JPH07123683A - Swing type actuator - Google Patents

Swing type actuator

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JPH07123683A
JPH07123683A JP27196893A JP27196893A JPH07123683A JP H07123683 A JPH07123683 A JP H07123683A JP 27196893 A JP27196893 A JP 27196893A JP 27196893 A JP27196893 A JP 27196893A JP H07123683 A JPH07123683 A JP H07123683A
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JP
Japan
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yoke
center
permanent magnet
fixed
arc
Prior art date
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Pending
Application number
JP27196893A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yoshihiko Kuriyama
義彦 栗山
Teruo Umehara
輝雄 梅原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
KUMAGAI DENSHI KK
Proterial Ltd
Original Assignee
KUMAGAI DENSHI KK
Hitachi Metals Ltd
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Publication date
Application filed by KUMAGAI DENSHI KK, Hitachi Metals Ltd filed Critical KUMAGAI DENSHI KK
Priority to JP27196893A priority Critical patent/JPH07123683A/en
Publication of JPH07123683A publication Critical patent/JPH07123683A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To provide a swing actuator in which the change of thrust in swing direction is small and whose constituent member can be manufactured at low cost and besides with high accuracy. CONSTITUTION:In a swing actuator, where a permanent magnet 5 is fixed to a yoke 1 being made roughly in the shape of E out of a cylindrical center yoke 2, an outer yoke, and an inner yoke, and an arm provided with a mobile coil is constituted shiftably along the center yoke 2, the thickness dimension of the vicinity of the stroke end of the mobile coil of the center yoke 2 is made larger than the thickness dimension of the middle section, and also the permanent magnet 5 fixed to the outer yoke is formed being magnetized in the direction going to the center axis of curvature.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は,例えば磁気ディスク装
置における磁気ヘッドの位置決め手段等に使用される揺
動型アクチュエータ,すなわち磁気ヘッドのような機能
部材が円弧軌跡を描くように揺動するように構成された
アクチュエータに関するものであり,特に揺動方向の推
力の変化を少なくし,所謂リニアリティを向上させると
共に,構成部材を低コストかつ高精度で製作できる揺動
型アクチュエータに関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an oscillating actuator used for positioning means of a magnetic head in a magnetic disk device, that is, a functional member such as a magnetic head oscillates so as to draw an arc locus. In particular, the present invention relates to an oscillating actuator that can reduce the change in thrust in the oscillating direction, improve so-called linearity, and manufacture components at low cost and with high accuracy.

【0002】[0002]

【従来の技術】図7は従来の揺動型アクチュエータの例
を示す要部平面図である。図7において,1はヨークで
あり,例えば軟鉄のような強磁性材料によって,平面へ
の投影形状を略E字形に形成する。2はセンターヨー
ク,3はサイドヨークであり,各々平面への投影形状を
円弧状に形成する。4はカウンターヨークであり,前記
ヨーク1と同様な材料によって平板状に形成し,ヨーク
1の開放端に例えばねじ等によって固着する。
2. Description of the Related Art FIG. 7 is a plan view of an essential part showing an example of a conventional rocking type actuator. In FIG. 7, reference numeral 1 denotes a yoke, which is made of a ferromagnetic material such as soft iron to have a substantially E-shaped projection on a plane. Reference numeral 2 is a center yoke, and 3 is a side yoke, each of which forms a projection shape on a plane into an arc shape. Reference numeral 4 denotes a counter yoke, which is formed of a material similar to that of the yoke 1 into a flat plate shape and fixed to the open end of the yoke 1 by, for example, a screw.

【0003】次に5は永久磁石であり,断面を円弧状に
形成すると共に,厚さ方向に着磁し,サイドヨーク3の
内側に同極が対向するように,例えば接着剤を介して固
着し,センターヨーク2との間に磁気空隙6を形成す
る。7はアームであり,一端に中空角筒状に形成した可
動コイル8を,他端に例えば磁気ヘッドのような機能部
材(図示せず)を各々固着し,可動コイル8が前記永久
磁石5とセンターヨーク2とによって形成される磁気空
隙6内に位置するように,軸9を介して回動若しくは揺
動可能に配設する。
Next, 5 is a permanent magnet, which has a circular arc-shaped cross section, is magnetized in the thickness direction, and is fixed, for example, with an adhesive so that the same pole faces the inside of the side yoke 3. Then, a magnetic gap 6 is formed between the center yoke 2 and the center yoke 2. An arm 7 has a movable coil 8 formed in the shape of a hollow prism at one end and a functional member (not shown) such as a magnetic head fixed to the other end. The movable coil 8 and the permanent magnet 5 are fixed to each other. It is rotatably or swingably disposed via a shaft 9 so as to be positioned in a magnetic gap 6 formed by the center yoke 2.

【0004】上記の構成により可動コイル8に信号電流
を通電すると,フレミングの左手の法則に従って,可動
コイル8に軸9の回りの駆動力が作用し,アーム7を回
動若しくは揺動させ,アーム7の他端に設けた例えば磁
気ヘッドを,磁気ディスク上の所定の記録トラックに位
置決めすることができる。なお回動若しくは揺動方向の
切り換えは,可動コイル8への通電電流の向きを反転さ
せることによって行う。
When a signal current is applied to the movable coil 8 with the above-described structure, a driving force around the shaft 9 acts on the movable coil 8 according to Fleming's left-hand rule, causing the arm 7 to rotate or swing to move. For example, a magnetic head provided at the other end of 7 can be positioned on a predetermined recording track on the magnetic disk. The rotation or swinging direction is switched by reversing the direction of the current flowing through the movable coil 8.

【0005】図8は前記図7における永久磁石5の成形
手段の例を示す要部横断面平面図である。図8において
10は成形用金型であり,強磁性材料からなるコア11
および外型12と,非磁性材料からなる部材13とを組
み合わせて構成する。14は成形用キャビティである。
上記成形用金型10を1対の電磁石15,15間に配置
し,破線にて示すような放射状磁場内において圧縮成形
し,得られた成形体を焼結,熱処理して図7に示す永久
磁石5を得ることができる。なお永久磁石5の着磁は,
図8と同様の構成を有する着磁装置(図示せず)によっ
て行えばよい。
FIG. 8 is a horizontal cross-sectional plan view of an essential part showing an example of the molding means of the permanent magnet 5 in FIG. In FIG. 8, 10 is a molding die, and a core 11 made of a ferromagnetic material.
And the outer die 12 and the member 13 made of a non-magnetic material. 14 is a molding cavity.
The molding die 10 is placed between a pair of electromagnets 15, 15 and compression-molded in a radial magnetic field as shown by the broken line, and the resulting molded body is sintered and heat-treated to obtain the permanent magnet shown in FIG. The magnet 5 can be obtained. The magnetization of the permanent magnet 5 is
It may be performed by a magnetizing device (not shown) having the same configuration as that in FIG.

【0006】しかしながら,上記のような放射状磁場内
で圧縮成形する場合の成形用金型10の構成が極めて複
雑になるため,製作コストが高額になるのみならず,成
形体における磁粉の配向が困難であったり,配向の乱れ
が発生する。更に永久磁石5の曲率半径の大なるものに
おいては,成形用金型10が必然的に大となり,一方曲
率半径の小なるものにおいては,正確な放射状磁場を形
成することが困難な場合がある。
However, since the structure of the molding die 10 in the case of compression molding in the radial magnetic field as described above becomes extremely complicated, not only the manufacturing cost becomes high, but also the orientation of the magnetic powder in the molded body is difficult. Or the orientation is disturbed. Further, if the permanent magnet 5 has a large radius of curvature, the molding die 10 is necessarily large, whereas if the permanent magnet 5 has a small radius of curvature, it may be difficult to form an accurate radial magnetic field. .

【0007】図9は前記図7における永久磁石5の成形
手段の他の例を示す要部横断面平面図であり,同一部分
は前記図8と同一の参照符号で示す。図9において成形
用キャビティ14は,図7に示す永久磁石5の横断面輪
郭に相当する略円弧状に形成し,破線にて示す平行磁場
内に配設する。このような成形用金型10によれば,前
記図8に示すものより簡単に永久磁石5を得ることがで
きる。
FIG. 9 is a horizontal cross-sectional plan view of an essential part showing another example of the molding means for the permanent magnet 5 in FIG. 7, and the same parts are designated by the same reference numerals as in FIG. In FIG. 9, the molding cavity 14 is formed in a substantially arc shape corresponding to the cross-sectional contour of the permanent magnet 5 shown in FIG. 7, and is arranged in the parallel magnetic field shown by the broken line. According to such a molding die 10, the permanent magnet 5 can be obtained more easily than that shown in FIG.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら,図9に
示すような成形手段によって成形した永久磁石5を使用
した揺動型アクチュエータにおいては,図7に示す可動
コイル8若しくはアーム7に作用する揺動方向の推力の
変化が大であり,リニアリティが低いという問題点があ
る。
However, in the rocking type actuator using the permanent magnet 5 molded by the molding means as shown in FIG. 9, the rocking motion acting on the movable coil 8 or the arm 7 shown in FIG. There is a problem that the change in thrust in the direction is large and the linearity is low.

【0009】図6は前記図7に示す磁気空隙6内の磁束
密度とアームの回動角との関係を示す図である。図6に
おいて曲線a,bは図7における外側および内側の各々
磁気空隙6,6aに対応するものである。図6から明ら
かなように,アームの回動角が各々0゜および50゜近
傍における磁束密度が,中間部における磁束密度より低
い値を示しており,特に曲線a(外側の磁気空隙に対応
する)において甚だしい。今,磁束変化率を(最大値−
最小値)/最大値で表した場合,曲線aにおいては40
%以上の値となり,揺動型アクチュエータの性能を低下
させる要因となっている。
FIG. 6 is a diagram showing the relationship between the magnetic flux density in the magnetic gap 6 shown in FIG. 7 and the rotation angle of the arm. Curves a and b in FIG. 6 correspond to the outer and inner magnetic gaps 6 and 6a in FIG. 7, respectively. As is clear from FIG. 6, the magnetic flux densities at the arm rotation angles near 0 ° and 50 ° are lower than the magnetic flux densities at the intermediate portion, and in particular the curve a (corresponding to the outer magnetic gap) ) Is extremely severe. Now, change the magnetic flux change rate (maximum value −
When expressed by (minimum value) / maximum value, it is 40 in curve a.
%, Which is a factor that reduces the performance of the swing actuator.

【0010】次に図7に示す従来のものにおいては,セ
ンターヨーク2および永久磁石5の厚さ寸法が,可動コ
イル8の揺動方向において何れも同一寸法に形成されて
いる。一方永久磁石5の両端縁部においては漏洩磁束が
存在するため,磁気空隙6内における有効磁束が当然に
減少するから,前記図6において示すように,アームの
回動角両端部において磁束密度を減少させる一因となっ
ている。
In the conventional structure shown in FIG. 7, the center yoke 2 and the permanent magnet 5 have the same thickness in the swinging direction of the movable coil 8. On the other hand, since there is a leakage magnetic flux at both end edges of the permanent magnet 5, the effective magnetic flux in the magnetic gap 6 naturally decreases. Therefore, as shown in FIG. This is one of the causes of the decrease.

【0011】更に上記図7に示すヨーク1は,前記のよ
うな鉄系の強磁性材料によって形成されるのであるが,
これらの素材は,例えば冷間鍛造,粉末冶金,精密鋳造
等の成形手段によって成形される。そしてヨーク1を構
成するセンターヨーク2およびサイドヨーク3の凹凸円
筒面は,永久磁石5の取付精度および磁気空隙6の空隙
寸法精度を高水準に確保するために,機械加工により例
えば寸法精度を0.05mm以下にする必要がある。
Further, the yoke 1 shown in FIG. 7 is made of the iron-based ferromagnetic material as described above.
These materials are formed by forming means such as cold forging, powder metallurgy and precision casting. In order to secure the mounting accuracy of the permanent magnet 5 and the air gap dimensional accuracy of the magnetic air gap 6 at a high level, the concave and convex cylindrical surfaces of the center yoke 2 and the side yoke 3 which constitute the yoke 1 are machined to have a dimensional accuracy of 0.05, for example. Must be less than mm.

【0012】しかしながら,上記ヨーク1の凹凸円筒面
を高精度で機械加工する作業は極めて煩雑であり,かつ
その加工工数および加工時間が大になるのが通常であ
る。従って機械加工コストが嵩むこととなり,揺動型ア
クチュエータの製作費が高騰する結果を招来する。
However, the work of machining the concave-convex cylindrical surface of the yoke 1 with high accuracy is extremely complicated, and the working man-hour and the working time are usually large. Therefore, the machining cost will increase, which will result in a high manufacturing cost of the swing actuator.

【0013】また,例えば精密鋳造等の手段を使用した
場合,その素材の磁気特性はS10C相当となり,飽和
磁束密度Bs は1.6〜1.7(T)である。一方平板型ボ
イスコイル型モータに使用される鋼板(SS41,SP
Cなど)は飽和磁束密度Bsは1.8(T)程度であり,
磁気特性が低下してしまう。
When a means such as precision casting is used, the magnetic characteristics of the material are equivalent to S10C, and the saturation magnetic flux density Bs is 1.6 to 1.7 (T). On the other hand, steel plates used in flat plate type voice coil type motors (SS41, SP
(Such as C) has a saturation magnetic flux density Bs of about 1.8 (T),
The magnetic characteristics will deteriorate.

【0014】更にヨーク1は図7に示すように,全体の
形状が複雑であるため,この素材を成形する場合の作業
もまた煩雑であり,生産性を低下させるという問題点が
ある。なお前記のような素材成形手段においては,何れ
も成形用の金型が必要であり,複雑な形状の素材を成形
するための金型は,製作コストが必然的に高価となるた
め,揺動型アクチュエータの製作費を増大させる一因と
なるのである。
Further, as shown in FIG. 7, since the yoke 1 has a complicated overall shape, the work for molding this material is also complicated and there is a problem that the productivity is lowered. It should be noted that any of the material forming means as described above requires a mold for forming, and a mold for forming a material having a complicated shape inevitably requires a high manufacturing cost. This is one of the reasons for increasing the manufacturing cost of the die actuator.

【0015】一方この種の揺動型アクチュエータに対す
る小型化,低コスト化への要求は近年において特に厳し
くなってきており,上記従来の構成のものでは製作コス
トが嵩むため,上記の要求を満足させることができない
という問題点がある。
On the other hand, in recent years, the demands for downsizing and cost reduction of this type of oscillating actuator have become particularly strict, and the above-mentioned conventional structure satisfies the above requirements because the manufacturing cost increases. There is a problem that you cannot do it.

【0016】本発明は,上記従来技術に存在する問題点
を解決し,揺動方向の推力の変化を少なくすると共に,
構成部材を低コストかつ高精度で製作できる揺動型アク
チュエータを提供することを目的とする。
The present invention solves the above-mentioned problems existing in the prior art, reduces the change in thrust in the swing direction, and
An object of the present invention is to provide an oscillating actuator capable of manufacturing the constituent members at low cost and with high accuracy.

【0017】[0017]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に,まず第1の発明においては,円弧状のセンターヨー
クの両側にそれと同軸の円弧状のアウターヨークとイン
ナーヨークとを設け平面への投影形状を略E字形に形成
したヨークと,アウターヨークとインナーヨークの内表
面に固着されかつ対向する面に同極が現れるように形成
された円弧状の永久磁石と,前記ヨークの開放端に固着
されたカウンターヨークと,一端に可動コイルを他端に
機能部材を各々固着して揺動自在に形成したアームとか
らなり,前記可動コイルを中空筒状に形成しかつ前記セ
ンターヨークに沿って移動可能に構成した揺動型アクチ
ュエータにおいて,センターヨークの可動コイルのスト
ローク端部近傍の厚さ寸法を中間部の厚さ寸法より大に
形成すると共に,少なくともアウターヨークに固着され
る永久磁石を曲率中心軸に向う方向に磁化して形成す
る,という技術的手段を採用した。
In order to achieve the above object, in the first aspect of the invention, first of all, an arc-shaped outer yoke and an inner yoke which are coaxial with the arc-shaped center yoke are provided on both sides of the center yoke. A yoke having a substantially E-shaped projected shape, an arc-shaped permanent magnet that is fixed to the inner surfaces of the outer yoke and the inner yoke and has the same poles on the opposite surfaces, and the open end of the yoke. The counter yoke is fixed, and the movable coil is fixed to one end and the functional member is fixed to the other end. The arm is swingably formed. The movable coil is formed in a hollow cylindrical shape and extends along the center yoke. In the swingable actuator configured to be movable, the thickness of the moving coil of the center yoke near the stroke end is formed to be larger than the thickness of the intermediate portion, and Formed by magnetizing in a direction toward the permanent magnet which is fixed to the outer yoke to the center of curvature axis even without adopts the technical means of.

【0018】次に第2の発明においては,円弧状のセン
ターヨークの両側にそれと同軸の円弧状のアウターヨー
クとインナーヨークとを設け平面への投影形状を略E字
形に形成したヨークと,アウターヨークとインナーヨー
クの内表面に固着されかつ対向する面に同極が現れるよ
うに形成された円弧状の永久磁石と,前記ヨークの開放
端に固着されたカウンターヨークと,一端に可動コイル
を他端に機能部材を各々固着して揺動自在に形成したア
ームとからなり,前記可動コイルを中空筒状に形成しか
つ前記センターヨークに沿って移動可能に構成した揺動
型アクチュエータにおいて,少なくともアウターヨーク
に固着される永久磁石を曲率中心軸に向う方向に磁化し
て形成し,かつ円周方向端縁部の厚さ寸法を中間部の厚
さ寸法より大に形成形成する,という技術的手段を採用
した。
Next, in the second aspect of the present invention, an arc-shaped center yoke is provided on both sides with an arc-shaped outer yoke and an inner yoke, which are coaxial with the arc-shaped center yoke. An arc-shaped permanent magnet that is fixed to the inner surfaces of the yoke and the inner yoke and has the same poles on the opposite surfaces, a counter yoke fixed to the open end of the yoke, and a movable coil at one end. An oscillating actuator having a movable coil formed in a hollow cylindrical shape and movable along the center yoke, the oscillating actuator having at least an outer member and an arm formed by oscillating with functional members fixed to each end. The permanent magnet fixed to the yoke is magnetized in the direction toward the center of curvature, and the thickness of the circumferential edge is larger than that of the middle part. Formed is adopted technical means of.

【0019】上記の発明において,センターヨークの可
動コイルのストローク端部近傍の厚さ寸法を中間部より
大に形成することおよび/またはヨークの横断面形状と
同一に形成した薄板を複数個積層してヨークを形成し,
ヨークおよび永久磁石の外表面に熱可塑性樹脂材料から
なる被覆を設けることができる。
In the above invention, the thickness of the movable coil of the center yoke in the vicinity of the stroke end of the movable coil is made larger than that of the middle portion, and / or a plurality of thin plates having the same cross-sectional shape as the yoke are laminated. To form the yoke,
A coating made of a thermoplastic resin material may be provided on the outer surfaces of the yoke and the permanent magnet.

【0020】上記の発明において,構成部材としての永
久磁石はその厚さ寸法が制限されるため動作点が高くと
れないので,保磁力の大なる希土類系のものを使用する
ことが好ましい。更に近年のものにおいては一層の薄型
化および高性能化が要求されるため,磁気空隙内に高い
磁束密度を確保する点で,R−Fe−B系(R:Y,N
d等の希土類元素の1種以上)の永久磁石を使用するこ
とがより好ましい。
In the above invention, since the permanent magnet as a constituent member cannot have a high operating point because its thickness is limited, it is preferable to use a rare earth magnet having a large coercive force. Further, in recent years, further thinning and higher performance are required, so in order to secure a high magnetic flux density in the magnetic gap, the R-Fe-B system (R: Y, N
It is more preferable to use a permanent magnet of one or more rare earth elements such as d).

【0021】次に上記の発明におけるヨークを形成する
薄板は,パンチ・ダイセットによって打抜き成形するこ
とが好ましく,この場合打抜きダイ中において連続的に
積層することも可能である。また薄板相互間は,例えば
ダボおよびダボ孔の係合によって密着一体化が可能であ
るが,層間に接着剤を介在させてもよい。更に積層体に
貫通孔を設けておき,積層後においてリベットその他の
締結手段を介して一体化してもよい。
Next, the thin plate forming the yoke in the above invention is preferably stamped and formed by a punch / die set, and in this case, it is also possible to continuously laminate in the punching die. Further, the thin plates can be tightly integrated with each other by engaging dowels and dowel holes, but an adhesive may be interposed between the layers. Further, a through hole may be provided in the laminated body, and after the lamination, they may be integrated with each other via a rivet or other fastening means.

【0022】上記のヨークは,通常は鉄系材料によって
形成されるため,防錆のために外表面に耐食性材料から
なる被覆を設けるが,このような材料としては公知の樹
脂材料を使用することができる。被覆形成手段として
は,塗布,吹付等の他に,積層体を金型中にインサート
し,樹脂材料を充填して行うモールド成形(射出成形)
の手段を使用できる。
Since the above-mentioned yoke is usually made of an iron-based material, a coating made of a corrosion-resistant material is provided on the outer surface for rust prevention, but a known resin material should be used as such a material. You can As the coating forming means, in addition to coating, spraying, etc., molding (injection molding) in which the laminated body is inserted into a mold and filled with a resin material
Can be used.

【0023】また上記樹脂材料として熱可塑性樹脂材料
を使用することができ,例えばポリフェニレンサルファ
イド樹脂,ポリブチレンテレフタレート樹脂,ポリアミ
ド樹脂,ポリイミド樹脂,ポリアミドイミド樹脂,ポリ
エステル樹脂等の公知の樹脂(好ましくは耐熱性を有す
る樹脂)を使用することができる。
Further, a thermoplastic resin material can be used as the above resin material. For example, known resins such as polyphenylene sulfide resin, polybutylene terephthalate resin, polyamide resin, polyimide resin, polyamideimide resin, polyester resin (preferably heat resistant) can be used. Resin having a property) can be used.

【0024】[0024]

【作用】上記の構成により,可動コイルのストローク端
部における磁気空隙の磁束密度を確保することができ,
揺動方向の推力の変化を少なくし,リニアリティを向上
させ得る。
With the above structure, the magnetic flux density of the magnetic gap at the stroke end of the moving coil can be secured,
Linearity can be improved by reducing the change in thrust in the swing direction.

【0025】またヨークを構成する薄板の外形輪郭寸法
は,薄板の成形時において精度が確保され,また薄板相
互間は例えば一体に成形されたダボとダボ孔との係合に
よって正確に位置決めされ得るから,積層後における機
械加工を省略することができる。この結果高精度かつ低
コストの製作が実現されるのである。
Further, the outer contour dimensions of the thin plates constituting the yoke are ensured in accuracy during the molding of the thin plates, and the thin plates can be accurately positioned by the engagement of the integrally formed dowels and dowel holes, for example. Therefore, machining after lamination can be omitted. As a result, highly accurate and low cost manufacturing is realized.

【0026】[0026]

【実施例】図1は本発明の実施例における磁気回路を示
す要部平面図であり,同一部分は前記図7と同一の参照
符号で示す。図1において,21は肉厚増大部であり,
センターヨーク2の先端部および根元部,すなわち可動
コイル(図示せず,図7における符号8参照)のストロ
ーク端部近傍に設け,それらの厚さ寸法t1 を中間部の
厚さ寸法tより大に形成する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 is a plan view of essential parts showing a magnetic circuit according to an embodiment of the present invention, and the same parts are designated by the same reference numerals as those in FIG. In FIG. 1, 21 is a wall thickness increasing portion,
The center yoke 2 is provided near the tip and the root, that is, near the stroke end of the movable coil (not shown, see reference numeral 8 in FIG. 7), and the thickness t 1 thereof is larger than the thickness t of the intermediate portion. To form.

【0027】次に51は分割磁石であり,外側のサイド
ヨーク3(アウターヨーク)に設けられ,例えば前記図
7に示す永久磁石5の円周方向長さの略1/3の円周方
向長さに形成し,これらの分割磁石51を円周方向に接
続して永久磁石5を形成する。なおこれらの分割磁石5
1は,夫々厚さ方向であり,かつ曲率中心軸と円周方向
中間部とを含む平面と平行な磁場内における配向を施し
て形成する。破線は上記磁場の配向方向である。このよ
うな分割磁石51は,前記図9に示すような平行磁場中
成形手段によって容易に成形することができる。
Next, reference numeral 51 is a split magnet, which is provided on the outer side yoke 3 (outer yoke), and is, for example, approximately 1/3 of the circumferential length of the permanent magnet 5 shown in FIG. Then, the divided magnets 51 are connected in the circumferential direction to form the permanent magnet 5. These split magnets 5
Numeral 1 is formed in the thickness direction and is oriented in a magnetic field parallel to a plane including the center axis of curvature and the intermediate portion in the circumferential direction. The broken line is the orientation direction of the magnetic field. Such a split magnet 51 can be easily formed by a parallel magnetic field forming means as shown in FIG.

【0028】上記の構成により,外側のサイドヨーク3
に設けられる分割磁石51の個々の配向方向は平行であ
るが,永久磁石5全体としての配向方向はサイドヨーク
3の曲率中心軸(図示せず,図7における軸9の軸心)
に向かう,所謂ラジアル配向となるため,磁気空隙6内
の有効磁束を確保することができ,磁気回路の高性能化
が図られる。
With the above structure, the outer side yoke 3
The orientation directions of the split magnets 51 provided in the respective magnets are parallel, but the orientation direction of the permanent magnet 5 as a whole is the central axis of curvature of the side yoke 3 (not shown, axis of axis 9 in FIG. 7).
Since the so-called radial orientation is directed toward, the effective magnetic flux in the magnetic gap 6 can be secured, and the performance of the magnetic circuit can be improved.

【0029】またセンターヨーク2の先端部および根元
部に肉厚増大部21を設けたことにより,永久磁石5か
らの磁束を肉厚増大部21に向けることができ,図7に
示す可動コイル8のストローク端部における漏洩磁束を
減少させ,この部位における磁気空隙6内の有効磁束を
確保できるのである。
Further, by providing the thickness increasing portion 21 at the tip and the root of the center yoke 2, the magnetic flux from the permanent magnet 5 can be directed to the thickness increasing portion 21, and the movable coil 8 shown in FIG. It is possible to reduce the leakage magnetic flux at the stroke end portion and secure the effective magnetic flux in the magnetic gap 6 at this portion.

【0030】なお上記実施例においては,永久磁石5と
して分割磁石51を接続して形成した例を示したが,こ
れに限らず一体成形した永久磁石(但し,曲率中心軸に
向かう方向,すわちラジアル方向に磁化したもの)を使
用することもできる。
In the above-mentioned embodiment, the example in which the split magnets 51 are connected as the permanent magnets 5 is shown, but the present invention is not limited to this, and the integrally formed permanent magnets (however, the direction toward the center axis of curvature, that is, A magnetized in the radial direction) can also be used.

【0031】図2は本発明の他の実施例における磁気回
路を示す要部平面図であり,(a)は分割磁石の厚さ寸
法を連続して変化させた例,(b)は分割磁石の厚さ寸
法を断続して変化させた例を示し,同一部分は前記図1
と同一の参照符号で示す。なお図2においては,説明の
都合上,外側のサイドヨーク3に設けられる分割磁石5
1についてのNS極の表示は省略しているが,図1に示
すものと同一である。
2A and 2B are plan views of a main part of a magnetic circuit according to another embodiment of the present invention. FIG. 2A is an example in which the thickness dimension of the split magnet is continuously changed, and FIG. 2B is a split magnet. Fig. 1 shows an example in which the thickness dimension is intermittently changed.
The same reference numerals are used. Note that, in FIG. 2, the split magnets 5 provided on the outer side yokes 3 are illustrated for convenience of description.
Although the NS pole display for 1 is omitted, it is the same as that shown in FIG.

【0032】図2(a)において,円周方向端縁部の分
割磁石51の自由端縁部の厚さ寸法をT1 ,T2 とし,
中間部の分割磁石51の中間部の厚さ寸法をTとし,永
久磁石5全体として厚さ寸法がTからT1 ,T2 まで連
続して変化するように形成する。なお厚さ寸法T,
1 ,T2 は,T1 ,T2 >Tに形成する。従って分割
磁石51,51間の接続端縁部の厚さ寸法をTC とする
と,T1 ,T2 >TC >Tとなる。また分割磁石51に
ついては,前記図1に示すものと同様な磁場配向を施す
ものとする。
In FIG. 2A, the thickness dimension of the free end edge of the divided magnet 51 at the edge in the circumferential direction is T 1 , T 2 ,
The thickness dimension of the intermediate portion of the intermediate magnet 51 is T, and the thickness of the permanent magnet 5 as a whole is formed so as to continuously change from T to T 1 and T 2 . The thickness T,
T 1 and T 2 are formed so that T 1 and T 2 > T. Therefore, if the thickness dimension of the connection edge between the split magnets 51, 51 is T C , then T 1 , T 2 > T C > T. In addition, the split magnet 51 is subjected to the same magnetic field orientation as that shown in FIG.

【0033】上記の構成により,分割磁石51を接続し
て形成した永久磁石5の自由端縁部における磁束密度
を,中間部のそれより大にすることができ,漏洩磁束を
差引いても永久磁石5の自由端縁部,すなわち図7に示
す可動コイル8のストローク端部における磁気空隙6内
の有効磁束を確保することができる。図2(a)におい
ては,T1 =T2 としてあるが,T1 ≠T2 であっても
よい。
With the above structure, the magnetic flux density at the free end edge of the permanent magnet 5 formed by connecting the split magnets 51 can be made larger than that at the intermediate portion, and even if the leakage magnetic flux is subtracted, the permanent magnet 5 It is possible to secure the effective magnetic flux in the magnetic air gap 6 at the free end edge of No. 5, that is, at the stroke end of the movable coil 8 shown in FIG. Although T 1 = T 2 in FIG. 2A, T 1 ≠ T 2 may be set.

【0034】次に図2(b)に示すものは,中央の分割
磁石51の厚さ寸法をTとし,円周方向端縁部の分割磁
石51の厚さ寸法をT3 ,T4 としたとき,T3 ,T4
>Tに形成したものである。なお分割磁石51の磁場配
向方向は前記図1および図2(a)に示すものと同様で
ある。このような構成により,前記図2(a)に示すも
のと同様に,図7に示す可動コイル8のストローク端部
における磁気空隙6内の有効磁束を確保することができ
る。図2(b)においては,T3 =T4 としてあるが,
3 ≠T4 であってもよい。
Next, in the one shown in FIG. 2B, the thickness dimension of the split magnet 51 at the center is T, and the thickness dimensions of the split magnet 51 at the circumferential edge portion are T 3 and T 4 . When T 3 , T 4
> T. The magnetic field orientation direction of the split magnet 51 is the same as that shown in FIGS. 1 and 2A. With such a configuration, as in the case shown in FIG. 2A, the effective magnetic flux in the magnetic gap 6 at the stroke end of the movable coil 8 shown in FIG. 7 can be secured. In FIG. 2B, T 3 = T 4 , but
It may be T 3 ≠ T 4 .

【0035】図5は本発明の実施例における磁気回路の
磁気空隙内の磁束密度とアーム回動角度との関係を示す
図であり,前記図6と対応する図である。すなわち図1
および図2に示す外側のサイドヨーク3(アウターヨー
ク)に固着した永久磁石5によって形成される磁気空隙
6,6a内の磁束密度分布を示している。
FIG. 5 is a diagram showing the relationship between the magnetic flux density in the magnetic gap of the magnetic circuit and the arm rotation angle in the embodiment of the present invention, and is a diagram corresponding to FIG. That is, FIG.
2 shows the magnetic flux density distribution in the magnetic gaps 6 and 6a formed by the permanent magnet 5 fixed to the outer side yoke 3 (outer yoke) shown in FIG.

【0036】図5において,曲線A1 ,A2 ,A3 は夫
々下記のような構成の磁気回路に対応するものである。 (曲線A1 ) センターヨーク2を等厚に形成し,永久
磁石5を図1に示す分割磁石51を円周方向に3個接続
したもの。 (曲線A2 ) センターヨーク2に図1に示す肉厚増大
部21を設け,永久磁石5として図7に示す従来の構成
としたもの。 (曲線A3 ) 図1に示す構成の磁気回路としたもの。
In FIG. 5, curves A 1 , A 2 and A 3 correspond to magnetic circuits having the following configurations, respectively. (Curve A 1 ) The center yoke 2 is formed to have the same thickness, and the permanent magnet 5 is formed by connecting three divided magnets 51 shown in FIG. 1 in the circumferential direction. (Curve A 2 ) A structure in which the center yoke 2 is provided with the wall thickness increasing portion 21 shown in FIG. 1 and the permanent magnet 5 has the conventional structure shown in FIG. 7. (Curve A 3 ) The magnetic circuit having the configuration shown in FIG. 1.

【0037】なお図5および図6は,永久磁石としてN
d−Fe−B系焼結磁石(日立金属(株)製 HS42
AH)を使用し,磁気空隙の中間(図2(a)における
1=18.15 mm, R2 =26.95 mmの部位)における磁束
密度分布を示すものである。
In FIGS. 5 and 6, the permanent magnet is N
d-Fe-B system sintered magnet (HS42 manufactured by Hitachi Metals, Ltd.)
AH) is used to show the magnetic flux density distribution in the middle of the magnetic gap (the region where R 1 = 18.15 mm and R 2 = 26.95 mm in FIG. 2A).

【0038】図5から明らかなように,曲線A1 におい
ては磁束変化率は23%となり,図6の曲線aにおける
40%から改善されることがわかる。すなわち永久磁石
5全体としてラジアル配向となるための効果と認められ
る。また曲線A2 における磁束変化率は18%に向上
し,曲線A1 におけると同様な改善が認められる。これ
は図1に示すセンターヨーク2に設けた肉厚増大部21
による磁束収束の効果であると認められる。そして曲線
3 においては,磁束変化率は13%に向上し,上記ラ
ジアル配向と磁束収束による相乗効果が現れたものと認
められる。
As is clear from FIG. 5, the magnetic flux change rate is 23% in the curve A 1 , which is improved from the 40% in the curve a in FIG. That is, it is recognized that the permanent magnet 5 as a whole is in the radial orientation. The rate of change of magnetic flux in the curve A 2 is improved to 18%, and the same improvement as in the curve A 1 is recognized. This is the thickened portion 21 provided in the center yoke 2 shown in FIG.
It is recognized that this is an effect of magnetic flux convergence due to. Then, in the curve A 3 , the magnetic flux change rate was improved to 13%, and it is considered that the synergistic effect due to the radial orientation and the magnetic flux convergence appeared.

【0039】上記図1に示す構成において,永久磁石5
として図2に示すような構成とすることにより,磁束変
化率は更に減少し,リニアリティを大幅に向上させるこ
とが可能である。
In the structure shown in FIG. 1, the permanent magnet 5
As a result, by adopting the configuration shown in FIG. 2, it is possible to further reduce the magnetic flux change rate and significantly improve the linearity.

【0040】図3は本発明の更に他の実施例におけるヨ
ークの主要部を示す平面図,図4は図3におけるヨーク
の一部断面側面図であり,(a)はダボとダボ孔による
積層接合例,(b)はリベットによる積層接合例を示
す。図3および図4において,20は薄板であり,例え
ばSPCCのような軟鋼板により,前記図1に示すヨー
ク1の横断面形状と同一の平面形状に形成する。
FIG. 3 is a plan view showing a main part of a yoke in still another embodiment of the present invention, FIG. 4 is a partial sectional side view of the yoke in FIG. 3, and FIG. 3A is a stack of dowels and dowel holes. Joining example, (b) shows a laminated joining example by rivets. In FIGS. 3 and 4, reference numeral 20 denotes a thin plate, which is formed of a mild steel plate such as SPCC to have the same plane shape as the cross-sectional shape of the yoke 1 shown in FIG.

【0041】このような薄板20を形成するには,パン
チ・ダイセットによる打抜成形手段を適用することが好
ましい。16,17は各々ダボおよびダボ孔であり,各
々同一の外径および内径に,かつ高さ寸法および深さ寸
法が例えば薄板20の厚さ寸法より小になるように形成
する。このようなダボ16およびダボ孔17を形成する
には,前記パンチ・ダイセットにダボ16およびダボ孔
17を成形するパンチおよびダイを組み込んでおき,所
謂ハーフパンチ手段の適用により,薄板20の打抜成形
時に同時に成形することが好ましい。薄板20を成形
後,表面に例えばアラルダイトAV138を塗布して所
定枚数を積層して所定寸法のヨーク1を形成する。
In order to form such a thin plate 20, it is preferable to apply punching and forming means by a punch / die set. Reference numerals 16 and 17 are dowels and dowel holes, respectively, which are formed to have the same outer diameter and inner diameter, and to have a height dimension and a depth dimension smaller than the thickness dimension of the thin plate 20, for example. In order to form the dowel 16 and the dowel hole 17 as described above, a punch and a die for forming the dowel 16 and the dowel hole 17 are incorporated in the punch / die set, and a so-called half punch means is applied to punch the thin plate 20. It is preferable to perform molding at the same time as the blanking. After forming the thin plate 20, for example, Araldite AV138 is applied on the surface and a predetermined number of layers are laminated to form the yoke 1 having a predetermined size.

【0042】上記の構成により,予め着磁した分割磁石
(図示せず,図1における符号51参照)をヨーク1内
の所定位置に吸着固定した状態で,成形金型内にインサ
ートし,各構成部材の表面に熱可塑性樹脂(例えばポリ
フェニレンサルファイド,ポリカーボネート,不飽和ポ
リエステル,液晶性プラスチック等のエンジニアリング
プラスチック)を射出成形して被覆を形成する。この被
覆により各構成部材の表面の発錆が防止されると共に,
被覆の抱持作用により,各構成部材の相対移動が防止さ
れ得るのである。
With the above-mentioned structure, the divided magnets (not shown, reference numeral 51 in FIG. 1) magnetized in advance are inserted and fixed in a predetermined position in the yoke 1, and are inserted into the molding die to form each structure. A thermoplastic resin (for example, polyphenylene sulfide, polycarbonate, unsaturated polyester, engineering plastic such as liquid crystal plastic) is injection-molded on the surface of the member to form a coating. This coating prevents rusting of the surface of each component,
Due to the hugging action of the coating, relative movement of each component can be prevented.

【0043】次に図2(b)に示す積層接合例において
は,薄板20の打抜成形時に,リベット孔18を同時に
穿設し,所定枚数を積層後,リベット19を介して締結
するのである。この場合ヨーク1の反りを防止するため
に,最上段の薄板20aと最下段の薄板20bは,他の
薄板20より厚さ寸法を大に形成することが望ましい。
この場合リベット19に代えて,ボルトその他の締結手
段を使用してもよい。
Next, in the laminated joining example shown in FIG. 2 (b), the rivet holes 18 are formed at the same time when the thin plate 20 is stamped and formed, and after laminating a predetermined number of sheets, they are fastened via the rivets 19. . In this case, in order to prevent the warp of the yoke 1, it is desirable that the uppermost thin plate 20a and the lowermost thin plate 20b have a larger thickness than the other thin plates 20.
In this case, a bolt or other fastening means may be used instead of the rivet 19.

【0044】本実施例においては,分割磁石51が3個
の場合について記述したが,これに限らず任意の複数個
としても作用は同様である。また分割磁石51は外側の
サイドヨーク3(アウターヨーク)のみでなく,必要に
応じて内側のサイドヨーク3(インナーヨーク)に設け
てもよい。
In this embodiment, the case where the number of the divided magnets 51 is three has been described, but the present invention is not limited to this, and the operation is the same even if an arbitrary number of magnets are used. Further, the split magnet 51 may be provided not only on the outer side yoke 3 (outer yoke) but also on the inner side yoke 3 (inner yoke) if necessary.

【0045】[0045]

【発明の効果】本発明は以上記述のような構成および作
用であるから,可動コイルのストローク端部における磁
気空隙の磁束密度を確保することができ,揺動方向の推
力の変化を少なくし,リニアリティを向上させることが
できる。また構成部材であるヨークを薄板の打抜き積層
のみによって形成することができ,かつ以後の機械加工
を省略することができ,低コストで製作できると共に,
高精度を確保することができる。更にヨークおよび永久
磁石の表面に耐食性材料からなる被覆を設けたことによ
り,発錆を防止し得ると共に,異物による装置内の汚染
を防止し得るという効果を奏し得る。
EFFECTS OF THE INVENTION Since the present invention has the structure and operation as described above, it is possible to secure the magnetic flux density of the magnetic gap at the stroke end of the moving coil, reduce the change in thrust in the swing direction, Linearity can be improved. In addition, the yoke, which is a constituent member, can be formed only by punching and laminating thin plates, and subsequent machining can be omitted.
High accuracy can be secured. Further, by providing a coating made of a corrosion resistant material on the surfaces of the yoke and the permanent magnet, it is possible to prevent rusting and prevent contamination of the inside of the apparatus by foreign matter.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の実施例における磁気回路を示す要部平
面図である。
FIG. 1 is a plan view of relevant parts showing a magnetic circuit according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の他の実施例における磁気回路を示す要
部平面図であり,(a)は分割磁石の厚さ寸法を連続し
て変化させた例,(b)は分割磁石の厚さ寸法を断続し
て変化させた例を示す。
FIG. 2 is a plan view of a main part showing a magnetic circuit according to another embodiment of the present invention, in which (a) is an example in which the thickness dimension of the split magnet is continuously changed, and (b) is the thickness of the split magnet. An example of intermittently changing the size is shown below.

【図3】本発明の更に他の実施例におけるヨークの主要
部を示す平面図である。
FIG. 3 is a plan view showing a main part of a yoke according to still another embodiment of the present invention.

【図4】図3におけるヨークの一部断面側面図であり,
(a)はダボとダボ孔による積層接合例,(b)はリベ
ットによる積層接合例を示す。
FIG. 4 is a partial cross-sectional side view of the yoke in FIG.
(A) shows an example of laminated joining by means of dowels and dowel holes, and (b) shows an example of laminated joining by means of rivets.

【図5】本発明の実施例における磁気回路の磁気空隙内
の磁束密度とアーム回動角度との関係を示す図である。
FIG. 5 is a diagram showing a relationship between a magnetic flux density in a magnetic gap of a magnetic circuit and an arm rotation angle in an example of the present invention.

【図6】図7に示す磁気空隙6内の磁束密度とアームの
回動角度との関係を示す図である。
6 is a diagram showing the relationship between the magnetic flux density in the magnetic gap 6 shown in FIG. 7 and the rotation angle of the arm.

【図7】従来の揺動型アクチュエータの例を示す要部平
面図である。
FIG. 7 is a plan view of relevant parts showing an example of a conventional rocking type actuator.

【図8】図7における永久磁石5の成形手段の例を示す
要部横断面平面図である。
8 is a horizontal cross-sectional plan view of an essential part showing an example of a forming unit of the permanent magnet 5 in FIG.

【図9】図7における永久磁石5の成形手段の他の例を
示す要部横断面平面図である。
9 is a horizontal cross-sectional plan view of an essential part showing another example of the forming means of the permanent magnet 5 in FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ヨーク 2 センターヨーク 3 サイドヨーク 5 永久磁石 21 肉厚増大部 51 分割磁石 1 yoke 2 center yoke 3 side yoke 5 permanent magnet 21 thickened portion 51 split magnet

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 円弧状のセンターヨークの両側にそれと
同軸の円弧状のアウターヨークとインナーヨークとを設
け平面への投影形状を略E字形に形成したヨークと,ア
ウターヨークとインナーヨークの内表面に固着されかつ
対向する面に同極が現れるように形成された円弧状の永
久磁石と,前記ヨークの開放端に固着されたカウンター
ヨークと,一端に可動コイルを他端に機能部材を各々固
着して揺動自在に形成したアームとからなり,前記可動
コイルを中空筒状に形成しかつ前記センターヨークに沿
って移動可能に構成した揺動型アクチュエータにおい
て, センターヨークの可動コイルのストローク端部近傍の厚
さ寸法を中間部の厚さ寸法より大に形成すると共に,少
なくともアウターヨークに固着される永久磁石を曲率中
心軸に向う方向に磁化して形成したことを特徴とする揺
動型アクチュエータ。
1. A yoke in which an arc-shaped outer yoke and an inner yoke coaxial with the arc-shaped center yoke are provided on both sides of the arc-shaped center yoke, and a projected shape on a plane is formed into a substantially E shape, and inner surfaces of the outer yoke and the inner yoke. And a counter yoke fixed to the open end of the yoke, a movable coil is fixed to one end, and a functional member is fixed to the other end. And a swingable arm, wherein the movable coil is formed in a hollow cylindrical shape and configured to be movable along the center yoke, the stroke end of the movable coil of the center yoke. The thickness of the vicinity is made larger than the thickness of the middle part, and at least the permanent magnet fixed to the outer yoke is directed toward the center axis of curvature. Rocking type actuator, characterized in that formed by magnetization.
【請求項2】 円弧状のセンターヨークの両側にそれと
同軸の円弧状のアウターヨークとインナーヨークとを設
け平面への投影形状を略E字形に形成したヨークと,ア
ウターヨークとインナーヨークの内表面に固着されかつ
対向する面に同極が現れるように形成された円弧状の永
久磁石と,前記ヨークの開放端に固着されたカウンター
ヨークと,一端に可動コイルを他端に機能部材を各々固
着して揺動自在に形成したアームとからなり,前記可動
コイルを中空筒状に形成しかつ前記センターヨークに沿
って移動可能に構成した揺動型アクチュエータにおい
て, 少なくともアウターヨークに固着される永久磁石を曲率
中心軸に向う方向に磁化して形成し,かつ円周方向端縁
部の厚さ寸法を中間部の厚さ寸法より大に形成したこと
を特徴とする揺動型アクチュエータ。
2. A yoke in which an arc-shaped outer yoke and an inner yoke which are coaxial with the arc-shaped center yoke are provided on both sides of the arc-shaped center yoke, and which has a substantially E-shaped projection on a plane, and inner surfaces of the outer yoke and the inner yoke. And a counter yoke fixed to the open end of the yoke, a movable coil is fixed to one end, and a functional member is fixed to the other end. A permanent magnet fixed to at least an outer yoke, wherein the movable coil is formed in a hollow cylindrical shape and is movable along the center yoke. Is magnetized in the direction toward the center axis of curvature, and the thickness of the circumferential edge is larger than that of the middle portion. Type actuator.
【請求項3】 センターヨークの可動コイルのストロー
ク端部近傍の厚さ寸法を中間部より大に形成したことを
特徴とする請求項2記載の揺動型アクチュエータ。
3. The oscillating actuator according to claim 2, wherein the thickness of the movable coil of the center yoke near the stroke end is larger than that of the intermediate part.
【請求項4】 ヨークの横断面形状と同一に形成した薄
板を複数個積層してヨークを形成し,ヨークおよび永久
磁石の外表面に熱可塑性樹脂材料からなる被覆を設けた
ことを特徴とする請求項1ないし3何れかに記載の揺動
型アクチュエータ。
4. A yoke is formed by laminating a plurality of thin plates having the same cross-sectional shape as the yoke, and a coating made of a thermoplastic resin material is provided on the outer surfaces of the yoke and the permanent magnet. An oscillating actuator according to any one of claims 1 to 3.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006014464A (en) * 2004-06-24 2006-01-12 Shinko Electric Co Ltd Linear actuator
JP2007006626A (en) * 2005-06-24 2007-01-11 Hitachi Via Mechanics Ltd Scanner

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