JPH07118847B2 - Carrier - Google Patents

Carrier

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JPH07118847B2
JPH07118847B2 JP60260702A JP26070285A JPH07118847B2 JP H07118847 B2 JPH07118847 B2 JP H07118847B2 JP 60260702 A JP60260702 A JP 60260702A JP 26070285 A JP26070285 A JP 26070285A JP H07118847 B2 JPH07118847 B2 JP H07118847B2
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JP
Japan
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carrier
transport
frame
magnetic
transport path
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JP60260702A
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好信 今村
茂樹 亀井
誠 山村
Original Assignee
日立機電工業株式会社
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C29/00Bearings for parts moving only linearly
    • F16C29/02Sliding-contact bearings
    • F16C29/025Hydrostatic or aerostatic
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00Bearings not otherwise provided for
    • F16C32/06Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
    • F16C32/0629Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a liquid cushion, e.g. oil cushion
    • F16C32/0633Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a liquid cushion, e.g. oil cushion the liquid being retained in a gap
    • F16C32/0637Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a liquid cushion, e.g. oil cushion the liquid being retained in a gap by a magnetic field, e.g. ferrofluid bearings

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
  • Non-Mechanical Conveyors (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、被搬送物を支持ないしは載置する搬送台を懸
垂させ磁性流体で浮上させながら移送する搬送装置に関
する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a transfer device that suspends a transfer table that supports or mounts an object to be transferred, and transfers the object while floating it with a magnetic fluid.

従来の技術 この種の懸垂式搬送装置としては、例えば懸垂式のトロ
リーコンベヤ等があるが、運転中に回転部分や摺動部分
から微塵が発生する。そのため、塵埃等をきらう環境の
クリーンルーム内等では利用できないという問題点があ
った。又、移動体に動力、電気信号を供給するための電
線、圧油配管又は空気配管等の支持物を支持して移動す
る第3図(A)、(B)、(C)の正面断面図に示すよ
うなハンガー機構等がある。
2. Description of the Related Art As a suspending type conveying device of this type, for example, there is a suspending type trolley conveyor, but fine dust is generated from a rotating part and a sliding part during operation. Therefore, there is a problem that it cannot be used in a clean room or the like in an environment where dust is tolerated. Further, front cross-sectional views of FIGS. 3A, 3B, and 3C that move by supporting a support such as an electric wire for supplying power and an electric signal to a moving body, a pressure oil pipe, or an air pipe. There is a hanger mechanism as shown in.

第3図(A)においては、11は水平に張架されたメッセ
ンジャワイヤ、12はメッセンジャワイヤ上を移動する走
行ホイール、13は走行ホイール12を軸15で軸支するフレ
ーム、14はフレーム13より懸垂し電線、圧油配管又は空
気配管等の支持物を支持するハンガーである。メッセン
ジャワイヤ12上を走行ホイール12が移動するにつれてフ
レーム13より懸垂されたハンガー14が移動するので、電
線、圧油配管又は空気配管等の支持物を移動さすことが
できる。
In FIG. 3 (A), 11 is a messenger wire that is horizontally stretched, 12 is a traveling wheel that moves on the messenger wire, 13 is a frame that supports the traveling wheel 12 on a shaft 15, and 14 is a frame 13. A hanger for supporting a suspended electric wire, a pressure oil pipe, an air pipe or the like. Since the hanger 14 suspended from the frame 13 moves as the traveling wheel 12 moves on the messenger wire 12, it is possible to move a support such as an electric wire, a pressure oil pipe or an air pipe.

第3図(B)においては、21は水平に配置されたガイド
レール、22はガイドレール21の下部の上面2個所を移動
する走行ホイール、23は走行ホイール22を軸25で軸支す
るフレーム、24はフレーム23より懸垂し、電線、圧油配
管又は空気配管等の支持物を支持するハンガーである。
ガイドレール21の下部の上面を走行ホイール22が移動す
るにつれてフレーム23より懸垂されたハンガー24が移動
するので、電線、圧油配管又は空気配管等の支持物を移
動さすことができる。
In FIG. 3 (B), 21 is a horizontally arranged guide rail, 22 is a traveling wheel that moves on two lower upper surfaces of the guide rail 21, 23 is a frame that supports the traveling wheel 22 with a shaft 25, A hanger 24 is suspended from the frame 23 and supports a support such as an electric wire, a pressure oil pipe or an air pipe.
Since the hanger 24 suspended from the frame 23 moves as the traveling wheel 22 moves on the lower upper surface of the guide rail 21, it is possible to move a support such as an electric wire, a pressure oil pipe, or an air pipe.

第3図(C)においては、31は開溝状の水平に配置され
たガイドレール、32はガイドレール下部の上面2個所を
移動する走行ホイール、33は走行ホイール32を軸35で軸
支するフレーム、34はフレーム33より懸垂し、電線、圧
油配管又は空気配管等の支持物を支持するハンガーであ
る。ガイドレール下部の上面を走行ホイール32が移動す
るにつれてフレーム33より懸垂されたハンガー34が移動
するので、電線、圧油配管又は空気配管等の支持物を移
動さすことができる。
In FIG. 3 (C), 31 is an open groove-shaped horizontally arranged guide rail, 32 is a traveling wheel that moves between two upper surfaces below the guide rail, and 33 is a shaft 35 that supports the traveling wheel 32. A frame, 34 is a hanger that is suspended from the frame 33 and supports a support such as an electric wire, a pressure oil pipe or an air pipe. Since the hanger 34 suspended from the frame 33 moves as the traveling wheel 32 moves on the upper surface of the lower part of the guide rail, it is possible to move a support such as an electric wire, a pressure oil pipe or an air pipe.

しかしいずれの場合においても走行ホイールがメッセン
ジャワイヤ又はガイドレール等との転り摩擦によって移
動するので、 騒音が発生する 摩擦面で微塵が発生する 転り摩擦であり走行抵抗が比較的大きい 等の欠点があった。
However, in either case, the traveling wheel moves due to rolling friction with the messenger wire or the guide rail, etc., so noise is generated, and fine dust is generated on the friction surface. was there.

そのため、この種の搬送装置はクリーンルーム内等、特
に塵埃をきらう環境では利用できないという問題点があ
った。
Therefore, there is a problem that this type of transfer device cannot be used in a clean room or the like, particularly in an environment where dust is tolerated.

発明が解決しようとする問題点 本発明は、搬送物支持ないしは載置する搬送台を懸垂式
として、磁性流体を用いて浮上させ、非常に走行抵抗が
小さく無発塵で、かつ、騒音を発生させない搬送装置を
提供することを目的とする。
DISCLOSURE OF THE INVENTION Problems to be Solved by the Invention According to the present invention, a carrier for supporting or mounting a carrier is of a suspension type, and is floated by using a magnetic fluid, so that the running resistance is very small, no dust is generated, and noise is generated. It is an object of the present invention to provide a transport device that does not allow the transfer.

問題点を解決するための手段 本発明は搬送路に搬送台を懸垂支持して走行する搬送装
置であって、前記搬送路は非磁性かつ非導体性材質によ
って形成され上面が開口した1個又は複数個の溝部と、
この溝部に適量に配置された磁性流体と、適宜距離間隔
をもって配設されたリニアモータ固定子とを具備してお
り、前記搬送台は下端に永久磁石を敷設した脚部と、前
記リニアモータ固定子に対向して設けられたリアクショ
ンプレートとを具備しており、かつ、前記搬送台は脚部
が磁性流体中にはめこまれ前記磁性流体と永久磁石との
相互間に作用する磁気力によって浮上しつつ懸垂されて
おり、浮上及び走行時ともに搬送路に対し非接触状態と
してクリーン搬送するようにしたことを特徴とする搬送
装置である。
Means for Solving the Problems The present invention is a transport device that travels while suspending and supporting a transport table on a transport path, wherein the transport path is formed of a non-magnetic and non-conductive material, and one or more of which has an open top surface. A plurality of grooves,
The groove is provided with an appropriate amount of magnetic fluid and a linear motor stator disposed at an appropriate distance, and the carrier is provided with legs having permanent magnets laid on the lower end and the linear motor fixed. And a reaction plate provided so as to face the child, and the carrier is floated by a magnetic force acting between the magnetic fluid and the permanent magnet, with legs of the carrier being embedded in the magnetic fluid. The carrier device is characterized in that the carrier device is suspended while being suspended, and is cleanly carried in a non-contact state with the carrier path during both floating and traveling.

実施例 以下本発明の実施例について図面に基づき説明を行う。
第1図は本発明に係る搬送装置の第1の実施例を示す正
面断面図、第2図は第1図のA−A断面図である。
Embodiments Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
FIG. 1 is a front sectional view showing a first embodiment of a carrying device according to the present invention, and FIG. 2 is a sectional view taken along the line AA of FIG.

1は後述する支持フレーム4によって支持された非磁性
及び非導体材質でもって形成した搬送路であり、上面が
開口した1個又は複数個の溝部を有している。搬送路1
は実施例では進行方向と直角方向に左右2組設ける場合
を示す。
Reference numeral 1 denotes a transport path supported by a support frame 4 which will be described later and formed of a non-magnetic and non-conductive material, and has one or a plurality of groove portions having an open upper surface. Transport path 1
In the embodiment, two sets of right and left are provided in the direction perpendicular to the traveling direction.

5は搬送フレームで、図示しない被搬送物が支持ないし
は載置される搬送フレーム5の下部に懸垂された搬送台
6と、左右の搬送路1の溝部に対応する先端位置に配設
された永久磁石3と永久磁石3を下端面に保持する脚部
8とで構成される。搬送台6は搬送フレーム5の下部に
配置されている。被搬送物は搬送台6の内部の空間部に
支持される場合を示す。
Reference numeral 5 denotes a transport frame, which is a transport base 6 suspended from a lower portion of the transport frame 5 on which an object to be transported (not shown) is supported or placed, and a permanent member disposed at a tip end position corresponding to the groove portions of the left and right transport paths 1. It is composed of a magnet 3 and a leg portion 8 that holds the permanent magnet 3 on the lower end surface. The carrier table 6 is arranged below the carrier frame 5. The case where the object to be conveyed is supported in the space inside the conveyance table 6 is shown.

2は磁性流体であり、永久磁石3の磁界が作用するよう
に搬送路1の溝部内に配置されており、前記脚部8下端
の永久磁石3が磁性流体3にはまり込むように構成され
ている。
Reference numeral 2 denotes a magnetic fluid, which is arranged in the groove of the transport path 1 so that the magnetic field of the permanent magnet 3 acts, and the permanent magnet 3 at the lower end of the leg 8 is configured to fit into the magnetic fluid 3. There is.

4は搬送路1を支持する支持フレームであり、搬送路1
のカバーをも兼ねている。
Reference numeral 4 denotes a support frame that supports the transport path 1,
Also doubles as a cover.

該磁性流体2は、例えばフェライト等の磁性微粒子の粒
子表面を長鎖不飽和脂肪酸で被覆し、界面活性剤を使っ
て溶液中に分散させたコロイド溶液で公知のものであ
る。
The magnetic fluid 2 is a known colloidal solution in which the surface of magnetic fine particles such as ferrite is coated with a long-chain unsaturated fatty acid and dispersed in a solution using a surfactant.

つぎに本実施例の動作について説明を行う。第1図及び
第2図において、磁性流体2は搬送フレーム5に配設さ
れた永久磁石3の発生する磁界の影響によって磁性流体
の見掛け比重の増大現象が発生し、永久磁石3、脚部8
及び搬送フレーム5に対して浮上力を発生させ、搬送フ
レーム5が搬送路1より浮上し、搬送フレーム5に配設
された搬送台6が搬送路1より浮上されることになる。
Next, the operation of this embodiment will be described. In FIGS. 1 and 2, the magnetic fluid 2 causes an increase in the apparent specific gravity of the magnetic fluid due to the influence of the magnetic field generated by the permanent magnets 3 arranged on the carrier frame 5, and the permanent magnets 3 and the legs 8 are formed.
Then, a levitation force is generated on the transport frame 5, the transport frame 5 floats above the transport path 1, and the transport platform 6 disposed on the transport frame 5 floats above the transport path 1.

永久磁石3の磁界の強さを所定の値に設定することによ
り、搬送フレーム5に対応した所定の浮力を得ることが
可能となる。この場合、永久磁石3の底面と搬送路1の
上面は磁性流体2以外全く非接触となる。そして、搬送
台6が走行しても、磁性流体3が流失、減少することな
く、常に適量が搬送路1内に存在するので、必要な浮上
力が得られる。
By setting the magnetic field strength of the permanent magnet 3 to a predetermined value, it is possible to obtain a predetermined buoyancy corresponding to the transport frame 5. In this case, the bottom surface of the permanent magnet 3 and the top surface of the transport path 1 are not in contact with each other except the magnetic fluid 2. Even when the carrier 6 travels, the magnetic fluid 3 does not flow away or decrease, and an appropriate amount is always present in the carrier path 1, so that the required levitation force can be obtained.

また、搬送路1は非磁性及び非導体材質で形成されてい
るので、次のように作用する。まず作用を説明する前に
搬送路1を磁性体で構成した場合について述べる。この
場合には、搬送路1に設けた永久磁石3がその磁力によ
り磁性体である搬送路1に吸着し、磁性流体3の発生す
る浮上力は問題にならず、結果として、摩擦力の減少と
は逆効果を呈して、走行抵抗が低減しない。
Further, since the transport path 1 is made of non-magnetic and non-conductive material, it operates as follows. First, before explaining the operation, a case where the transport path 1 is made of a magnetic material will be described. In this case, the permanent magnet 3 provided in the transport path 1 is attracted to the transport path 1 which is a magnetic body by its magnetic force, and the levitation force generated by the magnetic fluid 3 does not pose a problem, and as a result, the friction force is reduced. It has the opposite effect and does not reduce the running resistance.

また、搬送路1を導体材料で構成した場合について述べ
る。この場合には、静止状態では磁性流体3の浮上力に
より搬送台6は浮上するが、走行させるときには、永久
磁石3が導体である搬送路1付近を移動することによる
磁束の交差によって搬送路1内に渦電流が流れてブレー
キ作用を呈する。従って、この場合にも走行抵抗が低減
しない。
Further, a case where the transport path 1 is made of a conductive material will be described. In this case, the carrier table 6 is levitated by the levitation force of the magnetic fluid 3 in a stationary state, but when traveling, the permanent magnet 3 moves near the carrier route 1 which is a conductor, and the magnetic flux intersects to convey the carrier route 1. An eddy current flows inside and exhibits a braking action. Therefore, in this case as well, the running resistance is not reduced.

しかしながら、搬送路1を前記材質で形成しているの
で、前記した問題点が発生せず、走行損失を著しく低減
させて、効率の良いクリーン搬送が得られることにな
る。このため、図示しない移動体に搬送フレーム5を支
持させれば、図示しない移動体の移動に追随して、搬送
フレーム5は第2図に示す矢符方向へ低損失で移送さす
ことができる。従って、搬送フレーム5に懸垂された搬
送台6が移送されることになる。
However, since the transport path 1 is formed of the above-mentioned material, the above-mentioned problems do not occur, traveling loss is significantly reduced, and efficient and clean transport can be obtained. Therefore, if the transport frame 5 is supported by a mobile body (not shown), the transport frame 5 can be transported in the arrow direction shown in FIG. 2 with low loss following the movement of the mobile body (not shown). Therefore, the carrier 6 suspended from the carrier frame 5 is transferred.

本実施例によれば、非常に走行抵抗の小さい、無発塵
で、かつ、移動体に移送のための駆動力の負担を殆ど増
加さすことなく騒音を発生させない搬送装置が実現でき
る。又、搬送路を2組としたので被搬送物を安定して移
送できる。
According to the present embodiment, it is possible to realize a carrier device which has a very low running resistance, is dust-free, and does not generate noise while hardly increasing the load of the driving force for transfer to the moving body. In addition, since there are two sets of transport paths, the transported object can be stably transported.

第4図は、第1図に示す実施例の場合の搬送台6の形状
の他の実施例を示すもので、これ以外は第1図に示す場
合と同様である。図示しない被搬送物は、搬送台6の下
部の支持部8で支持ないしは載置される場合を示す。
FIG. 4 shows another embodiment of the shape of the carrier table 6 in the case of the embodiment shown in FIG. 1, and other than this, it is the same as the case shown in FIG. An object to be conveyed (not shown) is supported or placed on the supporting portion 8 below the carrier table 6.

第5図は本発明に係る搬送装置の第2の実施例を示す断
面正面図である。
FIG. 5 is a sectional front view showing a second embodiment of the carrying device according to the present invention.

1は図示しないフレームによって支持された非磁性及び
非導体材質でもって形成した搬送路である。5は搬送フ
レームで、図示しない被搬送物が支持ないしは載置され
る搬送フレーム5の下部に懸垂された搬送台6と、搬送
路1に対応する位置に配設された永久磁石3と、永久磁
石3を下端面に保持する脚部8とで構成される。本実施
例が第1の実施例と異なるところは、第1の実施例での
搬送路1が進行方向と直角方向に左右2組設けたものに
対し、本実施例では搬送路1を1組とした場合を示し、
又本実施例では搬送フレーム5を搬送路1に跨座するよ
うに配置される。
Reference numeral 1 is a conveyance path formed of a non-magnetic and non-conductive material supported by a frame (not shown). Reference numeral 5 denotes a transfer frame, a transfer table 6 suspended below the transfer frame 5 on which an object (not shown) is supported or placed, a permanent magnet 3 disposed at a position corresponding to the transfer path 1, and a permanent magnet. It is composed of a leg portion 8 that holds the magnet 3 on the lower end surface. The present embodiment is different from the first embodiment in that the conveyance path 1 in the first embodiment is provided with two sets on the left and right in the direction perpendicular to the traveling direction, whereas in this embodiment, one set is provided. And the case
Further, in this embodiment, the transport frame 5 is arranged so as to straddle the transport path 1.

上記以外の構成は、第1の実施例と同様である。第5図
において第1図と同一部分は同一符号を付して示した。
The configuration other than the above is the same as that of the first embodiment. In FIG. 5, the same parts as those in FIG. 1 are designated by the same reference numerals.

本実施例での動作は、第1の実施例と同様であり、搬送
台6を移送さすことができる。
The operation in this embodiment is similar to that in the first embodiment, and the carrier 6 can be transferred.

本実施例では、搬送路1を1組として簡単な構成とした
ものであり、前の実施例と同様の効果を有する。
In this embodiment, the transport path 1 is set as one set and has a simple structure, and has the same effect as the previous embodiment.

又、第6図は第5図で示す第2の実施例の場合の搬送台
6の形状の他の実施例を示すものであり、図示しない被
搬送物を、搬送台6の下部の支持部8で支持ないしは載
置される場合を示す。
Further, FIG. 6 shows another embodiment of the shape of the carrier 6 in the case of the second embodiment shown in FIG. 8 shows the case where it is supported or placed.

なお、搬送路及び永久磁石は実施例については、1組又
は2組で説明したが、これに限定されずに3組以上につ
いても同様に可能なのは勿論である。
In addition, although the conveyance path and the permanent magnet are described as one set or two sets in the embodiment, the present invention is not limited to this, and it is needless to say that three sets or more can be similarly provided.

第7図は本発明に係る搬送装置の第3の実施例を示す正
面断面図、第8図は第7図のA−A断面図である。
FIG. 7 is a front sectional view showing a third embodiment of the conveying device according to the present invention, and FIG. 8 is a sectional view taken along line AA of FIG.

本実施例が第1及び第2の実施例と異なるのは、第1及
び第2の実施例においては、本発明の搬送装置には駆動
源を有していず搬送フレーム5を図示しない移動体に支
持し、図示しない移動体の移動に追随して、搬送フレー
ム5を移送するのに対して、本実施例では搬送装置自体
に駆動源を有していることである。
The present embodiment differs from the first and second embodiments in that, in the first and second embodiments, the carrier of the present invention does not have a drive source and the carrier frame 5 is not shown in the figure. On the other hand, the carrier frame 5 is transferred following the movement of a moving body (not shown), whereas in the present embodiment, the carrier device itself has a drive source.

本実施例が第1の実施例と異なるところは、支持フレー
ム4の下面の左右に進行方向に対し適宜所定の位置にリ
ニアモータ固定子40を配置し、搬送フレーム5の脚部5a
のリニアモータ固定子40に対向する部分にリアクション
プレート41を配置したことである。リアクションプレー
ト41はリニアモータ固定子40とでリニアモータとして推
力を生じせしめるよう導電性材料、例えばアルミニウム
又は銅板等で構成したものである。
This embodiment is different from the first embodiment in that linear motor stators 40 are arranged on the left and right sides of the lower surface of the support frame 4 at appropriate positions in the traveling direction, and the leg portions 5a of the transport frame 5 are arranged.
That is, the reaction plate 41 is arranged at a portion facing the linear motor stator 40 of FIG. The reaction plate 41 is made of a conductive material, such as an aluminum or copper plate, so as to generate thrust with the linear motor stator 40 as a linear motor.

上記以外の構成は、第1の実施例と同様である。第7図
において第1図と同一部分は同一符号を付して示した。
The configuration other than the above is the same as that of the first embodiment. In FIG. 7, the same parts as those in FIG. 1 are designated by the same reference numerals.

本実施例での動作の説明を行うと、第1の実施例で説明
したのと同様に搬送フレーム5は浮上し、非常に走行抵
抗が小さい状態となる。ここで、リニアモータ固定子40
を励磁すると、リアクションプレート41は推力を得る。
このため、搬送フレーム5は第8図に矢符で示す方向に
移送される。従って、搬送フレーム5に懸垂された搬送
台6は移送されることになる。
The operation of this embodiment will be described. As in the case of the first embodiment, the transport frame 5 floats and the running resistance becomes extremely small. Where the linear motor stator 40
Is excited, the reaction plate 41 obtains thrust.
Therefore, the transport frame 5 is transported in the direction shown by the arrow in FIG. Therefore, the carrier table 6 suspended from the carrier frame 5 is transferred.

このため、非常に走行抵抗が小さいので、必要なリニア
モータの容量も低減でき、無発塵な搬送装置が実現でき
る。
For this reason, since the running resistance is very small, the required capacity of the linear motor can be reduced, and a dust-free transfer device can be realized.

第9図は第8図に示す実施例の場合の搬送台6の形状の
他の実施例を示すもので、これ以外は第8図に示す場合
と同様であり、図示しない被搬送物は、搬送台6の下部
に支持部8で支持ないしは載置される場合を示す。
FIG. 9 shows another embodiment of the shape of the carrier table 6 in the case of the embodiment shown in FIG. 8. Other than this, it is the same as the case shown in FIG. The case where it is supported or placed on the lower portion of the carrier table 6 by the support portion 8 is shown.

第10図は本発明に係る搬送装置の第4の実施例を示す正
面断面図である。本実施例が第5図に示す第2の実施例
と異なるところは、搬送路1の側面に進行方向に対し適
宜所定の位置にリニアモータ固定子40を配置し、搬送フ
レーム5の側面のリニアモータ固定子40に対向する部分
にリアクションプレート41を配置したことである。
FIG. 10 is a front sectional view showing a fourth embodiment of the carrying device according to the present invention. This embodiment is different from the second embodiment shown in FIG. 5 in that the linear motor stator 40 is arranged on the side surface of the conveyance path 1 at a predetermined position in the traveling direction, and the linear side surface of the conveyance frame 5 is arranged. That is, the reaction plate 41 is arranged in a portion facing the motor stator 40.

上記以外の構成は第2の実施例と同様である。The configuration other than the above is the same as that of the second embodiment.

本実施例の動作の説明を行うと、第2の実施例で説明し
たのと同様に搬送フレーム5は浮上し、非常に走行抵抗
が小さい状態状態となる。ここで、リニアモータ固定子
40を励磁すると、リアクションプレート41は推力を得
る。このため、搬送フレーム5は進行方向に移送され、
搬送フレーム5に懸垂された搬送台6は移送されること
になる。
The operation of this embodiment will be described. As in the case of the second embodiment, the transport frame 5 floats and the running resistance becomes extremely small. Where the linear motor stator
When 40 is excited, the reaction plate 41 gains thrust. Therefore, the transport frame 5 is transferred in the traveling direction,
The carrier 6 suspended from the carrier frame 5 is transferred.

本実施例では、搬送路1を1組とし、又、リニアモータ
固定子40も1組とできるので装置を簡単な構成とできる
ものであり、第3の実施例と同様の効果を有する。
In the present embodiment, the conveying path 1 can be set as one set and the linear motor stator 40 can also be set as one set, so that the device can be made to have a simple configuration and the same effect as the third embodiment can be obtained.

又、第11図は第10図で示す第4の実施例の場合の搬送台
6の形状の他の実施例を示すものであり、図示しない被
搬送物を搬送台6の下部の支持部8で支持ないしは載置
される場合を示す。
Further, FIG. 11 shows another embodiment of the shape of the carrier table 6 in the case of the fourth embodiment shown in FIG. Shows the case where it is supported or placed.

発明の効果 本発明は、磁性流体を用いて搬送物を支持ないしは載置
する懸垂された搬送台を浮上及び走行時とも搬送路に対
し非接触状態としてクリーン搬送させるとともに、非常
に走行抵抗が小さく簡単に搬送でき、かつ、無発塵で騒
音を発生させない効果を有する。
EFFECTS OF THE INVENTION The present invention uses a magnetic fluid to support and mount a suspended carrier on which a suspended transportation platform is in a non-contact state with a transportation path during floating and traveling, and has a very low traveling resistance. It has an effect that it can be easily transported, does not generate dust, and does not generate noise.

このため、特に塵埃をきらうクリーンルーム内等では非
常に有効な搬送装置である。
For this reason, it is a very effective transport device, especially in a clean room where dust is avoided.

さらに、磁性流体を用いているので、搬送台を浮上させ
る例えばエアベアリング等の浮上手段及びこの浮上手段
を制御する制御手段を一切必要としないので、設備費を
少なくすることができるという利点がある。
Further, since the magnetic fluid is used, there is no need for any levitation means such as an air bearing for levitation of the carrier and a control means for controlling this levitation means, which is advantageous in that the facility cost can be reduced. .

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は本発明に係る搬送装置の第1の実施例を示す正
面断面図、第2図は第1図のA−A断面図、第3図は従
来の技術を示す正面断面図、第4図は第1の実施例の場
合の搬送台の他の実施例を示す正面断面図、第5図は本
発明に係る搬送装置の第2の実施例を示す正面断面図、
第6図は第2の実施例の場合の搬送台の他の実施例を示
す正面断面図、第7図は本発明に係る搬送装置の第3の
実施例を示す正面断面図、第8図は第7図のA−A断面
図、第9図は第3の実施例の場合の搬送台の他の実施例
を示す正面断面図、第10図は本発明に係る搬送装置の第
4の実施例を示す正面断面図、第11図は第4の実施例の
場合の搬送台の他の実施例を示す正面断面図である。 1……搬送路、2……磁性流体、3……永久磁石、4…
…支持フレーム、5……搬送フレーム、6……搬送台、
11……メッセンジャワイヤ、12、22、32……走行ホイー
ル、13、23、33……フレーム、14、24、34……ハンガ
ー、15、25、35……軸、21、31……ガイドレール、40…
…リニアモータ固定子、41……リアクションプレート。
FIG. 1 is a front sectional view showing a first embodiment of a carrying device according to the present invention, FIG. 2 is a sectional view taken along the line AA of FIG. 1, and FIG. 3 is a front sectional view showing a conventional technique. FIG. 4 is a front sectional view showing another embodiment of the carrier table in the case of the first embodiment, and FIG. 5 is a front sectional view showing a second embodiment of the carrier device according to the present invention.
FIG. 6 is a front sectional view showing another embodiment of the transfer table in the case of the second embodiment, FIG. 7 is a front sectional view showing a third embodiment of the transfer apparatus according to the present invention, and FIG. 7 is a sectional view taken along the line AA in FIG. 7, FIG. 9 is a front sectional view showing another embodiment of the carrier table in the case of the third embodiment, and FIG. 10 is a fourth embodiment of the carrier device according to the present invention. FIG. 11 is a front sectional view showing an embodiment, and FIG. 11 is a front sectional view showing another embodiment of the carrier table in the case of the fourth embodiment. 1 ... Transport path, 2 ... Magnetic fluid, 3 ... Permanent magnet, 4 ...
... Support frame, 5 ... Transport frame, 6 ... Transport platform,
11 …… Messenger wire, 12, 22, 32 …… Running wheel, 13, 23, 33 …… Frame, 14, 24, 34 …… Hanger, 15, 25, 35 …… Axis, 21, 31 …… Guide rail , 40 ...
… Linear motor stator, 41… Reaction plate.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】搬送路に搬送台を懸垂支持して走行する搬
送装置であって、前記搬送路は非磁性かつ非導体性材質
によって形成され上面が開口した1個又は複数個の溝部
と、この溝部に適量に配置された磁性流体と、適宜距離
間隔をもって配設されたリニアモータ固定子とを具備し
ており、前記搬送台は下端に永久磁石を敷設した脚部
と、前記リニアモータ固定子に対向して設けられたリア
クションプレートとを具備しており、かつ、前記搬送台
は脚部が磁性流体中にはめこまれ前記磁性流体と永久磁
石との相互間に作用する磁気力によって浮上しつつ懸垂
されており、浮上及び走行時ともに搬送路に対し非接触
状態としてクリーン搬送するようにしたことを特徴とす
る搬送装置。
1. A transporting device for suspending and supporting a transport table on a transport path, wherein the transport path is made of a non-magnetic and non-conductive material and has one or a plurality of groove portions having an open top surface. The groove is provided with an appropriate amount of magnetic fluid and a linear motor stator disposed at an appropriate distance, and the carrier is provided with legs having permanent magnets laid on the lower end and the linear motor fixed. And a reaction plate provided so as to face the child, and the carrier is floated by a magnetic force acting between the magnetic fluid and the permanent magnet, with legs of the carrier being embedded in the magnetic fluid. A transport device that is suspended while being kept clean, and is cleanly transported in a non-contact state with the transport path during both floating and traveling.
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