JPH0715666A - 固体撮像素子の信号読み出し処理方式及びそれに用いる固体撮像素子 - Google Patents

固体撮像素子の信号読み出し処理方式及びそれに用いる固体撮像素子

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JPH0715666A
JPH0715666A JP5178557A JP17855793A JPH0715666A JP H0715666 A JPH0715666 A JP H0715666A JP 5178557 A JP5178557 A JP 5178557A JP 17855793 A JP17855793 A JP 17855793A JP H0715666 A JPH0715666 A JP H0715666A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 温度変化による暗時FPNの変化に追従し、
常に暗時FPNを安定に抑圧できるようにした固体撮像
素子の信号読み出し処理方式及びそれに用いる固体撮像
素子を提供する。 【構成】 第1フレームにおいて、CMDの画素として
用いた固体撮像素子1の1行目の明時信号を読み出した
後リセットし、その直後の暗時信号を読み出してFPN
メモリ9に記憶し、次の第2フレームでは2行目の暗時
信号を、更に次の第3フレームでは3行目の暗時信号を
FPNメモリ9に記憶し、3フレーム毎にFPNメモリ
9に記憶された暗時信号をリフレッシュする。そして減
算器11で明時信号からFPNメモリ9に記憶した暗時信
号をタイミングを合わせて減算し、FPNを抑圧した映
像信号を出力させる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、固体撮像素子の信号
読み出し処理方式及びそれに用いる固体撮像素子に関
し、特に温度変化等による暗時固定パターンノイズの変
化に追従し、常に暗時固定パターンノイズを安定に抑圧
できるようにした動画撮像も可能な固体撮像素子の信号
読み出し処理方式及びそれに用いる固体撮像素子に関す
る。
【0002】
【従来の技術】従来、光電変換機能と蓄積電荷の増幅,
読み出し及びリセット機能をもつ、例えばSIT(Stat
ic Induction Transistor ),AMI(Amplified MOS
Imager),CMD(Charge Modulation Device)で代表
される内部増幅型光電変換素子を単位画素として用いた
固体撮像素子により画像を再生する装置が知られてい
る。かかる画像再生装置においては、固体撮像素子固有
の固定パターンノイズ(以下、FPNと略称する)をキ
ャンセルするために、フレームメモリ等の記憶手段を設
け、該記憶手段に各画素毎にFPNを記憶し、固体撮像
素子の各画素から得られた画像情報から、各画素に対応
するFPNを減算して画像信号を得るようにしたFPN
抑圧手段が必要となる。
【0003】図15は、かかる内部増幅型光電変換素子に
よる画像再生装置において用いられている、例えば特開
昭64−39171号等に開示されている従来のFPN
抑圧手段のブロック構成図である。図15において、101
は固体撮像素子、102 は増幅回路、103 はA/D変換
器、104 は切換スイッチ、105 はフレームメモリ等から
なるFPNメモリ、106 は減算器、107 はD/A変換器
である。このように構成された画像再生装置において、
固体撮像素子101 から出力される画像信号は増幅回路10
2 で増幅され、A/D変換器103 によりデジタル信号に
変換される。まず入射光を遮断した状態で固体撮像素子
101 から出力される暗時信号を、切換スイッチ104 をb
側に接続して、FPNメモリ105 に記憶する。この暗時
信号がFPN信号となる。暗時FPN記憶動作の終了
後、切換スイッチ104 をa側に切り換え接続し、遮光を
解除する。これにより、固体撮像素子101 から出力され
る光生成電荷による明時信号は、A/D変換器103 でA
/D変換されて、減算器106 において、FPNメモリ10
5 内に記憶されたFPN信号と繰り返し減算処理され、
FPNが抑圧された画像信号となり、次いでD/A変換
器107 に入力されD/A変換されてビデオ信号として出
力される。なお、FPNメモリには、通常1フレーム又
は数フレームの平均された暗時信号が記憶される。
【0004】ここで、暗時FPN記憶時に、固体撮像素
子を遮光する代わりに、蓄積した光生成電荷をリセット
した直後、あるいはリセットしながら固体撮像素子から
信号を読み出して得られる暗時信号を、暗時FPN信号
とすることもできる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところで、図15に示し
た従来のFPN抑圧手段は、暗時のFPN信号を予めF
PNメモリ105 に記憶させておいて、光生成電荷に応じ
た画像信号から前記暗時FPN信号を減算してビデオ信
号を出力させるものであるため、温度変化等により暗時
FPNが変化した場合、この変化に追従できず、常に安
定してFPNを抑圧することができないという問題点が
ある。
【0006】また上記温度変化対策のため、撮像途中で
固体撮像素子を間欠的に遮光して暗時FPN信号を取り
込む方法が知られている。この方法により、連続撮像動
作中に、例えば1フレーム分の暗時信号をFPNメモリ
に記憶させるためには、固体撮像素子からは図16の
(A)に示すような出力が必要となり、時刻td におい
て、固体撮像素子からは、光生成電荷の蓄積されていな
い暗時信号が出力される。この固体撮像素子の出力をそ
のまま映像出力とすると、図16の(B)に示すように、
時刻td において、映像出力が得られず、モニタには時
刻td のタイミングで、何も映らない画面のとぎれた状
態となる。この画面のとぎれを、図16の(C)に示すよ
うに、直前の撮像画面を繰り返し出力して補間しても、
動画に対しては動きが不自然になり、大きな問題とな
る。
【0007】本発明は、従来の内部増幅型光電変換素子
のFPN抑圧手段の上記問題点を解消するためになされ
たもので、温度変化による暗時FPNの変化に追従し、
常に暗時FPNを安定に抑圧できるようにした動画撮像
にも対応可能な固体撮像素子の信号読み出し処理方式及
びそれに用いる固体撮像素子を提供することを目的とす
る。
【0008】
【課題を解決するための手段及び作用】上記問題点を解
決するため、本発明は、内部増幅型光電変換素子を単位
画素とし該単位画素をマトリクス状に配列してなるXY
アドレス型の固体撮像素子の信号読み出し処理方式にお
いて、一垂直走査期間のある特定の行の各画素の光生成
電荷による明時信号を読み出した後、前記特定行の各画
素の光生成電荷をリセットした直後又はリセットしなが
ら光生成電荷のない状態の暗時信号を読み出して前記特
定行の各画素の暗時信号を外部メモリに記憶する第1の
ステップと、前記特定行を一垂直走査期間毎又は複数垂
直走査期間毎に変化させながら、前記特定行の各画素の
暗時信号を外部メモリに記憶する第1のステップを各特
定行に対して順次実行し、複数垂直走査期間で全有効行
の各画素の暗時信号を前記外部メモリへ記憶させる第2
のステップと、全有効行の各画素の暗時信号を外部メモ
リへ記憶させる前記複数垂直走査期間毎に、外部メモリ
へ記憶された全有効行の各画素の暗時信号をリフレッシ
ュさせるか、または前回の記憶ステップで記憶された暗
時信号と新たに読み出された暗時信号を所定の比で加算
して記憶させる第3のステップと、前記外部メモリに記
憶した各行の画素の暗時信号を読み出し、タイミングを
合わせて対応する各行の画素の明時信号から減算処理す
る第4のステップとを備えて、固体撮像素子の信号読み
出し処理を行うものである。
【0009】このように構成した信号読み出し処理方式
においては、外部メモリに記憶された暗時信号は複数垂
直走査期間毎の短時間毎にリフレッシュ又は所定の比で
加算されるので、温度変化等により暗時FPNが変化し
た場合でも、その変化に十分に追従し常に安定に暗時F
PNを抑圧した画像信号が得られる。また撮像途中にお
いて暗時信号を読み出す期間は、一垂直走査期間中僅か
1〜数ライン期間であり、撮像の連続性が損なわれるこ
とはなく、動画に対しても何ら問題を生ぜず、十分に対
応させることができる。
【0010】
【実施例】次に、実施例について説明する。図1は、本
発明に係る固体撮像素子の信号読み出し処理方式の第1
実施例を説明するための信号読み出し処理装置のブロッ
ク構成図である。図1において、1は内部増幅型光電変
換素子を画素として用い、該画素をマトリクス状に配置
した受光部2を備えた固体撮像素子で、この実施例では
内部増幅型光電変換素子としてCMDを用いたものを示
している。受光部2は説明を簡単にするため、3行×L
列の構成としている。3は垂直走査回路で、読み出す行
を選択する走査信号を送出するものである。4は水平走
査回路で、読み出し状態にある行のL個のCMD画素を
順次読み出す走査信号を送出するものである。5は増幅
器で、固体撮像素子1の画素出力信号を増幅するもので
あり、該増幅器5で増幅された出力信号は、A/D変換
器6でA/D変換されて、1Hデレイライン7と、切換
スイッチ8の入力端子bと、FPNメモリ9へそれぞれ
入力されるようになっている。切換スイッチ8は、制御
信号入力端子10より入力される制御信号により、入力端
子aに入力される1Hデレイライン7の出力信号、入力
端子bに入力される1Hデレイライン7の入力信号(A
/D変換器6の出力信号)、入力端子cに入力されるG
NDすなわちデジタル00 ・・・・ 0信号のいずれかを選
択出力するようになっている。11は減算器で、切換スイ
ッチ8で選択された信号から、FPNメモリ9の出力信
号を減算するものであり、減算器11の出力信号はD/A
変換器12でD/A変換され、ビデオ信号が出力されるよ
うになっている。
【0011】次に、このように構成されている信号読み
出し処理装置の動作について説明する。図2及び図3
は、この動作を説明するための各部の信号波形を示すタ
イミングチャートである。まず固体撮像素子1におい
て、垂直走査回路3を駆動して読み出す選択行のCMD
画素を読み出し状態にして、水平走査回路4により読み
出し状態にある行のCMD画素の信号を順番に読み出
す。垂直走査回路3により選択した行のCMD画素の読
み出し状態は、選択した行のCMD画素の共通ゲートラ
イン電位を読み出し電位VRDにすることで可能になる。
このとき非選択行の共通ゲートライン電位は蓄積電位V
STにしている。また、1行分の各画素の蓄積した光生成
電荷による信号を読み出した後、蓄積電荷をリセットす
るために、水平ブランキング期間に共通ゲートライン電
位をリセット電位VRST にする。なお、画素としてCM
Dを用いた場合は、ブルーミング抑制のため水平ブラン
キング期間で、ゲート電位を蓄積電位VSTより高いオー
バーフロー電位VOFとして、過剰蓄積電荷の掃き出しを
行うオーバーフロー動作も行っている。
【0012】図2においては、固体撮像素子1の1〜3
行の共通ゲートライン電位波形を、それぞれA,B,C
で示している。このゲートライン電位波形A,B,Cか
らわかるように、本実施例においては、第1フレームで
は、1行目の光生成電荷を蓄積した状態の明時信号を、
t=0〜1の期間に読み出して、t=1の時点で、蓄積
電荷をリセットしたのち、再びt=1〜2の期間で1行
目の画素の信号を読み出すようにゲートライン電位を制
御している。これは、t=1〜2の期間では光生成電荷
の蓄積していない状態の暗時信号を読み出していること
に相当する。
【0013】内部増幅型光電変換素子は、蓄積電荷を増
幅するトランジスタの特性ばらつきによるFPNを発生
するが、上記暗時信号の読み出しは暗電流をゼロとした
場合の暗時FPN(以下、この意味で用いる)を読み出
していることになる。暗電流は最近非常に小さく抑えら
れており、通常の固体撮像素子の使用条件下では無視で
きるようになっているため、暗時FPNはほぼトランジ
スタの特性のばらつきにより発生しているものを意味す
る。暗時FPNは光量に無関係に一定レベル存在し、最
初に読み出した光生成電荷に応じた明時信号にオフセッ
ト的に重畳されている。
【0014】次いで、同様にして第2フレームでは2行
目の暗時信号を、第3フレームでは3行目の暗時信号を
読み出し、第4フレームでは再び1行目の暗時信号を読
み出すようにしている。なお、通常は各フレーム間には
垂直ブランキング期間が存在するが、図2において
は、。各フレームのうち5ラインが垂直ブランキング期
間に相当する。垂直走査回路3から出力されるこのよう
なゲートライン電位を印加することにより読み出され
た、明るさが一様な被写体を撮像した場合の信号波形、
及び増幅されA/D変換された信号波形を、図2のD,
Eで示す。なお、上記信号波形E及び次に述べる信号波
形F〜Lは、デジタル信号であるが、わかり易いように
アナログ信号として波形を示している。
【0015】上記出力信号波形D,Eからわかるよう
に、第1フレームでは、1行目明時信号1Sに次いで、
1行目暗時信号1Fが読み出され、1S,1F,2S,
3Sの順番で固体撮像素子1から信号が読み出される。
なお、1〜3行目の明時信号は1S,2S,3Sで表
し、暗時信号は1F,2F,3Fで表すことにする。同
様に第2フレームでは、1S,2S,2F,3Sの順
番、第3フレームでは1S,2S,3S,3Fの順番と
なり、第4フレームでは再び第1フレームと同一の信号
読み出し順番に戻る。
【0016】これらの出力信号Eを1Hデレイライン7
で1ライン遅延した出力信号を図2のFで示し、各行の
明時信号及び暗時信号にはダッシュを付して示してい
る。
【0017】切換スイッチ8は、入力端子10に印加する
制御信号Gの制御電圧Va ,Vb ,Vc によって、それ
ぞれ入力端子a,b,cへの入力信号を選択し出力する
ようになっており、図3においてGで示す制御信号波形
を与えることにより、切換スイッチ8の出力端子から
は、図3における信号波形Hで示すように、暗時信号の
抜けた連続した明時信号が得られる。
【0018】一方、FPNメモリ9は、固体撮像素子1
から暗時信号が出力される期間のみライトイネーブルと
し、暗時信号を書き込み記憶するようになっている。す
なわち、第1フレームでは1行目の暗時信号1Fを、第
2,第3の各フレームでは、それぞれ2,3行目の暗時
信号2F,3Fを書き込むことになり、したがって第
1,第2,第3フレームの期間で全有効行の暗時信号の
書き込み記憶動作が完了する。そしてFPNメモリ9か
らは、切換スイッチ8の出力信号Hに、タイミングを一
致させて、暗時信号が連続して読み出されるようになっ
ており、このFPNメモリ9から読み出され暗時信号を
図3のIに示す。減算器11では、切換スイッチ8の出力
信号HからFPNメモリ9からの暗時信号Iを減算し、
これにより、暗時FPNが抑圧されたビデオ信号Jが得
られる。
【0019】図1に示した実施例では、3フレーム毎に
FPNメモリ9に記憶した暗時FPNがリフレッシュさ
れるが、NTSC方式に対応した行数をもつ通常の固体
撮像素子について考えると、暗時FPNは1フィールド
に1行ずつ書き込まれ、525フィールドで全行の暗時信
号の記憶が完了するから、暗時信号リフレッシュ周期は
525 フィールドとなり、1/60(秒)×525 ≒9秒であ
る。このリフレッシュ周期は周囲温度変化の時間に比べ
て十分小さい時間であり、周囲温度変化に対しての暗時
FPNの変化に完全に追従できる。なお、9秒毎に完全
にFPNメモリに記憶されている信号をリフレッシュせ
ずに、一般的なノイズリデュースの方法を用いて、記憶
している信号と新たに読み出した信号を適当な比で加算
し、ランダムノイズを抑圧して再記憶する方法が有効で
あることは言うまでもない。
【0020】また、全行の暗時FPNを取り込むまでに
9秒かかるので、電源投入後、暗時FPNの抑圧された
画像信号が出力されるまで9秒かかることになる。この
時間は、通常は装置の立ち上げ時間として許容できる範
囲であるが、例えば電源投入時にはオーバーフロー電位
OFをリセット電位VRST に等しくして、水平ブランキ
ング毎にリセット動作を行い、全行の暗時信号が出力す
る状態にして、連続して暗時信号をFPNメモリに書き
込むことによって、最低1フレーム期間(1/30秒)
で、全行の暗時FPNをFPNメモリに記憶する方法を
用いることにより、立ち上げ時間の短縮化を図ることが
可能である。
【0021】図1に示した第1実施例においては、デジ
タル信号間で明時信号から暗時FPNの減算処理を行っ
ているが、暗時信号のみデジタル化してFPNメモリに
記憶し、FPNメモリの出力を再度アナログ信号に変換
したのち、アナログ信号の明時信号から減算するように
構成しても問題はない。図4は、このようにアナログ信
号間で減算処理を行うようにした第2実施例を説明する
ためのブロック構成図で、図1に示した第1実施例と同
一又は対応する部材には同一符号を付して示している。
図4において、13はアナログ信号の明時信号を1ライン
遅延させるための1Hデレイライン、14は切換スイッ
チ、16はアナログ信号間の減算処理を行う減算器であ
る。
【0022】図1に示した第1実施例は、暗時FPNの
減算処理をデジタル方式で行うためFPN減算の精度が
良いが、映像信号をデジタル化するため多ビットのA/
D変換器を使用しないとS/Nが劣化するので、高価で
あるという問題点がある。これに対し、上記第2実施例
は、暗時FPNの減算処理をアナログ方式で行うため、
FPN減算精度は第1実施例に比べて劣るが、A/D変
換器のビット数は第1実施例に比べて小さくて済み、経
済的に有利であるという利点がある。
【0023】上記第1及び第2実施例においては、明時
信号読み出しの途中で暗時信号を読み出すために、暗時
信号を読み出す行の前後で蓄積時間が1ライン期間分異
なる現象が生ずる。すなわち図2に示したタイミングチ
ャートからわかるように、第2フレームにおいて1行目
で読み出す生成電荷の蓄積期間は、t=2〜5の3ライ
ン、2行目についてはt=3〜6の3ライン、3行目に
ついてはt=4〜8の4ラインとなる。以下同様に第3
フレームの1,2,3行目は、それぞれ4,3,3ライ
ンとなり、第4フレームの1,2,3行目は、それぞれ
4,5,4ラインとなる。
【0024】この蓄積時間の差は、3行の固体撮像素子
で1フレームに1行の暗時信号を読み出す場合は、4ラ
インを中心として±1ライン期間分である。N行の固体
撮像素子で1フレームに1行の暗時信号を読み出す場合
は、正確には垂直ブランキング期間によるが、Nライン
を中心として±1ライン期間となる。走査線525 ライン
のNTSC方式に対応した一般の固体撮像素子において
は、1ラインの蓄積時間差による蓄積電荷量の差は、フ
ィールド蓄積読み出しの場合、1/( 525/2)×100
≒0.4%に過ぎず、通常は実用上問題がない。
【0025】しかし、用途によっては問題となる場合が
あるので、この蓄積時間差の問題を解消できるようにし
た第3実施例について説明する。図5は第3実施例を説
明するための信号読み出し処理装置のブロック構成図で
ある。この実施例においては、図1に示した実施例にお
けるD/A変換器12の前段に乗算器17を設け、信号レベ
ル補正を加えるようにするものである。乗算器17は、係
数入力端子18から入力された乗算器係数を、入力信号に
乗算する。図3のタイミングチャートに、係数波形をK
で示す。ここでK1 :K0 :K2 =1/3:1/4:1
/5に設定すれば、信号レベル差を補正することができ
る。補正後の信号波形をLで示す。
【0026】なお、上記第1〜第3実施例においては、
1フレーム期間に1行の暗時信号を読み出すために、明
時信号の読み出しの連続性が、1行読み出し期間とぎれ
ることになる。しかし、走査線525 ラインのNTSC方
式に対応した一般の固体撮像素子においては、1行の読
み出し期間は約64μsec であり、この期間に行間の読み
出しの連続性が損なわれても、視覚的には検知されず問
題とならない。すなわち動画撮像上も問題とならない。
【0027】また、上記各実施例では、1フレームに1
行ずつ暗時信号を読み出す場合について説明を行った
が、1フレームに数行ずつ連続して、あるいは間隔をあ
けて暗時信号を読み出すようにしても構わない。例え
ば、N行の受光部をもつ固体撮像素子で1フレームに2
行ずつ連続して読み出す場合は、次のように固体撮像素
子から信号が読み出される。 第1フレームでは、1S,1F,2S,2F,3S,4
S,5S,・・・ NS 第2フレームでは、1S,2S,3S,3F,4S,4
F,5S,・・・ NS また、1フレームに2行ずつ2行の間隔をあけて読み出
す場合は、次のように信号が読み出される。 第1フレームでは、1S,1F,2S,3S,4S,4
F,5S,・・・ NS 第2フレームでは、1S,2S,2F,3S,4S,5
S,5F,・・・ NS
【0028】このような1フレームに2行ずつの暗時信
号を読み出す場合は、蓄積時間は最大±2ライン増減す
ることになり、また読み出しの連続性も最大2ライン期
間とぎれることになるが、NTSC方式対応の固体撮像
素子においては、それぞれ信号レベル差は0.8%、とぎ
れる時間は約128 μsec であり、実用上問題とならな
い。また信号レベル差については、図5に示した第3実
施例の方法を用いることにより補正可能である。
【0029】また、上記各実施例では、フレーム毎に暗
時信号を読み出す行を変化させるようにしたものを示し
たが、暗時信号を読み出す行は、複数フレーム毎に変化
させるようにしても、同様に本発明による効果が得られ
る。
【0030】上記固体撮像素子の信号読み出し処理方式
に関する発明は、暗時信号を記憶したFPNメモリの内
容の更新を例えば1フレーム期間に、1行又は数行分ず
つ行う方式であるが、この方式を従来の内部増幅型光電
変換素子を用いたXYアドレス型の固体撮像素子に、そ
のまま適用することは困難である。次に、上記固体撮像
素子の信号読み出し処理方式を実施するために用いる固
体撮像素子について説明する。
【0031】まず、本発明に係る内部増幅型光電変換素
子を用いたXYアドレス型の固体撮像素子の概要を、図
6の概念図に基づいて説明する。図6において、21は水
平走査回路、22は垂直走査回路、23はCMD画素を3行
3列に並べて構成した受光部、24は水平走査回路21に入
力されるクロック群、25は垂直走査回路22に入力される
クロック群、26は信号出力端子、27はCMDのドレイン
電源である。なおCMDの動作を制御するために必要な
蓄積,読み出し,リセット,オーバーフロー電源は図示
を省略している。
【0032】CMDを用いたXYアドレス型の固体撮像
素子では、垂直走査回路22により選択され読み出し状態
にある行の信号を、水平走査回路21により順番に読み出
すようになっており、垂直走査回路22はシフトレジスタ
とCMDの動作を制御する4値のゲート電位を発生する
レベルミックス回路からなり、水平走査回路21はシフト
レジスタと信号選択スイッチとで構成されている。垂直
及び水平走査回路22,21に含まれるシフトレジスタは、
入力されるクロックに従い信号を順次シフトさせていく
ものである。図7に、図6に示した固体撮像素子におけ
る信号出力の態様と、垂直走査回路22から各行のゲート
ラインに出力されるゲート電位を示す。本発明における
固体撮像素子においては、第1フレームでは、第1行の
画素の光生成電荷による入射光情報をもった明時信号1
Sの読み出しに続いて、第1行の入射光情報をリセット
した後、第1行の入射光情報をもたない暗時信号1Fを
読み出す。次に、第2行,第3行の入射光情報をもった
明時信号2S,3Sを読み出す。第2フレームでは、第
1行の入射光情報をもった明時信号1Sを読み出した
後、第2行の入射光情報をもった明時信号2Sの読み出
しに続いて、第2行の入射光情報をリセットした後、第
2行の入射光情報をもたない暗時信号2Fを読み出す。
次に、第3行の入射光情報をもった明時信号3Sを読み
出す。このように、連続するフレームにおいて、入射光
情報をもった明時信号に続き、入射光情報をもたない信
号すなわち暗時信号を読み出す行を変化させ、一定のフ
レーム期間で、1フレーム分の暗時信号を更新させるこ
とができるように、垂直及び水平走査回路が構成されて
いる。
【0033】次に、本発明に係る固体撮像素子の具体的
な実施例について説明する。CMDを用いた固体撮像素
子においては、垂直走査回路に含まれるレベルミックス
回路から出力される4値のパルスにより、CMD画素の
蓄積,読み出し,リセット,オーバーフローの各動作が
制御される。また、水平走査回路は垂直走査回路により
読み出し状態に選択された行の画素の出力を順次読み出
す働きをする。したがって、本発明による固体撮像素子
は、従来のCMDを用いた固体撮像素子の垂直走査回路
を変更することにより実現可能である。図8は、CMD
を用いた固体撮像素子の第1の実施例の垂直走査回路を
示す回路構成図であり、本実施例では3行3列の受光部
に対応させて3段の垂直走査回路を示している。
【0034】図8において、31は2個のクロックドイン
バータからなるシフトレジスタユニットを縦続接続して
なるシフトレジスタで、32はシフトレジスタユニット、
33-1はシフトレジスタユニットを構成する第1のクロッ
クドインバータ、33-2はシフトレジスタユニットを構成
する第2のクロックドインバータを示している。34はレ
ベルミックス回路で、本件出願人が特願平4−5607
6号で提案したものを用いており、35はレベルミックス
回路を構成するレベルミックス回路ユニットである。ま
た36はリセット電源、37は読み出し電源、38はオーバー
フロー電源、39は蓄積電源である。そして、シフトレジ
スタ31の第1のクロックドインバータ33-1には、クロッ
クφV2とその反転クロック/φV2及びスタートパルスφ
VST を入力し、第2のクロックドインバータ33-2には、
クロックφV1とその反転クロック/φV1を入力してい
る。またレベルミックス回路34のレベルミックス回路ユ
ニット35を構成しているトランジスタQofには、クロッ
ク/φV1を、同じくトランジスタQacにはクロックφV1
を入力し、またリセット電源36に接続されたトランジス
タQrsにはクロック/φV3(クロックφV3の反転クロッ
ク)を、読み出し電源37に接続されているトランジスタ
rdには、クロックφV3を入力している。そして、シフ
トレジスタ31を構成する各シフトレジスタユニット32の
出力である選択信号S1 ,S2 ,S3 は、インバータを
介してレベルミックス回路34の各ユニット35へ入力さ
れ、各レベルミックス回路ユニット35から各行のゲート
ラインにゲート電位G1 ,G2 ,G3 が出力されるよう
になっている。
【0035】次に、このように構成された垂直走査回路
の動作を、図9に示した選択信号S1 ,S2 ,S3 及び
ゲート電位G1 ,G2 ,G3 のタイミングチャートを参
照しながら説明する。図9に示すように、第1フレーム
においては時刻t1 で、クロックφV2のハイレベルを出
力しないようにしている。したがって第1段目のシフト
レジスタユニットからは選択信号S1 が出力され、時刻
1 の直前で選択状態にある行、すなわち第1行がクロ
ックφV1の2周期分にわたり選択状態となる。また選択
行に対して、リセット電位を供給するタイミングを決め
るクロックφV3は、時刻t1 においてもハイレベルが失
われないようにしており、したがって第1行は選択状態
の前半は、入射光情報をもった明時信号が読み出され、
入射光情報をリセットし、選択状態の後半に、入射光情
報をもたない信号すなわち暗時信号が連続して読み出さ
れる。次の第2フレームでは、時刻t2 で、クロックφ
V2のハイレベルが失われるようにしている。したがって
時刻t2 の直前では、第2行が選択状態であるので、こ
のフレームでは第2行がクロックφV1の2周期分にわた
り選択状態となる。そして、先のフレームにおける第1
行と同様の読み出しが第2行に対して行われる。
【0036】このように、本実施例によれば、1フレー
ムの中、特定の1行に対して、入射光情報をもった明時
信号を読み出した後、入射光情報をリセットし、暗時信
号を読み出すことができるようになっている。また、連
続するフレームで、この特定の行を変化させることによ
り、有限のフレーム期間で、1フレーム分の暗時信号を
得ることができる。フレームメモリからなるFPNメモ
リの内容の中、暗時信号を得る画素に対応する内容につ
いてメモリの内容を更新していくことにより、順次FP
Nメモリに記憶した暗時信号を更新することができる。
【0037】上記第1実施例においては、図10に示す各
行のゲート電位G1 ,G2 ,G3 のタイミングチャート
からわかるように、各行の蓄積時間が不揃いになるとい
う問題がある。すなわち、第2フレームでの各行の蓄積
時間は、第1行及び第2行が3H(1Hは1水平走査期
間)、第3行が4H、第3フレームでは、第1行が4
H、第2行及び第3行が3H、第4フレームでは、第1
行及び第3行が4H、第2行が5Hとなる。このような
蓄積時間の不揃いは、NTSC方式を考えた場合、走査
線数に対して、±1Hであるので、先に述べたように約
0.4%となり、殆どの場合には問題とならない。しか
し、1フレーム分の画像を静止画としてみる場合は、フ
レーム内に蓄積時間の違った部分の境界があると、その
部分が無視できない場合がある。
【0038】この問題は、ある垂直走査期間内の特定の
行(明時信号を読み出した後リセットし、暗時信号を読
み出す行)に先行して走査される行、及び、次の垂直走
査期間で特定の行となる行より後に走査される行に対し
て、信号読み出し期間中又は信号読み出し期間直後の光
生成電荷のリセットに加え、一水平走査期間後に光生成
電荷のリセット動作を行うことで解決できる。
【0039】上記の垂直走査期間内の蓄積時間を揃える
ためのリセット動作を行う行を、図10に基づいて更に詳
細に説明する。前者の行は、図10の第3フレームに着目
すると、特定の行は第3行であるので、これに先行して
走査される第1,第2行に相当し、後者の行は、第1フ
レームに着目すると、次フレームすなわち第2フレーム
では第2行が特定の行となるので、第2行より後の行す
なわち第3行に相当する。第4フレームにて読み出され
る各行については、第1,第2行は第3フレームでの特
定の行が第3行であるので、信号読み出し中又は信号読
み出し直後のリセットに加え、一水平走査期間後にリセ
ット動作を行う。更に第4フレームの特定の行は第1行
であるので、第2,第3行に対しても信号読み出し中又
は信号読み出し直後のリセットに加え、一水平走査期間
後にリセット動作を行う。ここで、第2行に対して、前
者と後者による信号読み出し期間の一水平走査期間後の
リセット動作が重複することになるが、このような場合
は信号読み出し期間後に、二水平走査期間後にまでリセ
ット動作を行うことで、全ての行の蓄積時間を3Hに統
一することができる。また上述においては、光生成電荷
のリセット動作が、ある行に対して、一垂直走査期間内
に複数回行われるように説明をしたが、一垂直走査期間
内の時間的に最後のリセット動作以外を省略しても、機
能的には問題はない。
【0040】次に、図8に示した第1実施例の上記の問
題を解決できるようにした第2実施例の垂直走査回路の
回路構成図を図11に示す。なお図11においては、図8に
示した第1実施例と同一又は同一機能を有する構成要素
には同一符号を付して示している。図11において、40は
選択信号制御回路で、シフトレジスタ31とレベルミック
ス回路34との間に設けられており、この実施例では、第
1行の選択信号S1 は、2段目のシフトレジスタユニッ
トからの出力信号SR2 とコントロールクロックφcnt
のAND出力と、1段目のシフトレジスタユニットから
の出力信号SR1 のOR出力で得られるように構成して
いる。
【0041】次に、このように構成した第2実施例の動
作を図12に示したタイミングチャートに基づいて説明す
る。選択信号制御回路40を用いることにより、第n行
は、第n行が選択状態であるときに加えて、第n+1行
が選択状態で、コントロールクロックφcnt がハイレベ
ルのときも選択状態となる。この実施例では第2フレー
ム及び第3フレームでは、全ての行の蓄積時間は3Hと
なる。しかし、第4フレームでは、第1行の蓄積時間が
3H、第2行及び第3行の蓄積時間が4Hとなり、第2
及び第3フレームと蓄積時間の不揃いが残る。本実施例
では、受光部が3行からなる固体撮像素子について述べ
ているが、一般に固体撮像素子はより多くの行で構成さ
れており、有効画素部の周辺には映像信号に関係しない
画素を配置している。本実施例の第4フレームの場合に
ついて考えると、第4フレーム内で蓄積時間の揃ってい
ないのは第1行であり、この行は実際には映像信号には
関係しないようにすることができる。したがって、第4
フレーム内の蓄積時間は実質的に揃っていると考えるこ
とができる。この場合、第2及び第3フレームと第4フ
レームの間では、蓄積時間が1H揃わないことになる
が、これはNTSC方式においては約500 フレームに1
回もしくは数回のことであり、問題となることは殆どな
い。また、1フレーム内の蓄積時間は揃っているので、
1フレームの画像を静止画として出力しても、特に異常
は生じない。また、蓄積時間が異なることによる信号レ
ベル差は、図5に示した信号読み出し処理方式の実施例
で説明した信号レベル差を補正する乗算器を用いること
により、1フレーム単位で補正することができる。
【0042】上記第1実施例におけるクロックφV2及び
第2実施例の選択信号制御回路40で用いるコントロール
信号φcnt は、簡単な論理回路により、他のクロック信
号等により発生させることができる。例えば、図13に示
す構成の回路により、クロックφV1,φV3,スタートパ
ルスφVST 及びコントロール信号φcnt1を用いることに
より、図14に示すようなタイミングでクロックφV2及び
コントロール信号φcnt を発生させることができる。
【0043】すなわち、図13において、FF1はDタイ
プフリップフロップであり、FF2〜FF4はR端子に
“H”レベルを加えるとQ端子が“L”レベルとなるリ
セット付Dタイプフリップフロップである。そしてFF
1〜FF4のクロック端子にはクロックφV1を、FF2
〜FF4のR端子にはコントロール信号φcnt1とスター
トパルスφVST を入力したAND1の出力端子を接続す
る。また、FF1のD端子にはコントロール信号φcnt1
を入力し、FF2〜FF4のD端子には前段のDタイプ
フリップフロップのQ出力を入力するように接続する。
これにより、FF2〜FF4のQ出力を入力したNOR
の出力と、クロックφV1をインバータNOTを介して反
転した出力を入力したAND2の出力により、コントロ
ール信号φcnt を形成することができる。またクロック
φV2はFF1の/Q出力(Q出力の反転出力)とクロッ
クφV3を入力したAND3の出力により形成することが
できる。
【0044】このようなクロックあるいはコントロール
信号を発生する回路は、固体撮像素子と同一基板上に殆
ど面積の増大なしに構成することが可能で、この回路を
固体撮像素子と同一基板上に構成することによって、入
出力端子を低減することができる。
【0045】以上説明した実施例においては、入射光情
報をもった明時信号に続いて入射光情報をもたない暗時
信号を読み出す行(特定行)は、1フレーム当たり1行
とした例を示したが、この特定行は、先の信号読み出し
処理方式の実施例において述べたように、1フレーム当
たり1行である必要はなく、1フレーム当たり連続する
複数の行、又は1フレーム当たり間隔をあけた複数の行
とするように垂直走査回路を構成しても構わない。な
お、図11に示した第2実施例において、特定行を1フレ
ーム当たり複数の行とする場合には、信号読み出し期間
直後のリセット動作に加える一水平走査期間後のリセッ
ト動作は、複数水平走査期間後に加えるように構成すれ
ばよい。
【0046】また、上記実施例では、受光部を構成する
画素としてCMDを用いたものを示したが、画素はCM
Dに限られるものではなく、SITやAMI等のXYア
ドレス型の固体撮像素子を構成できるものであれば、何
れでも用いることができる。また、上記実施例において
は、垂直走査回路をクロックドインバータを縦続接続し
たシフトレジスタを用いて構成したものを示したが、他
のダイナミック型シフトレジスタあるいはスタティック
型シフトレジスタを用いて構成しても、同様な効果が得
られる。
【0047】
【発明の効果】以上実施例に基づいて説明したように、
本発明に係る固体撮像素子の信号読み出し処理方式によ
れば、動画及び静止画のいずれに対してもリアルタイム
に暗時FPNが抑圧され、温度変化等により暗時FPN
が変化した場合でも直ちにその変化に追従し、常に安定
に暗時FPNを抑圧した画像信号を得ることができる。
また、本発明に係る固体撮像素子によれば、上記信号読
み出し処理方式に容易に適用できる固体撮像素子を実現
することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る固体撮像素子の信号読み出し処理
方式の第1実施例を説明するための信号読み出し処理装
置を示すブロック構成図である。
【図2】図1に示した装置の動作を説明するためのタイ
ミングチャートである。
【図3】図1に示した装置の動作を説明するためのタイ
ミングチャートである。
【図4】本発明の第2実施例を説明するための信号読み
出し処理装置を示すブロック構成図である。
【図5】本発明の第3実施例を説明するための信号読み
出し処理装置を示すブロック構成図である。
【図6】本発明の固体撮像素子を説明するための概念図
である。
【図7】図6に示した固体撮像素子の動作を説明するた
めのタイミングチャートである。
【図8】本発明の固体撮像素子の具体的な第1実施例の
垂直走査回路を示す回路構成図である。
【図9】図8に示した垂直走査回路の動作を説明するた
めのタイミングチャートである。
【図10】図8に示した第1実施例の問題点を説明するた
めのタイミングチャートである。
【図11】固体撮像素子の第2実施例の垂直走査回路を示
す回路構成図である。
【図12】図11に示した第2実施例の動作を説明するため
のタイミングチャートである。
【図13】制御信号及びシフトレジスタクロックの発生回
路を示す回路構成図である。
【図14】図13に示した制御信号及びクロック発生回路の
動作を説明するためのタイミングチャートである。
【図15】従来のFPN抑圧手段を示すブロック構成図で
ある。
【図16】従来のFPN抑圧手段を備えた固体撮像素子の
出力態様を示す図である。
【符号の説明】
1 固体撮像素子 2 受光部 3 垂直走査回路 4 水平走査回路 5 増幅器 6 A/D変換器 7 1Hデレイライン 8 切換スイッチ 9 FPNメモリ 11 減算器 12 D/A変換器 13 1Hデレイライン 14 切換スイッチ 16 減算器 17 乗算器 21 水平走査回路 22 垂直走査回路 23 受光部 24 水平走査回路用クロック群 25 垂直走査回路用クロック群 26 信号出力端子 27 ドレイン電源 31 シフトレジスタ 32 シフトレジスタユニット 33-1 第1のクロックドインバータ 33-2 第2のクロックドインバータ 34 レベルミックス回路 35 レベルミックス回路ユニット 40 選択信号制御回路

Claims (15)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 内部増幅型光電変換素子を単位画素とし
    該単位画素をマトリクス状に配列してなるXYアドレス
    型の固体撮像素子の信号読み出し処理方式において、一
    垂直走査期間のある特定の行の各画素の光生成電荷によ
    る明時信号を読み出した後、前記特定行の各画素の光生
    成電荷をリセットした直後又はリセットしながら光生成
    電荷のない状態の暗時信号を読み出して前記特定行の各
    画素の暗時信号を外部メモリに記憶する第1のステップ
    と、前記特定行を一垂直走査期間毎又は複数垂直走査期
    間毎に変化させながら、前記特定行の各画素の暗時信号
    を外部メモリに記憶する第1のステップを各特定行に対
    して順次実行し、複数垂直走査期間で全有効行の各画素
    の暗時信号を前記外部メモリへ記憶させる第2のステッ
    プと、全有効行の各画素の暗時信号を外部メモリへ記憶
    させる前記複数垂直走査期間毎に、外部メモリへ記憶さ
    れた全有効行の各画素の暗時信号をリフレッシュさせる
    か、または前回の記憶ステップで記憶された暗時信号と
    新たに読み出された暗時信号を所定の比で加算して記憶
    させる第3のステップと、前記外部メモリに記憶した各
    行の画素の暗時信号を読み出し、タイミングを合わせて
    対応する各行の画素の明時信号から減算処理する第4の
    ステップとを備えていることを特徴とする固体撮像素子
    の信号読み出し処理方式。
  2. 【請求項2】 内部増幅型光電変換素子を単位画素とし
    該単位画素をマトリクス状に配列してなるXYアドレス
    型の固体撮像素子の信号読み出し処理方式において、一
    垂直走査期間のある特定の行の各画素の光生成電荷によ
    る明時信号を読み出した後、前記特定行の各画素の光生
    成電荷をリセットした直後又はリセットしながら光生成
    電荷のない状態の暗時信号を読み出して前記特定行の各
    画素の暗時信号を外部メモリに記憶する第1のステップ
    と、前記特定行を一垂直走査期間毎又は複数垂直走査期
    間毎に変化させながら、前記特定行の各画素の暗時信号
    を外部メモリに記憶する第1のステップを各特定行に対
    して順次実行し、複数垂直走査期間で全有効行の各画素
    の暗時信号を前記外部メモリへ記憶させる第2のステッ
    プと、前記外部メモリへ記憶された全有効行の各画素の
    暗時信号をリフレッシュさせるか、または前回の記憶ス
    テップで記憶された暗時信号と新たに読み出された暗時
    信号を所定の比で加算して記憶させる第3のステップ
    と、前記外部メモリに記憶した各行の画素の暗時信号を
    読み出し、タイミングを合わせて対応する各行の画素の
    明時信号から減算処理する第4のステップと、前記第
    1,第2及び第3のステップを、明時信号のみの読み出
    しを行う1又は複数の垂直走査期間を挟んで間欠的に行
    う第5のステップとを備えていることを特徴とする固体
    撮像素子の信号読み出し処理方式。
  3. 【請求項3】 前記特定行は単一の行であることを特徴
    とする請求項1又は2記載の固体撮像素子の信号読み出
    し処理方式。
  4. 【請求項4】 前記特定行は連続した複数の行であるこ
    とを特徴とする請求項1又は2記載の固体撮像素子の信
    号読み出し処理方式。
  5. 【請求項5】 前記特定行は間隔をおいた複数の行であ
    ることを特徴とする請求項1又は2記載の固体撮像素子
    の信号読み出し処理方式。
  6. 【請求項6】 前記減算処理を行う第4のステップで得
    られた出力信号を、各行の出力信号に対する回路利得を
    制御して補正するステップを加え、行間の光生成電荷蓄
    積時間の差によって生じる行間の信号レベル差を補正す
    るようにしたことを特徴とする請求項1〜5のいずれか
    1項に記載の固体撮像素子の信号読み出し処理方式。
  7. 【請求項7】 内部増幅型光電変換素子を単位画素とし
    該単位画素をマトリクス状に配列した受光部と、受光部
    の行方向に配列された画素行を順次選択して読み出す垂
    直走査回路と、選択して読み出された各画素行の画素信
    号を順次出力させる水平走査回路とを備えたXYアドレ
    ス型の固体撮像素子において、前記垂直走査回路は、一
    垂直走査期間の選択されたある特定の行の各画素の光生
    成電荷による明時信号を読み出した後、前記特定行の各
    画素の光生成電荷をリセットした直後又はリセットしな
    がら光生成電荷のない状態の暗時信号を読み出し、前記
    特定行を一垂直走査期間毎又は複数垂直走査期間毎に変
    化させ、複数垂直走査期間で全有効行の画素の暗時信号
    が得られるように、行選択信号を出力する如く構成した
    ことを特徴とする固体撮像素子。
  8. 【請求項8】 前記垂直走査回路は、クロックに従って
    情報を伝達するシフトレジスタを備え、該シフトレジス
    タに加えるクロックを、前記特定行が選択された状態の
    とき1クロック分シフトレジスタがアクティブにならな
    いように形成して、前記特定行が通常のクロック2周期
    分連続して選択された状態になるようにし、2周期分の
    選択状態の中、前半の1周期で明時信号を読み出し、後
    半の1周期で暗時信号を読み出すように構成したことを
    特徴とする請求項7記載の固体撮像素子。
  9. 【請求項9】 前記特定行は、一垂直走査期間当たり1
    行とすることを特徴とする請求項7又は8記載の固体撮
    像素子。
  10. 【請求項10】 前記特定行は、一垂直走査期間当たり連
    続する複数行であることを特徴とする請求項7又は8記
    載の固体撮像素子。
  11. 【請求項11】 前記特定行は、一垂直走査期間当たり間
    隔をおいた複数行であることを特徴とする請求項7又は
    8記載の固体撮像素子。
  12. 【請求項12】 前記垂直走査回路は、外部から加えられ
    る制御信号により、信号読み出し期間中又は信号読み出
    し期間直後の光生成電荷のリセットに加え、一又は複数
    水平走査期間後に光生成電荷のリセット動作を行わせる
    選択信号制御回路を備え、一垂直走査期間内の全ての行
    の光生成電荷の蓄積時間を揃えるように構成したことを
    特徴とする請求項7〜11のいずれか1項に記載の固体撮
    像素子。
  13. 【請求項13】 前記選択信号制御回路に加える制御信号
    及び又は前記シフトレジスタに加えるクロックを、他の
    クロックを用いて発生させる回路を、固体撮像素子の他
    の構成要素と同一基板上に構成したことを特徴とする請
    求項12記載の固体撮像素子。
  14. 【請求項14】 前記シフトレジスタとしてダイナミック
    型シフトレジスタを用いたことを特徴とする請求項7〜
    13のいずれか1項に記載の固体撮像素子。
  15. 【請求項15】 前記シフトレジスタとしてスタティック
    型シフトレジスタを用いたことを特徴とする請求項7〜
    13のいずれか1項に記載の固体撮像素子。
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