JPH0666883U - Laser processing nozzle - Google Patents
Laser processing nozzleInfo
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- JPH0666883U JPH0666883U JP005830U JP583093U JPH0666883U JP H0666883 U JPH0666883 U JP H0666883U JP 005830 U JP005830 U JP 005830U JP 583093 U JP583093 U JP 583093U JP H0666883 U JPH0666883 U JP H0666883U
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 切断方向が限定されずに被切断物の切断面全
体に亘って良好な切断面を得ることができるレーザ加工
ノズルを提供する。
【構成】 アシストガス導入パイプ７からレーザ加工ノ
ズル８内に導入されたアシストガス６に旋回流を生じさ
せるために、ノズル内面にガス流れをガイドするための
螺旋状の突起９を形成している。
(57) [Summary] [Object] To provide a laser processing nozzle capable of obtaining a good cutting surface over the entire cutting surface of an object to be cut without limiting the cutting direction. [Structure] In order to generate a swirl flow in the assist gas 6 introduced into the laser processing nozzle 8 from the assist gas introduction pipe 7, a spiral projection 9 for guiding the gas flow is formed on the inner surface of the nozzle. .
Description
【０００１】[0001]
本考案はレーザビームを集光させて精密加工を行うレーザ加工ノズルに関する ものである。 The present invention relates to a laser processing nozzle that focuses a laser beam to perform precision processing.
【０００２】[0002]
一般にレーザ加工を行う場合、加工効果を高めるためにアシストガスが併用さ れる。このアシストガスは加工の種類に応じて用いられるものが異なる。例えば 金属の切断の場合には酸素が好ましく、酸化を嫌う材料、例えばステンレス鋼、 チタン等にはアルゴン等の不活性ガスが用いられ、溶接・焼き入れ・溶射等の場 合にはアルゴン又は窒素等が用いられており、アシストガスを効果的に利用せん とする従来のレーザ加工ノズルとしては、以下に記載するものが知られている。 Generally, when performing laser processing, an assist gas is used together to enhance the processing effect. The assist gas used differs depending on the type of processing. For example, oxygen is preferable in the case of cutting metal, and an inert gas such as argon is used for materials that do not like to be oxidized, such as stainless steel and titanium, and argon or nitrogen is used in the case of welding, quenching, spraying, etc. The following is known as a conventional laser processing nozzle that effectively uses the assist gas.
【０００３】 例えば、特開昭６１−３０２９６号公報には、図９に示すように、「レーザ加 工ノズル４１の先端に加熱手段４２を設けたもの」が記載されている（以下「従 来技術Ｉ」という）。この従来技術Ｉによれば、被加工物４３から飛散した溶融 物４４がノズル４１の吹き出し口４５に付着しても、この吹き出し口４５が加熱 されているので、溶融物４４を吹き飛ばすためにアシストガス４６の吐出圧を高 めなくても溶融物４４はすぐに落下し、ノズルの保守が容易であるという効果が 期待できる。For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 61-30296 discloses "a laser processing nozzle 41 provided with a heating means 42 at its tip" as shown in FIG. 9 (hereinafter, referred to as "conventional"). Technology I "). According to this conventional technique I, even if the melt 44 scattered from the work piece 43 adheres to the blow-out port 45 of the nozzle 41, since the blow-out port 45 is still heated, the assist for blowing the melt 44 is assisted. Even if the discharge pressure of the gas 46 is not increased, the melt 44 immediately drops, and the effect that the maintenance of the nozzle is easy can be expected.
【０００４】 また、特開昭５８−５７９１６号公報には、図１０に示すように、「アシスト ガス４７を加熱する手段４８を設けたもの」が記載されている（以下「従来技術 II」という）。この従来技術IIによれば、アシストガス４７が加熱されているの で、被加工物４９の加工がより容易になるという効果が期待できる。Further, Japanese Patent Application Laid-Open No. 58-57916 discloses "one provided with a means 48 for heating the assist gas 47" as shown in FIG. 10 (hereinafter referred to as "prior art II"). ). According to the conventional technique II, since the assist gas 47 is heated, it is expected that the work 49 can be more easily processed.
【０００５】 さらに、特開昭６０−１５４８９４号公報には、図１１に示すように、「加工 ヘッドに電極５０を設け、この電極に直流電源５１から電圧を印加することによ り放電を生じさせ、放電により加工ガス５２（アシストガス）を高温のプラズマ 状としたもの」が記載されている（以下「従来技術III 」という）。この従来技 術III によれば、レーザー光５３内に吹き込まれる加工ガス５４（アシストガス ）とは別のプラズマ状の加工ガス５２（アシストガス）がレーザー光５３と同軸 状で吹き出されるから、切断能力を向上することが可能である。Further, in Japanese Patent Laid-Open No. 60-154894, as shown in FIG. 11, "an electrode 50 is provided on a processing head, and a discharge is generated by applying a voltage from a DC power supply 51 to this electrode. And the processing gas 52 (assist gas) is made into a high temperature plasma state by electric discharge "(hereinafter referred to as" prior art III "). According to the conventional technique III, the plasma-like processing gas 52 (assist gas) different from the processing gas 54 (assist gas) blown into the laser light 53 is blown out coaxially with the laser light 53. It is possible to improve the cutting ability.
【０００６】 また、実開昭６２−３４９８７号公報には、図１２に示すように、「ノズル５ ５の周囲に予熱炎出口５６を設けたもの」が記載されている（以下「従来技術IV 」という）。この従来技術IVによれば、入口５７から吹き込まれてノズル５５か ら吹き出されるアシストガスを予熱炎で覆いながら加工できるので、アシストガ スが周囲の空気を巻込むことがなく、アシストガスの純度低下を防止し、切断能 力を向上することが可能である。Further, Japanese Utility Model Application Laid-Open No. 62-34987 discloses that "a preheating flame outlet 56 is provided around the nozzle 55," as shown in FIG. ")). According to this Prior Art IV, since the assist gas blown from the inlet 57 and blown out from the nozzle 55 can be processed while being covered with the preheating flame, the assist gas does not involve the surrounding air, and the purity of the assist gas is reduced. It is possible to prevent the deterioration and improve the cutting ability.
【０００７】 そして、図１３に示すように、「補助ノズル５８を主ノズル５９の切断進行方 向（矢示Ａ）の後方に位置させて切断部のアシストガス流速を増加させるもの」 が知られている（以下「従来技術Ｖ」という）。この従来技術Ｖによれば、切断 部のアシストガスの流速が増加するので、切断性能を向上することができる。Then, as shown in FIG. 13, it is known that “the auxiliary nozzle 58 is located behind the main nozzle 59 in the cutting direction (arrow A) to increase the assist gas flow velocity in the cutting portion”. (Hereinafter referred to as “prior art V”). According to the conventional technique V, the flow rate of the assist gas at the cutting portion is increased, so that the cutting performance can be improved.
【０００８】 ところで、レーザによって鋼板等の切断を行う場合、良好な切断面を得るため には、アシストガス（酸素ガス）の純度やガス流れの均一性が重要な因子である 。しかし、切断面に吹きつけられる酸素ガス流の分布を一様にするのは極めて難 しく、切断面上の酸素ガスの流れに多少の乱れが生じることは避けられない。例 えば、切断面上の酸素ガス流が上方から見て右回りの旋回流であるときは、被切 断物の右側の切断面が良好になり、右側の溶融物が左側に押し出される結果、左 側の切断面はやや荒れることが多い。逆に、切断面上の酸素ガス流が上方から見 て左回りの旋回流であるときは、被切断物の左側の切断面が良好になり、右側の 切断面はやや荒れることが多い。その上、切断面上の酸素ガス流の向きは一定し ておらず、ときには右回りの旋回流となり、ときには左回りの旋回流となる。そ の結果、切断面全体としてみれば、その右側又は左側で良好な面とやや不良な面 が混在するのが一般的である。By the way, when cutting a steel plate or the like with a laser, the purity of the assist gas (oxygen gas) and the uniformity of the gas flow are important factors for obtaining a good cut surface. However, it is extremely difficult to make the distribution of the oxygen gas flow blown onto the cut surface uniform, and some turbulence in the flow of the oxygen gas on the cut surface is unavoidable. For example, when the oxygen gas flow on the cut surface is a clockwise swirl flow when viewed from above, the cut surface on the right side of the cut object becomes good, and the melt on the right side is extruded to the left side. The left cut surface is often slightly rough. On the contrary, when the oxygen gas flow on the cut surface is a counterclockwise swirl flow when viewed from above, the cut surface on the left side of the object to be cut is good and the cut surface on the right side is often rough. In addition, the direction of the oxygen gas flow on the cut surface is not constant, and sometimes becomes a clockwise swirl flow, and sometimes becomes a counterclockwise swirl flow. As a result, in terms of the entire cut surface, it is common for the good surface and the slightly bad surface to coexist on the right or left side.
【０００９】 また、レーザによる切断能力を向上させる方法として、主ノズルの他に補助ノ ズルを設けたものが知られているが、補助ノズルからのアシストガスの吹き出し 方向によっては、良好な切断面を得ることができない。というのは、上記したよ うに、切断面上の酸素ガス流は右回り又は左回りの旋回流であって、しかも流れ の方向が一定していないのであるが、右回り又は左回りのいずれの旋回流であろ うとも、レーザビームに近い方の被切断物表層部の切断面は比較的良好であるが 、反対側の裏面部分の切断面はやや荒れることが多い。そこで、主ノズル進行方 向後方の補助ノズルから適正方向にアシストガス（酸素ガス）を吹き出すように すれば、被切断物の切断面全体に亘る溶融物を効率的に吹き飛ばして左右いずれ の切断面でも平滑性を確保できる。しかし、補助ノズルからの酸素ガス流の方向 が適切でないと、単にガスの消費量のみが多くなって、良好な切断面を得ること はできない。As a method of improving the cutting ability by laser, a method of providing an auxiliary nozzle in addition to the main nozzle is known. However, depending on the direction in which the assist gas is blown from the auxiliary nozzle, a good cutting surface can be obtained. Can't get This is because, as described above, the oxygen gas flow on the cut surface is a clockwise or counterclockwise swirl flow, and the direction of the flow is not constant. Even if it is a swirling flow, the cut surface of the surface layer of the object closer to the laser beam is relatively good, but the cut surface of the back surface on the opposite side is often rough. Therefore, if assist gas (oxygen gas) is blown out from the auxiliary nozzle behind the main nozzle in the proper direction, the melt over the entire cut surface of the object to be cut can be efficiently blown off and the cut surface on either side However, smoothness can be secured. However, if the direction of the oxygen gas flow from the auxiliary nozzle is not proper, only the gas consumption will increase and a good cut surface cannot be obtained.
【００１０】 このように、アシストガス（酸素ガス）の流れの方向と吹き出し方向は切断面 の平滑性と重要な関係があり、この観点より従来技術Ｉ〜Ｖを検討すると、次の ような欠点がある。As described above, the flow direction and the blowing direction of the assist gas (oxygen gas) have an important relationship with the smoothness of the cut surface. From this viewpoint, when the prior arts I to V are examined, the following drawbacks are found. There is.
【００１１】 すなわち、従来技術Ｉの方法では、ノズルへの異物の付着は防止できても、良 好な切断面を得ることに対しては何らの効果も期待できない。That is, in the method of the conventional technique I, although the foreign matter can be prevented from adhering to the nozzle, no effect can be expected in obtaining a favorable cut surface.
【００１２】 また、従来技術IIの方法は、溶射・溶接等には有効かもしれないが、切断性能 の向上は期待できない。Further, the method of Prior Art II may be effective for thermal spraying, welding, etc., but improvement in cutting performance cannot be expected.
【００１３】 さらに、従来技術III の方法では、切断性能を向上する効果は期待できるが、 レーザー光５３とともに吹き出される加工ガス５４に対する加工ガス５２の吹き 出し位置が同心状であるため、加工ガス５４に対する上記した補助ノズル的な効 果を加工ガス５２には期待できないので、良好な切断面を得ることができない。Further, in the method of the conventional technique III, the effect of improving the cutting performance can be expected, but since the blowing position of the working gas 52 is concentric with the working gas 54 blown together with the laser light 53, the working gas Since the effect of the auxiliary nozzle on 54 is not expected in the processing gas 52, a good cut surface cannot be obtained.
【００１４】 さらに、従来技術IVの方法も、従来技術III と同様に切断性能を向上すること はできても、切断面の平滑性向上を図ることはできない。Further, the method of the prior art IV can improve the cutting performance similarly to the prior art III, but cannot improve the smoothness of the cut surface.
【００１５】 また、従来技術Ｖの方法では、主ノズルの動きに補助ノズルが追随しないため 、曲線切断には利用できない。Further, in the method of the prior art V, the auxiliary nozzle does not follow the movement of the main nozzle, and therefore cannot be used for curve cutting.
【００１６】 本考案は従来の技術の有するこのような問題点に鑑みてなされたものであって 、その目的は、切断方向が限定されずに被切断物の切断面全体に亘って良好な切 断面を得ることができるレーザ加工ノズルを提供することにある。The present invention has been made in view of the above problems of the conventional technique, and an object thereof is not to limit the cutting direction, but to achieve a good cutting over the entire cut surface of the object to be cut. It is to provide a laser processing nozzle capable of obtaining a cross section.
【００１７】[0017]
上記目的を達成するために本考案の要旨は、集光レンズとアシストガス導入口 を有するレーザ加工ノズルにおいて、該ノズルから吹き出されるアシストガスに 旋回流を生じさせるために、ノズル内周面にガス流れをガイドするための螺旋状 の突起を形成したことを特徴とするレーザ加工ノズルを第一の考案とし、 集光レンズとアシストガス導入口を有するレーザ加工ノズルにおいて、該ノズ ルから吹き出されるアシストガスに旋回流を生じさせるために、上記アシストガ ス導入口からノズル内に導入されるガスに右回り又は左回りの流れを与えるよう にガス導入口の方向をノズル中心方向に対して斜めの方向に逸らしたことを特徴 とするレーザ加工ノズルを第二の考案とし、 集光レンズとアシストガス導入口を有するレーザ加工ノズルにおいて、該ノズ ルから吹き出されるアシストガスに旋回流を生じさせるために、上記アシストガ ス導入口からノズル内に導入されるガスに右回り又は左回りの流れを与える方向 可変ガイド翼をノズル内に設置したことを特徴とするレーザ加工ノズルを第三の 考案とし、 集光レンズとアシストガス導入口を有するレーザ加工ノズルにおいて、該ノズ ルから吹き出されるアシストガスに旋回流を生じさせるために、ノズル内に導入 されるガスに右回り又は左回りの流れを与えるようにガス導入口の方向をノズル 中心方向に対して斜め方向に逸らした１個以上の右回り用のガス導入口と１個以 上の左回り用のガス導入口を有し、上記右回り用のガス導入口へのガス流路と左 回り用のガス導入口へのガス流路を切換可能としたことを特徴とするレーザ加工 ノズルを第四の考案とし、 集光レンズとアシストガス導入口を有するレーザ加工ノズルにおいて、該ノズ ルから吹き出されるアシストガスに旋回流を生じさせるために、ノズルを回転可 能とし、且つノズル内周面に突起を形成したことを特徴とするレーザ加工ノズル を第五の考案とし、 集光レンズとアシストガス導入口を有するレーザ加工ノズルにおいて、主ノズ ルに対して加工進行方向の後方に補助ノズルを設け、該補助ノズルの軸方向を主 ノズルの軸方向と同一としたことを特徴とするレーザ加工ノズルを第六の考案と し、 集光レンズとアシストガス導入口を有するレーザ加工ノズルにおいて、主ノズ ルに対して加工進行方向の後方に補助ノズルを設け、該補助ノズルの軸方向を主 ノズルの軸方向と同一とし、且つ補助ノズルを主ノズルを中心として回動可能と し、補助ノズルに旋回自在の車輪を付設したことを特徴とするレーザ加工ノズル を第七の考案とし、 上記第七の考案において、主ノズルと補助ノズルとの間隙調整手段を有するこ とを特徴とするレーザ加工ノズルを第八の考案とし、 集光レンズとアシストガス導入口を有するレーザ加工ノズルにおいて、主ノズ ルの軸方向と同一の軸方向を有する補助ノズルを主ノズルの周囲に複数個配し、 ノズルの進行方向を検知する位置センサと上記補助ノズルとの間に補助ノズルへ のガス切換手段を設けたことを特徴とするレーザ加工ノズルを第九の考案とし、 上記第六、第七、第八又は第九の考案において、円偏光として入射するレーザ ビームを加工方向に平行な直線偏光に変換するための回転可能な１／４波長板を 集光レンズ直上に設けたことを特徴とするレーザ加工ノズルを第十の考案とし、 上記第六、第七、第八、第九又は第十の考案において、補助ノズルへのアシス トガスを予熱する手段を設けたことを特徴とするレーザ加工ノズルを第十一の考 案とする。 In order to achieve the above-mentioned object, the gist of the present invention is to provide a laser processing nozzle having a condenser lens and an assist gas inlet to the inner surface of the nozzle in order to generate a swirl flow in the assist gas blown from the nozzle. The first idea was a laser processing nozzle characterized by forming a spiral projection for guiding the gas flow, and a laser processing nozzle having a condenser lens and an assist gas inlet was blown out from the nozzle. In order to generate a swirl flow in the assist gas, the gas introduced into the nozzle from the above assist gas inlet is directed diagonally to the nozzle center direction so as to give a clockwise or counterclockwise flow. The second idea is a laser processing nozzle characterized by being deflected in the direction of In order to generate a swirl flow in the assist gas blown out from the nozzle, a direction that gives a clockwise or counterclockwise flow to the gas introduced into the nozzle from the assist gas inlet is provided with a variable guide vane. A third feature of the laser processing nozzle is that it is installed inside a laser processing nozzle that has a condenser lens and an assist gas inlet to generate a swirl flow in the assist gas blown from the nozzle. In addition, one or more clockwise gas inlets with the direction of the gas inlets slanted with respect to the nozzle center direction so as to give a clockwise or counterclockwise flow to the gas introduced into the nozzle are provided. It has one or more counterclockwise gas inlets and can switch between the gas channel to the clockwise gas inlet and the gas channel to the counterclockwise gas inlet. Tosu A fourth aspect of the laser processing nozzle is a laser processing nozzle having a condenser lens and an assist gas introduction port, in which the nozzle can be rotated to generate a swirl flow in the assist gas blown from the nozzle. A fifth feature of the laser processing nozzle is that the protrusion is formed on the inner peripheral surface of the nozzle.In a laser processing nozzle having a condenser lens and an assist gas inlet, A sixth aspect of the present invention is a laser processing nozzle characterized in that an auxiliary nozzle is provided on the rear side and the axial direction of the auxiliary nozzle is the same as the axial direction of the main nozzle, and a laser having a condenser lens and an assist gas introduction port is provided. In the machining nozzle, an auxiliary nozzle is provided behind the main nozzle in the machining direction, and the axial direction of the auxiliary nozzle is the same as the axial direction of the main nozzle, and A seventh aspect of the present invention is a laser machining nozzle characterized in that the auxiliary nozzle is rotatable about the main nozzle, and the auxiliary nozzle is provided with a wheel that can freely rotate. The eighth invention is a laser processing nozzle characterized by having a gap adjusting means with the nozzle, and in the laser processing nozzle having a condenser lens and an assist gas introduction port, the same axial direction as that of the main nozzle is used. A laser processing nozzle characterized in that a plurality of auxiliary nozzles having the above are arranged around the main nozzle, and gas switching means to the auxiliary nozzle is provided between the position sensor for detecting the traveling direction of the nozzle and the auxiliary nozzle. Is a ninth invention, and in the sixth, seventh, eighth, or ninth invention, a rotatable light beam for converting a laser beam incident as circularly polarized light into linearly polarized light parallel to the processing direction. In the tenth invention, there is provided a laser processing nozzle characterized in that a 1/4 wavelength plate is provided directly above a condenser lens. In the sixth, seventh, eighth, ninth or tenth invention, the auxiliary nozzle is provided. Eleventh consideration is given to a laser processing nozzle characterized in that a means for preheating the assist gas to the laser is provided.
【００１８】[0018]
本考案に係るレーザ加工ノズルによれば、ノズルから吹き出されるアシストガ スに積極的に旋回流が形成されるため、進行方向の左右での被加工物の表面に対 する効果が異なる。例えば、アシストガスに上方から見て右回りの旋回流を生じ させて被加工物の切断を続ければ、切断進行方向に対する右側の切断面は高エネ ルギー密度のレーザビームにより、極めて良好な平滑面に切断される。 According to the laser processing nozzle of the present invention, a swirl flow is positively formed in the assist gas blown out from the nozzle, so that the effect on the surface of the workpiece on the left and right in the traveling direction is different. For example, if a swirl flow is generated in the assist gas when viewed clockwise from above and cutting of the workpiece is continued, the cutting surface on the right side of the cutting direction is a very smooth surface due to the high energy density laser beam. To be disconnected.
【００１９】 また、主ノズルに対して加工進行方向の後方には、主ノズルに追随して移動す る同軸の補助ノズルが設けられているので、切断方向が限定されず、しかも良好 な切断面を得ることができる。In addition, since a coaxial auxiliary nozzle that moves following the main nozzle is provided behind the main nozzle in the working direction, the cutting direction is not limited, and a good cutting surface is obtained. Can be obtained.
【００２０】 さらに、吸収率のよい直線偏光の方向が加工方向に対して平行になるように、 集光レンズ直上に設けた円偏光を直線偏光に変換する１／４波長板の回転を適切 に行えば、切断面を良好に維持しつつ、レーザビームのエネルギーを最大限有効 に利用して最高の切断能力を確保することができる。Further, the quarter-wave plate for converting the circularly polarized light directly above the condenser lens into the linearly polarized light is appropriately rotated so that the direction of the linearly polarized light having a good absorptivity is parallel to the processing direction. If this is done, the energy of the laser beam can be used to the maximum extent and the maximum cutting ability can be secured while maintaining a good cutting surface.
【００２１】[0021]
以下に本考案の実施例を図面を参照しながら説明する。 図１(a)(b)は、ノズル内面に螺旋状の突起を形成した場合を示し、図１(a) は 図１(b) のＩ−Ｉ断面図、図１(b) はレーザ加工ノズルの側断面図である。図に おいて、１はレーザビーム、２は集光レンズ、３はレンズ押さえ、４は枠体、５ はレーザビームで切断される被加工物たる厚鋼板である。６は溶融物を除去し、 切断効果を高めるためのアシストガス（酸素ガス）で、ガス導入パイプ７を通し てノズル８内に導入され、ノズル内面に形成された螺旋状の突起９に沿ってガイ ドされながら、右旋回流又は左旋回流となって、吹き出し口１０から厚鋼板５に 吹きつけられる。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. 1 (a) and 1 (b) show the case where a spiral protrusion is formed on the inner surface of the nozzle. FIG. 1 (a) is a sectional view taken along the line I-I of FIG. 1 (b), and FIG. 1 (b) is laser processing. It is a sectional side view of a nozzle. In the figure, 1 is a laser beam, 2 is a condenser lens, 3 is a lens holder, 4 is a frame, and 5 is a thick steel plate which is a workpiece to be cut by the laser beam. 6 is an assist gas (oxygen gas) for removing the melted material and enhancing the cutting effect, which is introduced into the nozzle 8 through the gas introduction pipe 7 and along the spiral projection 9 formed on the inner surface of the nozzle. While being guided, it becomes a right-handed swirl flow or a left-handed swirl flow and is blown from the outlet 10 onto the thick steel plate 5.
【００２２】 図２は同じく酸素ガスに旋回流を得るための別の実施例であって、この場合は 、酸素ガス導入パイプ７ａの方向をノズル中心１１に対して斜め方向に逸らして あって、ガス導入パイプ７ａよりノズル８内に導入された酸素ガスは、ノズル８ 内で左回りのガス流れとなるので、吹き出し口１０より左回りの旋回流となって 出て行く。FIG. 2 is also another embodiment for obtaining a swirling flow in oxygen gas. In this case, the direction of the oxygen gas introduction pipe 7a is deviated in an oblique direction with respect to the nozzle center 11. The oxygen gas introduced into the nozzle 8 through the gas introduction pipe 7a becomes a counterclockwise gas flow in the nozzle 8 and thus exits as a counterclockwise swirl flow from the outlet 10.
【００２３】 図３も同じく酸素ガスに旋回流を得るための別の実施例であって、この場合は 、ノズル８内のガス導入口１２の直近に水平方向に対して回転自在の方向可変ガ イド翼１３が設置してあり、この方向可変ガイド翼１３は外部より操作可能であ って、図に示す位置に方向可変ガイド翼１３が存在する場合は、ガス導入パイプ ７よりノズル８内に導入された酸素ガスは、ノズル８内で左回りのガス流れとな るので、吹き出し口１０より左回りの旋回流となって出て行く。FIG. 3 is also another embodiment for obtaining a swirling flow in oxygen gas, and in this case, a direction variable gas rotatable in the horizontal direction is provided in the vicinity of the gas introduction port 12 in the nozzle 8. A guide vane 13 is installed, and the variable guide vane 13 can be operated from the outside. When the variable guide vane 13 is present at the position shown in the figure, the guide pipe 7 is introduced into the nozzle 8 from the gas introduction pipe 7. Since the introduced oxygen gas becomes a counterclockwise gas flow in the nozzle 8, it exits as a counterclockwise swirl flow from the outlet 10.
【００２４】 図４も同じく酸素ガスに旋回流を得るための別の実施例であって、この場合は 、図２に示した左回りのガス流れを与えるガス導入パイプ７ａの他に、右回りの ガス流れを与えるガス導入パイプ７ｂを有する場合を示す。そして、ガス流路Ｒ からガス導入パイプ７ａ又は７ｂに至る流路Ｒ1 、Ｒ2 が切換弁１３により切換 可能である。従って、切換弁１３により流路Ｒ1 を選択すれば、ノズル内のガス には左回りの流れが与えられ、流路Ｒ2 を選択すれば、ノズル内のガスには右回 りの流れが与えられる。FIG. 4 is also another embodiment for obtaining a swirling flow in the oxygen gas, and in this case, in addition to the gas introduction pipe 7a which gives the counterclockwise gas flow shown in FIG. The case where the gas introduction pipe 7b for supplying the gas flow is provided is shown. The flow paths R 1 and R 2 from the gas flow path R 1 to the gas introduction pipe 7a or 7b can be switched by the switching valve 13. Therefore, if the flow path R 1 is selected by the switching valve 13, a counterclockwise flow is given to the gas in the nozzle, and if the flow path R 2 is selected, a clockwise flow is generated in the gas in the nozzle. Given.
【００２５】 図５も同じく酸素ガスに旋回流を得るための別の実施例であって、この場合は 、減速機付モータ１４によりギヤ１５が回転し、このギヤ１５とノズル８外面に 突設したギヤ１６が係合することにより、ノズル８が回転することができる。従 って、ガス導入パイプ７よりノズル８内に導入されたガスには、回転力が付与さ れつつ、内周面に設けた突起９ａにガイドされ、右旋回流又は左旋回流となって 、吹き出し口１０から厚鋼板に吹きつけられる。FIG. 5 is also another embodiment for obtaining a swirling flow in oxygen gas. In this case, the gear 15 is rotated by the motor 14 with a reducer, and the gear 15 and the outer surface of the nozzle 8 are projected. The nozzle 8 can rotate by the engagement of the gear 16 that has been formed. Accordingly, the gas introduced into the nozzle 8 from the gas introduction pipe 7 is guided by the projection 9a provided on the inner peripheral surface while being imparted with a rotational force, and becomes a right swirl flow or a left swirl flow, It is blown onto the thick steel plate from the outlet 10.
【００２６】 以上、図１〜図５に示した実施例はアシストガスに旋回流を与える場合である が、次に説明する実施例は主ノズルの他に補助ノズルを有する場合であって、順 次説明する。 図６(a) において、ノズルビームを照射する主ノズルたるノズル８に対して切 断進行方向後方には主ノズルと同軸の補助ノズル１７が設けられている。そして 、図６(b) に示すように、ノズル８はボールベアリング１８の内輪１９に固定さ れ、外輪２０には開口部を有する固定部材２１が装着され、この固定部材２１の 開口内に摺動部材２２の先細部２２ａが装入され、さらに摺動部材２２に補助ノ ズル１７が固定されている。従って、先細部２２ａを固定部材２１内へ適宜装入 し、係止部材２３で係止すれば、主ノズル８と補助ノズル１７との間隙を微調整 することができる。また、図６(a) に示すように、補助ノズル１７には旋回自在 のトレース用車輪２４が付設されており、さらに、補助ノズル１７へ導入される 酸素ガスの導入パイプ２５にはヒータ２６が介装されている。かくして、主ノズ ル８の移動に伴ってトレース用車輪２４が被切断物５の表面を確実にとらえつつ 、補助ノズル１７は主ノズル８の動きに追随して常に主ノズル８の切断進行方向 後方に位置することになる。また、補助ノズル１７へ導入する酸素ガスはヒータ ２６で適当な温度（例えば、２００〜３００℃）に加熱することができるので、 切断能力を向上することが可能である。その上、被切断物の板厚に合わせて補助 ノズル１７と主ノズル８との間隙を適切に調整することができるので、補助ノズ ル１７から吹き出される酸素ガスが主ノズル８から吹き出される酸素ガスをアシ ストして、切断板厚に関係なく常に良好な切断面を得ることができる。As described above, the embodiment shown in FIGS. 1 to 5 is the case where the swirl flow is given to the assist gas, but the embodiment described below is the case where the auxiliary nozzle is provided in addition to the main nozzle. It will be explained next. In FIG. 6A, an auxiliary nozzle 17 coaxial with the main nozzle is provided behind the nozzle 8 which is the main nozzle for irradiating the nozzle beam in the cutting direction. Then, as shown in FIG. 6 (b), the nozzle 8 is fixed to the inner ring 19 of the ball bearing 18, and the fixing member 21 having an opening is attached to the outer ring 20, and the nozzle 8 is slid into the opening of the fixing member 21. The tapered portion 22a of the moving member 22 is inserted, and the auxiliary nozzle 17 is fixed to the sliding member 22. Therefore, if the tapered portion 22a is properly inserted into the fixing member 21 and locked by the locking member 23, the gap between the main nozzle 8 and the auxiliary nozzle 17 can be finely adjusted. Further, as shown in FIG. 6 (a), the auxiliary nozzle 17 is provided with a traceable wheel 24 for tracing, and further, a heater 26 is provided in an oxygen gas introduction pipe 25 introduced into the auxiliary nozzle 17. It is installed. Thus, while the tracing wheel 24 reliably catches the surface of the object to be cut 5 along with the movement of the main nozzle 8, the auxiliary nozzle 17 always follows the movement of the main nozzle 8 in the cutting traveling direction of the main nozzle 8. Will be located in. Further, the oxygen gas introduced into the auxiliary nozzle 17 can be heated to an appropriate temperature (for example, 200 to 300 ° C.) by the heater 26, so that the cutting ability can be improved. Moreover, since the gap between the auxiliary nozzle 17 and the main nozzle 8 can be appropriately adjusted according to the plate thickness of the object to be cut, the oxygen gas blown from the auxiliary nozzle 17 is blown out from the main nozzle 8. By assisting with oxygen gas, a good cut surface can always be obtained regardless of the thickness of the cut plate.
【００２７】 図７(a) において、主ノズル８の周囲には複数個の補助ノズル１７が同軸状に 配設され、図７(b) に示すように、複数個の各補助ノズル１７とガス分配切換弁 ２７が連結され、ガス分配切換弁２７は位置センサ２８からの情報に基づいてガ ス導入パイプ２９から送給されてきた酸素ガスを切断進行方向に合わせて適切な 位置にある補助ノズルに分配する。例えば、主ノズル８の切断進行方向が左方で ある場合、右側の補助ノズルに酸素ガスが分配される。すなわち、常に主ノズル ８の切断進行方向の後方の補助ノズルに酸素ガスが送られる。In FIG. 7 (a), a plurality of auxiliary nozzles 17 are coaxially arranged around the main nozzle 8. As shown in FIG. 7 (b), a plurality of auxiliary nozzles 17 and gas are provided. The distribution switching valve 27 is connected, and the gas distribution switching valve 27 is based on the information from the position sensor 28. The auxiliary nozzle is located at an appropriate position according to the cutting advancing direction of the oxygen gas fed from the gas introduction pipe 29. Distribute to. For example, when the cutting progress direction of the main nozzle 8 is left, oxygen gas is distributed to the right auxiliary nozzle. That is, oxygen gas is always sent to the auxiliary nozzle behind the main nozzle 8 in the cutting direction.
【００２８】 図８において、レーザ発振器３０から発振されたレーザ光をデポーラライザ３ １で反射することにより円偏光に変換し、さらにこの円偏光を反射ミラー３２、 ３３で反射し、集光レンズ２の直上にある回転可能な１／４波長波３４を通過さ せることにより直線偏光に変換する。このとき、１／４波長波３４の回転角度を 調整することにより、切断進行方向に対する直線偏光の方向を切断方向に平行に 保持することが可能で、直線切断であろうと曲線切断であろうと、最高の切断能 力を確保することができる。即ち、試料面に入射する任意の直線偏光は９０°位 相の異なるＳ偏光成分とＰ偏光成分に分けることができ、通常反射率はＳ成分、 吸収率はＰ成分の方が大きいので、Ｓ偏光成分の方向を被切断物たる厚鋼板５に 垂直となるように１／４波長波３４の回転を制御すれば、吸収率のよいＰ偏光成 分の方向を切断方向に平行にすることが可能で、レーザビームのエネルギーを効 果的に切断に利用することができる。In FIG. 8, the laser light oscillated from the laser oscillator 30 is reflected by the depolarizer 31 to be converted into circularly polarized light, and this circularly polarized light is reflected by the reflection mirrors 32 and 33, and then the condensing lens 2 of the condenser lens 2 is converted. It is converted into linearly polarized light by passing the rotatable quarter-wave 34 directly above it. At this time, by adjusting the rotation angle of the 1/4 wavelength wave 34, it is possible to keep the direction of the linearly polarized light with respect to the cutting proceeding direction parallel to the cutting direction. The best cutting ability can be secured. That is, arbitrary linearly polarized light incident on the sample surface can be divided into an S-polarized component and a P-polarized component having different 90 ° phases. Usually, the S component has a larger reflectance and the P component has an absorptance. By controlling the rotation of the ¼ wavelength wave 34 so that the direction of the polarization component is perpendicular to the thick steel plate 5 as the object to be cut, the direction of the P-polarized light component with good absorptivity can be made parallel to the cutting direction. Yes, the energy of the laser beam can be effectively used for cutting.
【００２９】 次に、図１に示す本考案のレーザ加工ノズルと図９に示す従来のレーザ加工ノ ズルとを用いて板厚２０mmの厚鋼板を切断した場合の表面粗さの測定結果につい て説明すると、本考案のレーザ加工ノズルの場合は、ノズル８からの酸素ガス流 を右旋回させたので、切断された厚鋼板の右側の面の表面粗さ（Ｒmax ) は１０ 〜３０μｍと極めて平滑であった。なお、左側の面の表面粗さ（Ｒmax ）は１０ ０〜２００μｍであった。一方、従来のレーザ加工ノズルを用いて切断した厚鋼 板の切断面は、左右いずれの側も、レーザビームに近い側の表層部の切断面粗さ （Ｒmax ) は３０〜５０μｍであっが、反対側の裏面部分の切断面粗さ（Ｒmax ) は５０〜１００μｍとやや粗かった。Next, the measurement results of the surface roughness when a thick steel plate having a thickness of 20 mm was cut using the laser processing nozzle of the present invention shown in FIG. 1 and the conventional laser processing nozzle shown in FIG. To explain, in the case of the laser processing nozzle of the present invention, since the oxygen gas flow from the nozzle 8 was swirled to the right, the surface roughness (R max ) of the right side surface of the cut thick steel plate was 10 to 30 μm. It was extremely smooth. The surface roughness (R max ) of the left side surface was 100 to 200 μm. On the other hand, the cut surface of the thick steel plate cut by using the conventional laser processing nozzle has a cut surface roughness (R max ) of 30 to 50 μm on the surface layer portion on the side close to the laser beam on either side. The cut surface roughness (R max ) of the back surface portion on the opposite side was 50 to 100 μm, which was slightly rough.
【００３０】 また、図６に示す本考案のレーザ加工ノズルを用いて同じく板厚２０mmの厚鋼 板を切断した場合の表面粗さ（Ｒmax ) は、切断面の左右いずれの側も３０〜５ ０μｍとほぼ満足すべき平滑性を得ることができた。なお、この場合ヒータ２６ により補助ノズル１７へ供給する酸素ガスは約２５０℃に予熱した。Further, the surface roughness (R max ) when a thick steel plate having a plate thickness of 20 mm is cut using the laser processing nozzle of the present invention shown in FIG. 6 has a surface roughness (R max ) of 30 to 30 on either side of the cut surface. It was possible to obtain an almost satisfactory smoothness of 50 μm. In this case, the oxygen gas supplied to the auxiliary nozzle 17 by the heater 26 was preheated to about 250 ° C.
【００３１】[0031]
本考案に係るレーザ加工ノズルは上記のとおり構成されているので、以下の効 果を奏する。 Since the laser processing nozzle according to the present invention is configured as described above, it has the following effects.
【００３２】 アシストガスに特定方向の旋回流を生じさせることにより、切断面の片側に 極めて良好な平滑性を付与することができる。By generating a swirling flow in a specific direction in the assist gas, it is possible to impart extremely good smoothness to one side of the cut surface.
【００３３】 主ノズルに追随して移動する同軸の補助ノズルを設けることで、切断方向が 限定されずに、しかも良好な切断面を得ることができる。By providing the coaxial auxiliary nozzle that moves following the main nozzle, the cutting direction is not limited, and a good cutting surface can be obtained.
【００３４】 主ノズルと補助ノズルとの間隙を調整する手段を設け、その間隙を適宜調整 することにより、任意の板厚の材料をスムーズに切断することができる。By providing a means for adjusting the gap between the main nozzle and the auxiliary nozzle and appropriately adjusting the gap, a material having an arbitrary plate thickness can be cut smoothly.
【００３５】 主ノズルの周囲に同軸の複数個の補助ノズルを配することにより、主ノズル の進行方向に合わせて最適位置の補助ノズルからアシストガスを吹き込むことが できるので、切断方向に関わらず常に良好な切断面を得ることができる。By arranging a plurality of coaxial auxiliary nozzles around the main nozzle, the assist gas can be blown from the auxiliary nozzle at the optimum position according to the traveling direction of the main nozzle, so that the auxiliary gas is always blown regardless of the cutting direction. A good cut surface can be obtained.
【００３６】 集光レンズ直上に設けた円偏光を直線偏光に変換する１／４波長板の回転角 度を調整することにより、吸収率のよい直線偏光の方向を切断方向に平行にする ことができるので、切断面を良好に維持しつつ、最高の切断能力を得ることがで きる。By adjusting the rotation angle of the quarter-wave plate that converts the circularly polarized light directly above the condenser lens into the linearly polarized light, the direction of the linearly polarized light with good absorptivity can be made parallel to the cutting direction. As a result, the best cutting ability can be obtained while maintaining a good cut surface.
【００３７】 補助ノズルに供給するアシストガスを予熱することにより切断能力の向上を 図ることができる。The cutting ability can be improved by preheating the assist gas supplied to the auxiliary nozzle.
【図１】図１(a) は図１(b) のＩ−Ｉ線断面図、図１
(b) は螺旋状の突起を有する本考案に係るレーザ加工ノ
ズルの側断面図である。FIG. 1 (a) is a sectional view taken along the line I-I of FIG. 1 (b), and FIG.
FIG. 3B is a side sectional view of a laser processing nozzle according to the present invention having a spiral protrusion.
【図２】ガス導入口の方向をノズル中心に対して斜めに
逸らせた本考案に係るレーザ加工ノズルの平面図であ
る。FIG. 2 is a plan view of a laser processing nozzle according to the present invention in which the direction of the gas introduction port is obliquely deviated with respect to the center of the nozzle.
【図３】方向可変ガイド翼を有する本考案に係るレーザ
加工ノズルの平面図である。FIG. 3 is a plan view of a laser processing nozzle having variable direction guide vanes according to the present invention.
【図４】右回り用のガス導入口と左回り用のガス導入口
を有する本考案に係るレーザ加工ノズルの平面図であ
る。FIG. 4 is a plan view of a laser processing nozzle according to the present invention having a clockwise gas inlet and a counterclockwise gas inlet.
【図５】ノズルが回転する場合を示す本考案に係るレー
ザ加工ノズルの側断面図である。FIG. 5 is a side sectional view of a laser processing nozzle according to the present invention showing a case where the nozzle rotates.
【図６】図６(a) は主ノズルの進行方向後方に補助ノズ
ルを有する場合を示す本考案のレーザ加工ノズルの側断
面図、図６(b) は図６(a) のVI−VI線断面図である。6 (a) is a side sectional view of a laser machining nozzle of the present invention showing a case where an auxiliary nozzle is provided behind the main nozzle in the traveling direction, and FIG. 6 (b) is VI-VI of FIG. 6 (a). It is a line sectional view.
【図７】図７(a) は主ノズルの周囲に同軸の複数の補助
ノズルを有する場合を示す本考案のレーザ加工ノズルの
側断面図、図７(b) は図７(a) のVII −VII 線断面図で
ある。7 (a) is a side sectional view of a laser processing nozzle of the present invention showing a case where a plurality of coaxial auxiliary nozzles are provided around a main nozzle, and FIG. 7 (b) is a VII of FIG. 7 (a). It is a VII line sectional view.
【図８】偏光機構を有する場合を示す本考案のレーザ加
工ノズルの側面図である。FIG. 8 is a side view of a laser processing nozzle of the present invention showing a case where a polarization mechanism is provided.
【図９】従来のレーザ加工ノズルの断面図である。FIG. 9 is a cross-sectional view of a conventional laser processing nozzle.
【図１０】従来の別のレーザ加工ノズルの断面図であ
る。FIG. 10 is a cross-sectional view of another conventional laser processing nozzle.
【図１１】従来のさらに別のレーザ加工ノズルの断面図
である。FIG. 11 is a sectional view of still another conventional laser processing nozzle.
【図１２】従来のレーザ加工ヘッドの断面図である。FIG. 12 is a cross-sectional view of a conventional laser processing head.
【図１３】従来の補助ノズルを有するレーザ加工ノズル
の側断面図である。FIG. 13 is a side sectional view of a laser processing nozzle having a conventional auxiliary nozzle.
１…レーザビーム ２…集光レンズ ５…厚鋼板 ６…酸素ガス（アシストガス） ７、７ａ、７ｂ、２５、２９…ガス導入パイプ ８…ノズル ９、９ａ…突起 １０…吹き出し口 １１…中心 １２…ガス導入口 １３…方向変換ガイド翼 １７…補助ノズル ２４…トレース用車輪 ２６…ヒータ ３４…１／４波長板 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Laser beam 2 ... Condensing lens 5 ... Thick steel plate 6 ... Oxygen gas (assist gas) 7, 7a, 7b, 25, 29 ... Gas introduction pipe 8 ... Nozzle 9, 9a ... Protrusion 10 ... Outlet 11 ... Center 12 ... Gas inlet 13 ... Direction guide vane 17 ... Auxiliary nozzle 24 ... Trace wheel 26 ... Heater 34 ... Quarter wave plate
Claims (11)
るレーザ加工ノズルにおいて、該ノズルから吹き出され
るアシストガスに旋回流を生じさせるために、ノズル内
周面にガス流れをガイドするための螺旋状の突起を形成
したことを特徴とするレーザ加工ノズル。1. A laser processing nozzle having a condenser lens and an assist gas introduction port, wherein a spiral for guiding the gas flow to the inner peripheral surface of the nozzle in order to generate a swirl flow in the assist gas blown out from the nozzle. A laser processing nozzle characterized in that a projection having a circular shape is formed.
るレーザ加工ノズルにおいて、該ノズルから吹き出され
るアシストガスに旋回流を生じさせるために、上記アシ
ストガス導入口からノズル内に導入されるガスに右回り
又は左回りの流れを与えるようにガス導入口の方向をノ
ズル中心方向に対して斜めの方向に逸らしたことを特徴
とするレーザ加工ノズル。2. In a laser processing nozzle having a condenser lens and an assist gas inlet, a gas introduced into the nozzle from the assist gas inlet to generate a swirl flow in the assist gas blown from the nozzle. A laser processing nozzle characterized in that the direction of the gas inlet is deviated in an oblique direction with respect to the nozzle center direction so as to give a clockwise or counterclockwise flow to the nozzle.
るレーザ加工ノズルにおいて、該ノズルから吹き出され
るアシストガスに旋回流を生じさせるために、上記アシ
ストガス導入口からノズル内に導入されるガスに右回り
又は左回りの流れを与える方向可変ガイド翼をノズル内
に設置したことを特徴とするレーザ加工ノズル。3. In a laser processing nozzle having a condenser lens and an assist gas introduction port, a gas introduced into the nozzle from the assist gas introduction port in order to generate a swirling flow in the assist gas blown out from the nozzle. A laser processing nozzle characterized in that a variable direction guide vane that gives a clockwise or a counterclockwise flow to the nozzle is installed in the nozzle.
るレーザ加工ノズルにおいて、該ノズルから吹き出され
るアシストガスに旋回流を生じさせるために、ノズル内
に導入されるガスに右回り又は左回りの流れを与えるよ
うにガス導入口の方向をノズル中心方向に対して斜め方
向に逸らした１個以上の右回り用のガス導入口と１個以
上の左回り用のガス導入口を有し、上記右回り用のガス
導入口へのガス流路と左回り用のガス導入口へのガス流
路を切換可能としたことを特徴とするレーザ加工ノズ
ル。4. In a laser processing nozzle having a condenser lens and an assist gas introduction port, the gas introduced into the nozzle is rotated clockwise or counterclockwise in order to generate a swirl flow in the assist gas blown from the nozzle. To have a flow of the gas inlet is obliquely deviated from the direction of the center of the nozzle to have one or more clockwise gas inlets and one or more counterclockwise gas inlets, A laser processing nozzle, wherein a gas flow path to the clockwise gas introduction port and a gas flow path to the counterclockwise gas introduction port can be switched.
るレーザ加工ノズルにおいて、該ノズルから吹き出され
るアシストガスに旋回流を生じさせるために、ノズルを
回転可能とし、且つノズル内周面に突起を形成したこと
を特徴とするレーザ加工ノズル。5. A laser processing nozzle having a condenser lens and an assist gas introduction port, wherein the nozzle is rotatable and a projection is formed on the inner peripheral surface of the nozzle in order to generate a swirl flow in the assist gas blown from the nozzle. A laser processing nozzle characterized by being formed.
るレーザ加工ノズルにおいて、主ノズルに対して加工進
行方向の後方に補助ノズルを設け、該補助ノズルの軸方
向を主ノズルの軸方向と同一としたことを特徴とするレ
ーザ加工ノズル。6. A laser processing nozzle having a condenser lens and an assist gas introduction port, wherein an auxiliary nozzle is provided behind the main nozzle in the processing direction, and the axial direction of the auxiliary nozzle is the same as the axial direction of the main nozzle. The laser processing nozzle characterized in that
るレーザ加工ノズルにおいて、主ノズルに対して加工進
行方向の後方に補助ノズルを設け、該補助ノズルの軸方
向を主ノズルの軸方向と同一とし、且つ補助ノズルを主
ノズルを中心として回動可能とし、補助ノズルに旋回自
在の車輪を付設したことを特徴とするレーザ加工ノズ
ル。7. A laser processing nozzle having a condenser lens and an assist gas introduction port, wherein an auxiliary nozzle is provided behind the main nozzle in the processing direction, and the axial direction of the auxiliary nozzle is the same as the axial direction of the main nozzle. The laser processing nozzle is characterized in that the auxiliary nozzle is rotatable about the main nozzle, and the auxiliary nozzle is provided with a wheel that can freely rotate.
を有することを特徴とする請求項７記載のレーザ加工ノ
ズル。8. The laser processing nozzle according to claim 7, further comprising a gap adjusting means between the main nozzle and the auxiliary nozzle.
るレーザ加工ノズルにおいて、主ノズルの軸方向と同一
の軸方向を有する補助ノズルを主ノズルの周囲に複数個
配し、ノズルの進行方向を検知する位置センサと上記補
助ノズルとの間に補助ノズルへのガス切換手段を設けた
ことを特徴とするレーザ加工ノズル。9. In a laser processing nozzle having a condenser lens and an assist gas introduction port, a plurality of auxiliary nozzles having the same axial direction as the main nozzle are arranged around the main nozzle, and the advancing direction of the nozzle is set. A laser processing nozzle characterized in that a gas switching means to the auxiliary nozzle is provided between the position sensor for detecting and the auxiliary nozzle.
加工方向に平行な直線偏光に変換するための回転可能な
１／４波長板を集光レンズ直上に設けたことを特徴とす
る請求項６、７、８又は９記載のレーザ加工ノズル。10. A rotatable quarter-wave plate for converting a laser beam incident as circularly polarized light into linearly polarized light parallel to the processing direction is provided directly above the condenser lens. The laser processing nozzle according to 7, 8, or 9.
る手段を設けたことを特徴とする請求項６、７、８、９
又は１０記載のレーザ加工ノズル。11. A means for preheating the assist gas to the auxiliary nozzle is provided, as claimed in claim 6, 7, 8, and 9.
Alternatively, the laser processing nozzle according to item 10.
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