JPH07132601A - Ink jet print head - Google Patents
Ink jet print headInfo
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- JPH07132601A JPH07132601A JP30333293A JP30333293A JPH07132601A JP H07132601 A JPH07132601 A JP H07132601A JP 30333293 A JP30333293 A JP 30333293A JP 30333293 A JP30333293 A JP 30333293A JP H07132601 A JPH07132601 A JP H07132601A
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- JP
- Japan
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- heating resistor
- substrate
- electrodes
- print head
- orifice plate
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14016—Structure of bubble jet print heads
- B41J2/14088—Structure of heating means
- B41J2/14112—Resistive element
- B41J2/14129—Layer structure
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、ノンインパクトプリン
タに用いられるインクジェットプリントヘッドであっ
て、詳しくは、吐出するインク滴の滴量を変化させて階
調記録を行うインクジェットプリントヘッドに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ink jet print head used in a non-impact printer, and more particularly, to an ink jet print head for gradation recording by changing the amount of ejected ink droplets.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来のこの種のインクジェットプリント
ヘッドとして、例えば特開昭６３−１１８２６１号公報
に開示されているものがある。このインクジェットプリ
ントヘッドは、図３に示すように、Ｓｉ基板５０と、Ｓ
ｉ基板５０の表面に形成されたＳｉＯ2 層５２と、Ｓｉ
Ｏ2 層５２に被着された第一の発熱抵抗体５４及び発熱
抵抗体５４の両端に接続する一対の第一の電極５６と、
これらに第一の絶縁層５８を介して積層された第二の発
熱抵抗体６０及び発熱抵抗体６０の両端に接続する一対
の第二の電極６２と、これらに第二の絶縁層６４を介し
て積層された第三の発熱抵抗体６６及び発熱抵抗体６６
の両端に接続する一対の第三の電極６８と、これらに積
層された第一及び第二のの保護層７０，７２と、図示し
ないオリフィスプレート等とから構成されている。2. Description of the Related Art A conventional ink jet print head of this type is disclosed in, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 63-118261. As shown in FIG. 3, the inkjet print head includes a Si substrate 50, an S
The SiO 2 layer 52 formed on the surface of the i substrate 50 and Si
A first heating resistor 54 attached to the O 2 layer 52 and a pair of first electrodes 56 connected to both ends of the heating resistor 54;
A second heating resistor 60 laminated on these via a first insulating layer 58, a pair of second electrodes 62 connected to both ends of the heating resistor 60, and a second insulating layer 64 interposed therebetween. Third heating resistor 66 and heating resistor 66 laminated in layers
Is composed of a pair of third electrodes 68 connected to both ends of the first electrode, first and second protective layers 70 and 72 laminated thereon, and an orifice plate (not shown).
【０００３】このインクジェットプリントヘッドは、Ｓ
ｉ基板５０上に絶縁層５８，６４を介して三個の発熱抵
抗体５４，６０，６６を積層し、それぞれの発熱抵抗体
５４，６０，６６を選択的あるいは同時に駆動パルスを
印加して、発熱部に発生する気泡の大きさを変化させる
ことにより、吐出するインク滴の滴量を変化させ階調記
録を行うものである。This ink jet print head has an S
Three heating resistors 54, 60, 66 are laminated on the i substrate 50 via insulating layers 58, 64, and a driving pulse is applied to each of the heating resistors 54, 60, 66 selectively or simultaneously, By changing the size of bubbles generated in the heat generating portion, the amount of ejected ink droplets is changed to perform gradation recording.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来のインクジェットプリントヘッドでは、発熱抵抗体
とそれに電気的に接続される一対の電極とを一組とし
て、これを絶縁層を介して何層にも積層するという構造
をとっている。そのため、構造が極めて複雑となって、
次のような問題を招来する。However, in the above-mentioned conventional ink jet print head, a heating resistor and a pair of electrodes electrically connected to the heating resistor are set as a set, and the heating resistor is formed into a number of layers through an insulating layer. It also has a structure of stacking. Therefore, the structure becomes extremely complicated,
It causes the following problems.
【０００５】積層を行う際にステップカバレッジを良
好に行うことが難しい。したがって、製造歩留りが低下
しがちである。It is difficult to achieve good step coverage when stacking layers. Therefore, the manufacturing yield tends to decrease.
【０００６】発熱抵抗体とそれに電気的に接続される
一対の電極とを何層にも積層を行うので、製造上多大な
コストを強いられる。Since the heating resistor and the pair of electrodes electrically connected to the heating resistor are laminated in many layers, a great cost is required in manufacturing.
【０００７】[0007]
【発明の目的】そこで、本発明の目的は、構造を簡単に
することにより、製造歩留りの向上及び製造コストの低
減を可能にしたインクジェットプリントヘッドを提供す
ることにある。SUMMARY OF THE INVENTION It is therefore an object of the present invention to provide an ink jet print head which has a simplified structure, which improves the manufacturing yield and reduces the manufacturing cost.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】本発明に係るインクジェ
ットプリントヘッドは、上記目的を達成するためになさ
れたものであり、基板と、この基板の表面に被着された
発熱抵抗体と、この発熱抵抗体の両端にそれぞれ電気的
に接続する一対の電極と、前記基板の前記表面に重ねて
設けられたオリフィスプレートと、このオリフィスプレ
ートの前記発熱抵抗体と対向する位置に穿設されたイン
ク吐出口と、前記基板と前記オリフィスプレートとの間
に設けられると共に前記インク吐出口に連通するインク
流路とを備えたインクジェットプリントヘッドを改良し
たものである。The ink jet print head according to the present invention has been made to achieve the above-mentioned object, and includes a substrate, a heat generating resistor adhered to the surface of the substrate, and a heat generating resistor. A pair of electrodes electrically connected to both ends of the resistor, an orifice plate provided on the surface of the substrate so as to overlap with each other, and an ink discharge hole formed at a position of the orifice plate facing the heat generating resistor. This is an improved inkjet printhead including an outlet and an ink flow path provided between the substrate and the orifice plate and communicating with the ink ejection port.
【０００９】その改良した点とは、前記一対の電極を、
前記発熱抵抗体の一端に電気的に接続する共通電極と、
前記発熱抵抗体の他端に電気的に接続すると共に絶縁層
を介して積層された複数の選択電極とから構成したこと
である。The improvement is that the pair of electrodes are
A common electrode electrically connected to one end of the heating resistor,
It is composed of a plurality of selection electrodes which are electrically connected to the other end of the heat generating resistor and are laminated via an insulating layer.
【００１０】[0010]
【作用】発熱抵抗体の一端には共通電極が接続され、発
熱抵抗体の他端には絶縁層を介して積層された複数の選
択電極が接続されている。これらの複数の選択電極のう
ち、いずれか一個又は二個以上を同時に選択することに
より、発熱抵抗体と直列に接続された電気抵抗値が種々
に変化する。これにより、発熱抵抗体の発熱量が制御さ
れる。A common electrode is connected to one end of the heat generating resistor, and a plurality of selection electrodes stacked via an insulating layer are connected to the other end of the heat generating resistor. By simultaneously selecting one or two or more of the plurality of selection electrodes, the electric resistance value connected in series with the heating resistor changes variously. This controls the amount of heat generated by the heating resistor.
【００１１】[0011]
【実施例】図１及び図２は本発明に係るインクジェット
プリントヘッドの一実施例であり、図２はインクジェッ
トプリントヘッドの一部を切り欠いて示した斜視図であ
り、図１は図２におけるI-I 線縦断面図である。ただ
し、図示の都合上、図１では発熱低抗体等を実際よりも
拡大して示し、図２では電極，絶縁層等を省略してい
る。以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。1 and 2 show one embodiment of an ink jet print head according to the present invention, FIG. 2 is a perspective view showing a part of the ink jet print head by cutting away, and FIG. FIG. 2 is a vertical sectional view taken along line II. However, for convenience of illustration, the exothermic low antibody and the like are shown in an enlarged manner in FIG. 1 and the electrodes and insulating layers are omitted in FIG. Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００１２】本発明に係るインクジェットプリントヘッ
ドは、基板１０と、基板１０の表面に被着された発熱抵
抗体１２と、発熱抵抗体１２の両端１２ａ，１２ｂにそ
れぞれ電気的に接続する一対の電極と、基板１０の表面
に重ねて設けられたオリフィスプレート１６と、オリフ
ィスプレート１６の発熱抵抗体１２と対向する位置に穿
設されたインク吐出口１８と、基板１０とオリフィスプ
レート１６との間に設けられると共にインク吐出口１８
に連通するインク流路２０とを備えている。The ink jet print head according to the present invention includes a substrate 10, a heating resistor 12 attached to the surface of the substrate 10, and a pair of electrodes electrically connected to both ends 12a and 12b of the heating resistor 12, respectively. Between the orifice plate 16 provided on the surface of the substrate 10 and the ink discharge port 18 formed at a position of the orifice plate 16 facing the heating resistor 12, and between the substrate 10 and the orifice plate 16. Ink discharge port 18 provided
And an ink flow path 20 communicating with.
【００１３】前記電極は、発熱抵抗体１２の一端１２ａ
に電気的に接続する共通電極１４ａと、発熱抵抗体１２
の他端１２ｂに電気的に接続すると共に絶縁層２２を介
して積層された二個の選択電極１４ｂ，１５ｂとから構
成されている。The electrode is one end 12a of the heating resistor 12.
Common electrode 14a electrically connected to the heating resistor 12
Of the two selection electrodes 14b and 15b which are electrically connected to the other end 12b of the above and are stacked via the insulating layer 22.
【００１４】次に、各部分について説明する。Next, each part will be described.
【００１５】基板１０は、例えばＳｉのウェーハから成
り、表面にＳｉＯ2 から成る蓄熱層１１が形成されてい
る。蓄熱層１１は基板１０を熱酸化することにより得ら
れた熱酸化膜である。The substrate 10 is made of, for example, a Si wafer, and a heat storage layer 11 made of SiO 2 is formed on the surface thereof. The heat storage layer 11 is a thermal oxide film obtained by thermally oxidizing the substrate 10.
【００１６】発熱抵抗体１２は、蓄熱層１１上にスパッ
タ等により被着されたものである。発熱抵抗体１２に
は、例えばＴａ，ＴａＡｌ，Ｔａ2 Ｎ等の材料が使用さ
れる。The heating resistor 12 is deposited on the heat storage layer 11 by sputtering or the like. For the heating resistor 12, a material such as Ta, TaAl, Ta 2 N is used.
【００１７】発熱抵抗体１２上には、Ａｌ等により共通
電極１４ａ及び選択電極１４ｂが形成されている。選択
電極１４ｂは必要な抵抗値になるような厚さに形成され
ている。選択電極１４ｂ上には、絶縁層２２を介して階
層化がなされている。ただし、絶縁層２２は、絶縁層２
２上に形成される二段目の選択電極１５ｂと発熱抵抗体
１２とを電気的に接続するために、発熱抵抗体１２の近
傍には形成されていない。絶縁層２２には、例えばＳｉ
Ｏ2 ，ＳｉＣ，Ｓｉ3 Ｎ4 等の材料が使用される。選択
電極１５ｂは、寸法及び厚さを一段目の選択電極１４ｂ
と異ならせることにより、電気抵抗値を変えている。On the heating resistor 12, a common electrode 14a and a selection electrode 14b are formed of Al or the like. The selection electrode 14b is formed with a thickness that provides a required resistance value. Layers are formed on the selection electrode 14b via the insulating layer 22. However, the insulating layer 22 is the insulating layer 2
It is not formed in the vicinity of the heating resistor 12 in order to electrically connect the second-stage selection electrode 15b formed on the upper surface 2 to the heating resistor 12. The insulating layer 22 includes, for example, Si
Materials such as O 2 , SiC, and Si 3 N 4 are used. The size and thickness of the selection electrode 15b are the same as those of the selection electrode 14b in the first stage.
The electrical resistance value is changed by changing the value.
【００１８】第一保護層２２及び第二保護層２４は、発
熱抵抗体層１２，共通電極１４ａ，選択電極１４ｂ，１
５ｂ等をインクから保護するために設けられている。第
一保護層２２は例えばＳｉＯ2 ，ＳｉＣ，Ｓｉ3 Ｎ4 等
の材料で形成され、第二保護層２４は例えばＴａ等の材
料で形成される。The first protective layer 22 and the second protective layer 24 are composed of the heating resistor layer 12, the common electrode 14a, the selection electrodes 14b, 1
5b and the like are provided to protect them from ink. The first protective layer 22 is made of a material such as SiO 2 , SiC, Si 3 N 4 or the like, and the second protective layer 24 is made of a material such as Ta or the like.
【００１９】上記の構成に対し、感光性樹脂３０により
インク流路２０が形成され、感光性樹脂３０上にインク
吐出口１８を有するオリフィスプレート１６が接合され
ることにより、インクジェットプリントヘッドが構成さ
れている。図２においては一個のノズルのみを図示して
いるが、実際のインクジェットプリントヘッドは複数個
のノズルが並ぶマルチノズルヘッドである。In contrast to the above structure, the ink flow path 20 is formed by the photosensitive resin 30, and the orifice plate 16 having the ink ejection port 18 is bonded onto the photosensitive resin 30 to form an ink jet print head. ing. Although only one nozzle is shown in FIG. 2, an actual inkjet print head is a multi-nozzle head in which a plurality of nozzles are arranged.
【００２０】次に、本発明に係るインクジェットプリン
トヘッドにより、どのようにして階調記録を行うかにつ
いて以下に説明する。Next, how to perform gradation recording by the ink jet print head according to the present invention will be described below.
【００２１】本発明による記録方式は、一般にはサーマ
ルインクジェット方式と呼ばれ、インクを吐出させるた
めに必要な圧力を、発熱抵抗体１２に通電することによ
り発生するジュール熱によって発熱抵抗体１２の上部の
第二保護層２４の表面に発生する気泡により得ている。
したがって、発熱抵抗体１２にて発生するジュール熱を
変化させることにより、気泡の発生の仕方（大きさ等）
を変えて、吐出するインク滴の滴量を変えることができ
る。The recording method according to the present invention is generally called a thermal ink jet method, and the Joule heat generated by energizing the heating resistor 12 with a pressure required for ejecting ink causes an upper portion of the heating resistor 12. It is obtained by the bubbles generated on the surface of the second protective layer 24.
Therefore, by changing the Joule heat generated in the heating resistor 12, how the bubbles are generated (size, etc.)
Can be changed to change the amount of ink droplets to be ejected.
【００２２】ジュール熱Ｅ［Ｊ］は、発熱抵抗体１２を
流れる電流をＩ［Ａ］、発熱抵抗体１２の電気抵抗をＲ
［Ω］、通電時間（パルス幅）をｔ［ｓｅｃ］とする
と、The Joule heat E [J] is the electric current I [A] flowing through the heating resistor 12 and the electric resistance R of the heating resistor 12 is R.
[Ω], and energization time (pulse width) is t [sec],
【００２３】Ｅ＝Ｉ2 Ｒｔ……（１）E = I 2 Rt (1)
【００２４】で表せる。したがって、（１）式よりＲ及
びｔが一定の場合には、Ｉを変えることによりジュール
熱Ｅを変えることができる。Can be expressed as Therefore, when R and t are constant from the equation (1), the Joule heat E can be changed by changing I.
【００２５】本発明に係るインクジェットプリントヘッ
ドでは、選択電極１４ｂ，１５ｂが階層化されかつ選択
可能であり、しかも一段目の選択電極１４ｂと二段目の
選択電極１５ｂとの電気抵抗値は異なっている。したが
って、一定の電圧を印加しても選択電極１４ｂ，１５ｂ
のうちどちらか一方を選択することにより、発熱抵抗体
１２を流れる電流値を変えることができる。その結果、
発熱抵抗体１２に発生するジュール熱を変えることによ
り、インク吐出口１８より発生するインク滴の滴量を変
えることができ、階調記録を行うことができる。この
際、印加する電圧は一定であるので、装置において駆動
電圧を可変にする必要はない。In the ink jet print head according to the present invention, the selection electrodes 14b and 15b are hierarchized and selectable, and the first stage selection electrode 14b and the second stage selection electrode 15b have different electric resistance values. There is. Therefore, even if a constant voltage is applied, the selection electrodes 14b, 15b
By selecting one of them, the value of the current flowing through the heating resistor 12 can be changed. as a result,
By changing the Joule heat generated in the heating resistor 12, the amount of ink droplets generated from the ink ejection port 18 can be changed, and gradation recording can be performed. At this time, since the applied voltage is constant, it is not necessary to make the drive voltage variable in the device.
【００２６】なお、選択電極の階層化は、本実施例では
二段にしているが、これに限らず必要に応じて更に増や
すことができる。また、選択電極の選択方法は、個々の
選択電極を一つずつ選択することの他に、複数の選択電
極を組み合わせて同時に選択することも可能である。さ
らに、複数の選択電極を全部同じ電気抵抗値にしてもよ
い。この場合は、複数の選択電極のうち何個の電極を同
時に選択するかにより、発熱低抗体の発熱量を制御でき
る。Although the selection electrodes are hierarchized in two stages in this embodiment, the selection electrodes are not limited to this, and can be further increased if necessary. Further, as a method of selecting the selection electrodes, it is possible to select not only the individual selection electrodes one by one but also a plurality of selection electrodes to be combined and selected at the same time. Further, all the plurality of selection electrodes may have the same electric resistance value. In this case, the heat generation amount of the heat-generating low antibody can be controlled by selecting how many electrodes among the plurality of selection electrodes are selected at the same time.
【００２７】[0027]
【発明の効果】本発明によれば、発熱抵抗体の一端に共
通電極が接続され、発熱抵抗体の他端に絶縁層を介して
積層された複数の選択電極が接続されているので、これ
らの複数の選択電極のうち、いずれか一個又は二個以上
を同時に選択することにより、発熱抵抗体の発熱量を制
御できる。したがって、従来通りの階調記録を実現でき
ると共に、電極のみを階層化した簡単な構造により、製
造歩留りの向上及び製造コストの低減を達成できる。According to the present invention, the common electrode is connected to one end of the heating resistor, and the plurality of selection electrodes stacked via the insulating layer are connected to the other end of the heating resistor. It is possible to control the amount of heat generated by the heating resistor by simultaneously selecting one or two or more of the plurality of selection electrodes. Therefore, the gradation recording as in the conventional case can be realized, and the improvement of the manufacturing yield and the reduction of the manufacturing cost can be achieved by the simple structure in which only the electrodes are layered.
【図１】本発明に係るインクジェットプリントヘッドの
一実施例であり、図２におけるI-I 線縦断面図である。FIG. 1 is a vertical sectional view taken along line II in FIG. 2, showing an embodiment of an inkjet print head according to the present invention.
【図２】本発明に係るインクジェットプリントヘッドの
一実施例であり、インクジェットプリントヘッドの一部
を切り欠いて示した斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing an embodiment of the inkjet print head according to the present invention, in which a part of the inkjet print head is cut away.
【図３】従来のインクジェットプリントヘッドの一例を
示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing an example of a conventional inkjet printhead.
１０ 基板 １２ 発熱抵抗体 １２ａ 発熱抵抗体の一端 １２ｂ 発熱抵抗体の他端 １４ａ 共通電極 １４ｂ，１５ｂ 選択電極 １６ オリフィスプレート １８ インク吐出口 ２０ インク流路 ２２ 絶縁層 Reference Signs List 10 substrate 12 heating resistor 12a one end of heating resistor 12b other end of heating resistor 14a common electrodes 14b, 15b selection electrode 16 orifice plate 18 ink ejection port 20 ink flow path 22 insulating layer
Claims (2)
熱抵抗体と、この発熱抵抗体の両端にそれぞれ電気的に
接続する一対の電極と、前記基板の前記表面に重ねて設
けられたオリフィスプレートと、このオリフィスプレー
トの前記発熱抵抗体と対向する位置に穿設されたインク
吐出口と、前記基板と前記オリフィスプレートとの間に
設けられると共に前記インク吐出口に連通するインク流
路とを備えたインクジェットプリントヘッドにおいて、 前記一対の電極は、前記発熱抵抗体の一端に電気的に接
続する共通電極と、前記発熱抵抗体の他端に電気的に接
続すると共に絶縁層を介して積層された複数の選択電極
とから構成されていることを特徴とするインクジェット
プリントヘッド。1. A substrate, a heating resistor adhered to the surface of the substrate, a pair of electrodes electrically connected to both ends of the heating resistor, respectively, and provided on the surface of the substrate in an overlapping manner. An orifice plate, an ink discharge port formed at a position of the orifice plate facing the heat generating resistor, and an ink channel provided between the substrate and the orifice plate and communicating with the ink discharge port. In the ink jet print head comprising: a pair of electrodes, a common electrode electrically connected to one end of the heating resistor, and a second electrode electrically connected to the other end of the heating resistor via an insulating layer. An ink jet print head comprising a plurality of stacked select electrodes.
電気抵抗値を有することを特徴とする請求項１記載のイ
ンクジェットプリントヘッド。2. The inkjet printhead of claim 1, wherein the plurality of selection electrodes have different electric resistance values.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5303332A JP2780619B2 (en) | 1993-11-09 | 1993-11-09 | Inkjet print head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5303332A JP2780619B2 (en) | 1993-11-09 | 1993-11-09 | Inkjet print head |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07132601A true JPH07132601A (en) | 1995-05-23 |
| JP2780619B2 JP2780619B2 (en) | 1998-07-30 |
Family
ID=17919708
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5303332A Expired - Fee Related JP2780619B2 (en) | 1993-11-09 | 1993-11-09 | Inkjet print head |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2780619B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1997003834A1 (en) * | 1995-07-14 | 1997-02-06 | Seiko Epson Corporation | Laminated head for ink jet recording, production method thereof, and printer equipped with the recording head |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61118259A (en) * | 1984-11-14 | 1986-06-05 | Canon Inc | Ink jet recording head |
-
1993
- 1993-11-09 JP JP5303332A patent/JP2780619B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61118259A (en) * | 1984-11-14 | 1986-06-05 | Canon Inc | Ink jet recording head |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1997003834A1 (en) * | 1995-07-14 | 1997-02-06 | Seiko Epson Corporation | Laminated head for ink jet recording, production method thereof, and printer equipped with the recording head |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2780619B2 (en) | 1998-07-30 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19980414 |
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| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |