JPH07123747A - Ultrasonic motor - Google Patents
Ultrasonic motorInfo
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- JPH07123747A JPH07123747A JP5262740A JP26274093A JPH07123747A JP H07123747 A JPH07123747 A JP H07123747A JP 5262740 A JP5262740 A JP 5262740A JP 26274093 A JP26274093 A JP 26274093A JP H07123747 A JPH07123747 A JP H07123747A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、圧電、磁歪等の電気
−機械変換により超音波を励振することにより駆動力を
発生する超音波モータに関し、より詳しくは小型の超音
波モータの振動体の材料に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an ultrasonic motor for generating a driving force by exciting ultrasonic waves by electro-mechanical conversion such as piezoelectric and magnetostriction, and more particularly to a vibrating body of a small ultrasonic motor. Regarding materials.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、超音波モータの振動体の材料とし
ては、アルミ、鉄、ステンレス、黄銅などの金属材料が
使用され、アルミ系の材料としては、例えば、本出願人
等が日本時計学会誌 No141(1992)に「超音
波モータを用いた振動アラーム付きAQの開発」として
発表しているものがある。2. Description of the Related Art Conventionally, a metal material such as aluminum, iron, stainless steel, or brass has been used as a material for a vibrating body of an ultrasonic motor. There is one published in No. 141 (1992) as "Development of AQ with vibration alarm using ultrasonic motor".
【0003】また、特開昭62−193575号公報及
び特開昭60−200778号公報等に、従来の超音波
モータの振動体の材料についての開示がある。Further, Japanese Unexamined Patent Publication No. 62-193575 and Japanese Unexamined Patent Publication No. 60-200778 disclose the material of the vibrating body of the conventional ultrasonic motor.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかし、前述したよう
に、超小型の超音波モータの振動体の材料としては、鉄
系の材料では、耐食性についての課題があり、ステンレ
ス系では、加工性についての課題があり、黄銅系の材料
では共振尖鋭度Qが小さいという課題があり、さらに前
記材料では比重が大きいため超音波モータの重量が大き
くなるという課題がある。However, as described above, as a material of the vibrator of the ultra-small ultrasonic motor, iron-based materials have a problem of corrosion resistance, and stainless-steel materials have a problem of workability. There is a problem that the resonance sharpness Q is small in the brass-based material, and there is a problem that the weight of the ultrasonic motor is large because the material has a large specific gravity.
【0005】そこで、この発明の目的は、従来のこのよ
うな課題を解決するため、比重の小さいアルミ系の材料
を振動体の材料として使用し、小型で耐環境性の良い超
音波モータを得ることにある。しかし、アルミ系の材料
としても種々の合金があり、それぞれにその合金の特徴
があり、特に超小型の超音波モータの振動体について
は、共振周波数が極めて高くなる、微細構造となるため
高精度の機械加工が要求される、耐食性が要求されるた
めに使用する材料を厳選しなければならない。Therefore, in order to solve such a conventional problem, an object of the present invention is to use an aluminum-based material having a small specific gravity as a material of a vibrating body to obtain a compact ultrasonic motor having good environment resistance. Especially. However, there are various alloys as aluminum-based materials, and each has its own characteristics. Especially for the vibrators of ultra-small ultrasonic motors, the resonance frequency becomes extremely high, and because of the fine structure, high precision is achieved. The materials to be used must be carefully selected because they require the machining of, and the corrosion resistance is required.
【0006】[0006]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、この発明は超音波モータの振動体の材料としてAl
−Mg系の材料をベースにした合金を使用することによ
り軽量化するとともに加工性、耐食性の向上がはかれる
ようにした。In order to solve the above-mentioned problems, the present invention uses Al as a material of a vibrating body of an ultrasonic motor.
By using an alloy based on a Mg-based material, it is possible to reduce the weight and improve the workability and corrosion resistance.
【0007】[0007]
【作用】上記のように構成された超音波モータにおいて
は、振動体としてAl−Mg系の材料をベースにした合
金を使用することにより振動体を軽量化するとともに、
加工性、耐食性を満足できることとなる。In the ultrasonic motor configured as described above, the weight of the vibrator is reduced by using the alloy based on the Al--Mg type material as the vibrator, and
Workability and corrosion resistance can be satisfied.
【0008】[0008]
【実施例】以下に、この発明の実施例の構成を図面に基
づいて説明する。なお、実施例の各図面において、同様
の部品には同一の符号を付し、重複した説明は省略す
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The construction of an embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. In each of the drawings of the embodiments, the same parts are designated by the same reference numerals, and the duplicated description will be omitted.
【0009】図1は本発明の小型の超音波モータの基本
構造を示す断面図である。中心軸120は、支持板13
0に固定する。中心軸120は、円板形状の振動体10
0を中心部で支持する。中心軸120は、ロータ140
の案内をする。支持板130及び中心軸120の機械的
共振周波数は、振動体100の共振周波数と干渉しない
ように十分離されており、支持の影響により振動体10
0の振動漏れ、減衰を生じさせない支持構造となってい
る。FIG. 1 is a sectional view showing the basic structure of a small ultrasonic motor according to the present invention. The central shaft 120 is the support plate 13
Fixed at 0. The center axis 120 is the disk-shaped vibrating body 10.
0 is supported at the center. The central axis 120 is the rotor 140.
To guide you. The mechanical resonance frequencies of the support plate 130 and the central shaft 120 are sufficiently separated so as not to interfere with the resonance frequency of the vibrating body 100, and the vibrating body 10 is affected by the support.
It has a support structure that does not cause zero vibration leakage and damping.
【0010】圧電素子110は、振動体100の下面に
接着する。圧電素子110は、高周波の交流信号により
駆動され、振動体100に超音波振動が励振される。ま
た、振動体100上面には圧電素子110により励振さ
れた微小変位を拡大するための複数の突起部101を設
ける。The piezoelectric element 110 is bonded to the lower surface of the vibrating body 100. The piezoelectric element 110 is driven by a high frequency AC signal, and ultrasonic vibration is excited in the vibrating body 100. In addition, a plurality of protrusions 101 are provided on the upper surface of the vibrating body 100 to magnify the minute displacement excited by the piezoelectric element 110.
【0011】移動体を構成するロータ140は、ロータ
体に摩擦材141を接合して構成する。ばね150は、
ベアリング170の内輪と止めネジ160の間に配置す
る。摩擦材141は、振動体の突起部101先端にロー
タ体に接合する。ロータ140は、ばね150により摩
擦材141に加圧、接触する。ロータ140は、摩擦材
141との摩擦により回転する。The rotor 140, which constitutes the moving body, is constructed by joining the friction material 141 to the rotor body. Spring 150
It is arranged between the inner ring of the bearing 170 and the set screw 160. The friction material 141 is joined to the rotor body at the tip of the protruding portion 101 of the vibrating body. The rotor 140 pressurizes and contacts the friction material 141 by the spring 150. The rotor 140 rotates due to friction with the friction material 141.
【0012】図2は振動体100の構造を示す図であ
る。振動体100の支持構造は、超音波モータの特性に
大きな影響を与える。本発明の超音波モータでは、振動
体100を直径10ミリメートル以下の円板形状とす
る。振動体100の中心に設けた穴部に中心軸120を
打ち込んで支持する。振動体100の振動が、基本振動
モードあるいは高次振動モードの場合でも、中心部は振
動の節部になるために、簡素で良好な支持構造となる。FIG. 2 is a view showing the structure of the vibrating body 100. The support structure of the vibrating body 100 greatly affects the characteristics of the ultrasonic motor. In the ultrasonic motor of the present invention, the vibrating body 100 has a disk shape with a diameter of 10 mm or less. The center shaft 120 is driven in and supported by a hole provided at the center of the vibrating body 100. Even if the vibration of the vibrating body 100 is in the basic vibration mode or the higher-order vibration mode, the center portion serves as a node of the vibration, so that the support structure is simple and excellent.
【0013】複数の突起部101を有する振動体100
は、本発明のAl−Mg系の材料を切削加工して製造さ
れる。複数の突起部101の断面積は0.05平方ミリ
メートル以下であり、個々の突起部の寸度のばらつきは
0.005ミリメートル以下に加工される。従って材料
選定では加工性が最優先される。Vibrating body 100 having a plurality of protrusions 101
Is manufactured by cutting the Al-Mg-based material of the present invention. The cross-sectional area of the plurality of protrusions 101 is 0.05 mm 2 or less, and the variation in the dimension of each protrusion is processed to 0.005 mm or less. Therefore, workability has the highest priority in material selection.
【0014】超音波モータを小型軽量化する場合の課題
は、各々の部品が小型化され、特に振動体については、
共振周波数が高くなるのは避けられないので、高周波で
の機械的振動損失が大とならないようにする。すなわ
ち、振動体の共振先鋭度Qが小とならないようにする。The problem in reducing the size and weight of the ultrasonic motor is to reduce the size of each component.
Since it is unavoidable that the resonance frequency becomes high, the mechanical vibration loss at high frequency should not be large. That is, the resonance sharpness Q of the vibrating body is prevented from becoming small.
【0015】本発明の超音波モータは円板たわみ振動モ
ードを利用しているが、その共振周波数Fは、下記の数
1で表される。The ultrasonic motor of the present invention utilizes the disk flexural vibration mode, and its resonance frequency F is expressed by the following formula 1.
【0016】[0016]
【数1】 [Equation 1]
【0017】ここで、 k: 振動モード、形状等により決まる定数 t: 振動体の厚み d: 振動体の半径 E: 振動体の縦弾性係数 ρ: 振動体の密度 σ: ポアソン比 である。Here, k is a constant determined by the vibration mode, shape, etc. t: thickness of the vibrating body d: radius of the vibrating body E: longitudinal elastic coefficient of the vibrating body ρ: density of the vibrating body σ: Poisson's ratio
【0018】また回路構成、回路部品選定の容易さおよ
び電気的ノイズを防ぐために、超音波モータを小型化し
ても、共振周波数Fが高くならないようにしたい。振動
体外形を小型化しつつ共振周波数が高くならないように
するためには、振動体の厚みtを薄くしなければならな
い。従って、振動体の突起部および厚み寸度が極端に小
さくなるので、加工寸法公差が著しく厳しくなり、加工
性が良く、耐腐食性の高い材料が要求される。In addition, in order to prevent the circuit configuration, the ease of selection of circuit components and the electrical noise, it is desired that the resonance frequency F does not become high even if the ultrasonic motor is downsized. In order to reduce the outer shape of the vibrating body and prevent the resonance frequency from increasing, it is necessary to reduce the thickness t of the vibrating body. Therefore, since the protrusions and thickness of the vibrating body are extremely reduced, the working dimensional tolerance becomes extremely strict, the workability is good, and the material having high corrosion resistance is required.
【0019】さらに、超音波モータの振動体は、ロータ
の摩擦材と摩擦接触するので耐摩耗性が高いこと、共振
周波数の温度係数が小さいこと等も要求される図3は前
述した超音波モータを小型にする場合の振動体に付いて
の課題を、使用される可能性のある材料について比較、
評価した表である。Furthermore, since the vibrating body of the ultrasonic motor is in frictional contact with the friction material of the rotor, it is required to have high wear resistance and a small temperature coefficient of resonance frequency. Comparing the problems with the vibrating body in the case of miniaturizing the materials that may be used,
It is an evaluated table.
【0020】鉄系の材料は、高周波での共振先鋭度に優
れるものの、軽量化、加工性、耐食性、耐磨耗性は充分
ではない。ステンレス(SUS)系の材料は、耐食性に
優れ、加工性は許容できるものの、軽量化、高周波での
共振先鋭度、耐磨耗性は充分ではない。Although iron-based materials have excellent resonance sharpness at high frequencies, they are not sufficient in weight reduction, workability, corrosion resistance, and abrasion resistance. Although stainless steel (SUS) -based materials have excellent corrosion resistance and acceptable workability, they do not have sufficient weight reduction, resonance sharpness at high frequencies, and abrasion resistance.
【0021】これに対して、アルミニウム系は、軽量化
には大変優れ、高周波での共振先鋭度、加工性、耐磨耗
性に優れ、しかも、耐食性は許容できる。なお、上記の
いずれの材料も共振周波数温度特性は充分とはいえな
い。したがって、超音波モータを超小型にする場合の振
動体の材料としてはアルミ系の材料が適していることが
明白である。On the other hand, the aluminum-based material is very excellent in weight reduction, has excellent resonance sharpness at high frequencies, workability, and abrasion resistance, and has acceptable corrosion resistance. It should be noted that none of the above materials has sufficient resonance frequency temperature characteristics. Therefore, it is obvious that the aluminum-based material is suitable as the material of the vibrating body when the ultrasonic motor is made ultra-small.
【0022】図4は、小型超音波モータに使用される本
発明のアルミニウム−マグネシウム系(Al−Mg系)
の振動体の材料成分を示す表である。アルミニウム系の
材料でも種々の合金があり、それぞれにその合金の特徴
があるが、図4に示すAl−Mg系の材料の振動体は、
加工性、特に切削加工性および表面仕上がりの向上を狙
い、さらに耐食性を向上させた材料である。FIG. 4 shows the aluminum-magnesium system (Al-Mg system) of the present invention used in a compact ultrasonic motor.
3 is a table showing material components of the vibrating body of FIG. There are various alloys of aluminum-based materials, and each has its own characteristics. However, the vibration body of the Al-Mg-based material shown in FIG.
It is a material with improved corrosion resistance aimed at improving workability, especially machinability and surface finish.
【0023】(1)第一実施例 図4の材料Aの成分は、本発明の超音波モータの振動体
の第一実施例の基本的な構成である。材料の成分比率
は、好ましくは、Mgが4.5〜5.6%であり、Mn
が0.05〜9.0%であり、Crが0.05〜0.2
%であり、Feが0.4%以下であり、Cuが0.1%
以下であり、Siが0.3%以下であり、Zn0.1%
以下であり、Alを除くその他の成分合計が0.15%
以下であり、残部がAlであるAl−Mg系材料であ
る。(1) First Embodiment The component of the material A in FIG. 4 is the basic constitution of the first embodiment of the vibrator of the ultrasonic motor of the present invention. The component ratio of the material is preferably such that Mg is 4.5 to 5.6%, and Mn is
Is 0.05 to 9.0%, and Cr is 0.05 to 0.2.
%, Fe is 0.4% or less, Cu is 0.1%
Below, Si is below 0.3%, Zn is 0.1%
Below, 0.15% of the total of other components except Al
The following is an Al-Mg-based material in which the balance is Al.
【0024】(2)第二実施例 図4の材料Bの成分は、本発明の超音波モータの振動体
の第二実施例の基本的な構成である。材料Bは加工性を
最優先したときの材料であり、材料Aの成分比率に比較
すると、好ましくは、Mnだけが0.05〜0.2%と
異なっているAl−Mg系材料である。(2) Second Embodiment The component of the material B in FIG. 4 is the basic constitution of the second embodiment of the vibrating body of the ultrasonic motor of the present invention. The material B is a material when workability is given the highest priority, and when compared with the component ratio of the material A, preferably, only Mn is an Al-Mg based material different from 0.05 to 0.2%.
【0025】(3)第三実施例 図4の材料Cの成分は、本発明の超音波モータの振動体
の第三実施例の基本的な構成である。材料Cは、加工に
よる応力腐食対策を狙った材料である。(3) Third Embodiment The component of the material C in FIG. 4 is the basic constitution of the third embodiment of the vibrator of the ultrasonic motor of the present invention. The material C is a material aiming at a countermeasure against stress corrosion due to processing.
【0026】材料の成分比率が、好ましくは、Mgが
4.5〜5.6%であり、Mnが0.1〜0.6%であ
り、Crが0.2%以下であり、Feが0.5%以下で
あり、Cuが0.1%以下であり、Siが0.4%以下
であり、Znが0.2%以下であり、Alを除くその他
の成分合計が0.15%以下であり、残部がAlである
Al−Mg系材料である。The component ratio of the material is preferably 4.5 to 5.6% for Mg, 0.1 to 0.6% for Mn, 0.2% or less for Cr, and Fe. 0.5% or less, Cu is 0.1% or less, Si is 0.4% or less, Zn is 0.2% or less, and the total of other components except Al is 0.15%. The following is an Al-Mg-based material in which the balance is Al.
【0027】次に材料中の各成分の働きについて説明す
る。Mgは加工性、強度、耐食性を向上させる。Mnは
耐食性を損なうことなく強度を上げる。Feは結晶粒微
細化に効果があり、その結果加工性、強度が向上する。
Crは応力腐食割れの防止と熱間加工時の再結晶の抑制
をするためである。その他の成分は不純物として経済的
に除去すべき限度である。Next, the function of each component in the material will be described. Mg improves workability, strength, and corrosion resistance. Mn increases the strength without impairing the corrosion resistance. Fe has an effect of refining crystal grains, and as a result, workability and strength are improved.
This is because Cr prevents stress corrosion cracking and suppresses recrystallization during hot working. Other components are the limits that should be economically removed as impurities.
【0028】また、Mn,Crの相互作用により加工に
よる応力腐食を減少させる。前述した材料Cについては
この効果を狙ったものである。なお、上記の実施例にお
いて、各成分が上記の成分比率以下のときは、その効果
が減少する。Further, the interaction of Mn and Cr reduces stress corrosion due to working. The above-mentioned material C is aimed at this effect. In addition, in the above-mentioned example, when each ingredient is below the above-mentioned ingredient ratio, the effect will decrease.
【0029】一方、Mgが上記の成分比率以上となる
と、粒界腐食や応力腐食が発生しやすくなる。Feが上
記の成分比率以上となると、耐食性が悪くなり、靱性が
低くなる。Cuが上記の成分比率以上となると、耐食性
が悪くなり、溶接性、成形性が低下する。On the other hand, when Mg is more than the above component ratio, intergranular corrosion and stress corrosion are likely to occur. When Fe is more than the above component ratio, the corrosion resistance becomes poor and the toughness becomes low. When Cu is more than the above component ratio, corrosion resistance deteriorates, and weldability and formability deteriorate.
【0030】また、その他の各成分が上記の成分比率以
上のときは、その効果が減少したり、その他の不具合が
発生することになる。本発明では、直径10ミリメート
ル以下の超小型超音波モータについての実施例を示した
が、直径25ミリメートル以下程度の小型超音波モータ
についても大きな効果がある。Further, when the ratio of each of the other components is more than the above-mentioned component ratio, the effect thereof is reduced or other troubles occur. In the present invention, the embodiment is shown for the ultra-small ultrasonic motor having a diameter of 10 mm or less, but the present invention has a great effect also for a small ultrasonic motor having a diameter of 25 mm or less.
【0031】(4)第四実施例 さらに、本発明の超音波モータを用いて、超音波モータ
の移動体を構成するロータ140と一体に動作する動力
伝達手段と、動力伝達手段の動作に基づいて動作する出
力手段とを設ける構成とすることにより、超音波モータ
付電子機器が実現できる。(4) Fourth Embodiment Further, based on the operation of the power transmission means that integrally operates with the rotor 140 that constitutes the moving body of the ultrasonic motor using the ultrasonic motor of the present invention, An electronic device with an ultrasonic motor can be realized by providing an output means that operates in accordance with the above.
【0032】動力伝達手段としては、好ましくは、歯車
や摩擦車等の伝達車などを用いる。出力手段としては、
好ましくは、電子時計においては指針を用い、カメラに
おいてはフィルム送り装置やレンズ駆動装置を用い、工
作機械においては刄具送り装置や加工部材送り装置を用
い、ロボットにおいてはアーム等を用いる。As the power transmission means, transmission wheels such as gears and friction wheels are preferably used. As output means,
Preferably, a pointer is used in an electronic timepiece, a film feeding device or a lens driving device is used in a camera, a tool feeding device or a processing member feeding device is used in a machine tool, and an arm or the like is used in a robot.
【0033】本発明の超音波モータ付電子機器として
は、好ましくは、電子時計、カメラ、プリンタ、印刷
機、工作機械、ロボット、移動装置などが実現できる。As the electronic device with an ultrasonic motor of the present invention, preferably, an electronic timepiece, a camera, a printer, a printing machine, a machine tool, a robot, a moving device, etc. can be realized.
【0034】[0034]
【発明の効果】この発明は、以上説明したように、小型
の超音波モータの振動体としてAl−Mg系の材料をベ
ースにした合金を使用することにより、振動体を軽量化
するとともに、加工性、耐食性を向上することにより高
精度で、耐環境性の良い小型の超音波モータを提供でき
るという効果がある。As described above, according to the present invention, by using an alloy based on an Al-Mg-based material as a vibrating body of a small ultrasonic motor, the vibrating body can be made lighter and processed. By improving the durability and corrosion resistance, there is an effect that it is possible to provide a small ultrasonic motor with high accuracy and good environmental resistance.
【図1】本発明の超音波モータの基本構造を示す断面図
である。FIG. 1 is a sectional view showing a basic structure of an ultrasonic motor of the present invention.
【図2】本発明の超音波モータの振動体の構造を示す図
であるFIG. 2 is a diagram showing a structure of a vibrating body of the ultrasonic motor of the present invention.
【図3】超音波モータを小型にする場合の振動体に付い
ての課題を、使用される可能性のある材料について比
較、評価した表である。FIG. 3 is a table in which the problems associated with the vibrating body when the ultrasonic motor is downsized are compared and evaluated for materials that may be used.
【図4】本発明のAl−Mg系の振動体の材料成分を示
す表である。FIG. 4 is a table showing material components of an Al—Mg-based vibrator of the present invention.
100 振動体 101 振動体の突起部 110 圧電素子 120 中心軸 130 支持板 140 ロータ 141 摩擦材 150 バネ 160 止めネジ 170 ベアリング 100 Vibrating Body 101 Vibrating Body Protruding Part 110 Piezoelectric Element 120 Central Shaft 130 Support Plate 140 Rotor 141 Friction Material 150 Spring 160 Set Screw 170 Bearing
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 飯野 朗弘 東京都江東区亀戸6丁目31番1号 セイコ ー電子工業株式会社内 (72)発明者 鈴木 賢二 東京都江東区亀戸6丁目31番1号 セイコ ー電子工業株式会社内 (72)発明者 山崎 皇 東京都江東区亀戸6丁目31番1号 セイコ ー電子工業株式会社内 (72)発明者 鈴木 誠 東京都江東区亀戸6丁目31番1号 セイコ ー電子工業株式会社内 (72)発明者 井上 竜紀 東京都江東区亀戸6丁目31番1号 セイコ ー電子工業株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Akihiro Iino 6-31-1, Kameido, Koto-ku, Tokyo Seiko Electronics Co., Ltd. (72) Kenji Suzuki 6-31-1, Kameido, Koto-ku, Tokyo No. Seiko Electronics Co., Ltd. (72) Inventor Emperor Yamazaki 6-31-1 Kameido, Koto-ku, Tokyo Seiko Electronics Co., Ltd. (72) Makoto Suzuki 6-31-1, Kameido, Koto-ku, Tokyo No. Seiko Electronics Co., Ltd. (72) Inventor Ryuki Inoue 6-31-1, Kameido, Koto-ku, Tokyo Inside Seiko Electronics Co., Ltd.
Claims (5)
体(100)と、振動体(100)に発生する振動波に
より摩擦駆動される移動体(140)とを有する超音波
モータであって、振動体(100)をアルミニウム−マ
グネシウム系材料で構成したことを特徴とする超音波モ
ータ。1. An ultrasonic motor having a vibrating body (100) excited by a high-frequency AC signal and a moving body (140) frictionally driven by a vibration wave generated in the vibrating body (100), An ultrasonic motor, wherein the vibrating body (100) is made of an aluminum-magnesium-based material.
ネシウム系材料により構成され、振動体(100)を構
成する材料の成分比率が、Mgが4.5〜5.6%であ
り、Mnが0.05〜9.0%であり、Crが0.05
〜0.2%であり、Feが0.4%以下であり、Cuが
0.1%以下であり、Siが0.3%以下であり、Zn
が0.1%以下であり、Alを除くその他の成分合計が
0.15%以下であり、残部がAlである請求項1記載
の超音波モータ。2. The vibrating body (100) is made of an aluminum-magnesium-based material, and the component ratio of the material constituting the vibrating body (100) is 4.5 to 5.6% for Mg and 0 for Mn. 0.05 to 9.0% and Cr of 0.05
~ 0.2%, Fe less than 0.4%, Cu less than 0.1%, Si less than 0.3%, Zn
Is 0.1% or less, the total amount of other components excluding Al is 0.15% or less, and the balance is Al.
ネシウム系材料により構成され、振動体(100)を構
成する材料の成分比率が、Mgが4.5〜5.6%であ
り、Mnが0.05〜0.2%であり、Crが0.05
〜0.2%であり、Feが0.4%以下であり、Cuが
0.1%以下であり、Siが0.3%以下であり、Zn
が0.1%以下であり、Alを除くその他の成分合計が
0.15%以下であり、残部がAlであることを特徴と
する請求項1記載の超音波モータ。3. The vibrating body (100) is made of an aluminum-magnesium-based material, and the material composition ratio of the vibrating body (100) is such that Mg is 4.5 to 5.6% and Mn is 0. 0.05 to 0.2% and Cr of 0.05
~ 0.2%, Fe less than 0.4%, Cu less than 0.1%, Si less than 0.3%, Zn
Is 0.1% or less, the total of other components excluding Al is 0.15% or less, and the balance is Al. 3. The ultrasonic motor according to claim 1, wherein
ネシウム系材料により構成され、振動体(100)を構
成する材料の成分比率をMgが4.5〜5.6%であ
り、Mnが0.1〜0.6%であり、Crが0.2%以
下であり、Feが0.5%以下であり、Cuが0.1%
以下であり、Siが0.4%以下であり、Znが0.2
%以下であり、Alを除くその他の成分合計が0.15
%以下であり、残部がAlである請求項1記載の超音波
モータ。4. The vibrating body (100) is made of an aluminum-magnesium-based material, and the material composition ratio of the vibrating body (100) is such that Mg is 4.5 to 5.6% and Mn is 0. 1 to 0.6%, Cr is 0.2% or less, Fe is 0.5% or less, and Cu is 0.1%.
Or less, Si is 0.4% or less, and Zn is 0.2
% Or less, and the total of other components except Al is 0.15
% Or less, and the balance is Al, The ultrasonic motor according to claim 1.
記載の超音波モータを有し、 移動体(140)と一体に動作する動力伝達手段と、 動力伝達手段の動作に基づいて動作する出力手段と、 を有することを特徴とする超音波モータ付電子機器。5. An ultrasonic motor according to any one of claims 1 to 4, a power transmission unit that operates integrally with a moving body (140), and an operation based on the operation of the power transmission unit. An electronic device with an ultrasonic motor, comprising: an output unit that operates.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5262740A JPH07123747A (en) | 1993-10-20 | 1993-10-20 | Ultrasonic motor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP5262740A JPH07123747A (en) | 1993-10-20 | 1993-10-20 | Ultrasonic motor |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JPH07123747A true JPH07123747A (en) | 1995-05-12 |
Family
ID=17379929
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5262740A Pending JPH07123747A (en) | 1993-10-20 | 1993-10-20 | Ultrasonic motor |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JPH07123747A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7732981B2 (en) | 2008-08-05 | 2010-06-08 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Ultrasonic motor having lightweight vibrating element |
-
1993
- 1993-10-20 JP JP5262740A patent/JPH07123747A/en active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US7732981B2 (en) | 2008-08-05 | 2010-06-08 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Ultrasonic motor having lightweight vibrating element |
KR101531268B1 (en) * | 2008-08-05 | 2015-06-26 | 삼성전자주식회사 | Ultrasonic motor having lightweight vibrating element |
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