JPH0695020A - Optical scanning device - Google Patents

Optical scanning device

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JPH0695020A
JPH0695020A JP4272350A JP27235092A JPH0695020A JP H0695020 A JPH0695020 A JP H0695020A JP 4272350 A JP4272350 A JP 4272350A JP 27235092 A JP27235092 A JP 27235092A JP H0695020 A JPH0695020 A JP H0695020A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wavelength
light source
optical scanning
source means
scanning device
Prior art date
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Pending
Application number
JP4272350A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Sotomitsu Ikeda
外充 池田
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Publication date
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Publication of JPH0695020A publication Critical patent/JPH0695020A/en
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Abstract

PURPOSE:To obtain an optical scanning device having a light source by which printing speed is made higher and which emits the light of plural wavelengths for gradation display. CONSTITUTION:A luminous flux from a light source means (wavelength variable semiconductor laser) 21 is condensed on a body to be irradiated (photosensitive drum) 26 through lens systems 22, 24 and 25 so as to perform optical scanning. The light source means 21 can emit the luminous fluxes of plural wavelengths, and the lens system includes a wavelength dispersion element 24 or an element having axial chromatic aberration. The luminous fluxes emitted from the means 21 and including different wavelengths are condensed on the body to be irradiated 26 so that the direction of wavelength dispersion may be at a certain angle with an optical scanning direction or the area of the beam waste surface of the luminous flux on the body 26 is changed to perform area gradation display.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、レーザビームプリン
タ、レーザビーム複写装置等の像担持体上を露光走査し
て画像を形成する装置等に使用され、光束を用いて被照
射体を光走査する装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention is used in an apparatus for exposing and scanning an image bearing member such as a laser beam printer and a laser beam copying apparatus to form an image. Related to the device.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、変調されたレーザビームの光走査
によって高密度画素を形成し、電子写真プロセスによっ
て画像を記録、出力するレーザビームプリンタまたはレ
ーザビーム複写機において、像担持体に光走査する速度
を高速化するためには、光走査速度と像担持体回転速度
を増す第1の方法がある。また、他の方法として、複数
の半導体レーザ光源を用いる第2の方法、モノリシック
に形成されたアレー型レーザを用いる第3の方法などが
ある。
2. Description of the Related Art Conventionally, in a laser beam printer or a laser beam copying machine which forms a high density pixel by optical scanning of a modulated laser beam and records and outputs an image by an electrophotographic process, the image carrier is optically scanned. In order to increase the speed, there is a first method of increasing the optical scanning speed and the image carrier rotation speed. Other methods include a second method using a plurality of semiconductor laser light sources and a third method using a monolithically formed array type laser.

【0003】また、従来、変調されたレーザビームの光
走査によって高密度画素を形成し、電子写真プロセスに
よって画像を記録、出力するレーザビームプリンタまた
はレーザビーム複写機において、像担持体への光ビーム
の記録は、0と1の2値表示であり、そのため光束の走
査数を増やすことで、画像の濃淡の表現に対応してい
る。
Further, conventionally, in a laser beam printer or a laser beam copying machine which forms a high-density pixel by optical scanning of a modulated laser beam and records and outputs an image by an electrophotographic process, a light beam to an image carrier is formed. The recording of is a binary display of 0 and 1, and therefore, the number of scanning of the light flux is increased to correspond to the representation of the light and shade of the image.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとしている課題】しかし、上記第1
の従来例では、光走査速度を増すためにはポリゴンミラ
ーの回転速度を増加させる必要があり、また像担持体の
回転速度を増加させる必要があるため、光走査速度は機
械的な速度に依存している。一方、光源手段としての半
導体レーザ素子の特性は、日進月歩であり、変調速度は
1GHzを越え、しきい電流は減少しており、最大光出
力は増加している。
[Problems to be Solved by the Invention]
In the conventional example, the optical scanning speed depends on the mechanical speed because it is necessary to increase the rotation speed of the polygon mirror in order to increase the optical scanning speed, and it is also necessary to increase the rotation speed of the image carrier. is doing. On the other hand, the characteristics of the semiconductor laser device as the light source means are progressive, the modulation speed exceeds 1 GHz, the threshold current is decreasing, and the maximum optical output is increasing.

【0005】つまり、従来の手段でレーザビーム複写装
置等の速度を増大させるには、機械的な回転速度が重要
であり、それが限界を有する以上、光走査速度の増大は
頭打ちである。
That is, in order to increase the speed of the laser beam copying apparatus or the like by the conventional means, the mechanical rotation speed is important, and since it has a limit, the increase of the optical scanning speed is at a ceiling.

【0006】上記第2の従来例では、複数のレーザ光源
から出た光束を複雑なレンズ系を介して1つにし、かつ
正確に適当な間隔をもって像担持体上に光スポットを結
ぶ必要があるので、光学調整が非常に大変であるという
欠点がある。
In the second conventional example, it is necessary to combine the light fluxes emitted from a plurality of laser light sources through a complicated lens system and to accurately form light spots on the image carrier at appropriate intervals. Therefore, there is a drawback that the optical adjustment is very difficult.

【0007】また、上記第3の従来例では、第2の従来
例に比べてレンズ光学系の調整は容易であるが、やは
り、レーザ光の出射点が異なるために、像担持体上で複
数の光スポットを適切な場所に結ぶのは容易ではない。
Further, in the third conventional example, the adjustment of the lens optical system is easier than in the second conventional example, but since the emission points of the laser light are different, a plurality of images are formed on the image carrier. It is not easy to connect the light spots in the right place.

【0008】また、上記最後の従来例では、0と1の2
値表示しかできないという欠点があった。
In the last conventional example described above, 2 of 0 and 1 is used.
It had the drawback that it could only display values.

【0009】したがって、本発明の第1の目的は、上記
課題を解決すべく、同時に2つの光束を走査すること
で、レーザビーム複写装置等の印字速度を高速化するこ
とができる光走査装置を提供することにある。
Therefore, a first object of the present invention is to provide an optical scanning device capable of increasing the printing speed of a laser beam copying device or the like by scanning two light beams at the same time in order to solve the above problems. To provide.

【0010】また、本発明の第2の目的は、上記課題を
解決すべく、容易に高速に階調表示が可能な光走査装置
を提供することにある。
A second object of the present invention is to provide an optical scanning device capable of easily performing high-speed gradation display in order to solve the above problems.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明の第1の形態によ
れば、光源手段として多波長可変半導体レーザなどを用
い、複数波長の光束を波長分散素子を介することによ
り、複数の集光点として像担持体上に露光走査すること
が可能となり、1回の走査で複数列のデータ点を同時に
書き込むことができるため、印字速度を飛躍的に増大す
ることが可能となった。
According to the first aspect of the present invention, a multi-wavelength tunable semiconductor laser or the like is used as a light source means, and a plurality of light fluxes having a plurality of wavelengths are passed through a wavelength dispersion element to thereby obtain a plurality of converging points. As a result, it is possible to perform exposure scanning on the image carrier, and it is possible to simultaneously write a plurality of rows of data points by one scanning, so that it is possible to dramatically increase the printing speed.

【0012】この際、光源手段としての多波長半導体レ
ーザは、複数の波長それぞれに異なった信号をのせる必
要がある。すなわち、2波長出射可能な半導体レーザの
場合、2波長からなる光束をプリズム等の波長分散素子
を介することによって、2つの集光点として感光体ドラ
ム等の像担持体上に集光することができ、1回の走査に
よって2列のデータ点を書き込むことができるようにな
る。
In this case, the multi-wavelength semiconductor laser as the light source means needs to carry different signals for each of the plurality of wavelengths. That is, in the case of a semiconductor laser capable of emitting two wavelengths, a light beam having two wavelengths can be condensed on an image carrier such as a photoconductor drum as two converging points by passing through a wavelength dispersion element such as a prism. Yes, two scans of data points can be written in one scan.

【0013】本発明の第2の形態によれば、光源手段と
して波長可変半導体レーザなどを用い、光束を軸上色収
差を有するレンズ系を介することにより、上記波長可変
半導体レーザ光源の波長を変化させることで、像担持体
上の照射スポットの大きさを変化させることが可能とな
り、階調表現が可能となった。
According to the second aspect of the present invention, a wavelength tunable semiconductor laser or the like is used as the light source means, and the wavelength of the wavelength tunable semiconductor laser light source is changed by passing the light beam through a lens system having axial chromatic aberration. As a result, it is possible to change the size of the irradiation spot on the image carrier, and it is possible to express gradation.

【0014】例えば、光源手段としての波長可変半導体
レーザがλ1,λ2(λ1>λ2)に発振波長を変化させら
れるとするならば、軸上色収差を有するレンズ系を通っ
た光束において、λ1の波長でビームウエストが像担持
体上に照射スポットを結ぶように光学系を調整しておく
とき、λ2の波長のビームウエストは像担持体の前側ま
たは後側に形成され、λ2の像担持体上の照射スポット
は大きくなる。したがって、λ1の波長とλ2の波長をき
りかえることで、照射スポットの面積をきりかえること
ができるので、階調表示が可能となる。
For example, if the wavelength tunable semiconductor laser as the light source means can change the oscillation wavelength to λ 1 and λ 21 > λ 2 ), in the light flux passing through the lens system having axial chromatic aberration, , When the optical system is adjusted so that the beam waist at the wavelength of λ 1 connects the irradiation spot on the image carrier, the beam waist at the wavelength of λ 2 is formed on the front side or the rear side of the image carrier, The irradiation spot on the image carrier of No. 2 becomes large. Therefore, by changing the wavelength of λ 1 and the wavelength of λ 2 , the area of the irradiation spot can be changed, so that gradation display is possible.

【0015】[0015]

【実施例】図1は、本発明の第1の実施例を示す。な
お、説明をわかりやすくするために、以下では、波長は
2種類とする。光源は、2波長半導体LD21を用いて
おり、LD21からの2波長光束は、コリメートレンズ
22を通ってコリメートされ、回転するポリゴンミラー
23で反射して、2波長光は水平方向に走査される。走
査光はプリズム24を通過して垂直方向(走査光の形成
する走査面に垂直な方向)に波長に関して分解され、f
θレンズ25を介して感光ドラム26上に、波長毎に異
なる2点に集光することになる。
FIG. 1 shows a first embodiment of the present invention. In addition, in order to make the explanation easy to understand, in the following, there are two types of wavelengths. A two-wavelength semiconductor LD 21 is used as a light source, and a two-wavelength light beam from the LD 21 is collimated through a collimator lens 22 and reflected by a rotating polygon mirror 23 to scan the two-wavelength light in a horizontal direction. The scanning light passes through the prism 24 and is decomposed with respect to wavelength in the vertical direction (direction perpendicular to the scanning surface formed by the scanning light).
The light is focused on the photosensitive drum 26 via the θ lens 25 at two different points for each wavelength.

【0016】図2は、分散素子24による波長の分解を
模式的に示している。ポリゴンミラー23により走査さ
れている2波長光束は、プリズム24を通過すると走査
方向に垂直な方向に2つに分かれ、2つの光束として感
光ドラム26上を図2の紙面に垂直方向に走査すること
になる。よって、1回の走査により2列の光束を走査す
ることになり、装置としての印字速度を高速化できる。
FIG. 2 schematically shows wavelength decomposition by the dispersive element 24. When the two-wavelength light beam scanned by the polygon mirror 23 passes through the prism 24, it is divided into two light beams in a direction perpendicular to the scanning direction, and the two light beams are scanned on the photosensitive drum 26 in a direction perpendicular to the paper surface of FIG. become. Therefore, two rows of light beams are scanned by one scan, and the printing speed of the apparatus can be increased.

【0017】ここで、本実施例に用いている2波長半導
体レーザ21について説明する。先ず、半導体レーザの
活性層付近の模式的なエネルギーバンド図である図3
(a)を用いて一例を説明する。同図において、10a
はP−AlXsGa1-XsAs光、電子の閉じ込め層(Se
parate Confinement、略してSC層
と呼ぶ)、10bはn−AlXs′Ga1-Xs′AsSC
層、11aがAlXaGa1-XaAs発光層、11bがAl
XbGa1-XbAs発光層、12がP+−AlXBGa1-XB
s障壁層である。これらの層で光導波路構造部4を構成
している。
The two-wavelength semiconductor laser 21 used in this embodiment will be described here. First, FIG. 3 is a schematic energy band diagram near the active layer of the semiconductor laser.
An example will be described using (a). In the figure, 10a
Is a P-Al Xs Ga 1-Xs As light, electron confinement layer (Se
parate Confinement, short referred to as SC layer), 10b are n-Al Xs 'Ga 1- Xs' AsSC
Layer, 11a is Al Xa Ga 1-Xa As light emitting layer, 11b is Al
Xb Ga 1-Xb As light emitting layer, 12 is P + -Al XB Ga 1-XB A
s barrier layer. These layers form the optical waveguide structure 4.

【0018】この例では、n型クラッド層3側に短波長
(λ2)の発光層11bを設けp型クラッド層5側に長
波長(λ1)の発光層11aを設けてあるので、クラッ
ド層5側から注入された正孔が短波長(λ2)の発光層
11bに達するのが、(逆向きに移動する場合に比べ
て)困難である。そこで、障壁層12を高濃度のp型に
ドープして、予め正孔を補給してある。
In this example, the short wavelength (λ 2 ) light emitting layer 11b is provided on the n-type cladding layer 3 side and the long wavelength (λ 1 ) light emitting layer 11a is provided on the p-type cladding layer 5 side. It is difficult for holes injected from the layer 5 side to reach the light emitting layer 11b having a short wavelength (λ 2 ) (as compared with the case of moving in the opposite direction). Therefore, the barrier layer 12 is doped with a high concentration of p-type to supply holes in advance.

【0019】この様に正孔を予め十分補給してあると、
電流を流さない時は、適当に両発光層11a、11bに
正孔が分布する。このような場合には、レーザ発振を論
ずるのに、主として電子の分布のみを考えれば良い。以
下の動作説明はこの場合について行なうが、他の場合
(本実施例のpとnとを入れ換えた場合等)も容易に類
推できよう。このpとnを入れ換えた例は後述する。
As described above, if holes are sufficiently supplied in advance,
When no current is applied, holes are appropriately distributed in both light emitting layers 11a and 11b. In such a case, in order to discuss the laser oscillation, it suffices to consider only the electron distribution. The following description of the operation will be given for this case, but it can be easily inferred in other cases (such as when p and n in this embodiment are exchanged). An example in which p and n are interchanged will be described later.

【0020】次に、本例の特徴であるSC層について説
明する。SC層10a、10bは、本来、注入電子と注
入ホールの活性層11a、11bへの捕獲を有効に行な
い、キャリアの再結合効率を高めるのに役立つ。本例で
は、活性層11a、11bである複数の量子井戸層を上
下から挾むSC層10a、10bを上下で非対称に設定
することにより、複数の量子井戸層11a、11bのう
ちバンドギャップの小さい方のSC層10bに近い量子
井戸層11bへの注入キャリア密度を高めることが出来
る。その結果として、バンドギャップの小さい方のSC
層10b側の量子井戸層11bの利得を増大させること
ができる。
Next, the SC layer, which is a feature of this example, will be described. Originally, the SC layers 10a and 10b effectively capture the injected electrons and injected holes in the active layers 11a and 11b, and serve to enhance the recombination efficiency of carriers. In this example, the SC layers 10a and 10b that sandwich the plurality of quantum well layers that are the active layers 11a and 11b from above and below are set asymmetrically in the vertical direction, so that the band gap of the plurality of quantum well layers 11a and 11b is small. It is possible to increase the carrier density injected into the quantum well layer 11b closer to the SC layer 10b. As a result, the SC with the smaller bandgap
The gain of the quantum well layer 11b on the layer 10b side can be increased.

【0021】図3(a)において、発光層11bは発光
層11aよりもエネルギギャップが大きいので、従来の
半導体レーザの活性層構造では注入キャリアは発光層1
1a、11bで熱平衡状態に広がって分布する為に、エ
ネルギギャップの小さい方の発光層11aの利得は大き
くなり過ぎ、他方の発光層11bの利得は中々大きくな
らないと言う状態が生じる。
In FIG. 3A, since the light emitting layer 11b has a larger energy gap than the light emitting layer 11a, the injected carriers are the light emitting layer 1 in the active layer structure of the conventional semiconductor laser.
Since the light-emitting layers 11a and 11b spread and are distributed in a thermal equilibrium state, the gain of the light-emitting layer 11a having a smaller energy gap becomes too large, and the gain of the other light-emitting layer 11b does not become too large.

【0022】よって、本例では、前述した様に障壁層1
2とSC層との一部がP型にドーピングされており、発
光層内には十分なホールが存在する様になっている。注
入電子はn−クラッド3から注入される為、バンドギャ
ップの小さい方のSC層10bを通って発光層11bへ
落ち込んでいく。この際、障壁層12のバンドギャップ
が大きいので電子の多くは障壁層12を飛び越せないの
で、尚更、発光層11bの電子濃度を増加させる。
Therefore, in this example, as described above, the barrier layer 1
2 and a part of the SC layer are P-type doped so that sufficient holes are present in the light emitting layer. Since the injected electrons are injected from the n-clad 3, the injected electrons pass through the SC layer 10b having the smaller band gap and drop into the light emitting layer 11b. At this time, since the bandgap of the barrier layer 12 is large, most of the electrons cannot jump over the barrier layer 12, further increasing the electron concentration of the light emitting layer 11b.

【0023】この際、バンドギャップの小さい発光層1
1aの厚さはキャリアの散乱長以下(例えば、LO(縦
光学的)フォノン散乱では37meVエネルギが下がる
ので散乱長は100Å程度以下)に設定してあるので、
注入キャリアは発光層11aへは少量しか捕獲されず、
多量のキャリアは発光層11bへ捕獲される。
At this time, the light emitting layer 1 having a small band gap
The thickness of 1a is set to be equal to or less than the carrier scattering length (for example, in LO (longitudinal optical) phonon scattering, since the 37 meV energy decreases, the scattering length is about 100 Å or less).
Only a small amount of injected carriers are captured by the light emitting layer 11a,
A large amount of carriers are captured by the light emitting layer 11b.

【0024】更に、障壁層12の厚さとポテンシャルの
高さ(深さ)は十分な大きさに設定して、レーザ発振の
しきい値に近い電流を流した時に、各々の発光層ないし
井戸層11a、11bのキャリア分布が図3(a)に示
す様になっている(すなわち、バンドギャップの大きい
方の発光層11bのキャリア濃度が大きくなってい
る)。
Further, the thickness of the barrier layer 12 and the height (depth) of the potential are set to be sufficiently large, and when a current close to the threshold value of laser oscillation is passed, each light emitting layer or well layer The carrier distributions of 11a and 11b are as shown in FIG. 3A (that is, the carrier concentration of the light emitting layer 11b having the larger band gap is larger).

【0025】障壁層12が薄すぎるか低過ぎる場合に
は、障壁層12がない時と同様の均一なキァリア分布に
なるが、図3(a)の例では、その場合よりも、短波長
(λ2 )の井戸層11bの方に電子が大きい割合で分
配される様に障壁層12が設定されている。ただし、障
壁層12を厚く及び/又は高くし過ぎると長波長(λ1
)の井戸層11aの方に電子が来なくなってしまうの
で、障壁層12の設定には最適化が必要である。
When the barrier layer 12 is too thin or too low, the uniform carrier distribution is the same as when the barrier layer 12 is not provided, but in the example of FIG. 3 (a), a shorter wavelength ( The barrier layer 12 is set so that electrons are distributed to the well layer 11b of λ 2) at a higher rate. However, if the barrier layer 12 is made too thick and / or too high, long wavelength (λ1
Since electrons do not come to the well layer 11a), it is necessary to optimize the setting of the barrier layer 12.

【0026】図3(b)、(c)には、しきい電流値直
前での井戸層11a、11bにおける利得スペクトルが
夫々示され、図3(d)はこれらのスペクトルを光閉じ
込め係数を考慮して足し合わせた利得スペクトルを示
す。
FIGS. 3B and 3C respectively show the gain spectra in the well layers 11a and 11b immediately before the threshold current value. FIG. 3D shows these spectra in consideration of the optical confinement coefficient. The added gain spectrum is shown.

【0027】図3(d)より分かる様に、各波長λ
1 、λ2の利得は各々の井戸層11a、11bでの利得
に依存する為、効率的にλ1とλ2での利得を増大させる
ことが出来る。
As can be seen from FIG. 3D, each wavelength λ
Since the gains of 1 and λ 2 depend on the gains of the well layers 11a and 11b, the gains of λ 1 and λ 2 can be efficiently increased.

【0028】尚、図3の例では、SC層10a、10b
はGRIN(Graded Index)組成を用いて
いるが、エネルギギャップすなわち屈折率が階段状に変
化するステップインデックス(Step Index)
タイプでも、直線的に変化する組成であっても良い。要
は、複数の発光層を挾んで上下で異なるバンドギャップ
のSC層を設定すれば良い。
In the example of FIG. 3, the SC layers 10a and 10b are
Uses a GRIN (Graded Index) composition, but an energy gap, that is, a step index in which the refractive index changes stepwise (Step Index)
It may be of a type or a composition that changes linearly. In short, it suffices to sandwich a plurality of light emitting layers and set up SC layers with different band gaps above and below.

【0029】また、図3の例では、障壁層12のバンド
ギャップは、SC層10aの発光層11aに近接する組
成のバンドギャップと等しくなっているが、障壁層12
のバンドギャップは、SC層10bの発光層11bに近
接する組成のバンドギャップより大きくそしてクラッド
層3、5のそれよりも小さく設定されていれば良い。
In the example of FIG. 3, the bandgap of the barrier layer 12 is equal to the bandgap of the composition of the SC layer 10a adjacent to the light emitting layer 11a.
It suffices that the band gap is set to be larger than the band gap of the composition of the SC layer 10b adjacent to the light emitting layer 11b and smaller than that of the cladding layers 3 and 5.

【0030】図4は、本発明の半導体レーザ素子21の
更に具体的な一実施例の構成を示し、図4(a)が側断
面図、図4(b)が正面断面図である。このような素子
は分子線エピタキシ(MBE)法、有機金属気相成長
(MOCVD)法等を用いて作成することが出来るが、
その過程は通常の半導体レーザの作成と同様であるので
詳しい説明は省略する。
FIG. 4 shows the structure of a more specific embodiment of the semiconductor laser device 21 of the present invention. FIG. 4 (a) is a side sectional view and FIG. 4 (b) is a front sectional view. Such an element can be produced by using a molecular beam epitaxy (MBE) method, a metal organic chemical vapor deposition (MOCVD) method, etc.
Since the process is the same as that for producing a normal semiconductor laser, detailed description thereof will be omitted.

【0031】図中、1はn+−GaAs基板、2はn+
GaAsバッファ層、3はn−AlXcGa1-XcAsクラ
ッド層、4は上述した構成の光導波路構造部、5はp−
AlXcGa1-XcAsクラッド層、6はp+−GaAsキ
ャップ層、7はAu/Cr電極、8はAu−Ge/Au
電極である。
In the figure, 1 is an n + -GaAs substrate, and 2 is an n + -.
A GaAs buffer layer, 3 is an n-Al Xc Ga 1-Xc As clad layer, 4 is an optical waveguide structure having the above-mentioned configuration, and 5 is p-
Al Xc Ga 1-Xc As clad layer, 6 p + -GaAs cap layer, 7 Au / Cr electrode, 8 Au-Ge / Au
It is an electrode.

【0032】図4(b)に示すように、横方向に関して
電流と光とをストライプ状の領域に狭窄する為に、リッ
ジ型の導波路が、反応性イオンビームでエッチングする
等の方法で形成され、Si34膜9をプラズマCVD法
で成膜した後、リッジ上部のみをエッチングして取り除
き、電極7を蒸着してある。
As shown in FIG. 4B, a ridge-type waveguide is formed by a method such as etching with a reactive ion beam in order to confine the current and light in the stripe region in the lateral direction. After forming the Si 3 N 4 film 9 by the plasma CVD method, only the upper portion of the ridge is removed by etching, and the electrode 7 is vapor-deposited.

【0033】波長を調整する為の手段として、この例で
は図4(a)に示すように、電極7を2分割し、夫々に
独立に電流が流れるようにしてある。この2つの電極7
に異なる電流密度J1、J2で電流を注入し、その比と大
きさを変化させることにより、レーザ全体の実効的な利
得の波長分散を僅かに変化させて発振波長を変化させて
いる。
As a means for adjusting the wavelength, in this example, as shown in FIG. 4 (a), the electrode 7 is divided into two parts, and currents flow independently of each other. These two electrodes 7
By injecting currents with different current densities J 1 and J 2 and changing their ratio and magnitude, the wavelength dispersion of the effective gain of the entire laser is slightly changed to change the oscillation wavelength.

【0034】発振波長を変化させるやり方としては、電
極を分割しないで(すなわち、単一の電極で)電流の大
きさで波長を制御するやり方もある。この場合、電流を
増すにしたがって、先ず長波長λ1の光が発振し、次に
短波長λ2の光も発振することが確かめられた。更に電
流を増すと、やがて、(i)長波長λ1の光が発振を停
止する場合と、(ii)発振し続ける場合とがある
(i)の動作を得るには、発光層11aにおける注入電
子濃度n1、注入ホール濃度p1のときの波長λ2におけ
る利得g1が g1(λ2,n1,p1)>0 になる様に(図3(b)参照)、発光層11a、11b
と障壁層12を設定すればよい。この場合は、図3
(b)に示す様なλ2における利得(>O)が発振に寄
与して、λ1における利得が喰われて長波長λ1の光が発
振を停止するのである。(ii)は、上記利得g1が g1(λ2,n1,p1)≦O になる様に発光層11a、11bと障壁層12を設定す
ればよい。
As a method of changing the oscillation wavelength, there is also a method of controlling the wavelength by the magnitude of the current without dividing the electrode (that is, with a single electrode). In this case, it was confirmed that light with a long wavelength λ 1 oscillates first and then light with a short wavelength λ 2 also oscillates as the current increases. When the current is further increased, there are cases where (i) the light of long wavelength λ 1 stops oscillating, and (ii) the oscillation continues, in order to obtain the operation of (i), the injection in the light emitting layer 11a is performed. The gain g 1 at the wavelength λ 2 when the electron concentration is n 1 and the injection hole concentration is p 1 is g 12 , n 1 , p 1 )> 0 (see FIG. 3 (b)). 11a, 11b
And the barrier layer 12 may be set. In this case,
The gain (> O) at λ 2 as shown in (b) contributes to the oscillation, the gain at λ 1 is consumed, and the light of long wavelength λ 1 stops oscillating. In (ii), the light emitting layers 11a and 11b and the barrier layer 12 may be set such that the gain g 1 is g 12 , n 1 , p 1 ) ≦ O 2 .

【0035】特に、(i)の場合、波長のスイッチング
が完全に出来るので応用が広い。
Particularly, in the case of (i), the wavelength can be completely switched, so that the application is wide.

【0036】ところで、室温でのGaAsのホールの移
動度が400cm2/V・sであり、電子の移動度88
00cm2/V・sに比べて小さいことを考慮すると、
ホールの方の不均一注入がし易いと言えるので、図3
(a)のpとnを入れ換えて図5の様にした例が好適で
ある。
By the way, the mobility of GaAs holes at room temperature is 400 cm 2 / V · s, and the mobility of electrons is 88.
Considering that it is smaller than 00 cm 2 / V · s,
Since it can be said that non-uniform injection into the holes is easier,
An example in which p and n in (a) are exchanged as shown in FIG. 5 is preferable.

【0037】動作等については、ホールと電子の役目が
入れ換わっているのみで図3の場合と実質的に同じであ
る。
The operation and the like are substantially the same as in the case of FIG. 3 except that the roles of holes and electrons are exchanged.

【0038】すなわち、この変形例では、発光層11
a、11bに電子を充満させておき、ホールを制御する
構造となっている。この場合、障壁層12またはSC層
10aの少なくとも一部はn型にドーピングしておき、
バンドギャップの小さい方のSC層10bをp−クラッ
ド層3側に配置し、更に複数の発光層11a、11bの
うち、バンドギャップの大きい方の発光層11bをp−
クラッド層3に近い方に配置させれば良い。
That is, in this modification, the light emitting layer 11
The holes a are controlled by filling a and 11b with electrons. In this case, at least a part of the barrier layer 12 or the SC layer 10a is n-type doped,
The SC layer 10b having the smaller band gap is arranged on the p-cladding layer 3 side, and the light emitting layer 11b having the larger band gap is p-typed among the plurality of light emitting layers 11a and 11b.
It may be arranged closer to the clad layer 3.

【0039】以上の半導体LDの例では、説明の都合
上、半導体として、AlXGa1-XAsを用いた場合につ
いて説明したが、ヘテロ構造を作れる半導体材料なら、
何でも良いことは明らかであろう。また。光と電流を狭
窄する構造としては、リッジ型導波路を用いた場合につ
いて説明したが、これもまた、通常の半導体レーザに使
われているどの方法でも良い。これらのやり方や作製法
は、例えば、Applied Physics Let
ters及びIEEE Journal ofQuan
tumElectronicsの最近15年分程を参照
すれば容易に分かるので、説明は省略する。
In the above example of the semiconductor LD, the case where Al X Ga 1 -X As is used as the semiconductor has been described for the sake of convenience of description, but if it is a semiconductor material capable of forming a heterostructure,
Obviously anything is fine. Also. As the structure for confining the light and the current, the case of using the ridge type waveguide has been described, but this may be any method used for a normal semiconductor laser. These methods and manufacturing methods are described in, for example, Applied Physics Let.
ters and IEEE Journal of Quan
The description will be omitted because it can be easily understood by referring to the recent 15 years of tumElectronics.

【0040】また、発光層の数や種類は上記の様に2つ
に限る訳でもなく、3つ以上でも良いことは明らかであ
ろう。
It will be apparent that the number and type of light emitting layers are not limited to two as described above, and may be three or more.

【0041】次に、本実施例に用いる半導体レーザ光源
21の駆動方法について説明する。図6に本半導体レー
ザの電流−光出力特性を示す。注入電流の増加につれ
て、しきい電流密度Jth(λ1)を越えるとλ1の波長の
光が発振し、λ1が光出力を増加させるが、注入電流密
度がJth(λ2)を越えるとλ2の波長の光が発振を開始
し、λ2の光出力の増加につれてλ1の光出力は減少し、
電流密度がJth´(λ1)に達するとλ1の光出力はゼロ
になり、λ2のみの発振となる。すなわち、光出力は、
注入電流の増加につれて、λ1の波長からλ2の波長へス
イッチングすることがわかる。
Next, a method of driving the semiconductor laser light source 21 used in this embodiment will be described. FIG. 6 shows the current-light output characteristics of this semiconductor laser. With increasing injection current, the threshold current density J th (lambda 1) oscillates over the lambda 1 wavelengths of light is a, lambda 1 but increases the light output, the injected current density J th of the (lambda 2) When it exceeds, the light of wavelength λ 2 starts to oscillate, and the optical output of λ 1 decreases as the optical output of λ 2 increases,
When the current density reaches J th ′ (λ 1 ), the optical output of λ 1 becomes zero, and only λ 2 oscillates. That is, the optical output is
It can be seen that the wavelength of λ 1 is switched to the wavelength of λ 2 as the injection current increases.

【0042】そこで、設定電流を、図6に示したよう
に、I0,I1,I2,I3の4値で変化させる。電流がI
0の場合、λ1,λ2ともに光出力は0である。電流がI1
の場合、λ1の光出力はP1,λ2の光出力は0である。
電流がI2の場合、λ1の光出力はP1,λ2の光出力もP
1である。電流がI3の場合、λ1の光出力は0,λ2の
光出力はP2である。
Therefore, the set current is changed by four values of I 0 , I 1 , I 2 , and I 3 , as shown in FIG. Current is I
In the case of 0, the optical output is 0 for both λ 1 and λ 2 . Current is I 1
In this case, the light output of λ 1 is P 1 and the light output of λ 2 is 0.
When the current is I 2 , the optical output of λ 1 is P 1 and the optical output of λ 2 is P
Is 1 . When the current is I 3 , the light output of λ 1 is 0 and the light output of λ 2 is P 2 .

【0043】したがって、注入電流の設定だけで、λ1
とλ2の2波長について、それぞれON,OFF状態を
独立的に作り出すことができる。
Therefore, only by setting the injection current, λ 1
It is possible to independently generate ON and OFF states for two wavelengths of λ 2 and λ 2 .

【0044】そこで本実施例の光源として上記2波長レ
ーザ装置21を用い、波長分散素子24を介することに
よって、2波長光λ1,λ2は被照射体26上で異なる2
列に集光することになり、2波長レーザ21を上記のご
とく4値で変調することにより、λ1とλ2の独立データ
を2列で1回の光束走査により書くことが可能となっ
た。
Therefore, the two-wavelength laser device 21 is used as the light source of this embodiment, and the two-wavelength lights λ 1 and λ 2 are different on the irradiation object 26 by way of the wavelength dispersion element 24.
The light is focused in columns, and by modulating the two-wavelength laser 21 with four values as described above, independent data of λ 1 and λ 2 can be written in two columns by one light beam scanning. .

【0045】第1の実施例の変形例として、プリズム等
の分散素子の光路中の位置については、ポリゴンミラー
23の前でも後でもよく、また、被照射体26直前でも
よい。なお、その際には、光学系は、被照射体26上に
多波長のレーザ光のビームウエストが来るように設定す
る必要がある。
As a modification of the first embodiment, the position of the dispersive element such as a prism in the optical path may be before or after the polygon mirror 23, or just before the irradiated object 26. In this case, the optical system needs to be set so that the beam waist of the multi-wavelength laser light comes on the irradiation target 26.

【0046】図7は、本発明の第2の実施例を示す。こ
こでも、説明をわかりやすくするために、波長は2種類
とする。
FIG. 7 shows a second embodiment of the present invention. Again, there are two types of wavelengths for the sake of clarity.

【0047】光源は、2波長半導体LD121を用いて
おり、LD121からの2波長光光束は、コリメートレ
ンズ122を通ってコリメートされ、回転するポリゴン
ミラー123で反射して、2波長光は水平方向に走査さ
れる。走査光は、適当な軸上色収差をもつレンズ系12
4を通って、fθレンズ125を介して感光ドラム12
6上に波長毎に異なる照射スポット面積に集光すること
になる。
A two-wavelength semiconductor LD 121 is used as a light source, and a two-wavelength light beam from the LD121 is collimated through a collimating lens 122 and reflected by a rotating polygon mirror 123, so that the two-wavelength light is horizontally directed. To be scanned. The scanning light is a lens system 12 having an appropriate axial chromatic aberration.
4 through the fθ lens 125 to the photosensitive drum 12
The light is focused on the irradiation spot area 6 different for each wavelength.

【0048】図8は、軸上色収差をもつレンズ系124
を光束が通過することによる、波長を変化させた場合の
感光ドラム126上の照射スポット径の変化を説明する
ための図である。説明をわかりやすくするために、ポリ
ゴンミラー123、fθレンズ125は表示を省いた。
FIG. 8 shows a lens system 124 having axial chromatic aberration.
FIG. 6 is a diagram for explaining a change in the irradiation spot diameter on the photosensitive drum 126 when the wavelength is changed due to the passage of a light beam through the beam. To simplify the explanation, the polygon mirror 123 and the fθ lens 125 are not shown.

【0049】波長可変半導体レーザ121から出射され
た光束はコリメートレンズ122により平行光となり、
軸上色収差をもつ光学レンズ系124に入射し、λ1
波長の光は被照射体面126上で光束のビームウエスト
位置において結像する。よってλ1の波長の照射スポッ
トは小さくなる。一方、波長可変半導体レーザ121が
λ2の波長を出射すると、λ2の光のビームウエストは被
照射体126の前方に来ることになり、被照射体126
上の照射スポットはλ1のそれよりも大きくなる。
The light flux emitted from the wavelength tunable semiconductor laser 121 becomes parallel light by the collimator lens 122,
The light having a wavelength of λ 1 enters the optical lens system 124 having axial chromatic aberration and forms an image on the irradiated surface 126 at the beam waist position of the light beam. Therefore, the irradiation spot with the wavelength of λ 1 becomes smaller. On the other hand, if the wavelength tunable semiconductor laser 121 emits a wavelength of lambda 2, the beam waist of the lambda 2 light will to come in front of the irradiation object 126, the irradiated body 126
The upper illuminated spot is larger than that of λ 1 .

【0050】よって、波長可変半導体レーザ121から
の出射光の波長を変化させることで、照射スポット径を
変化させられるので、階調表示が容易となった。
Therefore, since the irradiation spot diameter can be changed by changing the wavelength of the light emitted from the wavelength tunable semiconductor laser 121, gradation display is facilitated.

【0051】次に、本実施例に用いる前述した半導体レ
ーザ光源の駆動方法について説明する。図9に本半導体
レーザ光源の駆動方法について説明する。図9に本半導
体レーザの電流−光出力特性を示す。注入電流の増加に
つれてしきい電流密度Jth(λ1)を越えるとλ1の波長
の光が発振し、λ1が出力を増加させるが、注入電流密
度がλth(λ2)を越えるとλ2の波長の光が発振を開始
し、λ2の光出力の増加につれてλ1の光出力は減少し、
電流密度がJth(λ1)′に達するとλ1の光出力はゼロ
になり、λ2のみの発振となる。すなわち、光出力は、
注入電流の増加につれて、λ1の波長からλ2の波長へス
イッチングすることがわかる。
Next, a method of driving the above-mentioned semiconductor laser light source used in this embodiment will be described. A method of driving the present semiconductor laser light source will be described with reference to FIG. FIG. 9 shows the current-light output characteristics of this semiconductor laser. With increasing injection current threshold current density J th1) oscillates over the lambda 1 wavelengths of light is a, lambda 1 but increases the output, the injected current density exceeds λ th2) Light with a wavelength of λ 2 starts oscillating, and the optical output of λ 1 decreases as the optical output of λ 2 increases,
When the current density reaches J th1 ) ′, the optical output of λ 1 becomes zero and only λ 2 oscillates. That is, the optical output is
It can be seen that the wavelength of λ 1 is switched to the wavelength of λ 2 as the injection current increases.

【0052】そこで、設定電流を、図9に示したよう
に、I0,I1,I2の3値で変化させる。電流がI0の場
合、λ1,λ2ともに光出力は0である。電流がI1の場
合、λ1の光出力はP1,λ2の光出力は0である。電流
がI2の場合、λ1の光出力は0,λ2の光出力はP2であ
る。
Therefore, the set current is changed in three values of I 0 , I 1 , and I 2 as shown in FIG. When the current is I 0, the optical output is 0 for both λ 1 and λ 2 . When the current is I 1 , the light output of λ 1 is P 1 and the light output of λ 2 is 0. When the current is I 2 , the light output of λ 1 is 0 and the light output of λ 2 is P 2 .

【0053】したがって、注入電流の設定で、λ1とλ2
の2波長についてどちらか(または両方を含んでもよ
い)の波長を出射することが可能である。つまり、本実
施例の光源として上記2波長レーザ素子121を用い、
軸上色収差素子124を介することによって、2波長光
λ1,λ2は被照射体126上で異なるスポット面積に集
光することになり、階調表示が可能となった。
Therefore, by setting the injection current, λ 1 and λ 2
It is possible to emit one of the two wavelengths (or both may be included). That is, the two-wavelength laser device 121 is used as the light source of this embodiment,
By passing through the axial chromatic aberration element 124, the two-wavelength light λ 1 and λ 2 are focused on different spot areas on the irradiated object 126, and gradation display is possible.

【0054】第2の実施例の変形例として、光源が通常
の波長可変DFBレーザや波長可変DBRレーザであっ
ても良い。この場合、連続に波長を変化させることがで
きるので、この構成によれば、階調表示を連続で変化さ
せられる。光源の光出力については、被照射体の感光感
度が波長に対してほぼ一定の場合には、波長を変化させ
た場合でも、照射スポットにおける光密度が一定になる
ようにその波長のビームウエストが被照射体面上より遠
ざかるにつれて(スポット面積が大きくなる)その波長
の光出力は強くなるように制御した方が良い(例えば、
デューティ比を増す)。或は、被照射体の感光感度が波
長に対して異なるのを積極的に利用して、階調表示を行
ってもよい。
As a modified example of the second embodiment, the light source may be an ordinary wavelength tunable DFB laser or wavelength tunable DBR laser. In this case, since the wavelength can be continuously changed, according to this configuration, gradation display can be continuously changed. Regarding the light output of the light source, when the photosensitivity of the irradiated object is almost constant with respect to the wavelength, the beam waist of that wavelength is adjusted so that the light density at the irradiation spot becomes constant even if the wavelength is changed. It is better to control so that the light output of the wavelength becomes stronger as the distance from the surface of the irradiated object increases (the spot area increases) (for example,
Increase the duty ratio). Alternatively, gradation display may be performed by positively utilizing the fact that the photosensitivity of the irradiated body differs with respect to the wavelength.

【0055】光学系の調整については、使用する波長の
内、最も長波長または最も短波長の光についてそのビー
ムウエストが被照射体上にくるように設定する。
Regarding the adjustment of the optical system, the beam waist of the light having the longest wavelength or the shortest wavelength of the wavelengths used is set so as to be on the irradiated body.

【0056】[0056]

【発明の効果】以上説明したように、多波長半導体レー
ザなどを光源とし、波長分散素子を光路中に配すること
によって、1回の光束走査により複数(典型的には2)
波長光が複数(2)列に分離されて被照射体上を走査で
き、また、多波長半導体レーザなどを適当に駆動するこ
とにより各多波長光の変調を実質的に独立に制御できる
ので、印字速度を増大させることが可能となる効果があ
る。
As described above, by using a multi-wavelength semiconductor laser or the like as a light source and arranging a wavelength dispersion element in the optical path, a plurality of (typically 2) light beams can be scanned by one time.
Since the wavelength light can be separated into a plurality of (2) rows and scanned on the irradiation target, and the modulation of each multi-wavelength light can be controlled substantially independently by appropriately driving the multi-wavelength semiconductor laser or the like, There is an effect that the printing speed can be increased.

【0057】また、波長可変半導体レーザなどを光源と
し、軸上色収差を適当に設定した光学系レンズを介する
ことで、波長を変化させることで被照射体上の照射スポ
ットの面積を変化することができ、容易に高速に階調表
示が可能となる効果がある。
The area of the irradiation spot on the object to be irradiated can be changed by changing the wavelength by using a wavelength tunable semiconductor laser or the like as a light source and passing through an optical system lens in which axial chromatic aberration is appropriately set. Therefore, there is an effect that gradation display can be easily performed at high speed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明を実施した光走査装置の第1の実施例の
構成を示す図。
FIG. 1 is a diagram showing the configuration of a first embodiment of an optical scanning device embodying the present invention.

【図2】図1の部分詳細図。FIG. 2 is a partial detailed view of FIG.

【図3】本発明で用いる半導体レーザ素子のバンド構造
と利得スペクトルを示す図。
FIG. 3 is a diagram showing a band structure and a gain spectrum of a semiconductor laser device used in the present invention.

【図4】図3で説明したリッジ導波路半導体レーザ素子
の断面図。
FIG. 4 is a sectional view of the ridge waveguide semiconductor laser device described in FIG.

【図5】別の半導体レーザ素子のバンド構造を示す図。FIG. 5 is a diagram showing a band structure of another semiconductor laser device.

【図6】第1実施例の半導体レーザの駆動方法を示す
図。
FIG. 6 is a diagram showing a driving method of the semiconductor laser of the first embodiment.

【図7】本発明を実施した光走査装置の第2実施例の構
成を示す図。
FIG. 7 is a diagram showing a configuration of a second embodiment of an optical scanning device embodying the present invention.

【図8】図7の部分詳細図。FIG. 8 is a partial detailed view of FIG.

【図9】第2実施例の半導体レーザの駆動方法を示す
図。
FIG. 9 is a diagram showing a method for driving a semiconductor laser according to a second embodiment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

21,121 多波長半導体レーザ 22,122 コリメートレンズ 23,123 ポリゴンミラー 24 プリズム 25,125 fθレンズ 26,126 被照射体 124 軸上色収差をもつレンズ 21, 121 Multi-wavelength semiconductor laser 22, 122 Collimate lens 23, 123 Polygon mirror 24 Prism 25, 125 fθ lens 26, 126 Irradiation object 124 Lens with axial chromatic aberration

Claims (19)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 光源手段からの光束を、レンズ系を介し
て被照射体上に集光し、光走査する光走査装置におい
て、 前記光源手段が複数の波長の光束を射出でき、前記レン
ズ系が波長分散素子を含み、前記光源手段から出射され
た異なる波長を含む光束は、その波長分散の方向が光走
査方向に対して或る角度をもって、被照射体上に集光さ
れることを特徴とする光走査装置。
1. An optical scanning device for condensing a light beam from a light source means onto an irradiation target through a lens system and optically scanning the light source means, wherein the light source means can emit light beams of a plurality of wavelengths, and the lens system Includes a wavelength dispersion element, and the light flux emitted from the light source means and having different wavelengths is condensed on the irradiation target with the direction of the wavelength dispersion being at an angle to the optical scanning direction. Optical scanning device.
【請求項2】 前記光源手段は、可変波長半導体レーザ
素子である請求項1記載の光走査装置。
2. The optical scanning device according to claim 1, wherein the light source means is a variable wavelength semiconductor laser device.
【請求項3】 前記光源手段は、積層構造の異なる複数
のエネルギーギャップに対応する波長を発振する請求項
2記載の光走査装置。
3. The optical scanning device according to claim 2, wherein the light source means oscillates a wavelength corresponding to a plurality of energy gaps having different laminated structures.
【請求項4】 前記光源手段は、異なる複数の量子井戸
層を発光層とする多波長半導体レーザ素子である請求項
3記載の光走査装置。
4. The optical scanning device according to claim 3, wherein the light source means is a multi-wavelength semiconductor laser device having a plurality of different quantum well layers as light emitting layers.
【請求項5】 前記光源手段は、量子井戸層の基底準位
と高次準位に対応する波長を発振する多波長半導体レー
ザ素子である請求項3記載の光走査装置。
5. The optical scanning device according to claim 3, wherein the light source means is a multi-wavelength semiconductor laser device that oscillates a wavelength corresponding to a ground level and a higher level of the quantum well layer.
【請求項6】 前記波長分散素子は、光学的プリズムか
らなる請求項1記載の光走査装置。
6. The optical scanning device according to claim 1, wherein the wavelength dispersion element comprises an optical prism.
【請求項7】 前記波長分散素子は、回折格子からなる
請求項1記載の光走査装置。
7. The optical scanning device according to claim 1, wherein the wavelength dispersion element is a diffraction grating.
【請求項8】 前記光源手段としての多波長半導体レー
ザ素子において、注入電流を適当に設定することで、異
なる複数の波長のうち所望の波長の光出力を発振させる
請求項4または5記載の光走査装置。
8. The light according to claim 4, wherein in the multi-wavelength semiconductor laser device as the light source means, an injection current is appropriately set to oscillate an optical output of a desired wavelength among a plurality of different wavelengths. Scanning device.
【請求項9】 前記光源手段としての多波長半導体レー
ザ素子において、注入電流を適当に設定することで、異
なる2つの波長のうちゼロ、いずれか一方、または両方
の波長の4組の組合わせのうち1組の光出力を発振させ
る請求項4または5記載の光走査装置。
9. In a multi-wavelength semiconductor laser device as the light source means, by appropriately setting an injection current, four combinations of zero, one or both of two different wavelengths can be obtained. 6. The optical scanning device according to claim 4, wherein one set of optical outputs is oscillated.
【請求項10】 光源手段からの光束を、レンズ系を介
して被照射体上に集光し、光走査する光走査装置におい
て、 前記光源手段が複数の波長の光束を射出でき、前記レン
ズ系の一部に、軸上色収差を有する素子を有し、前記光
源手段が射出光束の波長を変化でき、被照射体上の光束
のビームウエスト面の面積を変化することで面積階調表
示をすることを特徴とする光走査装置。
10. An optical scanning device for condensing a light beam from a light source means onto an irradiation target through a lens system and optically scanning the light source means, wherein the light source means can emit light beams of a plurality of wavelengths, and the lens system Has a device having axial chromatic aberration, and the light source means can change the wavelength of the emitted light beam, and the area gray scale display is performed by changing the area of the beam waist surface of the light beam on the irradiated body. An optical scanning device characterized by the above.
【請求項11】 前記光源手段は、可変波長半導体レー
ザ素子である請求項10記載の光走査装置。
11. The optical scanning device according to claim 10, wherein the light source unit is a variable wavelength semiconductor laser device.
【請求項12】 前記光源手段は、積層構造の異なる複
数のエネルギーギャップに対応する波長を発振する請求
項11記載の光走査装置。
12. The optical scanning device according to claim 11, wherein the light source means oscillates a wavelength corresponding to a plurality of energy gaps having different laminated structures.
【請求項13】 前記光源手段は、異なる複数の量子井
戸層を発光層とする多波長半導体レーザ素子である請求
項12記載の光走査装置。
13. The optical scanning device according to claim 12, wherein the light source means is a multi-wavelength semiconductor laser device having a plurality of different quantum well layers as light emitting layers.
【請求項14】 前記光源手段は、量子井戸層の基底準
位と高次準位に対応する波長を発振する多波長半導体レ
ーザ素子である請求項12記載の光走査装置。
14. The optical scanning device according to claim 12, wherein the light source means is a multi-wavelength semiconductor laser device that oscillates a wavelength corresponding to a ground level and a higher level of the quantum well layer.
【請求項15】 前記軸上色収差を有する素子は、回折
格子型レンズである請求項10記載の光走査装置。
15. The optical scanning device according to claim 10, wherein the element having the axial chromatic aberration is a diffraction grating type lens.
【請求項16】 前記軸上色収差を有する素子は、フレ
ネルレンズである請求項10記載の光走査装置。
16. The optical scanning device according to claim 10, wherein the element having the axial chromatic aberration is a Fresnel lens.
【請求項17】 前記光源手段としての波長可変半導体
レーザ装置について、注入電流を変化させることで発振
波長を変化させる請求項13または14記載の光走査装
置。
17. The optical scanning device according to claim 13, wherein the oscillation wavelength is changed by changing the injection current in the wavelength tunable semiconductor laser device as the light source means.
【請求項18】 前記光源手段としての波長可変半導体
レーザ装置について、注入電流を変化させることで異な
る2つの波長のうちゼロ、いずれか一方、または両方の
波長の4組の組合わせのうち1組の光出力を発振させる
請求項13または14記載の光走査装置。
18. A wavelength tunable semiconductor laser device as the light source means, one of four combinations of zero, one or both of two different wavelengths by changing the injection current. 15. The optical scanning device according to claim 13, which oscillates the optical output of.
【請求項19】 前記光源手段としての波長可変半導体
レーザ装置について、注入電流を変化させることで異な
る2つの波長のうちゼロ、いずれか一方の波長の3組の
組合わせのうち1組の光出力を発振させる請求項13ま
たは14記載の光走査装置。
19. A wavelength tunable semiconductor laser device as the light source means, wherein one of three combinations of zero and one of two different wavelengths by changing the injection current is used. 15. The optical scanning device according to claim 13, which oscillates.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004510177A (en) * 2000-07-25 2004-04-02 クボタ リサーチ アソシエーツ、インク. Exposure system for recording media
US7253938B2 (en) 2003-08-11 2007-08-07 Samsung Electronics Co., Ltd. Laser scanning apparatus

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