JPH07129987A - Optical semiconductor device - Google Patents

Optical semiconductor device

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JPH07129987A
JPH07129987A JP5276842A JP27684293A JPH07129987A JP H07129987 A JPH07129987 A JP H07129987A JP 5276842 A JP5276842 A JP 5276842A JP 27684293 A JP27684293 A JP 27684293A JP H07129987 A JPH07129987 A JP H07129987A
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optical
optical semiconductor
hologram
holding body
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Takeshi Yamazaki
健 山崎
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  • Moving Of The Head For Recording And Reproducing By Optical Means (AREA)
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Abstract

PURPOSE:To facilitate the manufacture by wrapping an optical semiconductor substrate in a holding body, and preventing the dew condensation on an emitting surface of a semiconductor laser, thereby making possible miniaturization and forming a fitting part for fitting the holding body to a pickup device. CONSTITUTION:A semiconductor substrate 10 forming a semiconductor chip 15 and plural photodetectors 17 is wrapped in the holding body 25 made of transparent resin. Then, an optical semiconductor device 20 is constituted so that a cylinder part 26 provided with a fitting surface 26a for fitting the holding body 25 to an optical pickup device is formed integrally on the upper surface of the holding body 25, and a holding surface 27 of a ring band shape mounting a hologram optical element 30 in the inner peripheral side is formed. Thus, the dew condensation on the laser-emitting surface is prevented, and manufacturing work is facilitated, and the device is miniaturized.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、光学的記録媒体を用
いて情報の記録および/または再生を行う光ピックアッ
プ装置に供される光半導体装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical semiconductor device used in an optical pickup device for recording and / or reproducing information using an optical recording medium.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来から光ピックアップ装置は様々なも
のが提案されており、その小型軽量化を図るため、例え
ば特開平1−237935号公報には、ホログラムを用
いて光学的記録媒体(以下、光ディスクと称する)信号
検出を行う光ピックアップ装置が開示されている。以
下、この公報に開示された光ピックアップ装置の構成及
び動作を図7を参照して簡単に説明する。
2. Description of the Related Art Conventionally, various types of optical pickup devices have been proposed. In order to reduce the size and weight of the optical pickup devices, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 1-237935 discloses an optical recording medium using a hologram (hereinafter, referred to as an optical recording medium). An optical pickup device for detecting a signal (referred to as an optical disk) is disclosed. The configuration and operation of the optical pickup device disclosed in this publication will be briefly described below with reference to FIG.

【0003】図7に示されるように、回折格子およびホ
ログラフィックグレーティングを隣接して保持した鏡筒
が、光源および受光素子が設けられた基板の鍔部に固着
されている。鏡筒が固着された基板は、コリメートレン
ズを保持した鏡筒保持体の収納部に挿入されて、前記基
板の鍔部が鏡筒保持体の下端部に形成された嵌合部に嵌
合されており、これによって、鏡筒は鏡筒保持体に対し
て回動可能に支持されている。鏡筒保持体の上面には、
対物レンズを保持した対物レンズ駆動部が保持されてお
り、光ディスクにレーザ光の焦点を合わせるように、対
物レンズは駆動される。
As shown in FIG. 7, a lens barrel holding a diffraction grating and a holographic grating adjacent to each other is fixed to a collar portion of a substrate provided with a light source and a light receiving element. The substrate to which the lens barrel is fixed is inserted into the housing portion of the lens barrel holder that holds the collimating lens, and the flange portion of the substrate is fitted to the fitting portion formed at the lower end of the lens barrel holder. Thus, the lens barrel is rotatably supported with respect to the lens barrel holder. On the upper surface of the lens barrel holder,
An objective lens driving unit that holds the objective lens is held, and the objective lens is driven so that the laser beam is focused on the optical disc.

【0004】この光ピックアップ装置の動作を簡単に説
明すると、光源から射出されたレーザ光は、回折格子を
通過することによって、光ディスク上のピット信号を読
み、かつフォーカスずれを読むための0次光と、トラッ
キングずれを読むための±1次光に分けられる。この分
けられた光は、ホログラフィックグレーティングを通過
した後、コリメートレンズによって平行光とされ、対物
レンズを介して光ディスク上に3つの光スポットを投射
する。そして、光ディスクからの反射光は再び同じ経路
を戻り、コリメートレンズを通過後、収束光となりなが
らホログラフィックグレーティングに入射する。ホログ
ラフィックグレーティングに入射した戻り光は、その回
折作用を受け、基板上に形成された受光素子に入射す
る。この受光素子において、ウェッジプリズム法による
フォーカスエラー信号および、3ビーム法によるトラッ
キングエラー信号、光ディスクのRF信号が検出される
ようになっている。
The operation of this optical pickup device will be briefly described. The laser light emitted from the light source passes through the diffraction grating to read the pit signal on the optical disk and the zero-order light for reading the focus shift. Then, it is divided into ± first-order light for reading the tracking shift. After passing through the holographic grating, the divided light is made into parallel light by a collimator lens, and three light spots are projected on an optical disc through an objective lens. Then, the reflected light from the optical disk returns to the same path again, passes through the collimator lens, and then enters the holographic grating while becoming convergent light. The return light that has entered the holographic grating is diffracted and enters the light receiving element formed on the substrate. In this light receiving element, a focus error signal by the wedge prism method, a tracking error signal by the three beam method, and an RF signal of the optical disk are detected.

【0005】また、特開平4−139628号公報に
は、ホログラムを用いた光ピックアップ装置のための光
半導体装置が開示されている。以下、この公報に開示さ
れた光半導体装置を、図8を参照して簡単に説明する。
Further, Japanese Patent Laid-Open No. 4-139628 discloses an optical semiconductor device for an optical pickup device using a hologram. The optical semiconductor device disclosed in this publication will be briefly described below with reference to FIG.

【0006】シリコン基板上には、エッチングによって
半導体レーザチップがボンディングされる平坦面および
半導体レーザチップから射出されたレーザ光を上方に向
けて反射するV溝が形成されている。また、シリコン基
板上には、レーザ光を透過する透明膜がコーティングさ
れており、この透明膜の表面には、フォトリソグラフィ
ー技術によってホログラムが形成されている。そして、
半導体レーザチップから出射された光は、V溝反射ミラ
ーによって反射され、ホログラムを通過して上方に出射
され、対物レンズによって光ディスク上に集光する。光
ディスクからの反射光は、再びホログラムに入射して回
折され、シリコン基板に形成された受光素子に集光し、
光ディスクからの各種信号が検出される。
On the silicon substrate, a flat surface to which the semiconductor laser chip is bonded by etching and a V groove for reflecting the laser beam emitted from the semiconductor laser chip upward are formed. Further, a transparent film that transmits laser light is coated on the silicon substrate, and a hologram is formed on the surface of this transparent film by a photolithography technique. And
The light emitted from the semiconductor laser chip is reflected by the V-groove reflection mirror, passes through the hologram, is emitted upward, and is condensed on the optical disc by the objective lens. The reflected light from the optical disk is incident on the hologram again and diffracted, and is condensed on the light receiving element formed on the silicon substrate,
Various signals from the optical disc are detected.

【0007】このような光半導体装置によれば、V溝型
の反射ミラー、半導体レーザチップのボンディング位
置、受光素子およびホログラムの相互位置関係を、フォ
トリソグラフィの技術によって1μm単位で制御するこ
とが可能になる。
According to such an optical semiconductor device, the V-groove type reflection mirror, the bonding position of the semiconductor laser chip, and the mutual positional relationship between the light receiving element and the hologram can be controlled in units of 1 μm by the photolithography technique. become.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】しかし、上述した従来
技術によれば、以下に述べる問題点がある。特開平1−
237935号に開示された技術においては、筒状の部
材に光源、受光素子、回折格子等を取り付けている。従
って、光源に半導体レーザを用いた場合、半導体レーザ
の出射面の結露等を防ぐために、筒状の部材の内側を封
じる必要がある。つまり、筒状の部材に回折格子を完全
に隙間なく接着しなければならず、大変な作業が必要と
なる。
However, the above-mentioned prior art has the following problems. JP-A-1-
In the technique disclosed in No. 237935, a light source, a light receiving element, a diffraction grating, and the like are attached to a tubular member. Therefore, when a semiconductor laser is used as the light source, it is necessary to seal the inside of the cylindrical member in order to prevent condensation on the emitting surface of the semiconductor laser. In other words, the diffraction grating must be completely adhered to the tubular member without any gap, which requires a great deal of work.

【0009】また、特開平4−139628号に開示さ
れた技術においては、半導体レーザチップ、受光素子を
有するシリコン基板とホログラムを有する透明膜からな
る光半導体装置は形状が微小であり(通常、シリコン基
板厚は0.4〜0.6mm程度)、変形等が心配される
ので、このままの形状では光ピックアップ本体に実装す
ることができない。
Further, in the technique disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 4-139628, an optical semiconductor device including a silicon substrate having a semiconductor laser chip and a light receiving element and a transparent film having a hologram has a very small shape (usually silicon). Since the substrate thickness is about 0.4 to 0.6 mm) and there is a concern about deformation and the like, the shape as it is cannot be mounted on the optical pickup body.

【0010】本発明は、上述した問題点を解決するため
に成されたものであり、光ピックアップ装置の小型化が
図れ、その作製を容易とする光半導体装置を提供するこ
とを目的とする。
The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to provide an optical semiconductor device in which the optical pickup device can be downsized and its fabrication is easy.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の光半導体装置は、半導体レーザ及び複数の
光検出器を備えた半導体基板と、この半導体基板を包み
込むように透明樹脂を用いてインサート成形された保持
体と、を有し、この保持体に、保持体を他部品に取付け
る際に使用する嵌合部位を設けたことを特徴としてい
る。
In order to solve the above problems, an optical semiconductor device of the present invention includes a semiconductor substrate having a semiconductor laser and a plurality of photodetectors, and a transparent resin so as to wrap the semiconductor substrate. And a holding body insert-molded by using the holding body, and the holding body is provided with a fitting portion to be used when the holding body is attached to another component.

【0012】[0012]

【作用】半導体レーザ及び複数の光検出器が形成された
光半導体基板は、透明樹脂製の保持体に包み込まれた状
態にあり、半導体レーザの出射面に結露等が生じること
はない。また、光半導体基板を包み込む保持体には、光
ピックアップ装置に取り付けられる嵌合部位が形成され
ており、容易に光ピックアップ装置本体に実装すること
が可能になる。
The optical semiconductor substrate on which the semiconductor laser and the plurality of photodetectors are formed is in the state of being wrapped in the transparent resin holder, and no condensation occurs on the emitting surface of the semiconductor laser. In addition, the holder that encloses the optical semiconductor substrate has a fitting portion that is attached to the optical pickup device, and can be easily mounted on the optical pickup device main body.

【0013】[0013]

【実施例】以下、本発明の好適な一実施例を添付図面に
沿って具体的に説明する。 (第1実施例)図1(a)は、受発光部が形成された素
子の断面図である。以下、この素子1の構成を説明す
る。シリコン基板10の表面10aには、異方性エッチ
ングによって、光学的に平坦なV字状の立ち上げミラー
12が形成されると共に、この立ち上げミラー12に対
向する部分には、エッチングによって平坦面10bが形
成されている。この平坦面10bには半導体レーザチッ
プ15がマウントされている。この半導体レーザチップ
15から射出されたレーザ光は、図に示すように、立ち
上げミラー12によって直角に反射される。表面10a
には、光検出器17が形成されており、半導体レーザチ
ップ15から射出された後、図示されていない光ディス
クから反射した光を検出するようになっている。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A preferred embodiment of the present invention will be specifically described below with reference to the accompanying drawings. (First Embodiment) FIG. 1A is a sectional view of an element in which a light emitting / receiving portion is formed. The structure of the element 1 will be described below. An optically flat V-shaped rising mirror 12 is formed on the surface 10a of the silicon substrate 10 by anisotropic etching, and a portion facing the rising mirror 12 is flattened by etching. 10b is formed. A semiconductor laser chip 15 is mounted on this flat surface 10b. The laser light emitted from the semiconductor laser chip 15 is reflected at right angles by the rising mirror 12, as shown in the figure. Surface 10a
A photodetector 17 is formed on the optical disk 17 to detect light reflected from an optical disk (not shown) after being emitted from the semiconductor laser chip 15.

【0014】図1(b),(c)は、それぞれ、本実施
例における光半導体装置20の断面図および上面図であ
る。前記素子1は、平坦な基板21にマウントされ、こ
の基板21を包み込むようにして透明樹脂製の保持体2
5がインサート成形される。(b)に示すように、半導
体レーザチップを備えた素子1は透明樹脂製の保持体で
包み込まれるため、その出射面に結露等が生じることは
ない。
1B and 1C are a cross-sectional view and a top view of an optical semiconductor device 20 in this embodiment, respectively. The element 1 is mounted on a flat substrate 21, and the holding body 2 made of a transparent resin is wrapped around the substrate 21.
5 is insert-molded. As shown in (b), since the element 1 including the semiconductor laser chip is wrapped with the transparent resin holder, dew condensation does not occur on its emission surface.

【0015】保持体25には、その上面に嵌合面26a
を有する円筒部26が一体的に形成されており、この円
筒部26の内周側に所定高さの輪帯状の保持面27が形
成されている。輪帯状の保持面27には、略立方体で上
面および下面に、第1ホログラム30aおよび第2ホロ
グラム30bが形成されたホログラム光学素子30がマ
ウントされている。各部材の関係は、前記シリコン基板
10に設けられた半導体レーザチップ15から射出され
たレーザ光が、図1(b)に示すように、第2ホログラ
ム30bおよび第1ホログラム30aを通過するように
正確に位置合わせされている。なお、第1ホログラム3
0aは、図示されていない光ディスクからの反射光を光
検出器17に向けて回折させる機能を有し、これによ
り、光検出器17では、情報信号、フォーカスエラー信
号等が得られる。また、第2ホログラム30bは、半導
体レーザチップ15から射出されたレーザ光を、0次
光、±1次光に分割してトラックエラー信号検出用のサ
ブビーム等を発生させる機能を有している。
The holding body 25 has a fitting surface 26a on its upper surface.
The cylindrical portion 26 having the above is integrally formed, and a ring-shaped holding surface 27 having a predetermined height is formed on the inner peripheral side of the cylindrical portion 26. A hologram optical element 30 having a first hologram 30a and a second hologram 30b formed on the upper surface and the lower surface of a substantially cubic shape is mounted on the ring-shaped holding surface 27. The relationship between the members is such that the laser light emitted from the semiconductor laser chip 15 provided on the silicon substrate 10 passes through the second hologram 30b and the first hologram 30a as shown in FIG. 1 (b). It is precisely aligned. The first hologram 3
Reference numeral 0a has a function of diffracting reflected light from an optical disc (not shown) toward the photodetector 17, whereby the photodetector 17 can obtain an information signal, a focus error signal, and the like. The second hologram 30b has a function of dividing the laser light emitted from the semiconductor laser chip 15 into 0th order light and ± 1st order light to generate a sub beam for detecting a track error signal and the like.

【0016】このように形成された光半導体装置20
は、円筒部26の外周面である嵌合面26aを用いて、
容易に光ピックアップ装置本体に実装される。図2は、
この光半導体装置20が実装された光ピックアップ装置
32の全体的な概略を示している。光ピックアップ装置
32は、円筒状の取付け部33aが形成され、光半導体
装置20の円筒部26が嵌合される本体33、この本体
33に設けられたアクチュエータ35、アクチュエータ
35によってフォーカシング方向、トラッキング方向に
移動可能に支持された対物レンズ37を備えており、図
1に示した円筒部26の嵌合面26aは、前記本体33
の取付け部33aに嵌合されている。
Optical semiconductor device 20 formed in this way
Using the fitting surface 26a which is the outer peripheral surface of the cylindrical portion 26,
It is easily mounted on the main body of the optical pickup device. Figure 2
The general outline of an optical pickup device 32 in which the optical semiconductor device 20 is mounted is shown. In the optical pickup device 32, a cylindrical mounting portion 33a is formed, a main body 33 into which the cylindrical portion 26 of the optical semiconductor device 20 is fitted, an actuator 35 provided in the main body 33, a focusing direction and a tracking direction by the actuator 35. The objective lens 37 movably supported on the main body 33 is provided on the fitting surface 26a of the cylindrical portion 26 shown in FIG.
Is fitted to the mounting portion 33a.

【0017】この実施例のように、光半導体装置20と
光ピックアップ装置32との結合部分は、円筒状の嵌合
面によって成されているので、トラッキングエラ−信号
の検出に3ビーム法を用いた場合等には、光半導体装置
20全体を回転調整し易いという利点が得られる。
As in this embodiment, since the coupling portion between the optical semiconductor device 20 and the optical pickup device 32 is formed by the cylindrical fitting surface, the three-beam method is used for detecting the tracking error signal. In such a case, there is an advantage that the rotation of the entire optical semiconductor device 20 can be easily adjusted.

【0018】(第2実施例)図3(a),(b)は、本
実施例における光半導体装置40の断面図および上面図
である。なお、以下の実施例においては、前記実施例と
同一の構成部分については、同一の参照符号が付してあ
る。
(Second Embodiment) FIGS. 3A and 3B are a sectional view and a top view of an optical semiconductor device 40 according to this embodiment. In the following embodiments, the same components as those in the above embodiment are designated by the same reference numerals.

【0019】前記実施例同様、前記受発光部を有する素
子1が、平坦な基板21にマウントされ、この基板21
を包み込むようにして、透明樹脂製の保持体41がイン
サート成形される。この保持体41には、その上面に円
柱部43が一体的に形成されており、この円柱部43の
上面中央部には、ホログラムパターン45が形成されて
いる。このホログラムパターン45はインサート成形時
に、射出成形によって同時に作製される。なお、ホログ
ラムパターン45は、図示されていない光ディスクから
の反射光を素子1の光検出器に向けて回折させる機能を
有し、これにより、情報信号、フォーカスエラー信号、
トラックエラー信号が得られる。
Similar to the above embodiment, the element 1 having the light emitting / receiving portion is mounted on a flat substrate 21.
The transparent resin holder 41 is insert-molded so as to wrap around. A columnar portion 43 is integrally formed on the upper surface of the holder 41, and a hologram pattern 45 is formed at the center of the upper surface of the columnar portion 43. This hologram pattern 45 is simultaneously produced by injection molding during insert molding. The hologram pattern 45 has a function of diffracting the reflected light from the optical disk (not shown) toward the photodetector of the element 1, and thereby the information signal, the focus error signal,
A track error signal is obtained.

【0020】このように形成された光半導体装置40
は、円柱部43の外周面である嵌合面43aを用いて、
図2に示すように、容易に光ピックアップ装置本体の円
筒状の取付け部33aに実装される。
The optical semiconductor device 40 thus formed
Using the fitting surface 43a, which is the outer peripheral surface of the columnar portion 43,
As shown in FIG. 2, the optical pickup device is easily mounted on the cylindrical mounting portion 33a.

【0021】この実施例の構成によれば、前記実施例で
得られる効果に加え、さらに、透明樹脂製の保持体41
に直接ホログラムパターン45を形成しているので、部
品点数を削減することができ、ホログラム素子の組付け
工程が不要になる。
According to the structure of this embodiment, in addition to the effect obtained in the above embodiment, the holder 41 made of transparent resin is further provided.
Since the hologram pattern 45 is directly formed on the substrate, the number of parts can be reduced and the hologram element assembling process becomes unnecessary.

【0022】(第3実施例)図4(a),(b)は、本
実施例における光半導体装置50の断面図および上面図
である。前記第2実施例同様、受発光部を有する素子1
が、平坦な基板21にマウントされ、この基板21を包
み込むようにして、透明樹脂製の保持体51がインサー
ト成形される。この保持体51には、その上面に角柱部
52が一体的に形成されており、この角柱部52の上面
中央部には、ホログラムパターン53が形成されてい
る。このホログラムパターン53は、インサート成形時
に射出成形によって同時に作製される。なお、各部材の
関係およびホログラムパターン53の機能は、前記第2
実施例と同一である。
(Third Embodiment) FIGS. 4A and 4B are a sectional view and a top view of an optical semiconductor device 50 according to this embodiment. Similar to the second embodiment, the element 1 having a light emitting / receiving part
Is mounted on a flat substrate 21, and the transparent resin holder 51 is insert-molded so as to surround the substrate 21. A prism 52 is integrally formed on the upper surface of the holder 51, and a hologram pattern 53 is formed in the center of the upper surface of the prism 52. This hologram pattern 53 is simultaneously produced by injection molding during insert molding. The relationship between the respective members and the function of the hologram pattern 53 are the same as those in the second
Same as the embodiment.

【0023】このように形成された光半導体装置50
は、角柱部52の外周面である嵌合面52aを用いて、
図2に示すように、容易に光ピックアップ装置本体の取
付け部33aに実装される。この場合、光ピックアップ
装置本体の取付け部33aは、角柱部52の嵌合面52
aが嵌合されるように形成されている。
The optical semiconductor device 50 thus formed
Using the fitting surface 52a which is the outer peripheral surface of the prismatic portion 52,
As shown in FIG. 2, the optical pickup device main body is easily mounted on the mounting portion 33a. In this case, the mounting portion 33 a of the optical pickup device main body has the fitting surface 52 of the prismatic portion 52.
It is formed so that a is fitted.

【0024】この実施例の構成によれば、光半導体装置
50と光ピックアップ装置32との結合部分は、角柱状
の嵌合面によって成されているので、光半導体装置50
全体を1方向に平行移動して光軸調整等を行うことが可
能となる。
According to the structure of this embodiment, since the coupling portion between the optical semiconductor device 50 and the optical pickup device 32 is formed by the prism-shaped fitting surface, the optical semiconductor device 50.
It is possible to move the whole in parallel in one direction and adjust the optical axis.

【0025】(第4実施例)図5(a),(b)は、本
実施例における光半導体装置60の断面図および上面図
である。この実施例は、前述した第2実施例と略同様な
構成を有しており、受発光部を有する素子1が平坦な基
板21にマウントされ、この基板21を包み込むように
して透明樹脂製の保持体61がインサート成形される。
保持体61に形成された円柱部62の上面には、紫外線
硬化型樹脂からなる層67上に形成されたホログラムパ
ターン68が配置されている。このように形成された光
半導体装置60は、円柱部62の外周面である嵌合面6
2aを用いて、図2に示すように、容易に光ピックアッ
プ装置本体の円筒状の取付け部33aに実装され、前記
第2実施例と同様な効果を得ることができる。
(Fourth Embodiment) FIGS. 5A and 5B are a sectional view and a top view of an optical semiconductor device 60 in this embodiment. This embodiment has substantially the same configuration as that of the second embodiment described above, in which the element 1 having the light receiving and emitting portion is mounted on a flat substrate 21, and the substrate 21 is wrapped so that it is made of a transparent resin. The holder 61 is insert-molded.
On the upper surface of the cylindrical portion 62 formed on the holding body 61, a hologram pattern 68 formed on a layer 67 made of an ultraviolet curable resin is arranged. The optical semiconductor device 60 formed in this manner has the fitting surface 6 that is the outer peripheral surface of the cylindrical portion 62.
2A and 2B, the optical pickup device main body can be easily mounted on the cylindrical mounting portion 33a as shown in FIG. 2, and the same effect as that of the second embodiment can be obtained.

【0026】ここで、図6を参照して、上記ホログラム
パターン68の作製法について説明する。この場合、ホ
ログラムパターン68は、いわゆるツーピー法により作
製される。前記円柱部62の上面に、紫外線を透過する
と共に、所定の機能を有するホログラムパターン68の
型70を円柱部表面に向けて配する。この型70と円柱
部62の上面との間に、紫外線硬化型樹脂67を充填せ
しめ、この状態で紫外線を照射して紫外線硬化型樹脂6
7を硬化させる。その後、型70を取り除くと透明樹脂
製の保持体61上には、紫外線硬化樹脂67によって構
成されたホログラムパターン68が形成される。この
際、素子1に設けられた半導体レーザチップから射出さ
れ、型70のパターンを透過する光を、図に示すような
ハーフミラー71、集光レンズ72およびCCD73を
具備した光学系でモニターしながらホログラムパターン
68の中心と前記半導体レーザチップからの出射光軸が
一致するように型70の位置を調整すると、非常に精密
な位置合わせが可能となる。なお、このようなホログラ
ムパターンの作製は、前述した実施例にも応用すること
ができる。
A method of manufacturing the hologram pattern 68 will be described with reference to FIG. In this case, the hologram pattern 68 is produced by the so-called two-pie method. A mold 70 of a hologram pattern 68, which transmits ultraviolet rays and has a predetermined function, is placed on the upper surface of the cylindrical portion 62 toward the surface of the cylindrical portion. An ultraviolet curable resin 67 is filled between the mold 70 and the upper surface of the columnar portion 62, and in this state, ultraviolet rays are irradiated to irradiate the ultraviolet curable resin 6
Harden 7. Thereafter, when the mold 70 is removed, a hologram pattern 68 made of an ultraviolet curable resin 67 is formed on the transparent resin holder 61. At this time, the light emitted from the semiconductor laser chip provided in the element 1 and transmitted through the pattern of the mold 70 is monitored by an optical system including a half mirror 71, a condenser lens 72 and a CCD 73 as shown in the figure. When the position of the mold 70 is adjusted so that the center of the hologram pattern 68 and the optical axis of the light emitted from the semiconductor laser chip coincide with each other, very precise alignment becomes possible. The production of such a hologram pattern can be applied to the above-mentioned embodiment.

【0027】以上説明したように、図1(a)で示すよ
うな半導体レーザチップ15がマウントされた半導体基
板10を、インサート成形によって透明樹脂で包み込む
ので半導体レーザチップ15は外気と触れることがなく
なり、結露等の心配がなくなる。また、インサート成形
によって作製した透明樹脂製の保持体には、図2で示す
ピックアップ装置との嵌合部が形成されているので、光
ピックアップ装置への取付けが容易に行える。
As described above, since the semiconductor substrate 10 on which the semiconductor laser chip 15 as shown in FIG. 1A is mounted is wrapped with the transparent resin by the insert molding, the semiconductor laser chip 15 does not come into contact with the outside air. No more worrying about condensation. Further, since the transparent resin holder manufactured by insert molding has the fitting portion for the pickup device shown in FIG. 2, the holder can be easily attached to the optical pickup device.

【0028】[0028]

【発明の効果】以上説明したように、この発明の光半導
体装置によれば、光ピックアップ装置の小型化が図れ、
かつその作製を容易にすることが可能になる。
As described above, according to the optical semiconductor device of the present invention, the optical pickup device can be downsized,
In addition, it becomes possible to facilitate its production.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明に係る光半導体装置の第1の実施例を示
す図であり、(a)は、光半導体装置内に設けられる受
発光部が形成された素子の構成を示す断面図、(b)
は、実際に(a)に示す素子を組込んだ光半導体装置の
断面図、(c)は、光半導体装置の上面図。
FIG. 1 is a diagram showing a first embodiment of an optical semiconductor device according to the present invention, and FIG. 1 (a) is a cross-sectional view showing a configuration of an element provided with a light emitting / receiving section in the optical semiconductor device, (B)
3A is a cross-sectional view of an optical semiconductor device in which the element shown in FIG. 3A is actually incorporated, and FIG.

【図2】光半導体装置が実装された光ピックアップ装置
の全体的な概略を示す図。
FIG. 2 is a diagram showing an overall outline of an optical pickup device in which an optical semiconductor device is mounted.

【図3】本発明に係る光半導体装置の第2の実施例を示
す図であり、(a)は、図1(a)に示す素子を組込ん
だ光半導体装置の断面図、(b)は、光半導体装置の上
面図。
3A and 3B are views showing a second embodiment of an optical semiconductor device according to the present invention, FIG. 3A is a sectional view of an optical semiconductor device incorporating the element shown in FIG. 1A, and FIG. [FIG. 3] is a top view of an optical semiconductor device.

【図4】本発明に係る光半導体装置の第3の実施例を示
す図であり、(a)は、図1(a)に示す素子を組込ん
だ光半導体装置の断面図、(b)は、光半導体装置の上
面図。
4A and 4B are views showing a third embodiment of the optical semiconductor device according to the present invention, FIG. 4A is a sectional view of an optical semiconductor device incorporating the element shown in FIG. 1A, and FIG. [FIG. 3] is a top view of an optical semiconductor device.

【図5】本発明に係る光半導体装置の第4の実施例を示
す図であり、(a)は、図1(a)に示す素子を組込ん
だ光半導体装置の断面図、(b)は、光半導体装置の上
面図。
5A and 5B are views showing a fourth embodiment of an optical semiconductor device according to the present invention, FIG. 5A is a sectional view of an optical semiconductor device incorporating the element shown in FIG. 1A, and FIG. [FIG. 3] is a top view of an optical semiconductor device.

【図6】図5に示す実施例において、ホログラムパター
ンの作製法を示す図。
6A and 6B are diagrams showing a method for producing a hologram pattern in the embodiment shown in FIG.

【図7】ホログラムを用いて信号検出を行う光ピックア
ップ装置の従来例を示す図。
FIG. 7 is a diagram showing a conventional example of an optical pickup device that performs signal detection using a hologram.

【図8】ホログラムを用いた光ピックアップ装置のため
の光半導体装置の従来例を示す図。
FIG. 8 is a diagram showing a conventional example of an optical semiconductor device for an optical pickup device using a hologram.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…素子、10…シリコン基板、12…立ち上げミラ
ー、15…半導体レーザチップ、17…光検出器、2
0,40,50,60…光半導体装置、21…基板、2
5,41,51,61…透明樹脂製の保持体、30…ホ
ログラム光学素子、32…光ピックアップ装置、45,
53、68…ホログラムパターン。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Element, 10 ... Silicon substrate, 12 ... Stand-up mirror, 15 ... Semiconductor laser chip, 17 ... Photodetector, 2
0, 40, 50, 60 ... Optical semiconductor device, 21 ... Substrate, 2
5, 41, 51, 61 ... Transparent resin holder, 30 ... Hologram optical element, 32 ... Optical pickup device, 45,
53, 68 ... Hologram pattern.

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 半導体レーザ及び複数の光検出器を備え
た半導体基板と、この半導体基板を包み込むように透明
樹脂を用いてインサート成形された保持体と、を有し、
この保持体に、保持体を他部品に取付ける際に使用する
嵌合部位を設けたことを特徴とする半導体装置。
1. A semiconductor substrate having a semiconductor laser and a plurality of photodetectors, and a holder insert-molded from a transparent resin so as to wrap the semiconductor substrate,
A semiconductor device characterized in that the holding body is provided with a fitting portion to be used when the holding body is attached to another component.
【請求項2】 前記嵌合部位が円柱状となっていること
を特徴とする請求項1に記載の光半導体装置。
2. The optical semiconductor device according to claim 1, wherein the fitting portion has a cylindrical shape.
【請求項3】 前記嵌合部位が角柱状となっていること
を特徴とする請求項1に記載の光半導体装置。
3. The optical semiconductor device according to claim 1, wherein the fitting portion has a prismatic shape.
【請求項4】 前記保持体には、ホログラム素子が設け
られていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか
1に記載の光半導体装置。
4. The optical semiconductor device according to claim 1, wherein the holder is provided with a hologram element.
【請求項5】 前記ホログラム素子は、前記インサート
成形時に射出成形によって保持体に作製されることを特
徴とする請求項4に記載の光半導体装置。
5. The optical semiconductor device according to claim 4, wherein the hologram element is manufactured on a holder by injection molding during the insert molding.
【請求項6】 半導体レーザ及び複数の光検出器を備え
た半導体基板と、 この半導体基板を包み込むように透明樹脂を用いてイン
サート成形されると共に他部品に取り付ける際に使用す
る嵌合部位が形成されてた保持体と、を有する光半導体
装置であって、 前記保持体には、ツーピー法によって作製したホログラ
ムが配されていることを特徴とする光半導体装置。
6. A semiconductor substrate provided with a semiconductor laser and a plurality of photodetectors, and a fitting portion used for mounting the semiconductor substrate by insert molding using a transparent resin and attaching to another component. An optical semiconductor device comprising: a holder formed by the above method, wherein the holder is provided with a hologram produced by a two-pie method.
【請求項7】 前記ホログラム素子は、前記半導体レー
ザの出射光と前記ホログラムパターンまたは位置を示す
マーキング等を観察して位置合わされていることを特徴
とする請求項6に記載の光半導体装置。
7. The optical semiconductor device according to claim 6, wherein the hologram element is aligned by observing the emitted light of the semiconductor laser and the hologram pattern or marking indicating the position.
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