit 3 is brushing the IC socket 4.

【0018】 接触子4aの清掃が終了した後、即ち、予め定められた所定回数のブラッシン グが行われた後、ブラシユニット3は位置決め台8に戻され、ハンド1は再びI Cの測定選別するため、IC7を測定用ICソケット4に吸着移送して接続させ 、IC7を測定する。After the cleaning of the contactor 4a is completed, that is, after a predetermined number of times of brushing is performed, the brush unit 3 is returned to the positioning base 8 and the hand 1 is again measured and sorted by I C. In order to do so, the IC 7 is adsorbed and transferred to the measuring IC socket 4 to be connected, and the IC 7 is measured.

【0019】[0019]

【考案の効果】[Effect of device]

この考案は、ICをICソケットに移送するハンドがICソケット清掃用ブラ シユニットを移送するで、アクチュエータを別に設ける必要がなく、従来の清掃 機構に比べて、安価で小型な清掃機構を提供できる。 According to this invention, since the hand for transferring the IC to the IC socket transfers the brush unit for cleaning the IC socket, it is not necessary to separately provide an actuator, and an inexpensive and small cleaning mechanism can be provided as compared with the conventional cleaning mechanism. .

【0020】 また、この考案は、定期的に、かつ、自動的に測定用ICソケットを清掃する ので、半田屑などの付着による測定用ICソケットの接触子の短絡が生じること が確実に防止でき、測定ミスを生じることがなく、測定の信頼性を向上させるこ とができる。Further, according to the present invention, the measuring IC socket is cleaned regularly and automatically. Therefore, it is possible to surely prevent the contact of the measuring IC socket from being short-circuited due to the adhesion of solder dust or the like. The measurement reliability can be improved without causing measurement error.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この考案の実施例を示す構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram showing an embodiment of the present invention.

【図2】ハンド1がIC7を吸着し、上昇した状態図で
ある。
FIG. 2 is a state diagram in which the hand 1 adsorbs an IC 7 and rises.

【図3】IC7をICソケット4に接触させた状態図で
ある。
FIG. 3 is a diagram showing a state where an IC 7 is in contact with an IC socket 4.

【図4】ハンド1がブラシユニット3上に位置すた状態
図である。
FIG. 4 is a state diagram in which the hand 1 is located on the brush unit 3.

【図5】ブラシユニット3がICソケット4をブラッシ
ングしている状態図である。
FIG. 5 is a diagram showing a state where the brush unit 3 is brushing the IC socket 4.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ハンド 1a 吸着ノズル 2 X−Yテーブル 3 ブラシユニット 3a 溝 3b テーパ部 4 ICソケット 4a 接触子 5 シリンダ 6 供給ステージ 7 デバイス 8 位置決め台 8a テーパ部 1 Hand 1a Suction Nozzle 2 XY Table 3 Brush Unit 3a Groove 3b Tapered Part 4 IC Socket 4a Contactor 5 Cylinder 6 Supply Stage 7 Device 8 Positioning Stand 8a Tapered Part

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 【請求項1】 ICの電気的特性を自動で検査するIC
測定選別装置において、 測定するIC(7) を吸着搬送して測定用ICソケット
(4) に導通接続させるハンド(1) と、 ハンド(1) によって吸着されるブラシユニット(3) と、 ハンド(1) をX−Y方向に自由に移動させるX−Yステ
ージ(2)とを備え、 ハンドの移動によって測定ICソケット(4) をブラッシ
ングすることを特徴とするIC測定選別装置。
1. An IC for automatically inspecting the electrical characteristics of the IC.
IC socket for measurement by sucking and transporting IC (7) to be measured in the measurement / sorting device
A hand (1) electrically connected to (4), a brush unit (3) attracted by the hand (1), and an XY stage (2) that freely moves the hand (1) in the XY directions. An IC measurement / selection device, characterized in that the measurement IC socket (4) is brushed by moving a hand.
【請求項2】 ブラシユニット(3) の吸引側には、吸着
ノズル(1a)が嵌り込む大きさの溝部(3a)が形成されるこ
とを特徴とする請求項1記載のIC測定選別装置。
2. The IC measuring and sorting apparatus according to claim 1, wherein a groove portion (3a) having a size into which the suction nozzle (1a) is fitted is formed on the suction side of the brush unit (3).
JP1993051924U 1993-08-31 1993-08-31 IC measuring and sorting equipment Expired - Fee Related JP2602853Y2 (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011059010A (en) * 2009-09-11 2011-03-24 Ueno Seiki Kk Test contact, its cleaning method, and semiconductor manufacturing device

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