JPH0673318B2 - Microwave introduction device - Google Patents

Microwave introduction device

Info

Publication number
JPH0673318B2
JPH0673318B2 JP61206122A JP20612286A JPH0673318B2 JP H0673318 B2 JPH0673318 B2 JP H0673318B2 JP 61206122 A JP61206122 A JP 61206122A JP 20612286 A JP20612286 A JP 20612286A JP H0673318 B2 JPH0673318 B2 JP H0673318B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
coaxial
conductor
microwave
coaxial waveguide
magnetron
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP61206122A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPS6362199A (en
Inventor
護武 丹波
雄一 坂本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
RIKEN Institute of Physical and Chemical Research
Original Assignee
RIKEN Institute of Physical and Chemical Research
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by RIKEN Institute of Physical and Chemical Research filed Critical RIKEN Institute of Physical and Chemical Research
Priority to JP61206122A priority Critical patent/JPH0673318B2/en
Publication of JPS6362199A publication Critical patent/JPS6362199A/en
Publication of JPH0673318B2 publication Critical patent/JPH0673318B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、同軸導波管による高電力マイクロ波導入装置
に関する。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a high-power microwave introduction device using a coaxial waveguide.

(従来技術) マイクロ波の発振管、例えばマグネトロンから高電力マ
イクロ波を同軸導波管に伝達させて導入する第3図に示
されるようなマイクロ波導入装置が知られている。ここ
で、1は矩形導波管、2は同軸導波管、3はマグネトロ
ン及び単向管等の立体回路である。
(Prior Art) There is known a microwave introduction device as shown in FIG. 3 in which a high-power microwave is transmitted from a microwave oscillation tube, for example, a magnetron to a coaxial waveguide and introduced. Here, 1 is a rectangular waveguide, 2 is a coaxial waveguide, 3 is a three-dimensional circuit such as a magnetron and a unidirectional tube.

(発明が解決しようとする問題点) 第3図に示されたようなマイクロ波導入装置の欠点は、
矩形から同軸への変換部があるため設計およびその構成
が複雑になることである。更に、同軸導波管の内外導体
の間には固体状の誘電体物質が充填されて軸出し(中心
位置決め)が行われるため正確な位置決めが困難であ
る。
(Problems to be Solved by the Invention) The drawbacks of the microwave introduction device as shown in FIG.
The design and configuration are complicated due to the rectangular to coaxial converter. Furthermore, since a solid dielectric substance is filled between the inner and outer conductors of the coaxial waveguide to perform axis alignment (centering), accurate positioning is difficult.

本発明の主な目的は、構造が簡単な高電力マイクロ波導
入装置を提供することにある。
A main object of the present invention is to provide a high power microwave introduction device having a simple structure.

(問題点を解決するための手段) 上記目的は、同軸導波管の一端の内部導体にマグネトロ
ンのアンテナ部が取り付けられ、2つ以上のチューニン
グ用同軸ショートプランジャーにて、同軸導波管の内部
導体と外部導体が支持されているマイクロ波導入装置に
より達成される。
(Means for Solving the Problems) The above-mentioned object is to mount the magnetron antenna part on the inner conductor at one end of the coaxial waveguide, and to mount the coaxial waveguide with two or more tuning coaxial short plungers. This is achieved by a microwave introduction device in which the inner and outer conductors are supported.

(作用) 発振マイクロ波は、マグネトロンのアンテナ部に直接接
続された同軸導波管の内部導体と外部導体の間を伝送
し、伝送径路に設けられた2つ以上のチューニング用同
軸ショートプランジャーにて負荷とのインピーダンスマ
ッチングがなされる。
(Operation) The oscillating microwaves are transmitted between the inner conductor and the outer conductor of the coaxial waveguide directly connected to the antenna part of the magnetron, and are transmitted to two or more tuning coaxial short plungers provided in the transmission path. Impedance matching with the load is performed.

(発明の効果) 本発明においては、上述のような変換器を使用すること
なくマグネトロンに直接同軸導波管を接続するようにし
たので、構成が極めて簡単である。更に、同軸導波管の
内部導体は、2つ以上のチューニング用同軸ショートプ
ランジャーの中心導体と機械的に接続されており、中心
導体は、同軸ショートプランジャーの外部導体に機械的
に接続されている。このため、同軸導波管の内部導体
は、外部導体に対し比較的簡易に正確に中心の位置決め
を行うことが出来る。
(Effect of the Invention) In the present invention, since the coaxial waveguide is directly connected to the magnetron without using the converter as described above, the configuration is extremely simple. Further, the inner conductor of the coaxial waveguide is mechanically connected to the center conductors of two or more tuning coaxial short plungers, and the center conductor is mechanically connected to the outer conductor of the coaxial short plungers. ing. Therefore, the inner conductor of the coaxial waveguide can be accurately and accurately centered with respect to the outer conductor.

(発明の効果) 本発明によれば、簡便にマイクロ波電力を同軸導波管に
伝送させることができ、また簡単に冷却媒体を同軸導波
管の他端に移送し、他端に設けられたアンテナ部を冷却
できる。
According to the present invention, microwave power can be easily transmitted to the coaxial waveguide, and the cooling medium can be easily transferred to the other end of the coaxial waveguide and provided at the other end. The antenna part can be cooled.

(実施例) 以下、本発明を図面を参照しつつ詳細に説明する。第1
図は本発明のマイクロ波導入装置の一実施例の断面図で
ある。同軸導波管11の一端の外部導体に設けられたマグ
ネトロン取付け板12にマグネトロン15設置され、この一
端の内部導体11aにはマグネトロンのアンテナ13が隣青
銅の接手14にて接続されている。マイクロ波は同軸導波
管11を伝送し、同軸導波管11の他端より放射される。こ
の他端の、内部導体21には導入マイクロ波のほぼ1/4波
長長のアンテナ20が設けられている。このアンテナ20は
外部導体11bに接続されたセラミック16で包囲されてお
り、このセラミックス16に関してアンテナ20側を大気圧
として反対側を真空状態とすることを可能としている。
放射されたマイクロ波のサイドローブは少なく、主ロー
ブのビーム幅は大きい。真空状態の放電管17内に放射さ
れたマイクロ波は、放電管17を包囲して配置されたパー
マネントマグネット18により形成される磁場との相互し
て電子サイクロトロン共鳴を生じ、プラズマが形成され
る。ここで、19、19′はチューニング用同軸ショートプ
ランジャーであり、伝送マイクロ波と負荷とのインピー
ダンス・マッチングがなされる。第2図は本発明のマイ
クロ波導入装置に適用されている2つのチューニング用
同軸ショートプランジャーの拡大図であり、同軸・ショ
ートプランジャー19、19′の外部導体23が同軸導波管11
の外部導体に溶着され、中心導体24は、内部導体11aに
溶着されている。中心導体24は、外部導体23より棒立す
る4本の支持棒22に接合された止め金具25により固定さ
れており、同軸導波管11の内部導体11aを支持してい
る。ここで、27は、外部導体23と中心導体24の間を中心
導体24の軸方向に支持棒22に沿ってスライドし、外部導
体と中心導体をショートするショート金具であり、28は
止め金具である。ショート・プランジャー19の中心導体
24には、冷却媒体導入口29より冷却媒体が圧送される。
冷却媒体は、同軸導波管11の内部導体11aの内部を通し
所望する場所を冷却し、同軸導波管11の内外導体の間を
還流する。
(Example) Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings. First
FIG. 1 is a sectional view of an embodiment of the microwave introducing device of the present invention. A magnetron 15 is installed on a magnetron mounting plate 12 provided on an outer conductor at one end of the coaxial waveguide 11, and an antenna 13 of the magnetron is connected to an inner conductor 11a at this one end by a joint 14 of a bronze. The microwave is transmitted through the coaxial waveguide 11, and is radiated from the other end of the coaxial waveguide 11. On the other end, the internal conductor 21 is provided with the antenna 20 having a length of about 1/4 wavelength of the introduced microwave. This antenna 20 is surrounded by a ceramic 16 connected to the outer conductor 11b, and with respect to this ceramic 16, it is possible to bring the antenna 20 side to atmospheric pressure and the opposite side to a vacuum state.
The radiated microwave has few side lobes and the main lobe has a large beam width. The microwave radiated in the discharge tube 17 in a vacuum state causes electron cyclotron resonance with the magnetic field formed by the permanent magnet 18 surrounding the discharge tube 17 to form plasma. Here, 19 and 19 'are coaxial short-circuiting plungers for tuning, which perform impedance matching between the transmission microwave and the load. FIG. 2 is an enlarged view of two tuning coaxial short plungers applied to the microwave introducing device of the present invention, in which the outer conductor 23 of the coaxial short plungers 19 and 19 ′ is the coaxial waveguide 11.
The center conductor 24 is welded to the inner conductor 11a. The center conductor 24 is fixed by the stoppers 25 joined to the four support rods 22 that stand upright from the outer conductor 23, and supports the inner conductor 11a of the coaxial waveguide 11. Here, 27 is a short metal fitting that slides between the outer conductor 23 and the center conductor 24 along the support rod 22 in the axial direction of the center conductor 24 to short-circuit the outer conductor and the center conductor, and 28 is a stopper. is there. Center conductor of short plunger 19
The cooling medium is pressure fed to the 24 through the cooling medium introduction port 29.
The cooling medium passes through the inside of the inner conductor 11a of the coaxial waveguide 11 to cool a desired place, and recirculates between the inside and outside conductors of the coaxial waveguide 11.

なお、本実施例ではマグネトロンと同軸導波管の結合を
直接導電結合によって行っているが、マグネトロンの種
類により間接放射型結合により行うことが適当な場合も
ある。
In this embodiment, the magnetron and the coaxial waveguide are coupled by direct conductive coupling, but indirect radiation coupling may be appropriate depending on the type of magnetron.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は、本発明によるマイクロ波導入装置の一実施例
の断面図であり、 第2図は、本発明のマイクロ波導入装置に適用されてい
るチューニング用同軸ショート・プランジャーの説明図
であり、 第3図は、従来のマイクロ波導入装置の説明図である。 11……同軸導波管、 11a……内部導体、11b……外部導体、 13……マグネトロンのアンテナ部、 15……マグネトロン、 19、19′……同軸ショートプランジャー、 23……同軸ショートプランジャーの外部導体 24……同軸ショートプランジャーの中心導体。
FIG. 1 is a sectional view of one embodiment of the microwave introducing device according to the present invention, and FIG. 2 is an explanatory view of a tuning coaxial short plunger applied to the microwave introducing device of the present invention. Yes, FIG. 3 is an explanatory diagram of a conventional microwave introduction device. 11 …… Coaxial waveguide, 11a …… Inner conductor, 11b …… Outer conductor, 13 …… Magnetron antenna part, 15 …… Magnron, 19, 19 ′ …… Coaxial short plunger, 23 …… Coaxial short plan Outer conductor of jar 24 …… Central conductor of coaxial short plunger.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】同軸導波管の一端の内部導体にマグネトロ
ンのアンテナ部が取り付けられ、2つ以上のチューニン
グ用同軸ショートプランジャーにて、同軸導波管の内部
導体が外部導体に支持されていることを特徴とするマイ
クロ波導入装置。
1. An antenna part of a magnetron is attached to an inner conductor at one end of a coaxial waveguide, and the inner conductor of the coaxial waveguide is supported by an outer conductor by two or more tuning coaxial short plungers. A microwave introduction device characterized in that
【請求項2】前記同軸ショートプランジャーの中心導体
の内部に冷却媒体が流れることを特徴とする特許請求の
範囲第(1)項記載のマイクロ波導入装置。
2. The microwave introducing apparatus according to claim 1, wherein a cooling medium flows inside the center conductor of the coaxial short plunger.
JP61206122A 1986-09-02 1986-09-02 Microwave introduction device Expired - Lifetime JPH0673318B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP61206122A JPH0673318B2 (en) 1986-09-02 1986-09-02 Microwave introduction device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP61206122A JPH0673318B2 (en) 1986-09-02 1986-09-02 Microwave introduction device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6362199A JPS6362199A (en) 1988-03-18
JPH0673318B2 true JPH0673318B2 (en) 1994-09-14

Family

ID=16518155

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP61206122A Expired - Lifetime JPH0673318B2 (en) 1986-09-02 1986-09-02 Microwave introduction device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0673318B2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008096255A2 (en) 2007-02-05 2008-08-14 Rhodia Poliamida E Especialidades Ltda Use of dioxolane derivatives in coating systems and coating system formulation

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1172437B1 (en) 1999-04-19 2011-05-25 Kyowa Hakko Bio Co., Ltd. Novel desensitized aspartokinase
JP2001307899A (en) * 2000-04-18 2001-11-02 Daihen Corp Plasma generator
JP5026732B2 (en) * 2006-04-21 2012-09-19 芝浦メカトロニクス株式会社 Microwave introducer, plasma generator, and plasma processing apparatus
US20220161221A1 (en) * 2019-04-05 2022-05-26 Pyrowave Inc. Internally cooled impedance tuner for microwave pyrolysis systems

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008096255A2 (en) 2007-02-05 2008-08-14 Rhodia Poliamida E Especialidades Ltda Use of dioxolane derivatives in coating systems and coating system formulation

Also Published As

Publication number Publication date
JPS6362199A (en) 1988-03-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US2824996A (en) Travelling wave tubes
WO2002059928A2 (en) Active radio frequency cavity amplifier
JPH0673318B2 (en) Microwave introduction device
JPH0832155A (en) Exciting apparatus for multiple channel laser
US2500430A (en) Cavity resonator oscillator device
US5164952A (en) Electrically pumped gas laser suitable for high input power
JPH04229600A (en) Electric power coupling device for ac- celerator cavity
US3334266A (en) Coaxial output line for a magnetron
US3376463A (en) Crossed field microwave tube having toroidal helical slow wave structure formed by a plurality of spaced slots
US4985659A (en) Travelling wave tube provided with an impervious coupling device between its delay line and an external microwave circuit
US2435804A (en) Cavity resonator magnetron device
US4277723A (en) Symmetrical magnetron with output means on center axis
US3707647A (en) High frequency vacuum tube energy coupler
US3796975A (en) Short high-frequency resonator having a large frequency range for cyclotrons
US2817823A (en) Circular waveguide output for magnetrons
US3483420A (en) Klystron amplifier employing helical distributed field buncher resonators and a coupled cavity extended interaction output resonator
US2557391A (en) Coupling device for micro-wave energy
US7365291B2 (en) High voltage input apparatus for magnetron
JP4768107B2 (en) Magnetron double-loop output system
US3020446A (en) Magnetron circuit apparatus
US2727181A (en) Ultra high frequency signal generator
JPH0673278B2 (en) Pulse magnetron
US2521763A (en) Electron discharge device of the electron velocity modulation type
US3229152A (en) Magnetron having evacuated discharge subassembly united with unevacuated magnetic andresonant cavity structure
JP2593546B2 (en) Dielectric resonator