JPH0691431A - Electric discharge machine - Google Patents

Electric discharge machine

Info

Publication number
JPH0691431A
JPH0691431A JP26801792A JP26801792A JPH0691431A JP H0691431 A JPH0691431 A JP H0691431A JP 26801792 A JP26801792 A JP 26801792A JP 26801792 A JP26801792 A JP 26801792A JP H0691431 A JPH0691431 A JP H0691431A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
fine particles
density
electric discharge
liquid
machining
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP26801792A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kiyoshi Sawada
潔 沢田
Toshio Hirai
俊雄 平井
Koji Yamaguchi
浩次 山口
Shunichi Otaka
俊一 尾高
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fanuc Corp
Original Assignee
Fanuc Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fanuc Corp filed Critical Fanuc Corp
Priority to JP26801792A priority Critical patent/JPH0691431A/en
Publication of JPH0691431A publication Critical patent/JPH0691431A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

PURPOSE:To keep on normal discharge between a work and a tool electrode, and thereby enhance machining efficiency even in rough machining and precise machining by providing a discharge control means keeping particulate solids or particulate liquid which are dispersed in machining fluid filled in a gap between the work and the tool electrode, at density at the time of normal discharge. CONSTITUTION:A density control means such as a filter Fa is provided to keep particulate solids or particulate liquid which are dispersed in machining fluid filled in a gap between a work and a tool electrode, at density at the time of normal discharge. The density control means is equipped with a filter means 8 which is controlled to allow particulates to be removed based on the measured density of particulate solids or particulate liquid dispersed in machining fluid, and with a particulate applying means which applies and disperses particulates prepared in advance into machining fluid.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、加工液体中で微小な
間隙を隔てて対向させた工具電極と被加工物の間に電圧
を印加して放電を発生させ、被加工物の材料を除去加工
する放電加工装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention removes material of a work piece by applying a voltage between a tool electrode and a work piece, which are opposed to each other with a minute gap in a working liquid, to generate an electric discharge. The present invention relates to an electric discharge machine for machining.

【0002】[0002]

【従来の技術】放電加工装置において加工液中の微細な
加工屑や熱分解炭素の浮遊粒子は放電を開始させる核と
なり、正常な放電状態への滑らかな立ち上がりや、均一
で正常な放電状態を維持する上で重要である。
2. Description of the Related Art In an electric discharge machining apparatus, fine machining scraps in the machining fluid and suspended particles of pyrolytic carbon serve as nuclei for initiating an electric discharge, and provide a smooth rise to a normal electric discharge state and a uniform and normal electric discharge state. It is important to maintain.

【0003】すなわち、加工液中における加工屑の密度
が過剰な場合には集中放電などの異常放電が多発し、過
少な場合には放電を持続するべく被加工物に工具電極が
近接され過ぎるために短絡が多発して加工の安定性が損
なわれ、また、加工液中におけるこのような微粒子の密
度が変化すると放電間隙長が変化して加工精度が低下す
る。
That is, when the density of the machining waste in the machining fluid is excessive, abnormal discharge such as concentrated discharge occurs frequently, and when the density is too small, the tool electrode is brought too close to the workpiece to maintain the discharge. Further, short circuits frequently occur and the stability of the processing is impaired, and when the density of such fine particles in the processing liquid changes, the discharge gap length changes and the processing accuracy decreases.

【0004】微粒子の粒度も正常な放電の維持に影響が
あり、加工液に過大な寸法の粒子が残留すると加工液の
流れに乗りにくいとか相互に付着してブリッジを生じや
すいとかで、異常放電や短絡が多発し、加工の安定性が
損なわれる。また、加工液中における微粒子の粒度分布
が変化すると、前記の密度の場合と同様に加工精度が低
下する。
The particle size of fine particles also affects the maintenance of normal discharge, and if particles with an excessively large size remain in the working fluid, it is difficult for them to flow in the working fluid or they tend to adhere to each other to form a bridge, resulting in abnormal discharge. And short circuits occur frequently, and the stability of processing is impaired. Further, if the particle size distribution of the fine particles in the processing liquid changes, the processing accuracy will decrease as in the case of the above density.

【0005】正常な放電加工が維持される条件は、被加
工物の素材や電極の形状、加工精度のレベル等によって
異なるが、一例をあげると、同電極を工具とし10平方
センチメートル以下程度の面積の加工物において仕上げ
面粗さ10μmRmax以下の型彫り放電加工を行う場
合、鉱物油からなる加工液に、10ミクロン以下の微粒
子が体積比で0.1ないし1%含まれる程度である。
The conditions under which normal electrical discharge machining is maintained differ depending on the material of the workpiece, the shape of the electrode, the level of machining accuracy, etc., but as an example, the same electrode is used as a tool and the area of about 10 cm 2 or less is used. When a die-sinking electric discharge machining with a finished surface roughness of 10 μm Rmax or less is performed on a processed product, the processing liquid consisting of mineral oil contains fine particles of 10 μm or less in a volume ratio of 0.1 to 1%.

【0006】従来の放電加工装置では、フィルタ装置ま
たは沈殿装置などにより、加工液中の加工屑や熱分解炭
素などの微粒子を除去していたが、この際、加工液中の
微粒子の密度は、放電加工による微粒子の発生速度とフ
ィルタ装置などによる除去速度によって定まるため、荒
加工や精密加工(仕上げ加工)といった加工の内容、す
なわち、加工精度レベルとフィルタ装置などの微粒子除
去手段の運転状態によって加工液中の微粒子の密度が変
化していた。これは、加工液中に残留する微粒子の粒度
分布についても同じであり、放電加工によって生じる微
粒子の粒度分布とフィルタ等の微粒子除去手段の除去特
性によって定まり、やはり、加工精度レベルと微粒子除
去手段の運転状態によって変化していた。
[0006] In the conventional electric discharge machining apparatus, fine particles such as machining chips and pyrolytic carbon in the machining fluid are removed by a filter device or a precipitation device. At this time, the density of the microparticles in the machining fluid is Since it is determined by the generation rate of particles by electrical discharge machining and the removal rate by the filter device, etc., processing is performed depending on the content of processing such as rough processing or precision processing (finishing processing), that is, the processing accuracy level and the operating state of the particle removal means such as the filter device The density of the fine particles in the liquid was changing. This also applies to the particle size distribution of the fine particles remaining in the working fluid, which is determined by the particle size distribution of the fine particles generated by electric discharge machining and the removal characteristics of the fine particle removing means such as a filter. It changed depending on the driving condition.

【0007】さらに、従来の放電加工装置では、加工液
中の微粒子の量あるいは粒度分布を計測する手段を持た
ず、これらを制御する技術思想がない。
Further, the conventional electric discharge machine has no means for measuring the amount or particle size distribution of fine particles in the working liquid, and has no technical idea for controlling them.

【0008】結局、従来の放電加工装置は、加工液に関
し、とにかく微粒子を除去して清浄にする技術思想であ
って、加工液中における微粒子の密度や粒度分布を意図
的に制御する手段を持たなかった。このため、加工時に
前記密度の過大、過少や変化、あるいは、過大な寸法の
粒子などにより、加工精度上で悪影響が出ている。
After all, the conventional electric discharge machining apparatus is a technical idea regarding the machining liquid to remove and clean the microparticles anyway, and has means for intentionally controlling the density and particle size distribution of the microparticles in the machining liquid. There wasn't. Therefore, during processing, the density is excessively large, too small or too small, or particles having an excessively large size have an adverse effect on the processing accuracy.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】この発明は、加工液中
に分散する固体微粒子または液体微粒子の密度や粒度分
布を調整し、正常な放電環境を維持する手段を備えた放
電加工装置の提供を課題とする。
DISCLOSURE OF THE INVENTION The present invention provides an electric discharge machine equipped with means for adjusting the density and particle size distribution of solid fine particles or liquid fine particles dispersed in a working fluid to maintain a normal discharge environment. It is an issue.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】放電加工装置に関する。
工具電極と被加工物の間の間隙を満たす加工液中に分散
する固体微粒子または液体微粒子の密度を制御する手段
を備える。密度制御手段は、前記の微粒子を正常放電時
の密度に維持する。
The present invention relates to an electric discharge machine.
A means for controlling the density of solid fine particles or liquid fine particles dispersed in the working liquid that fills the gap between the tool electrode and the workpiece is provided. The density control means maintains the fine particles at the density at the time of normal discharge.

【0011】密度制御手段は、フィルタ装置を備えるこ
とがある。フィルタ装置は、微粒子を除去するためのも
ので、計測された微粒子の密度に基づいて運転される。
密度制御手段は、粒度分布制御手段を備えることがあ
る。粒度分布制御手段は加工液中における前記微粒子の
粒度分布を調整する。
The density control means may include a filter device. The filter device is for removing fine particles and is operated based on the measured density of the fine particles.
The density control means may include a particle size distribution control means. The particle size distribution control means adjusts the particle size distribution of the fine particles in the working liquid.

【0012】密度制御手段が、あらかじめ用意した微粒
子を加工液中に添加分散させる微粒子添加手段を備える
ことがある。微粒子添加手段は、加工液中に分散する微
粒子の計測された密度に基づいて微粒子の添加量を増減
する。密度制御手段および/または粒度分布制御手段
が、加工精度レベルの違いに対応して、加工液中におけ
る前記微粒子の密度や粒度分布の設定を変更できる構成
とされることがある。
The density control means may be provided with a fine particle adding means for adding and dispersing fine particles prepared in advance in the working liquid. The fine particle addition means increases or decreases the addition amount of the fine particles based on the measured density of the fine particles dispersed in the working liquid. The density control unit and / or the particle size distribution control unit may be configured to change the density and particle size distribution settings of the fine particles in the working liquid in response to the difference in the processing accuracy level.

【0013】[0013]

【作用】密度制御手段は、工具電極と被加工物の間の間
隙を満たす加工液中に分散する微粒子の密度が過大、過
少とならないように調整し、正常放電のための環境を維
持する。粒度分布制御手段は、加工液中から過大寸法の
微粒子を除去し、また、放電の持続に必要な粒度の微粒
子分布を整え、正常放電のための環境を維持する。微粒
子添加手段は、適切な寸法の微粒子を加工液に供給し、
これらを放電の核とする。微粒子の密度や粒度分布の設
定を変更できる構成は、加工精度レベルに応じた適切な
放電加工を可能とする。
The density control means adjusts the density of the fine particles dispersed in the working fluid that fills the gap between the tool electrode and the workpiece so as not to be too high or too low, and maintains an environment for normal discharge. The particle size distribution control means removes oversized particles from the working fluid, adjusts the particle size distribution of particles necessary for sustaining the discharge, and maintains the environment for normal discharge. The means for adding fine particles supplies fine particles of appropriate size to the working liquid,
These are the core of the discharge. The configuration in which the setting of the density of fine particles and the setting of particle size distribution can be changed enables appropriate electric discharge machining according to the machining accuracy level.

【0014】[0014]

【実施例】図1は第1の実施例に関し、加工液の循環系
のみを示している。放電加工装置1は、放電加工槽2、
汚濁液槽3、清浄液槽4、制御装置5および設定器6を
備え、放電加工槽2と汚濁液槽3は戻り経路7で接続さ
れ、汚濁液槽3と清浄液槽4はフィルター経路8で接続
されている。また、汚濁液槽3は、第1の供給経路9で
放電加工槽2に、さらに、清浄液槽4は第2の供給経路
10で放電加工槽2に接続されている。
EXAMPLE FIG. 1 relates to the first example and shows only the circulating system of the working fluid. The electric discharge machine 1 includes an electric discharge tank 2,
The pollutant tank 3, the clean solution tank 4, the control device 5 and the setting device 6 are provided, the electric discharge machining tank 2 and the pollutant solution tank 3 are connected by the return path 7, and the pollutant solution tank 3 and the clean solution tank 4 are connected to the filter path 8 Connected by. The polluted liquid tank 3 is connected to the electric discharge machining tank 2 via the first supply path 9, and the clean liquid tank 4 is connected to the electric discharge machining tank 2 via the second supply path 10.

【0015】フィルター経路8は、ポンプPbとフィル
ターFaを、ポンプPbを汚濁液槽3側として備える。
第1の供給経路9は、ポンプPaと第1の流量調節弁1
1を、ポンプPaを汚濁液槽3側として備える。また、
第2の供給経路10は、ポンプPcと第2の流量調節弁
12を、ポンプPcを清浄液槽4側として備えている。
これら第1、第2の流量調節弁11,12は、その開度
が制御装置5の制御下に置かれている。
The filter path 8 is provided with a pump Pb and a filter Fa, with the pump Pb on the side of the polluted liquid tank 3.
The first supply path 9 includes the pump Pa and the first flow rate control valve 1.
1 is provided with the pump Pa on the side of the polluted liquid tank 3. Also,
The second supply path 10 includes a pump Pc and a second flow rate control valve 12 on the side of the pump Pc that is the cleaning liquid tank 4.
The opening degree of each of the first and second flow rate adjusting valves 11 and 12 is controlled by the control device 5.

【0016】制御装置5は、通常の数値制御装置(NC
装置)で、中央演算装置(CPU)、入出力回路、読み
出し専用メモリ(ROM)、一時記憶用メモリ(RA
M)および流量調節弁11,12のそれぞれに対するサ
ーボ駆動回路などを備える。設定器6と汚濁度センサー
13は、制御装置5に付属する。設定器6は、加工液中
における微粒子密度の許容され得る値を入力し、制御装
置5に設定するもので、入力値はRAMに記憶される。
なお、微粒子密度の許容され得る値は、加工精度のレベ
ル、被加工物の素材、放電加工の種類(型彫り、ワイヤ
カット、揺動加工や、ジャンピングの採用)等、放電環
境に影響を与える種々の要素の組合わせ、および程度に
合わせてそれぞれ実験的に求められている。
The controller 5 is an ordinary numerical controller (NC).
Central processing unit (CPU), input / output circuit, read-only memory (ROM), temporary storage memory (RA)
M) and the flow control valves 11 and 12 are provided with servo drive circuits and the like. The setting device 6 and the pollution sensor 13 are attached to the control device 5. The setting device 6 inputs an allowable value of the particle density in the working fluid and sets it in the control device 5, and the input value is stored in the RAM.
Note that the allowable value of the particle density affects the discharge environment, such as the level of processing accuracy, the material of the work piece, the type of electrical discharge machining (die cutting, wire cutting, swing machining, or the use of jumping). It is experimentally determined according to the combination of various elements and the degree thereof.

【0017】汚濁度センサー13は放電加工槽2の加工
液中に配置され、光の透過度を電気信号に変換するセン
サーであり、その出力は制御装置5の入出力回路に入力
される。この種のセンサーは加工液中における微粒子が
液体である場合にも光の散乱によってこれらの多少を計
測することができ、汚濁度センサーとして機能する。
The pollution sensor 13 is a sensor which is arranged in the machining fluid of the electric discharge machining tank 2 and converts the light transmittance into an electric signal, the output of which is inputted to the input / output circuit of the controller 5. This type of sensor can measure a small amount of fine particles in the working fluid by scattering light even when it is a liquid, and functions as a pollution degree sensor.

【0018】RAMには、また、所定周期毎に汚濁度セ
ンサー13の出力を読んでこれを微粒子密度に換算し、
さらに設定器6により設定された密度と比較してその結
果に基づき第1の流量弁11および第2の流量弁12の
開度を相互に関連させて調節する作業プログラムが記憶
されている。なお、作業プログラムは密度調整のために
第1、第2の流量弁11,12の開度が調節されても、
放電加工槽2における加工液量に変動がないように作成
される。
The RAM also reads the output of the pollution degree sensor 13 at predetermined intervals and converts the output into a fine particle density,
Further, a work program for comparing the density set by the setter 6 and adjusting the opening degrees of the first flow valve 11 and the second flow valve 12 based on the result is stored. In addition, even if the opening degree of the first and second flow valves 11 and 12 is adjusted to adjust the density, the work program
It is created so that the amount of machining liquid in the electric discharge machining tank 2 does not change.

【0019】フィルターFaは、カートリッジ式の紙フ
ィルタで5ミクロン以上の粒子が捕捉される。加工液に
おける微粒子の密度および粒度分布は次のように調整さ
れる。まず、加工精度のレベルに対応した微粒子密度
が、設定器6から設定される。
The filter Fa is a cartridge type paper filter for trapping particles of 5 microns or more. The density and particle size distribution of the fine particles in the working liquid are adjusted as follows. First, the fine particle density corresponding to the level of processing accuracy is set by the setting device 6.

【0020】放電加工装置1が稼働され、放電加工と共
に加工液が循環される。すなわち、放電加工槽2の加工
液は戻り経路7を通って汚濁液槽3に導かれ、汚濁液槽
3からは一部がポンプPaによって第1供給路9を経由
してそのまま放電加工槽2に導かれ、他はポンプPbに
よってフィルター経路8を経由して清浄液槽4に集めら
れた後、ポンプPcによって第2供給経路10を経由
し、放電加工槽2に導かれる。清浄液槽2の加工液は、
フィルターFaによって5ミクロン以上の過大な寸法の
粒子が除去され、また、フィルターFaの目詰まりによ
って5ミクロン以下の粒子もその一部が除去されるた
め、微粒子の密度が低くなっている。
The electric discharge machine 1 is operated and the machining liquid is circulated along with the electric discharge machining. That is, the machining liquid in the electric discharge machining tank 2 is guided to the pollutant liquid tank 3 through the return path 7, and a part of the pollutant liquid tank 3 is directly pumped by the pump Pa via the first supply path 9 to the electric discharge machining tank 2 as it is. After being collected in the clean liquid tank 4 by the pump Pb via the filter path 8, the others are guided by the pump Pc to the electric discharge machining tank 2 via the second supply path 10. The processing liquid in the cleaning liquid tank 2 is
Since the filter Fa removes particles having an excessive size of 5 microns or more, and the clogging of the filter Fa also removes a part of the particles having a size of 5 microns or less, the density of fine particles is low.

【0021】放電加工槽2の加工液中には放電加工の進
行によって加工屑、熱分解炭素などの微粒子が増加す
る。汚濁度センサー13が計測する放電加工槽2の加工
液における微粒子の密度が設定値より大きくなると、制
御装置5は第1供給経路9の流量調節弁11の開度を小
さくし、その分、第2供給経路10の流量調節弁12の
開度を大きくする。これにより、清浄液の供給量が増
し、密度が下げられる。密度を高くする場合は、逆に流
量調節弁12の開度を小さくし、その分、流量調節弁1
1の開度を大きくする。いずれの場合にも、放電加工槽
2に対する供給加工液の全体量は一定である。放電加工
によって発生した加工屑、熱分解炭素などの微粒子は、
第1供給経路と第2供給経路10の供給加工液量の比率
に従い、その一定の割合がフィルターFaによって除去
されるので、放電加工槽2における微粒子の密度が定ま
る。
Particles such as machining scraps and pyrolytic carbon increase in the machining fluid of the electric discharge machining tank 2 as the electric discharge machining progresses. When the density of fine particles in the machining fluid of the electric discharge machining tank 2 measured by the pollution sensor 13 becomes higher than the set value, the control device 5 reduces the opening degree of the flow rate control valve 11 of the first supply path 9, and accordingly, 2 The opening degree of the flow control valve 12 of the supply path 10 is increased. As a result, the supply amount of the cleaning liquid is increased and the density is lowered. On the contrary, when the density is increased, the opening degree of the flow rate control valve 12 is reduced, and the flow rate control valve 1 is correspondingly reduced.
Increase the opening of 1. In any case, the total amount of the machining fluid supplied to the electric discharge machining tank 2 is constant. Fine particles such as machining scraps and pyrolytic carbon generated by electric discharge machining
According to the ratio of the amount of processing liquid supplied to the first supply path and the second supply path 10, a certain ratio is removed by the filter Fa, so that the density of fine particles in the electric discharge machining tank 2 is determined.

【0022】このようにして、加工液の密度および粒度
分布が調整される。すなわち、汚濁度センサー13は加
工液における微粒子密度の計測手段であり、設定器6お
よび汚濁度センサー13を付属した制御装置5、制御装
置5によって制御される流量調節弁11を備えた第1供
給経路9、フィルター経路8および制御装置5によって
制御される流量調節弁12を備えた第2供給経路10
は、加工液中に分散する固体微粒子または液体微粒子の
計測された密度に基づき制御されて前記の微粒子を除去
するフィルタ装置を備えた密度制御手段であり、また、
フィルター経路8を備えた前記の加工液循環経路は、微
粒子の粒度分布制御手段となるものである。
In this way, the density and particle size distribution of the working fluid are adjusted. That is, the pollution sensor 13 is a means for measuring the density of fine particles in the working liquid, and is provided with the controller 5 having the setting device 6 and the pollution sensor 13 attached thereto, and the flow rate control valve 11 controlled by the controller 5. Second supply line 10 with line 9, filter line 8 and flow control valve 12 controlled by controller 5.
Is a density control means provided with a filter device for removing the fine particles by controlling based on the measured density of solid fine particles or liquid fine particles dispersed in the working liquid,
The processing liquid circulation path provided with the filter path 8 serves as a particle size distribution control means for fine particles.

【0023】なお、タール状の粘い油粒などの微粒子
は、熱分解炭素(煤)と同様にフィルターFaで漉しと
られる。水などのエマルジョンには静電フィルター(金
網を2枚以上触らないように重ね、金網どうしの間に1
0〜100V程度の直流電圧をかけた構造のもの)を利
用する。水エマルジョンは微量であれば、親水性の紙フ
ィルターに吸着されて除去される。以上の構成により、
放電加工槽2の加工液における微粒子密度は、常に設定
値に近似するようにフィードバック制御されているの
で、放電環境が正常に維持され、異常放電や被加工物と
工具電極、被加工物とワイヤ電極との短絡が生じにくく
なる。
Fine particles such as tar-like viscous oil particles are strained by the filter Fa like the pyrolytic carbon (soot). For an emulsion such as water, use an electrostatic filter.
A structure having a DC voltage of about 0 to 100 V) is used. A small amount of water emulsion is adsorbed and removed by a hydrophilic paper filter. With the above configuration,
Since the density of fine particles in the machining fluid in the electric discharge machining tank 2 is always feedback-controlled so as to be close to the set value, the electric discharge environment is normally maintained, and abnormal electric discharge, the work piece and the tool electrode, the work piece and the wire. A short circuit with the electrode is less likely to occur.

【0024】図2は、第2の実施例に関する。第1の実
施例と同様に、放電加工装置1は放電加工槽2、汚濁液
槽3、清浄液槽4、制御装置5、設定器6、汚濁度セン
サー13、戻り経路7、第1の供給経路9、第2の供給
経路10を備え、第1、第2の供給経路9,10には制
御装置5によって制御される第1の流量調節弁11と第
2の流量調節弁12が設けられている。
FIG. 2 relates to the second embodiment. Similar to the first embodiment, the electric discharge machining apparatus 1 includes an electric discharge machining tank 2, a pollution liquid tank 3, a cleaning liquid tank 4, a controller 5, a setting device 6, a pollution degree sensor 13, a return path 7, and a first supply. A path 9 and a second supply path 10 are provided, and a first flow rate control valve 11 and a second flow rate control valve 12 controlled by the controller 5 are provided in the first and second supply paths 9 and 10. ing.

【0025】しかし、第2の実施例において、汚濁液槽
3と清浄液槽4との間には粗濾過液槽14が配置され、
粗濾過液槽14はポンプPdを介した第1のフィルター
経路8aで汚濁液槽3に接続されると共に、ポンプPb
を介した第2のフィルター経路8aで清浄液槽4に接続
されている。第1のフイルター経路8bにおけるフィル
ターFbはおよそ10ミクロン以上の粒子を捕捉できる
目の粗いフィルターであり、第2のフィルター経路8a
におけるフィルターFaは、5ミクロン以上の粒子を捕
捉するフィルターである。また、この実施例において
は、ポンプPaを介した第1の供給経路9が粗濾過液槽
14に接続されている。
However, in the second embodiment, the coarse filtrate tank 14 is arranged between the polluted liquid tank 3 and the clean liquid tank 4.
The coarse filtrate tank 14 is connected to the pollutant tank 3 via the first filter path 8a via the pump Pd and the pump Pb.
It is connected to the clean liquid tank 4 by the second filter path 8a via the. The filter Fb in the first filter path 8b is a coarse filter capable of trapping particles of about 10 microns or more, and the second filter path 8a.
The filter Fa in is a filter that traps particles of 5 microns or more. In addition, in this embodiment, the first supply path 9 via the pump Pa is connected to the coarse filtrate tank 14.

【0026】放電加工装置1が稼働されると、第1実施
例と同様に加工液が循環され、放電加工槽2には、第1
の供給経路9と第2の供給経路10によって、粒度10
ミクロン以上の微粒子が除去された粗濾過液と粒度5ミ
クロン以上の微粒子が除去された清浄液が戻される。こ
の粗濾過液には粒度10ミクロン以下の微粒子が含まれ
ているため、加工液循環量に対する粗濾過液の流量の比
率を大きくすると放電加工槽2の中の加工液に含まれる
粒度10ミクロン以下の微粒子の密度が大きくなる。一
方、第2のフィルター経路8aにおいてフィルターFa
は、その目詰まりによって、粒度5ミクロン以下の微粒
子も一部除去するので、加工液循環量に対する清浄液の
流量の比率を大きくすると、放電加工槽2の中の加工液
に含まれる粒度10ミクロン以下の微粒子の密度が小さ
くなる。そして、第1実施例の密度制御手段の場合と同
様に、流量調節バルブ11,12の開度が制御装置5に
よって調整され、放電加工槽2の加工液における微粒子
の密度が設定値となるよう制御される。この場合、全て
の加工液が第1のフィルター経路8bを経由して循環す
るので、放電加工槽2に供給される加工液から10ミク
ロン以上の過大な粒子が全て除去される。すなわち、第
1のフィルター経路8bは、粒度分布制御手段の一部を
構成する。
When the electric discharge machining apparatus 1 is operated, the machining liquid is circulated in the same manner as in the first embodiment, and the electric discharge machining tank 2 is provided with the first machining fluid.
And the second supply path 10 of the particle size 10
The coarse filtrate from which fine particles of micron or more have been removed and the cleaning liquid from which fine particles of 5 micron or more have been removed are returned. Since this coarse filtrate contains fine particles having a particle size of 10 microns or less, if the ratio of the flow rate of the coarse filtrate to the circulating amount of the machining liquid is increased, the particle size contained in the machining liquid in the electric discharge machining tank 2 is 10 microns or less. The density of the fine particles is increased. On the other hand, in the second filter path 8a, the filter Fa
Since some of the fine particles having a particle size of 5 microns or less are removed due to the clogging, when the ratio of the flow rate of the cleaning liquid to the circulating amount of the machining liquid is increased, the particle size of 10 microns included in the machining liquid in the electric discharge machining tank 2 is increased. The density of the following fine particles is reduced. Then, similarly to the case of the density control means of the first embodiment, the openings of the flow rate adjusting valves 11 and 12 are adjusted by the control device 5 so that the density of fine particles in the machining fluid in the electric discharge machining tank 2 becomes a set value. Controlled. In this case, since all the working fluid circulates via the first filter path 8b, all the excessive particles of 10 microns or more are removed from the working fluid supplied to the electric discharge machining tank 2. That is, the first filter path 8b constitutes a part of the particle size distribution control means.

【0027】第2実施例では、放電加工槽2の加工液に
おける過大な寸法の粒子は放電加工によってその場で発
生するものだけで、極めて少なくなり、正常放電のため
の環境がより精密に整えられる。
In the second embodiment, the oversized particles in the machining fluid in the electric discharge machining tank 2 are generated only on the spot by electric discharge machining, and are extremely small, so that the environment for normal electric discharge can be adjusted more precisely. To be

【0028】図3は、第3の実施例に関する。第1実施
例と同様に、放電加工装置1は放電加工槽2、汚濁液槽
3、清浄液槽4、制御装置5、設定器6、清浄液槽4に
配置された汚濁度センサー13、戻り経路7およびポン
プPbおよびフィルターFaを介して汚濁液槽3と清浄
液槽4を接続するフィルター経路8を備えるが、第1の
供給経路9に相当する経路はなく、ポンプPcを介して
清浄液槽4を放電加工槽2に接続する第2の供給経路1
0だけを備える。
FIG. 3 relates to the third embodiment. Similar to the first embodiment, the electric discharge machining apparatus 1 includes an electric discharge machining tank 2, a pollution liquid tank 3, a cleaning liquid tank 4, a controller 5, a setting device 6, a pollution degree sensor 13 arranged in the cleaning liquid tank 4, and a return. Although the filter path 8 is provided to connect the polluted liquid tank 3 and the cleaning liquid tank 4 via the path 7, the pump Pb, and the filter Fa, there is no path corresponding to the first supply path 9, and the cleaning liquid is supplied via the pump Pc. Second supply path 1 connecting the tank 4 to the electric discharge machining tank 2
Only have 0s.

【0029】そして、清浄液槽4の上部に添加用微粒子
を収納したホッパー15と清浄液槽4内に攪拌翼16を
配置した攪拌装置17を備えている。ホッパー15は排
出口に流量調節弁18を備え、これの開度は制御装置5
に制御される。制御装置5には汚濁度センサー13の出
力を微粒子の密度に換算し、これと設定器6によって設
定された密度値を比較し、設定値が低い場合にホッパー
15の流量調節弁18を開いて収納された微粒子を所定
量供給し、測定密度を設定値とするように制御するプロ
グラムが組まれている。すなわち、添加用微粒子を収納
したホッパー15、流量調節弁18およびその開度を調
節する制御装置5は、微粒子添加手段を構成している。
A hopper 15 for accommodating fine particles for addition is provided above the clean liquid tank 4, and a stirring device 17 having a stirring blade 16 arranged in the clean liquid tank 4. The hopper 15 is provided with a flow rate control valve 18 at the discharge port, and the opening degree of the hopper 15 is controlled by the controller
Controlled by. The controller 5 converts the output of the pollution sensor 13 into the density of fine particles, compares this with the density value set by the setter 6, and opens the flow rate control valve 18 of the hopper 15 when the set value is low. A program for supplying a predetermined amount of the stored fine particles and controlling the measured density to be a set value is incorporated. That is, the hopper 15, which stores the fine particles for addition, the flow rate control valve 18, and the control device 5 which adjusts the opening degree thereof, constitute fine particle addition means.

【0030】フィルターFaは、5ミクロン以上の粒子
を捕捉するもので、ホッパーに収納される添加用の微粒
子は1〜5ミクロンのアルミナ粉、シリコン粉あるいは
グラファイト粉などである。
The filter Fa captures particles having a size of 5 microns or more, and the additive particles contained in the hopper are alumina powder, silicon powder or graphite powder having a particle size of 1 to 5 microns.

【0031】放電加工装置1が稼働されると、加工液は
放電加工槽2から戻り経路7、汚濁液槽3、フィルター
経路8、清浄液槽4および供給経路10を経てポンプP
b、Pcにより循環する。
When the electric discharge machining apparatus 1 is operated, the machining liquid is pumped from the electric discharge machining tank 2 through the return path 7, the contaminated liquid tank 3, the filter path 8, the cleaning liquid tank 4 and the supply path 10.
It circulates by b and Pc.

【0032】通常、加工液は正常な放電を維持する上で
必要な微粒子密度を維持して循環しているが、仕上げ加
工や精密加工では発生する微粒子の量が少なかったり、
あるいは荒加工などで発生する微粒子の粒度が大きくほ
とんどがフィルターに捕捉されてしまうことがある。さ
らに、フィルターの目詰まりが進行して微粒子を必要以
上に除去してしまうことがある。このような場合に、制
御装置5が加工液における密度の低下を汚濁度センサー
13の計測値から判断して、ホッパー15の流量調節弁
18を開き、内部の微粒子を放電加工槽2の加工液に供
給する。供給された微粒子は攪拌装置17により均一に
分散される。
Normally, the working fluid circulates while maintaining the fine particle density necessary for maintaining normal discharge, but the amount of fine particles generated in finishing or precision machining is small,
Alternatively, the particle size of the fine particles generated by rough processing may be large and almost all may be captured by the filter. Further, the filter may be clogged to remove the fine particles more than necessary. In such a case, the control device 5 determines the decrease in the density of the machining fluid from the measured value of the pollution sensor 13, opens the flow rate control valve 18 of the hopper 15, and removes the fine particles inside the machining fluid of the electric discharge machining tank 2. Supply to. The supplied fine particles are uniformly dispersed by the stirrer 17.

【0033】以上によって、放電加工槽2の加工液にお
ける微粒子密度が調整され、また、フィルターFaとホ
ッパー15から供給される微粒子の粒度によって、粒度
分布が定められる。この意味で前記の微粒子添加手段は
粒度分布制御手段の一部を構成する。
As described above, the particle density of the machining liquid in the electric discharge machining tank 2 is adjusted, and the particle size distribution is determined by the particle size of the particles supplied from the filter Fa and the hopper 15. In this sense, the fine particle adding means constitutes a part of the particle size distribution controlling means.

【0034】なお、第1〜第3の実施例において、設定
器6から設定する密度やフィルターFa、Fbによって
捕捉される微粒子の粒度などは、加工精度のレベルや被
加工物の素材によって異なり、それぞれに適切な値が選
定される。
In the first to third embodiments, the density set by the setting device 6 and the particle size of the fine particles captured by the filters Fa and Fb differ depending on the level of processing accuracy and the material of the workpiece. Appropriate values are selected for each.

【0035】以上は実施例であって、本願発明は図示さ
れた具体的構成に限定されない。例えば、第2の実施例
において、汚濁液槽3から放電加工槽2へ第3の流量調
節弁を介して直接供給される第3の供給経路を設け、密
度調整や粒度分布の調整をより細かに行うことも考えら
れる。粒度分布制御手段はフィルター経路8中に組み込
まれた遠心分離機や吸着器あるいはフィルターとこれら
の組合わせで構成することもできる。
The above is an embodiment, and the present invention is not limited to the illustrated specific configuration. For example, in the second embodiment, a third supply path that is directly supplied from the polluted liquid tank 3 to the electric discharge machining tank 2 via the third flow rate control valve is provided to make the density adjustment and particle size distribution adjustment more fine. It is also possible to do it. The particle size distribution control means may be composed of a centrifugal separator, an adsorber or a filter incorporated in the filter path 8 and a combination thereof.

【0036】さらに、第1実施例において、戻り経路7
にも制御装置5によって制御される流量調節弁を設け、
この弁の開度と第1、第2の供給経路における流量調節
弁11,12の開度を調整することで、供給量の総量を
調整し、密度および粒度分布を調節することもできる。
Further, in the first embodiment, the return path 7
Also provided with a flow rate control valve controlled by the control device 5,
By adjusting the opening degree of this valve and the opening degrees of the flow rate adjusting valves 11 and 12 in the first and second supply paths, it is possible to adjust the total amount of supply and adjust the density and particle size distribution.

【0037】[0037]

【発明の効果】放電加工装置において、被加工物と工具
電極間に正常放電が維持され、荒加工においても、精密
加工においても、加工能率が良く、また、加工面の綺麗
な放電加工を実施できる。
[Effects of the Invention] In the electric discharge machine, the normal electric discharge is maintained between the work piece and the tool electrode, and the machining efficiency is good in rough machining and precision machining. it can.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】加工液の循環系を示す機構図(第1実施例)。FIG. 1 is a mechanism diagram showing a circulating system of a working fluid (first embodiment).

【図2】加工液の循環系を示す機構図(第2実施例)。FIG. 2 is a mechanism diagram showing a working fluid circulation system (second embodiment).

【図3】加工液の循環系を示す機構図(第3実施例)。FIG. 3 is a mechanism diagram showing a working fluid circulation system (third embodiment).

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 放電加工装置 2 放電加工
槽 3 汚濁液槽 4 清浄液槽 5 制御装置 6 設定器 7 戻り経路 8 フィルタ
ー経路 9 第1の供給経路 10 第2の供
給経路 11 第1の流量調節弁 12 第2の
流量調節弁 13 汚濁度センサー 14 粗濾過
液槽 15 ホッパー 16 攪拌翼 17 攪拌装置 18 流量調
節弁
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Electric discharge machine 2 Electric discharge tank 3 Contaminated liquid tank 4 Clean liquid tank 5 Control device 6 Setting device 7 Return path 8 Filter path 9 First supply path 10 Second supply path 11 First flow control valve 12 Second Flow control valve 13 Pollution sensor 14 Coarse filtrate tank 15 Hopper 16 Stirring blade 17 Stirrer 18 Flow control valve

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山口 浩次 山梨県南都留郡忍野村忍草字古馬場3580番 地 ファナック株式会社内 (72)発明者 尾高 俊一 山梨県南都留郡忍野村忍草字古馬場3580番 地 ファナック株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Koji Yamaguchi 3580 Koshinoba, Oshinomura, Minamitsuru-gun, Yamanashi Prefecture FANUC CORPORATION (72) Inventor Shunichi Otaka 3580 Kobaba, Oshinomura, Minamitsuru-gun, Yamanashi Prefecture Local FANUC Co., Ltd.

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 加工液体中で微小な間隙を隔てて対向さ
せた工具電極と被加工物の間に電圧を印加して放電を発
生させ、被加工物の材料を除去加工する装置であって、
工具電極と被加工物の間の間隙を満たす加工液中に分散
する固体微粒子または液体微粒子を正常放電時の密度に
維持する密度制御手段を備えたことを特徴とする放電加
工装置。
1. An apparatus for removing a material of a work piece by applying a voltage between a tool electrode and a work piece, which are opposed to each other with a minute gap in the working liquid, to generate a discharge. ,
An electric discharge machining apparatus comprising a density control means for maintaining the density of solid fine particles or liquid fine particles dispersed in a working liquid that fills a gap between a tool electrode and a work piece at a normal discharge.
【請求項2】 密度制御手段に加え、加工液中に分散す
る固体微粒子または液体微粒子の粒度分布を調整する粒
度分布制御手段を備えた請求項1に記載の放電加工装
置。
2. The electric discharge machining apparatus according to claim 1, further comprising a particle size distribution control unit for adjusting a particle size distribution of solid fine particles or liquid fine particles dispersed in the working liquid, in addition to the density control unit.
【請求項3】 密度制御手段が、加工液中に分散する固
体微粒子または液体微粒子の計測された密度に基づき制
御されて前記の微粒子を除去するフィルタ装置を備える
ことを特徴とした請求項1または請求項2に記載の放電
加工装置。
3. The density control means comprises a filter device which is controlled based on the measured density of solid fine particles or liquid fine particles dispersed in the working liquid to remove the fine particles. The electric discharge machine according to claim 2.
【請求項4】 密度制御手段が、あらかじめ用意した微
粒子を加工液中に添加分散させる微粒子添加手段を備え
たことを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか一つ
に記載した放電加工装置。
4. The electric discharge machining according to claim 1, wherein the density control means includes a fine particle addition means for adding and dispersing fine particles prepared in advance in the working liquid. apparatus.
【請求項5】 微粒子添加手段が、加工液中に分散する
固体微粒子または液体微粒子の計測された密度に基づい
て微粒子の添加量を増減させるものであることを特徴と
した請求項1〜請求項4のいずれか一つに記載の放電加
工装置。
5. The fine particle adding means increases or decreases the addition amount of the fine particles based on the measured density of the solid fine particles or the liquid fine particles dispersed in the working liquid. 4. The electric discharge machine described in any one of 4.
【請求項6】 密度制御手段および/または粒度分布制
御手段が、加工精度レベルの違いに対応して、加工液中
に分散する固体微粒子または液体微粒子の密度あるいは
これら微粒子の粒度分布の設定を変更できるものである
ことを特徴とした請求項1〜請求項5のいずれか一つに
記載の放電加工装置。
6. The density control means and / or the particle size distribution control means changes the density of solid fine particles or liquid fine particles dispersed in the working liquid or the setting of the particle size distribution of these fine particles in response to the difference in the processing accuracy level. The electric discharge machining apparatus according to any one of claims 1 to 5, which is capable of being formed.
JP26801792A 1992-09-10 1992-09-10 Electric discharge machine Pending JPH0691431A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP26801792A JPH0691431A (en) 1992-09-10 1992-09-10 Electric discharge machine

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP26801792A JPH0691431A (en) 1992-09-10 1992-09-10 Electric discharge machine

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0691431A true JPH0691431A (en) 1994-04-05

Family

ID=17452743

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP26801792A Pending JPH0691431A (en) 1992-09-10 1992-09-10 Electric discharge machine

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0691431A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019164605A1 (en) * 2018-02-23 2019-08-29 General Electric Company Methods and systems for electrochemical machining

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019164605A1 (en) * 2018-02-23 2019-08-29 General Electric Company Methods and systems for electrochemical machining

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE60218349T2 (en) METHOD AND DEVICE FOR ABRASIVE RECYCLING AND WASTE CUTTING SYSTEM
KR960703809A (en) METHOD AND APPARATUS FOR RECLAIMING USED WORKING FLUID
US4375588A (en) Process and apparatus for controlling the concentration of solid particles in suspension in an EDM machining fluid
JPH0691431A (en) Electric discharge machine
JP3197053U (en) Liquid replenishment device and coolant regeneration device provided with the same
JPH0239285B2 (en)
JPH0818188B2 (en) Processing liquid supply device and processing liquid supply method
US5189276A (en) Method and apparatus for treating the dielectric used in electrical discharge machining
US5028319A (en) Apparatus for the preparation of machining liquid for an electroerosion machine
DE69915664T2 (en) CONTROL OF THE FEED OF A FILTER
JP2001310236A (en) Purifying/recovering device of coolant
DE60036506T2 (en) Electrolytic in process dressing device
JPH11197946A (en) Abrasive grain flow electrolytic polishing method and its working device
CA3040020A1 (en) Device for treating an effluent and method for treating an effluent
JPH1133913A (en) Circulating device for abrasive grain of wire saw
US20020079213A1 (en) Device for the purification of machining liquids for electroerosion machines
US11618698B2 (en) Waste fluid treatment apparatus and processing water regeneration system
NL8001806A (en) METHOD AND APPARATUS FOR CONTROLLING THE DISPOSITION OF SOLIDS IN LIQUID.
EP0442119A2 (en) Method and apparatus for treating the dielectric used in electrical discharge machining
DE19847229A1 (en) Mineral separation process
JPH01307416A (en) Continuous filtration device
DE3105135A1 (en) Device for electro-erosive processing
KR20230158541A (en) Process fluid handling devices and methods
JP2002166192A (en) Method for cleaning treatment of aqueous liquid for processing metal
JP3434648B2 (en) How to determine EDM