JPH0662180B2 - Wafer storage box - Google Patents
Wafer storage boxInfo
- Publication number
- JPH0662180B2 JPH0662180B2 JP23049589A JP23049589A JPH0662180B2 JP H0662180 B2 JPH0662180 B2 JP H0662180B2 JP 23049589 A JP23049589 A JP 23049589A JP 23049589 A JP23049589 A JP 23049589A JP H0662180 B2 JPH0662180 B2 JP H0662180B2
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- JP
- Japan
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- case
- wafer
- storage box
- nozzle
- dust collection
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、ＩＣやトランジスタの基板となるシリコン等
の単結晶体を薄い円板状に形成したウエハを清浄環境下
で保存するウエハ保存箱に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial application] The present invention relates to a wafer storage box for storing a wafer in which a single crystal body such as silicon, which is a substrate of an IC or a transistor, is formed into a thin disk shape in a clean environment. Regarding
［従来の技術］ 従来、この種の保存箱は、合成樹脂材等により形成した
単に箱及び蓋という構成であった。[Prior Art] Conventionally, this type of storage box has a configuration of a box and a lid formed of a synthetic resin material or the like.
［発明が解決しようとする課題］ 上記の保存箱においては、保存中に外部からの微粒子
（パーティクル）による汚染が進行し、また、空気中の
有機物、金属による汚染が進行する不具合があった。[Problems to be Solved by the Invention] In the above-mentioned storage box, there is a problem that contamination by external fine particles (particles) progresses during storage, and further contamination by organic substances and metals in the air progresses.
本発明は、ウエハのこれら汚染を防止するウエハ保存箱
を提供することを目的としている。It is an object of the present invention to provide a wafer storage box that prevents these contaminations of the wafer.
［課題を解決するための手段］ 本発明によれば、収納ケースの下方に開閉手段により捕
塵ケースを画成し、前記収納ケースを大気に開放するノ
ズルと、前記捕塵ケースを真空源に連通するノズルとを
設けている。[Means for Solving the Problems] According to the present invention, a dust catching case is defined below the storage case by an opening / closing means, and the nozzle that opens the storage case to the atmosphere, and the dust catching case as a vacuum source. A communicating nozzle is provided.
上記開閉手段は、捕塵ケースの底面に沿って相互に平行
に軸支された複数のベーンと、これらベーンを連結する
リンク用ワイヤと、１個のベーンを開閉位置に回動させ
る外部のつまみとで構成するのが好ましい。The opening / closing means includes a plurality of vanes axially supported in parallel with each other along the bottom surface of the dust collection case, a link wire connecting the vanes, and an external knob for rotating one vane to an opening / closing position. It is preferable to configure with.
また、収納ケースを発塵性の少ない合成樹脂（テフロン
等）又はステレンス板又はアルミ板で形成し、そして捕
塵ケースをステレンス板又はアルミ板で形成し、これら
両ケースをアルミ又はステレンスのハニカム構造の外ケ
ースに収め、外ケースに気密構造のカバーを枢着するの
が好ましい。In addition, the storage case is made of synthetic resin (Teflon etc.) with low dust generation, or stainless steel plate or aluminum plate, and the dust collection case is made of stainless steel plate or aluminum plate, and both cases are made of aluminum or stainless steel honeycomb structure. It is preferable that the cover is housed in the outer case and a cover having an airtight structure is pivotally attached to the outer case.
［作用］ 上記のように構成されたウエハ保存箱においては、ウエ
ハの格納に際し、ウエハを収納ケースに収納し、カバー
を閉め、ベーンを開状態にしてノズルを介し真空引きす
る。これにより内部の空気中に浮遊している微粒子は、
真空下において捕塵ケースの底面に沈降する。[Operation] In the wafer storage box configured as described above, when storing the wafer, the wafer is stored in the storage case, the cover is closed, the vane is opened, and the vacuum is drawn through the nozzle. Due to this, the fine particles floating in the air inside are
Settles on the bottom of the dust collection case under vacuum.
また、ウエハを取り出す際は、ベーンを閉状態にして捕
塵ケース側を収納ケース側から隔離し、ノズルを介して
収納ケースを大気に開放する。これにより捕塵ケース底
面の微粒子は直接気流に触れることがないので、再浮上
してウエハに付着して汚染するのが防止される。Further, when taking out the wafer, the vane is closed to separate the dust collection case side from the storage case side, and the storage case is opened to the atmosphere through the nozzle. As a result, the fine particles on the bottom surface of the dust-collecting case do not come into direct contact with the air flow, so that they are prevented from re-floating and adhering to the wafer to be contaminated.
また、再度真空引きすると、捕塵ケース内の微粒子は吸
引され、セルフクリーニング作用が行われる。Further, when the vacuum is pulled again, the fine particles in the dust collection case are sucked, and the self-cleaning action is performed.
［実施例］ 以下図面を参照して本発明の実施例を説明する。Embodiments Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
第１図および第２図において、アルミ又はステンレスの
ハニカム構造で形成された直方体状の外ケース１の一縁
部には、防塵対策の施されたヒンジ２、２により外ケー
ス１と同構造で透視窓４を備えたカバー３が枢着され、
外ケース１の上面に設けられたＯリング５により両者
１、３間がシールされるようになっている。In FIGS. 1 and 2, one edge portion of the rectangular parallelepiped outer case 1 formed of a honeycomb structure of aluminum or stainless steel has the same structure as the outer case 1 by means of hinges 2 and 2 provided with dustproof measures. A cover 3 having a see-through window 4 is pivotally attached,
An O-ring 5 provided on the upper surface of the outer case 1 seals between the both 1 and 3.
この外ケース１の内側には、ウエハＡを収納するステン
レス製の内ケース６が密接して収められている。そし
て、その内ケース６の内部は、真空破壊用のノズル７に
より大気に開放されるようになっている。Inside the outer case 1, an inner case 6 made of stainless steel for housing the wafer A is closely fitted. The inside of the inner case 6 is opened to the atmosphere by a nozzle 7 for breaking vacuum.
第３図ないし第５図において、内ケース６の下方には、
ステンレス製の捕塵ケース８が設けられ、その捕塵ケー
ス８内は、真空引き用のノズル９により図示しない真空
源に連通されるようになっている。In FIGS. 3 to 5, below the inner case 6,
A stainless dust collecting case 8 is provided, and the inside of the dust collecting case 8 is connected to a vacuum source (not shown) by a nozzle 9 for vacuuming.
その捕塵ケース８内には、複数（図示の例では１１個）
のベーン１０がケース８の底面に沿って相互に平行に軸
支されている。これらベーン１０、１０……は、相互の
両端部がリンク用ワイヤ１１、１１により連結され、１
個のベーン１０の回動により捕塵ケース８側を内ケース
６側に開閉するようになっている。A plurality (11 in the illustrated example) are provided in the dust collection case 8.
Vanes 10 are axially supported parallel to each other along the bottom surface of the case 8. Both ends of the vanes 10, 10, ... Are connected to each other by link wires 11, 11, and
The dust collection case 8 side is opened and closed to the inner case 6 side by the rotation of the individual vanes 10.
その１個のベーン１０の支軸１２の端部には、二方取り
部１２ａが形成され、その二方取り部１２ａは回転用つ
まみ１３の軸部１３ａに形成されたスリット１３ｂに係
合されている。そして、その軸部１３ａは、外ケース１
に真空用シール１４により気密に回動自在に支持されて
おり、これらの部材１０〜１４により開閉手段が構成さ
れている。なお、このシール１４とヒンジ２とには、公
知技術による磁性流体を利用した高気密性のものが用い
られている。The one end of the support shaft 12 of the vane 10 is formed with a two-way cutout portion 12a, and the two-way cutout portion 12a is engaged with a slit 13b formed in the shaft portion 13a of the rotary knob 13. ing. Then, the shaft portion 13a is the outer case 1
Is rotatably and rotatably supported by a vacuum seal 14, and these members 10 to 14 constitute an opening / closing means. The seal 14 and the hinge 2 are made of a well-known airtight seal using a magnetic fluid.
ウエハＡの格納に際し、ウエハＡを内ケース６内に収納
し、カバー３を閉め、つまみ１３を回動してベーン１
０、１０……を開状態にし、ノズル９を介して真空引き
する。これにより、内ケース６及び捕塵ケース８内の空
気中に浮遊している微粒子は、真空下において捕塵ケー
ス８の底面に沈降する。When storing the wafer A, the wafer A is stored in the inner case 6, the cover 3 is closed, and the knob 13 is rotated to rotate the vane 1.
0, 10 ... Are opened and a vacuum is drawn through the nozzle 9. As a result, the fine particles floating in the air in the inner case 6 and the dust collection case 8 settle on the bottom surface of the dust collection case 8 under vacuum.
ウエハＡの取り出しに際し、つまみ１３を回動してベー
ン１０、１０……を閉状態にし、捕塵ケース８側を閉じ
たのち、ノズル７を介して内ケース６内を大気に開放す
る。これにより、捕塵ケース８底面の微粒子は直接気流
に触れることがないので、再浮上してウエハＡに付着し
て汚染することが防止される。At the time of taking out the wafer A, the knob 13 is rotated to close the vanes 10, 10 ... And the dust collecting case 8 side is closed, and then the inside of the inner case 6 is opened to the atmosphere through the nozzle 7. As a result, the particles on the bottom surface of the dust-collecting case 8 do not come into direct contact with the air flow, so that the particles are prevented from re-floating and adhering to the wafer A to be contaminated.
そして、次に、再度真空引きするときは、積極的に捕塵
ケース８内の微粒子を吸引するので、一種のセフルクリ
ーニング作用が得られる。Then, when vacuuming is performed again next time, since the fine particles in the dust collection case 8 are positively sucked, a kind of ceffluent cleaning action is obtained.
［発明の効果］ 本発明は、以上説明したように構成されているので、ウ
エハを真空な清浄環境下で長期に保存し、ウエハの汚染
の進行とを防止することができる。EFFECT OF THE INVENTION Since the present invention is configured as described above, it is possible to store a wafer in a vacuum clean environment for a long period of time and prevent the wafer from being contaminated.
また、真空破壊時の微粒子の再付着による汚染も防止す
ることができる。Further, it is possible to prevent contamination due to redeposition of fine particles when the vacuum is broken.
第１図は本発明の一実施例を示す斜視図、第２図はカバ
ーを示す斜視図、第３図は第１図のＩ−Ｉ線矢視断面
図、第４図は第３図のII部の拡大図、第５図は第３図の
III−III線矢視断面図である。 １……外ケース、２……カバー、６……内ケース、７…
…真空破壊用のノズル、８……捕塵ケース、９……真空
引き用のノズル、１０……ベーン、１１……リンク用ワ
イヤ、１２……支軸、１３……回転用つまみ、１４……
真空用シール1 is a perspective view showing an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a perspective view showing a cover, FIG. 3 is a sectional view taken along the line I--I of FIG. 1, and FIG. 4 is a view of FIG. An enlarged view of part II, and Fig. 5 is of Fig. 3
It is a sectional view taken along the line III-III. 1 ... Outer case, 2 ... Cover, 6 ... Inner case, 7 ...
... vacuum breaking nozzle, 8 ... dust collection case, 9 ... vacuum drawing nozzle, 10 ... vane, 11 ... link wire, 12 ... spindle, 13 ... rotating knob, 14 ... …
Vacuum seal
Claims (1)
ースを画成し、前記収納ケースを大気に開放するノズル
と、前記捕塵ケースを真空源に連通するノズルとを設け
たことを特徴とするウエハ保存箱。1. A dust collection case is defined below the storage case by an opening / closing means, and a nozzle for opening the storage case to the atmosphere and a nozzle for communicating the dust collection case with a vacuum source are provided. Wafer storage box.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23049589A JPH0662180B2 (en) | 1989-09-07 | 1989-09-07 | Wafer storage box |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23049589A JPH0662180B2 (en) | 1989-09-07 | 1989-09-07 | Wafer storage box |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0398878A JPH0398878A (en) | 1991-04-24 |
| JPH0662180B2 true JPH0662180B2 (en) | 1994-08-17 |
Family
ID=16908667
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23049589A Expired - Lifetime JPH0662180B2 (en) | 1989-09-07 | 1989-09-07 | Wafer storage box |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0662180B2 (en) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5217053A (en) * | 1990-02-05 | 1993-06-08 | Texas Instruments Incorporated | Vented vacuum semiconductor wafer cassette |
| CN101052438B (en) * | 2004-10-29 | 2012-06-06 | 皇家飞利浦电子股份有限公司 | Electrode assembly for cardiac monitoring and treatment |
| CN110606278A (en) * | 2019-10-18 | 2019-12-24 | 王戗戗 | Optical element |
| KR102322999B1 (en) * | 2020-02-11 | 2021-11-05 | 홍춘강 | A Sealing Case |
-
1989
- 1989-09-07 JP JP23049589A patent/JPH0662180B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0398878A (en) | 1991-04-24 |
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