JPH0712335U - Magnetic suspension type carrier - Google Patents
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- JPH0712335U JPH0712335U JP4044993U JP4044993U JPH0712335U JP H0712335 U JPH0712335 U JP H0712335U JP 4044993 U JP4044993 U JP 4044993U JP 4044993 U JP4044993 U JP 4044993U JP H0712335 U JPH0712335 U JP H0712335U
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 搬送装置からの発塵を防止すると共に、搬送
物であるウェハーの表面の自然酸化膜の形成を防止する
ことができる磁気懸垂式搬送装置を提供する。
【構成】 磁石ユニット１８ａ，１８ｂにより強磁性体
部８ａ，８ｂが吸引され、テーブル５が浮上し、テーブ
ル駆動装置３が、移動駆動装置の１次側１５および２次
側１７間の推力により密閉トンネル２の上部を搬送路に
沿って走行すると、テーブル３がテーブル駆動装置３に
追動する。この時、ギャップセンサ２２ａ，２２ｂによ
り磁石ユニット１８ａ，１８ｂと強磁性体部８ａ，８ｂ
との距離が検出され、この検出結果に基づき懸垂制御装
置２８により磁石ユニット１８ａ，１８ｂが制御され
る。また、移動案内装置の２次側２４ａ，２４ｂが１次
側１６ａ，１６ｂによって案内されることにより、テー
ブル駆動手段の横方向のずれが防止される。
(57) [Abstract] [PROBLEMS] To provide a magnetic suspension type transfer device capable of preventing generation of dust from the transfer device and formation of a natural oxide film on the surface of a wafer as a transfer object. [Structure] The ferromagnetic units 8a and 8b are attracted by the magnet units 18a and 18b, the table 5 is floated, and the table drive device 3 is sealed by a thrust force between the primary side 15 and the secondary side 17 of the movement drive device. When the upper part of the tunnel 2 travels along the transport path, the table 3 follows the table drive device 3. At this time, the gap sensors 22a and 22b allow the magnet units 18a and 18b and the ferromagnetic portions 8a and 8b.
The distance between the magnet units 18a and 18b is controlled by the suspension controller 28 based on the detection result. Further, the secondary sides 24a and 24b of the movement guide device are guided by the primary sides 16a and 16b, so that the lateral displacement of the table driving means is prevented.
Description
【０００１】[0001]
この考案は、クリーンルーム内の搬送装置として用いられる磁気懸垂式搬送装 置に関する。 The present invention relates to a magnetic suspension type transfer device used as a transfer device in a clean room.
【０００２】[0002]
従来、半導体装置の製造工程においては、クリーンルーム内の塵埃によるウェ ハーの汚染を防止することが必要とされている。そのため、工程間のウェハー搬 送に用いられる搬送装置として、接触による発塵の恐れのない非接触式案内駆動 を用いたものがある。このようなウェハー搬送装置としては、例えば実開昭６２ −７４４０２号公報に開示されている磁気浮上式搬送装置が知られている。 2. Description of the Related Art Conventionally, in the manufacturing process of semiconductor devices, it has been necessary to prevent the contamination of wafers by dust in a clean room. Therefore, as a transfer device used for transferring wafers between processes, there is a transfer device that uses a non-contact type guide drive that does not cause dust generation due to contact. As such a wafer transfer device, for example, a magnetic levitation transfer device disclosed in Japanese Utility Model Laid-Open No. 62-74402 is known.
【０００３】 図４に、この磁気浮上式搬送装置の正面図を示す。この図において、磁気浮上 式搬送装置１００は、図示しない支持機構によって支持された搬送路１０１と、 所定位置にウェハー等の搬送物が搭載され、搬送路１０１に支持されて走行自在 な搬送車１０２とからなる。搬送路１０１には、枠体１０３ａ，１０３ｂと、リ ニアモータを構成する固定子１０４と、少なくとも下面が強磁性体によって形成 されるガイドレール１０５ａ，１０５ｂとが設けられている。搬送車１０２は、 上記固定子１０４に空隙をもって対向する二次導体１０６と、ガイドレール１０ ５ａ，１０５ｂ各々に空隙を持って対向し、走行方向に沿って設けられた磁気支 持装置１０７ａ，１０７ｂと、脱落防止および案内のための車輪１０８ａ，１０ ８ｂとが設けられている。FIG. 4 shows a front view of this magnetic levitation type carrier. In this figure, a magnetic levitation transfer apparatus 100 includes a transfer path 101 supported by a support mechanism (not shown), and a transfer vehicle 102 in which a transfer object such as a wafer is mounted at a predetermined position and is supported by the transfer path 101 and can travel freely. Consists of. The transport path 101 is provided with frames 103a and 103b, a stator 104 that constitutes a linear motor, and guide rails 105a and 105b at least whose lower surface is made of a ferromagnetic material. The transport vehicle 102 faces the secondary conductor 106 that faces the stator 104 with a gap, and the magnetic support devices 107a and 107b that face the guide rails 105a and 105b with a gap and are provided along the traveling direction. And wheels 108a and 108b for preventing falling and guiding.
【０００４】 上記搬送車１０２は、ガイドレール１０５ａ，１０５ｂおよび磁気支持装置１ ０７ａ，１０７ｂにより、磁気的に浮上する。そして、固定子１０４に電圧を印 加し、二次導体１０６に対して推力を発生させることにより、搬送車１０２の走 行、加速、減速、および停止が制御される。このような搬送装置は、非接触でウ ェハーの搬送が行われるため、装置からの発塵が防止されると共に、走行等によ るショックも少ない。The carrier 102 is magnetically levitated by the guide rails 105a and 105b and the magnetic supporting devices 107a and 107b. Then, by applying a voltage to the stator 104 and generating thrust on the secondary conductor 106, the traveling, acceleration, deceleration, and stop of the carrier vehicle 102 are controlled. In such a transfer device, since the wafer is transferred in a non-contact manner, dust is prevented from being generated from the device and a shock caused by traveling or the like is small.
【０００５】[0005]
ところで、上述した従来の搬送装置においては、搬送装置からの発塵は防止さ れるが、搬送車１０２に搭載されたウェハーが、搬送中にクリーンルーム内の空 気と接触して空気中の水分および酸素等と反応し、それによってウェハーの表面 に自然酸化膜が形成されるという問題があった。近年、半導体装置が高集積化お よび高性能化しているため、上記のようなわずかな自然酸化膜も問題となり、よ りクリーンな環境が望まれるようになっている。また、上述した搬送装置におい て、箱等にウェハーを収容して搬送するようにしても、完全に空気を遮断するこ とは不可能である。 By the way, in the above-described conventional transfer device, although dust is prevented from being transferred from the transfer device, the wafer mounted on the transfer vehicle 102 comes into contact with the air in the clean room during the transfer to prevent moisture in the air and There is a problem in that a natural oxide film is formed on the surface of the wafer by reacting with oxygen and the like. In recent years, as semiconductor devices have become highly integrated and have high performance, even the slight natural oxide film as described above has become a problem, and a cleaner environment has been desired. Further, in the above-mentioned transfer device, even if the wafer is transferred while being housed in a box or the like, it is impossible to completely shut off the air.
【０００６】 この考案は、このような背景の下になされたもので、搬送装置からの発塵を防 ぐと共に、ウェハーの表面の自然酸化膜の発生を防止することができる磁気懸垂 式搬送装置を提供することを目的とする。The present invention has been made under such a background, and a magnetic suspension type transfer device capable of preventing generation of dust from the transfer device and generation of a natural oxide film on the surface of a wafer. The purpose is to provide.
【０００７】[0007]
請求項１に係る考案による磁気懸垂式搬送装置は、搬送路に沿って設置され、 内部の空気が不活性ガスにより置換された密閉トンネルと、前記密閉トンネル内 に移動自在に収容され、少なくとも上面部分が強磁性体で形成され、半導体装置 等の搬送物が搭載されるテーブルと、前記密閉トンネルの上部を前記搬送路に沿 って走行し、前記テーブルに形成された前記強磁性体を吸引することにより前記 テーブルを浮上させると共に追動させる浮上固定手段を有するテーブル駆動手段 とを具備することを特徴としている。 A magnetic suspension type conveying device according to the invention according to claim 1 is installed along a conveying path, and a closed tunnel in which the air inside is replaced by an inert gas and a movably housed inside the closed tunnel, at least an upper surface of the closed tunnel. A table in which a part is formed of a ferromagnetic material, on which a transported object such as a semiconductor device is mounted, and a top portion of the closed tunnel, which runs along the transportation path, attracts the ferromagnetic material formed on the table. Table driving means having a floating fixing means for floating and following the table by doing so.
【０００８】 請求項２に係る考案による磁気懸垂式搬送装置は、請求項１に係る考案におい て、前記テーブル駆動手段もしくは前記密閉トンネルのいずれか一方には、リニ アインダクションモータの１次側が設けられ、他方には該リニアインダクション モータの２次側が設けられることを特徴としている。According to a second aspect of the invention, there is provided a magnetic suspension type conveying device according to the first aspect, wherein either the table driving means or the closed tunnel is provided with a primary side of a linear induction motor. The secondary side of the linear induction motor is provided on the other side.
【０００９】 請求項３に係る考案による磁気懸垂式搬送装置は、請求項１に係る考案におい て、前記テーブル駆動手段は、減速機付き電動機および歯付きベルトによって駆 動することを特徴としている。According to a third aspect of the invention, there is provided the magnetic suspension type conveying device according to the first aspect, wherein the table driving means is driven by an electric motor with a speed reducer and a toothed belt.
【００１０】 請求項４に係る考案による磁気懸垂式搬送装置は、請求項１に係る考案におい て、前記テーブル駆動手段は、前記浮上固定手段と前記強磁性体との距離を検出 する光式センサを備え、前記密閉トンネルは、ステンレス鋼の合金により形成さ れ、内面にフッ化不動態処理が施されており、上部に、石英ガラスからなり前記 光式センサから出力される光を通過させる光通過部を備え、前記テーブル駆動手 段は、前記光式センサの検出結果に基づき前記浮上固定手段を制御することを特 徴としている。According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a magnetic suspension type conveying device according to the first aspect, wherein the table driving means detects an optical distance between the levitation fixing means and the ferromagnetic material. The closed tunnel is formed of an alloy of stainless steel, the inner surface of which is subjected to a fluorination passivation treatment, and the upper part is made of quartz glass and is a light that passes the light output from the optical sensor. The table driving means is characterized by including a passage portion and controlling the levitation fixing means based on a detection result of the optical sensor.
【００１１】 請求項５に係る考案による磁気懸垂式搬送装置は、請求項１に係る考案におい て、前記テーブル駆動手段は、前記浮上固定手段と前記強磁性体との距離を検出 する磁気式センサを備え、前記密閉トンネルは、非磁性材により形成され、内面 にフッ化不動態処理が施されており、前記テーブル駆動手段は、前記磁気式セン サの検出結果に基づき前記浮上固定手段を制御することを特徴としている。According to a fifth aspect of the invention, there is provided a magnetic suspension type conveying device according to the first aspect, wherein the table driving means detects a distance between the floating fixing means and the ferromagnetic material. The closed tunnel is formed of a non-magnetic material, and the inner surface is subjected to fluorination passivation treatment, and the table driving means controls the levitation fixing means based on the detection result of the magnetic sensor. It is characterized by doing.
【００１２】 請求項６に係る考案による磁気懸垂式搬送装置は、請求項１に係る考案におい て、前記テーブル駆動手段は、ポリウレタンゴム製の車輪を備え、前記密閉トン ネルは、アルミニウム合金の押し出し材からなり、前記車輪との接触面が、多孔 質の硬質酸化アルミニウムで形成されると共に、その多孔質の組織に４フッ化樹 脂が含浸されることによって形成された、該車輪を案内する案内手段を備えるこ とことを特徴としている。According to a sixth aspect of the invention, there is provided a magnetic suspension type conveying device according to the first aspect, wherein the table driving means includes a wheel made of polyurethane rubber, and the sealing tunnel is made of aluminum alloy extruded. Made of wood, the contact surface with the wheel is made of porous hard aluminum oxide, and the porous structure is impregnated with tetrafluororesin to guide the wheel. It is characterized by having a guide means.
【００１３】[0013]
請求項１に係る考案によれば、テーブル駆動手段に設けられた浮上固定手段に より、テーブルに形成された強磁性体が吸引され、テーブルが浮上する。そして 、テーブル駆動手段が密閉トンネルの上部を搬送路に沿って走行すると、密閉ト ンネル内においてテーブルが該テーブル駆動手段に追動する。それにより、テー ブルに搭載された半導体装置等の搬送物の搬送が行われる。 According to the invention of claim 1, the ferromagnetic material formed on the table is attracted by the levitation fixing means provided in the table driving means, and the table floats. Then, when the table drive means travels along the transport path above the closed tunnel, the table follows the table drive means in the closed tunnel. As a result, a product such as a semiconductor device mounted on the table is carried.
【００１４】 請求項２に係る考案によれば、リニアインダクションモータの１次側および２ 次側の間に推力が発生することにより、テーブル駆動手段が密閉トンネルの上部 を搬送路に沿って走行する。According to the second aspect of the present invention, the thrust is generated between the primary side and the secondary side of the linear induction motor, so that the table driving means travels along the conveying path above the closed tunnel. .
【００１５】 請求項３に係る考案によれば、減速機付き電動機により歯付きベルトが駆動し 、テーブル駆動手段が密閉トンネルの上部を搬送路に沿って走行する。According to the third aspect of the invention, the toothed belt is driven by the electric motor with the speed reducer, and the table driving means travels along the conveying path above the closed tunnel.
【００１６】 請求項４に係る考案によれば、光式センサにより浮上固定手段と強磁性体との 距離が検出されることによって、テーブルの浮上位置が検出され、この検出結果 に基づき、テーブル駆動手段により浮上固定手段が制御される。According to the fourth aspect of the invention, the floating position of the table is detected by detecting the distance between the levitation fixing means and the ferromagnetic material by the optical sensor, and the table drive is performed based on this detection result. The means controls the levitation fixing means.
【００１７】 請求項５に係る考案によれば、磁気式センサにより浮上固定手段と強磁性体と の距離が検出されることによって、テーブルの浮上位置が検出され、この検出結 果に基づき、テーブル駆動手段により浮上固定手段が制御される。According to the invention of claim 5, the floating position of the table is detected by detecting the distance between the floating fixing means and the ferromagnetic material by the magnetic sensor, and the table is detected based on the detection result. The floating fixing means is controlled by the driving means.
【００１８】 請求項６に係る考案によれば、テーブル駆動手段が密閉トンネル上を走行する 際、テーブル駆動手段に設けられた車輪が密閉トンネル上の案内手段によって案 内されることにより、テーブル駆動手段の横方向のずれが防止される。According to the invention of claim 6, when the table drive means travels in the closed tunnel, the wheels provided in the table drive means are driven by the guide means on the closed tunnel to drive the table drive. Lateral displacement of the means is prevented.
【００１９】[0019]
以下、図面を参照して、この考案の一実施例について説明する。図１はこの考 案の一実施例による磁気懸垂式搬送装置の正面図である。この図において、磁気 懸垂式搬送装置１は、密閉トンネル２とテーブル駆動装置３とから構成されてい る。そして、密閉トンネル２は、搬送路に沿って配設された架台４上に設置され ており、テーブル駆動装置３は、図示しない支持手段により支持され、密閉トン ネル２上を搬送路に沿って走行するようになっている。 An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a front view of a magnetic suspension type conveyance device according to an embodiment of this idea. In this figure, a magnetic suspension type transport device 1 is composed of a closed tunnel 2 and a table drive device 3. The closed tunnel 2 is installed on a gantry 4 arranged along the transport path, and the table drive device 3 is supported by a supporting means (not shown) and is mounted on the closed tunnel 2 along the transport path. It is designed to run.
【００２０】 密閉トンネル２は、ステンレス鋼の合金からなり、内面にフッ化不動態処理が 施されている。この密閉トンネル２の内部には、搬送物置台であるテーブル５が 収容されている。このテーブル５は、底面６と側面７ａ，７ｂとからなり、少な くとも側面７ａ，７ｂの各上端部に、強磁性体部８ａ，８ｂが底面６に対して水 平に形成されている。また、テーブル５の底面６上には、支持柱９，９，…が立 設されており、この支持柱９，９，…上に搬送物であるシリコンウェハー１０が 搭載される。更に、この密閉トンネル２の一方の側壁１１ａには、ガス供給口１ ２が設けられており、他方の側壁１１ｂには、排気口１３が設けられている。そ して、図示しないガスの制御装置により、このガス供給口１２からＮ2ガスもし くはＡｒガス等の不活性ガスが供給され、密閉トンネル２内部に上記不活性ガス が充満するようになっている。The closed tunnel 2 is made of an alloy of stainless steel, and has an inner surface subjected to a fluorination passivation treatment. Inside the closed tunnel 2, a table 5, which is a carrying table, is housed. The table 5 is composed of a bottom surface 6 and side surfaces 7a and 7b. Ferromagnetic material portions 8a and 8b are formed horizontally with respect to the bottom surface 6 at least at the upper ends of the side surfaces 7a and 7b. Further, supporting columns 9, 9, ... Are erected on the bottom surface 6 of the table 5, and a silicon wafer 10 as a conveyed product is mounted on the supporting columns 9, 9 ,. Further, a gas supply port 12 is provided on one side wall 11a of the closed tunnel 2, and an exhaust port 13 is provided on the other side wall 11b. Then, an inert gas such as N 2 gas or Ar gas is supplied from the gas supply port 12 by a gas control device (not shown) so that the inside of the closed tunnel 2 is filled with the inert gas. ing.
【００２１】 また、密閉トンネル２の上面１４の中央には、リニアインダクションモータか らなる移動駆動装置の１次側１５が設けられている。また、上面１４上の両端部 には、移動案内装置の１次側１６ａ，１６ｂが、密閉トンネル２の長手方向に沿 って敷設されている。Further, in the center of the upper surface 14 of the closed tunnel 2, a primary side 15 of a movement drive device composed of a linear induction motor is provided. In addition, at both ends of the upper surface 14, primary sides 16 a and 16 b of the movement guide device are laid along the longitudinal direction of the closed tunnel 2.
【００２２】 一方、テーブル駆動装置３の下部中央には、上記移動駆動装置の１次側１５に 空隙をもって対向する移動駆動装置の２次側１７が設けられている。また、この 移動駆動装置の２次側１７を挟んで、磁石ユニット１８ａ，１８ｂが設けられて いる。この磁石ユニット１８ａ，１８ｂは、例えば図２（ａ）に示すように、２ つの磁極１９ａ，１９ｂと、各磁極１９ａ，１９ｂに巻回されたコイル２０ａ， ２０ｂと、磁極１９ａ，１９ｂ間に設けられた永久磁石２１とから構成される。 あるいは、図２（ｂ）に示すように、磁極１９とコイル２０ａ，２０ｂとからな る電磁石によって構成される。On the other hand, in the center of the lower part of the table driving device 3, a secondary side 17 of the moving driving device which faces the primary side 15 of the moving driving device with a gap is provided. Further, magnet units 18a and 18b are provided so as to sandwich the secondary side 17 of the moving drive device. The magnet units 18a and 18b are provided between two magnetic poles 19a and 19b, coils 20a and 20b wound around the magnetic poles 19a and 19b, and magnetic poles 19a and 19b, for example, as shown in FIG. It is composed of a permanent magnet 21 and a permanent magnet 21. Alternatively, as shown in FIG. 2B, the magnetic pole 19 and the coils 20a and 20b are used as electromagnets.
【００２３】 上記磁石ユニット１８ａ，１８ｂは、図１に示すように、各々密閉トンネル２ 内のテーブル５に取り付けられた強磁性体部８ａ，８ｂに対向しており、磁力に より強磁性体部８ａ，８ｂを非接触の状態で吸引し、テーブル５を浮上（懸垂） させる。また、２２ａ，２２ｂはギャップセンサであり、光式センサからなる。 ギャップセンサ２２ａ，２２ｂは、テーブル５の強磁性体部８ａ，８ｂに対して 光を出力しその反射光を検出することにより、強磁性体部８ａ，８ｂと磁石ユニ ット１８ａ，１８ｂとの距離を検出する。そのため、密閉トンネル２の上面１４ には、ギャップセンサ２２ａ，２２ｂから出力される光が通過するよう、例えば 石英ガラスによって光通過窓２３ａ，２３ｂが形成されている。As shown in FIG. 1, the magnet units 18a and 18b face the ferromagnetic portions 8a and 8b attached to the table 5 in the closed tunnel 2, respectively, and the ferromagnetic portions 8a and 8b are attracted by magnetic force. 8a and 8b are sucked in a non-contact state, and the table 5 is floated (suspended). Further, 22a and 22b are gap sensors, which are optical sensors. The gap sensors 22a and 22b output light to the ferromagnetic material portions 8a and 8b of the table 5 and detect the reflected light, so that the ferromagnetic material portions 8a and 8b and the magnet units 18a and 18b are separated from each other. Detect the distance. Therefore, on the upper surface 14 of the closed tunnel 2, light passage windows 23a and 23b are formed of, for example, quartz glass so that the light output from the gap sensors 22a and 22b can pass therethrough.
【００２４】 図１において、テーブル駆動装置３の下部両端には、移動案内装置の２次側２ ４ａ，２４ｂが設けられている。上述した移動案内装置の１次側１６ａ，１６ｂ の上端部は、断面が円形のレール状となっており、移動案内装置の２次側２４ａ ，２４ｂがこの上端部を摺動することにより、テーブル駆動装置３が案内される ようになっている。。In FIG. 1, secondary ends 24 a and 24 b of the movement guide device are provided at both lower ends of the table drive device 3. The upper ends of the primary sides 16a and 16b of the movement guide device described above are rail-shaped with a circular cross section, and the secondary sides 24a and 24b of the movement guide device slide on the upper ends to form a table. The drive device 3 is guided. .
【００２５】 この移動案内装置の別の例を、図３に示す。この移動案内装置は、テーブル駆 動装置３の走行方向に沿って２箇所に対称的に設けられているが、ここでは、一 方のみ説明する。図３に示すように、テーブル駆動装置３の下部には、ポリウレ タンゴム製の支持ローラ２５と案内ローラ２６とが設けられている。また、密閉 トンネル２の上面１４には、支持ローラ２５および案内ローラ２６を案内する案 内レール２７が敷設されている。この案内レール２７は、支持ローラ２５の厚さ に対応した幅Ｗを有し、断面がコ字状となっている。また、案内レール２７はア ルミ合金の押し出し材からなり、上記支持ローラ２５との接触面は、多孔質の硬 質酸化アルミニウムによって形成されると共に、その多孔質の組織に４フッ化樹 脂が含浸されることにより形成されている。上記支持ローラ２５は、この案内レ ール２７の内側を走行し、案内ローラ２６は、案内レール２７の外側を走行する ようになっている。Another example of this movement guide device is shown in FIG. This movement guide device is symmetrically provided at two locations along the traveling direction of the table drive device 3, but only one will be described here. As shown in FIG. 3, a support roller 25 made of polyurethane rubber and a guide roller 26 are provided below the table drive device 3. Further, on the upper surface 14 of the closed tunnel 2, a guide rail 27 that guides the support roller 25 and the guide roller 26 is laid. The guide rail 27 has a width W corresponding to the thickness of the support roller 25 and has a U-shaped cross section. The guide rail 27 is made of an aluminum alloy extruded material, and the contact surface with the support roller 25 is made of porous hard aluminum oxide, and the porous structure is made of tetrafluororesin. It is formed by being impregnated. The support roller 25 runs inside the guide rail 27, and the guide roller 26 runs outside the guide rail 27.
【００２６】 また、図１において、テーブル駆動装置３には懸垂制御装置２８が設けられて いる。この懸垂制御装置２８は、ギャップセンサ２２ａ，２２ｂの検出結果、す なわち磁石ユニット１８ａ，１８ｂと強磁性体部８ａ，８ｂとのギャップから、 磁石ユニット１８ａ，１８ｂによる吸引力を制御する。更に、テーブル駆動装置 ３には、磁石ユニット１８ａ，１８ｂに電力を供給するエネルギ供給装置２９が 設けられている。Further, in FIG. 1, the table drive device 3 is provided with a suspension control device 28. The suspension controller 28 controls the attraction force by the magnet units 18a, 18b from the detection results of the gap sensors 22a, 22b, that is, the gap between the magnet units 18a, 18b and the ferromagnetic portions 8a, 8b. Further, the table drive device 3 is provided with an energy supply device 29 for supplying electric power to the magnet units 18a and 18b.
【００２７】 以上のような構成において、テーブル５の支持柱９，９，…上にシリコンウェ ハー１０が搭載されて該テーブル５の搬送が行われる場合、磁石ユニット１８ａ ，１８ｂにより強磁性体部８ａ，８ｂが吸引され、テーブル５が浮上する。これ により、テーブル５は、磁力によって非接触の状態で固定される。そして、移動 駆動装置の１次側１５および２次側１７により、テーブル駆動装置３が走行する と、磁石ユニット１８ａ，１８ｂに吸引されるテーブル５が、テーブル駆動装置 ３と共に移動する。In the above configuration, when the silicon wafer 10 is mounted on the support columns 9, 9, ... Of the table 5 and the table 5 is transported, the ferromagnetic units are moved by the magnet units 18a, 18b. 8a and 8b are sucked, and the table 5 floats. As a result, the table 5 is fixed in a non-contact state by the magnetic force. When the table drive device 3 travels by the primary side 15 and the secondary side 17 of the movement drive device, the table 5 attracted by the magnet units 18a and 18b moves together with the table drive device 3.
【００２８】 この時、ギャップセンサ２２ａ，２２ｂによって、磁石ユニット１８ａ，１８ ｂと強磁性体部８ａ，８ｂとのギャップ、すなわちテーブル５の浮上の位置が検 出される。そして、この検出結果に基づき、懸垂制御装置２８は、テーブル５の 浮上の位置を予め設定された範囲内に保つよう、磁石ユニット１８ａ，１８ｂを 制御する。また、移動案内装置の２次側２４ａ，２４ｂが移動案内装置の１次側 １６ａ，１６ｂ上を摺動することによって、テーブル駆動装置３の横方向のずれ が修正される。At this time, the gap sensors 22a and 22b detect the gap between the magnet units 18a and 18b and the ferromagnetic members 8a and 8b, that is, the floating position of the table 5. Then, based on this detection result, the suspension control device 28 controls the magnet units 18a and 18b so that the floating position of the table 5 is kept within a preset range. Further, by sliding the secondary sides 24a, 24b of the movement guide device on the primary sides 16a, 16b of the movement guide device, the lateral displacement of the table drive device 3 is corrected.
【００２９】 また、密閉トンネル２の内部は、ガス供給口１２よりＮ2ガスもしくはＡｒガ ス等の不活性ガスが供給されており、排気口１３から常に排気が行われることに より、Ｏ2およびＨ2Ｏの濃度が微少に保たれている。それにより、シリコンウェ ハー１０の表面における酸化膜の形成が防止される。Further, N 2 gas or an inert gas such as Ar gas is supplied from the gas supply port 12 to the inside of the closed tunnel 2, and the exhaust port 13 constantly exhausts O 2 gas. And the concentration of H 2 O is kept minute. This prevents the formation of an oxide film on the surface of the silicon wafer 10.
【００３０】 なお、上記実施例においては、移動駆動装置にリニアインダクションモータを 用いたが、減速機付き電動機と歯付きベルトによりテーブル駆動装置３を駆動さ せるようにしてもよい。Although a linear induction motor is used as the movement drive device in the above embodiment, the table drive device 3 may be driven by an electric motor with a speed reducer and a toothed belt.
【００３１】 また、ギャップセンサ２２ａ，２２ｂとして、光センサの代わりに磁気式セン サを用いるようにしてもよい。その場合、密閉トンネル２は、非磁性体の材質に より形成されるようにする。Further, as the gap sensors 22a and 22b, magnetic sensors may be used instead of the optical sensors. In that case, the closed tunnel 2 is made of a non-magnetic material.
【００３２】[0032]
以上説明したように、請求項１記載の考案によれば、搬送路に沿って設置され 、内部の空気が不活性ガスにより置換された密閉トンネルと、密閉トンネル内に 移動自在に収容され、少なくとも上面部分が強磁性体で形成され、半導体装置等 の搬送物が搭載されるテーブルと、密閉トンネルの上部を搬送路に沿って走行し 、テーブルに形成された強磁性体を吸引することによりテーブルを浮上させると 共に追動させる浮上固定手段を有するテーブル駆動手段とを設けたので、テーブ ルを非接触で移動させることにより搬送装置からの発塵を防止すると共に、ウェ ハーの表面の自然酸化膜の形成を防止することができる。 As described above, according to the first aspect of the present invention, the closed tunnel, which is installed along the transport path and whose inside air is replaced by the inert gas, is movably accommodated in the closed tunnel, and at least A table whose upper surface is made of a ferromagnetic material, on which a transported object such as a semiconductor device is mounted, and a table which travels over the upper part of a closed tunnel along the transportation path to attract the ferromagnetic material formed on the table. Since the table drive means having the levitation fixing means that moves the table along with the surface of the wafer is provided, the table is moved in a non-contact manner to prevent dust from the transfer device and to naturally oxidize the surface of the wafer. The formation of a film can be prevented.
【００３３】 請求項２記載の考案によれば、テーブル駆動手段もしくは密閉トンネルのいず れか一方には、リニアインダクションモータの１次側が設けられ、他方には該リ ニアインダクションモータの２次側が設けられるようにしたので、テーブル駆動 手段は密閉トンネルと非接触で走行し、略一定速度で高速移動することができる 。According to the second aspect of the present invention, the primary side of the linear induction motor is provided on either one of the table drive means or the closed tunnel, and the secondary side of the linear induction motor is provided on the other side. Since it is provided, the table driving means can travel in a non-contact manner with the closed tunnel and can move at a high speed at a substantially constant speed.
【００３４】 請求項３記載の考案によれば、テーブル駆動手段は、減速機付き電動機および 歯付きベルトによって駆動するようにしたので、簡単な構成でテーブル駆動手段 を走行させることができる。According to the third aspect of the invention, since the table driving means is driven by the electric motor with reduction gear and the toothed belt, the table driving means can be driven with a simple structure.
【００３５】 請求項４記載の考案によれば、テーブル駆動手段は、浮上固定手段と強磁性体 との距離を検出する光式センサを備え、密閉トンネルは、ステンレス鋼の合金に より形成され、内面にフッ化不動態処理が施されており、上部に、石英ガラスか らなり、光式センサから出力される光を通過させる光通過部を備え、テーブル駆 動手段は、光センサの検出結果に基づき浮上固定手段を制御するようにしたので 、テーブルの浮上の位置が予め設定された範囲内に保たれる。請求項５記載の考 案によれば、上記光式センサの代わりに磁気式センサを備え、密閉トンネルを非 磁性材によって形成されるようにしたので、上述の場合と同様の効果が得られる 。According to the invention of claim 4, the table driving means includes an optical sensor for detecting a distance between the floating fixing means and the ferromagnetic material, and the closed tunnel is formed of a stainless steel alloy, The inner surface is fluorinated passivated, and the upper part is made of quartz glass and has a light passage part that allows the light output from the optical sensor to pass through.The table drive means is the detection result of the optical sensor. Since the levitation fixing means is controlled on the basis of the above, the levitation position of the table is kept within a preset range. According to the idea of the fifth aspect, a magnetic sensor is provided instead of the optical sensor, and the closed tunnel is formed of a non-magnetic material, so that the same effect as the above case can be obtained.
【００３６】 また、請求項６記載の考案によれば、テーブル駆動手段は、ポリウレタンゴム 製の車輪を備え、密閉トンネルは、アルミニウム合金の押し出し材からなり、車 輪との接触面が、多孔質の硬質酸化アルミニウムに酸化され、４フッ化樹脂が含 浸されることによって形成された、該車輪を案内する案内手段を備えるようにし たので、テーブル駆動手段の横方向のずれが修正され、安定した走行が行われる 。According to the invention of claim 6, the table driving means includes wheels made of polyurethane rubber, the closed tunnel is made of an extruded material of aluminum alloy, and the contact surface with the wheel is porous. Since the guide means for guiding the wheel, which is formed by being impregnated with the hard aluminum oxide of 4 and impregnated with tetrafluororesin, is corrected, the lateral displacement of the table drive means is corrected and stable. The run is done.
【図１】この考案の一実施例による磁気懸垂式搬送装置
の構成を示す正面図である。FIG. 1 is a front view showing the configuration of a magnetic suspension type conveyance device according to an embodiment of the present invention.
【図２】同実施例における磁石ユニットの構成を示す正
面図であり、（ａ）は永久磁石を用いた例、（ｂ）は電
磁石による例を示す。2A and 2B are front views showing a configuration of a magnet unit in the embodiment, FIG. 2A shows an example using a permanent magnet, and FIG. 2B shows an example using an electromagnet.
【図３】同実施例における移動案内装置の他の例を示す
正面図である。FIG. 3 is a front view showing another example of the movement guide device according to the embodiment.
【図４】従来の磁気浮上式搬送装置の構成を示す正面図
である。FIG. 4 is a front view showing a configuration of a conventional magnetic levitation type transport device.
１ 磁気懸垂式搬送装置 ２ 密閉トンネル ３ テーブル駆動装置（テーブル駆動手段） ５ テーブル ８ａ，８ｂ 強磁性体部 １２ ガス供給口 １５ 移動駆動装置の１次側（リニアインダクショ
ンモータ） １６ａ，１６ｂ 移動案内装置の１次側 １７ 移動駆動装置の２次側（リニアインダクショ
ンモータ） １８ａ，１８ｂ 磁石ユニット（浮上固定手段） ２２ａ，２２ｂ ギャップセンサ（光式センサ、磁気式
センサ） ２３ａ，２３ｂ 光通過窓（光通過部） ２４ａ，２４ｂ 移動案内装置の２次側 ２５ 支持ローラ（車輪） ２７ 案内レール（案内手段）DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Magnetic suspension type conveying device 2 Closed tunnel 3 Table drive device (table drive means) 5 Table 8a, 8b Ferromagnetic material part 12 Gas supply port 15 Primary side (linear induction motor) 16a, 16b of movement drive device Movement guide device Primary side 17 Secondary side of moving drive device (linear induction motor) 18a, 18b Magnet unit (floating fixing means) 22a, 22b Gap sensor (optical sensor, magnetic sensor) 23a, 23b Light passing window (light passing) 24a, 24b Secondary side of movement guide device 25 Support roller (wheel) 27 Guide rail (guide means)
Claims (6)
不活性ガスにより置換された密閉トンネルと、 前記密閉トンネル内に移動自在に収容され、少なくとも
上面部分が強磁性体で形成され、半導体装置等の搬送物
が搭載されるテーブルと、 前記密閉トンネルの上部を前記搬送路に沿って走行し、
前記テーブルに形成された前記強磁性体を吸引すること
により前記テーブルを浮上させると共に追動させる浮上
固定手段を有するテーブル駆動手段とを具備することを
特徴とする磁気懸垂式搬送装置。1. A closed tunnel, which is installed along a transport path and whose inside air is replaced by an inert gas, and is movably accommodated in the closed tunnel, at least an upper surface portion of which is formed of a ferromagnetic material, A table on which a transported object such as a semiconductor device is mounted, and travels along the transportation path above the closed tunnel,
A magnetic suspension type conveyance device, comprising: a table driving unit having a levitation fixing unit that floats and follows the table by attracting the ferromagnetic material formed on the table.
トンネルのいずれか一方には、リニアインダクションモ
ータの１次側が設けられ、他方には該リニアインダクシ
ョンモータの２次側が設けられることを特徴とする請求
項１記載の磁気懸垂式搬送装置。2. The primary side of the linear induction motor is provided on either one of the table driving means or the closed tunnel, and the secondary side of the linear induction motor is provided on the other side. 1. The magnetic suspension type conveyance device according to 1.
動機および歯付きベルトによって駆動することを特徴と
する請求項１記載の磁気懸垂式搬送装置。3. The magnetic suspension type conveying apparatus according to claim 1, wherein the table driving means is driven by an electric motor with a speed reducer and a toothed belt.
手段と前記強磁性体との距離を検出する光式センサを備
え、 前記密閉トンネルは、ステンレス鋼の合金により形成さ
れ、内面にフッ化不動態処理が施されており、上部に、
石英ガラスからなり、前記光式センサから出力される光
を通過させる光通過部を備え、 前記テーブル駆動手段は、前記光センサの検出結果に基
づき前記浮上固定手段を制御することを特徴とする請求
項１記載の磁気懸垂式搬送装置。4. The table driving means includes an optical sensor for detecting a distance between the floating fixing means and the ferromagnetic material, and the closed tunnel is formed of an alloy of stainless steel, and has a fluorine-free inner surface. It has been given a dynamic treatment, and at the top,
It is made of quartz glass, and is provided with a light passing portion that allows the light output from the optical sensor to pass, and the table driving means controls the levitation fixing means based on a detection result of the optical sensor. Item 2. The magnetic suspension type conveyance device according to Item 1.
手段と前記強磁性体との距離を検出する磁気式センサを
備え、 前記密閉トンネルは、非磁性材により形成され、内面に
フッ化不動態処理が施されており、 前記テーブル駆動手段は、前記磁気式センサの検出結果
に基づき前記浮上固定手段を制御することを特徴とする
請求項１記載の磁気懸垂式搬送装置。5. The table driving means includes a magnetic sensor for detecting a distance between the floating fixing means and the ferromagnetic material, and the closed tunnel is formed of a non-magnetic material, and has a fluorinated passivation on an inner surface. 2. The magnetic suspension type conveyance device according to claim 1, wherein the table drive means controls the levitation fixing means based on a detection result of the magnetic sensor.
ゴム製の車輪を備え、 前記密閉トンネルは、アルミニウム合金の押し出し材か
らなり、前記車輪との接触面が、多孔質の硬質酸化アル
ミニウムで形成されると共に、その多孔質の組織に４フ
ッ化樹脂が含浸されることによって形成された、該車輪
を案内する案内手段を備えることを特徴とする請求項１
記載の磁気懸垂式搬送装置。6. The table driving means includes wheels made of polyurethane rubber, the closed tunnel is made of an extruded material of aluminum alloy, and a contact surface with the wheels is made of porous hard aluminum oxide. A guide means for guiding the wheel is also provided, which is formed by impregnating the porous tissue with a tetrafluororesin.
The magnetic suspension type conveyance device described.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4044993U JPH0712335U (en) | 1993-07-23 | 1993-07-23 | Magnetic suspension type carrier |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4044993U JPH0712335U (en) | 1993-07-23 | 1993-07-23 | Magnetic suspension type carrier |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0712335U true JPH0712335U (en) | 1995-02-28 |
Family
ID=12580956
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4044993U Pending JPH0712335U (en) | 1993-07-23 | 1993-07-23 | Magnetic suspension type carrier |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0712335U (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010037091A (en) * | 2008-08-07 | 2010-02-18 | Sinfonia Technology Co Ltd | Conveying device |
| JP2011238887A (en) * | 2010-05-13 | 2011-11-24 | Panasonic Corp | Component mounting device and maintenance method |
| JP2019533896A (en) * | 2017-09-15 | 2019-11-21 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | How to determine the alignment of a carrier levitation system |
-
1993
- 1993-07-23 JP JP4044993U patent/JPH0712335U/en active Pending
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010037091A (en) * | 2008-08-07 | 2010-02-18 | Sinfonia Technology Co Ltd | Conveying device |
| JP2011238887A (en) * | 2010-05-13 | 2011-11-24 | Panasonic Corp | Component mounting device and maintenance method |
| JP2019533896A (en) * | 2017-09-15 | 2019-11-21 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | How to determine the alignment of a carrier levitation system |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
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