JPH07128102A - Karman vortex flowmeter - Google Patents

Karman vortex flowmeter

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JPH07128102A
JPH07128102A JP5276310A JP27631093A JPH07128102A JP H07128102 A JPH07128102 A JP H07128102A JP 5276310 A JP5276310 A JP 5276310A JP 27631093 A JP27631093 A JP 27631093A JP H07128102 A JPH07128102 A JP H07128102A
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JP
Japan
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piezoelectric element
karman vortex
insulator
output signal
diaphragm
Prior art date
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Application number
JP5276310A
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Japanese (ja)
Inventor
Etsuro Ito
悦郎 伊藤
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Fuji Electric Co Ltd
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Fuji Electric Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To improve not only stabilization of a measured value but a measuring accuracy by eliminating scattering of an output signal of a piezoelectric element. CONSTITUTION:A piezoelectric unit 20 has a structure in which leads 22a, 22b, 22c are connected to electrodes 21a, 21b, 21c of a piezoelectric element 21 and an entirety is covered with an insulator 22. In this case, the element 21 is the same as a conventional example except a point that only a circular part of an electrode of a back surface side is not provided. The insulator 22 is selected from a polybutylene terephthalate or polyphenylene sulfide. Accordingly, when a strain occurs at the unit 20 together with a diaphragm upon reception of a force based on Karman vortex, scattering of its output signal is suppressed. Further, the insulator 22 has small difference of thermal expansion coefficient from that of the element 21 even in the case of any of the materials, and hence temperature characteristics of the output signal of the element is suppressed.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、カルマン渦に基づく
力を受ける検出棒と、歪みを生じるダイヤフラムとが一
体構成され、そのダイヤフラムの表面に歪み検出用の圧
電素子が電気的に絶縁されて固定されるカルマン渦流量
計において、とくに圧電素子の出力信号を安定させ、ひ
いては測定精度を維持,向上させるように改善したカル
マン渦流量計に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention comprises a detection rod that receives a force based on a Karman vortex, and a diaphragm that causes strain, and a piezoelectric element for strain detection is electrically insulated on the surface of the diaphragm. The present invention relates to a fixed Karman vortex flowmeter, in particular, an improved Karman vortex flowmeter that stabilizes the output signal of a piezoelectric element and thus maintains and improves the measurement accuracy.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来例について図5と図6とを参照しな
がら説明する。図5は従来例の側断面図、図6は図5の
断面A-A に関する渦発生体の孔部の横断面図である。図
5において、1は測定流体の流れる管路である。2は渦
発生体で、管路1にその直径に沿って貫通する形で挿設
され、この貫通部分は三角形断面の上流側柱状体11と、
台形断面の下流側柱状体12とからなり、かつ管路1 との
上, 下の各嵌合箇所に、カルマン渦発生を促すための円
筒状の各突出部25,26 が一体成形される。なお、管路1
との上, 下の各嵌合箇所に、符号を付けてないOリング
が挿設されるが、これらは流体封止と防振兼用である。
3 は渦検出体で、円板状のダイヤフラム3aと、その軸線
方向に内方に伸びる心棒3bと、その外方に伸びるネジ付
き棒とからなる。心棒3bは、2段階になっており、その
先端側の小径部分が柱状体12にあけられた穴28の内部に
位置し、小径部分の根元部に共振防止用に緩衝材4 が挿
設される。ダイヤフラム3aの上面側に、ネジ付き棒に嵌
まる形で順に絶縁板6,圧電素子8,絶縁板9 および皿バネ
9 が積層され、バランスウェイト10のネジ込みによって
固定される。ここで、圧電素子8 は、渦検出体3 の下側
の棒状部分の微小変位をダイヤフラム3aの変位として検
出し電気信号に変換, 出力する。バランスウェイト10
は、ネジ固定するナットの機能とともに、渦検出体3 が
受けるカルマン渦以外の振動要因、たとえば管路1 など
の振動の影響を打ち消す機能をもつ。
2. Description of the Related Art A conventional example will be described with reference to FIGS. FIG. 5 is a side sectional view of the conventional example, and FIG. 6 is a transverse sectional view of the hole of the vortex generator with respect to the section AA of FIG. In FIG. 5, reference numeral 1 is a conduit through which the measurement fluid flows. Reference numeral 2 denotes a vortex generator, which is inserted into the pipe 1 so as to penetrate along the diameter thereof, and the penetrating portion is an upstream columnar body 11 having a triangular cross section,
Cylindrical protrusions 25, 26 for promoting the generation of Karman vortices are integrally formed at the upper and lower fitting positions of the pipe 1 and the downstream column 12 having a trapezoidal cross section. In addition, pipeline 1
O-rings, which are not labeled, are inserted at the fitting points above and below and for both fluid sealing and vibration isolation.
Reference numeral 3 denotes a vortex detector, which comprises a disk-shaped diaphragm 3a, a mandrel 3b extending inward in the axial direction, and a threaded rod extending outwardly. The mandrel 3b has two stages, the small diameter portion on the tip side is located inside the hole 28 formed in the columnar body 12, and the cushioning material 4 is inserted at the root of the small diameter portion for preventing resonance. It Insulating plate 6, piezoelectric element 8, insulating plate 9 and disc spring are mounted on the upper surface of diaphragm 3a in the order that they fit into the threaded rod.
9 are stacked and fixed by screwing the balance weight 10. Here, the piezoelectric element 8 detects a minute displacement of the lower rod-shaped portion of the vortex detector 3 as a displacement of the diaphragm 3a, converts it into an electric signal, and outputs it. Balance weight 10
Has a function of canceling the influence of vibration factors other than the Karman vortex received by the vortex detector 3, for example, the vibration of the conduit 1 as well as the function of the nut for fixing the screw.

【0003】図5において、管路1 に流体が右方向に流
れるとき、上流側柱状体11と、下流側柱状体12とによっ
て、カルマン渦が柱状体12の近傍に発生し、この発生し
たカルマン渦によって生じる流体の圧力変化が、渦検出
体3 の先端部分の心棒3bに伝達される。この圧力変化の
伝達は、図6において、柱状体12の穴28と連通するよう
に、心棒3bに対応する位置で、柱状体12に流れと直角に
紙面に平行に貫通される導圧孔13を介しておこなわれ
る。さて、渦検出体3 の心棒3bを含む棒状部分の微小変
位は、ダイヤフラム3aの変位に変換された後、圧電素子
8 によって、対応する電気信号に変換, 出力される。
In FIG. 5, when the fluid flows to the right in the conduit 1, a Karman vortex is generated in the vicinity of the columnar body 12 by the upstream side columnar body 11 and the downstream side columnar body 12, and this generated Karman The change in fluid pressure caused by the vortex is transmitted to the mandrel 3b at the tip of the vortex detector 3. The transmission of this pressure change is such that in FIG. 6, the pressure guiding hole 13 is penetrated through the columnar body 12 at a position corresponding to the mandrel 3b so as to communicate with the hole 28 of the columnar body 12 at a right angle to the flow and parallel to the paper surface. Through. Now, the small displacement of the rod-shaped part of the vortex detector 3 including the mandrel 3b is converted into the displacement of the diaphragm 3a, and then the piezoelectric element
The signal is converted into a corresponding electric signal by the 8 and output.

【0004】ところで、圧電素子8と、各絶縁板6,7
について、さらに詳しく説明する。図3は従来の圧電素
子に関し、(a) はその平面図、(b) はその背面図であ
る。図3(a)において、圧電素子8 の中心を通る横軸に関
し、下側に円弧状の電極8a、上側に円弧状の電極8bが対
称配置される。右側の端に示された舌片状の電極8cは、
図3(b)における円環状電極8cの折り返された部分であ
る。各電極8a,8b の円弧と電極8cの円環とは対応する。
図5 において、カルマン渦に基づく紙面に直角な力は、
ダイヤフラム3aに紙面に含まれる横軸の回りの曲げモー
メントを加える。この曲げモーメントによって、ダイヤ
フラム3aに曲げ歪みが生じ、これに応じて圧電素子8 か
ら電圧信号が出力される。すなわち、図3(a)の各電極8
a,8b には、互いに同じ大きさで符号の異なる歪みが生
じ、各電極8a,8c 間と、各電極8b,8c 間とに互いに同じ
大きさで符号の異なる電圧が発生する。この各電圧に基
づいて、図示してない演算回路によって流速流量を求め
る演算がおこなわれる。
By the way, the piezoelectric element 8 and the insulating plates 6 and 7
Will be described in more detail. FIG. 3 is a conventional piezoelectric element, (a) is a plan view thereof, and (b) is a rear view thereof. In FIG. 3 (a), an arcuate electrode 8a is arranged on the lower side and an arcuate electrode 8b is arranged on the upper side symmetrically with respect to the horizontal axis passing through the center of the piezoelectric element 8. The tongue-shaped electrode 8c shown at the right end is
This is the folded back portion of the annular electrode 8c in FIG. 3 (b). The arc of each electrode 8a, 8b and the ring of electrode 8c correspond.
In Fig. 5, the force due to Karman vortex perpendicular to the paper is
A bending moment about the horizontal axis contained in the paper is applied to the diaphragm 3a. This bending moment causes bending strain in the diaphragm 3a, and in response thereto, the piezoelectric element 8 outputs a voltage signal. That is, each electrode 8 of FIG.
Distortions of the same magnitude and different signs are generated in a and 8b, and voltages of the same magnitude and different signs are generated between the electrodes 8a and 8c and between the electrodes 8b and 8c. Based on each of these voltages, a calculation circuit (not shown) calculates the flow velocity and flow rate.

【0005】図4は従来の圧電素子に係る絶縁板に関
し、(a) はその一方の平面図、(b) はその他方の平面図
である。一方の絶縁板6 は、圧電素子8 の背面側( 図3
(b) 参照) と接触し、他方の絶縁板7 は、圧電素子8 の
上面側( 図3 (a) 参照) と接触する。絶縁板6 には電極
はないが、絶縁板7 には各電極7a,7b,7cが設けられる。
絶縁板7 の電極7a,7b,7cと、圧電素子8 の電極8a,8b,8c
(舌片部)とがそれぞれ重なり合って接触して、各電極
7a,7b,7cの直線部の端部から、圧電素子8 からの電圧信
号が取り出される。なお、電極7cは接地用である。
FIG. 4 is a plan view of one of the insulating plates relating to the conventional piezoelectric element, and FIG. 4 (b) is a plan view of the other. One insulating plate 6 is the rear side of the piezoelectric element 8 (Fig. 3).
(See (b)), and the other insulating plate 7 comes into contact with the upper surface side of the piezoelectric element 8 (see FIG. 3 (a)). The insulating plate 6 has no electrodes, but the insulating plate 7 is provided with electrodes 7a, 7b, 7c.
Electrodes 7a, 7b, 7c of insulating plate 7 and electrodes 8a, 8b, 8c of piezoelectric element 8
(Tongue part) overlap and make contact with each electrode
The voltage signal from the piezoelectric element 8 is taken out from the ends of the straight portions of 7a, 7b, 7c. The electrode 7c is for grounding.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】従来例では、カルマン
渦に基づく力を受けて、ダイヤフラム3aとともに圧電素
子8 が歪みを生じたとき、その背面側の電極8cと絶縁板
6 の上面との間、圧電素子8 の上面側の各電極8a,8b,8c
と、絶縁板7 の各電極7a,7b,7cとの間に滑りを生じた
り、接触面積のバラツキが生じたりする。このことは、
圧電素子の出力信号にバラツキを生じ、ひいては測定値
の不安定、測定精度の低下をもたらす。
In the conventional example, when the piezoelectric element 8 is distorted together with the diaphragm 3a due to the force based on the Karman vortex, the electrode 8c and the insulating plate on the back side of the piezoelectric element 8 are distorted.
Electrodes 8a, 8b, 8c on the upper surface side of the piezoelectric element 8 between the upper surface of 6 and
And the electrodes 7a, 7b, 7c of the insulating plate 7 may slip or the contact area may vary. This is
Variations occur in the output signal of the piezoelectric element, which in turn results in unstable measured values and reduced measurement accuracy.

【0007】この発明が解決すべき課題は、従来の技術
がもつ以上の問題点を解消し、圧電素子の出力信号がバ
ラツキを生じないように改善し、測定値の安定化ひいて
は測定精度の向上を図ったカルマン渦流量計を提供する
ことにある。
The problem to be solved by the present invention is to solve the above problems of the prior art, improve the output signal of the piezoelectric element so as not to cause variations, stabilize the measurement value, and improve the measurement accuracy. The purpose is to provide a Karman vortex flowmeter designed for the purpose.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】請求項1に係るカルマン
渦流量計は、カルマン渦に基づく力を受ける検出棒と、
歪みを生じるダイヤフラムとが一体的に構成され、その
ダイヤフラムの表面に歪み検出用の圧電素子が電気的に
絶縁されて設けられた流量計において、圧電素子は、そ
の各電極にリード線が接続されてなり、全体が絶縁物に
よって被覆される。
A Karman vortex flowmeter according to claim 1 is a detection rod that receives a force based on the Karman vortex,
In a flowmeter in which a strain-producing diaphragm is integrally configured, and a piezoelectric element for strain detection is provided on the surface of the diaphragm in an electrically insulated manner, the piezoelectric element has a lead wire connected to each electrode. The whole is covered with an insulator.

【0009】請求項2に係るカルマン渦流量計は、請求
項1に記載の流量計において、絶縁物が、エンジニアリ
ングプラスティックのポリブチレンテレフタレートであ
る。請求項3に係るカルマン渦流量計は、請求項1に記
載の流量計において、絶縁物が、エンジニアリングプラ
スティックのポリフェニレンサルファイドである。
A Karman vortex flowmeter according to a second aspect is the flowmeter according to the first aspect, wherein the insulating material is engineering plastic polybutylene terephthalate. A Karman vortex flowmeter according to a third aspect is the flowmeter according to the first aspect, wherein the insulator is polyphenylene sulfide of engineering plastic.

【0010】[0010]

【作用】請求項1ないし3のいずれかの項に係るカルマ
ン渦流量計では、圧電素子全体が絶縁物によって被覆さ
れるから、カルマン渦に基づく力を受けて、ダイヤフラ
ムとともに圧電素子が歪みを生じたたとき、その電極
と、従来例におけるのと異なり絶縁板の電極との間の滑
りや接触面積のバラツキが生じることがない。しかも、
圧電素子の出力信号は、電極に接続されたリード線を介
して取り出されるから、その出力信号のバラツキが抑止
される。
In the Karman vortex flowmeter according to any one of claims 1 to 3, since the entire piezoelectric element is covered with the insulator, the piezoelectric element is deformed together with the diaphragm under the force due to the Karman vortex. When tapped, there is no slippage or variation in contact area between the electrode and the electrode of the insulating plate unlike in the conventional example. Moreover,
Since the output signal of the piezoelectric element is taken out through the lead wire connected to the electrode, the variation of the output signal is suppressed.

【0011】とくに請求項2または3に係るカルマン渦
流量計では、絶縁物が、それぞれポリブチレンテレフタ
レート、またはポリフェニレンサルファイドであるか
ら、いずれも圧電素子との熱膨張係数の差が小さく、温
度変化による圧電素子の歪みが小さくなり、ひいては圧
電素子の出力信号の温度特性が抑えられる。
Particularly, in the Karman vortex flowmeter according to the second or third aspect, since the insulator is polybutylene terephthalate or polyphenylene sulfide, respectively, the difference in the coefficient of thermal expansion from the piezoelectric element is small, and it depends on the temperature change. The distortion of the piezoelectric element is reduced, and the temperature characteristic of the output signal of the piezoelectric element is suppressed.

【0012】[0012]

【実施例】この発明に係るカルマン渦流量計の実施例に
ついて、以下に図を参照しながら説明する。この実施例
が従来例と異なる点は、圧電素子の絶縁化構造にある。
図1は実施例の圧電素子ユニットの平面図、図2は同じ
くその圧電素子ユニットの側断面図である。圧電素子ユ
ニット20は、圧電素子21の各電極21a,21b,21c にそれぞ
れリード線22a,22b,22c が接続され、全体が絶縁物22に
よって被覆された構造である。ここで、圧電素子21の各
電極21a,21b,21c は、従来例の圧電素子8 の各電極8a,8
b,8cと、背面側の8cの円環部分だけがない点を除き同じ
である。絶縁物22は、エンジニアリングプラスティック
のポリブチレンテレフタレート、またはポリフェニレン
サルファイドが選ばれる。
Embodiments of the Karman vortex flowmeter according to the present invention will be described below with reference to the drawings. This embodiment is different from the conventional example in the insulating structure of the piezoelectric element.
FIG. 1 is a plan view of the piezoelectric element unit of the embodiment, and FIG. 2 is a side sectional view of the piezoelectric element unit. The piezoelectric element unit 20 has a structure in which lead wires 22a, 22b, 22c are connected to the electrodes 21a, 21b, 21c of the piezoelectric element 21, respectively, and the whole is covered with an insulator 22. Here, the electrodes 21a, 21b, and 21c of the piezoelectric element 21 are the electrodes 8a and 8c of the piezoelectric element 8 of the conventional example.
It is the same except that b, 8c and the ring portion of 8c on the back side are not provided. The insulator 22 is selected from engineering plastic polybutylene terephthalate or polyphenylene sulfide.

【0013】さて、圧電素子21の全体が絶縁物22によっ
て被覆され、圧電素子ユニット20として構成され、絶縁
板と接触する構造でないから、カルマン渦に基づく力を
受けて、ダイヤフラム3aとともに圧電素子ユニット20が
歪みを生じたたとき、その各電極21a,21b,21c が、従来
例におけるのと異なり絶縁板の各電極間の滑りや接触面
積のバラツキが生じることがない。しかも、出力信号
は、各電極21a,21b,21cに接続されたリード線22a,22b,2
2c を介して取り出されるから、その出力信号のバラツ
キが抑止される。さらに、絶縁物22は、前記したいずれ
の材料のときも、圧電素子21との熱膨張係数の差が小さ
く、温度変化による圧電素子の歪みが小さくなり、ひい
ては圧電素子の出力信号の温度特性が抑えられる。ちな
みに、圧電素子の膨張張係数は 1×10-5、ポリブチレン
テレフタレート,ポリフェニレンサルファイドのそれ
は、それぞれ 1.7×10-5である。
Now, the entire piezoelectric element 21 is covered with the insulator 22 and configured as the piezoelectric element unit 20, which does not come into contact with the insulating plate. Therefore, the piezoelectric element unit 20 receives the force based on the Karman vortex, and the piezoelectric element unit 20 together with the diaphragm 3a. When 20 is distorted, the respective electrodes 21a, 21b, 21c do not slip or vary in contact area between the electrodes of the insulating plate, unlike in the conventional example. Moreover, the output signal is the lead wires 22a, 22b, 2 connected to the electrodes 21a, 21b, 21c.
Since it is taken out through 2c, the variation of the output signal is suppressed. Furthermore, the insulator 22 is small in the coefficient of thermal expansion from the piezoelectric element 21 in any of the above-described materials, the distortion of the piezoelectric element due to temperature change is small, and the temperature characteristic of the output signal of the piezoelectric element is small. It can be suppressed. Incidentally, the expansion coefficient of the piezoelectric element is 1 × 10 -5 , and that of polybutylene terephthalate and polyphenylene sulfide is 1.7 × 10 -5 , respectively.

【0014】[0014]

【発明の効果】請求項1ないし3のいずれかの項に係る
カルマン渦流量計では、圧電素子全体が絶縁物によって
被覆されるから、カルマン渦に基づく力を受けて、ダイ
ヤフラムとともに圧電素子が歪みを生じたたとき、その
電極と、従来例におけるのと異なり絶縁板の電極との間
の滑りや接触面積のバラツキが生じることがない。しか
も、圧電素子の出力信号は、電極に接続されたリード線
を介して取り出されるから、その出力信号のバラツキが
抑止される。したがって、圧電素子全体を絶縁物によっ
て被覆するという簡単な対策によって、流量測定の測定
値の安定化ひいては測定精度の維持,向上が図れる。
In the Karman vortex flowmeter according to any one of claims 1 to 3, since the entire piezoelectric element is covered with the insulator, the piezoelectric element is distorted together with the diaphragm by the force based on the Karman vortex. When this occurs, there is no slippage or variation in contact area between the electrode and the electrode of the insulating plate, unlike in the conventional example. Moreover, since the output signal of the piezoelectric element is taken out through the lead wire connected to the electrode, the variation of the output signal is suppressed. Therefore, the simple measure of covering the entire piezoelectric element with an insulator can stabilize the measurement value of the flow rate measurement and thus maintain and improve the measurement accuracy.

【0015】とくに請求項2または3に係るカルマン渦
流量計では、絶縁物が、ポリブチレンテレフタレート、
またはポリフェニレンサルファイドであるから、いずれ
も熱膨張係数が小さく、温度変化による圧電素子の歪み
が小さく、ひいては圧電素子の出力信号の温度特性が抑
えられる。したがって、温度変化の影響が抑えられ、流
量測定の測定値の安定化ひいては測定精度の維持,向上
が支援される。
Particularly, in the Karman vortex flowmeter according to claim 2 or 3, the insulator is polybutylene terephthalate,
Alternatively, since polyphenylene sulfide is used, the coefficient of thermal expansion is small, the distortion of the piezoelectric element due to temperature change is small, and the temperature characteristic of the output signal of the piezoelectric element is suppressed. Therefore, the influence of the temperature change is suppressed, and the stabilization of the measured value of the flow rate measurement, and thus the maintenance and improvement of the measurement accuracy are supported.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明に係る実施例の圧電素子ユニットの平
面図
FIG. 1 is a plan view of a piezoelectric element unit according to an embodiment of the present invention.

【図2】同じくその圧電素子ユニットの側断面図FIG. 2 is a side sectional view of the same piezoelectric element unit.

【図3】従来の圧電素子に関し、(a) はその平面図、
(b) はその背面図
FIG. 3A is a plan view of a conventional piezoelectric element,
(b) Rear view

【図4】従来の圧電素子に係る絶縁板に関し、(a) はそ
の一方の平面図、(b) はその他方の平面図
FIG. 4 is a plan view of one of the insulating plates related to the conventional piezoelectric element, and (b) is a plan view of the other.

【図5】従来例の側断面図FIG. 5 is a side sectional view of a conventional example.

【図6】従来例における渦発生体の孔部の横断面図FIG. 6 is a transverse sectional view of a hole portion of a vortex generator in a conventional example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 管路 2 渦発生体 3 渦検出体 3a ダイヤフラム 3b 検出棒 20 圧電ユニット 21 圧電素子 21a,21b,21c 電極 22 絶縁物 23a,23b,23c リード線 1 Pipeline 2 Vortex Generator 3 Vortex Detector 3a Diaphragm 3b Detection Rod 20 Piezoelectric Unit 21 Piezoelectric Element 21a, 21b, 21c Electrode 22 Insulator 23a, 23b, 23c Lead Wire

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】カルマン渦に基づく力を受ける検出棒と、
歪みを生じるダイヤフラムとが一体的に構成され、その
ダイヤフラムの表面に歪み検出用の圧電素子が電気的に
絶縁されて設けられた流量計において、圧電素子は、そ
の各電極にリード線が接続されてなり、全体が絶縁物に
よって被覆されてなることを特徴とするカルマン渦流量
計。
1. A detection rod which receives a force based on a Karman vortex,
In a flowmeter in which a strain-producing diaphragm is integrally configured, and a piezoelectric element for strain detection is provided on the surface of the diaphragm in an electrically insulated manner, the piezoelectric element has a lead wire connected to each electrode. The Karman vortex flowmeter, characterized in that it is entirely covered with an insulator.
【請求項2】請求項1に記載の流量計において、絶縁物
は、エンジニアリングプラスティックのポリブチレンテ
レフタレートであることを特徴とするカルマン渦流量
計。
2. The Karman vortex flowmeter according to claim 1, wherein the insulating material is engineering plastic polybutylene terephthalate.
【請求項3】請求項1に記載の流量計において、絶縁物
は、エンジニアリングプラスティックのポリフェニレン
サルファイドであることを特徴とするカルマン渦流量
計。
3. The Karman vortex flowmeter according to claim 1, wherein the insulator is an engineering plastic polyphenylene sulfide.
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