JPH0694638A - Method and equipment for inspecting color filter and light source for inspection - Google Patents
Method and equipment for inspecting color filter and light source for inspectionInfo
- Publication number
- JPH0694638A JPH0694638A JP24057392A JP24057392A JPH0694638A JP H0694638 A JPH0694638 A JP H0694638A JP 24057392 A JP24057392 A JP 24057392A JP 24057392 A JP24057392 A JP 24057392A JP H0694638 A JPH0694638 A JP H0694638A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspection
- light source
- color filter
- inspecting
- peak value
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Optical Filters (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、カラ−液晶表示装置
などの表示パネルに使用されるカラ−フィルタの検査方
法、検査装置及び検査用光源に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an inspection method, an inspection device and an inspection light source for a color filter used for a display panel of a color liquid crystal display device or the like.
【０００２】[0002]
【従来の技術】一般に液晶表示装置は、透明電極が形成
されたガラス基板などの２枚の透明基板間に１〜１０μ
ｍの隙間を設けて、その間に液晶組成物を封入し、電極
間に電圧を印加して液晶を駆動せしめ表示を行なうよう
になっている。そして、カラ−表示を行なうためには、
隙間間の一方のガラス基板に赤（Ｒ），緑（Ｇ），青
（Ｂ）の着色層を有するカラ−フィルタを使用するのが
普通である。2. Description of the Related Art Generally, a liquid crystal display device has a size of 1 to 10 .mu.m between two transparent substrates such as glass substrates having transparent electrodes formed thereon.
A space of m is provided, a liquid crystal composition is sealed between them, and a voltage is applied between the electrodes to drive the liquid crystal to perform display. Then, in order to display a color,
It is common to use a color filter having red (R), green (G), and blue (B) colored layers on one of the glass substrates in the gap.
【０００３】このカラ−フィルタは、ガラスのような透
明基板上に遮光層（ブラックマトリクス）、Ｒ，Ｇ，Ｂ
の着色層、オ−バ−コ−ト層、透明電極が順次積層して
形成されている。そして、着色層の形成に当たっては、
染色法，顔料分散法，電着法，印刷法などが実用化され
ているが、画素部の欠陥やムラを完全になくすことは非
常に困難である。そこで、外観検査によるスクリ−ニン
グが不可欠となっており、通常、図４に示すように、
Ｒ，Ｇ，Ｂの３原色の着色層が形成されたカラ−フィル
タ１を、３色の透過バランスの良い検査用光源２の上方
約３０ｃｍの距離から透過させて位置３から目視により
検査する。This color filter comprises a light-shielding layer (black matrix), R, G and B on a transparent substrate such as glass.
The colored layer, the overcoat layer and the transparent electrode are sequentially laminated. And when forming the colored layer,
Although the dyeing method, the pigment dispersion method, the electrodeposition method, the printing method and the like have been put into practical use, it is extremely difficult to completely eliminate defects and unevenness in the pixel portion. Therefore, screening by visual inspection is indispensable, and as shown in FIG.
The color filter 1 on which the colored layers of the three primary colors of R, G, B are formed is transmitted from a distance of about 30 cm above the inspection light source 2 having a good transmission balance of the three colors and visually inspected from the position 3.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】従来の検査用光源２の
多くは、白色３波長蛍光管を使用していたため、そのス
ペクトルピ−ク値はカラ−フィルタの３つのピ−ク
（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に近いところに位置していた。このため
に、カラ−フィルタの画素正常部の輝度は比較的高く、
液晶表示装置の白ラスタ表示と同レベルと考えられる。Since most of the conventional inspection light sources 2 use white three-wavelength fluorescent tubes, their spectral peak values are three peaks (R, G) of the color filter. , B). For this reason, the brightness of the normal pixel portion of the color filter is relatively high,
It is considered to be at the same level as the white raster display of the liquid crystal display device.
【０００５】ところが、液晶表示装置では、画素ピクセ
ル毎に印加電圧をオン／オフ又は変化させることが可能
なため、白ラスタ表示と比較してカラ−フィルタの画素
正常部の輝度が低くなり、欠陥部とのコントラストが高
くなる場合があり得る。このために液晶表示装置で視認
可能な欠陥／ムラを検出し切れなかった。However, in the liquid crystal display device, since the applied voltage can be turned on / off or changed for each pixel pixel, the luminance of the normal pixel portion of the color filter becomes lower than that of the white raster display, and a defect occurs. The contrast with a part may be high. Therefore, defects / unevenness that can be visually recognized by the liquid crystal display device cannot be detected.
【０００６】この発明は、正常部と欠陥部のコントラス
ト比が向上し、高精度の検査が可能となるカラ−フィル
タの検査方法、検査装置及び検査用光源を提供すること
を目的とする。It is an object of the present invention to provide a color filter inspecting method, an inspecting device, and an inspecting light source, in which a contrast ratio between a normal portion and a defective portion is improved and highly accurate inspection is possible.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】この発明は、透明基板上
に赤，緑，青の着色層を形成したカラ−フィルタを、検
査用光源からの透過光により着色層の欠陥の有無を検査
する場合、検査用光源として、そのスペクトルピ−ク値
が５９０（±２０）ｎｍ（ナノメ−トル）、又は５１０
（±２０）ｎｍにあるものの少なくとも一方を使用する
カラ−フィルタの検査方法、検査装置及び検査用光源で
ある。SUMMARY OF THE INVENTION According to the present invention, a color filter in which red, green and blue colored layers are formed on a transparent substrate is inspected by a transmitted light from an inspection light source for the presence of defects in the colored layer. In this case, the light source for inspection has a spectral peak value of 590 (± 20) nm (nanometer), or 510.
A color filter inspecting method, an inspecting device, and an inspecting light source using at least one of (± 20) nm.
【０００８】[0008]
【作用】この発明によれば、検査用光源のスペクトルピ
−ク値をカラ−フィルタ・スペクトルピ−クの谷間に位
置させることにより、液晶表示装置同様、カラ−フィル
タの画素正常部の輝度を低くすることが可能となり、従
来の検査用光源で検出困難であった欠陥／ムラも検知可
能になった。According to the present invention, by arranging the spectral peak value of the inspection light source in the valley of the color filter spectral peak, the luminance of the normal pixel portion of the color filter can be adjusted like the liquid crystal display device. It has become possible to lower the level, and it has become possible to detect defects / unevenness that were difficult to detect with conventional light sources for inspection.
【０００９】[0009]
【実施例】以下、図面を参照して、この発明の実施例を
詳細に説明する。Embodiments of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings.
【００１０】一般に、カラ−フィルタの透過スペクトル
の多くは、３波長蛍光管のピ−ク値に近いところに３つ
のピ−ク（Ｒ，Ｇ，Ｂ）を持たせ、色純度を上げるため
になるべく半値幅の小さいシャ−プなピ−クを持たせる
ように設計するのが普通である。このために５１０ｎｍ
及び５９０ｎｍ近傍でスペクトルの谷となることが多
い。従って、検査用光源として、そのスペクトルピ−ク
値が５９０ｎｍもしくは５１０ｎｍ近傍にあれば、正常
にカラ−フィルタの画素が形成されている部分の透過率
は低くなり、着色層が薄い欠陥部やムラの原因たる異常
部の透過率は高くなる。このために、欠陥部やムラ部の
コントラストを上げることが可能となり、液晶表示装置
で視認可能な欠陥部やムラ部の検出が可能となる。以下
に、具体的な３つの実施例について、述べることにす
る。 （第１の実施例）Generally, most of the transmission spectrum of the color filter has three peaks (R, G, B) near the peak value of the three-wavelength fluorescent tube in order to increase the color purity. It is usually designed to have a sharp peak with a half width as small as possible. For this purpose 510 nm
And often has a valley in the spectrum near 590 nm. Therefore, if the spectral peak value of the light source for inspection is near 590 nm or 510 nm, the transmittance of the portion where the pixels of the color filter are normally formed is low, and the defective portion or unevenness of the colored layer is thin. The transmittance of the abnormal part, which is the cause of, increases. Therefore, it is possible to increase the contrast of the defective portion or the uneven portion, and it is possible to detect the defective portion or the uneven portion that can be visually recognized on the liquid crystal display device. Three concrete examples will be described below. (First embodiment)
【００１１】この発明でも、製造工程においてカラ−フ
ィルタの着色層の欠陥有無を検査する場合、図４に示し
た従来から行なっている目視による検査を行なうが、こ
の第１の実施例では、検査用光源として、図１に示すス
ペクトルの低圧水銀蒸気放電ランプを使用する。即ち、
この検査用光源のメインピ−ク値は５９０ｎｍにあり、
水銀輝線サブピ−ク値は５４５ｎｍ，４３５ｎｍにあっ
て、全体としてはピンク色の光源である。Also in the present invention, when the presence or absence of a defect in the colored layer of the color filter is inspected in the manufacturing process, the conventional visual inspection shown in FIG. 4 is performed. In the first embodiment, the inspection is performed. A low-pressure mercury vapor discharge lamp with the spectrum shown in FIG. That is,
The main peak value of this inspection light source is 590 nm,
The mercury emission line sub-peak values are 545 nm and 435 nm, and the light source is pink as a whole.
【００１２】この検査用光源の検査能力を評価するた
め、カラ−フィルタの着色層にレ−ザにより任意の大き
さの欠陥を作成し、どの大きさまで視認出来るかを調べ
た。その結果を下記表１に示すが、ＴＹＰＥ１がこの第
１の実施例の検査用光源を使用した場合であり、Ｒ，
Ｇ，Ｂ各色で従来の３波長蛍光管より視認限界を小さく
することが出来た。In order to evaluate the inspection ability of this inspection light source, a defect of arbitrary size was created by a laser on the colored layer of the color filter, and it was examined to what size the defect could be visually recognized. The results are shown in Table 1 below, where TYPE1 uses the inspection light source of the first embodiment, and R,
The visibility limit could be made smaller than the conventional three-wavelength fluorescent tube for each of G and B colors.
【００１３】[0013]
【表１】 尚、表１中の数値は視認可能な限界の欠陥の大きさをそ
の面積（単位はμｍ2 ）で表わしたものである。 （第２の実施例）[Table 1]In addition, the numerical values in Table 1 indicate the size of the visible defects.
Area (unit is μm2 ). (Second embodiment)
【００１４】この第２の実施例では、検査用光源とし
て、図２に示すスペクトルのものを使用する。即ち、こ
の検査用光源のメインピ−ク値は５７５ｎｍにあり、サ
ブピ−ク値は５４５ｎｍ，４８０ｎｍ，４３５ｎｍ等に
あって、全体としては白色の光源である。第１の実施例
と同様の評価を行なったが、上記表１に示すＴＹＰＥ２
がこの第２の実施例の検査用光源を使用した場合であ
り、Ｒ，Ｇ，Ｂ各色で従来の３波長蛍光管より視認限界
を小さくすることが出来た。 （第３の実施例）In the second embodiment, an inspection light source having the spectrum shown in FIG. 2 is used. That is, this inspection light source has a main peak value of 575 nm and sub-peak values of 545 nm, 480 nm, 435 nm, etc., and is a white light source as a whole. The same evaluation as in Example 1 was performed, except that TYPE2 shown in Table 1 above was used.
Is the case where the light source for inspection of the second embodiment is used, and the visibility limit can be made smaller than that of the conventional three-wavelength fluorescent tube for each color of R, G, and B. (Third embodiment)
【００１５】この第３の実施例で用いる検査用光源は、
第２の実施例の検査用光源に黄色のフィルタ−を重ねた
もので、そのスペクトルは図３に示す。フィルタ−は吸
収端が５００ｎｍ近傍にあるもので、５００ｎｍ以下の
サブピ−ク値を殆どカットすることが出来た。但し、こ
のフィルタ−による光源輝度の低下は殆ど認められず、
十分な明るさを確保することが出来た。この第３の実施
例で用いる検査用光源の視認限界を調べたところ、上記
表１に示すようにＢ（青）において第２の実施例より視
認限界を小さくすることが出来た。 （第４の実施例）この第４の実施例では、検査用光源と
して、スペクトルピ−ク値が５１０ｎｍ付近にあるラン
プを使用する。The inspection light source used in the third embodiment is
The inspection light source of the second embodiment is overlaid with a yellow filter, and its spectrum is shown in FIG. The filter had an absorption edge near 500 nm and could almost cut the sub-peak value of 500 nm or less. However, almost no decrease in light source brightness due to this filter was observed,
We were able to secure sufficient brightness. When the visual recognition limit of the inspection light source used in the third embodiment was examined, it was possible to make the visual recognition limit smaller in B (blue) than in the second embodiment as shown in Table 1 above. (Fourth Embodiment) In the fourth embodiment, a lamp having a spectral peak value near 510 nm is used as a light source for inspection.
【００１６】尚、上記各実施例では、目視により着色層
の欠陥有無を検査したが、この発明による検査用光源
は、目視に限らず、カメラやセンサ−等による検査にも
応用出来ることは言うまでもない。又、検査用光源のス
ペクトルピ−ク値は、５９０ｎｍ、あるいは５１０ｎｍ
に対して±２０ｎｍの範囲内、より好ましくは±１５ｎ
ｍの範囲内にあれば良い。In each of the above embodiments, the presence or absence of defects in the colored layer was visually inspected, but it goes without saying that the inspection light source according to the present invention is not limited to visual inspection and can be applied to inspection by a camera, a sensor or the like. Yes. The spectral peak value of the light source for inspection is 590 nm or 510 nm.
Within ± 20 nm, more preferably ± 15 n
It only needs to be within the range of m.
【００１７】[0017]
【発明の効果】この発明によれば、検査用光源として、
そのスペクトルピ−ク値が５９０（±２０）ｎｍ、又は
５１０（±２０）ｎｍにあるものの少なくとも一方を使
用するので、カラ−フィルタの正常部と欠陥部のコント
ラスト比が向上し、高精度の検査が可能となる。According to the present invention, as a light source for inspection,
Since at least one of the spectral peak values at 590 (± 20) nm or 510 (± 20) nm is used, the contrast ratio between the normal portion and the defective portion of the color filter is improved, and high accuracy is obtained. Inspection is possible.
【図１】この発明の第１の実施例に係るカラ−フィルタ
の製造方法（検査方法）で用いる検査用光源のスペクト
ルを示す図。FIG. 1 is a diagram showing a spectrum of an inspection light source used in a color filter manufacturing method (inspection method) according to a first embodiment of the present invention.
【図２】この発明の第２の実施例に係るカラ−フィルタ
の製造方法（検査方法）で用いる検査用光源のスペクト
ルを示す図。FIG. 2 is a diagram showing a spectrum of an inspection light source used in a color filter manufacturing method (inspection method) according to a second embodiment of the present invention.
【図３】この発明の第３の実施例に係るカラ−フィルタ
の製造方法（検査方法）で用いる検査用光源のスペクト
ルを示す図。FIG. 3 is a diagram showing a spectrum of an inspection light source used in a color filter manufacturing method (inspection method) according to a third embodiment of the present invention.
【図４】目視によるカラ−フィルタの着色層の欠陥有無
を検査する方法を示す斜視図。FIG. 4 is a perspective view showing a method for visually inspecting the colored layer of the color filter for defects.
１…カラ−フィルタ、２…検査用光源、３…検査位置。 1 ... Color filter, 2 ... Light source for inspection, 3 ... Inspection position.
Claims (6)
したカラ−フィルタを、検査用光源からの透過光により
上記着色層の欠陥の有無を検査するカラ−フィルタの検
査方法において、 上記検査用光源として、そのスペクトルのピ−ク値が５
９０（±２０）ｎｍ、又は５１０（±２０）ｎｍにある
ものの少なくとも一方を使用することを特徴とするカラ
−フィルタの検査方法。1. A method for inspecting a color filter, which comprises a transparent substrate on which colored layers of red, green and blue are formed and which is inspected for the presence of defects in the colored layer by means of transmitted light from an inspection light source. The peak value of the spectrum of the inspection light source is 5
A method for inspecting a color filter, characterized in that at least one of 90 (± 20) nm and 510 (± 20) nm is used.
ピ−ク値が５９０（±２０）ｎｍ、又は５１５（±２
０）ｎｍにある蛍光体を使用した低圧水銀蒸気放電ラン
プであることを特徴とする請求項１記載のカラ−フィル
タの検査方法。2. The light source for inspection has a peak value of emission spectrum of 590 (± 20) nm or 515 (± 2).
2. The method for inspecting a color filter according to claim 1, wherein the low-pressure mercury vapor discharge lamp uses a phosphor having a wavelength of 0) nm.
０）ｎｍ、又は５１５（±２０）ｎｍにある光源を使用
したことを特徴とするカラ−フィルタの検査装置。3. The peak value of the emission spectrum is 590 (± 2
An inspection device for a color filter, which uses a light source having a wavelength of 0) nm or 515 (± 20) nm.
０）ｎｍ、又は５１５（±２０）ｎｍにある蛍光体を用
いた低圧水銀蒸気放電ランプを使用したことを特徴とす
るカラ−フィルタの検査装置。4. The peak value of the emission spectrum is 590 (± 2
An apparatus for inspecting a color filter, wherein a low-pressure mercury vapor discharge lamp using a phosphor having a wavelength of 0) nm or 515 (± 20) nm is used.
０）ｎｍ、又は５１５（±２０）ｎｍにあることを特徴
とするカラ−フィルタの検査用光源。5. The peak value of the emission spectrum is 590 (± 2
A light source for inspecting a color filter, which is at 0) nm or 515 (± 20) nm.
０）ｎｍ、又は５１５（±２０）ｎｍにある蛍光体を使
用した低圧水銀蒸気放電ランプからなることを特徴とす
るカラ−フィルタの検査用光源。6. The peak value of emission spectrum is 590 (± 2
A light source for inspecting a color filter, which comprises a low-pressure mercury vapor discharge lamp using a phosphor of 0) nm or 515 (± 20) nm.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24057392A JP3199863B2 (en) | 1992-09-09 | 1992-09-09 | Color filter inspection method, inspection device, and inspection light source |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24057392A JP3199863B2 (en) | 1992-09-09 | 1992-09-09 | Color filter inspection method, inspection device, and inspection light source |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0694638A true JPH0694638A (en) | 1994-04-08 |
| JP3199863B2 JP3199863B2 (en) | 2001-08-20 |
Family
ID=17061536
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24057392A Expired - Fee Related JP3199863B2 (en) | 1992-09-09 | 1992-09-09 | Color filter inspection method, inspection device, and inspection light source |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3199863B2 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005207829A (en) * | 2004-01-21 | 2005-08-04 | Dainippon Printing Co Ltd | Film thickness quality inspection method and device |
| JP2011203636A (en) * | 2010-03-26 | 2011-10-13 | Fujifilm Corp | Product having birefringent pattern |
-
1992
- 1992-09-09 JP JP24057392A patent/JP3199863B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005207829A (en) * | 2004-01-21 | 2005-08-04 | Dainippon Printing Co Ltd | Film thickness quality inspection method and device |
| JP4484531B2 (en) * | 2004-01-21 | 2010-06-16 | 大日本印刷株式会社 | Film thickness pass / fail inspection method and apparatus |
| JP2011203636A (en) * | 2010-03-26 | 2011-10-13 | Fujifilm Corp | Product having birefringent pattern |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3199863B2 (en) | 2001-08-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN101390001B (en) | Display | |
| US7542114B2 (en) | Liquid crystal display device | |
| US6812992B2 (en) | Photo ablation to resolve “bright on” pixel defects in a normally white LCD | |
| US7330229B2 (en) | Color filter and liquid crystal display device using the same | |
| US7643141B2 (en) | Method and apparatus for inspecting color filter | |
| JP2005283891A (en) | Liquid crystal display device | |
| JP3199863B2 (en) | Color filter inspection method, inspection device, and inspection light source | |
| JP2677728B2 (en) | Color filter inspection method | |
| CN100410751C (en) | Liquid crystal display | |
| JPS6169091A (en) | Matrix type liquid crystal color display | |
| JPH07159771A (en) | Color liquid crystal display device | |
| JPS6156325A (en) | Liquid crystal color image display device | |
| TWI391648B (en) | Inspection method of inspection panel and color filter | |
| CN109686248B (en) | Display panel | |
| JP3645629B2 (en) | Spacer distribution measurement method for liquid crystal display | |
| JPH04116520A (en) | Defect correcting method for color filter substrate | |
| JP2677728C (en) | ||
| JP2005148637A (en) | Display device manufacturing method, image pickup device manufacturing method and inspection device for color filter substrate used for these | |
| JPH0895044A (en) | Liquid crystal display device | |
| JP2000193957A (en) | Liquid crystal display device | |
| JPS6348522A (en) | Matrix type liquid crystal display device | |
| TWI451164B (en) | Filter unit of liquid crystal display and liquid crystal display | |
| JPH04147214A (en) | Color liquid crystal display element | |
| JPH11148884A (en) | Inspection apparatus for color filter substrate | |
| JPH02153303A (en) | Color filter substrate device for liquid crystal display device |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |