JPH0687841U - Calibration device for pressure measurement sensor - Google Patents
Calibration device for pressure measurement sensorInfo
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- JPH0687841U JPH0687841U JP3007793U JP3007793U JPH0687841U JP H0687841 U JPH0687841 U JP H0687841U JP 3007793 U JP3007793 U JP 3007793U JP 3007793 U JP3007793 U JP 3007793U JP H0687841 U JPH0687841 U JP H0687841U
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 予め、想定される計測箇所の所定温度におけ
る圧力計測センサの温度ドリフトを計測しておくことが
可能な圧力計測センサ用較正装置を提供することを目的
とする。
【構成】 内部の気密性及び断熱性が保持されているボ
ックス状の装置本体１の外壁に、圧力計測センサを着脱
自在に装着することが可能なセンサ装着部１ａ…が複数
設けられている。また、装置本体１には、温度コントロ
ーラ４の制御により装置本体内部１ｃを所定温度に加熱
保持するヒータ部３が設けられている。また、装置本体
内部１ｃが所定圧力状態とするガス供給排気部Ｓと、装
置本体内部１ｃの圧力を絶対圧力値で測定する圧力測定
部９と、装置本体内部１ｃの温度を測定する温度測定部
６も備えられている。
(57) [Abstract] [Purpose] An object of the present invention is to provide a calibration device for a pressure measurement sensor capable of measuring temperature drift of the pressure measurement sensor at a predetermined temperature of an assumed measurement location in advance. [Structure] A plurality of sensor mounting portions 1a, to which a pressure measuring sensor can be detachably mounted, are provided on an outer wall of a box-shaped device body 1 in which the internal airtightness and heat insulation are maintained. Further, the apparatus body 1 is provided with a heater section 3 for heating and maintaining the inside 1c of the apparatus body at a predetermined temperature under the control of the temperature controller 4. Further, a gas supply / exhaust section S for keeping the inside of the apparatus main body 1c at a predetermined pressure state, a pressure measuring section 9 for measuring the pressure inside the apparatus main body 1c by an absolute pressure value, and a temperature measuring section for measuring the temperature inside the apparatus main body 1c. 6 is also provided.
Description
【０００１】[0001]
この考案は、圧力計測センサ用較正装置に関し、例えば、ジェットエンジンの 多段式軸流ファン圧縮機内部等における高温度状態での非定常圧力計測に使用さ れる圧力センサの温度較正に好適な装置である。 The present invention relates to a pressure measuring sensor calibration device, for example, a device suitable for temperature calibration of a pressure sensor used for unsteady pressure measurement in a high temperature state inside a multi-stage axial fan compressor of a jet engine. is there.
【０００２】[0002]
ジェットエンジンにおいて、多段式軸流ファン圧縮機内の翼間の空気流の非定 常の圧力及び方向の分布計測を行う際には、計測センサとして空気流内部に複数 の圧力トランスデューサが配設されている。この圧力トランスデューサは、空気 流内部において計測した圧力値を電気信号として計測器本体に出力するものであ る。 In jet engines, when measuring the irregular pressure and direction distribution of air flow between blades in a multi-stage axial fan compressor, multiple pressure transducers are installed inside the air flow as measurement sensors. There is. This pressure transducer outputs the pressure value measured inside the air flow to the measuring instrument body as an electric signal.
【０００３】[0003]
ファン圧縮機内の翼間の空気流は１００〜２００℃程度の高温状態となるが、 空気温度が１００℃以上になると、圧力トランスデューサ自体に温度ドリフトが 発生し、実際の圧力値と異なる計測データを示してしまう。従って、圧力変動を 正確に計測するためには、圧力トランスデューサの較正が必要となるが、これま では較正装置がないため、圧力変動を高い精度で計測することが容易ではなかっ た。 The air flow between the blades in the fan compressor reaches a high temperature of about 100 to 200 ° C, but when the air temperature rises above 100 ° C, temperature drift occurs in the pressure transducer itself, and measurement data that differs from the actual pressure value may be obtained. I will show you. Therefore, it is necessary to calibrate the pressure transducer in order to measure the pressure fluctuation accurately, but it has not been easy to measure the pressure fluctuation with high accuracy because there is no calibration device.
【０００４】 本考案は斯る問題点に鑑みてなされたものであり、その課題とするところは、 予め、計測箇所の想定される所定温度における圧力計測センサの温度ドリフトを 計測しておくことが可能な圧力計測センサ用較正装置を提供することを目的とす る。The present invention has been made in view of such problems, and the problem is that the temperature drift of the pressure measurement sensor at a predetermined temperature assumed at the measurement location is measured in advance. An object of the present invention is to provide a calibration device for a pressure measurement sensor that can be used.
【０００５】[0005]
本考案の圧力計測センサ用較正装置は、内部の気密性及び断熱性が保持されて いるボックス状の装置本体と、装置本体の外壁に複数設けられて圧力計測センサ が装置本体内部に着脱自在に装着されるセンサ装着部と、温度コントローラの制 御により装置本体内部を所定温度に加熱保持するヒータ部と、装置本体内部が所 定圧力状態となるように雰囲気ガスを供給若しくは排気させるガス供給排気部と 、装置本体内部の圧力を絶対圧力値として測定する圧力測定部と、装置本体内部 の温度を測定する温度測定部とを備えたことを特徴とする装置である。 The calibration device for a pressure measurement sensor of the present invention has a box-shaped device body in which airtightness and heat insulation inside are maintained, and a plurality of pressure measurement sensors are provided on the outer wall of the device body so that the pressure measurement sensor can be detachably attached inside the device body. A sensor mounting part to be mounted, a heater part that heats and keeps the inside of the main body of the device at a predetermined temperature by controlling the temperature controller, and a gas supply / exhaust that supplies or exhausts atmospheric gas so that the inside of the main body of the device has a predetermined pressure state. The apparatus is characterized by including a section, a pressure measuring section that measures the pressure inside the apparatus body as an absolute pressure value, and a temperature measuring section that measures the temperature inside the apparatus body.
【０００６】[0006]
本考案の圧力計測センサ用較正装置によれば、ガスの供給排気と、温度コント ローラの制御によるヒータ部の加熱作動により、気密性及び断熱性が保持されて いる装置本体内部を所定温度、所定圧力状態に設定しておき、圧力測定部におい て、装置本体内部の絶対圧力値と、圧力計測センサの絶対圧力値とを比較検討す るだけで、圧力計測センサの温度ドリフトを適確に把握することができる。 それにより、圧力計測センサの温度補正を確実に行うことができ、高温度状態 となる計測箇所でも高精度の圧力計測を行うことが可能となる。 According to the calibration device for a pressure measuring sensor of the present invention, the gas supply / exhaust and the heating operation of the heater part by the control of the temperature controller cause the inside of the device body, which is kept airtight and heat insulating, to have a predetermined temperature and a predetermined temperature. Precisely grasp the temperature drift of the pressure measurement sensor only by setting the pressure state and then comparing and examining the absolute pressure value inside the device main body and the absolute pressure value of the pressure measurement sensor in the pressure measurement section. can do. Thereby, the temperature of the pressure measurement sensor can be surely corrected, and the pressure measurement can be performed with high accuracy even at a measurement location in a high temperature state.
【０００７】[0007]
以下、本考案の圧力計測センサ用較正装置の一実施例について図を参照して詳 細に説明する。ただし、本実施例に記載されている構成部品の寸法、材質、形状 、その相対配置等は、特別な記載がない限りは、この考案の範囲をそれらのみに 限定する趣旨のものではなく、単なる説明例にすぎない。 An embodiment of the pressure measuring sensor calibration device of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings. However, the dimensions, materials, shapes, relative positions, etc. of the constituent parts described in this embodiment are not intended to limit the scope of the present invention to them only, unless otherwise specified. It's just an example.
【０００８】 図中符号１は、架台２上に載置されている装置本体である。この装置本体１は 、外部への気密性が保持されているボックス構造体として形成されている。そし て、この装置本体の外壁には、複数の圧力トランスデューサ（以下、圧力計測セ ンサと略称する。）が装置本体内部１ｃに向けて着脱自在に装着される複数のセ ンサ取付け孔１ａ…が、設けられている。また、この装置本体１の内壁には、全 域に断熱材１ｂが貼設されている。そして、装置本体内部１ｃには、装置本体内 部を加熱するカートリッジヒータ（ヒータ部）３が複数本配設されている。Reference numeral 1 in the figure denotes an apparatus main body placed on a gantry 2. The device body 1 is formed as a box structure that is kept airtight to the outside. Then, on the outer wall of the device body, there are provided a plurality of sensor mounting holes 1a ... In which a plurality of pressure transducers (hereinafter, abbreviated as pressure measurement sensors) are detachably mounted toward the inside 1c of the device body. , Provided. Further, on the inner wall of the device body 1, a heat insulating material 1b is attached over the entire area. A plurality of cartridge heaters (heater portions) 3 for heating the inside of the apparatus body are provided in the inside 1c of the apparatus body.
【０００９】 前記カートリッジヒータ３は、架台２の中段に設置された温度コントローラ４ と接続されており、この温度コントローラ４の制御により、装置本体内部１ｃは 所定温度（温度設定範囲は、室温〜約２００℃）に加熱保持されるようになって いる。なお、図中符号５は、アナログ圧力計であり、図中符号６は温度計（温度 測定部）である。そして、装置本体１に配設された熱電対７…は温度計６及び温 度コントローラ４と接続され、装置本体内部１ｃの温度が計測されるようになっ ている。The cartridge heater 3 is connected to a temperature controller 4 installed in the middle stage of the gantry 2. Under the control of the temperature controller 4, the inside 1 c of the apparatus main body has a predetermined temperature (the temperature setting range is from room temperature to about It is designed to be heated and held at 200 ℃. Reference numeral 5 in the drawing is an analog pressure gauge, and reference numeral 6 in the drawing is a thermometer (temperature measuring unit). The thermocouples 7 ... Arranged in the apparatus body 1 are connected to the thermometer 6 and the temperature controller 4, and the temperature inside the apparatus body 1c is measured.
【００１０】 また、装置本体１には、圧力設定装置（ガス供給排気部）Ｓから雰囲気ガスが 装置本体内部１ｃに供給され、若しくは、装置本体内部１ｃのガスを排出するこ とが可能なガス圧力設定装置用継手８が設けられている。なお、前記圧力設定装 置Ｓの圧力設定範囲は、０〜約２ｋｇｆ／ｃｍ2（絶対圧力値）である。Further, in the apparatus main body 1, an atmospheric gas is supplied from the pressure setting device (gas supply / exhaust section) S to the inside 1c of the apparatus main body, or a gas capable of discharging the gas inside the inside 1c of the apparatus main body. A pressure setting device joint 8 is provided. The pressure setting range of the pressure setting device S is 0 to about 2 kgf / cm 2 (absolute pressure value).
【００１１】 さらに、架台２の下段には、装置本体内部１ｃの正負圧力を絶対圧力値として 計測することが可能なディジタル式精密絶対圧力計（圧力測定部）９が配されて いる。すなわち、この絶対圧力計（圧力測定部）９には、一端側が装置本体内部 １ｃに接続された圧計測配線１０（図２）が接続されており、装置本体内部１ｃ の圧力が計測されるようになっている。なお、通常、各圧力計測センサの絶対圧 力値は、図示しない計測システムで計測することが可能となっている。Further, a digital precision absolute pressure gauge (pressure measuring unit) 9 capable of measuring the positive and negative pressures inside the apparatus main body 1c as an absolute pressure value is arranged below the gantry 2. That is, the absolute pressure gauge (pressure measuring unit) 9 is connected to the pressure measurement wiring 10 (FIG. 2) whose one end side is connected to the inside 1c of the apparatus body so that the pressure inside the inside 1c of the apparatus is measured. It has become. In addition, normally, the absolute pressure value of each pressure measurement sensor can be measured by a measurement system (not shown).
【００１２】 上記構成の圧力計測センサ用較正装置によれば、圧力設定装置Ｓと、温度コン トローラ４の制御によるカートリッジヒータ３の加熱動作により、装置本体内部 １ｃを所定温度、所定圧力状態に設定しておき、精密絶対圧力計９において、装 置本体内部１ｃの絶対圧力値を計測し、圧力計測センサの絶対圧力値を図示しな い圧力計測システムで比較検討することにより、圧力計測センサの温度ドリフト を適確に把握することができる。それにより、圧力計測センサの温度補正を確実 に行うことができ、高温度状態となる計測箇所でも高精度の圧力計測を行うこと が可能となる。According to the pressure measuring sensor calibration device having the above-described configuration, the pressure setting device S and the heating operation of the cartridge heater 3 under the control of the temperature controller 4 set the inside 1c of the device body to a predetermined temperature and a predetermined pressure state. In addition, by measuring the absolute pressure value inside the equipment main body 1c with the precision absolute pressure gauge 9 and comparing and examining the absolute pressure value of the pressure measurement sensor with a pressure measurement system (not shown), the pressure measurement sensor It is possible to accurately understand the temperature drift. As a result, the temperature of the pressure measuring sensor can be surely corrected, and the pressure can be measured with high accuracy even at a measurement point in a high temperature state.
【００１３】[0013]
以上説明したように、本考案の圧力計測センサ用較正装置は、ガス供給排気部 と、温度コントローラの制御によるヒータ部の加熱作動により、気密性及び断熱 性が保持されている装置本体内部を所定温度、所定圧力状態に設定しておき、装 置本体内部の絶対圧力値と、圧力計測センサの絶対圧力値とを比較検討すること により、圧力計測センサの温度ドリフトを適確に把握することができる。 As described above, the pressure measuring sensor calibrating device of the present invention is configured such that the gas supply / exhaust part and the heater part under the control of the temperature controller heat the inside of the device main body where the airtightness and heat insulation are maintained. The temperature drift of the pressure measurement sensor can be accurately grasped by setting the temperature and the predetermined pressure state and comparing and examining the absolute pressure value inside the device main body and the absolute pressure value of the pressure measurement sensor. it can.
【００１４】 したがって、本考案の圧力計測センサ用較正装置を使用することにより、圧力 計測センサの温度補正を確実に行うことができ、高温度状態となる計測箇所でも 高精度の圧力計測を行うことが可能となる。Therefore, by using the calibration device for a pressure measurement sensor of the present invention, the temperature of the pressure measurement sensor can be surely corrected, and the pressure measurement can be performed with high accuracy even at a measurement point in a high temperature state. Is possible.
【図１】本考案の圧力計測センサ用較正装置を示す正面
図である。FIG. 1 is a front view showing a calibration device for a pressure measurement sensor of the present invention.
【図２】本装置の側面図である。FIG. 2 is a side view of the device.
【図３】本装置の平面図である。FIG. 3 is a plan view of the device.
１ 装置本体 １ａ センサ取付け孔（センサ装着部） １ｂ 断熱材 １ｃ 装置本体の内部 ２ 架台 ３ カートリッジヒータ（ヒータ部） ４ 温度コントローラ ６ 温度計（温度測定部） ９ 精密絶対圧力計（圧力測定部） Ｓ 圧力設定装置（ガス供給排気部） 1 device body 1a sensor mounting hole (sensor mounting part) 1b heat insulating material 1c inside of device body 2 frame 3 cartridge heater (heater part) 4 temperature controller 6 thermometer (temperature measuring part) 9 precision absolute pressure gauge (pressure measuring part) S Pressure setting device (gas supply / exhaust part)
Claims (1)
るボックス状の装置本体と、 前記装置本体の外壁に複数設けられ、圧力計測センサが
装置本体内部に着脱自在に装着されるセンサ装着部と、 温度コントローラの制御により装置本体内部を所定温度
に加熱保持するヒータ部と、 装置本体内部が所定圧力状態となるように雰囲気ガスを
供給若しくは排気させるガス供給排気部と、 装置本体内部の圧力を絶対圧力値として測定する圧力測
定部と、 装置本体内部の温度を測定する温度測定部とを備えたこ
とを特徴とする圧力計測センサ用較正装置。1. A box-shaped device body having internal airtightness and heat insulation, and a plurality of sensor mountings provided on the outer wall of the device body, wherein pressure measurement sensors are detachably mounted inside the device body. Section, a heater section that heats and holds the inside of the main body of the device under control of a temperature controller, a gas supply / exhaust part that supplies or exhausts atmospheric gas so that the inside of the main body of the device is in a predetermined pressure state, and A calibration device for a pressure measurement sensor, comprising: a pressure measurement unit that measures pressure as an absolute pressure value; and a temperature measurement unit that measures the temperature inside the device body.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3007793U JPH0687841U (en) | 1993-06-04 | 1993-06-04 | Calibration device for pressure measurement sensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3007793U JPH0687841U (en) | 1993-06-04 | 1993-06-04 | Calibration device for pressure measurement sensor |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0687841U true JPH0687841U (en) | 1994-12-22 |
Family
ID=12293744
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3007793U Withdrawn JPH0687841U (en) | 1993-06-04 | 1993-06-04 | Calibration device for pressure measurement sensor |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0687841U (en) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1997036156A1 (en) * | 1996-03-28 | 1997-10-02 | Ami Co., Ltd. | Air pack type contact pressure measuring method |
| JP2010534323A (en) * | 2007-07-23 | 2010-11-04 | インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | Method for calibrating and operating a measurement cell structure |
| CN108279089A (en) * | 2018-02-09 | 2018-07-13 | 深圳市艾依康仪器仪表科技有限公司 | Constant temperature and pressure calibrating installation |
| KR20180094190A (en) * | 2017-02-14 | 2018-08-23 | 연세대학교 원주산학협력단 | Pressure sensor calibration management system |
| CN112710425A (en) * | 2020-12-18 | 2021-04-27 | 哈尔滨华云泰科传感技术有限公司 | Calibration system and calibration method for batch production of air pressure sensors |
-
1993
- 1993-06-04 JP JP3007793U patent/JPH0687841U/en not_active Withdrawn
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19971106 |