JPH06506709A - Photosensitive composition containing comb polymer binder - Google Patents
Photosensitive composition containing comb polymer binderInfo
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。 (57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.
Description
【発明の詳細な説明】 発明の名称 コームポリマーバインダー含有の感光性組成物関連出願の相互参照 この特許出願は1991年2月28日に出願した係属中の特許出願第07/ 6 62.540号の一部継続出願である。[Detailed description of the invention] name of invention Cross-reference to applications related to photosensitive compositions containing comb polymer binders This patent application is pending patent application No. 07/6 filed on February 28, 1991. This is a continuation-in-part of No. 62.540.
発明の背景 本発明はコームポリマー(comb polymer)の一つの種類と考えられ る物質の新規な組成物に関する。本発明はそのようなポリマー生成物を含む液体 及び固体の画像形成用及び感光性組成物にも関し、そしてそのような組成物のフ ォトレジスト及びソルダーマスクとしての使用を含む。Background of the invention The present invention is considered a type of comb polymer. The present invention relates to novel compositions of substances. The present invention relates to liquids containing such polymeric products. and solid imaging and photosensitive compositions, and also relates to solid imaging and photosensitive compositions, and Including use as photoresist and solder mask.
ポリマー生成物は画像形成用及び感光性系の成分として、そして特にJ、 Ko sar、r感光性系−非ハロゲン化銀写真処理法の化学と応用J (John Viley & 5ons、 Inc、。Polymeric products are used as components of imaging and photosensitive systems, and in particular in J. Ko. sar, r photosensitive systems - Chemistry and applications of non-silver halide photographic processing methods J (John Viley & 5ons, Inc.
1965)、及びより最近のJ、 Sturge、 V、 Walworth and^。1965), and more recently J, Sturge, V, Walworth. and^.
5hepp編集、[画像形成の方法及び材料−Neblette版、第8版(V an No5trand Re1nhold、1989)に記述されたような光 画像形成系において使用される。そのような系においては、化学線が光活性成分 を含む材料に衝突してその材料に物理的又は化学的変化を起こす。有用な画像又 は現像処理して有用な画像にすることができる潜像はこのようにしてつくられる 。画像形成に有用な代表的な化学線は近紫外部から可視スペクトル領域にわたる 光であり、そしである場合には赤外線、深紫外線、X線及び電子ビームも含むこ とがある。Edited by 5hepp, [Methods and materials for image formation - Nebulette edition, 8th edition (V An No. 5 trand (Re1nhold, 1989) Used in image forming systems. In such systems, actinic radiation Collisions with materials containing substances, causing physical or chemical changes in the materials. Useful images A latent image is thus created that can be processed into a useful image. . Typical actinic radiation useful for imaging spans the near-ultraviolet to visible spectral range. Light, and if so, may also include infrared rays, deep ultraviolet rays, X-rays, and electron beams. There is.
ポリマー生成物はそれ自身光活性であり得るが、一般には感光性組成物はポリマ ー生成物の外に1つ又はそれより多い光活性成分を含んでいる。化学線に露光す ると、光活性成分は作用してレオロジー状態、溶解性、表面特性、屈折率、色、 電磁特性又は上のNebletteの出版物に記述されているような感光性組成 物の他の物理的又は化学的性質が変化する。Although the polymeric product itself can be photoactive, generally the photosensitive composition is - Contains one or more photoactive components in addition to the product. exposure to actinic radiation The photoactive components act to modify the rheological state, solubility, surface properties, refractive index, color, electromagnetic properties or photosensitive compositions as described in the Neblett publication above. Other physical or chemical properties of the thing change.
ポリマー生成物は上記Nebletteの出版物の第7章に記述されたような光 重合性系に特に有用である。そのような光重合性系は典型的には結合剤として1 つ又はそれより多い線状ポリマー、及び1つ又はそれより多い末端エチレン性不 飽和の部位を持つ少なくとも1つの付加重合性モノマー成分を持つ。しばしば結 合剤は単純なポリマーのブレンド、すなわち2つ又はそれより多いポリマーの均 質な混合物であって、異なる種類のポリマー鎖の間に共有化学結合のないそれで ある。画像形成露光の間、七ツマー成分は重合及び/又は架橋してポリマー又は ポリマー網状構造を形成し、その中で少なくともいくつかのポリマー結合剤が捕 捉され、それにより露光部分は光硬化又は不溶化される。The polymer product is exposed to light as described in Chapter 7 of the Neblett publication cited above. Particularly useful in polymerizable systems. Such photopolymerizable systems typically contain 1 as a binder. one or more linear polymers, and one or more terminal ethylenic polymers. Contains at least one addition-polymerizable monomer component having a saturated site. often ends A combination is a simple blend of polymers, i.e. a homogeneous mixture of two or more polymers. A quality mixture that has no covalent chemical bonds between different types of polymer chains. be. During imaging exposure, the heptamer component polymerizes and/or crosslinks to form a polymer or form a polymer network within which at least some of the polymer binder is trapped. The exposed portions are thereby photocured or insolubilized.
コームポリマーは多数の枝ポリマーセグメントが線状ポリマーの主鎖セグメント に沿って結合している特定の種類の枝分かれポリマーである。コームポリマーは ポリマーアームを持つ線状ポリマーということができる。そのようなポリマーは 通常は慣用的なモノマーをマクロマーと共重合させることによりつくられる。マ クロマーはKavaka■iにより「ポリマーの化学及びエンジニアリングの辞 典」、9巻、195〜204ページ(John filey & 5ons。Comb polymers have a large number of branched polymer segments that form the main chain segment of a linear polymer. A particular type of branched polymer that is bonded along the Comb polymer is It can be said to be a linear polymer with polymer arms. Such polymers are They are usually made by copolymerizing conventional monomers with macromers. Ma Chromer is a term used by Kavaka i as a term for polymer chemistry and engineering. 9, pp. 195-204 (John filey & 5ons.
New York、 1987)において数百〜数百の分子量を持ち、末端にさ らに重合することができる官能基、例えばエチレン、エポキシ、ジカルボン酸、 ジオール又はジアミノ基を持つポリマーと定義されている。欧州特許出願第28 0、979号はそのようなポリマーの印刷用版(printingfor■S) 又はレジストパターンの製造に適する光重合性材料における結合剤としての使用 を開示している。開示したポリマーバインダーは膜形成コポリマーからなり、こ の物は少なくとも1つの相が室温より低いガラス転移温度を持ち、そして少なく とも1つの他の相が室温より高いガラス転移温度を持つ多相形態である。このコ ポリマーは10.000より大きい平均分子量(重量平均)を持ち、そして10 00〜100.000の平均分子量(重量平均)のエチレン性不飽和モノマーを 使用してつくられる。New York, 1987), it has a molecular weight of several hundred to several hundred, and has a Functional groups that can be further polymerized, such as ethylene, epoxy, dicarboxylic acids, It is defined as a polymer with diol or diamino groups. European Patent Application No. 28 No. 0,979 is a printing plate for such a polymer. or as a binder in photopolymerizable materials suitable for the production of resist patterns. is disclosed. The disclosed polymer binder consists of a film-forming copolymer, which those in which at least one phase has a glass transition temperature below room temperature and less than Both are multiphase forms in which one other phase has a glass transition temperature above room temperature. This The polymer has an average molecular weight (weight average) greater than 10.000, and Ethylenically unsaturated monomers with an average molecular weight (weight average) of 00 to 100.000 made using
既存のコームポリマーの物理的及び化学的性質はある感光性系には望ましいが、 使用するコームポリマーの枝ポリマーセグメントは高度に多分散状態であり、通 常は高分子量を持ち、そして比較的製造費用が高い。明瞭な輪郭の構造を持ち、 製造費用が安く、そして光画像形成系において良好に処理されて強靭、柔軟、密 着性又は他の点て有用な親水性官能価を持つコームポリマーバインダーをつくり 、そしてそれらの最終使用性能が改良される一方工程段階を減らす必要があるが 、現在の技術では対処できない。Although the physical and chemical properties of existing comb polymers are desirable for some photosensitive systems, The branch polymer segments of the comb polymers used are highly polydisperse and commonly They usually have high molecular weights and are relatively expensive to manufacture. It has a clearly outlined structure, They are cheap to manufacture and process well in photoimaging systems to be tough, flexible, and dense. Create comb polymer binders with hydrophilic functionality that is useful for adhesion or other purposes. , and their end use performance needs to be reduced while process steps are improved. , cannot be addressed with current technology.
発明の概要 本発明は線状ポリマー主鎖セグメントに沿って化学的に結合した1つ又はそれよ り多い枝ポリマーセグメントからなる親水性基を含む枝分かれポリマー生成物に 関し、その中で枝ポリマー生成物は少なくとも1つのエチレン性不飽和マクロマ ー成分及び少なくとも1つのエチレン性不飽和コモノマーの付加重合の間に形成 され、その中で (a) エチレン性不飽和マクロマー成分は40.000より太き(ない重量平 均分子量(Iv)を持ち、(b) 線状ポリマー主鎖セグメントは約10.00 0〜約500、000の重量平均分子量(璽、)を持ち、(C) 線状ポリマー 主鎖セグメントの枝ポリマーセグメント(1つ又は複数)に対する重量比は約2 00/ 1から約1/4までの範囲内にあり、そして(d) 枝ポリマーセグメ ント(1つ又は複数)は約35%〜100%の親水性基を含む。Summary of the invention The present invention provides one or more chemically bonded along a linear polymer backbone segment. branched polymer products containing hydrophilic groups consisting of many branched polymer segments. in which the branched polymer product contains at least one ethylenically unsaturated macromer. - formed during the addition polymerization of the component and at least one ethylenically unsaturated comonomer. and in that (a) The ethylenically unsaturated macromer component is thicker than 40.000 (no weight average) (b) The linear polymer backbone segment has an average molecular weight (Iv) of approximately 10.00 having a weight average molecular weight ( ) of 0 to about 500,000, (C) a linear polymer; The weight ratio of main chain segment to branch polymer segment(s) is approximately 2 00/1 to about 1/4; and (d) a branched polymer segment. The component(s) contain about 35% to 100% hydrophilic groups.
より詳しくは、本発明は親水性基を含む枝分かれポリマー生成物及び少なくとも 1つの光活性又は熱活性成分からなる感受性組成物に関する。本発明の特定の具 体例は (a) 線状ポリマー主鎖セグメントに沿って化学的に結合した多数の枝ポリマ ーセグメントからなる枝分かれポリマー生成物(その中で枝ポリマーセグメント は1つ又はそれより多い親水性官能基を含む少なくとも1つのエチレン性不飽和 マクロマー成分から枝分かれポリマー生成物の付加重合の間に形成され、その中 でエチレン性不飽和マクロマー成分は30.000より太き(ない重量平均分子 量(ml、)及び約5より大きくない多分散度(11,/l1n)を持つ)、及 び (b) 少なくとも1つの光活性又は熱活性成分からなる感受性組成物である。More particularly, the present invention provides branched polymeric products containing hydrophilic groups and at least It relates to sensitive compositions consisting of one photoactive or thermally active component. Specific devices of the present invention The example is (a) Numerous branch polymers chemically bonded along a linear polymer backbone segment -branched polymer products consisting of segments (in which branched polymer segments is at least one ethylenically unsaturated containing one or more hydrophilic functional groups Formed during addition polymerization of branched polymer products from macromer components; The ethylenically unsaturated macromer component is thicker than 30,000 (no weight average molecular volume (ml, ) and polydispersity (11,/l1n) not greater than about 5), and Beauty (b) A sensitive composition comprising at least one photoactive or thermally active component.
発明の詳細な記述 本発明の感受性組成物はポリマーアームとして知られる枝ポリマーセグメントを 持つコームポリマーとして知られる新規な枝分かれポリマー生成物を含み、前記 枝ポリマーセグメントは限定された分子量及び線状ポリマー主鎖セグメントに対 する限定された重量比を持ち、そして典型的にはポリマー生成物に存在する親水 性基の大部分を含む。この組成物は又触媒、光開始剤などの成分を含み、これら は組成物を熱及び/又は放射エネルギーに対して反応性にする。detailed description of the invention The sensitive compositions of the present invention contain branched polymer segments known as polymer arms. Contains a novel branched polymer product known as a comb polymer with Branched polymer segments have limited molecular weight and linear polymer backbone segments. hydrophilic acid that has a limited weight ratio and is typically present in the polymer product Contains most of the sexual groups. The composition also contains components such as catalysts and photoinitiators; makes the composition responsive to heat and/or radiant energy.
ポリマー生炙物 枝分かれポリマー生成物は親水性基を含み、そして線状ポリマー主鎖セグメント に沿って結合した1つ又はそれより多い枝ポリマーセグメントからなる。枝ポリ マー生成物は少なくとも一つのエチレン性不飽和マクロマー成分及び少なくとも 一つのエチレン性不飽和コモノマーの遊離基付加重合の間に形成される。エチレ ン性不飽和マクロマー成分は40.000より大きくない重量平均分子量(菖、 )を持ち、そして重合により生成する線状ポリマー主鎖セグメントは約10.0 00〜約500.000の重量平均分子量(画、)を持つ。線状ポリマー主鎖セ グメントの枝ポリマーセグメントに対する重量比は約2θ0/1から約1/4の 範囲まで、好ましくは約80/ 20から約60/ 40までの範囲である。好 ましくはマクロマー成分は数百〜約40.000、そしていっそう好ましくは約 6.000〜約15.000の重量平均分子量(Ml)を持つ。典型的にはその ようなエチレン性不飽和マクロマー成分はマクロマー成分を形成させるために使 用する2〜約500のモノマーユニット、そして好ましくは30〜200のモノ マーユニットの分子量と同等の重量平均分子量(1,)を持つことができる。Polymer raw grilled food The branched polymer product contains hydrophilic groups and linear polymer backbone segments consisting of one or more branched polymer segments joined along. branch poly The mer product comprises at least one ethylenically unsaturated macromer component and at least Formed during free radical addition polymerization of one ethylenically unsaturated comonomer. Echire The functionally unsaturated macromer component has a weight average molecular weight not greater than 40,000. ), and the linear polymer main chain segment produced by polymerization is approximately 10.0 00 to about 500.000. Linear polymer main chain The weight ratio of segment to branch polymer segment is from about 2θ0/1 to about 1/4. range, preferably from about 80/20 to about 60/40. good Preferably, the macromer component ranges from several hundred to about 40,000, and even more preferably about It has a weight average molecular weight (Ml) of 6.000 to about 15.000. Typically that Ethylenically unsaturated macromer components such as 2 to about 500 monomer units used, and preferably 30 to 200 monomer units. It can have a weight average molecular weight (1,) equivalent to the molecular weight of the mer unit.
枝ポリマーセグメントは枝ポリマー生成物の中に存在する全親水性基の約35〜 100重量%、そして好ましくは約50%〜100%を含む。好ましい親水性基 はプロトン性基例えばヒドロキシ、アミノ、アンモニウム、アミド、イミド、ウ レタン、ウレイド、又はメルカプト;又はカルボン酸、スルホン酸、スルフィン 酸、リン酸、又はホスホン酸、又はそれらの塩である。好ましくは、親水性基は 酸基そして特にカルボン酸基であるが、その他の基例えばヒドロキシも存在する ことができる。本発明の酸含有枝分かれポリマー生成物は典型的には約3〜約2 0重量%そして好ましくは約5%〜約10%の酸基を含む。そのような酸含有枝 分かれポリマー生成物の枝ポリマーセグメントは典型的には存在する酸基の35 %〜100%を含む。親水性基が酸基の場合、そのような枝ポリマー生成物は好 ましくは約20〜約90、いっそう好ましくは約40〜約70の酸価を持ち、そ してエチレン性不飽和マクロマー成分は好ましくは約50〜約650、いっそう 好ましくは約90〜約300の酸価を持つ。The branch polymer segment comprises about 35 to 35 of the total hydrophilic groups present in the branch polymer product. 100% by weight, and preferably from about 50% to 100%. Preferred hydrophilic group is a protic group such as hydroxy, amino, ammonium, amide, imide, or Rethane, ureido, or mercapto; or carboxylic acid, sulfonic acid, sulfine acid, phosphoric acid, or phosphonic acid, or a salt thereof. Preferably, the hydrophilic group is Acid groups and especially carboxylic acid groups, but other groups such as hydroxy are also present. be able to. The acid-containing branched polymer products of this invention typically have about 3 to about 2 0% by weight and preferably from about 5% to about 10% acid groups. Such acid-containing branches The branched polymer segments of the split polymer product typically contain 35 of the acid groups present. % to 100%. When the hydrophilic group is an acid group, such branched polymer products are preferred. preferably has an acid value of about 20 to about 90, more preferably about 40 to about 70; and the ethylenically unsaturated macromer component preferably has a molecular weight of about 50 to about 650, and even more Preferably, it has an acid value of about 90 to about 300.
もしくは枝分かれポリマー生成物は親水性基の主要部分として塩基性基例えばア ミノ基を含むことができる。Alternatively, the branched polymer product may contain basic groups, e.g. It can contain a mino group.
この場合、エチレン性不飽和マクロマー成分は好ましくは約20〜約90、いっ そう好ましくは約40〜約70のアミン価を持ち、そしてエチレン性不飽和マク ロマー成分は好ましくは約50〜約650、いっそう好ましくは約90〜約30 0のアミン価を持つ。In this case, the ethylenically unsaturated macromer component preferably has a molecular weight of from about 20 to about 90%. so preferably has an amine value of about 40 to about 70 and an ethylenically unsaturated macromolecule. The Roman component preferably has a molecular weight of about 50 to about 650, more preferably about 90 to about 30. It has an amine value of 0.
特定の具体化においては、枝分かれポリマー生成物は線状ポリマー主鎖セグメン トに沿って化学的に結合した多数の枝ポリマーセグメントからなり、その中で枝 ポリマーセグメントは約30.000の重量平均分子量(葺W)及び約5又はそ れより低い多分散度(11,/m1n)を持ち、そしてそれに結合した少なくと も1つの親水性基を持つ。多分散度はその慣用的な意味で、重量平均分子量(M 、)の数平均分子量(Mo)に対する比すなわちl1w/Inで使用する。In certain embodiments, the branched polymer product comprises linear polymer backbone segments. It consists of a large number of branched polymer segments chemically bonded along the The polymer segment has a weight average molecular weight (W) of about 30,000 and a weight average molecular weight of about 5 or less. has a polydispersity (11,/m1n) lower than that of also has one hydrophilic group. Polydispersity, in its conventional sense, refers to the weight average molecular weight (M , ) to the number average molecular weight (Mo), that is, l1w/In.
本発明の枝分かれポリマー生成物は1つ又はそれより多い親水性官能基がそれに 結合する少なくとも1つのエチレン性不飽和マクロマー成分のコポリマーである 。一般に全ポリマー分子量は約500.000までであるが、より高い分子量も 可能である。The branched polymer products of this invention have one or more hydrophilic functional groups thereon. is a copolymer of at least one ethylenically unsaturated macromer component attached . Generally the total polymer molecular weight is up to about 500,000, but higher molecular weights are also possible. It is possible.
枝分かれポリマー生成物は少なくとも0.5重量%の枝線状セグメントを含む。The branched polymer product contains at least 0.5% by weight of branched linear segments.
枝線状セグメントはポリマーアームとしても知られ、典型的には線状ポリマー主 鎖セグメントに沿って均一に分布する。「ポリマーアーム」又は枝ポリマーセグ メントはポリマー又は少な(とも2つの反復するモノマーユニットのオリゴマー であり、この物は線状ポリマーに共有結合により付着している。枝ポリマーセグ メント又はポリマーアームはマクロマー及びコモノマーの付加重合過程の間にマ クロマー成分として枝分かれポリマー生成物中に組み込まれる。本発明の目的の ための「マクロマー」は末端エチレン性不飽和重合性基を含む数百から約40. 000までの分子量のポリマー、コポリマー又はオリゴマーである。好ましくは マクロマーはエチレン基により末端が封鎖された線状ポリマー又はコポリマーで ある。典型的には、枝分かれポリマー生成物は1つ又はそれより多いポリマーア ームそして好ましくは少なくとも2つのポリマーアームを持つコポリマーであり 、そして重合過程で使用されるモノマー成分の約0.5〜約80重量%がマクロ マーであることを特徴とする。典型的には重合過程でマクロマーと一緒に使用す るコモノマー成分は同様に単一エチレン基を含み、この物はエチレン性不飽和マ クロマーと共重合することができる。Branch linear segments are also known as polymer arms and are typically Evenly distributed along the chain segment. “Polymer arm” or branch polymer segment The ment can be a polymer or oligomer (both of two repeating monomer units). , which is covalently attached to the linear polymer. branch polymer seg Ment or polymer arms are polymerized during the addition polymerization process of macromers and comonomers. Incorporated into the branched polymer product as a chromer component. Purpose of the invention A "macromer" for use in polymers contains from several hundred to about 40. Polymers, copolymers or oligomers with molecular weights up to 0.000. Preferably Macromers are linear polymers or copolymers end-capped with ethylene groups. be. Typically, branched polymer products include one or more polymer atom(s). and preferably a copolymer having at least two polymer arms. , and about 0.5 to about 80% by weight of the monomer components used in the polymerization process are macromolecules. It is characterized by being a mer. Typically used with macromers in the polymerization process. The comonomer component likewise contains a single ethylene group, which is an ethylenically unsaturated polymer. Can be copolymerized with chromer.
エチレン性不飽和マクロマー及び生成する枝分かれポリマー生成物の枝ポリマー セグメントには1つ又はそれより多い親水性官能基が結合している。本発明の目 的にとって、「親水性基」はマクロマー及び/又はそれが結合する枝分かれポリ マー生成物の水性環境における溶解性、膨潤性、又は分散性を高める官能基を意 味するものとする。好ましい親水性基はプロトン性官能基例えばヒドロキシ、カ ルボン酸、アミノ、アンモニウム、アミド、イミド、ウレタン、ウレイド、スル ホン酸、スルフィン酸、リン酸、ホスホン酸、メルカプタン又はその塩である。Branched polymers of ethylenically unsaturated macromers and resulting branched polymer products One or more hydrophilic functional groups are attached to the segment. Eyes of the invention For purposes of this, a "hydrophilic group" refers to a macromer and/or a branched polyester to which it is attached. refers to a functional group that increases the solubility, swelling, or dispersibility of the mer product in an aqueous environment. shall be tasted. Preferred hydrophilic groups are protic functional groups such as hydroxy, carbon, etc. Rubonic acid, amino, ammonium, amide, imide, urethane, ureido, sulfuric acid Phonic acid, sulfinic acid, phosphoric acid, phosphonic acid, mercaptan or a salt thereof.
官能基はエチレン性不飽和マクロマー中にその形成の間又はその後に組み込むこ とができるが、しかしながら典型的には枝分かれポリマー生成物の形成の前に組 み込む。Functional groups may be incorporated into the ethylenically unsaturated macromer during or after its formation. however, typically assembly is performed prior to formation of the branched polymer product. engulf it.
線状ポリマー主鎖セグメントに付着する枝分かれポリマーセグメントは米国特許 4.680.352及び米国特許4、694.054の一般的記述により誘導し たエチレン性不飽和マクロマーから誘導されるそれのいずれでもよく、前記開示 は参照により本明細書に組み入れる。マクロマーはコバルト化合物特にコバルト (If)化合物を触媒連鎖移動剤として使用する遊離基重合法により製造される 。コバルト(n)化合物はペンタシアノコバルト(■)化合物又はビシナルイミ ノヒドロキシイミノ化合物、ジヒドロキシイミノ化合物、ジアザジヒドロキシイ ミノジアルキルデカジエン、ジアザジヒドロキシイミノジアルキルウンデカジエ ン、テトラアザテトラアルキルシクロテトラデカテトラエン、テトラアザテトラ アルキルシフロチドデカテトラエン、ビス(ジフルオロボリル)ジフェニルグリ オキシマト、ビス(ジフルオロボリル)ジメチルグリオキシマト、N、 N’− ビス(サリチリデン)エチレンジアミン、ジアルキルジアザ−ジオキソジアルキ ルドデカジエン、又はジアルキルジアザジオキソジアルキル−トリデカジエンの コバルト(n)キレートであることができる。Branched polymer segments attached to linear polymer backbone segments are U.S. patented 4.680.352 and the general description of U.S. Pat. No. 4,694.054. or any of those derived from ethylenically unsaturated macromers, as disclosed above. is incorporated herein by reference. Macromers are cobalt compounds, especially cobalt (If) produced by free radical polymerization using the compound as a catalytic chain transfer agent . Cobalt (n) compounds are pentacyanocobalt (■) compounds or vicinal imitations. dihydroxyimino compounds, dihydroxyimino compounds, diazadihydroxyimino compounds Minodialkyldecadiene, diazadihydroxyiminodialkylundecadiene Tetraazatetraalkylcyclotetradecatetraene, Tetraazatetraene Alkyl cyfurotide decatetraene, bis(difluoroboryl) diphenylglycium Oxymato, bis(difluoroboryl)dimethylglyoximato, N, N'- Bis(salicylidene)ethylenediamine, dialkyldiaza-dioxodialkyl of rudodecadiene or dialkyldiazadioxodialkyl-tridecadiene It can be a cobalt(n) chelate.
低分子メタクリレートマクロマーを米国特許4.722.984に開示のように ペンタシアノコバルト(n)触媒連鎖移動剤を使用してつくることもでき、前記 開示は参照により本明細書に組み入れる。A low molecular weight methacrylate macromer as disclosed in U.S. Pat. No. 4,722,984. It can also be made using a pentacyanocobalt (n) catalyzed chain transfer agent, as described above. The disclosure is incorporated herein by reference.
マクロマーの例はビニルポリマー、アクリルポリマー及びアクリルモノマーとビ ニルモノマーとのコポリマーであり、この場合ポリマー又はコポリマーは末端エ チ[ノン基及び親水性官能基を持つ。マクロマーの製造に使用できる好ましいモ ノマー成分はメチルメタクリレート(IIIIA) ;エチルメタクリレート( EIA) 、ブチルメタクリレート(Bll^);2−エチルへキシルメタクリ レート;メチルアクリレート(菖^):エチルレアクリレート(EA) 。Examples of macromers are vinyl polymers, acrylic polymers, and acrylic monomers and vinyl polymers. In this case, the polymer or copolymer has a terminal polymer. It has a non group and a hydrophilic functional group. Preferred models that can be used to produce macromers Nomer components are methyl methacrylate (IIIA); ethyl methacrylate ( EIA), butyl methacrylate (Bll^); 2-ethylhexyl methacrylate Rate: Methyl acrylate (薖^): Ethyl rare acrylate (EA).
ブチルアクリレート(BA);2−エチルへキシルアクリレート:2−ヒドロキ シエチルメタクリレート(HIJA) ;2−ヒドロキシエチルアクリレート( tlE^);メタクリル酸(菖^A)ニアクリル酸(A^);エステル基が1〜 18の炭素原子を含むアクリル及びメタクリル酸のエステル;アクリル及びメタ クリル酸のニトリル及びアミドニグリンジルメタクリレート及びアクリレート; イタコン酸(IA)及び無水イタコン酸、半エステル及びイミド:マレイン酸及 び無水マレイン酸、半エステル及びイミド:アミノエチルメタクリレート;t− ブチルアミノエチルメタクリレート、ジメチルアミノエチルメタクリレート:ジ エチルアミノエチルメタクリレート;アミノエチルアクリレートニジメチルアミ ノエチルアクリレート;ジエチルアミノエチルアクリレート;アクリルアミド; N−t−オクチルアクリルアミド;ビニルメチルエーテル;スチレン(S):ア ルファーメチルスチレン;酢酸ビニル;塩化ビニルなどを含む。Butyl acrylate (BA); 2-ethylhexyl acrylate: 2-hydroxy Ethyl methacrylate (HIJA); 2-hydroxyethyl acrylate ( tlE^); Methacrylic acid (薖^A) Niacrylic acid (A^); Ester group is 1~ Acrylic and methacrylic acid esters containing 18 carbon atoms; acrylic and methacrylic acid esters containing 18 carbon atoms; Nitriles and amidonigrindyl methacrylates and acrylates of acrylic acid; Itaconic acid (IA) and itaconic anhydride, half esters and imides: maleic acid and and maleic anhydride, half esters and imides: aminoethyl methacrylate; t- Butylaminoethyl methacrylate, dimethylaminoethyl methacrylate: Di Ethylaminoethyl methacrylate; aminoethyl acrylate dimethylamine Noethyl acrylate; Diethylaminoethyl acrylate; Acrylamide; N-t-octylacrylamide; vinyl methyl ether; styrene (S): a Contains rufer methyl styrene; vinyl acetate; vinyl chloride, etc.
従来技術のコームポリマーと対照的に、本発明の枝分かれポリマー生成物の枝分 かれポリマーセグメントはそれから枝分かれポリマー生成物がつくられるマクロ マー成分により決定される限定された分子量、多分散度及び親水性度を持つ。In contrast to prior art comb polymers, the branched polymer products of the present invention The polymer segment is a macromolecule from which the branched polymer product is created. It has a limited molecular weight, polydispersity and hydrophilicity determined by the mer components.
本発明に有用なマクロマーは限定された分子量を持ち、そして限定された多分散 度を持つことがある。好ましくはこのマクロマー約40.000から数百までの 重量平均分子量(11)を持つ。特定の具体化においてはマクロマーは約5又は それより少ない多分散度(if、/ wn)を持つ。マクロマーの低い分子量限 界はマクロマー形成に使用される2つ、3つ又は4つの七ツマーユニットの分子 量と同等である。好ましくはマクロマー成分はその形成に使用される2〜約50 0のモノマーユニット、そして好ましくは30〜200のモノマーユニットの分 子量と同等の重量平均分子量(Iv)を持つ。典型的にはマクロマー成分は枝分 かれポリマー生成物の製造に使用する成分の約0.5〜約80重量%、そして好 ましくは約5〜約50重量%からなる。The macromers useful in this invention have a limited molecular weight and a limited polydispersity. Sometimes there are degrees. Preferably, the macromer has about 40,000 to several hundred It has a weight average molecular weight (11). In certain embodiments, the macromer has about 5 or It has a polydispersity (if, /wn) smaller than that. Low molecular weight limit of macromers A field is a molecule of two, three or four heptad units used in macromer formation. It is equivalent to quantity. Preferably the macromer component used in its formation is from 2 to about 50 0 monomer units, and preferably 30 to 200 monomer units It has a weight average molecular weight (Iv) equivalent to the molecular weight. Typically macromer components are branched from about 0.5% to about 80% by weight of the ingredients used in making the polymeric product, and preferably Preferably, it comprises about 5 to about 50% by weight.
枝分かれポリマー生成物は慣用的な付加重合法のいずれによっても製造すること ができる。枝分かれポリマー生成物又はコームポリマーは1つ又はそれより多い 相溶性のエチレン性不飽和マクロマー成分及び1つ又はそれより多い相溶性の慣 用的なエチレン性不飽和コモノマー成分から製造することができる。好ましい付 加重合可能なエチレン性不飽和コモノマー成分はメチルメタクリレート(■^) :エチルメタクリレート(EIA) ;ブチルメタクリレート(BIA) ; 2−エチルへキシルメタクリレート:メチルアクリレート(MA) 、エチルア クリレート(EA) 、ブチルアクリレート(BA):2−エチルへキシルアク リレート;2−ヒドロキシエチルメタクリレート(tlE曹^):2−ヒドロキ シエチルアクリレート(HE^);メタクリル酸(IAA) 、アクリル酸(^ ^);イタコン酸(IA)及び無水イタコン酸、半エステル及びイミド:マレイ ン酸及び無水マレイン酸、半エステル及びイミド;アミノエチルメタクリレート :t−ブチルアミノエチルメタクリレート、ジメチルアミノエチルメタクリレー ト;ジエチルアミノエチルメタクリレート;アミノエチルアクリレートニジメチ ルアミノエチルアクリレート;ジエチルアミノエチルアクリレート:アクリルア ミド;N−t−オクチルアクリルアミド;ビニルメチルエーテル:スチレン(S );アルファーメチルスチレン;酢酸ビニル;塩化ビニルなどを含む。Branched polymer products may be prepared by any conventional addition polymerization method. Can be done. one or more branched polymer products or comb polymers a compatible ethylenically unsaturated macromer component and one or more compatible conventions; can be prepared from commercially available ethylenically unsaturated comonomer components. preferred attachment The polymerizable ethylenically unsaturated comonomer component is methyl methacrylate (■^) : Ethyl methacrylate (EIA); Butyl methacrylate (BIA); 2-Ethylhexyl methacrylate: Methyl acrylate (MA), ethyla Acrylate (EA), butyl acrylate (BA): 2-ethylhexyl ac Lylate; 2-hydroxyethyl methacrylate (tlEso^): 2-hydroxy Ethyl acrylate (HE^); methacrylic acid (IAA), acrylic acid (^ ^); Itaconic acid (IA) and itaconic anhydride, half esters and imides: Malay amino acid and maleic anhydride, half esters and imides; aminoethyl methacrylate :t-butylaminoethyl methacrylate, dimethylaminoethyl methacrylate G; Diethylaminoethyl methacrylate; Aminoethyl acrylate dimethacrylate Diethylaminoethyl acrylate; Diethylaminoethyl acrylate: Acrylic acid Mid; Nt-octylacrylamide; Vinyl methyl ether: Styrene (S ); alpha methylstyrene; vinyl acetate; vinyl chloride, etc.
本発明の枝分かれポリマー生成物の各構成要素の線状ポリマー主鎖セグメント及 び/又は枝ポリマーセグメントは上述の親水性官能基を含む種々の官能基を含む ことができる。「官能基」は直接原子価結合により又は結合基によりポリマー又 は枝ポリマーセグメントに付着することができる任意の部分とする。ポリマー主 鎖セグメント又は枝ポリマーセグメントが持つことができる官能基の例は−CO OR、−OR、−3R(式中Rは水素、1〜12の炭素原子のアルキル又はシク ロアルキル、アリール、アルカリール又はアラルキル、複素環式、又は−OR, であることができ、式中R1は1〜12の炭素原子のアルキル、アリール、アル カリール又はアラルキルであることができ閤 る): −CN;−NRlR,又は−C−1tR2R8(式中R3及びR8は水 素、1〜12の炭素原子のアルキル又はシクロアルキル、アリール、アルカリー ル、アラルキル、−CIl*0R4(式中R4は水素、1〜12の炭素原子のア ルキル又はシクロアルキル、アリール、アルカリール、アラルキルであることが できる)であることができ、又はR1及びR3は一緒に複素環式環を形成するこ とができる) ; −C−CRsRt (式中に5、R6及びR7は水素、1〜 12の炭素原子のアルキル又はシクロアルキル、アリール、アルカリール、アラ ルキル、又は−COORであることができ、又はR8、Ro及び/又はR7は環 状基を形成することができる) ニー80,5ウレタン基;イソシアネート又は ブロックされたイソシアネート基;ウレア基;オキシラン基ニアシリジン基;キ ノンジアジド基;アゾ基ニアシト基;ジアゾニウム基ニアセチルアセトキシ基; −5iR@R@R,。(式中R8、R9及びI?toは1〜12の炭素原子のア ルキル又はシクロアルキル又は−OR,、であることができ、式中R11は、1 〜12の炭素原子のアルキル又はシクロアルキル、アリール、アルカリール、ア ラルキルであることができる):又は−03O3R,、、−0POtR+ t、 −PO,R,!、−PR+ tR+ sR+ <、−0POR+ t、−3R+ J+ s、又は−N十RIJIJ14基(式中R11、R13及びR14は水 素、1〜12の炭素原子のアルキル又はシクロアルキル、アリール、アルカリー ル、アラルキルであることができる);又は前述のいずれかの塩又はオニウム塩 である。好ましい官能基は−COOH,−0■、−NFIm、アミド基、ビニル 基、ウレタン基、イソシアネート基、ブロックされたイソシアネート基又はそれ らの組合わせである。The linear polymer backbone segments and components of each component of the branched polymer products of this invention and/or branch polymer segments may contain various functional groups, including the hydrophilic functional groups described above. be able to. "Functional group" refers to polymers or Let be any moiety that can be attached to a branch polymer segment. polymer main Examples of functional groups that chain segments or branched polymer segments can have are -CO OR, -OR, -3R (wherein R is hydrogen, alkyl of 1 to 12 carbon atoms, or loalkyl, aryl, alkaryl or aralkyl, heterocyclic, or -OR, where R1 is alkyl, aryl, alkyl of 1 to 12 carbon atoms. Can be karyl or aralkyl ): -CN; -NRlR, or -C-1tR2R8 (wherein R3 and R8 are water alkyl or cycloalkyl of 1 to 12 carbon atoms, aryl, alkali Aralkyl, -CIl*0R4 (wherein R4 is hydrogen, aralkyl of 1 to 12 carbon atoms) or cycloalkyl, aryl, alkaryl, aralkyl or R1 and R3 together form a heterocyclic ring. ); -C-CRsRt (wherein 5, R6 and R7 are hydrogen, 1 to Alkyl or cycloalkyl, aryl, alkaryl, ara of 12 carbon atoms or -COOR, or R8, Ro and/or R7 are ring 80,5 urethane group; isocyanate or Blocked isocyanate group; Urea group; Oxirane group Niasiridine group; Nondiazide group; azo group, niasito group; diazonium group, niacetylacetoxy group; -5iR@R@R,. (In the formula, R8, R9 and I?to are 1 to 12 carbon atoms or cycloalkyl or -OR, where R11 is 1 Alkyl or cycloalkyl, aryl, alkaryl, alkyl of ~12 carbon atoms ralkyl): or -03O3R,, -0POtR+t, -PO,R,! , -PR+ tR+ sR+ <, -0POR+ t, -3R+ J + s, or -N 14 groups (wherein R11, R13 and R14 are water alkyl or cycloalkyl of 1 to 12 carbon atoms, aryl, alkali aralkyl, aralkyl); or a salt or onium salt of any of the foregoing. It is. Preferred functional groups are -COOH, -0■, -NFIm, amide group, vinyl group, urethane group, isocyanate group, blocked isocyanate group or It is a combination of these.
官能基は枝ポリマー生成物のいずれの位置にあってもよい。しかしながら、ある 場合ポリマー生成物の線状ポリマー主鎖セグメントに嵩高ポリマー特性を付与す るコモノマー及び枝ポリマーセグメントに親水性の外の物理的及び化学的官能性 例えば溶解性、反応性などを付与するマクロマーを選択するのが望ましい。The functional group may be located at any position on the branched polymer product. However, there are In order to impart bulky polymer properties to the linear polymer backbone segments of the polymer product, Physical and chemical functionality other than hydrophilicity in comonomers and branched polymer segments For example, it is desirable to select a macromer that imparts solubility, reactivity, etc.
本発明は単一の線状ポリマー主鎖セグメントに沿って化学的に結合した多数の枝 ポリマーセグメントからなる枝分かれポリマー生成物の分散体、溶剤及び溶融液 、コーティング及び成形物品にも関し、この場合技ポリマーセグメントは1つ又 はそれより多い親水性官能基を含む少な(とも1つのエチレン性不飽和マクロマ ー成分から枝分かれポリマー生成物の付加重合の間に形成され、この場合エチレ ン性不飽和マクロマー成分は約40.000より太き(ない重量平均分子量(閣 、)を持つ。多分散度(MW/an)は約5より大きくない。本発明は特に、感 受性でありそしてさらに少なくとも1つの光活性又は熱活性成分を含むような分 散体に関する。The present invention utilizes multiple branches chemically linked along a single linear polymer backbone segment. Dispersions, solvents and melts of branched polymer products consisting of polymer segments , coatings and molded articles, in which case the technical polymer segment is one or more contains fewer (and one ethylenically unsaturated) macromers containing more hydrophilic functional groups. - formed during the addition polymerization of branched polymer products from components, in which ethylene The unsaturated macromer component has a weight average molecular weight (weight average molecular weight) greater than about 40,000. ,)have. The polydispersity (MW/an) is not greater than about 5. The present invention particularly and further comprises at least one photoactive or thermally active component. Regarding scattering.
ポリマー生成物の分散体又は溶液は顔料を添加するか又は添加しないで工業、化 粧品及び自動車を目的とするコーティングをつくるために使用することができる 。それらは特に自動車及びトラック部品の表面摩擦抵抗性仕上げ塗りの塗装、プ ラスチック自動車部品のコーティング及び顔料分散剤として有用である。この分 散体又は溶液はマニキュア液又は他のそのような化粧用コーティング又は材料と しても有用である。Dispersions or solutions of polymer products can be used in industrial and chemical applications with or without the addition of pigments. Can be used to create coatings for cosmetic and automotive purposes . They are especially used for surface abrasion-resistant finishes, coatings, and plastics on automobile and truck parts. Useful as a coating for plastic auto parts and as a pigment dispersant. this minute The powder or solution may be mixed with nail polish remover or other such cosmetic coatings or materials. It is also useful.
分散体又は溶液から有機液体を除いた残留物は水の精製及び電解槽において使用 する半透膜として、自動車構造部品及び建築物パネル用表面摩擦抵抗性靭性フィ ルムとして、離型フィルムとして、密着性フィルム例えば多層印刷回路の製造用 として、フォトレジストとして、ソルダーマスクとして、そして航空機及び自動 車製造における種々のプラスチック材料の曲面パネルの製作用として有用なフィ ルムをつくるために使用することができる。The residue after removing the organic liquid from the dispersion or solution is used in water purification and electrolyzers. As a semi-permeable membrane for automotive structural parts and building panels, as a release film, as an adhesive film, e.g. for the production of multilayer printed circuits. as a photoresist, as a solder mask, and as an aircraft and automatic A useful filler for making curved panels of various plastic materials in car manufacturing. Can be used to create lums.
枝分かれポリマー生成物は文種々の有用な形状に押出し成形又は成形することも でき、エラストマーとして使用することができ、ガスケット、ホース、ベルト及 びブッシングの製造にそして接着剤として使用することができる。Branched polymer products can also be extruded or molded into a variety of useful shapes. Can be used as an elastomer, gasket, hose, belt and It can be used in the manufacture of bushings and bushings and as an adhesive.
すぐれた靭性−柔軟性バランス及び耐溶剤性を枝分かれポリマー生成物に、1つ 又はそれより多いポリマー成分をエポキシ、イソシアネート及びアミノブラスト 樹脂のような架橋剤で架橋することにより組み込むことかで枝分かれポリマー生 成物は特に少な(とも1つの光活性又は熱活性成分を含む感受性組成物、そして 特に感光性組成物例えばフォトレジスト、ソルダーマスクなどに有用であり、本 発明を例証するためこれらをさらに説明する。「感光性」と同義語である「光活 性」は化学線に露光するとその化学的又は物理的性質が変化するか、又は変化を 起こさせ、例えば変化により直接例えば画像が形成されるか、又は前駆体例えば 潜像が形成され、これがさらに処理されて望まれる変化を生じる物質を指すもの である。「熱活性」はその温度を上げた場合、又は物質を添加するか除去した場 合、その化学的又は物理的性質が変化するか又変化を起こさせる物質を指す。そ のような光活性又は熱活性成分の例は環化し、二量体化し、重合し、架橋し、遊 離基を生じ、化学線に露光するか又は加熱した場合イオン種を生じるか又は解離 する物質である。光活性又は感光性成分は光開始剤、光増感剤又はその組合わせ :売可溶化剤;光脱増感剤:光阻害剤:光粘着付与剤;光脱粘着付与剤:又は光 崩壊性;フォトクロミック:光還元性;光酸化性;光付着性:光剥離性;光磁性 ;光脱磁性:光導電性又は光絶縁性の成分を含み:又は化学線露光により屈折率 が変化するか、又は変化を起こさせる物質である。本発明の感受性組成物はその 中で成分(b)を成分(a)に結合する物質;又はその中で成分(b)が (i) 重合性モノマー、及び (if) 化学線により活性化することができる開始系からなる物質を含む。Excellent toughness-flexibility balance and solvent resistance in one branched polymer product or higher polymer components with epoxy, isocyanate and aminoblasts. Branched polymers can be created by cross-linking with cross-linking agents such as resins. The compositions are particularly suitable for sensitive compositions containing only a small amount (both containing one photoactive or thermally active ingredient, and It is particularly useful for photosensitive compositions such as photoresists, solder masks, etc. These will be further described to illustrate the invention. “Photosensitivity” and “photoactivity” are synonymous. ``Sensitivity'' means that its chemical or physical properties change or change when exposed to actinic radiation. directly, e.g. to form an image, or a precursor e.g. refers to a substance that forms a latent image that is further processed to produce the desired change It is. ``Thermal activation'' is when the temperature is increased or when a substance is added or removed. In other words, it refers to a substance that changes or causes a change in its chemical or physical properties. So Examples of photoactive or thermally active components such as cyclizing, dimerizing, polymerizing, crosslinking, produce ionic species or dissociate when exposed to actinic radiation or heated It is a substance that The photoactive or photosensitive component is a photoinitiator, a photosensitizer, or a combination thereof. : Solubilizer; Photodesensitizer: Photoinhibitor: Phototackifier; Photodetackifier: Or photo Disintegrability; Photochromic: Photoreducibility; Photooxidation; Photoadhesion: Photopeelability; Photomagnetism ; photodemagnetizing; containing photoconductive or photoinsulating components; or refractive index by exposure to actinic radiation; A substance that changes or causes a change to occur. The sensitive composition of the present invention a substance that binds component (b) to component (a) in (i) Polymerizable monomer, and (if) Contains a substance consisting of an initiation system that can be activated by actinic radiation.
枝分かれポリマー生成物は感光性系そして特にJ、 Kosar、r感光性系− 非ハロゲン化銀写真処理法の化学と応用J (John 1iley & 5o ns、Inc、、1965) 、そしてより最近のJ、Sturge、V、Wa lworth and^、5hepp編集、[画像形成の方法及び材料−Neb lette版、第8版」(Van No5trand Re1nhold、19 89)に記述されたような光画像形成系の成分として有用である。このような系 においては、化学線は光活性成分を含む材料に衝突してそ、 の材料に物理的又 は化学的変化を引き起こす。有用な画像又は処理して有用な画像にすることがで きる潜像はこのようにしてつくられる。画像形成に有用な代表的な化学線は近紫 外から可視スペクトル領域にわたる光であり、そしである場合には赤外線、深紫 外線、X線及び電子ビームも含むことがある。The branched polymer products are useful for photosensitive systems and especially for photosensitive systems, J. Kosar, r. Chemistry and Applications of Non-Silver Halide Photographic Processing Methods J (John 1iley & 5o ns, Inc., 1965), and more recently J. Sturge, V. Wa. lworth and^, edited by 5hepp, [Methods and materials for image formation-Neb "letter version, 8th edition" (Van No5trand Re1nhold, 19 It is useful as a component of photoimaging systems such as those described in 89). Such a system In , actinic radiation impinges on a material containing a photoactive component and causes physical or causes chemical changes. A useful image or one that can be processed into a useful image. This is how a latent image is created. The typical actinic radiation useful for image formation is near violet. Light from outside that spans the visible spectrum, including infrared and deep violet It may also include external radiation, x-rays and electron beams.
ポリマー生成物はそれ自身光活性である得るが、一般には感光性組成物はポリマ ー生成物の外に1つ又はそれより多い光活性成分を含む。化学線に露光すると、 光活性成分は作用してレオロジー状態、溶解性、表面特性、屈折率、色、電磁特 性又は上のNebletteの出版物に記述されているような感光性組成物の他 の物理的又は化学的性質が変化する。Although the polymeric product can itself be photoactive, generally the photosensitive composition is - Contains one or more photoactive components in addition to the product. When exposed to actinic radiation, Photoactive components act to modify rheological state, solubility, surface properties, refractive index, color, and electromagnetic properties. photosensitive compositions such as those described in the Neblett publication above. The physical or chemical properties of the substance change.
典型的には本発明の感光性組成物は支持されたフィルム又は層の形で使用される が、不支持固体物品をつくることもできる。感光性組成物を適当な基板に適用し て連続フィルム又は層をその上につくり、これを化学線に画像形成露光して直接 像又は潜像を形成させる。もしくは、この層を化学線に均一に露光して層を硬化 又は固化(cure or harden)させ、この時感光性組成物を連続又 はパターン化した層例えば保護仕上げ塗料、ペイント又はインキの形のいずれか で塗布することができる。慣用的な化学線源のいずれも使用することができ、ア ーク灯、放電灯及び白熱灯並びにレーザー、X線及び電子ビーム装置を含む。こ の層は純粋な無溶剤の感光性液体として又は溶液として塗布しそして乾燥して固 体層にすることができ、その中で任意の慣用的なコーティング又は印刷方法を使 用することができる。もしくは、この層又はフィルムを、支持された固体感光層 を基板に積層し、次いで場合により支持体を除くことにより適用することができ る。Typically, the photosensitive compositions of the invention are used in the form of a supported film or layer. However, unsupported solid articles can also be made. Applying the photosensitive composition to a suitable substrate a continuous film or layer is formed thereon, which is directly image-wise exposed to actinic radiation. forming an image or latent image. Alternatively, this layer can be uniformly exposed to actinic radiation to harden the layer. or cure or harden, at which time the photosensitive composition can be continuously or is a patterned layer, either in the form of a protective finish, paint or ink, e.g. It can be applied with. Any conventional actinic radiation source can be used; lamps, discharge lamps and incandescent lamps, as well as laser, X-ray and electron beam equipment. child The layer can be applied as a pure solvent-free photosensitive liquid or as a solution and dried to solidify. body layer, in which any conventional coating or printing method can be used. can be used. Alternatively, this layer or film can be used as a supported solid photosensitive layer. can be applied by laminating it to a substrate and then optionally removing the support. Ru.
化学線に露光後追加の処理段階を必要としない適用は画像が直接形成されるそれ 、例えば屈折率が化学線露光により変化するlaugh、米国特許3.658. 526に開示された感光性ポリマーホログラム、Gervay and tal ker、米国特許3.718.473に開示の浸透レジスト、Ce5con a ndDessaurer、米国特許3.445.234に開示の色形成系又は他 のフォトクロミック系を含む。光酸化性又は光還元性薬剤に基づく色形成系は1 IacLachlan、米国特許3.390.996に開示されている。装飾又 は保護コーティングを塗布しそして光硬化させるか又はパターン化した層を塗布 しそして光硬化させるような適用、例えばLipson et al、。Applications that do not require additional processing steps after exposure to actinic radiation are those in which the image is formed directly. , for example, Laugh, U.S. Pat. No. 3,658., whose refractive index changes upon exposure to actinic radiation. 526, a photosensitive polymer hologram disclosed in Gervay and tal ker, a penetrating resist disclosed in U.S. Pat. No. 3,718,473, Ce5con a ndDessaurer, color-forming systems disclosed in U.S. Pat. No. 3,445,234 or others. including photochromic systems. Color-forming systems based on photooxidizing or photoreducing agents are 1 IacLachlan, as disclosed in US Pat. No. 3,390,996. decoration apply a protective coating and photocure or apply a patterned layer. and photocuring applications, such as Lipson et al.
米国特許4.003.877に開示のフォトレジストスクリーン印ill用イン キも含まれる。Photoresist screen printing ink disclosed in U.S. Pat. No. 4.003.877. Ki is also included.
潜像を形成させる場合、潜像を含む層の露光又は未露光部分を、次に露光又は未 露光部分を除き、材料を露光又は未露光部分の上又は中に付着させるか又はさら に層を処理して画像形成層を現像することにより変性する。When forming a latent image, the exposed or unexposed portions of the layer containing the latent image are then exposed or unexposed. The material is deposited or removed on or in the exposed or unexposed areas, except for the exposed areas. The imaging layer is modified by processing the layer and developing the imaging layer.
溶剤又は水性アルカリ現像液により層の露光又は未露光部分を除いてディープレ リーフ画像又は薄いステンシル画像を形成させることができ、又はそれらを基板 に密着した残りの未露光又は露光部分からはがし取ることができる。レリーフの 側面が先細になりそして基板に伸びないディープレリーフ画像は典型的には凸版 印刷又はフレキソ印刷用印刷板として使用され、例えばPla■beck。Deep-lead the exposed or unexposed parts of the layer using a solvent or aqueous alkaline developer. Leaf images or thin stencil images can be formed or they can be attached to the substrate. It can be peeled off from any remaining unexposed or exposed areas that adhere to it. of relief Deep relief images that taper on the sides and do not extend into the substrate are typically letterpress Used as a printing plate for printing or flexographic printing, eg Plabeck.
米国特許2.760.863及びBrennen and Chen、米国特許 4、323.637に開示されている。これとは対照的に、ステンシル画像は基 板に垂直に落ちる側壁を持つ薄いレリーフであり、それにより残りの被覆されな い基板表面部分を形成する。ステンシル画像は多くの用途を持ち、例えばCe1 este、米国特許3.469.982に開示されたレジストとして、^1ie s、米国特許3.458.311に開示のリソグラフ印刷板として、Bratt and Cohen、米国特許4.229.517に開示の感光性ポリマーリ ソフィルムとして、Colgrove、米国特許3.353.955に開示の剥 離型製図用フィルムとして、又はCohen and Fan、米国特許4.2 47.619に開示の剥離型加ニジステムである。ステンシル画像を形成させ、 これをレジストとして使用する場合、未保護基板部分を形成させ、これをさらに 未保護表面部分をエツチングするか又はその上に材料を付着させて変性すること ができる。U.S. Patent 2.760.863 and Brennen and Chen, U.S. Patent 4, 323.637. In contrast, stencil images A thin relief with side walls that fall perpendicular to the plate, thereby allowing the remaining uncoated forming a thin substrate surface portion. Stencil images have many uses, for example Ce1 este, as a resist disclosed in U.S. Pat. No. 3,469,982,^1ie s, as a lithographic printing plate disclosed in U.S. Pat. No. 3,458,311, by Bratt and Cohen, photosensitive polymer resin disclosed in U.S. Pat. No. 4.229.517. Colgrove, U.S. Pat. No. 3,353,955, discloses As a release drafting film, or Cohen and Fan, U.S. Pat. No. 4.2 47.619. form a stencil image, When using this as a resist, it forms an unprotected substrate area and further Modifying unprotected surface areas by etching or depositing materials onto them Can be done.
潜像を含む層の露光及び未露光部分は材料をその上に付着させることにより変性 することができ、例えば粉状材料を未露光部分に付着させる例えばChu an d Cohen、米国特許3.649.268の加工法における光鋭粘着付与法 、又は粉状材料を層の露光部分に付着させる例えばChu et al、、米国 特許4.243.741及びGrossa、米国特許4、604.340の加工 法における光粘着付与又は光付着法による。Riesenfeld et al 、、米国特許4.732.831に開示された光導電又は光絶縁法においては液 体トナーが静電系において潜像を現像するために使用される。Gorondy。The exposed and unexposed parts of the layer containing the latent image are modified by depositing material onto them. For example, a powder material can be deposited on the unexposed areas, e.g. d Cohen, optical sharp tackification method in the processing method of U.S. Patent 3.649.268 , or applying a powdered material to the exposed portions of the layer, e.g. Chu et al., USA. Patent No. 4.243.741 and processing of Grossa, U.S. Pat. No. 4,604.340 By phototackification or photoadhesion method in the Act. Riesenfeld et al. In the photoconductive or photoinsulating method disclosed in U.S. Pat. No. 4,732,831, liquid A toner is used to develop the latent image in an electrostatic system. Gorondy.
米国特許4.105.572、Nacci、米国特許4.292.120及びN acci et al、、米国特許4.338.391及び4.359.516 に開示されたように染料を織物にそしてレジストを回路板に適用するために光磁 性及び光脱磁性系が使用される。潜像を含む感光性組成物は試薬で処理すること により又はさらに化学線又は熱で処理することによっても画像に現像することが できる。通常のハロゲン化銀又はジアゾ型系は露光により潜像を形成し、これは 現像試薬で処理すると可視画像に現像される。いくつかのハロゲン化銀直接記録 系(direct writing systems)においては、可視画像へ の現像は化学線の均質な露光により実現される。い(つかの反転画像形成法にお いては、現像前又はその間に潜像の形成を完了する処理段階が使用される。その ような系は感光性ポリマー系、例えばPazos、米国特許4、198.242 又はDoeber et aL、、米国特許4.477、556に開示されたそ れを含み、これは光阻害剤を含み、画像形成露光は層の露光部分に阻害剤を生じ 、そしてその後の化学線への均一な露光、又はある場合均一な加熱により光生成 した阻害剤のない残りの部分に潜像が生じる。U.S. Pat. No. 4.105.572, Nacci, U.S. Pat. No. 4.292.120 and N. acci et al., U.S. Patents 4.338.391 and 4.359.516 magneto-optical to apply dyes to textiles and resists to circuit boards as disclosed in Both magnetic and optical demagnetizing systems are used. The photosensitive composition containing the latent image must be treated with a reagent. or by further treatment with actinic radiation or heat. can. Ordinary silver halide or diazo type systems form a latent image upon exposure, which is When treated with a developing reagent, it is developed into a visible image. Some silver halide direct records In direct writing systems, to the visible image Development is achieved by homogeneous exposure to actinic radiation. (In the reversal image forming method) In some cases, processing steps are used to complete the formation of the latent image before or during development. the Such systems are photopolymer systems, such as Pazos, U.S. Pat. No. 4,198.242. or Doeber et al., U.S. Pat. No. 4,477,556. This includes a photoinhibitor, and the image-forming exposure produces an inhibitor in the exposed portions of the layer. , and subsequent uniform exposure to actinic radiation or, in some cases, uniform heating, to produce light A latent image is created in the remaining area without the inhibitor.
そのような反転系は脱感光性系、例えばRoos、米国特許3、778.270 に開示されたそれも含み、そこでは露光部分において、像又は潜像形成に必要な 成分は分解されるか又は不活性形態に脱感受性化され、そして未露光部分にお1 ける成分がその後の試薬による処理により像又は潜像に現像される。Such reversal systems are desensitizing systems, such as Roos, U.S. Pat. No. 3,778,270. and that disclosed in US Pat. The component is decomposed or desensitized to an inactive form and 1 is added to the unexposed areas. Subsequent treatment with reagents develops the components into an image or latent image.
そのような感光性系の例は上記のNebletteの出版物の226〜262ペ ージの第7章、^、 B、 Cohen and P、 talker。Examples of such photosensitive systems can be found on pages 226-262 of the Neblett publication cited above. Chapter 7 of the page, ^, B, Cohen and P, talker.
「ポリマー画像形成」に記述されているそれであり、そこでは光架橋、光二量体 化、光環化、先回溶化、並びにイオン及び遊離基光重合、並びに静電感光性ポリ マー画像形成及び固体画像形成が論じられている。263〜278ページ、第8 章、R,Dessauer and C,E、 Looney、I”低増幅画像 形成系」において論じられている画像形成系は色形成遊離基、ジアゾ、及び小嚢 系(vesicular systems)、フォトクロミズム、光粘着化及び 光鋭粘着化並びに熱及び光熱系を含む。It is described in ``Polymer Imaging,'' where photocrosslinking, photodimerization, photocyclization, presolubilization, and ionic and free radical photopolymerization, as well as electrostatic photopolymerization. mer imaging and solid state imaging are discussed. Pages 263-278, No. 8 Chapter, R, Dessauer and C, E, Looney, I” Low amplification image Image-forming systems discussed in "Color-forming free radicals, diazo, and vesicle-forming systems" vesicular systems, photochromism, photoadhesion and Includes optical tackification and thermal and photothermal systems.
感光性組成物 枝分かれポリマー生成物はモノマー物質及び光開始剤系を含む光重合性組成物に 特に有用である。そのような系においては、枝分かれポリマー生成物は露光及び 未露光光重合性組成物に対して望まれる物理的及び化学的特徴を付与する分散性 ポリマーバイングー成分として機能する。化学線に露光すると、光開始剤系はモ ノマー物質の連鎖成長重合を縮合機構又は遊離基付加重合のいずれかにより起こ す。ずべての光重合機構が考えられるが、本発明の組成物と方法は1つyはそれ より多い末端エチレン性不飽和基を持つ七ツマ−の遊離基開始付加重合との関連 において記述する。この関連において、光開始剤系は化7線に露光した場合モノ マーの重合を開始するに必要な逆開ラジカル源として作用する。この系の光開始 剤は光増感剤により活性化されることができ、これは開始剤自身の吸収スペクト ルの外側にあり得る化学線を吸収してより実際的な輻射線スペクトル領域例えば 近紫外、可視光及び近赤外部のそれにおける付加重合を増感する。photosensitive composition The branched polymer product is added to a photopolymerizable composition containing a monomer material and a photoinitiator system. Particularly useful. In such systems, the branched polymer product is exposed to light and Dispersibility imparting desired physical and chemical characteristics to unexposed photopolymerizable compositions Functions as a polymer binding ingredient. Upon exposure to actinic radiation, the photoinitiator system becomes mole Chain growth polymerization of nomeric materials occurs either by a condensation mechanism or by free radical addition polymerization. vinegar. Although all photopolymerization mechanisms are possible, the compositions and methods of the present invention are unique in that they are Relationship to free radical-initiated addition polymerization of hepatomers with more terminal ethylenically unsaturated groups Described in. In this context, photoinitiator systems exhibit monotony when exposed to chemical 7 radiation. act as a source of reverse-opening radicals necessary to initiate polymerization of the mer. The light initiation of this system The initiator can be activated by a photosensitizer, which increases the absorption spectrum of the initiator itself. It absorbs possible actinic radiation outside the scope of the radiation spectrum to provide more practical radiation spectral regions, e.g. Sensitizes addition polymerization in the near-ultraviolet, visible, and near-infrared regions.
狭い意味においては、用語の本発明の組成物の光活性成分は化学線を吸収する物 質、例えば光開始剤又は光増感剤を指すが、より広い意味においては用語光活性 成分に必要な必須物質、すなわち光開始系及びモノマーのいずれか又はすべてを 指す。In the narrower sense of the term, the photoactive component of the compositions of the present invention refers to substances that absorb actinic radiation. photoactive substances, such as photoinitiators or photosensitizers, but in a broader sense the term Contains any or all of the essential substances necessary for the component, i.e. photoinitiation system and monomer. Point.
光重合性組成物は枝分かれポリマー生成物、化学線により活性化される開始剤系 、及び少なくとも1つの通常の気圧で100℃より高い沸点を持つ非ガスエチレ ン性不飽和化合物を含み、そして光開始付加重合により高分子ポリマーを形成す ることができる。好ましい光重合性組成物は単官能又は多官能のアクリレート又 はメタクリレートを含み、そして特に好ましいのは2つ、3つ又はそれより多い アクリレート又はメタクリレート基を含み、光重合過程の間に同時に架橋も可能 な組成物である。A photopolymerizable composition is a branched polymer product, an initiator system activated by actinic radiation. , and at least one non-gas ethylene having a boiling point higher than 100°C at normal pressure. contains a functionally unsaturated compound and forms a high molecular weight polymer by photoinitiated addition polymerization. can be done. Preferred photopolymerizable compositions include monofunctional or polyfunctional acrylates or contains methacrylate, and particularly preferred two, three or more Contains acrylate or methacrylate groups and can also be crosslinked simultaneously during the photopolymerization process It is a composition.
付加重合性モノマー 単一モノマー又は他のそれと組み合わせて使用することができる適当なモノマー はt−ブチルアクリレート、1.5−ベンタンジオールジアクリレート、N、N −ジエチルアミノエチルアクリレート、エチレングリコールジアクリレート、1 .4−ブタンジオールジアクリレート、ジエチレングリコールジアクリレート、 ヘキサメチレングリコールジアクリレート、1.3−プロパンジオールジアクリ レート、デカメチレングリコールジアクリレート、デカメチレングリコールジメ タクリレート、1.4−シクロヘキサンジオールジアクリレート、2.2−ジメ チロールプロパンジアクリレート、グリセロールジアクリレート、トリプロピレ ングリコールジアクリレート、グリセロールトリアクリレート、トリメチロール プロパントリアクリレート、ペンタエリトリトールトリアクリレート、ポリオキ シエチル化トリメチロールプロパントリアクリレート及びトリメタクリレート及 び米国特許3.380.831に開示された同様の化合物、2.2−ジ(p−ヒ ドロキシフエニル)−プロパンジアクリレート、ペンタエリトリトールテトラア クリレート、2.2−ジー(p−ヒドロキシフェニル)−プロパンジメタクリレ ート、トリエチレングリコールジアクリレート、ポリオキシエチル−2,2−ジ ー(p−ヒドロキシフェニル)−プロパンジメタクリレート、ビスフェノール− Aのジー(3−メタクリルオキシ−2−ヒドロキシプロピル)エーテル、ビスフ ェノール−Aのジー(2−メタクリルオキシエチル)エーテル、ビスフェノール −Aのジー(3−アクリルオキシ−2−ヒドロキシプロピル)エーテル、ビスフ ェノール−Aのジー(2−アクリルオキシエチル)エーテル、テトラクロロ−ビ スフェノール−Aのジー(3−メタクリルオキシ−2−ヒドロキシプロピル)エ ーテル、テトラクロロ−ビスフェノール−Aのジー(2−メタクリルオキシエチ ル)エーテル、テトラブロモ−ビスフェノール−Aのジー(3−メタクリルオキ シ−2−ヒドロキシプロピル)エーテル、テトラブロモ−ビスフェノール−Aの ジー(2−メタクリルオキシエチル)エーテル、1.4−ブタンジオールの(3 −メタクリルオキシ−2−ヒドロキシプロピル)エーテル、ジフェノール酸のジ ー(3−メタクリルオキシ−2−ヒドロキシプロピル)エーテル、トリエチレン グリコールジメタクリレート、ポリオキシプロピルオントリメチロールプロパン トリアクリレート(462) 、エチレングリコールジメタクリレート、ブチレ ングリコールジメタクリレート、1.3−プロパンジオールジメタクリレート、 1.2.4−ブタントリオールトリメタクリレート、2,2.4−1−サメチル −1,3−ベンタンジオールジメタクリレート、ペンタエリトリトールトリメタ クリレート、1−フェニルエチレン−1,2−ジメタクリ、レート、ペンタエリ トリトールテトラメタクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート 、1.5−ベンタンジオールジメタクリレート、ジアリルフマレート、スチレン 、1.4−ベンゼンジオールジメタクリレート、1.4−ジイソプロペニルベン ゼン、及び1,3.5− トリイソプロペニルベンゼンを含む。Addition polymerizable monomer Suitable monomers that can be used as single monomers or in combination with others is t-butyl acrylate, 1,5-bentanediol diacrylate, N, N -diethylaminoethyl acrylate, ethylene glycol diacrylate, 1 .. 4-butanediol diacrylate, diethylene glycol diacrylate, Hexamethylene glycol diacrylate, 1,3-propanediol diacrylate rate, decamethylene glycol diacrylate, decamethylene glycol diacrylate Tacrylate, 1,4-cyclohexanediol diacrylate, 2,2-dime Tyrolpropane diacrylate, glycerol diacrylate, tripropylene glycol diacrylate, glycerol triacrylate, trimethylol Propane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, polyoxy ethylated trimethylolpropane triacrylate and trimethacrylate and Similar compounds disclosed in U.S. Pat. No. 3,380,831, Droxyphenyl)-propane diacrylate, pentaerythritol tetraa acrylate, 2,2-di(p-hydroxyphenyl)-propane dimethacrylate triethylene glycol diacrylate, polyoxyethyl-2,2-di -(p-hydroxyphenyl)-propane dimethacrylate, bisphenol- A di(3-methacryloxy-2-hydroxypropyl)ether, bisph Di(2-methacryloxyethyl)ether of phenol-A, bisphenol -A di(3-acryloxy-2-hydroxypropyl)ether, bisph di(2-acryloxyethyl)ether of phenol-A, tetrachloro-bi Di(3-methacryloxy-2-hydroxypropyl) ester of sphenol-A ether, tetrachloro-bisphenol-A di(2-methacryloxyethyl di(3-methacryloyl)ether, tetrabromo-bisphenol-A (2-hydroxypropyl) ether, tetrabromo-bisphenol-A di(2-methacryloxyethyl)ether, 1,4-butanediol (3 -methacryloxy-2-hydroxypropyl) ether, diphenolic acid -(3-methacryloxy-2-hydroxypropyl)ether, triethylene Glycol dimethacrylate, polyoxypropyl on trimethylol propane Triacrylate (462), ethylene glycol dimethacrylate, butyle glycol dimethacrylate, 1,3-propanediol dimethacrylate, 1.2.4-butanetriol trimethacrylate, 2,2.4-1-samethyl -1,3-bentanediol dimethacrylate, pentaerythritol trimeta acrylate, 1-phenylethylene-1,2-dimethacrylate, pentaeri Tritol tetramethacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate , 1,5-bentanediol dimethacrylate, diallyl fumarate, styrene , 1,4-benzenediol dimethacrylate, 1,4-diisopropenylben zene, and 1,3.5-triisopropenylbenzene.
モノマーの種類は2〜15の炭素のアルキレングリコール又は1〜10のエーテ ル結合のポリアルキレンエーテルグリコールからつくられるアルキレン又はポリ アルキレングリコールジアクリレートであり、そして米国特許2、927.02 2に開示されているそれであり、これらは特に末端結合として存在する場合多数 の付加重合性エチレン結合を持つ。少なくとも1つそして好ましくは大部分のそ のような結合が炭素及びヘテロ原子例えば窒素、酸素及び硫黄に二重結合する炭 素を含む二重結合炭素と共役しているそれが好ましい。エチレン性不飽和基特に ビニリデン基がエステル又はアミド構造と共役している物質も好ましい。The type of monomer is an alkylene glycol of 2 to 15 carbons or an ether of 1 to 10 carbons. alkylene or polyalkylene made from polyalkylene ether glycol with alkylene glycol diacrylate and U.S. Patent 2,927.02 2, and these are numerous, especially when present as terminal bonds. It has an addition-polymerizable ethylene bond. at least one and preferably most of them. carbon in which such bonds are double bonded to carbon and heteroatoms such as nitrogen, oxygen and sulfur Preferably, it is conjugated with a double-bonded carbon containing an element. ethylenically unsaturated groups, especially Also preferred are substances in which the vinylidene group is conjugated with an ester or amide structure.
モノマーの特に好ましい種類はt−ブチルアクリレート、シクロへキシルアクリ レート、ヒドロキシCl−C1,0−アルキルアクリレート、ブタンジオールジ アクリレート、ヘキサメチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコ ールジアクリレート、トリプロピレングリコールジアクリレート、ペンタエリト リトールトリアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、ポリオ キシエチル化トリメチロールプロパントリアクリレート、ビスフェノール−Aの ジー(3−アクリルオキシ−2−ヒドロキシプロピル)エーテル、テトラブロモ −ビスフェノール−へのジー(3−アクリルオキシ−2−ヒドロキシプロピル) エーテル、又はそれらのメタクリレートアカログである。Particularly preferred types of monomers are t-butyl acrylate, cyclohexyl acrylate. ester, hydroxyCl-C1,0-alkyl acrylate, butanediol di Acrylate, hexamethylene glycol diacrylate, triethylene glyco diacrylate, tripropylene glycol diacrylate, pentaeryth litol triacrylate, trimethylolpropane triacrylate, polio xyethylated trimethylolpropane triacrylate, bisphenol-A Di(3-acryloxy-2-hydroxypropyl)ether, tetrabromo Di(3-acryloxy-2-hydroxypropyl) to -bisphenol- ethers, or their methacrylate analogues.
光開始剤系 光開始剤系は化学線で活性化すると直接遊離基を与える1つ又はそれより多い化 合物を持つ。この系は化学線により活性化され、遊離基を与える化合物を生じる 増感剤を含むこともできる。有用な光開始剤系は典型的にはスペクトル反応を近 紫外、可視光、及び近赤外領域に広げる増感剤を含む。photoinitiator system A photoinitiator system has one or more molecules that directly give free radicals when activated with actinic radiation. have a compound. This system is activated by actinic radiation to produce compounds that give free radicals A sensitizer may also be included. Useful photoinitiator systems typically have close spectral responses. Contains sensitizers that extend into the ultraviolet, visible, and near-infrared regions.
ローズベンガル/2−ジブチルアミノエタノールのようなレドックス系を含む多 数の遊離基発生化合物を都合よく選ぶことができる。光還元性染料及び還元剤例 えば米国特許2.850.445 ; 2.875.047 ; 3.097. 096 。Polymers containing redox systems such as rose bengal/2-dibutylaminoethanol A number of free radical generating compounds can be conveniently selected. Examples of photoreducible dyes and reducing agents For example, US Patent 2.850.445; 2.875.047; 3.097. 096.
3、074.974 : 3.097.097 : 3.145.104 ;及 び3.579.339に開示されたそれ;並びに米国特許3.427.161 ; 3.479.185 ;3、549.367 ; 4.311.783 : 4.622.286 :及び3.784.557に記述されたフェナジン、オ キサジン及びキノン化合物の染料;ケトン、キノン;水素ドナーを持つ2.4. 5−)リフェニルイミダゾリルダイマー、及びそれらの混合物を開始剤として使 用することができる。他の開始剤は米国特許4.772.541に開示された染 料−ホウ酸錯体:及び米国特許4.772.534及び4.774.163に開 示されたトリクロロメチルトリアジンである。染料増感光重合に関する有用な議 論はり、 B、 Volman、 G、S、Hammond、 and K、G ollinick編集、^dv、in Photochemistry、Vol 、13 (Wiley−Interscience、 New York、 1 986) 、427〜487ページに記載されたり、F、Eaton、r染料で 増感される光重合」に見出される。同様に、米国特許4,341.860のシク ロへキサジェノン化合物は開始剤として有用である。3,074.974: 3.097.097: 3.145.104; and and that disclosed in U.S. Patent No. 3.579.339; and U.S. Patent No. 3.427.161 ;3.479.185;3,549.367;4.311.783: 4.622.286: and phenazine described in 3.784.557, Dyes of xazine and quinone compounds; ketones, quinones; 2.4. with hydrogen donors; 5-) Using liphenylimidazolyl dimers and mixtures thereof as initiators can be used. Other initiators are the dyes disclosed in U.S. Pat. No. 4,772,541. Boric acid complex: and disclosed in U.S. Pat. The indicated trichloromethyltriazine. Useful discussion on dye-sensitized photopolymerization Discussion, B., Volman, G., S. Hammond, and K.G. Edited by Ollinick, ^dv, in Photochemistry, Vol. , 13 (Wiley-Interscience, New York, 1 986), pages 427-487, or with F, Eaton, r dye. Sensitized photopolymerization". Similarly, U.S. Patent 4,341.860 Lohexagenone compounds are useful as initiators.
好ましい光開始剤はCDl−HABI、すなわち2−(0−クロロフェニル)− 4,5−ビス(m−メトキシフェニル)−イミダゾールダイマー; o −CI −HABI、すなわち1.1’ −ビイミダゾール、2.2’−ビス(0−ク ロロフェニル)−4、4’ 、 5.5’−テトラフェニル−;及びTCTI1 4^BI、すなわちIH−イミダゾール、2,5−ビス(0−クロロフェニル) −4−[3,4−ジメトキシフェニル]−、ダイマーを含み、それらの各々は通 常水素ドナーと一緒に使用する。A preferred photoinitiator is CDl-HABI, i.e. 2-(0-chlorophenyl)- 4,5-bis(m-methoxyphenyl)-imidazole dimer; o-CI -HABI, i.e. 1.1'-biimidazole, 2.2'-bis(0-k) lorophenyl)-4,4',5,5'-tetraphenyl-; and TCTI1 4^BI, i.e. IH-imidazole, 2,5-bis(0-chlorophenyl) -4-[3,4-dimethoxyphenyl]-, including dimers, each of which is commonly Use with normal hydrogen donor.
光開始剤との併用に有用な増感剤はメチレンブルー及び米国特許3.554.7 53 ; 3.563.750 ; 3.563.751 。Sensitizers useful in combination with photoinitiators include methylene blue and U.S. Pat. 53; 3.563.750; 3.563.751.
3、647.467 ; 3.652.275 ; 4.162.162 ; 4.268.667 。3,647.467; 3.652.275; 4.162.162; 4.268.667.
4、351.893 ; 4.454.218 ; 4.535.052 ;及 び4.565.769に開示されたそれを含む。好ましい増感剤の群はBau■ etal、、米国特許3.652.275に開示されたビス(p−ジアルキルア ミノベンジリデン)ケトン、及びDueber、米国特許4.162.162に 開示されたアクリリデンアリールケトンを含む。好ましい増感剤はDBC,すな わちシクロペンタノン;2.5−ビス−IC4−Cジエチルアミノ)−2−メチ ルフェニル〕−メチレン1.DE^1、すなわちシクロペンタノン、2,5−ビ ス−1[4−(ジエチルアミノ)−フェニル]メチレン) ニジメトキシJDI 、すなわちtn−インデン−1−オン、2.3−ジヒドロ−5,6−シメトキシ ー 2− ((2,3,6,7−チトラヒドローl■、511−ベンゾ(i、D −キノリジン−9−イル)メチレン〕−:及びJAW、すなわちシクロペンタノ ン、2.5−ビス((2,3,6,7−チトラヒドローIn、5H−ベンゾ(i 、Dキノリジン−1−イル)メチレン〕を含み、これらはそれぞれ次の構造を持 つ。4,351.893; 4.454.218; 4.535.052; and and that disclosed in 4.565.769. A preferred group of sensitizers is Bau■ etal, bis(p-dialkylar) disclosed in U.S. Pat. minobenzylidene) ketone, and Dueber, U.S. Pat. No. 4,162,162. including the disclosed acrylidene aryl ketones. A preferred sensitizer is DBC, such as Cyclopentanone; 2,5-bis-IC4-Cdiethylamino)-2-methy [luphenyl]-methylene 1. DE^1, i.e. cyclopentanone, 2,5-bi Su-1[4-(diethylamino)-phenyl]methylene) Nidimethoxy JDI , i.e. tn-inden-1-one, 2,3-dihydro-5,6-simethoxy -2- ((2,3,6,7-titrahydrol■, 511-benzo(i, D -quinolidin-9-yl)methylene]-: and JAW, i.e. cyclopentano 2,5-bis((2,3,6,7-titrahydroIn, 5H-benzo(i , D-quinolidin-1-yl)methylene], each of which has the following structure. One.
DBC EAF ジメトキシ−JDI 他の特に有用な増感剤はシクロペンタノン、2.5−ビス[2−(]、、]3− ジヒドロー1.3.3−1−ジメチル−2H−インドールー2−イリデン)エチ リデン] 、CAS 27713−85−5;及びシクロペンタノン、2,5− ビス(2−(1−エチルナフト(1,2−d)チアゾール−2(III)−イリ デン)エチリデン) 、CAS、27714−25−6である。D.B.C. EAF Dimethoxy-JDI Other particularly useful sensitizers are cyclopentanone, 2,5-bis[2-(],,]3- dihydro1.3.3-1-dimethyl-2H-indole-2-ylidene)ethyl Liden], CAS 27713-85-5; and cyclopentanone, 2,5- Bis(2-(1-ethylnaphtho(1,2-d)thiazol-2(III)-yli) ethylidene), CAS, 27714-25-6.
感光性ポリマー組成物において連鎖移動剤として作用する水素ドナー化合物は2 −メルカプトベンゾオキサゾール、2−メルカプトベンゾチアゾール、4−メチ ル−4tl−1,2,4−トリアゾール−3−チオールなど;並びに種々の種類 の化合物、例えば1IacLachlan、米国特許3、390.996のコラ ム12、ライン18〜58に開示された(a)エーテル、(b)エステル、(c )アルコール、(d)アリル又はベンジル水素を含む化合物、(e)アセタール 、(f)アルデヒド、及び(g)アミドを含む。ベンズイミダゾール型開始剤及 びN−ビニルカルバゾールの両方を含む系における使用に適する水素ドナー化合 物は5−クロロ−2−メルカプトベンゾチアゾール;2−メルカプトベンゾチア ゾール; 1n−1,2,4−トリアゾール−3−チオール:6−エトキシー2 −メルカプトベンゾチアゾール;4−メチル−411−1,2,4−トリアゾー ル−3−チオール:1−ドデカンチオール;及びそれらの混合物である。特に好 ましい光開始剤及び光増感剤の種類はベンゾフェノン、ミヒラーズケトン、エチ ルミヒラーズケトン、p−ジアルキルアミノベンズアルデヒド、p−ジアルキル アミノ安息香酸アルキルエステル、多核キノン、チオキサントン、ヘキサアリー ルビイミダゾール、シクロへキサジェノン、ベンゾイン、ベンゾインジアルキル エーテル、又はそれらの組合わせであり、この場合アルキルは1〜4つの炭素原 子を含む。The hydrogen donor compound that acts as a chain transfer agent in the photopolymer composition is 2 -Mercaptobenzoxazole, 2-mercaptobenzothiazole, 4-methy -4tl-1,2,4-triazole-3-thiol, etc.; and various types compounds, such as those of 1IacLachlan, U.S. Pat. (a) ether, (b) ester, (c ) alcohols, (d) compounds containing allyl or benzyl hydrogen, (e) acetals , (f) aldehydes, and (g) amides. Benzimidazole type initiators and Hydrogen donor compounds suitable for use in systems containing both N-vinyl carbazole and 5-chloro-2-mercaptobenzothiazole; 2-mercaptobenzothia Sol; 1n-1,2,4-triazole-3-thiol: 6-ethoxy 2 -mercaptobenzothiazole; 4-methyl-411-1,2,4-triazo -3-thiol: 1-dodecanethiol; and mixtures thereof. Especially good Preferred types of photoinitiators and photosensitizers include benzophenone, Michler's ketone, and ethyl chloride. Lumichler's ketone, p-dialkylaminobenzaldehyde, p-dialkyl Aminobenzoic acid alkyl ester, polynuclear quinone, thioxanthone, hexaary rubiimidazole, cyclohexagenone, benzoin, benzoin dialkyl ether, or a combination thereof, where alkyl contains 1 to 4 carbon atoms. Including children.
任意成分 慣用的に感光性ポリマー組成物に添加する他の化合物を特定の使用のためフィル ムの物理的性質を改質するために存在させることができる。そのような成分は他 のポリマーバインダー、充填剤、熱安定剤、水素ドナー、熱架橋剤、蛍光増白剤 、紫外線材料(ultraviolet radia−tion materi als) 、付着改質剤、コーティング助剤及び離型剤を含む。Optional ingredients Other compounds conventionally added to photopolymer compositions may be added to the filter for certain uses. can be present to modify the physical properties of the membrane. Other such ingredients Polymer binders, fillers, thermal stabilizers, hydrogen donors, thermal crosslinkers, optical brighteners , ultraviolet radiation material als), adhesion modifiers, coating aids and mold release agents.
架橋剤 光重合性組成物を永久コーティング例えばソルダーマスクとして使用する場合、 化学的又は熱により活性化させた架橋剤を高温特性、耐薬品性又は最終用途製品 に要求されるその他の機械的又は化学的性質を改良するために配合することがで きる。適当な架橋剤はGervay。crosslinking agent When using the photopolymerizable composition as a permanent coating, e.g. a solder mask, Chemically or thermally activated crosslinkers can be used to improve high temperature properties, chemical resistance or end-use products. Can be blended to improve other mechanical or chemical properties required for Wear. A suitable crosslinking agent is Gervay.
米国特許4.621.043及びGe1ssler et at、、米国特許4 、438.189に開示されたそれ、例えばメラミン、ウレア、ベンゾグアナミ ンなどを含む。U.S. Patent 4.621.043 and Gelssler et at, U.S. Pat. , 438.189, such as melamine, urea, benzoguanami Including.
適当な架橋剤化合物の例は有機カルボキサミドのN−メチロール化合物例えばN 、 N’−ジメチロールウレア、N、 N’−ジメチロールオキサミド、N、 N’−ジメチロールマロンアミド、N、 N’−ジメチロールスクシンイミド、 N、 N’−ジメチロールウレアミド、N、N’、N’−1−リメチロールシト ラミド、1,3−ジメチロールイミダゾリジン−2−オン、1.3−ジメチロー ル−4,5−ジヒドロキシイミダリジン−2−オン、1.3−ジメチロールペル ヒドロピリミジン−2−オン、トリメチロールメラミン、テトラメチロールメラ ミン、ヘキサメチロールメラミン、1.3−ジメチロール−5−メチルペルヒド ロ−1,3,5−トリアジン−2−オン、1,3−ジメチロール−5−アリルペ ルヒドロ−1,3,5−1−リアジン−2−オン、1.3−ジメチロール−5− ブチルペルヒドロ−1,3,5−トリアジン−2−オン、1.2−ビス−〔1, 3−ジメチロールペルヒドロ−1,3,5−)リアジン−2−オン−5−イル〕 −エタン、テトラメチロールヒドラジンジカルボキサミド、N、N’−ジメチロ ールテレフタルアミド、N、 N’−ジメチロールベンゼン−1,3−ジスルホ ンアミド及びテトラメチ口−ルグリコールウリル;及びフェノール、フェノール −エーテル及び芳香族炭化水素、のC−メチロール化合物2.4.6−ドリメチ ロールフエノール、2.6−シメチロールー4−メチロアニソール、2,6−シ メチロールー4−メチルフェノール、■、3−ジメチロールー4.6−ジイツブ ロビルベンゼン、2.2−ビス−(4−ヒドロキシ−3,5−ジメチロールフェ ニル)プロパン、及び3,3′−ジメチロール−4,4′−ジヒドロキシジフェ ニルスルホンを含む。上述のメチロール化合物の代わりに、例えば相当するメチ ル、エチル又はブチルエーテル、又は酢酸もしくはプロピオン酸のエステルを使 用することもできる。適当な例は4.4′−ビスメトキシメチルジフェニルエー テル、トリス−メトキシメチル−ジフェニルエーテル、テトラキスーメトキシメ チルヒドラジンジカルポキサミド、テトラキス−メトキシメチル−グリコ−・ル ウリル、テトラキス−ヒドロキシエトキシメチルグリコールウリル、ビス−アセ トキシメチルジフェニルエーテル、ヘキサメトキシメチル−メラミンを含む。こ の種類の好ましい架橋剤はへキサメトキシメチルメラミンである。Examples of suitable crosslinking compounds are organic carboxamide N-methylol compounds such as N , N'-dimethylolurea, N, N'-dimethyloloxamide, N, N'-dimethylol malonamide, N, N'-dimethylol succinimide, N, N'-dimethylol ureamide, N, N', N'-1-dimethylol site Lamid, 1,3-dimethylol imidazolidin-2-one, 1,3-dimethylo -4,5-dihydroxyimidarizin-2-one, 1,3-dimethylolper Hydropyrimidin-2-one, trimethylolmelamine, tetramethylolmelamine amine, hexamethylolmelamine, 1,3-dimethylol-5-methylperhydride rho-1,3,5-triazin-2-one, 1,3-dimethylol-5-allylpe 1,3,5-1-riazin-2-one, 1,3-dimethylol-5- Butyl perhydro-1,3,5-triazin-2-one, 1,2-bis-[1, 3-dimethylolperhydro-1,3,5-)riazin-2-one-5-yl] -ethane, tetramethylolhydrazinedicarboxamide, N,N'-dimethylo luterephthalamide, N,N'-dimethylolbenzene-1,3-disulfo amide and tetramethylic glycoluril; and phenol, phenol - C-methylol compounds of ethers and aromatic hydrocarbons 2.4.6-dorimethy Lorphenol, 2,6-simethylo-4-methyloanisole, 2,6-simethylo-4-methyloanisole Methylol-4-methylphenol, ■, 3-dimethylol-4,6-ditube lobilbenzene, 2,2-bis-(4-hydroxy-3,5-dimethylolphene) propane), and 3,3'-dimethylol-4,4'-dihydroxydife Contains nil sulfone. Instead of the methylol compounds mentioned above, e.g. using ethyl, ethyl or butyl ethers, or esters of acetic or propionic acid. It can also be used. A suitable example is 4,4'-bismethoxymethyl diphenyl ether. ter, tris-methoxymethyl-diphenyl ether, tetrakis-methoxymethane Chylhydrazine dicarpoxamide, tetrakis-methoxymethyl-glycol uril, tetrakis-hydroxyethoxymethylglycoluril, bis-acetyl Contains toxymethyl diphenyl ether, hexamethoxymethyl-melamine. child A preferred crosslinking agent of the type is hexamethoxymethylmelamine.
2つ又はそれより多いエポキシ基を含む化合物例えば口ervig et al 、、米国特許4.485.166に開示されたビスエポキシドも架橋剤として有 用である。適当なビスエポキシドは二価アルコール及びフェノール例えばビスフ ェノール−Aのビス−グリシジルエーテル、ビスフェノール−Aのポリエチレン グリコール及びポリプロピレングリコールエーテルとのそれ、ブタン−1,4− ジオール、ヘキサン−1,6−ジオール、ポリエチレングリコール、プロピレン グリコール又はポリテトラヒドロフランのそれを含む。三価アルコール例えばグ リセロールのビス−グリシジルエーテル、又はハロゲン化ビスフェノール−A例 えばテトラ−ブロモビスフェノール−Aのそれも使用することができる。この種 類の好ましい架橋剤は2.2−ビス−(4−グリシドキシ−フェニル)−プロパ ン、2.2−ビス−(4−エポキシエトキシ−フェニル)−プロパン、テトラ− クロロ−ビスフェノール−Aのビス−グリシジルエーテル、テトラ−ブロモ−ビ スフェノール−Aのビス−グリシジルエーテル、テトラ−クロロ−ビスフェノー ル−Aのビス−オキシラニルエーテル、及びテトラ−ブロモ−ビスフェノール− Aのビス−オキシラニルエーテルである。Compounds containing two or more epoxy groups such as Ervig et al. ,, bisepoxides disclosed in U.S. Pat. No. 4,485,166 are also useful as crosslinking agents. It is for use. Suitable bisepoxides include dihydric alcohols and phenols such as bisepoxides. Bis-glycidyl ether of phenol-A, polyethylene of bisphenol-A that with glycol and polypropylene glycol ether, butane-1,4- Diol, hexane-1,6-diol, polyethylene glycol, propylene including that of glycol or polytetrahydrofuran. Trihydric alcohols such as Bis-glycidyl ether of lycerol or halogenated bisphenol-A example For example, that of tetra-bromobisphenol-A can also be used. this species A preferred crosslinking agent of the class is 2,2-bis-(4-glycidoxy-phenyl)-propyl 2,2-bis-(4-epoxyethoxy-phenyl)-propane, tetra- Bis-glycidyl ether of chloro-bisphenol-A, tetra-bromo-bi Bis-glycidyl ether of spphenol-A, tetra-chloro-bisphenol bis-oxiranyl ether of Ru-A, and tetra-bromo-bisphenol- A bis-oxiranyl ether.
ブロックトポリイソシアネートも架橋剤として有用である。ブロックトポリイソ シアネートを加熱すると封鎖基が分裂して遊離の反応性ポリイソシアネートを生 じる。Blocked polyisocyanates are also useful as crosslinking agents. Blocked polyiso When cyanate is heated, the capping groups cleave to create free reactive polyisocyanate. Jiru.
有用なポリイソシアネートはトルエンジイソシアネート;イソホロンジイソシア ネート:1,4−ナフタレンジイソシアネート、1.6−へキサメチレンジイソ シアネート;テトラメチルキシレンジイソシアネート:ビス(4−イソシアナト シクロヘキシル)メタンなどを含む。有用な封鎖基はカプロラクタム:ジエチル マロネート:アルコール:フェノール;オキシム、例えばメチルエチルケトキシ ムなどから誘導される。Useful polyisocyanates are toluene diisocyanate; isophorone diisocyanate nate: 1,4-naphthalene diisocyanate, 1,6-hexamethylene diiso Cyanate; Tetramethylxylene diisocyanate: Bis(4-isocyanato cyclohexyl)methane, etc. Useful blocking groups are caprolactam: diethyl malonate: alcohol: phenol; oxime, e.g. methyl ethyl ketoxy It is guided from the system, etc.
ポリマー改質剤 光重合性組成物は密着、柔軟性、硬度、酸素透過性、水分感受性及びその加工の 間又は最終使用に要求されるその他の機械的又は化学的性質を改質するため第二 のポリマーバインダーを含ませることができる。本発明の枝分かれポリマー生成 物と組み合わせて使用することができる適当なポリマーバインダーはポリアクリ レート及びアルファーアルキルポリアクリレートエステル、例えばポリメチルメ タクリレート及びポリエチルメタクリレート、ポリビニルエステル、例えばポリ ビニルアセテート、ボI)ビニルアセテート7/アクリレート、ポリビニルアセ テート//メタクリレート及び加水分解されたポリビニルアセテート、エチレン /ビニルアセテートコポリマー:ポリスチレンポリマー及びコポリマー、例えば 無水マレ・イン酸及びエステルとのそれ、ビニリデンクロリドコポリマー、例え ばビニリデンクロリド/アクリロニトリル;ビニリデンクロリド/メタクリレー ト及びビニリデンクロリド/ビニルアセテートコポリマー:ポリビニルクロリド 及びコポリマー、例えばポリ(ビニルクロリド/ビニルアセテート);ポリビニ ルピロリドン及びコポリマー、例えばポリ(ビニルピロリドン/ビニルアセテー ト)飽和及び不飽和ポリウレタン;合成ゴム、例えばブタジェン/アクリロニト リル、アクリロニトリル/ブタノエン/スチレン、メタクリレート/アクリロニ トリル/ブタジェン/スチレンコポリマー、2−クロロブタジェン−1,3ポリ マー、塩素化ゴム、及びスチレン/ブタジェン/ステ1ノン、スチレン/イソプ レン/スチレンブロックコポリマー:約4.000〜i、 ooo、 oooの 平均分子量を持つポリグリコールの高分子ポリエチレンオキシド;エポキシド、 コポリエステル、例えば式[0(CL)。oll(式中nは2〜lOの整数であ る)のポリメチ1ソングリコール、及び(1)へキサヒドロテレフタル酸、セパ チン酸及びテレフタル酸、(2)テレフタル酸、イソフタル酸及びセパチン酸、 (3)テレフタル酸及びセパチン酸、(4)テレフタル酸及びイソフタル酸、及 び(5)前記グリコール及び(i)テレフタル酸、イソフタル酸及びセパチン酸 並びに(u)テレフタル酸、イソフタル酸、セパチン酸及びアジピン酸からつく られるコポリエステルの混合物の反応生成物からつくられるそれ:ナイロン又は ポリアミド、例えばN−メトキシメチルボリヘキサメチレンアジバこド:セルロ ースエステル、例えばセルロースアセテ−1・、セルロースアセテートスフシネ −1・及びセルロースアセテートブチレート;セルロースエーテル、例えばメチ ルセルロース、エチルセルロース及びベンジルセルロース:ポリカーポネート; ポリビニルアセタール、例えばポリビニルブチラール、ポリビニルホルマール; ポリホルムアルデヒドを含む。polymer modifier The photopolymerizable composition has adhesion, flexibility, hardness, oxygen permeability, moisture sensitivity, and its processing properties. or to modify other mechanical or chemical properties required for end use. A polymeric binder may be included. Branched polymer production of the present invention A suitable polymeric binder that can be used in combination with esters and alpha-alkyl polyacrylate esters, such as polymethyl esters. Tacrylate and polyethyl methacrylate, polyvinyl esters, e.g. Vinyl acetate, BoI) Vinyl acetate 7/acrylate, polyvinyl acetate tate//methacrylate and hydrolyzed polyvinyl acetate, ethylene /vinyl acetate copolymers: polystyrene polymers and copolymers, e.g. That with maleic anhydride and esters, vinylidene chloride copolymers, e.g. vinylidene chloride/acrylonitrile; vinylidene chloride/methacrylate and vinylidene chloride/vinyl acetate copolymer: polyvinyl chloride and copolymers such as poly(vinyl chloride/vinyl acetate); polyvinyl chloride/vinyl acetate; Lupyrrolidone and copolymers such as poly(vinylpyrrolidone/vinyl acetate) g) Saturated and unsaturated polyurethanes; synthetic rubbers such as butadiene/acrylonite Lyle, acrylonitrile/butanoene/styrene, methacrylate/acryloni Tolyl/butadiene/styrene copolymer, 2-chlorobutadiene-1,3 poly mer, chlorinated rubber, and styrene/butadiene/steoneone, styrene/isopropylene Ren/styrene block copolymer: about 4,000 to i, ooo, ooo High molecular weight polyethylene oxide of polyglycol with average molecular weight; epoxide; Copolyesters, such as those of the formula [0(CL). oll (in the formula, n is an integer from 2 to 1O) (1) polymethyone glycol, and (1) hexahydroterephthalic acid, sepa (2) terephthalic acid, isophthalic acid and cepatic acid; (3) Terephthalic acid and sepatic acid, (4) Terephthalic acid and isophthalic acid, and and (5) the glycol and (i) terephthalic acid, isophthalic acid and cepatic acid. and (u) derived from terephthalic acid, isophthalic acid, sepatic acid and adipic acid It is made from the reaction product of a mixture of copolyesters: nylon or Polyamides, such as N-methoxymethylbolyhexamethyleneazibacod: cellulose cellulose esters, such as cellulose acetate-1, cellulose acetate fucine -1 and cellulose acetate butyrate; cellulose ethers, e.g. cellulose, ethylcellulose and benzylcellulose: polycarbonate; Polyvinyl acetals, such as polyvinyl butyral, polyvinyl formal; Contains polyformaldehyde.
感光性組成物の水性現像が望ましい場合、枝分かれポリマー生成物及び/又はバ インダーは組成物を水性現像液中で処理可能にするために十分な酸性基又はその 他の基を含んでいなければならない。有用な水性処理可能なバインダーは米国特 許3.458.311及び米国特許4.273.857に開示されたそれを含む 。有用な両性ポリマーはN−アルキルアクリルアミド又はメタクリルアミド、酸 性膜形成コモノマー及びアルキル又はヒドロキシアルキルアクリレートから誘導 される共重合体(interpolymers)、例えば米国特許4.293. 635に開示されたそれを含む。水性現像のためには輻射線に露光されない感光 層が少しずつ除かれるが、1重量%の炭酸ナトリウムを含む全水溶液のような液 体による現像の間実質的に影響を受けない。If aqueous development of the photosensitive composition is desired, branched polymer products and/or buffers may be used. The inder contains sufficient acidic groups or its like to make the composition processable in an aqueous developer. Must contain other groups. Useful water-based processable binders are No. 3,458,311 and that disclosed in U.S. Pat. No. 4,273,857. . Useful amphoteric polymers include N-alkyl acrylamide or methacrylamide, acid Derived from film-forming comonomers and alkyl or hydroxyalkyl acrylates interpolymers, such as those described in U.S. Pat. No. 4.293. Including that disclosed in No. 635. Sensitivity without exposure to radiation for aqueous development The layers are removed little by little, but a liquid such as an all-aqueous solution containing 1% by weight of sodium carbonate is Virtually unaffected during development by the body.
特に好ましいポリマーバインダー改質剤の種類はポリビニルピロリドンポリマー 及びコポリマー及び両性ポリマー及びコポリマーである。A particularly preferred type of polymer binder modifier is polyvinylpyrrolidone polymer. and copolymers and amphoteric polymers and copolymers.
可塑剤 光重合性組成物は密着、柔軟性、硬度、溶解性及びその加工の間又は最終使用に 要求されるその他の機械的又は化学的性質を改質するため可塑剤を含ませること ができる。plasticizer Photopolymerizable compositions are characterized by adhesion, flexibility, hardness, solubility and their properties during processing or final use. Inclusion of plasticizers to modify other required mechanical or chemical properties Can be done.
適当な可塑剤はトリエチレングリコール、トリエチレングリコールジアセテート 、トリエチレングリコールジプロピオネート、トリエチレングリコールシカブリ レート、トリエチレングリコールジメチルエーテル、トリエチレングリコールビ ス(2−エチルヘキサノエート)、テトラエチレングリコールジヘブタノエート 、ポリ(エチレングリコール)、ポリ(エチレングリコール)メチルエーテル、 イソプロピルナフタレン、ジイソプロピルナフタレン、ポリ(プロピレングリコ ール)、グリセリルトリブチレート、ジエチルアジペート、ジエチルセバケート 、ジブチルスベレート、ジオクチルフタレート、トリクレジルホスフェート、ト リブチルホスフェート、トリス(2−エチルヘキシル)ホスフェート、 Br1 j■3゜[C+Jzs(OCF12CHt)<Ot[) 、及びBr1j@35 [CI Jti(OCRl−CHt)z*OH)を含む。Suitable plasticizers are triethylene glycol and triethylene glycol diacetate. , triethylene glycol dipropionate, triethylene glycol shikari triethylene glycol dimethyl ether, triethylene glycol dimethyl ether, triethylene glycol dimethyl ether, (2-ethylhexanoate), tetraethylene glycol dihebutanoate , poly(ethylene glycol), poly(ethylene glycol) methyl ether, Isopropylnaphthalene, diisopropylnaphthalene, poly(propylene glyco) ), glyceryl tributyrate, diethyl adipate, diethyl sebacate , dibutyl suberate, dioctyl phthalate, tricresyl phosphate, Butyl phosphate, tris(2-ethylhexyl) phosphate, Br1 j■3゜[C+Jzs(OCF12CHt)<Ot[) and Br1j@35 Contains [CI Jti(OCRl-CHt)z*OH).
及奥濃 光重合性組成物はその加工の間又は最終使用に要求される機械的又は化学的性質 を改質するため粒状物例えば有機又は無機充填剤を含ませることができる。適当 な充填剤は米国特許2.760.863に開示されたような本質的に透明な有機 又は無機強化剤、例えば親有機性シリカベントナイト、シリカ、及び0,4ミル より小さい粒度を持つ粉末ガラス、米国特許3.525.615に開示されたよ うな無機チキソトロープ材料例えばベーマイトアルミナ、高度にチキソトロープ のシリケートオキシド例えばベントナイト及び99.5%のシリカと0.5%の 混合金属酸化物とを含む微粉砕したチキソトロープゲルのクレー混合物:米国特 許3.754.920に開示されたような微結晶増粘剤例えば微結晶セルロース 及び微結晶シリカ、クレー、アルミナ、ベントナイト、力ロナイト、アタブルタ イト、及びモンモリロナイト;米国特許3.891.441に開示されたような 5ミリミクロン〜50ミクロンの粒度を持つ微粉砕粉末例えば酸化ケイ素、酸化 チタン、カーボンブラック、酸化亜鉛、及びその他の市販の顔料;及び欧州特許 出願87113013、4に開示されたようなバインダー添加透明無機粒子例え ばケイ酸マグネシウム(タルク)、ケイ酸アルミニウム(クレー)、炭酸カルシ ウム及びアルミナを含む。典型的にはこの充填剤は化学線に対して透明であり、 画像形成露光の間における悪い影響を排除する。光重合性組成物におけるその機 能により、充填剤はコロイド状であるか又は直径が50ミクロン又はそれより大 きい平均粒度を持つことができる。Oiokuno The photopolymerizable composition has the mechanical or chemical properties required during its processing or for its end use. Particulate matter, such as organic or inorganic fillers, can be included to modify the material. suitable Fillers are essentially transparent organic fillers such as those disclosed in U.S. Pat. No. 2,760,863. or inorganic reinforcements such as organophilic silica bentonite, silica, and 0.4 mil Powdered glasses with smaller particle sizes, such as those disclosed in U.S. Pat. No. 3,525,615, Inorganic thixotropic materials such as boehmite alumina, highly thixotropic of silicate oxide such as bentonite and 99.5% silica and 0.5% Clay mixture of finely ground thixotropic gels containing mixed metal oxides: Microcrystalline thickeners such as microcrystalline cellulose as disclosed in US Pat. and microcrystalline silica, clay, alumina, bentonite, chironite, attaburta and montmorillonite; as disclosed in U.S. Pat. No. 3,891,441. Finely ground powder with a particle size of 5 millimicrons to 50 microns, e.g. silicon oxide, oxidized Titanium, carbon black, zinc oxide, and other commercially available pigments; and European patents Binder-added transparent inorganic particles as disclosed in Application No. 87113013, 4 Magnesium silicate (talc), aluminum silicate (clay), calcicarbonate Contains aluminum and alumina. Typically this filler is transparent to actinic radiation; Eliminate adverse effects during imaging exposure. Its function in photopolymerizable compositions Depending on the capacity, the filler may be colloidal or have a diameter of 50 microns or more. can have a fine average particle size.
接着促進剤 光重合性組成物を金属表面上のコーティング例えばフォトレジストとして使用す る場合、複素環式又はメルカプタン化合物を処理の間又は最終使用製品に要求さ れるコーティングの金属に対する接着を改良するため添加することができる。適 当な接着促進剤は複素環式化合物例えばRurley et al、、米国特許 3.622.334、Jones、米国特許3.645.772、及びWeed 、米国特許4.710.262に開示されたそれを含む。有用な接着促進剤の例 はベンゾトリアゾール、5−クロロ−ベンゾトリアゾール、1−クロロ−ベンゾ トリアゾール、1−カルボキシ−ベンゾトリアゾール、1−ヒドロキシ−ベンゾ トリアゾール、1.2−ナフトトリアゾール、ベンズイミダゾール、メルカプト ベンズイミダゾール、5−ニトロ−2−メルカプトベンズイミダゾール、5−ア ミノ−2−メルカプトベンズイミダゾール、2−アミノ−ベンズイミダゾール、 5−メチル−ベンズイミダゾール、4.5−ジフェニル−ベンズイミダゾール、 2−グアニジノ−ベンズイミダゾール、ベンゾチアゾール、2−アミノ−6−メ チル−ベンゾチアゾール、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−メチル−ベン ゾチアゾール、ベンゾオキサゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾール、2− メルカプトチアゾリン、ベンゾトリアゾール、3−アミノ−1,2,4−)リア ゾール、IH−1,2,4−トリアゾール−3−チオール、5−アミノ−1,3 ,4−チオジアゾール−2−チオール、4−メルカプト−IH−ピラゾロ[3, 4−d] ピリミジン、4−ヒドロキシ−ビラゾロ(3,4−d)ピリミジン、 5−アミノ−テトラゾール−水和物、トルトリアゾール、1−フェニル−3−メ ルカプトテトラゾール、2−アミノ−チアゾール、及びチオベンズアニリドを含 む。フォトレジスト及びソルダーマスクにおける使用に好ましい接着促進剤はベ ンゾトリアゾール、5−クロロ−ベンゾトリアゾール、1−クロロ−ベンゾトリ アゾール、1−カルボキシ−ベンゾトリアゾール、1−ヒドロキシ−ベンゾトリ アゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾール、1■−1,2,4−トリアゾー ル−3−チオール、5−アミノ−1、3,4−チオジアゾール−2−チオール、 及びメルカプトベンズイミダゾールを含む。adhesion promoter Photopolymerizable compositions can be used as coatings on metal surfaces, e.g. as photoresists. If a heterocyclic or mercaptan compound is required during processing or in the end-use product, It can be added to improve the adhesion of coated coatings to metals. suitable Suitable adhesion promoters are heterocyclic compounds such as those described by Rurley et al., U.S. Pat. 3.622.334, Jones, U.S. Pat. No. 3.645.772, and Weed , including that disclosed in U.S. Pat. No. 4,710,262. Examples of useful adhesion promoters is benzotriazole, 5-chloro-benzotriazole, 1-chloro-benzo Triazole, 1-carboxy-benzotriazole, 1-hydroxy-benzo Triazole, 1,2-naphthotriazole, benzimidazole, mercapto Benzimidazole, 5-nitro-2-mercaptobenzimidazole, 5-a Mino-2-mercaptobenzimidazole, 2-amino-benzimidazole, 5-methyl-benzimidazole, 4.5-diphenyl-benzimidazole, 2-guanidino-benzimidazole, benzothiazole, 2-amino-6-methane Tyl-benzothiazole, 2-mercaptobenzothiazole, 2-methyl-ben Zothiazole, benzoxazole, 2-mercaptobenzoxazole, 2- Mercaptothiazoline, benzotriazole, 3-amino-1,2,4-)ria sol, IH-1,2,4-triazole-3-thiol, 5-amino-1,3 , 4-thiodiazole-2-thiol, 4-mercapto-IH-pyrazolo[3, 4-d] pyrimidine, 4-hydroxy-virazolo(3,4-d)pyrimidine, 5-amino-tetrazole-hydrate, tolutriazole, 1-phenyl-3-methane Contains captotetrazole, 2-amino-thiazole, and thiobenzanilide. nothing. The preferred adhesion promoter for use in photoresists and solder masks is base. benzotriazole, 5-chloro-benzotriazole, 1-chloro-benzotriazole Azole, 1-carboxy-benzotriazole, 1-hydroxy-benzotriazole Azole, 2-mercaptobenzoxazole, 1■-1,2,4-triazo -3-thiol, 5-amino-1,3,4-thiodiazole-2-thiol, and mercaptobenzimidazole.
その他の成分 光重合性組成物はその他の成分例えば熱重合阻害剤、染料及び顔料、蛍光漂白剤 などを色を安定させるか又はその他の点で組成物を向上させるために含ませるこ とができる。Other ingredients The photopolymerizable composition contains other ingredients such as thermal polymerization inhibitors, dyes and pigments, and fluorescent bleaching agents. may be included to stabilize the color or otherwise enhance the composition. I can do that.
光重合性組成物に使用することができる熱重合阻害剤はp−メトキシフェノール 、ヒドロキノン、及びアルキル及びアリール置換ヒドロキシン及びキノン、te rt−ブチルカテコール、ピロガロール、銅レジネート、ナフチルアミン、ベー ターナフトール、塩化第一銅、2.6−シーtert−ブチル−p−クレゾール 、フェノチアジン、ピリジン、ニトロベンゼン及びジニトロベンゼン、p−トル キノン及びクロラニルである。米国特許4.168.982に開示されたニトロ ソ組成物も熱重合阻害剤として有用である。A thermal polymerization inhibitor that can be used in the photopolymerizable composition is p-methoxyphenol. , hydroquinone, and alkyl and aryl substituted hydroxynes and quinones, te rt-butylcatechol, pyrogallol, copper resinate, naphthylamine, base Turnaphthol, cuprous chloride, 2,6-tert-butyl-p-cresol , phenothiazine, pyridine, nitrobenzene and dinitrobenzene, p-tolu quinone and chloranil. Nitro as disclosed in U.S. Patent 4.168.982 The compositions are also useful as thermal polymerization inhibitors.
種々の染料及び顔料をレジスト画像の可視性を増すために添加することができる 。しかしながら使用する着色剤はいずれも使用する化学線に対して透明でなけれ ばならない。Various dyes and pigments can be added to increase the visibility of the resist image . However, any colorant used must be transparent to the actinic radiation used. Must be.
有用な蛍光漂白剤はHe1d、米国特許3.854.950に開示されたそれを 含む。好ましい蛍光漂白剤は7−(4’−クロロ−6−ジニチルアミノー1’、 3’、5’ −トリアジン−4′−イル)アミノ−3−フェニルクマリンである 。本発明に有用な紫外線吸収材料も同じ(Ileld、米国特許3、854.9 50に開示されている。Useful fluorescent bleaches include those disclosed in Held, U.S. Pat. No. 3,854,950. include. A preferred fluorescent bleach is 7-(4'-chloro-6-dinithylamino-1', 3',5'-triazin-4'-yl)amino-3-phenylcoumarin . The same ultraviolet absorbing materials useful in the present invention (Iled, U.S. Pat. No. 3,854.9 50.
フォトレジストへの適用 本発明の光重合性組成物は印刷回路板をつくるためのフォトレジストとして特に 有用である。一般に印刷回路をつくるためのレジストの使用は1979年1cG raw−Hill。Application to photoresist The photopolymerizable compositions of the invention are particularly useful as photoresists for making printed circuit boards. Useful. Generally, the use of resist for making printed circuits began in 1979 at 1cG. raw-Hill.
Inc、から出版されたC、 F、 Coombs、 Jr編集、「印刷回路ハ ンドブック」、第2版に記述されており、これはスクリーン印刷したレジスト及 びフォトレジストの両方を含む。フォト回路(photocircuit)製造 のために慣用的なフォトレジストの使用は1975年に璽cGraw−Bi11 . Inc、から出版されたW、S、 DeForest著、「フォトレジスト −材料と方法Jに記述されており、これはネガ型光重合性及び光架橋性又は二量 体化可能な系、並びにポジ型光可溶化可能な系を含む。フォトレジストは一次画 像形成プロセスにおける印刷回路をつくるための仮コーティングに、又は二次画 像形成プロセスにおいてその後の加工の間又は使用の間環境の影響から回路を保 護するための永久コーティング例えばソルダーマスクをつくるために使用するこ とができる。永久コーティングは多層印刷回路の製造における中間絶縁層として も使用することができる。Edited by C. F. Coombs, Jr., published by Inc. 2nd edition, which uses screen-printed resists and and photoresist. Photocircuit manufacturing The use of conventional photoresists was introduced in 1975 for cGraw-Bi11. .. “Photoresist” by W. S. DeForest, published by Inc. - described in Materials and Methods J, which is a negative photopolymerizable and photocrosslinkable or dimeric positive-acting photosolubilizable systems as well as positive-acting photosolubilizable systems. Photoresist is a primary image For temporary coatings to create printed circuits in imaging processes, or as secondary images. Protects the circuit from environmental influences during subsequent processing in the imaging process or during use. A permanent protective coating, for example used to create a solder mask. I can do that. Permanent coatings are used as intermediate insulating layers in the production of multilayer printed circuits. can also be used.
実際には、典型的には2.5〜125マイクロメーターの厚さの光重合性層を、 −次画像形成のため通常は銅クラツドガラス繊維エポキシ板である印刷回路基板 に、又は二次画像形成のため板上の印刷回路レリーフパターンに適用する。次い で適用した光重合性層を化学線に画像形成露光して露光部分を硬化又は不溶化さ せる。次いで未露光部分を典型的には現像溶液を用いて完全に取り除くが、この 現像溶液は露光部分の一体性又は密着性に悪い影響を与えることなく、未露光部 分を選択的に溶解し、はがし取り、又は別な方法で分散させる。現像過程で被覆 を除いた基板の表面部分は次にエツチングするが又はそれから材料を取り除くか 又はそれに材料を付着させて変性する。In practice, the photopolymerizable layer is typically 2.5 to 125 micrometers thick. - a printed circuit board, usually a copper-clad glass fiber epoxy board for subsequent imaging; or applied to printed circuit relief patterns on boards for secondary imaging. next The applied photopolymerizable layer is imagewise exposed to actinic radiation to harden or insolubilize the exposed areas. let The unexposed areas are then removed completely, typically using a developer solution; The developer solution can be applied to unexposed areas without adversely affecting the integrity or adhesion of exposed areas. selectively dissolve, strip, or otherwise disperse the components. Coated during development process The surface area of the substrate except for the material is then etched or the material is removed. Or modify it by attaching material to it.
印刷回路板をつくる一次画像形成の場合、被覆を除いた銅表面部分をエツチング するが又は除去して印刷回路を直接つくるか、又はエツチング剤に抵抗性の追加 の銅又は他の金属、例えば金、スズ/鉛などをその上にメッキすることができる 。第一の場合、硬化した露光レジストを通常ははぎ取り法により残りの銅表面か ら除去して直接回路板をつくる。第二の場合、硬化したレジストを最初にメッキ していない銅表面からはがし取り、次いで表面をエツチングするか又は基板から 除去してメッキした印刷回路板をつくる。For primary imaging to create printed circuit boards, etching the copper surface area excluding the coating. Add or remove etchants to create printed circuits directly or add resistance to etching agents. of copper or other metals such as gold, tin/lead etc. can be plated thereon. . In the first case, the cured exposed resist is usually removed from the remaining copper surface by a stripping method. directly to create a circuit board. In the second case, the hardened resist is plated first strip the untreated copper surface and then etch the surface or remove it from the substrate. Create a stripped and plated printed circuit board.
永久レジスト又はソルダーマスクを印刷回路板の上につくる場合、現像したソル ダーマスクレジスト画像を最初に、高められた温度でベーキングするか、化学線 による追加の均一な露光をするか、又はそれらの組合わせによりさらに硬化又は 固化させてパッド又はスルーホール部分を除いてすべての部分をおおう硬化した ソルダーマスク層を持つ回路板をつくる。次に電気部品をスルーホールに挿入し 、そしてそのままはんだ付けしてパッケージングした電気部品をつくる。多層印 刷回路をっ(る場合、永久レジストを触媒化基板に適用し、画像形成し、被覆の ない触媒化部分を現像し、次いで通常は無電解メッキして第一の回路層をつくる 。次いで第一の回路層の全表面を触媒化し、そしてこの過程を1回又はそれ以上 繰り返して多層印刷回路板をつくる。When creating a permanent resist or solder mask on a printed circuit board, the developed solder The derma resist image is first baked at elevated temperatures or exposed to actinic radiation. or a combination thereof. Allow to harden and harden to cover all parts except the pad or through-hole area. Create a circuit board with a solder mask layer. Next, insert the electrical components into the through holes. , and then solder them directly to create packaged electrical components. multilayer stamp If a printed circuit is to be printed, a permanent resist is applied to the catalyzed substrate, imaged, and coated. The non-catalyzed portions are developed and then typically electroless plated to create the first circuit layer. . The entire surface of the first circuit layer is then catalyzed and this process is repeated one or more times. Repeat to create a multilayer printed circuit board.
本発明の特に好ましい具体化は (1)回路パターンを持つ基板表面に光重合性組成物を適用してその上に光重合 性層を形成させ、(2)化学線に画像形成露光して露光及び未露光部分を形成さ せ、 (3)層の未露光部分を除去して露光部分にステンシルソルダーマスク画像及び 残りの回路パターンの未露光部分を形成させる 段階からなるその表面上に浮き出した導電性回路パターンを持つ印刷回路基板上 にソルダーマスクを形成させる方法であり、この光重合性組成物は (A) 線状ポリマー主鎖セグメントに沿って化学的に結合した1つ又はそれよ り多い枝ポリマーセグメントからなる親水性基を含む技分かれポリマー生成物( その中で枝ポリマー生成物は少なくとも1つのエチレン性不飽和マクロマー成分 及び少なくとも1つのエチレン性不飽和コモノマーの付加重合の間に形成され、 その中で(a)エチレン性不飽和マクロマー成分は40.000より大きくない 重量平均分子量(璽、)を持ち、(b)線状ポリマー主鏑セグメントは約io、 ooo〜約500.000の重量平均分子量(菖、)を持ち、(C)線状ポリ マー主鎖セグメントの枝ポリマーセグメント(1つ又は複数)に対する重量比は 約200/ 1から約174までの範囲内であり、そして(d)、枝ポリマーセ グメント(1つ又は複数)は約35%〜100%の親水性基を含む):及び (B) 少なくとも1つの末端、エチレン性不飽和基を含む追加の重合性モノマ ー:及び (C) 化学線により活性化される開始系からなる。A particularly preferred embodiment of the invention is (1) Apply a photopolymerizable composition to the surface of a substrate with a circuit pattern and photopolymerize it on top. (2) imagewise exposure to actinic radiation to form exposed and unexposed areas; height, (3) Remove the unexposed parts of the layer and apply the stencil solder mask image to the exposed parts. Form the unexposed parts of the remaining circuit pattern on a printed circuit board with an embossed conductive circuit pattern on its surface consisting of steps This is a method of forming a solder mask on the photopolymerizable composition. (A) one or more chemically bonded along a linear polymer backbone segment; A branched polymer product containing hydrophilic groups consisting of many branched polymer segments ( wherein the branched polymer product has at least one ethylenically unsaturated macromer component and at least one ethylenically unsaturated comonomer, Therein, (a) the ethylenically unsaturated macromer component is not greater than 40,000; (b) the linear polymer main segment has a weight average molecular weight of about io, It has a weight average molecular weight (Iris) of ooo to about 500.000, and (C) linear polyester. The weight ratio of polymer backbone segment to branch polymer segment(s) is in the range of about 200/1 to about 174; and (d) the branched polymer se component(s) containing about 35% to 100% hydrophilic groups): and (B) Additional polymerizable monomer containing at least one terminal, ethylenically unsaturated group -: and (C) Consists of an initiation system activated by actinic radiation.
この方法の特別な具体化においては、(A)は線状ポリマー主鎖セグメントに沿 って化学的に結合した多数の枝ポリマーセグメントからなる枝分かれポリマー生 成物であり、その中で枝ポリマーセグメントは1つ又はそれより多い親水性官能 基を含む少なくとも1つのエチレン性不飽和マクロマー成分から枝分かれポリマ ー生成物の付加重合の間に形成され、その中でエチレン性不飽和マクロマー成分 は30.000より大きくない数平均分子量(ml、)及び約5より大きくない 多分散度(If/1ln)を持つ。In a particular embodiment of this method, (A) is is a branched polymer product consisting of many chemically bonded branched polymer segments. composition, in which the branch polymer segment has one or more hydrophilic functionalities. a polymer branched from at least one ethylenically unsaturated macromer component containing groups - formed during the addition polymerization of the product, in which the ethylenically unsaturated macromer component is a number average molecular weight (ml, ) not greater than 30,000 and not greater than about 5 It has polydispersity (If/1ln).
光重合性組成物は典型的には熱活性化させた架橋成分を含み、そして段階(C) の後にレジスト部分は通常は加熱により、化学線への均一な露光により、化学試 薬を用いる処理により又はそれらの組合わせにより硬化させる。The photopolymerizable composition typically includes a heat-activated crosslinking component and step (C) After this, the resist area is exposed to a chemical reagent, usually by heating and by uniform exposure to actinic radiation. Cured by treatment with drugs or a combination thereof.
永久コーティング組成物における使用に特に好ましいのは枝分かれポリマー生成 物であり、この枝分かれポリマー生成物はB^/ S /HE璽^/マクロマー のコポリマー(この場合マクロマーはB画^/I曹^/HEIA/曹^Aコポリ マー、BIA/HIJA/菖^^コポリマー又はBIA/璽AAコポリマーであ り、各々は単一の末端エチレン基を持つ)からなり、枝分かれポリマー生成物に おけるそれぞれのモノマー重量比は約48/ 15/ 15/ 22であり、マ クロマーにおけるそれぞれの比率は約43/ 2 / 30/ 25.45/ 30/ 25又は75/25である。示した枝分かれポリマー生成物においてB ^はブチルアクリレート、 BIAはブチルメタクリレート、 IIEI^は2 −ヒドロキシエチルメタクリレート;璽A^はメタクリル酸;麗菖^はメチルメ タクリレート:及びSはスチレンである。Particularly preferred for use in permanent coating compositions are branched polymer formations. and this branched polymer product is B^/S/HE^/macromer. copolymer (in this case, the macromer is B/I/HEIA/A copolymer) mer, BIA/HIJA/Iris ^^ copolymer or BIA/Shija AA copolymer. each with a single terminal ethylene group), resulting in a branched polymer product. The weight ratio of each monomer in is approximately 48/15/15/22. The respective ratios in chromer are approximately 43/2/30/25.45/ 30/25 or 75/25. In the branched polymer products shown, B ^ is butyl acrylate, BIA is butyl methacrylate, IIEI^ is 2 -Hydroxyethyl methacrylate; A^ is methacrylic acid; Iris is methyl methacrylate; Tacrylate: and S is styrene.
レジストの適用 光重合性レジストは印刷回路基板に液体として、予備成形したドライフィルムと して、又は液体及びドライフィルムの組合わせとして適用することができる。Applying resist Photopolymerizable resists are applied to printed circuit boards as a liquid and as a preformed dry film. It can be applied as a liquid or as a combination of liquid and dry film.
コーテイング液 光重合性レジストは慣用的なコーティング法のいずれを用いても液体として印刷 回路基板上にコートすることができる。この液体はレジストの溶液であり、この 場合溶剤をコーティングの後除去して乾燥した固体レジスト層をつくるか、又は 液体が純粋な無溶剤レジストであって、これをコーティングの後直接画像形成さ せるか又は化学線に露光して硬化したレジスト層をつくることができる。液体は 上記Coosbs、上記DeForest、Lipson etal、 、米国 特許4.064.287、又は0ddi et al、、米国特許4.376. 81.5に開示されたようにローラー塗り、スピンコーティング、スクリーン塗 り又はスクリーン印刷することができる。この液体を通常溶液としてLoser t et al、。coating liquid Photopolymerizable resists print as liquids using any conventional coating method Can be coated onto circuit boards. This liquid is a resist solution; If the solvent is removed after coating to create a dry solid resist layer, or The liquid is a pure, solvent-free resist that is directly imaged after coating. A hardened resist layer can be created by exposure to actinic radiation. The liquid is Coosbs above, DeForest above, Lipson etal, USA Patent No. 4.064.287, or Oddi et al., U.S. Pat. No. 4.376. Roller coating, spin coating, screen coating as disclosed in 81.5. It can be printed or screen printed. Loser this liquid as a normal solution. t et al.
米国特許4.230.793に開示されたように流し塗りすることもできる。H e1art、米国特許4.548.884、Hauser、米国特許 BI 4 .528,261、又は5ullivan、米国特許4、424.089及び4 .591.265に開示されたような方法を用いて純粋な液体をコートしそして 画像形成させることかでCe1este、米国特許3.469.982に記述の 積層法を使用して、予備成形したドライフィルムの光重合性レジスト層を典型的 には通常多層板、トランスファー用レジスト要素から適用する。多層板レジスト 要素は順に、化学線透過性仮支持フィルム、例えばポリエチレンテレフタレート 製の薄い光重合性レジスト層、及び場合により貯蔵の間レジスト要素を保護する ための除去可能な被覆シートからなる。上記Ce1esteに記述されているよ うに、被覆シートがある場合光ずこれを除去し、そして被覆を除去したフォトレ ジスト表面を銅クラツド印刷回路基板に熱及び/又は圧力を使用して、例えば慣 用的な熱ロール貼合せ機を用いて積層する。フォトレジスト相が酸素のような周 囲要素に対して感受性でない場合、積層は通常仮支持フィルムを通して化学線に 画像形成露光させるが、解像度及び他のそのような性質を改良するため仮支持体 を画像形成の前に除去することができる。場合により基板へのレジストの密着を 、基板表面を液体で積層時又はその直前処理して改良することができる。典型的 には、・この液体は化学線に対して感受性でな(、モしてJones。It is also possible to flow coat as disclosed in US Pat. No. 4,230,793. H e1art, US Patent 4.548.884, Hauser, US Patent BI 4 .. 528,261, or 5ullivan, U.S. Patent 4,424.089 and 4 .. 591.265 using a method such as that disclosed in 591.265 and By forming an image, Celeste described in U.S. Pat. No. 3,469,982. Typically, the photopolymerizable resist layer is preformed using a lamination method. It is usually applied from multilayer plates and transfer resist elements. Multilayer plate resist The elements in turn are actinically transparent temporary support films, such as polyethylene terephthalate. a thin photopolymerizable resist layer made of Consists of a removable covering sheet for It is described in Ce1este above. If there is a coating sheet, remove it and remove the coating from the photoreceptor. For example, by applying heat and/or pressure to a copper-clad printed circuit board, Laminate using a commercial hot roll laminating machine. The photoresist phase is If not sensitive to surrounding elements, the laminate is usually exposed to actinic radiation through a temporary support film. Image-forming exposure but temporary support to improve resolution and other such properties can be removed before imaging. In some cases, the adhesion of the resist to the substrate may be This can be improved by treating the surface of the substrate with a liquid during or immediately before lamination. typical This liquid is sensitive to actinic radiation (see Jones).
米国特許3.645.772に開示された接着促進剤の溶液、Fickes、米 国特許4.069.076に開示されたレジスト相用溶剤又は膨潤剤、Cohe n、米国特許4.405.394及び欧州特許0041639. Pilett e et at、、米国特許4.378.764、及びfej、ner et al、、欧州特許0040842に開示された非溶剤、又はLau et al 、、米国特許4.698.294に開示されたレジスト層の液体成分であること ができる。この液体は場合により光感受性でもよ(、例えばl5aacson、 米国特許3、629.036に開示されたフォトレジスト溶液、O’Ne1l etal、 、欧州特許出願87113176、9に開示された感光性液、又は 5ullivan、米国特許4.506.004に開示された純粋なフォトレジ スト液である。Solution of adhesion promoter disclosed in U.S. Pat. No. 3,645,772, Fickes, USA Resist phase solvent or swelling agent disclosed in National Patent No. 4.069.076, Cohe n, US Patent 4.405.394 and European Patent 0041639. Pilett e et at, U.S. Patent 4.378.764, and fej, ner et al, the non-solvent disclosed in European Patent 0040842, or Lau et al. , is a liquid component of the resist layer disclosed in U.S. Pat. No. 4,698,294. Can be done. This liquid may optionally be photosensitive (e.g. l5aacson, Photoresist solution disclosed in U.S. Pat. No. 3,629.036, O'Ne1l etal, the photosensitive liquid disclosed in European Patent Application No. 87113176, 9, or 5ullivan, a pure photoresist disclosed in U.S. Patent 4.506.004. It is a strike liquid.
ドライフィルム例えばソルダーマスクを回路板のような低いレリーフを持つ基板 に積層する場合、捕捉された空気、例えば回路ラインの周囲からのそれを除(処 置を取らなければならない。捕捉された空気はFr1e1. 米国特許4.12 7.436の真空積層法により、Co11ier et al、。Dry film for example solder masks on substrates with low relief such as circuit boards If laminated to a have to take a stand. The trapped air is Fr1e1. U.S. Patent 4.12 7.436 by the vacuum lamination method of Colier et al.
米国特許4.071.367の溝付きロール積層法(groove’d rol llamination process)により、又は上記Fickes、上 記Lau等、上記0’Net1等、又は上記5ullivanの°004特許に 記述された液体処理剤を使用することにより除去される。The grooved roll lamination method of U.S. Patent 4.071.367 or by Fickes, supra, supra. Lau et al., 0'Net1 et al., supra, or 5ullivan's °004 patent, supra. Removed by using the liquid treatment agents described.
実施例1 その後の枝分かれポリマー生成物形成に使用するマクロマー溶液(1)は次の手 順を用いてつくる。Example 1 The macromer solution (1) used for subsequent branched polymer product formation is prepared in the following manner. Create using the order.
清浄な反応容器に次の化合物を添加した。The following compounds were added to a clean reaction vessel.
量 メタクリル酸(璽A^) 3.31 ヒドロキシエチルメタクリレ−) (IIEIIA) 7.93ブチルメタクリ レート(B菖^) 11.89メチルエチルケトン 15.50 得られる溶液を還流温度に加熱し、そして撹拌しながらそれに保った。次にあら かじめ窒素の下で15分間混合した次の溶液を速やかに添加した。amount Methacrylic acid (Seal A^) 3.31 Hydroxyethyl methacrylate) (IIEIIA) 7.93 Butyl methacrylate Rate (B) 11.89 Methyl ethyl ketone 15.50 The resulting solution was heated to reflux temperature and kept there with stirring. Next oh The next solution, previously mixed for 15 minutes under nitrogen, was immediately added.
量 メチルエチルケトン 1.56 ビス(ジフルオロボリル)ジフェニル 0.004グロキシマトコバルト■水和 物(SCT)Vazo■52触媒 0.023 2.2′−アゾビス(2,4−ジメチルペンタンニトリル)次にあらかじめ窒素 の下で15分間a=した次の溶液を同時に反応容器に添加した。amount Methyl ethyl ketone 1.56 Bis(difluoroboryl)diphenyl 0.004 gloximatocobalt ■Hydration Product (SCT) Vazo■52 catalyst 0.023 2.2'-Azobis(2,4-dimethylpentanenitrile) then preliminarily charged with nitrogen The next solution, which had been heated for 15 minutes under a = , was simultaneously added to the reaction vessel.
溶液(A) 量 メチルエチルケトン 8.79 SCT 0.007 Vazo■52 0.252 溶液(B) 量 メタクリル酸(菖^^) 7.68 ヒドロキシエチルメタクリレート(旺菖^) 5.29ブチルメタクリレート( BIA) 7.93メチルエチルケトン 0.55 溶液(A)を54.8%を90分間かけて添加し、そして残りの45.2%をさ らに240分間かけて添加して供給した。溶液(B)を67%を120分間かけ て添加し、そして残りの33%をさらに120分間かけて添加して供給した。Solution (A) amount Methyl ethyl ketone 8.79 SCT 0.007 Vazo■52 0.252 Solution (B) amount Methacrylic acid (Iris ^^) 7.68 Hydroxyethyl methacrylate (Osho^) 5.29 Butyl methacrylate ( BIA) 7.93 Methyl ethyl ketone 0.55 54.8% of solution (A) was added over 90 minutes, and the remaining 45.2% was added. The mixture was further added and supplied over a period of 240 minutes. Apply solution (B) at 67% for 120 minutes. and the remaining 33% was added and fed over an additional 120 minutes.
反応物を撹拌しながら還流温度に45分間保ち、次いで6.9部のメチルエチル ケトンを添加した。次に反応物を還流温度にさらに30分間保ち、50℃に冷却 しそして濾過してマクロマー溶液(1)が得られた。分子量を慣用的なゲル透過 クロマトグラフィー(GPC)法を用いて測定した。重量平均分子量(11)は 4618、そして数平均分子量は2152であり、従って多分散度(1,/In )は2.15であった。The reaction was held at reflux temperature for 45 minutes with stirring, then 6.9 parts of methyl ethyl Ketones were added. The reaction was then held at reflux temperature for an additional 30 minutes and cooled to 50°C. The solution was then filtered to obtain a macromer solution (1). Conventional gel permeation of molecular weight Measured using chromatography (GPC) method. The weight average molecular weight (11) is 4618, and the number average molecular weight is 2152, thus the polydispersity (1,/In ) was 2.15.
枝分かれポリマー生成物(A)を次の手順を用いてつくった。The branched polymer product (A) was made using the following procedure.
反応容器に次の物質を添加した。The following materials were added to the reaction vessel.
量 マクロマー溶液(1’> 16.00 ブチルアクリレート(BA) 20.94スチレン(S ) 6.54 ヒドロキシエチルメタクリレート(HEIIIA) 6.54メチルエチルケト ン 10.83 この反応物を還流温度に加熱し、そして撹拌しながらそれに保ち、同時に次の物 質の溶液を5分間かけて添加した。amount Macromer solution (1’>16.00 Butyl acrylate (BA) 20.94 Styrene (S) 6.54 Hydroxyethyl methacrylate (HEIIIA) 6.54 methyl ethyl keto N 10.83 Heat the reaction to reflux temperature and keep it there with stirring while simultaneously adding The quality solution was added over 5 minutes.
量 メチルエチルケトン 2.18 Vazo@67 (2,2’−アゾビス(2−メチル 0.96ベンタンニトリ ル) これを追加のメチルエチルケトン(+、、03)でフラッジし、その後反応物を 撹拌しながら還流温度に120分間保った。amount Methyl ethyl ketone 2.18 Vazo@67 (2,2'-azobis(2-methyl 0.96bentanonitri) ) This was flooded with additional methyl ethyl ketone (+,,03), then the reaction was The temperature was kept at reflux for 120 minutes with stirring.
次いで次の溶液を反応物に添加した。The next solution was then added to the reaction.
量 メチルエチルケトン 1.31 Vazo@67 0.57 これを追加のメチルエチルケトン(0,33)でフラッジし、その後反応物を撹 拌しながら還流温度に120分間保った。amount Methyl ethyl ketone 1.31 Vazo@67 0.57 This was flushed with additional methyl ethyl ketone (0,33), then the reaction was stirred. The temperature was kept at reflux for 120 minutes with stirring.
次に次の溶液を添加した。Then the next solution was added.
量 メチルエチルケトン 0.87 Vazo@67 0.22 これを追加のメチルエチルケトン(0,33)でフラッジし、その後反応物を撹 拌しながら還流温度に120分間保って枝分かれポリマー生成物(A)を得、こ の物はBA/ S / tlEIl^/マクロマーであり、一方マクロマーは 81^/BE璽^/IIA^ −である。amount Methyl ethyl ketone 0.87 Vazo@67 0.22 This was flushed with additional methyl ethyl ketone (0,33), then the reaction was stirred. The branched polymer product (A) is obtained by keeping it at reflux temperature for 120 minutes with stirring. is BA/S/tlEIl^/macromer, while macromer is 81^/BE Seal^/IIA^ − is.
簡単にするため、次にアームのない線状ポリマー(本発明のそれではない)をこ の溶液中で以下に記述するように重合させた。For simplicity, we will now use a linear polymer without arms (not that of the present invention). Polymerization was carried out as described below in a solution of
上の溶液に次の溶液を添加し、 量 メタクリル酸 0.58 メチルメタクリレート 4.27 メチルエチルケトン 7.06 次いで次の物を含む溶液を添加した。Add the following solution to the above solution, amount Methacrylic acid 0.58 Methyl methacrylate 4.27 Methyl ethyl ketone 7.06 A solution containing the following was then added:
量 メチルエチルケトン 0,34 Vazo[F]67 0.13 これを追加のメチルエチルケトン(0,24)でフラッジした。再び反応物を撹 拌しながら還流温度に120分間保ち、次いで次の溶液を添加した。amount Methyl ethyl ketone 0,34 Vazo[F]67 0.13 This was flushed with additional methyl ethyl ketone (0,24). Stir the reaction again. It was kept at reflux temperature for 120 minutes with stirring and then the next solution was added.
量 メチルエチルケトン 0.145 Vazo@34 0.068 これを追加のメチルエチルケトン(0,04)でフラッジした。次いで反応物を 撹拌しながら還流温度に240分間保ってポリマー生成物(B)を得、この物は 菖璽^/菖A^ この混合物を押出し脱蔵装置中で乾燥してペレットに成形し、24.658の重 量平均分子量(璽、)を持っていた。amount Methyl ethyl ketone 0.145 Vazo@34 0.068 This was flushed with additional methyl ethyl ketone (0,04). Then the reactants The polymer product (B) was obtained by keeping it at reflux temperature for 240 minutes with stirring. Iris ^ / Iris A ^ This mixture was dried in an extrusion devolatilizer and formed into pellets with a weight of 24.658 It had a weight average molecular weight ( ).
ガラス転移MIXは示差走査側熱法で測定して−11,1℃及び28.4℃であ った。Glass transition MIX is -11.1°C and 28.4°C as measured by differential scanning calorimetry. It was.
実施例2 ドライフィルム、感光性ソルダーマスク要素を次のよペンタエリトリトールトリ アクリレート 450.0トリメチロールプロパントリアクリレート 450. 0′メチルエチルケトキンムでブロックしたヘキサメチレン 817.8ジイソ シアネートのホモポリマー(75%固体)ジエチルヒドロキシルアミン 1.5 ベンゾフエノン 120.0 ミヒラーズケトン 3.0 3−メルカプト−IFI−1,2,4−)リアゾール 6.0グリ一ン着色剤( Dayglo@ 122−9655) 90.Or’VP K−90(ポリビニ ルピロリド:/) 180.0組成物を90%塩化メチレン及び10%メタノー ルからなる5365重量部の溶剤中にコーティングのため溶解した。Example 2 Dry film, following the photosensitive solder mask elements with pentaerythritol trichloride Acrylate 450.0 Trimethylolpropane triacrylate 450. Hexamethylene blocked with 0' methyl ethyl ketoquine 817.8 diiso Cyanate homopolymer (75% solids) diethylhydroxylamine 1.5 Benzophenone 120.0 Michler's Ketone 3.0 3-mercapto-IFI-1,2,4-) lyazole 6.0 glycol colorant ( Dayglo@122-9655) 90. Or’VP K-90 (polyviny Lupiroride:/) 180.0 composition with 90% methylene chloride and 10% methanol The solution was dissolved for coating in 5365 parts by weight of a solvent consisting of
次いでこの溶液を画yl訂■92Dポリエチレンテレフタレートフィルム(E、 1. du Pant de Nemours and Company)・に コートし、そして150°Fで風乾して厚さ2ミルの乾燥感光層をつ(った。こ の層の上につや消しの1ミルのポリエチレンフィルムをそのなめらかな側を塗膜 に向けて積層し、ドライフィルム、感光ソルダーマスク要素が得られた。This solution was then transferred to a 92D polyethylene terephthalate film (E, 1. du Pant de Nemours and Company). The photosensitive layer was coated and air dried at 150°F to form a 2 mil thick dry photosensitive layer. Coat the smooth side of the matte 1 mil polyethylene film over the layer of A dry film and a photosensitive solder mask element were obtained.
12インチX18インチの寸法の一組の印刷回路板パネルであって、直径17ミ ル〜35ミルの約1200の孔を持つ両パネル表面に約3.5ミルのレリーフ浮 き出し高さを持つそれに、トリプロピレングリコールジアクリレート(25℃で 14.5センチポアズの粘度を持つ)を湿潤用スポンジを用いてコートした。A set of printed circuit board panels measuring 12 inches by 18 inches and having a diameter of 17 mm. Approximately 3.5 mil relief floating on both panel surfaces with approximately 1200 holes of ~35 mil. In addition, tripropylene glycol diacrylate (at 25℃) (having a viscosity of 14.5 centipoise) was coated using a wetting sponge.
このモノマー湿潤パネルを垂直位置に保ちながら2本のロールの間隙を水平方向 に通過させ、同時に湿潤パネルの上に、そこから先ずポリエチレンフィルムを除 去した後乾燥感光層を積層した。間隙圧を空気圧シリンダーで約35psiに調 節しながら、ロールの温度を約140°Fにした。各ロールはVALU” 5y ste■積層に使用する型のそれであり、但し通常のゴムコーティングをおおう Teflon@ポリテトラフルオロエチレンスリーブを備えていた。While keeping this monomer-wetted panel in a vertical position, the gap between the two rolls is adjusted horizontally. At the same time, pass the polyethylene film over the wet panel, from which the polyethylene film is first removed. After drying, a dry photosensitive layer was laminated. Adjust the pore pressure to approximately 35 psi with a pneumatic cylinder. The temperature of the roll was brought to about 140°F while kneading. Each roll is VALU” 5y ste■ It is a type used for lamination, but it is covered with a normal rubber coating. It was equipped with a Teflon@polytetrafluoroethylene sleeve.
積層手順において、液体コーティングのモノマーはパネルの滓出レリーフから測 定して約0.2ミルの厚さで存在し、コーティングは浮き出しレリーフに直接隣 接して約3.5ミル及び浮き出しレリーフの上で約0.2ミルの範囲にわたる。During the lamination procedure, the monomer of the liquid coating is measured from the run-off relief of the panel. The coating is present at a constant thickness of approximately 0.2 mil and is directly adjacent to the raised relief. It spans about 3.5 mils abutting and about 0.2 mils above the raised relief.
パネルの端をトリムし、そして残りのモノマー液を水を噴霧して除去した。The edges of the panel were trimmed and the remaining monomer liquid was removed by spraying with water.
パネルを積層130分間保ち、次にDu PontのPC−130露光装置を用 いて紫外線に300ミリジユ一ル/cm”で露光した。露光後MYlar@ポリ エチレンテレフタレートフィルムを除き、そして試料をへ〇S処理装置中で1% 炭酸ナトリウム溶液を用いて105°Fで現像した。現像時間は約180秒であ った。現像後各板の各側面を^rgus紫外線装置中で最初に2ジユール/C■ 2で露光し、次に板を冷却し、次に6ジユール/ c w ”で露光して硬化さ せた。次に板を150℃で1時間ベーキングした。得られるソルダーマスクは各 々の印刷回路板に永久に密着していた。The panels were laminated for 130 minutes, then a DuPont PC-130 exposure system was used. After exposure, MYlar@Poly Remove the ethylene terephthalate film and transfer the sample to 1% in a S processing apparatus. Developed at 105°F using sodium carbonate solution. Development time is approximately 180 seconds. It was. After development, each side of each plate was first exposed to 2 Joules/C in a rgus ultraviolet unit. 2, then cooled the plate, then exposed to 6 joules/cw” to harden. I set it. The board was then baked at 150°C for 1 hour. The resulting solder mask is It was permanently attached to each printed circuit board.
この板はソルダーマスク特性をはんだ付は抵抗性、耐溶剤性、電気的性質、密着 、耐熱衝撃性及び易燃性を含む代表的な方法で評価した場合ソルダーマスクとし て成功した結果を示した。検査はインクコネクティング及びパッケージング電子 回路協会(Institute for Interco−nnecting and Packaging Electronic C1rcuits)が推 奨するその刊行物IPC−8l−840に記載された標準規格方法にその後の枝 分かれポリマー生成物形成に使用するマクロマー溶液(2)を次の手順を用いて つくった。This board has solder mask properties such as soldering resistance, solvent resistance, electrical properties, and adhesion. As a solder mask, when evaluated using typical methods including thermal shock resistance and flammability. showed successful results. Inspection of ink connecting and packaging electronics Institute for Interco-necting and Packaging Electronic C1rcuits) is recommended. Subsequent branches of the standard method described in its publication IPC-8l-840 are recommended. Separate the macromer solution (2) used to form the polymer product using the following steps: I made it.
清浄な反応容器に次の化合物を添加した。The following compounds were added to a clean reaction vessel.
メタクリル酸(l[A^) 3.21 ヒドロキシエチルメタクリレート(HEIA) 7.70ブチルメタクリレート (BIIA) 11.04メチルメタクリレート(l[1IA) 0.51アセ トン 15.05 得られる溶液を還流温度に加熱し、そして撹拌しながらそれに保った。次にあら かじめ窒素の下で15分間混合した次の溶液を速やかに添加した。Methacrylic acid (l[A^) 3.21 Hydroxyethyl methacrylate (HEIA) 7.70 Butyl methacrylate (BIIA) 11.04 methyl methacrylate (l[1IA) 0.51 acetate Ton 15.05 The resulting solution was heated to reflux temperature and kept there with stirring. Next oh The next solution, previously mixed for 15 minutes under nitrogen, was immediately added.
アセトン 3.04 ビス(ジフルオロボリル)ジフェニル 0.0008グロキシマトコバルト■水 和物(SCT)Vaカ@52触媒 0.0084 2.2′−アゾビス(2,4−ジメチルペンタンニトリル)次にあらかじめ窒素 の下で15分間混合した次の溶液を同時に添加した。Acetone 3.04 Bis(difluoroboryl)diphenyl 0.0008 gloximatocobalt■Water Sumitomo (SCT) Va @52 catalyst 0.0084 2.2'-Azobis(2,4-dimethylpentanenitrile) then preliminarily charged with nitrogen The next solution was added simultaneously, mixed for 15 minutes under .
アセトン 8.53 SCT O,0014 Vazo@52 0.0918 匙!■ メタクリル酸(IIAA) 7.46 ヒドロキシエチルメタクリレート(HEIA) 5.14ブチルメタクリレート (BIA) 7.36メチルメタクリレート(I菖^) 0.34アセトン 0 .53 溶液(A)を、54.8%を90分間かけて添加し、そして残りの45.2%を さらに240分間かけて添加して供給した。溶液(B)を、67%を120分間 かけて添加し、そして残りの33%をさらに120分間かけて添加して供給した 。添加終了後溶液(A)及び(B)の容器をそれぞれ0.35及び0.53部の アセトンでフラッジし、そして反応容器に添加した。Acetone 8.53 SCT O,0014 Vazo@52 0.0918 spoon! ■ Methacrylic acid (IIAA) 7.46 Hydroxyethyl methacrylate (HEIA) 5.14 Butyl methacrylate (BIA) 7.36 Methyl methacrylate (I) 0.34 Acetone 0 .. 53 54.8% of solution (A) was added over 90 minutes and the remaining 45.2% The addition was continued for an additional 240 minutes. Solution (B) at 67% for 120 minutes and the remaining 33% was added and fed over an additional 120 minutes. . After the addition is complete, add 0.35 and 0.53 parts of solutions (A) and (B) to the containers, respectively. Fluid with acetone and added to reaction vessel.
反応物を撹拌しながら還流温度に45分間保ち、次いで6.71部のアセトンを 添加した。次に反応物を還流温度にさらに30分間保ち、50℃に冷却しそして 濾過してマクロマー溶液(2)が得られた。分子量を慣用的なゲル透過クロマト グラフィー(GPC)法を用いて測定した。重量平均分子量(WW)は7562 、そして数平均分子量は4409であり、従って多分散度(llv/l1n)は 1.72であった。マクロマー溶液(2)中のマクロマーの酸価の計算値は16 2であった。The reaction was held at reflux temperature for 45 minutes with stirring and then 6.71 parts of acetone was added. Added. The reaction was then held at reflux temperature for an additional 30 minutes, cooled to 50°C and After filtration, a macromer solution (2) was obtained. Conventional gel permeation chromatography to determine molecular weight It was measured using the GPC method. Weight average molecular weight (WW) is 7562 , and the number average molecular weight is 4409, so the polydispersity (llv/l1n) is It was 1.72. The calculated acid value of macromer in macromer solution (2) is 16 It was 2.
枝分かれポリマー生成物(B)を次の手順を用いてつくった。A branched polymer product (B) was made using the following procedure.
反応容器に次の物質を添加した。The following materials were added to the reaction vessel.
段階V マクロマー溶液(2’) 22.34 ブチルアクリレート(B^) 15.94ヒドロキシエチルメタクリレート(旺 菖A) 6.26メチルメタクリレート(IIIIA) 6.26スチレン(S ) 0.102 メタクリル酸(I^^) 0.102 アセトン 1.81 この反応物を還流温度に加熱し、そして撹拌しながらそれに保ち、同時に次の物 質の溶液を5分間かけて添加した。Stage V Macromer solution (2') 22.34 Butyl acrylate (B^) 15.94 Hydroxyethyl methacrylate (O Iris A) 6.26 methyl methacrylate (IIIA) 6.26 styrene (S ) 0.102 Methacrylic acid (I^^) 0.102 Acetone 1.81 Heat the reaction to reflux temperature and keep it there with stirring while simultaneously adding The quality solution was added over 5 minutes.
アセトン 1.05 Vazo@52 0.1253 これを追加のアセトン(1,0)でフラッジし、その後反応物を撹拌しながら還 流温度に120分間保った。Acetone 1.05 Vazo@52 0.1253 This was flushed with additional acetone (1,0) and the reaction was then refluxed with stirring. It was held at flow temperature for 120 minutes.
次いで次の溶液を反応物に添加した。The next solution was then added to the reaction.
アセトン 0.42 Vazo[F]52 0.0205 これを追加のアセトン(0,4)でフラッジし、その後反応物を撹拌しながら還 流温度に120分間保った。Acetone 0.42 Vazo[F]52 0.0205 This was flushed with additional acetone (0,4) and the reaction was then refluxed with stirring. It was held at flow temperature for 120 minutes.
次に次の溶液を反応物に添加した。The next solution was then added to the reaction.
Vazo@67 (2,2’−アゾビス(2−メチル 0.0102ペンタンニ トリル) これを追加のアセトン(0,4)でフラ・ツシし、その後反応物を撹拌しながら 還流温度に180分間保った。次いでこのポリマー溶液をアセトンで希釈しく1 1.79、段階■)、50℃に冷却しそして濾過して枝分かれポリマー生成物( B)を得、この物は B^/HE璽^/IIA/ S /I^^/マクロマー38、92/ 15.2 9/ 15.29/ 0.25/ 0.25/ 30であり、一方マクロマーは B璽^/ HEM^/ IIIIA/ IIAAである。Vazo@67 (2,2'-azobis(2-methyl 0.0102 pentani) trill) This was flushed with additional acetone (0,4), then the reaction was stirred and It was kept at reflux temperature for 180 minutes. This polymer solution was then diluted with acetone to 1 1.79, step ■), cooled to 50°C and filtered to obtain the branched polymer product ( B), this thing is B^/HE Seal^/IIA/S/I^^/Macromer 38, 92/15.2 9/15.29/0.25/0.25/30, while the macromer It is B ^ / HEM ^ / IIIA / IIAA.
枝分かれポリマー生成物(B)の分子量をゲル透過クロマトグラフィー(GPC )法を用いて測定した。重量平均分子量(璽、)は140.386、そして数平 均分子量(an)は28、728であり、従って多分散度(11/蓋n)は4. 89であった。枝分かれポリマー生成物(B)の主鎖セグメントの枝ポリマーセ グメントに対する重量比は70/30であった。The molecular weight of the branched polymer product (B) was determined by gel permeation chromatography (GPC). ) method. The weight average molecular weight ( ) is 140.386, and the number is The average molecular weight (an) is 28,728, so the polydispersity (11/lid n) is 4. It was 89. The branched polymer separator of the main chain segment of the branched polymer product (B) The weight ratio to the component was 70/30.
枝分かれポリマー生成物(B)の酸価の計算値は49であった。枝ポリマーセグ メントは枝分かれポリマー生成物(B)中に存在する親水性基の60.5重量% を含む。The calculated acid number of the branched polymer product (B) was 49. branch polymer seg ment is 60.5% by weight of the hydrophilic groups present in the branched polymer product (B). including.
実施例4 ドライフィルム、感光性ソルダーマスク要素を実施例2に記述されたように製造 しそして加工した。但しソルダーマスクの配合は下表のようにした。Example 4 Dry film, photosensitive solder mask element prepared as described in Example 2 and processed. However, the composition of the solder mask was as shown in the table below.
ソルダーマスクの組成 量 ペンタエリトリトールトリアクリレート 6.768トリメチロールプロパント リアクリレート 6.768メチルエチルケトキシムでブロックしたヘキサメチ レン 4.500ジイソシアネートのホモポリマー(75%固体)ジエチルヒド ロキシルアミン 18 ベンゾフエノン 1.260 エチルミヒラーズケトン 108 3−メルカプト−111−1,2,4−1−リアゾール 72着色剤(Penn color 9G5) 360グリ一ン着色剤(Dayglo 122−965 5) 540実施例3の枝分かれポリマー生成物(B) (60%固体) 23 ,836実施例3の枝分かれポリマー生成物(B)の溶液中に 5.400分散 させた処理したタルク(Cyprubond @ )40%N−t−オクチルア クリルアミド、34%メチル 990メタクリレート、16%アクリル酸、6% ヒドロキシプロピルメタクリレート及び4%t−ブチルアミノエチルメタクリレ ートから形成させた両性コポリマー;分子量約50.000 PVP K−90(ポリビニルピロリドン) 1.440この組成物を16.3 41重量部の追加のアセトン及び27、000重量部のメタノールに溶解した。Solder mask composition amount Pentaerythritol triacrylate 6.768 trimethylol proppant Reacrylate 6.768 Hexamethyl blocked with methyl ethyl ketoxime Ren 4.500 Diisocyanate homopolymer (75% solids) diethyl hydride Roxylamine 18 Benzophenone 1.260 Ethyl Michler's Ketone 108 3-mercapto-111-1,2,4-1-lyazole 72 colorant (Penn color 9G5) 360 Green colorant (Dayglo 122-965 5) Branched polymer product (B) of 540 Example 3 (60% solids) 23 , 836 5.400 dispersed in a solution of the branched polymer product (B) of Example 3 Treated talc (Cyprabond @) 40% N-t-octyl Acrylamide, 34% methyl 990 methacrylate, 16% acrylic acid, 6% Hydroxypropyl methacrylate and 4% t-butylaminoethyl methacrylate ampholytic copolymer formed from carbonate; molecular weight approximately 50,000 PVP K-90 (polyvinylpyrrolidone) 1.440 This composition is 16.3 Dissolved in 41 parts by weight of additional acetone and 27,000 parts by weight of methanol.
この溶液を実施例2に記述した方法と同様にしてコートしそして評価しこの板は ソルダーマスク特性をはんだ付は抵抗性、耐溶剤性、電気的性質、密着、耐熱衝 撃性及び易燃性を含む代表的な方法で評価した場合ソルダーマスクとして成功し た結果を示した。検査はインクコネクティング及びパッケージング電子回路協会 が推奨するその刊行物IPC−3l−840に記載された標準規格方法に従った 。This solution was coated and evaluated in a manner similar to that described in Example 2, and the plates were Solder mask properties include soldering resistance, solvent resistance, electrical properties, adhesion, and heat shock resistance. It has been successfully used as a solder mask when evaluated using typical methods including flammability and flammability. The results were shown. Inspection by Ink Connecting and Packaging Electronic Circuits Association according to the standard method described in its publication IPC-3l-840 recommended by .
実施例5 その後の枝分かれポリマー生成物形成に使用するマクロマー溶液(3)及び(4 )を実施例3の手順を用いてっ(る。Example 5 Macromer solutions (3) and (4) used in subsequent branched polymer product formation ) using the procedure of Example 3.
清浄な反応容器に次の物質を添加した。The following materials were added to a clean reaction vessel.
段階■ マクロマー (3) (4) 量 量 メタクリル酸(鮎^) 3.21 3.21ヒドロキシエチルメタクリレート( ITEIIA) 7.69 7.69ブチルメタクリレート(BIIA) 11 .02 11.02メチルメタクリレート(MIIIA) 0.51 0.51 アセトン 15.03 − メチルエチルケトン 各々の得られる溶液を還流温度に加熱し、そして撹拌しながらそれに保った。次 にあらかじめ窒素の下で15分間混合した次の溶液を速やかに添加した。Stage ■ Macromer (3) (4) Quantity Quantity Methacrylic acid (Ayu^) 3.21 3.21 Hydroxyethyl methacrylate ( ITEIIA) 7.69 7.69 Butyl methacrylate (BIIA) 11 .. 02 11.02 Methyl methacrylate (MIIIA) 0.51 0.51 Acetone 15.03 - Methyl ethyl ketone Each resulting solution was heated to reflux temperature and kept there with stirring. Next The next solution, previously mixed for 15 minutes under nitrogen, was immediately added.
段階■ マクロマー (3) (4) 量 量 アセトン 3.03 − IE[ − 2.96 SCT O.0008 0.0034 Vazo@52触媒 0.1105 0.0224次にあらかじめ窒素の下で1 5分間混合した次の溶液を同時に添加した。Stage ■ Macromer (3) (4) Quantity Quantity Acetone 3.03 - IE[-2.96 SCT O. 0008 0.0034 Vazo@52 catalyst 0.1105 0.0224 then 1 under nitrogen in advance The next solution mixed for 5 minutes was added at the same time.
段階■ マクロマー (3) (4) 溶液(A) 量 量 アセトン 8.52 − 11EI[ − 8.52 SCT O.0014 0.0064 Vazo■52 0.0917 0.2445段階■ マクロマー (3) (4) 溶液(B) 量 量 メタクリル酸(MAA) 7.45 7.45ヒドロキシエチルメタクリレート (1’[EI[A) 5. 13 5. 13ブチルメタクリレ−) (BIA ) 7.35 7.35メチルメタクリレート(IIIIA) 0.34 0. 34アセトン 0.53 − IIEK − 0.53 マクロマー(3)−溶液(A)を、67%を60分間かけて添加し、そして残り の33%をさらに120分間かけて添加して供給した。溶液(B)を、67%を 60分間かけて添加し、そして残りの33%をさらに120分間かけて添加して 供給し、た。Stage■ Macromer (3) (4) Solution (A) amount amount Acetone 8.52 - 11EI [-8.52 SCT O. 0014 0.0064 Vazo■52 0.0917 0.2445 level■ Macromer (3) (4) Solution (B) amount amount Methacrylic acid (MAA) 7.45 7.45 hydroxyethyl methacrylate (1'[EI[A) 5. 13 5. 13-butyl methacrylate) (BIA ) 7.35 7.35 Methyl methacrylate (IIIA) 0.34 0. 34 Acetone 0.53 - IIEK - 0.53 Macromer (3)-solution (A) was added at 67% over 60 minutes and the remainder 33% of the total amount was added and fed over a further 120 minutes. Solution (B), 67% Added over 60 minutes and added the remaining 33% over an additional 120 minutes. I supplied it.
マクロマー(4)−溶液(A)を、54.8%を90分間かけて添加し、そして 残りの45.2%をさらに240分間かけて添加して供給した。溶液(B)を、 67%を120分間かけて添加し、そして残りの33%をさらに120分間かけ て添加して供給した。Macromer (4)-solution (A) was added at 54.8% over 90 minutes and The remaining 45.2% was added and fed over an additional 240 minutes. Solution (B), 67% was added over 120 minutes and the remaining 33% was added over an additional 120 minutes. was added and supplied.
添加終了後溶液(A)及び(B)の容器をそれぞれ0.35及び0.53部の溶 剤(マクロマー(3)についてはアセトン及びマクロマー(4)についてはME K)でフラッジし、そして反応容器に添加した。反応物を撹拌しながら還流温度 に45分間保ち、次いで6.71部の溶剤を添加した。次に反応物を還流温度に さらに30分間保ち、50℃に冷却しそして濾過してマクロマー溶液(3)及び (4)が得られた。分子量を慣用的なゲル透過クロマトグラフィー(GPC)法 を用いて測定した。After the addition is complete, add 0.35 and 0.53 parts of solution (A) and (B) to the containers, respectively. agent (acetone for macromer (3) and ME for macromer (4)) K) and added to the reaction vessel. Reflux temperature while stirring the reactants. for 45 minutes, then 6.71 parts of solvent were added. The reactants are then brought to reflux temperature. Hold for an additional 30 minutes, cool to 50°C and filter to remove macromer solution (3) and (4) was obtained. Molecular weight was determined by conventional gel permeation chromatography (GPC) method. Measured using
マクロマー(3)については重量平均分子量(I,)は28、 165、そして 数平均分子量(11)は8.415であり、従って多分散度( 1./ I。) は3.34であった。For macromer (3), the weight average molecular weight (I,) is 28, 165, and The number average molecular weight (11) is 8.415 and therefore the polydispersity (1./I.) was 3.34.
マクロマー(4)については重量平均分子量(I,)は4、 570、そして数 平均分子量(In)は3, 030であり、従って多分散度(1./mln)は 1.51であった。For macromer (4), the weight average molecular weight (I,) is 4, 570, and the number The average molecular weight (In) is 3,030, so the polydispersity (1./mln) is It was 1.51.
枝分かれポリマー生成物(C)及び(D)を次の手順を用いてつくった。Branched polymer products (C) and (D) were made using the following procedure.
各々の反応容器に次の物質を添加した。The following materials were added to each reaction vessel.
段階V 枝分かれポリマー生成物 (C) (D)量 量 マクロマー溶液(3) 22.34 −マクロマー溶液(4) − 22.36 プチルアクリレート(B^) 15.94 15.96ヒドロキシエチルメタク リレート(FIEIA) 6.26 6.27メチルメタクリレート(IImA ) 6.26 6.27スチレン(S) 0.102 0.102メタクリル酸 (菖A^) 0.102 0.102アセトン 1.81 − 各反応物を還流温度に加熱し、そして撹拌しながらそれに保ち、同時に次の物質 の溶液を5分間かけて添加した。Stage V Branched polymer product (C) (D) amount amount Macromer solution (3) 22.34 - Macromer solution (4) - 22.36 Butyl acrylate (B^) 15.94 15.96 Hydroxyethylmethac Relate (FIEIA) 6.26 6.27 Methyl methacrylate (IImA ) 6.26 6.27 Styrene (S) 0.102 0.102 Methacrylic acid (Iris A^) 0.102 0.102 Acetone 1.81 - Heat each reactant to reflux temperature and keep it there with stirring while simultaneously adding the next solution was added over 5 minutes.
段階■ 枝ポリマー生成物 (C) (D) 量 量 アセトン 1.05 − n[ − 1.05 Vazo■52 0.1253 0.0627生成物(C)反応物を追加のアセ トン(1.0)でフラッジし、その後反応物を撹拌しながら還流温度に120分 間保った。生成物(D)反応物を追加のIEK (1,0)でフラッジし、その 後反応物を撹拌しながら80〜84℃に180分間保った。Stage ■ Branch polymer product (C) (D) Quantity Quantity Acetone 1.05 - n[-1.05 Vazo ■ 52 0.1253 0.0627 Product (C) Reactant is added to t (1.0) and then bring the reaction to reflux temperature with stirring for 120 min. I paused. Product (D) The reactant was flooded with additional IEK (1,0) and its The post-reaction was kept at 80-84° C. for 180 minutes with stirring.
次いで次の溶液を各々それぞれの反応物に添加した。The following solutions were then each added to their respective reactions.
段階■ 枝ポリマー生成物 (C) (D) 量 量 アセトン 0.42 − 菖EK −0,42 Vazo052 0.0205 0.0102生成物(C)反応物を追加のアセ トン(0,4)でフラッジし、その後反応物を撹拌しながら還流温度に120分 間保った。生成物(D)反応物を追加のIEK(0,4)でフラッジし、その後 反応物を撹拌しながら80〜84℃に180分間保った。Stage ■ Branch polymer product (C) (D) Quantity Quantity Acetone 0.42 - Iris EK -0,42 Vazo052 0.0205 0.0102 Product (C) Reactant added to t (0,4) and then bring the reaction to reflux temperature with stirring for 120 min. I paused. Product (D) Reactant was flooded with additional IEK(0,4), then The reaction was held at 80-84°C for 180 minutes with stirring.
次いで次の溶液を各々それぞれの反応物に添加した。The following solutions were then each added to their respective reactions.
段階■ 枝ポリマー生成物 (C) (D) 量 量 アセトン 0.42 − 111EK −0,42 Vazo[F]67(2,2’−アゾビス(2−メチル 0.0102 0.0 102ペンタンニトリル) 生成物(C)反応物を追加のアセトン(0,4)でフラッジし、その後反応物を 撹拌しながら還流温度に180分間保った。次いでこのポリマー溶液を11.7 9部のアセトンで希釈し、50℃に冷却しそして濾過して枝分かれポリマー生成 物(C)を得た。この生成物(D)反応物を追加のIIEK(0,4)でフラッ ジし、その後反応物を撹拌しながら80〜84℃に180分間保った。次いでこ のポリマー溶液を−13,62部のIIEKで希釈し、50℃に冷却しそして濾 過して枝分かれポリマー生成物(B)を得た。Stage ■ Branch polymer product (C) (D) Quantity Quantity Acetone 0.42 - 111EK -0,42 Vazo[F]67 (2,2'-azobis(2-methyl 0.0102 0.0 102 pentanenitrile) Product (C) Fludge the reactant with additional acetone (0,4), then add the reactant to The temperature was kept at reflux for 180 minutes with stirring. This polymer solution was then heated to 11.7 Dilute with 9 parts acetone, cool to 50°C and filter to form branched polymer. Product (C) was obtained. This product (D) reactant was flushed with additional IIEK (0,4). The reaction was then kept at 80-84° C. for 180 minutes with stirring. Next of polymer solution was diluted with -13.62 parts of IIEK, cooled to 50°C and filtered. A branched polymer product (B) was obtained.
各々の枝分かれポリマー生成物は同じ組成を持ち、それは BA/ IIEIIA/璽菖^/ S /IAA/マクロマー38、92/ 1 5.29/ 15.29/ 0.25/ 0.25/ 30であり、一方マクロ マーは B蓋^/ TIEIIA/ IIA/ IAAである。Each branched polymer product has the same composition, which is BA/IIIIIA/Iris/S/IAA/Macromer 38, 92/1 5.29/15.29/0.25/0.25/30, while macro Ma is B lid ^/TIEIIA/IIA/IAA.
枝分かれポリマー生成物の分子量をゲル透過クロマトグラフィー法を用いて測定 した。Measuring the molecular weight of branched polymer products using gel permeation chromatography did.
枝分かれポリマー生成物(C)については重量平均分子量(菖V)は399.0 00、そして数平均分子量(璽n)は44.700であり、従って多分散度(I f/ I。)は8.93であった。For the branched polymer product (C), the weight average molecular weight (Iris V) is 399.0 00, and the number average molecular weight (n) is 44.700, thus the polydispersity (I f/ I. ) was 8.93.
枝分かれポリマー生成物(D)については重量平均分子量(曹V)は34.50 0、そして数平均分子量(In)は9.200であり、従って多分散度(mwz ’In)は3.75であった。For the branched polymer product (D) the weight average molecular weight (V) is 34.50 0, and the number average molecular weight (In) is 9.200, thus the polydispersity (mwz 'In) was 3.75.
枝分かれポリマー生成物(C)及び(D)の各々は印刷回路板などの製造のため 、アルカリ性水性加工型フォトレジスト及び感光性ソルダーマスク配合物におけ るポリマーバインダー成分として使用することができる。Each of the branched polymer products (C) and (D) can be used for the manufacture of printed circuit boards etc. , in alkaline water-based photoresists and photosensitive solder mask formulations. It can be used as a polymer binder component.
実施例6 アミノ官能価を持つ枝分かれポリマー生成物製造に使用するマクロマー溶液(5 )を次の手順でつくった。Example 6 Macromer solution used to produce branched polymer products with amino functionality (5 ) was created using the following steps.
清浄な反応容器に次の物質を添加した。The following materials were added to a clean reaction vessel.
ジメチルアミノエチルメタクリレート(DilAEllA) 4.71メチルメ タクリレート(M鮎)17.73MEN 15.03 得られる溶液を還流温度に加熱し、そして撹拌しながらそれに保った。次にあら かじめ窒素の下で15分間混合した次の溶液を速やかに添加した。Dimethylaminoethyl methacrylate (DilAEllA) 4.71 methyl methacrylate Tacrylate (M Ayu) 17.73MEN 15.03 The resulting solution was heated to reflux temperature and kept there with stirring. Next oh The next solution, previously mixed for 15 minutes under nitrogen, was quickly added.
IF4 2.95 SCT 0.0013 Vazo@52触媒 0.0224 次にあらかじめ窒素の下で15分間混合した次の溶液を同時に添加した。IF4 2.95 SCT 0.0013 Vazo@52 catalyst 0.0224 The next solution, previously mixed for 15 minutes under nitrogen, was then simultaneously added.
」!! 溶液(A) I IEK 8.52 SCT 0.0021 Vazo(1520,2445 段階■ DIIAE菖^ 4.26 M1^ 16.01 蓋EK 0.53 溶液(A)を、54.8%を90分間かけて添加し、そして残りの45.2%を さらに240分間かけて添加して供給した。溶液(B)を、67%を120分間 かけて添加し、そして残りの33%をさらに120分間かけて添加して供給した 。添加終了後溶液(A)及び(B)の容器をそれぞれ0.35及び0.53部の IIEKでフラッジし、そして反応容器に添加した。各反応物を撹拌しながら還 流温度に45分間保ち、次いで6.71部のIEKを添加した。次に反応物を還 流温度にさらに30分間保ち、50℃に冷却しそして濾過してマクロマー溶液( 5)を得、この物は 11mA/D菖^El^ 分子量を慣用的なゲル透過クロマトグラフィー(GPC’)法を用いて測定した 。重量平均分子量(ml、)は7.778、そして数平均分子量(an)は3. 089であり、従って多分散度(mvz”In)は2.51であった。マクロマ ー(5)のアミン価の計算値は42である。”! ! Solution (A) I IEK 8.52 SCT 0.0021 Vazo (1520, 2445 Stage ■ DIIAE irises ^ 4.26 M1^ 16.01 Lid EK 0.53 54.8% of solution (A) was added over 90 minutes and the remaining 45.2% The addition was continued for an additional 240 minutes. Solution (B) at 67% for 120 minutes and the remaining 33% was added and fed over an additional 120 minutes. . After the addition is complete, add 0.35 and 0.53 parts of solutions (A) and (B) to the containers, respectively. Fluid with IIEK and added to reaction vessel. Return each reactant to reflux with stirring. It was held at flow temperature for 45 minutes and then 6.71 parts of IEK was added. The reactants are then reduced. The macromer solution ( 5), this thing is 11mA/D 菖^El^ Molecular weight was determined using conventional gel permeation chromatography (GPC') method. . The weight average molecular weight (ml, ) is 7.778, and the number average molecular weight (an) is 3. 089, and therefore the polydispersity (mvz”In) was 2.51. -(5) has a calculated amine value of 42.
アミノ基を含むマクロマー(5)は印刷回路板などの製造のため酸性水性加工型 フォトレジスト配合物におけるポリマーバインダー成分として使用することがで きる枝ポリマー生成物をつ(るために使用することができる。Macromer (5) containing an amino group is an acidic aqueous processing type for the production of printed circuit boards, etc. Can be used as a polymer binder component in photoresist formulations It can be used to store flexible branched polymer products.
そのような配合物は乳酸、酢酸、ギ酸、又はリン酸などを含む水溶液を用いて加 工することができる。Such formulations are prepared using aqueous solutions containing lactic, acetic, formic, or phosphoric acids. can be constructed.
国際調査報告 1″−−”””””−”” MT/II< QC!/n+1)Rフロントページ の続き (81)指定国 EP(AT、BE、CH,DE。international search report 1″--”””””-””MT/II<QC! /n+1)R front page Continued (81) Designated countries EP (AT, BE, CH, DE.
DK、ES、FR,GB、GR,IT、LU、MC,NL、SE)、 AU、 CA、JP、 KR(72)発明者 シャート・ザサード、フランク・レナード アメリカ合衆国プラウエア州 19806.ウイルミントン、ウエストセブンテ ィーンスストリート2305DK, ES, FR, GB, GR, IT, LU, MC, NL, SE), AU, CA, JP, KR (72) Inventors Shart Thesad, Frank Leonard Praue State, USA 19806. wilmington, west sevente 2305 Vince Street
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