JPH07110275A - Pressure sensor circuit - Google Patents

Pressure sensor circuit

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JPH07110275A
JPH07110275A JP25393193A JP25393193A JPH07110275A JP H07110275 A JPH07110275 A JP H07110275A JP 25393193 A JP25393193 A JP 25393193A JP 25393193 A JP25393193 A JP 25393193A JP H07110275 A JPH07110275 A JP H07110275A
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JP
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pressure sensor
circuit
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amplifier
power supply
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JP25393193A
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Tadashi Hino
正 日野
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Fuji Electric Co Ltd
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Fuji Electric Co Ltd
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Abstract

PURPOSE:To provide a pressure sensor circuit which is hardly affected by noise. CONSTITUTION:In a pressure sensor circuit composed of a bridge circuit 29 incorporating a strain gauge 2 for detecting pressure, a measuring amplifier 7 for amplifying the output voltage of the circuit 29, and a current amplifier 8 for amplifying the current in the output of the amplifier 7, a power source section (21) which supplies electric power to each section is constituted in an insulating state so as to prevent the pressure sensor circuit from being hardly affected by noise and improved in measuring accuracy.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、電子制御回路を内蔵
した圧力センサ(以下、圧力センサ回路ともいう)、特
にその改良に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a pressure sensor (hereinafter also referred to as a pressure sensor circuit) incorporating an electronic control circuit, and more particularly to an improvement thereof.

【0002】[0002]

【従来の技術】図5は圧力センサ装置の従来例を示す断
面図である。すなわち、鋼鉄またはステンレス製の円筒
形ケース4の中に、圧力を受けるダイヤフラム1と、こ
のダイヤフラム1に取り付けられたストレンゲージ2
と、電子回路3などから構成される。つまり、圧力に応
動する室と、電子回路3を収容する室とは、ダイヤフラ
ム1によって仕切られている。そして、このダイヤフラ
ム1は圧力を受けると変形し、ダイヤフラム1に取り付
けられたストレンゲージ2が、それに対応して歪むこと
によって抵抗値が変化するので、これを圧力信号として
取り出すものである。なお、5は電線、6はブッシュを
示している。
2. Description of the Related Art FIG. 5 is a sectional view showing a conventional example of a pressure sensor device. That is, in a cylindrical case 4 made of steel or stainless steel, a diaphragm 1 that receives a pressure and a strain gauge 2 attached to the diaphragm 1
And an electronic circuit 3 and the like. That is, the chamber that responds to the pressure and the chamber that houses the electronic circuit 3 are separated by the diaphragm 1. The diaphragm 1 is deformed when pressure is applied, and the strain gauge 2 attached to the diaphragm 1 is correspondingly distorted to change its resistance value, and this is taken out as a pressure signal. In addition, 5 is an electric wire and 6 is a bush.

【0003】ところで、このストレンゲージ2の変化は
微小なため、外部ノイズの影響を受けると、受信側では
この圧力変化を殆ど検出することができなくなる。した
がって、通常はこのストレンゲージの変化を電気信号に
変換し増幅するための電子回路を設けるようにしてい
る。図6にその具体例を示す。
By the way, since the change of the strain gauge 2 is minute, when the influence of external noise is exerted, the change in pressure cannot be detected on the receiving side. Therefore, usually, an electronic circuit is provided for converting this strain gauge change into an electric signal and amplifying it. FIG. 6 shows a specific example thereof.

【0004】圧力センサ回路は、上記ストレンゲージ2
の歪みを電気的な変化に変換するための抵抗からなる計
測ブリッジ29と、その変化分を増幅する計測アンプ7
と、外部へ出力するための電流増幅器8と、これらに安
定な電源を供給する定電圧電源回路9などから構成され
る。このように、外部へは外来ノイズの影響を受け難く
するため、電流信号(4〜20mA)として出力され
る。
The pressure sensor circuit is the strain gauge 2 described above.
Measuring bridge 29 composed of a resistor for converting the distortion of the electric field into an electric change, and a measuring amplifier 7 for amplifying the change.
And a current amplifier 8 for outputting to the outside, a constant voltage power supply circuit 9 for supplying a stable power supply to them, and the like. As described above, the signal is output as a current signal (4 to 20 mA) in order to reduce the influence of external noise on the outside.

【0005】いま、図6に示すストレンゲージ2の抵抗
値をR1、計測ブリッジ29の他の抵抗値をR2,R
3,R4、また、計測ブリッジ29に印加される電圧を
eiとすると、このブリッジ29から出力される電圧e
は、 e=−(R1R2−R3R4)/{(R1+R4)(R2+R3)}・ei ……(1) となる。
Now, the resistance value of the strain gauge 2 shown in FIG. 6 is R1, and the other resistance values of the measuring bridge 29 are R2 and R.
3, R4, and assuming that the voltage applied to the measurement bridge 29 is ei, the voltage e output from this bridge 29
Is e =-(R1R2-R3R4) / {(R1 + R4) (R2 + R3)}. Ei (1).

【0006】ここで、(1)式における抵抗値R2,R
3,R4をR1と同じ値に選べば(R2=R3=R4=
R1)、圧力を受けないときは上記電圧出力eは零とな
る。これに対し、圧力を受けてストレンゲージ2が歪
み、抵抗値がR1+ΔRになったとすると、電圧出力e
は、 e=−{ΔRR1/(4R12 +2R1ΔR)}ei ……(2) となる。
Here, the resistance values R2 and R in the equation (1)
If R3 and R4 are set to the same value as R1, (R2 = R3 = R4 =
R1), the voltage output e becomes zero when no pressure is applied. On the other hand, if the strain gauge 2 is distorted under pressure and the resistance value becomes R1 + ΔR, the voltage output e
Becomes e =-{ΔRR1 / (4R1 2 + 2R1ΔR)} ei (2).

【0007】ここで、一般にR1≫ΔRなので、上記
(2)式は、 e=−ΔRei/4R1 ……(3) と近似できる。したがって、図6の計測アンプ7の増幅
度をkとすれば、計測アンプ7の出力Eoutは、 Eout=−kΔRei/4R1 ……(4) となり、これが電流増幅器8により電流量に変換されて
外部へ出力される。
Since R1 >> ΔR in general, the above equation (2) can be approximated as e = −ΔRei / 4R1 (3). Therefore, assuming that the amplification degree of the measurement amplifier 7 in FIG. 6 is k, the output Eout of the measurement amplifier 7 is Eout = −kΔRei / 4R1 (4), which is converted into a current amount by the current amplifier 8 and externally output. Is output to.

【0008】図7に図6の具体的な例を示す。ここで
は、計測アンプは演算増幅器(オペアンプ)を含む差動
アンプ10からなり、電流増幅器はオペアンプを含む反
転アンプ11と電流増幅する出力トランジスタ12と内
部基準負荷13などから構成される。ここに、内部基準
負荷13は、例えば出力が4〜20mAの場合は250
Ωに選定され、ここでの電圧降下(1〜5V)が反転ア
ンプ11に帰還されて、電流調節が行なわれるようにな
っている。
FIG. 7 shows a concrete example of FIG. Here, the measurement amplifier includes a differential amplifier 10 including an operational amplifier (op amp), and the current amplifier includes an inverting amplifier 11 including an operational amplifier, an output transistor 12 for current amplification, an internal reference load 13, and the like. Here, the internal reference load 13 is, for example, 250 when the output is 4 to 20 mA.
Ω is selected, and the voltage drop (1 to 5 V) here is fed back to the inverting amplifier 11 for current adjustment.

【0009】また、定電圧電源はここでは出力トランジ
スタ15,電圧制御トランジスタ16および定電圧ダイ
オード17などから構成され、出力トランジスタ15の
出力電圧が定電圧ダイオード17の電圧に等しくなるよ
う、電圧制御トランジスタ16により出力トランジスタ
15のベース電流を制御し、出力電圧を調節するように
している。なお、このような定電圧電源としては、良く
知られているものを用いることができる。また、図7の
符号14は負荷(RL)、18は電源端子、19は出力
端子、20は外部受信アンプをそれぞれ示している。
The constant voltage power supply is composed of an output transistor 15, a voltage control transistor 16 and a constant voltage diode 17 here, and the voltage control transistor is controlled so that the output voltage of the output transistor 15 becomes equal to the voltage of the constant voltage diode 17. 16 controls the base current of the output transistor 15 to adjust the output voltage. A well-known one can be used as such a constant voltage power supply. Reference numeral 14 in FIG. 7 indicates a load (RL), 18 indicates a power supply terminal, 19 indicates an output terminal, and 20 indicates an external receiving amplifier.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】以上のように、圧力セ
ンサ回路は図5の如き円筒形ケースに収納するためコン
パクトに構成するとともに、安価にするため簡単な回路
構成である非絶縁形のものとしている。しかしながら、
このような非絶縁形の場合は外来ノイズが侵入するとこ
れが回路内に伝搬し、悪影響を及ぼすことになる。例え
ば、GIS(Gas Insulated Switc
h Gear),G−GISまたはガス絶縁キュービク
ルなどの、ガス圧力を監視する目的で使用されるガス圧
力センサは、変電所などの厳しい電磁環境下に置かれる
ことが多いためノイズ環境も悪く、その影響を受け易
い。
As described above, the pressure sensor circuit is of a compact structure because it is housed in the cylindrical case as shown in FIG. 5, and is of a non-insulated type which has a simple circuit structure for cost reduction. I am trying. However,
In the case of such a non-insulated type, if external noise enters, it propagates in the circuit and adversely affects it. For example, GIS (Gas Insulated Switchc)
The gas pressure sensor used for the purpose of monitoring the gas pressure, such as hGear), G-GIS, or gas-insulated cubicle, is often placed in a severe electromagnetic environment such as a substation and therefore has a bad noise environment. It is easily affected.

【0011】ノイズの侵入箇所は図7の電源端子18や
出力端子19等で、ここからノイズが侵入し、これによ
って内部電源がΔeだけ変動したとすると、計測アンプ
の出力Eoutは、 Eout=−kΔR(ei±Δe)/4R1 ……(5) となって±kΔRΔe/4R1だけ変動し、これが電流
変換されて出力されることになる。計測アンプの増幅度
kは非常に大きな値なので、ノイズの影響を受けると、
これが大きく増幅されて出力されるという問題を有する
ことになる。したがって、この発明の課題はノイズの侵
入,伝搬を防止し精度の向上を図ることにある。
The location where noise invades is the power supply terminal 18 or the output terminal 19 in FIG. 7, and if noise intrudes from there and the internal power supply fluctuates by Δe, the output Eout of the measurement amplifier is Eout =- It becomes kΔR (ei ± Δe) / 4R1 (5) and fluctuates by ± kΔRΔe / 4R1, and this is converted into current and output. The amplification factor k of the measurement amplifier is very large, so when affected by noise,
This causes a problem that this is greatly amplified and output. Therefore, an object of the present invention is to prevent the invasion and propagation of noise and improve the accuracy.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】このような課題を解決す
るため、第1の発明では、圧力変化を検知する圧力セン
サ部と、その出力を電圧増幅する第1の増幅回路と、そ
の出力を電流増幅する第2の増幅回路と、前記圧力セン
サ部および第1,第2増幅回路に電力を供給する電源部
とを有してなる圧力センサ回路において、前記電源部を
絶縁形の電源部とすることを特徴としている。
In order to solve such a problem, according to the first invention, a pressure sensor section for detecting a pressure change, a first amplifying circuit for amplifying the output of the pressure sensor section, and an output thereof are provided. In a pressure sensor circuit comprising a second amplification circuit for current amplification and a power supply section for supplying power to the pressure sensor section and the first and second amplification circuits, the power supply section is an insulated power supply section. It is characterized by doing.

【0013】第2の発明では、圧力変化を検知する圧力
センサ部と、その出力を電圧増幅する第1の増幅回路
と、その出力を電流増幅する第2の増幅回路と、前記圧
力センサ部および第1,第2増幅回路に電力を供給する
電源部とを有してなる圧力センサ回路において、前記電
源部を絶縁形にするとともに、2出力型として第1増幅
回路と第2増幅回路への電源供給を個別に行ない、かつ
第1増幅回路と第2増幅回路の間に絶縁アンプを挿入し
たことを特徴としている。
According to a second aspect of the present invention, a pressure sensor section for detecting a pressure change, a first amplifying circuit for amplifying its output by voltage, a second amplifying circuit for amplifying its output by current, the pressure sensor section, and In a pressure sensor circuit having a power supply section for supplying electric power to the first and second amplification circuits, the power supply section is of an insulating type, and a dual output type is provided for the first amplification circuit and the second amplification circuit. It is characterized in that power is supplied individually and an insulating amplifier is inserted between the first amplifier circuit and the second amplifier circuit.

【0014】[0014]

【作用】[Action]

(1)圧力センサ回路の電源を絶縁形とする。 (2)圧力センサ回路の電源を絶縁形にするとともに2
出力形として、電圧増幅部と電流増幅部には個別に電源
を供給し、かつ電圧増幅部と電流増幅部間には絶縁増幅
器を挿入する。 のいずれかとすることにより、ノイズによる影響を極め
て少なくし、計測精度を向上させる。
(1) The power source of the pressure sensor circuit is an insulated type. (2) Insulate the power supply of the pressure sensor circuit and
As an output type, power is supplied individually to the voltage amplification section and the current amplification section, and an isolation amplifier is inserted between the voltage amplification section and the current amplification section. By setting either of the above, the influence of noise is extremely reduced and the measurement accuracy is improved.

【0015】[0015]

【実施例】図1はこの発明の実施例を示す概要図、図2
はその詳細回路図である。この実施例は、概略的には図
1のように構成される。同図からも明らかなように、ブ
リッジ29に印加される電源にノイズが重畳しないよ
う、電源を絶縁電源21により構成した点が特徴であ
る。このようにすると、電源端子18の線間に侵入して
来るノーマルモードのノイズばかりでなく、同相ノイ
ズ、つまりコモンモードノイズに対しても効果を発揮す
る。
1 is a schematic diagram showing an embodiment of the present invention, FIG.
Is a detailed circuit diagram thereof. This embodiment is roughly constructed as shown in FIG. As is clear from the figure, the feature is that the power source is configured by the insulated power source 21 so that noise is not superimposed on the power source applied to the bridge 29. In this way, it is effective not only for normal mode noise coming between the lines of the power supply terminal 18 but also for common mode noise, that is, common mode noise.

【0016】絶縁電源21は具体的には例えば図2に示
すように、スイッチングトランジスタ22,絶縁トラン
ス23,整流ダイオード24および電圧制御回路25な
どから構成される。なお、かかる絶縁電源21はスイッ
チング電源として、一般的に良く知られているものであ
る。
The insulating power source 21 is specifically composed of a switching transistor 22, an insulating transformer 23, a rectifying diode 24, a voltage control circuit 25, etc., as shown in FIG. The insulated power supply 21 is generally well known as a switching power supply.

【0017】すなわち、トランス23によって絶縁を図
る一方、電圧制御回路25によって電源電圧を監視し、
これが一定となるようにスイッチングトランジスタ22
のゲートを制御することにより、定電圧を維持するもの
である。ダイオード24は整流器として用いられてい
る。また、その出力段にノイズフィルタなどを付加すれ
は、ノイズ除去効果はさらに増大する。
That is, while the transformer 23 is used for insulation, the voltage control circuit 25 monitors the power supply voltage,
Switching transistor 22 so that this becomes constant
The constant voltage is maintained by controlling the gate of the. The diode 24 is used as a rectifier. Moreover, if a noise filter or the like is added to the output stage, the noise removing effect is further enhanced.

【0018】図3はこの発明の他の実施例を示す概要図
である。これは、ノイズが電源端子からだけでなく、出
力端子からも侵入することがあるので、そのような場合
にも対処すべく、計測アンプ7と電流増幅器8との間に
絶縁アンプ26を挿入するとともに、計測ブリッジ29
および計測アンプ7に供給する電源と、電流増幅器8に
供給する電源を別々にし、相互の影響を軽減するために
2出力電源27とした点が特徴である。
FIG. 3 is a schematic diagram showing another embodiment of the present invention. Since noise may enter not only from the power supply terminal but also from the output terminal, the insulating amplifier 26 is inserted between the measurement amplifier 7 and the current amplifier 8 in order to cope with such a case. Together with the measurement bridge 29
Also, the power supply to the measurement amplifier 7 and the power supply to the current amplifier 8 are separated, and a two-output power supply 27 is used to reduce mutual influence.

【0019】2出力電源27の詳細回路図を、図4に示
す。すなわち、絶縁アンプ26を差動アンプ10と反転
アンプ11との間に設置して、計測側と出力側との絶縁
を図り、出力端子19側からのノイズ侵入を阻止する。
電源部は出力側がそれぞれ絶縁された2つの出力を持つ
2出力絶縁トランス28と、スイッチングトランジスタ
22,それぞれ独立した整流ダイオード24および電圧
制御回路25などから構成される。トランス28が2つ
の出力を持つ以外は図2と同様なので、詳細は省略す
る。
A detailed circuit diagram of the dual output power supply 27 is shown in FIG. That is, the isolation amplifier 26 is installed between the differential amplifier 10 and the inverting amplifier 11 to insulate the measurement side from the output side and prevent noise from entering from the output terminal 19 side.
The power supply unit is composed of a two-output isolation transformer 28 having two outputs each insulated on the output side, a switching transistor 22, a rectifying diode 24 and a voltage control circuit 25 which are independent of each other. The details are omitted because it is the same as FIG. 2 except that the transformer 28 has two outputs.

【0020】こうすることにより、計測部(ブリッジお
よび計測アンプ)はノイズから完全に遮断されることに
なる。ところが、電流増幅器側はこのようにしてもな
お、ノイズに曝されることになるが、増幅器の増幅度が
計測アンプに比してかなり小さいこと、出力がノイズの
影響を受け難い電流タイプであること、などからノイズ
による影響は余り考えなくても良いものである。
By doing so, the measuring section (bridge and measuring amplifier) is completely shielded from noise. However, although the current amplifier side is still exposed to noise even in this way, the amplification degree of the amplifier is considerably smaller than that of the measurement amplifier, and the output is a current type that is not easily affected by noise. Therefore, it is not necessary to consider the influence of noise.

【0021】[0021]

【発明の効果】この発明によれば、電源部を絶縁形とす
るようにしたので、ノイズによる影響を軽減することが
でき、計測精度を向上させることが可能となる利点がも
たらさる。したがって、この発明はGIS,G−GIS
またはガス絶縁キュービクルなど、ノイズ環境の極めて
悪い箇所で使用せざるを得ないガス圧力センサに対して
適用すれば、その効果はより大きくなる。
As described above, according to the present invention, the power source section is of the insulating type, so that the influence of noise can be reduced and the measurement accuracy can be improved. Therefore, this invention is GIS, G-GIS
Alternatively, if the present invention is applied to a gas pressure sensor such as a gas-insulated cubicle that must be used in a place where the noise environment is extremely bad, the effect will be greater.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明の実施例を示す概要図である。FIG. 1 is a schematic diagram showing an embodiment of the present invention.

【図2】図1の詳細図である。FIG. 2 is a detailed view of FIG.

【図3】この発明の他の実施例を示す概要図である。FIG. 3 is a schematic view showing another embodiment of the present invention.

【図4】図4の詳細図である。FIG. 4 is a detailed view of FIG.

【図5】圧力センサ装置の従来例を示す断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view showing a conventional example of a pressure sensor device.

【図6】圧力センサ回路の従来例を示す概要図である。FIG. 6 is a schematic diagram showing a conventional example of a pressure sensor circuit.

【図7】図6の詳細図である。FIG. 7 is a detailed view of FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…ダイヤフラム、2…ストレンゲージ、3…電子回
路、4…ケース、5…電線、6…ブッシュ、7…計測ア
ンプ、8…電流増幅器、9…定電圧電源、10…差動ア
ンプ、11…反転アンプ、12…出力トランジスタ、1
3…基準負荷、14…負荷(RL)、15…電源出力ト
ランジスタ、16…電圧制御トランジスタ、17…定電
圧ダイオード、18…電源端子、19…出力端子、20
…外部受信アンプ、21…絶縁電源、22…スイッチン
グトランジスタ、23…絶縁トランス、24…整流ダイ
オード、25…電圧制御回路、26…絶縁アンプ、27
…2出力絶縁電源、28…2出力絶縁トランス、29…
計測ブリッジ。
1 ... Diaphragm, 2 ... Strain gauge, 3 ... Electronic circuit, 4 ... Case, 5 ... Electric wire, 6 ... Bush, 7 ... Measurement amplifier, 8 ... Current amplifier, 9 ... Constant voltage power supply, 10 ... Differential amplifier, 11 ... Inversion amplifier, 12 ... Output transistor, 1
3 ... Reference load, 14 ... Load (RL), 15 ... Power supply output transistor, 16 ... Voltage control transistor, 17 ... Constant voltage diode, 18 ... Power supply terminal, 19 ... Output terminal, 20
External reception amplifier, 21 ... Insulated power supply, 22 ... Switching transistor, 23 ... Isolation transformer, 24 ... Rectifier diode, 25 ... Voltage control circuit, 26 ... Isolation amplifier, 27
… 2-output isolated power supply, 28… 2-output isolated transformer, 29…
Measurement bridge.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 圧力変化を検知する圧力センサ部と、そ
の出力を電圧増幅する第1の増幅回路と、その出力を電
流増幅する第2の増幅回路と、前記圧力センサ部および
第1,第2増幅回路に電力を供給する電源部とを有して
なる圧力センサ回路において、 前記電源部を絶縁形の電源部とすることを特徴とする圧
力センサ回路。
1. A pressure sensor unit for detecting a pressure change, a first amplifier circuit for amplifying the output of the pressure sensor, a second amplifier circuit for amplifying the output of the current with a current, the pressure sensor unit and the first and first pressure circuits. 2. A pressure sensor circuit having a power supply section for supplying electric power to an amplifier circuit, wherein the power supply section is an insulated power supply section.
【請求項2】 圧力変化を検知する圧力センサ部と、そ
の出力を電圧増幅する第1の増幅回路と、その出力を電
流増幅する第2の増幅回路と、前記圧力センサ部および
第1,第2増幅回路に電力を供給する電源部とを有して
なる圧力センサ回路において、 前記電源部を絶縁形にするとともに、2出力型として第
1増幅回路と第2増幅回路への電源供給を個別に行な
い、かつ第1増幅回路と第2増幅回路の間に絶縁アンプ
を挿入してなることを特徴とする圧力センサ回路。
2. A pressure sensor section for detecting a pressure change, a first amplification circuit for amplifying the output of the pressure sensor by a voltage, a second amplification circuit for amplifying the output of the current with a current, the pressure sensor section, and the first and the first circuits. A pressure sensor circuit having a power supply section for supplying power to two amplifier circuits, wherein the power supply section is an insulating type, and the first output circuit and the second supply circuit are individually supplied with power as two output types. The pressure sensor circuit according to claim 1, wherein an insulation amplifier is inserted between the first amplification circuit and the second amplification circuit.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN105527867A (en) * 2014-10-15 2016-04-27 横河电机株式会社 Field device

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