JPH07104514B2 - Ferroelectric liquid crystal panel - Google Patents

Ferroelectric liquid crystal panel

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JPH07104514B2
JPH07104514B2 JP61224425A JP22442586A JPH07104514B2 JP H07104514 B2 JPH07104514 B2 JP H07104514B2 JP 61224425 A JP61224425 A JP 61224425A JP 22442586 A JP22442586 A JP 22442586A JP H07104514 B2 JPH07104514 B2 JP H07104514B2
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Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は表示装置、光シャッター用パネルに係わり、特
に強誘電性液晶パネルい関するものである。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a display device and a panel for an optical shutter, and more particularly to a ferroelectric liquid crystal panel.

従来の技術 従来の技術を以下、図面を用いて説明する。Conventional Technology Conventional technology will be described below with reference to the drawings.

現在、液晶表示装置としてはTN(Twisted Nematic)型
表示方式が最も広く用いられている。しかし、他のディ
スプレイ(プラズマディスプレイ、エレクトロルミネッ
センスディスプレイ等)と比較すると応答速度の点で劣
っており、大巾な改善が現在まで見られていない。
Currently, a TN (Twisted Nematic) type display system is most widely used as a liquid crystal display device. However, compared to other displays (plasma display, electroluminescence display, etc.), it is inferior in response speed, and no significant improvement has been seen so far.

最近、強誘電性液晶を利用した表示方式が発表され、そ
の速い応答速度の他に高いマトリックス性を有する可能
性を持つことから非常に注目を集めている。参考文献:
エヌ.エー.クラーク,エス.ティー.ラガーバール;
エーピーピーエル.ピーエイチ.ワイエス.エルイーテ
ィーティー.,36,899(1980)およびティー.ハラダ,イ
ーティー エーテル,エスアイディ 85 ダイジェスト
16 131(1985)(N.A.Clerk,S.T.Lagerwall;Appl.Phys.
Lett.,36,899(1980)およびT.Harada,et al,SID 85 DI
GEST 16 131(1985)) まず、強誘電性液晶ついて図を用いて説明する。
Recently, a display method using a ferroelectric liquid crystal has been announced, and it has attracted much attention because it has a high matrix property in addition to its fast response speed. References:
N. A. Clark, S. tea. Lager Bar;
AP pl. P.H. Wyeth. LTT Tea., 36,899 (1980) and Tea. Harada, Ether, SID 85 digest
16 131 (1985) (NAClerk, STLagerwall; Appl.Phys.
Lett., 36,899 (1980) and T. Harada, et al, SID 85 DI.
GEST 16 131 (1985)) First, the ferroelectric liquid crystal will be described with reference to the drawings.

強誘電性液晶とは強誘電性を示す液晶のことを言う。結
晶の対称性の理論から強誘電性を示すためにはまず液晶
分子が不斉中心を有しておらなけばならず。また層構造
を有しかつ層内で分子が傾いている必要がある。このよ
うな対称性を満足する液晶相としてスメクチックCカイ
ラル相、スメクチックIカイラル相、スメクチックGカ
イラル相などが現在まで発見され強誘電性液晶相として
認められている。本明細書では強誘電性液晶相の中で最
も高い対称性を有するスメクチックCカイラル相を用い
てその性質を説明する。第2図は強誘電性液晶分子の模
式図である。強誘電性液晶は通常、スメクチック液晶と
呼ばれる層構造を有する液晶である。分子は層の垂線方
向に対してθだけ傾いている。
Ferroelectric liquid crystal refers to liquid crystal exhibiting ferroelectricity. In order to show ferroelectricity from the theory of crystal symmetry, the liquid crystal molecule must first have an asymmetric center. Further, it is necessary to have a layered structure and to tilt the molecules in the layer. As liquid crystal phases satisfying such symmetry, smectic C chiral phase, smectic I chiral phase, smectic G chiral phase and the like have been discovered up to now and recognized as ferroelectric liquid crystal phases. In this specification, the properties will be described by using the smectic C chiral phase having the highest symmetry among the ferroelectric liquid crystal phases. FIG. 2 is a schematic diagram of a ferroelectric liquid crystal molecule. Ferroelectric liquid crystals are usually liquid crystals having a layered structure called smectic liquid crystals. The molecules are tilted by θ with respect to the normal to the layer.

また強誘電性液晶は不斉中心をもつことからラセミ体で
ない光学活性な液晶分子によって構成されている。分子
の構成として第2図に示すように強誘電性液晶分子は分
子の長軸に垂直な方向に自発分極となる永久双極子モー
メントを有しており、カイラルスメクチックC相におい
ては第2図の円錐形(以下コーンと呼ぶ)の外側を自由
に動くことができる。またコーンの中心点Oより液晶分
子に対して下したベクトルはCダイレクターと呼ばれて
いる。
Ferroelectric liquid crystals have asymmetric centers and are therefore composed of optically active liquid crystal molecules that are not racemic. As shown in FIG. 2 as a molecular structure, the ferroelectric liquid crystal molecule has a permanent dipole moment that is a spontaneous polarization in the direction perpendicular to the long axis of the molecule. In the chiral smectic C phase, It is free to move outside the cone. The vector dropped from the center point O of the cone to the liquid crystal molecules is called the C director.

第2図において21は液晶分子、22は永久双極子、23はC
ダイレクター、24はコーン、25は層構造、26は層法線方
向、27は傾き角θを示している。
In FIG. 2, 21 is a liquid crystal molecule, 22 is a permanent dipole, and 23 is C.
A director, 24 is a cone, 25 is a layer structure, 26 is a layer normal direction, and 27 is a tilt angle θ.

強誘電性液晶分子は不斉原子を有しているため通常、ね
じれ構造を有している。このねじれ構造を第3図に示
す。第3図より層の法線方向にねじれ構造が存在するこ
とがある。
Ferroelectric liquid crystal molecules usually have a twisted structure because they have asymmetric atoms. This twisted structure is shown in FIG. As shown in FIG. 3, a twist structure may exist in the normal direction of the layer.

第3図において31は液晶分子、32は永久双極子モーメン
ト、33はねじれの周期を表すピッチ(L)、34は層構
造、35は層の法線方向、36は傾き角θを表す。
In FIG. 3, 31 is a liquid crystal molecule, 32 is a permanent dipole moment, 33 is a pitch (L) representing a twist period, 34 is a layer structure, 35 is a normal direction of the layer, and 36 is an inclination angle θ.

次に強誘電性液晶の動作原理について図を用いて説明す
る。強誘電性液晶パネルのセル厚(d)がピッチより厚
いとき(d>L)、セル基板表面の影響はセル中央部ま
で及ばないため、通常、ねじれ構造を持った状態で存在
する。しかしセル厚がピッチより小さいとき(d<L)
ねじれ構造は基板表面の力でほどかれ第4図aのような
分子が基板表面と平行になった二つの領域(ドメイン)
が現れる。この二つの領域は分子の持つ永久双極子モー
メントがそれぞれ反対の方向を向いているものであり、
一方は紙面裏から表方向へもう一方は紙面表から裏方向
へ向いている。これはそれぞれ層法線に対する分子の傾
き角に対応している。
Next, the operation principle of the ferroelectric liquid crystal will be described with reference to the drawings. When the cell thickness (d) of the ferroelectric liquid crystal panel is thicker than the pitch (d> L), the influence of the cell substrate surface does not extend to the center of the cell, so that the cell usually has a twisted structure. However, when the cell thickness is smaller than the pitch (d <L)
The twisted structure is unwound by the force of the substrate surface, and two regions (domains) in which molecules as shown in Fig. 4a are parallel to the substrate surface.
Appears. In these two regions, the permanent dipole moments of the molecule are pointing in opposite directions,
One is from the front side to the front side of the paper and the other is from the front side to the back side of the paper. This corresponds to the tilt angle of the molecule with respect to the layer normal.

このとき紙面裏方向から表方向に電界を印加すると永久
双極子モーメントは全て電界の方向に向き第4図bのよ
うに分子が全て+θの傾き角を持った状態となる。この
ような状態で偏光板の偏光子(P)の偏光軸方向を分子
の長軸方向に検光子(A)の偏光軸方向を分子の短軸方
向に平行にすると(第4図b参照)偏光子(P)を通過
した直線偏光は複屈折を受けずに透過し検光子(A)に
より遮られ暗状態が得られる。また電界を逆方向に印加
すると第4図cのように分子が全て−θの傾きを持つ状
態となり偏光子を通過した直線偏光は複屈折効果により
検光子を通り抜け明状態が得られる。
At this time, when an electric field is applied from the back side to the front side of the paper, all the permanent dipole moments are oriented in the direction of the electric field, and all the molecules have a tilt angle of + θ as shown in FIG. 4b. In such a state, when the polarization axis direction of the polarizer (P) of the polarizing plate is made parallel to the long axis direction of the molecule, the polarization axis direction of the analyzer (A) is made parallel to the short axis direction of the molecule (see FIG. 4b). The linearly polarized light that has passed through the polarizer (P) is transmitted without being subjected to birefringence and is blocked by the analyzer (A) to obtain a dark state. Further, when an electric field is applied in the opposite direction, all the molecules have a tilt of −θ as shown in FIG. 4c, and linearly polarized light that has passed through the polarizer passes through the analyzer due to the birefringence effect to obtain a bright state.

第4図abcにおいて41は電界の方向、42は分子の永久双
極子モーメント、43は層構造、44は傾き角θ、45は偏光
子(P)、検光子(A)の偏光軸をそれぞれ表してい
る。
In FIG. 4 abc, 41 is the direction of the electric field, 42 is the permanent dipole moment of the molecule, 43 is the layer structure, 44 is the tilt angle θ, 45 is the polarization axis of the polarizer (P) and the analyzer (A), respectively. ing.

以上のように電界の正負により明暗の状態をそれぞれ得
ることができる。
As described above, bright and dark states can be obtained depending on whether the electric field is positive or negative.

(文献:福田、竹添、近藤、:強誘電性液晶を使った高
速ディスプレイ、オプトロニクス、9合、64頁、1983
年) またこのようにセル厚がピッチより小さいセル(d>
L)においては通常ねじれ構造がほどけているため電界
を取り除いた後も分子はそのままの状態で安定であり、
いわゆるメモリー効果が生じるといわれている。
(Reference: Fukuda, Takezoe, Kondo ,: High-speed display using ferroelectric liquid crystal, Optronics, 9th page, 64 pages, 1983
In addition, cells with a cell thickness smaller than the pitch (d>
In L), the twisted structure is usually unraveled, so the molecule remains stable after removing the electric field.
It is said that a so-called memory effect occurs.

発明が解決しようとする問題点 前文に示したように強誘電性液晶パネルはその表示原理
からコーンの両端(+θ、−θ)にしか安定状態が存在
しないため二つの明るさ(明状態と暗状態)しかとれ
ず、中間調が出せないという問題点があった。
Problems to be Solved by the Invention As shown in the preceding sentence, the ferroelectric liquid crystal panel has two brightness (bright and dark) because stable states exist only at both ends (+ θ, −θ) of the cone due to its display principle. However, there was a problem that half tone could not be produced.

問題点を解決するための手段 上記問題点を解決するため、基板上にスペーサーを設け
た状態で斜め方向から蒸着する(斜方蒸着)ことで中間
調表示を可能にせしめるものである。
Means for Solving the Problems In order to solve the problems described above, halftone display is made possible by obliquely vapor deposition (oblique vapor deposition) with a spacer provided on the substrate.

作用 基板上にスペーサーを設けた状態で斜方蒸着を行うこと
で基板上に配向膜層としての蒸着膜が存在する部分と無
い部分を作成し、その各々の電気光学的な特性が異なる
ことを利用して中間調表示の可能な強誘電性液晶パネル
を鹿央にできる。このことを図面を用いて簡単に説明す
る。第1図はスペーサーを設けた基板上に斜め方向から
蒸着したときの模式図を描いたものである。ここで11は
蒸着方向、12はガラス基板、13はスペーサー、14は基板
垂線方向と蒸着方向の成す角、15はITO層、16は斜方蒸
着でスペーサーにより影となる部分を示している。スペ
ーサー13は斜方蒸着されるとき影16を作り、スペーサー
の高さ(h)と蒸着方向11の角度(90°−θ)により、
次式のように蒸着されない影の長さ(L)が決る。
Action Diagonal vapor deposition with spacers on the substrate creates a portion with and without a vapor deposition film as an alignment layer on the substrate, and confirms that the electro-optical characteristics of each are different. You can use it as a ferroelectric liquid crystal panel that can display halftones. This will be briefly described with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic diagram when vapor deposition is performed obliquely on a substrate provided with a spacer. Here, 11 is a vapor deposition direction, 12 is a glass substrate, 13 is a spacer, 14 is an angle formed by the substrate vertical direction and the vapor deposition direction, 15 is an ITO layer, and 16 is a portion which is shaded by the spacer by oblique vapor deposition. When the spacer 13 is obliquely vapor-deposited, a shadow 16 is formed, and due to the height of the spacer (h) and the angle of the vapor deposition direction 11 (90 ° -θ),
The length (L) of the shadow that is not vapor-deposited is determined by the following equation.

L=h×tan(90−θ) ……(1) このときθが85°のときLは約11hとなる。L = h × tan (90−θ) (1) At this time, when θ is 85 °, L becomes about 11h.

実施例 以下に本発明の強誘電性液晶パネルの一実施例について
図面を用いて説明する。本実施例では基板上にラインス
ペーサーを設け、ラインスペーサーに垂直に斜方蒸着を
行うことで蒸着膜の在る部分と無い部分を生じさせてい
る。
EXAMPLE An example of the ferroelectric liquid crystal panel of the present invention will be described below with reference to the drawings. In this embodiment, a line spacer is provided on the substrate, and oblique vapor deposition is performed perpendicularly to the line spacer to generate a portion where the vapor deposition film exists and a portion where the vapor deposition film does not exist.

ラインスペーサーは第5図に示したようにガラス基板51
の上に設けたITO(インジウム・スズ酸化物)の透明電
極52上に感光性ポリイミドを用いてフォトプロセスによ
り幅40μmでピッチ0.4mmの仕様でラインスペーサー53
を形成した。
The line spacer is a glass substrate 51 as shown in FIG.
A line spacer 53 with a width of 40 μm and a pitch of 0.4 mm is formed by a photo process using a photosensitive polyimide on a transparent electrode 52 of ITO (indium tin oxide) provided on the above.
Was formed.

次に斜方蒸着の方法について説明する。斜め蒸着法の実
際のやり方を第6図に示す。
Next, the method of oblique vapor deposition will be described. The actual method of the oblique deposition method is shown in FIG.

真空状態となる蒸着釜(ベルジャー)内に蒸着源があ
り、抵抗加熱、あるいは電子ビームを照射することによ
り加熱することができるようになっている。セル基板は
基板垂線方向から蒸着方向に対してθだけ傾けてセット
される。
There is a vapor deposition source in a vapor deposition vessel (bell jar) that is in a vacuum state, and heating can be performed by resistance heating or irradiation with an electron beam. The cell substrate is set at an angle of θ with respect to the vapor deposition direction from the substrate normal direction.

61はベルジャー、62はセル基板、63は蒸着源、64は傾き
角θ。
61 is a bell jar, 62 is a cell substrate, 63 is a vapor deposition source, and 64 is a tilt angle θ.

○斜め蒸着法の参考文献:ダブリュ.アルバック、エ
ム.ボイクス、イー.ギィヨン;蒸着膜上のネマチック
相とスメクチック相の配向、アプライッド フィジック
ス レター、25巻 9号(1)479頁 1974年 (W.Urbac
h,M.Boix,and E.Guyon;Alignment of nematics and sme
c−ticson evaporated films,Applied Physics Letter
s,Vol.25,No.9,1 P.479 November 1974) 上本勉、岩崎泰郎、吉野勝己、犬石嘉雄;スメクチッ
ク強誘電性液晶の電気光学的性質(2)、第4回 液晶
検討会 予稿集(1978年)講演番号3R13 実施例で行った斜方蒸着法の構成について詳しく述べ
る。第1図は本発明の主となる蒸着法の構成を表してい
る。矢印11は蒸着方向を表しており、TIO付きガラス基
板12の上にはラインスペーサー13が前述のように並んで
いる。このときラインスペーサーと蒸着方向は直角にな
るように配置した。
○ Bibliographic reference of oblique deposition method: W. ULVAC, M. Boyx, E. Guyon; Orientation of nematic and smectic phases on vapor-deposited film, Applied Physics Letters, Vol. 25, No. 9, (1) 479, 1974 (W. Urbac
h, M.Boix, and E.Guyon; Alignment of nematics and sme
c-ticson evaporated films, Applied Physics Letter
s, Vol.25, No.9,1 P.479 November 1974) Tsutomu Uemoto, Yasuo Iwasaki, Katsumi Yoshino, Yoshio Inuishi; Electro-optical properties of smectic ferroelectric liquid crystals (2), 4th liquid crystal study Proceedings of the Meeting (1978) Lecture No. 3R13 The composition of the orthorhombic vapor deposition method used in the examples is described in detail. FIG. 1 shows the structure of the vapor deposition method which is the main feature of the present invention. The arrow 11 indicates the vapor deposition direction, and the line spacers 13 are arranged on the glass substrate 12 with TIO as described above. At this time, the line spacer and the vapor deposition direction were arranged at right angles.

14は蒸着角度(θ)を表している。Reference numeral 14 represents the vapor deposition angle (θ).

蒸着材料は一酸化ケイ素(SiO)を用いた。Silicon monoxide (SiO) was used as the vapor deposition material.

蒸着角度は85度を用いた。The vapor deposition angle was 85 degrees.

蒸着速度は約20Å/sec、膜厚は基板垂直方向からの厚さ
で約300Åとした。
The deposition rate was about 20Å / sec, and the film thickness was about 300Å in the direction perpendicular to the substrate.

このように斜方蒸着を行ったITO基板を用いて強誘電性
液晶パネルを作成した。パネル構成を第 図に示す。第
7図において71は偏光板、72はガラス基板、73はTIO
層、74はSiO斜方蒸着層、75は強誘電性液晶層、76はセ
ル厚調整のためのラインスペーサー、77は蒸着方向の組
合せ方を示す。
A ferroelectric liquid crystal panel was prepared using the ITO substrate thus obliquely vapor-deposited. Figure 1 shows the panel structure. In FIG. 7, 71 is a polarizing plate, 72 is a glass substrate, and 73 is TIO.
A layer, 74 is an oblique SiO vapor deposition layer, 75 is a ferroelectric liquid crystal layer, 76 is a line spacer for adjusting the cell thickness, and 77 is a combination of vapor deposition directions.

上下基板の蒸着方向は上下で反平行となるようにした。The vapor deposition directions of the upper and lower substrates were set to be antiparallel to each other.

実験に用いた強誘電性液晶材料はエステル系の温度範囲
が0℃〜58℃まで強誘電性を示す液晶材料を用いて行っ
た。下に用いた強誘電性液晶の相転移温度を示す。
As the ferroelectric liquid crystal material used in the experiment, a liquid crystal material having a ferroelectric property in the temperature range of 0 ° C. to 58 ° C. was used. The phase transition temperature of the ferroelectric liquid crystal used below is shown.

ここで、Cr :結晶相 SmC* :スメクチックCカイラル相 SmA :スメクチックA相 Ch :コレステリック相 Iso :等方性液体 100℃までパネルを加熱し等方性液体とした後、ゆっく
りと除冷する(0.6℃/min)ことによりスメクチックC
カイラル相のモノドメインを得た。
Here, Cr: crystalline phase SmC *: smectic C chiral phase SmA: smectic A phase Ch: cholesteric phase Iso: isotropic liquid After heating the panel to 100 ° C to make it an isotropic liquid, slowly cool it ( 0.6 ° C / min) allows smectic C
We obtained a chiral phase monodomain.

次にこのパネルを用いて電圧−透過率曲線(以下、B−
V曲線とする)を測定した。
Next, using this panel, a voltage-transmittance curve (hereinafter, B-
V curve) was measured.

B−V曲線の測定に用いた光学実験系を第8図に示す。
第8図において光源81より発せられた白色光は偏光子82
を通り液晶セル83に直線偏光として入射した後、検光子
84を通って集光レンズ85によって集光され光電子倍増管
86で感知され、ストレージオシロ87によりB−V曲線と
して測定される。なお液晶セルにはプログラマブルパル
スジェネレーター88により任意の波形を加えることがで
きるようにした。
The optical experimental system used for the measurement of the BV curve is shown in FIG.
In FIG. 8, the white light emitted from the light source 81 is the polarizer 82.
After entering the liquid crystal cell 83 as linearly polarized light through the
A photomultiplier tube which is condensed by a condenser lens 85 through 84.
It is sensed at 86 and measured by the storage oscilloscope 87 as a BV curve. An arbitrary waveform can be added to the liquid crystal cell by the programmable pulse generator 88.

このような実験系において前述の構成を有する強誘電性
液晶パネルのB−V曲線を測定した。
In such an experimental system, the BV curve of the ferroelectric liquid crystal panel having the above configuration was measured.

しきい値特性のB−V曲線の測定に用いた電圧波形を第
9図に示す。第9図で一定のリセットパルス91が印加さ
れた後、しきい値特性を測定するための逆極性の可変パ
ルス92が印加される。この一連のパルスはある一定の時
間93(フレーム周波数)ごとに印加されている。まず上
下基板とも蒸着された部分だけを測定して得られたしき
い値特性のB−V曲線の一例を第10図に示す。第10図に
おいて横軸は時間(t)であり、縦軸は電圧(V)ある
いは輝度(B)である。上図は印加した電圧波形であ
り、下図は対応する輝度曲線である。しきい値を測定す
るための可変パルス101を除々に大きくしていくと第10
図ではリセットパルスにより暗状態となったものがだん
だん明状態になっていく。このとき可変パルスの電圧に
対して可変パルスが印加され最も光量が変化した点の輝
度をプロットしたものを第11図abに示す。第11abにおい
て横軸は電圧、縦軸は輝度を表している。また第11図ab
でリセットパルスの電圧は25V、可変パルスの電圧は0
から25Vとし、パルス幅は両方とも1msとした。第11図a
は可変パルスの極性が正で暗から暗状態に第11図bは可
変パルスの極性が負で明から明状態にそれぞれ変化して
いる同様にして片面だけ蒸着膜が存在している部分のし
きい値特性を測定した結果を第12図abにそれぞれ示す。
第11図ab、第12図abより両面蒸着された部分は片面蒸着
された部分よりもしきい値が高くなっていることがわか
る。
The voltage waveform used in the measurement of the BV curve of the threshold characteristic is shown in FIG. In FIG. 9, after a constant reset pulse 91 is applied, a reverse polarity variable pulse 92 for measuring the threshold characteristic is applied. This series of pulses is applied every certain time 93 (frame frequency). First, FIG. 10 shows an example of the BV curve of the threshold characteristic obtained by measuring only the vapor-deposited portions of both the upper and lower substrates. In FIG. 10, the horizontal axis represents time (t), and the vertical axis represents voltage (V) or brightness (B). The upper diagram is the applied voltage waveform and the lower diagram is the corresponding brightness curve. When the variable pulse 101 for measuring the threshold value is gradually increased, the 10th
In the figure, the dark state caused by the reset pulse gradually becomes bright. FIG. 11 ab shows a plot of the luminance at the point where the variable pulse was applied and the light amount changed most with respect to the variable pulse voltage. In the 11th ab, the horizontal axis represents voltage and the vertical axis represents luminance. Fig. 11 ab
The reset pulse voltage is 25V and the variable pulse voltage is 0V.
To 25 V, and the pulse widths were both 1 ms. Figure 11a
11b shows that the polarity of the variable pulse is positive and changes from dark to dark state. FIG. 11b shows that the polarity of the variable pulse is negative and changes from bright to bright state. The results of measuring the threshold value characteristics are shown in FIG. 12 ab.
It can be seen from FIGS. 11 ab and 12 ab that the threshold value is higher in the portion deposited on both sides than in the portion deposited on one side.

また両面蒸着と片面蒸着の部分の両方を同時に測定した
しきい値特性を第13図abに示す。第13図abは第11図ab、
第12図abを足し合せたようなしきい値特性であり、二段
の中間調の出やすいかたちとなっている。
Also, FIG. 13 ab shows the threshold characteristics of both double-sided vapor deposition and single-sided vapor deposition measured simultaneously. 13 ab is shown in FIG. 11 ab,
The threshold characteristic is similar to that of Fig. 12 ab, and it is easy to produce two-stage halftone.

発明の効果 本発明は基板上にスペーサーを設けた状態で斜方蒸着行
うことで基板上に配向膜層としての蒸着膜が存在する部
分と無い部分を作成したことでしきい値特性がなだら
か、あるいは段階上になり中間調表示の可能な強誘電性
液晶パネルを実現した。
EFFECTS OF THE INVENTION The present invention is that the threshold characteristics are gentle because the vapor deposition is performed obliquely in the state where the spacer is provided on the substrate to form a portion where the vapor deposition film as the orientation film layer exists and a portion where the vapor deposition film does not exist on the substrate. Alternatively, we have advanced to realize a ferroelectric liquid crystal panel capable of half-tone display.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は本発明の蒸着方法の構成を示す模式図、第2図
は強誘電性液晶の構造を表す模式図、第3図は強誘電性
液晶のねじれ構造を表す模式図、第4図(a)(b)
(c)は強誘電性液晶の薄いセル厚のパネルでねじれ構
造がほどけた状態を表す模式図と薄いセル厚の強誘電性
液晶パネルにおいての動作原理を表す模式図、第5図は
ガラス基板上に設けたITOの透明電極上に感光性ポリイ
ミドを用いてラインスペーサー形式を示す構成図、第6
図は蒸着装置および蒸着方法を示す模式図、第7図は本
発明で用いた強誘電性液晶パネルの模式図、第8図は従
来例および実施例のB−V曲線測定に用いた光学系の模
式図、第9図は強誘電性液晶パネルのしきい値特性を測
定するときの電圧波形のグラフ、第10図はしきい値特性
を測定する印加電圧に対するB−V曲線を表したグラ
フ、第11図(a)(b)は両面蒸着された部分のしきい
値特性を表すグラフ、第12図(a)(b)は片面蒸着さ
れた部分のしきい値特性を表すグラフ、第13図(a)
(b)は両面および片面蒸着された部分の両方を測定し
たときのしきい値特性を表すグラフである。 11……蒸着方向、12……ガラス基板、13……スペーサ
ー、15……ITO層。
FIG. 1 is a schematic diagram showing the constitution of the vapor deposition method of the present invention, FIG. 2 is a schematic diagram showing the structure of ferroelectric liquid crystal, FIG. 3 is a schematic diagram showing the twisted structure of ferroelectric liquid crystal, and FIG. (A) (b)
(C) is a schematic view showing a twisted structure in a thin cell thickness panel of a ferroelectric liquid crystal and a schematic view showing an operation principle in a ferroelectric liquid crystal panel of a thin cell thickness, and FIG. 5 is a glass substrate. Structure diagram showing line spacer type using photosensitive polyimide on ITO transparent electrode provided above, 6th
FIG. 7 is a schematic diagram showing a vapor deposition apparatus and a vapor deposition method, FIG. 7 is a schematic diagram of a ferroelectric liquid crystal panel used in the present invention, and FIG. 8 is an optical system used for BV curve measurement of conventional examples and examples. Fig. 9 is a graph of the voltage waveform when measuring the threshold characteristics of the ferroelectric liquid crystal panel, and Fig. 10 is a graph showing the BV curve against the applied voltage for measuring the threshold characteristics. FIGS. 11 (a) and (b) are graphs showing the threshold characteristics of the double-sided evaporated portion, and FIGS. 12 (a) and (b) are graphs showing the threshold characteristics of the single-sided evaporated portion. Figure 13 (a)
(B) is a graph showing the threshold characteristics when both the double-sided and single-sided evaporated portions are measured. 11 …… Vapor deposition direction, 12 …… Glass substrate, 13 …… Spacer, 15 …… ITO layer.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大西 博之 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 太田 勲夫 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (56)参考文献 特開 昭61−203427(JP,A) 特開 昭61−166590(JP,A) 特開 昭56−62228(JP,A) 特開 昭56−59220(JP,A) 特開 昭61−235814(JP,A) ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Hiroyuki Onishi, 1006 Kadoma, Kadoma City, Osaka Prefecture, Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. 56) References JP-A-61-203427 (JP, A) JP-A-61-166590 (JP, A) JP-A-56-62228 (JP, A) JP-A-56-59220 (JP, A) JP-A Sho 61-235814 (JP, A)

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】液晶層と前記液晶層を挟持するように配置
した少なくとも一枚は透明である複数の基板と前記液晶
層に電圧印加が行えるように前記基板に付設した電圧印
加手段とを具備しており、またセル厚を規定するスペー
サーを少なくとも一方の前記基板に付設してあるパネル
においてスペーサーが少なくともライン状の部分を有し
ており、前記ラインに垂直な方向から、無機物質を斜め
蒸着することにより、強誘電性液晶の配向制御を行うこ
とを特徴とする強誘電性液晶パネル。
1. A liquid crystal layer and a plurality of substrates, at least one of which is disposed so as to sandwich the liquid crystal layer, is transparent, and a voltage applying means attached to the substrate so that a voltage can be applied to the liquid crystal layer. In addition, in a panel in which a spacer that defines the cell thickness is attached to at least one of the substrates, the spacer has at least a line-shaped portion, and an inorganic substance is obliquely vapor-deposited from a direction perpendicular to the line. By doing so, a ferroelectric liquid crystal panel characterized by controlling the alignment of the ferroelectric liquid crystal.
【請求項2】複数の基板の少なくとも一方の基板におい
て、配向制御層が存在する領域と存在しない領域とが混
在していることを特徴とする特許請求の範囲第(1)項
記載の強誘電性液晶パネル。
2. The ferroelectric material according to claim 1, wherein a region where the orientation control layer exists and a region where the orientation control layer does not exist are mixed in at least one of the plurality of substrates. Liquid crystal panel.
【請求項3】無機物質が酸化ケイ素であることを特徴と
する特許請求の範囲第(1)項または第(2)項何れか
に記載の強誘電性液晶パネル。
3. The ferroelectric liquid crystal panel according to claim 1, characterized in that the inorganic substance is silicon oxide.
【請求項4】スペーサーが絶縁物質であり、印刷法を用
いて作成されたことを特徴とする特許請求の範囲第
(1)項〜第(3)項何れかに記載の強誘電性液晶パネ
ル。
4. A ferroelectric liquid crystal panel according to any one of claims (1) to (3), characterized in that the spacer is made of an insulating material and is made by a printing method. .
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