JPH0677301U - 同軸管結合器 - Google Patents
同軸管結合器Info
- Publication number
- JPH0677301U JPH0677301U JP2215093U JP2215093U JPH0677301U JP H0677301 U JPH0677301 U JP H0677301U JP 2215093 U JP2215093 U JP 2215093U JP 2215093 U JP2215093 U JP 2215093U JP H0677301 U JPH0677301 U JP H0677301U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coaxial tube
- inner conductor
- coaxial
- conductor
- tube coupler
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 大電力を使用する同軸管回路における同軸管
結合器の提供。 【構成】 同軸管の内導体２１，２２の内部に液状冷却
体を流通させるための貫通孔６が穿かれた一対の同軸管
結合器であって、内導体２１，２２の一方が他方の内導
体に挿入可能に構成され、その挿入の際Ｏリング３によ
り結合の気密を保ちかつ電気良導体である弾性体の線状
バネ４により電気的接続を保つことを特徴とする同軸管
結合器である。
結合器の提供。 【構成】 同軸管の内導体２１，２２の内部に液状冷却
体を流通させるための貫通孔６が穿かれた一対の同軸管
結合器であって、内導体２１，２２の一方が他方の内導
体に挿入可能に構成され、その挿入の際Ｏリング３によ
り結合の気密を保ちかつ電気良導体である弾性体の線状
バネ４により電気的接続を保つことを特徴とする同軸管
結合器である。
Description
【０００１】
本考案は、通信および工業用に使用する高周波大電力の同軸管回路における同 軸管結合器に関するものである。
【０００２】
同軸管回路の許容電力は、信号周波数、管内の定在波比、特性インピーダンス 、同軸管回路の寸法、充填ガスの種類、その圧力、内導体支持絶縁体の種類等に よって変化する。 同軸管の特性インピーダンスは一般に５０Ωが使用されるが、信号周波数は使 用目的から決定される。通信目的に使用する時には、負荷の定在波比が１．０５ 以内になるように調整されるが、特に高周波電力をプラズマ反応装置に使用する 際などでは、負荷の定在波比が１０程度にまで高くなり、同軸管回路内の電力損 失が過大になって、許容電力が低下する。この際、乾燥空気やＳＦ６（６弗化硫 黄）ガスを充填することによって、許容電力を数倍に向上させていた。
【０００３】
同軸管回路で数ＭＷの高周波大電力を、長時間プラズマ加熱などに使用すると 、ＳＦ６ガス充填を施しても、伝送回路内の高周波電力損失は、単位長当たり２ ｋＷ／ｍにも達する。特に内導体は、外導体に較べて断面積が小さいので、この 場合には内導体の温度上昇が３００℃以上の高温になる。 本考案は、上記従来の技術にかんがみ、高周波の使用電力の拡大に伴い、大電 力の同軸管回路における使用に耐える同軸管結合器を提供することを目的とする 。
【０００４】
本考案は、同軸管の内導体の内部に液状冷却体を流通させるための貫通孔が穿 かれた一対の同軸管結合器であって、内導体の一方が他方の内導体に挿入可能に 構成され、その挿入の際Ｏリングにより結合の気密を保ちかつ電気良導体の弾性 体により電気的接続を保つことを特徴とする同軸管結合器である。
【０００５】
本考案は、内導体の内部に貫通孔が穿かれその中に液状冷却体が流通するので 冷却効率が極めて高くなる。そして、Ｏリングによって内導体の結合気密が保れ るので液状冷却体の漏洩はなく、弾性体によって内導体間の電気的接触が良好に なる。
【０００６】
以下、実施例に基づき本考案を説明する。図１は実施例の同軸管結合器の断面 図であり、結合前の状態を示すものである。結合の際には、内導体２２が、内導 体２１に挿入され、同軸外管１１、１２上に設けられた孔１３、１４が当接し、 その孔をボルト等によって機械的に固定する。同軸外管１１、１２と内導体２１ 、２２との間には断面ドーナツ状の空間が形成され、その空間にはＳＦ６ガスが 充填されている。内導体２１、２２は孔明きの絶縁物である円盤５１、５２によ って同軸外管１１、１２にそれぞれ取り付けられている。ＳＦ６ガスは円盤５１ 、５２の孔を通過することができる。内導体２１、２２の内部には貫通孔６が穿 かれ、それに液状冷却体が充填され、液状冷却低は同軸管結合器を介して流通す ることができる。
【０００７】 一方の内導体２２の外周上の先端付近にはＯリング３が埋め込まれており、こ れによって内導体２１、２２の結合（内導体２１は受け側内導体であり、内導体 ２２は挿入側内導体である。）の際気密が保たれる。内導体２１の先端２３は、 他方の内導体２２の段部２４に当接するまで相互に挿入される。
【０００８】 内導体の電気的接触は、出来るだけ受け側の内導体２１の先端２３に近い部分 で行われるのがよいので、挿入側の内導体２２の外周に電気良導体である弾性体 の線状バネ４が埋め込まれており、それが内導体２１の先端部内側に当接して電 気的接触を良好にしている。
【０００９】 回路の最大定在波比が１０近くなり、伝送最大電力は３ＭＷにも達するので、 同軸外管内径は２２０ｍｍの５０Ωラインとし、本考案を実施したところ、内導 体の温度上昇は１０℃以下でおさまった。
【００１０】
本考案では、内外同軸管の空間にＳＦ６ガスを充填し、内導体内部に冷却用液 体として、純水を流して冷却することによって、３ＭＷの大電力に耐える同軸管 回路を実用化した。 特に同軸管内導体を冷却せず、ＳＦ６ガスの充填やその他の方法による冷却の みでは、内導体の上昇温度が３００℃程度に達する様な場合にも、本考案を実施 すれば１０℃以下でおさめることができた。
【図１】本考案の断面図。
【符号の説明】 ３ Ｏリング ４ 線状バネ ６ 貫通孔 １１、１２ 同軸外管 １３、１４ 孔 ２１、２２ 内導体 ２３ 先端 ２４ 段部 ５１、５２ 円盤
Claims (1)
- 【請求項１】 同軸管の内導体の内部に液状冷却体を流
通させるための貫通孔が穿かれた一対の同軸管結合器で
あって、内導体の一方が他方の内導体に挿入可能に構成
され、その挿入の際Ｏリングにより結合の気密を保ちか
つ電気良導体の弾性体により電気的接続を保つことを特
徴とする同軸管結合器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2215093U JPH0677301U (ja) | 1993-04-02 | 1993-04-02 | 同軸管結合器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2215093U JPH0677301U (ja) | 1993-04-02 | 1993-04-02 | 同軸管結合器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0677301U true JPH0677301U (ja) | 1994-10-28 |
Family
ID=12074833
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2215093U Pending JPH0677301U (ja) | 1993-04-02 | 1993-04-02 | 同軸管結合器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0677301U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009150978A1 (ja) * | 2008-06-11 | 2009-12-17 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 |
-
1993
- 1993-04-02 JP JP2215093U patent/JPH0677301U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009150978A1 (ja) * | 2008-06-11 | 2009-12-17 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19980203 |