JPH07122625A - 半導体装置の位置決め方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 リードを変形させない半導体装置の位置決め
方法を提供すること。 【構成】 半導体装置１０を所定の位置ずれ範囲内で供
給トレーに収納しておき、この供給トレーから取り出し
た後にその位置を基準位置に合わせる位置決め方法であ
って、半導体装置１０のリード１０ａを含む外形に供給
トレーでの位置ずれ範囲を加えた大きさよりも大きな開
口部１２、半導体装置１０の外形とほぼ等しい大きさの
底部１４および開口部１２から底部１４に向けて傾斜す
る内側面１３を備えた落とし込み穴１１を予め基準位置
に合わせて設けておき、供給トレーから半導体装置１０
を取り出してこの落とし込み穴１１の開口部１２上方に
配置した後、落下させて底部１４に配置する位置決め方
法である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、パッケージの側面から
複数のリードが延出する半導体装置の位置決め方法に関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】モールド樹脂等により封止された半導体
装置は、例えばトレーから成る収納容器に複数個まとめ
られ、この状態で搬送される。このような半導体装置の
特性検査をハンドラー等を用いて行う場合には、複数個
の半導体装置が収納されたトレーをハンドラー内に配置
した後、搬送用ロボット等によりこのトレーから半導体
装置を取り出し、測定のための専用ソケットに差し込ん
で電気的な入出力を行うようにしている。

【０００３】図３は、ハンドラー等の測定システムを説
明する模式図である。すなわち、この測定システムは供
給トレー３に収納された被測定物である半導体装置（図
示せず）を、Ｘ軸およびＹ軸に沿って移動可能なハンド
リング部２にて搬送し、専用ソケット５に差し込んで所
定の電気的特性を測定し、その後、測定した特性結果に
応じて各分類トレー３１へ振り分けるものである。

【０００４】このような測定システムでは、半導体装置
を供給トレー３から専用ソケット５に差し込むまでの間
に位置合わせ部４が設けられており、ある程度の余裕を
もって供給トレー３内に収納されていた半導体装置の位
置を所定の基準位置に合わせるようにしている。つま
り、ハンドリング部２により供給トレー３から取り出さ
れた半導体装置はいったん位置合わせ部４に搬送され
（図中矢印）、そこで所定の基準位置に位置合わせさ
れた後、再びハンドリング部２により専用ソケット５ま
で搬送される（図中矢印）。

【０００５】これにより、供給トレー３内における半導
体装置の位置ずれが補正されて専用ソケット５に正確に
差し込まれるようになる。そして、測定が終了した後に
再びハンドリング部２によって専用ソケット５から分類
トレー３１へ搬送される（図中矢印）。

【０００６】位置合わせ部４では、図４の模式図に示す
ような位置決め装置により半導体装置１０の位置決めが
成されている。図４においてはパッケージの４側面から
複数本のリード１０ａが延出するいわゆるＱＦＰから成
る半導体装置１０の位置決め状態を示している。すなわ
ち、この位置決め方法は、半導体装置１０を所定位置に
載置した後にその４側面方向から押さえ具４１を用いて
押さえ込むことにより半導体装置１０の位置を規制する
ものである。

【０００７】ＱＦＰから成る半導体装置１０の場合には
各リード１０ａが押さえ具４１にて押さえられる状態と
なり、これらの押さえ具４１の位置関係によって半導体
装置１０の位置決めが成されることになる。位置決めが
終了した後は各押さえ具４１を離して図３に示すハンド
リング部２を用いて専用ソケット５へ搬送する。この位
置決めにより、半導体装置１０と専用ソケット５との相
対位置が合わせられることになり、半導体装置１０を専
用ソケット５に差し込むことができるようになる。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな半導体装置の位置決め方法には次のような問題があ
る。すなわち、載置された半導体装置の側方から押さえ
具を用いて押さえ込むようにして位置決めを行うため、
押さえ具の押圧力によってリードが変形してしまいその
後の電気的な接続に悪影響を及ぼすことになる。特に、
近年では半導体装置の小型化やリードのファインピッチ
化が図られるようになり、リードのわずかな変形が接触
不良を起こす原因となる。このため、リードへの押圧力
はなるべく少ない方が望ましいが、このような位置決め
方法ではリードの押さえ込みが不可欠であり、小型化や
ファインピッチ化された半導体装置に対応するのは不十
分である。よって、本発明はリードを変形させない半導
体装置の位置決め方法を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明はこのような課題
を解決するために成された半導体装置の位置決め方法で
ある。すなわち、パッケージの側面から複数のリードが
延出する半導体装置を所定の位置ずれ範囲内で供給トレ
ーに収納しておき、この供給トレーから半導体装置を取
り出した後、その位置を基準位置に合わせる半導体装置
の位置決め方法であり、半導体装置のリードを含む外形
に供給トレーでの位置ずれ範囲を加えた大きさよりも大
きな開口部と、半導体装置の外形とほぼ等しい大きさの
底部と、開口部から底部に向けて傾斜が設けられた内側
面とを備えた落とし込み穴を予め基準位置に合わせて設
けておき、パッケージを保持することで供給トレーから
半導体装置を取り出してこの落とし込み穴の開口部上方
に配置した後、半導体装置をその落とし込み穴に落下さ
せて底部に配置する位置決め方法である。

【００１０】

【作用】予め基準位置に合わせて設けられる落とし込み
穴は、半導体装置のリードを含む外形に供給トレーでの
位置ずれ範囲を加えた大きさよりも大きな開口部、半導
体装置の外形とほぼ等しい底部および開口部から底部に
向けて傾斜が設けられた内側面を備えている。このた
め、供給トレーから半導体装置を取り出して落とし込み
穴の開口部上方へ配置する際には、たとえ半導体装置が
供給トレー内で位置ずれして配置されている場合であっ
ても必ず開口部の範囲内に配置されることになる。この
状態で半導体装置を落下させることで、半導体装置は落
とし込み穴内に確実に入るようになる。

【００１１】そして、半導体装置が供給トレー内で位置
ずれ無く配置されている場合には、この落下によりその
まま底部に配置され、基準位置に合った位置規制が成さ
れる。一方、半導体装置が供給トレー内で位置ずれした
状態で配置されれている場合には、半導体装置のリード
の先端が落とし込み穴の内側面に沿いながら底部まで滑
り落ちていき、底部に配置されて位置規制が成されるこ
とになる。

【００１２】

【実施例】以下に、本発明の半導体装置の位置決め方法
の実施例を図に基づいて説明する。図１は本発明を説明
する図で、（ａ）は斜視図、（ｂ）は落とし込み穴の拡
大断面図である。本発明の半導体装置１０の位置決め方
法は、図１に示す位置決めプレート１を用いて行うもの
であり、例えば図３に示す測定システムの位置合わせ部
４にこの位置決めプレート１を配置して半導体装置１０
の位置決めを行う。本実施例では、このような測定シス
テムにおける半導体装置１０の位置決め方法を例として
説明する。

【００１３】すなわち、図１（ａ）に示すようにこの位
置決めプレート１には半導体装置１０が入れられる落と
し込み穴１１が設けられており、位置決めプレート１を
図３に示す位置合わせ部４に配置することでこの落とし
込み穴１１と専用ソケット５との相対位置が合わせられ
ている。

【００１４】この落とし込み穴１１は、半導体装置１０
のリード１０ａを含む外形に供給トレー３での半導体装
置１０の位置ずれ範囲を加えた大きさよりも大きな範囲
Ｄ（図１（ｂ）参照）から成る開口部１２、半導体装置
１０の外形とほぼ等しい大きさの底部１４および開口部
１２から底部１４に向けて傾斜が設けられた内側面１３
を備えている。

【００１５】図３に示す測定システムにおいて供給トレ
ー３に収納された半導体装置１０を位置合わせ部４にて
所定の位置に位置決めするには、先ず、位置決めプレー
ト１を位置合わせ部４に配置して、予め落とし込み穴１
１と専用ソケット５との相対位置を合わせておく。

【００１６】次に、所定の位置ずれ範囲内で半導体装置
１０が収納された供給トレー３を測定システム内に配置
し、ハンドリング部２にて供給トレー３から半導体装置
１０を取り出す。取り出した半導体装置１０をＸ軸およ
びＹ軸に沿って搬送し（図３中矢印）、位置合わせ部
４に配置された位置決めプレート１の落とし込み穴１１
の上方に配置する。

【００１７】この半導体装置１０の配置において、ハン
ドリング部２は半導体装置１０のパッケージを保持した
状態で落とし込み穴１１の中央を目標として移動するよ
う制御される。しかし、半導体装置１０は供給トレー３
内に所定の位置ずれ範囲内で収納されているため、ハン
ドリング部２を落とし込み穴１１の中央に移動させても
半導体装置１０が落とし込み穴１１の中央に配置される
とは限らない。

【００１８】ところが、開口部１２は先に説明したよう
に、半導体装置１０のリード１０ａを含む外形に供給ト
レー３での半導体装置１０の位置ずれ範囲を加えた大き
さよりも大きな範囲Ｄから成るため、最も位置ずれが大
きい半導体装置１０を供給トレー３から取り出した場合
であっても半導体装置１０の外形は必ず開口部１２の範
囲Ｄ内に収まることになる。

【００１９】次に、この状態から半導体装置１０を落と
し込み穴１１内に落下させる。図２は、半導体装置１０
の落下状態を説明する断面図である。すなわち、吸着装
置２１（図３に示すハンドリング部２に備えられてい
る）にて保持された半導体装置１０は、先に述べた搬送
により落とし込み穴１１の開口部１２の範囲Ｄ内に配置
されているため、供給トレー３内で最も位置ずれが大き
い場合であっても（図中二点鎖線参照）、落下により確
実に落とし込み穴１１内へ入れることができる。

【００２０】例えば、供給トレー３内で位置ずれが生じ
ている半導体装置１０を取り出すと、半導体装置１０の
中心と開口部１２の中心とがその位置ずれ量だけずれて
いることになり、この状態で落とし込み穴１１に落下さ
せると、開口部１２から底部１４に向けて傾斜する内側
面１３に半導体装置１０のリード１０ａが沿うようにし
て底部１４まで滑り落ちていく。底部１４は半導体装置
１０の外形とほぼ等しい大きさで形成されているため、
滑り落ちて底部１４に配置された状態で半導体装置１０
の位置が規制されることになる。

【００２１】また、供給トレー３内で位置ずれ無く収納
されていた半導体装置１０を取り出して落とし込み穴１
１に落下させる場合には、そのリード１０ａが内側面１
３に沿うことなくそのまま底部１４に配置され位置規制
が成されることになる。いずれの場合であってもリード
１０ａに無理な負荷を与えることなく半導体装置１０の
位置規制を行うことができる。なお、底部１４にはリー
ド逃げ部１５が設けられており、半導体装置１０のパッ
ケージ底面が底部１４に接触して、リード１０ａに負荷
がかからないようになっている。

【００２２】半導体装置１０はこの位置で位置決めされ
ることになり、この状態から再び吸着装置２１を用いて
半導体装置１０を吸着することでパッケージの中心を確
実に保持できるようになる。先に述べたように、落とし
込み穴１１と専用ソケット５との相対位置は予め合わせ
られているため、落とし込み穴１１によって位置決めさ
れた半導体装置１０を保持し、さらに図３の矢印に示
すような搬送を行うことで半導体装置１０のリード１０
ａを専用ソケット５に正確に挿入することができるよう
になる。

【００２３】なお、本実施例においては半導体装置１０
の位置決め方法を図３に示す測定システムに適応した例
を用いて説明したが、本発明はこれに限定されることは
なく、半導体装置１０を供給トレー３から取り出して所
定の基準位置へ位置決めするような場合において適応可
能である。また、位置決めプレート１の落とし込み穴１
１は、ハンドリング部２による搬送能力に応じて複数個
設けても構わない。

【００２４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の半導体装
置の位置決め方法には次のような効果がある。すなわ
ち、供給トレーから取り出した半導体装置を位置決めプ
レートの落とし込み穴に落下させることで位置規制して
いるため、リードに無理な負荷をかけるとなく正確な位
置決めができるようになる。このため、本発明は小型化
やファインピッチ化された半導体装置を位置決めする場
合において特に有効な方法となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を説明する図で、（ａ）は斜視図、
（ｂ）は落とし込み穴の拡大断面図である。

【図２】半導体装置の落下状態を説明する断面図であ
る。

【図３】測定システムを説明する模式図である。

【図４】従来例を説明する模式図で、（ａ）は平面図、
（ｂ）は側面図である。

【符号の説明】

１ 位置決めプレート １０ 半導体装置 １０ａ リード １１ 落とし込み穴 １２ 開口部 １３ 内側面 １４ 底部

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 パッケージの側面から複数のリードが延
   出する半導体装置を所定の位置ずれ範囲内で供給トレー
   に収納しておき、該供給トレーから該半導体装置を取り
   出した後、その位置を基準位置に合わせる半導体装置の
   位置決め方法において、 前記半導体装置のリードを含む外形に前記位置ずれ範囲
   を加えた大きさよりも大きな開口部、該外形とほぼ等し
   い大きさの底部および該開口部から該底部に向けて傾斜
   が設けられた内側面を備えた落とし込み穴を予め前記基
   準位置に合わせて設けておき、 前記パッケージを保持することで前記供給トレーから前
   記半導体装置を取り出して前記落とし込み穴の開口部上
   方に配置した後、 前記半導体装置を前記落とし込み穴に落下させて前記底
   部に配置することを特徴とする半導体装置の位置決め方
   法。