JPH0644622A - Magneto-optical recording medium - Google Patents

Magneto-optical recording medium

Info

Publication number
JPH0644622A
JPH0644622A JP19976392A JP19976392A JPH0644622A JP H0644622 A JPH0644622 A JP H0644622A JP 19976392 A JP19976392 A JP 19976392A JP 19976392 A JP19976392 A JP 19976392A JP H0644622 A JPH0644622 A JP H0644622A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
layer
magneto
recording
optical
recording layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP19976392A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2948420B2 (en
Inventor
Junichiro Nakayama
純一郎 中山
Michinobu Saegusa
理伸 三枝
Junji Hirokane
順司 広兼
Hiroyuki Katayama
博之 片山
Kenji Ota
賢司 太田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sharp Corp filed Critical Sharp Corp
Priority to JP19976392A priority Critical patent/JP2948420B2/en
Publication of JPH0644622A publication Critical patent/JPH0644622A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP2948420B2 publication Critical patent/JP2948420B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Abstract

PURPOSE:To provide a magneto-optical recording medium capable of reproducing information with high precision and capable of overwriting with enhanced reliability. CONSTITUTION:A transparent substrate 1, a transparent dielectric layer 2, a nitrogen interstitial solid soln. layer 3, a readout layer 10, a recording layer 11, a transparent dielectric layer 5 and an overcoat layer 8 are successively laminated. The solid soln. layer 3 contains at least the same magnetic material as the magnetic material of the readout layer 10 and has perpendicular magnetic anisotropy. Since the solid soln. layer 3 has higher saturation magnetization than that of the readout layer 10, the magneto-optical effect is enhanced, the angle of magnetic Kerr rotation is increased and the level of a readout signal is increased.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、光磁気記録装置に適用
される光磁気ディスク、光磁気テープ、光磁気カード等
の光磁気記録媒体に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magneto-optical recording medium such as a magneto-optical disk, a magneto-optical tape, a magneto-optical card which is applied to a magneto-optical recording device.

【0002】[0002]

【従来の技術】光磁気記録方式とは、基板上に磁性体か
らなる垂直磁化膜を形成した構成の光磁気記録媒体に対
して、以下の方法で記録、再生を行う方式である。
2. Description of the Related Art The magneto-optical recording method is a method of recording and reproducing on / from a magneto-optical recording medium having a structure in which a perpendicularly magnetized film made of a magnetic material is formed on a substrate.

【0003】記録の際には、先ず、光磁気記録媒体を強
力な外部磁場等によって初期化する。即ち、垂直磁化膜
の磁化の方向を一方向(上向き、あるいは下向き)に揃
える。その後、光磁気記録媒体上の記録を行う部分にレ
ーザービームを照射することにより、その部分の垂直磁
化膜をキュリー温度近傍以上、もしくは補償温度近傍以
上に加熱する。これにより、加熱された部分の保磁力は
ゼロ、または殆どゼロとなる。この状態で、初期化され
た磁化の方向とは逆向きの外部磁場(バイアス磁場)を
印加する。レーザービームの照射を止めると、垂直磁化
膜の温度は常温に戻るので磁化の向きは反転して固定さ
れ、熱磁気的に情報が記録される。
At the time of recording, first, the magneto-optical recording medium is initialized by a strong external magnetic field or the like. That is, the magnetization direction of the perpendicular magnetization film is aligned in one direction (upward or downward). After that, by irradiating a portion on the magneto-optical recording medium where recording is performed with a laser beam, the perpendicular magnetization film in that portion is heated to a temperature near the Curie temperature or above the compensation temperature. As a result, the coercive force of the heated portion becomes zero or almost zero. In this state, an external magnetic field (bias magnetic field) opposite to the initialized magnetization direction is applied. When the irradiation of the laser beam is stopped, the temperature of the perpendicularly magnetized film returns to room temperature, so the direction of magnetization is reversed and fixed, and information is thermomagnetically recorded.

【0004】再生の際には、直線偏光したレーザービー
ムを垂直磁化膜に照射し、その反射光または透過光にお
ける偏光面の回転が磁気の向きによって異なる現象(磁
気カー効果、磁気ファラデー効果)を利用して光学的に
情報が読み出される。
During reproduction, a linearly polarized laser beam is applied to the perpendicularly magnetized film, and the phenomenon that the rotation of the plane of polarization of the reflected or transmitted light differs depending on the direction of magnetism (magnetic Kerr effect, magnetic Faraday effect). The information is optically read out by utilizing the information.

【0005】以上のように、光磁気記録媒体は、情報の
記録、再生が可能であるため、書き換え可能な大容量記
憶素子として注目されている。
As described above, the magneto-optical recording medium is capable of recording and reproducing information, and is therefore attracting attention as a rewritable mass storage element.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の光磁気記録媒体では、記録層や読み出し層からなる
垂直磁化膜をキュリー温度近傍以上、もしくは補償温度
近傍以上に加熱し易いように、垂直磁化膜にキュリー温
度の低い磁性材料を使用しているので磁気光学効果が小
さい。このため、磁気カー回転角が小さく、読み出され
る信号レベルが低いという問題を有している。
However, in the above-mentioned conventional magneto-optical recording medium, the perpendicular magnetization is made so that the perpendicular magnetization film composed of the recording layer and the reading layer can be easily heated above the Curie temperature or above the compensation temperature. Since the film uses a magnetic material having a low Curie temperature, the magneto-optical effect is small. Therefore, there are problems that the magnetic Kerr rotation angle is small and the read signal level is low.

【0007】尚、垂直磁化膜表面に、この垂直磁化膜よ
りキュリー温度の高い磁性材料を積層する方法が提案さ
れているが、このような磁性材料を積層するには、膜厚
や組成等を厳しく制御する必要があり、光磁気記録媒体
の製造工程が複雑になって生産効率が低下するという新
たな問題を招来する。
A method has been proposed in which a magnetic material having a higher Curie temperature than that of the perpendicular magnetic film is laminated on the surface of the perpendicular magnetic film. This requires strict control, which complicates the manufacturing process of the magneto-optical recording medium, resulting in a new problem of lowering production efficiency.

【0008】また、光磁気記録媒体の腐食を防止し、信
頼性を向上させるために、記録層の両界面(上下面)
に、記録層と同一の磁性材料を含有する金属窒化物から
なる窒化物層を形成した構成の光磁気記録媒体が提案さ
れている(日本金属学会誌 第55巻 第6号(199
1)696−705)。
Further, in order to prevent corrosion of the magneto-optical recording medium and improve reliability, both interfaces (upper and lower surfaces) of the recording layer are formed.
A magneto-optical recording medium having a structure in which a nitride layer made of a metal nitride containing the same magnetic material as that of the recording layer is formed is proposed (Journal of the Japan Institute of Metals, Vol. 55, No. 6 (199).
1) 696-705).

【0009】ところが、上記の金属窒化物は、窒素と金
属とが結合することにより形成されるので、窒化物層の
構造(磁性材料の原子配列)は、記録層の構造と異なっ
ている。このため、窒化物層は垂直磁気異方性を示し難
く、記録層よりも磁気光学効果が小さい。つまり、信頼
性の向上を目的とする限り、窒化物層の構造は、記録層
の構造と異なっている必要があり、信号レベルを高くす
ることは不可能であった。
However, since the above-mentioned metal nitride is formed by combining nitrogen and metal, the structure of the nitride layer (atomic arrangement of magnetic material) is different from that of the recording layer. Therefore, the nitride layer is less likely to exhibit perpendicular magnetic anisotropy and has a smaller magneto-optical effect than the recording layer. That is, for the purpose of improving reliability, the structure of the nitride layer needs to be different from the structure of the recording layer, and it has been impossible to increase the signal level.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明の光
磁気記録媒体は、上記の課題を解決するために、情報を
光磁気記録する記録層と、少なくとも上記の記録層と同
一の磁性材料を含有し、垂直磁気異方性を示す窒素侵入
型固溶体層とを備えていることを特徴としている。
In order to solve the above-mentioned problems, a magneto-optical recording medium according to the present invention has a recording layer for magneto-optically recording information, and at least the same magnetic property as that of the recording layer. It is characterized in that it is provided with a nitrogen intrusion type solid solution layer containing a material and exhibiting perpendicular magnetic anisotropy.

【0011】また、請求項2記載の発明の光磁気記録媒
体は、上記の課題を解決するために、情報を光磁気記録
する記録層と、上記の記録層より低いキュリー温度を有
し、かつ、常温での保磁力が記録層より高い読み出し層
と、少なくとも上記の読み出し層と同一の磁性材料を含
有し、垂直磁気異方性を示す窒素侵入型固溶体層とを備
えていることを特徴としている。
In order to solve the above-mentioned problems, a magneto-optical recording medium according to a second aspect of the present invention has a recording layer for magneto-optically recording information, and a Curie temperature lower than that of the recording layer. And a read layer having a coercive force at room temperature higher than that of the recording layer, and a nitrogen intrusion type solid solution layer containing at least the same magnetic material as the read layer and exhibiting perpendicular magnetic anisotropy. There is.

【0012】[0012]

【作用】請求項1記載の発明の光磁気記録媒体によれ
ば、少なくとも記録層と同一の磁性材料を含有し、垂直
磁気異方性を示す窒素侵入型固溶体層を備えている。こ
の窒素侵入型固溶体層は、同一の磁性材料からなる記録
層よりも飽和磁化が大きくなるので、磁気光学効果が増
大し、磁気カー回転角が大きくなり、読み出される信号
レベルが高くなる。このため、高精度に情報の再生が行
える、信頼性が向上した光磁気記録媒体を得ることがで
きる。
According to the magneto-optical recording medium of the first aspect of the invention, at least the same magnetic material as that of the recording layer is contained, and the nitrogen-intrusion type solid solution layer exhibiting perpendicular magnetic anisotropy is provided. The nitrogen intrusion type solid solution layer has a larger saturation magnetization than the recording layer made of the same magnetic material, so that the magneto-optical effect is increased, the magnetic Kerr rotation angle is increased, and the read signal level is increased. Therefore, it is possible to obtain a magneto-optical recording medium with improved reliability that can reproduce information with high accuracy.

【0013】また、請求項2記載の発明の光磁気記録媒
体によれば、記録層より低いキュリー温度を有し、か
つ、常温での保磁力が記録層より高い読み出し層と、少
なくとも上記の読み出し層と同一の磁性材料を含有し、
垂直磁気異方性を示す窒素侵入型固溶体層とを備えてい
る。この窒素侵入型固溶体層は、同一の磁性材料からな
る読み出し層よりも飽和磁化が大きくなるので、磁気光
学効果が増大し、磁気カー回転角が大きくなり、読み出
される信号レベルが高くなる。このため、高精度に情報
の再生が行える、信頼性が向上した重ね書き(消去動作
をせずに行う書き換え)可能な光磁気記録媒体を得るこ
とができる。
According to another aspect of the magneto-optical recording medium of the present invention, a read layer having a Curie temperature lower than that of the recording layer and having a coercive force higher than that of the recording layer at room temperature, and at least the above-mentioned read layer. Contains the same magnetic material as the layer,
And a nitrogen intrusion type solid solution layer exhibiting perpendicular magnetic anisotropy. This nitrogen-intrusion type solid solution layer has a larger saturation magnetization than the read layer made of the same magnetic material, so that the magneto-optical effect is increased, the magnetic Kerr rotation angle is increased, and the read signal level is increased. Therefore, it is possible to obtain an overwritable (rewritable without erasing) rewritable magneto-optical recording medium capable of reproducing information with high accuracy and having improved reliability.

【0014】[0014]

【実施例】【Example】

〔実施例1〕本発明の第一の実施例について図1ないし
図4に基づいて説明すれば、以下の通りである。
[First Embodiment] The first embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS.

【0015】本実施例にかかる光磁気記録媒体である光
磁気ディスクは、図1に示すように、透明基板1、接着
層7、透明誘電体層2、窒素侵入型固溶体層3、記録層
4、透明誘電体層5、基板6がこの順に積層された構成
を有している。
As shown in FIG. 1, a magneto-optical disk, which is a magneto-optical recording medium according to this embodiment, has a transparent substrate 1, an adhesive layer 7, a transparent dielectric layer 2, a nitrogen intrusion type solid solution layer 3, and a recording layer 4. The transparent dielectric layer 5 and the substrate 6 are laminated in this order.

【0016】上記の記録層4としては、例えば、Dy
0.23Fe0.63Co0.14を使用しており、膜厚は20nm
〜200nm程度、好ましくは80nmである。また、
そのキュリー温度は150℃から250℃に設定してい
る。尚、記録層4は、垂直磁気記録が可能な垂直磁気異
方性を示す磁性材料であれば、上記のDy0.23Fe0.63
Co0.14に限定されない。
The recording layer 4 is, for example, Dy.
0.23 Fe 0.63 Co 0.14 is used and the film thickness is 20 nm
It is about 200 nm, preferably 80 nm. Also,
The Curie temperature is set to 150 to 250 ° C. If the recording layer 4 is a magnetic material exhibiting perpendicular magnetic anisotropy that enables perpendicular magnetic recording, the above-mentioned Dy 0.23 Fe 0.63 is used.
It is not limited to Co 0.14 .

【0017】上記の透明誘電体層2は、例えば、AlN
やSiN、AlSiN等の窒化物からなり、その膜厚は
再生時の光ビーム波長の1/4 を屈折率で除した値程度に
設定される。例えば、再生時の光ビーム波長を800n
mとすると、透明誘電体層2の膜厚は10nm〜200
nm程度、好ましくは80nm程度となる。また、透明
誘電体層5は、例えば、AlNやSiN、AlSiN等
の窒化物からなる保護層であり、膜厚は10nm〜20
0nm程度、好ましくは50nmである。尚、透明誘電
体層2・5は、記録・再生時の光ビーム波長に対して透
明であれば、上記のAlNやSiN、AlSiN等に限
定されない。
The transparent dielectric layer 2 is, for example, AlN.
It is made of nitride such as SiN, AlSiN, etc., and its film thickness is set to a value obtained by dividing 1/4 of the light beam wavelength during reproduction by the refractive index. For example, when reproducing light beam wavelength is 800n
m, the thickness of the transparent dielectric layer 2 is 10 nm to 200
The thickness is about nm, preferably about 80 nm. The transparent dielectric layer 5 is a protective layer made of, for example, a nitride such as AlN, SiN, or AlSiN, and has a film thickness of 10 nm to 20 nm.
It is about 0 nm, preferably 50 nm. The transparent dielectric layers 2 and 5 are not limited to AlN, SiN, AlSiN and the like as long as they are transparent to the light beam wavelength at the time of recording / reproducing.

【0018】上記の透明基板1および基板6の材料に
は、ガラス、または、ポリカーボネート等のプラスチッ
クが使用される。また、接着層7は、例えば、屈折率が
約1.5の紫外線硬化樹脂からなり、膜厚は5μmであ
る。
As the material of the transparent substrate 1 and the substrate 6, glass or plastic such as polycarbonate is used. The adhesive layer 7 is made of, for example, an ultraviolet curable resin having a refractive index of about 1.5 and has a film thickness of 5 μm.

【0019】上記の窒素侵入型固溶体層3は、例えば、
Dy0.23Fe0.63Co0.14にNが侵入した窒素侵入型固
溶体を使用しており、膜厚は5nmである。
The above-mentioned nitrogen-penetrating solid solution layer 3 is, for example,
A nitrogen intrusion type solid solution in which N has infiltrated Dy 0.23 Fe 0.63 Co 0.14 is used, and the film thickness is 5 nm.

【0020】次に、上記構成の光磁気ディスクの作成方
法の一例を説明する。
Next, an example of a method of making the magneto-optical disk having the above-mentioned structure will be described.

【0021】図2に示すように、先ず、充分に洗浄した
基板6をスパッタリング装置であるチャンバー14内の
所定位置に保持し、チャンバー14内を排気装置(図示
せず)により5×10-6Torr以下の真空にする。次に、
チャンバー14内にArガスを導入し、Arガスの圧力
9mTorr、放電電力700Wの条件で基板6を逆スパッ
タリングすることにより、基板6表面をクリーニングす
る。
As shown in FIG. 2, first, the sufficiently cleaned substrate 6 is held at a predetermined position in a chamber 14 which is a sputtering device, and the inside of the chamber 14 is set to 5 × 10 -6 by an exhaust device (not shown). Make the vacuum below Torr. next,
Ar gas is introduced into the chamber 14, and the substrate 6 is reverse-sputtered under the conditions of Ar gas pressure of 9 mTorr and discharge power of 700 W to clean the surface of the substrate 6.

【0022】その後、ArガスとN2 ガスとを4:1の
割合となるように導入し、Alターゲット13を使用し
て、混合ガスの圧力8mTorr、放電電力1kWの条件で
スパッタリングすることにより、基板6表面にAlNか
らなる透明誘電体層5を50nmの膜厚で成膜する。
After that, Ar gas and N 2 gas were introduced at a ratio of 4: 1 and the Al target 13 was used to carry out sputtering under the conditions of a mixed gas pressure of 8 mTorr and a discharge power of 1 kW. A transparent dielectric layer 5 made of AlN is formed on the surface of the substrate 6 with a film thickness of 50 nm.

【0023】混合ガスを排気した後、Arガスを導入
し、Dy0.23Fe0.63Co0.14ターゲット12を使用し
て、Arガスの圧力9mTorr、放電電力1kWの条件で
スパッタリングすることにより、透明誘電体層5表面に
記録層4を95nmの膜厚で成膜する。そして、Arガ
スを排気した後、N2 ガスを導入し、N2 ガスの圧力9
mTorr、放電電力700Wの条件で上記の記録層4表面
を約10nmエッチングすることによりDy0.23Fe
0.63Co0.14にNを侵入させ、窒素侵入型固溶体層3を
5nmの膜厚で形成する。これにより、結果として、透
明誘電体層5表面に記録層4が80nmの膜厚で形成さ
れ、記録層4表面に窒素侵入型固溶体層3が5nmの膜
厚で形成される。
After exhausting the mixed gas, Ar gas was introduced, and sputtering was performed using a Dy 0.23 Fe 0.63 Co 0.14 target 12 under the conditions of Ar gas pressure of 9 mTorr and discharge power of 1 kW to obtain a transparent dielectric layer. The recording layer 4 is formed on the surface 5 with a film thickness of 95 nm. Then, after exhausting the Ar gas, N 2 gas is introduced, and the pressure of the N 2 gas is changed to 9
By etching the surface of the recording layer 4 by about 10 nm under the conditions of mTorr and discharge power of 700 W, Dy 0.23 Fe
Nitrogen is infiltrated into 0.63 Co 0.14 to form a nitrogen intrusion type solid solution layer 3 having a film thickness of 5 nm. As a result, the recording layer 4 is formed with a film thickness of 80 nm on the surface of the transparent dielectric layer 5, and the nitrogen intrusion type solid solution layer 3 is formed with a film thickness of 5 nm on the surface of the recording layer 4.

【0024】次に、N2 ガスを排気した後、Arガスと
2 ガスとを4:1の割合となるように導入し、上述し
た透明誘電体層5の成膜条件と同一の条件により、窒素
侵入型固溶体層3表面にAlNからなる透明誘電体層2
を80nmの膜厚で成膜する。
Next, after evacuating the N 2 gas, Ar gas and N 2 gas were introduced at a ratio of 4: 1 and the same conditions as those for forming the transparent dielectric layer 5 described above were used. , A transparent dielectric layer 2 made of AlN on the surface of the nitrogen-penetrating solid solution layer 3
Is formed to a film thickness of 80 nm.

【0025】その後、基板6をチャンバー14内から取
り出し、透明誘電体層2表面に紫外線硬化樹脂(接着層
7)を塗布し、透明基板1を貼着して硬化させる。これ
により、光磁気ディスクが作成される。
After that, the substrate 6 is taken out from the chamber 14, an ultraviolet curable resin (adhesive layer 7) is applied to the surface of the transparent dielectric layer 2, and the transparent substrate 1 is attached and cured. As a result, a magneto-optical disk is created.

【0026】上記の光磁気ディスクを用いて測定された
磁気カー回転角と外部印加磁界との関係を図3に示す。
図中、横軸は外部印加磁界Hc 、縦軸は磁気カー回転角
θkである。また、比較のために、窒素侵入型固溶体層
3を省略し、記録層4の膜厚を85nmとした光磁気デ
ィスクを上記と同一の条件で試作し、これについて測定
された磁気カー回転角と外部印加磁界との関係を図4に
示す。
FIG. 3 shows the relationship between the magnetic Kerr rotation angle measured using the above magneto-optical disk and the externally applied magnetic field.
In the figure, the horizontal axis represents the externally applied magnetic field H c , and the vertical axis represents the magnetic Kerr rotation angle θ k . For comparison, a magneto-optical disk in which the nitrogen-intrusion type solid solution layer 3 was omitted and the recording layer 4 had a thickness of 85 nm was manufactured under the same conditions as above, and the magnetic Kerr rotation angle measured was measured. The relationship with the externally applied magnetic field is shown in FIG.

【0027】一般に、窒素侵入型固溶体は、同一の磁性
材料からなる磁性体よりも飽和磁化が大きくなるため、
磁気光学効果が増大する。この理由により、窒素侵入型
固溶体層3を省略した光磁気ディスクでは、磁気カー回
転角θk が1.05 deg であるのに対し、本実施例の光磁
気ディスクでは、磁気カー回転角θk は1.26 deg と大
きくなっている。即ち、本実施例の光磁気ディスクで
は、読み出される信号レベルが高くなる。
In general, a nitrogen-penetrating solid solution has a larger saturation magnetization than a magnetic body made of the same magnetic material.
The magneto-optical effect is increased. For this reason, the magneto-optical disc without the nitrogen intrusion type solid solution layer 3 has a magnetic Kerr rotation angle θ k of 1.05 deg, whereas the magneto-optical disc of the present embodiment has a magnetic Kerr rotation angle θ k. Is as large as 1.26 deg. That is, in the magneto-optical disk of this embodiment, the read signal level becomes high.

【0028】上記構成により、高精度に情報の再生が行
える、信頼性が向上した光磁気ディスクを得ることがで
きる。
With the above structure, it is possible to obtain a magneto-optical disk which can reproduce information with high accuracy and has improved reliability.

【0029】〔実施例2〕本発明の第2の実施例につい
て図5に基づいて説明すれば、以下の通りである。尚、
説明の便宜上、前記の実施例1の説明の際に用いた図2
を再度用いると共に、実施例1の図面に示した部材と同
一の機能を有する部材には、同一の符号を付記し、その
説明を省略する。
[Second Embodiment] The second embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG. still,
For convenience of explanation, FIG. 2 used in the explanation of the first embodiment described above.
The same reference numerals are given to members having the same function as the members shown in the drawings of the first embodiment, and the description thereof will be omitted.

【0030】本実施例にかかる光磁気記録媒体である光
磁気ディスクは、図5に示すように、透明基板1、透明
誘電体層2、窒素侵入型固溶体層3、記録層4、透明誘
電体層5、オーバーコート層8がこの順に積層された構
成を有している。上記のオーバーコート層8は、例え
ば、紫外線硬化樹脂からなっている。
As shown in FIG. 5, a magneto-optical disk, which is a magneto-optical recording medium according to the present embodiment, has a transparent substrate 1, a transparent dielectric layer 2, a nitrogen intrusion type solid solution layer 3, a recording layer 4, and a transparent dielectric. The layer 5 and the overcoat layer 8 are laminated in this order. The overcoat layer 8 is made of, for example, an ultraviolet curable resin.

【0031】次に、上記構成の光磁気ディスクの作成方
法の一例を説明する。
Next, an example of a method of making the magneto-optical disk having the above-mentioned structure will be described.

【0032】図2に示すように、先ず、充分に洗浄した
透明基板1をチャンバー14内の所定位置に保持し、チ
ャンバー14内を排気装置(図示せず)により5×10
-6Torr以下の真空にする。次に、チャンバー14内にA
rガスを導入し、透明基板1を逆スパッタリング(Ar
ガスの圧力9mTorr、放電電力700W)することによ
り、透明基板1表面をクリーニングする。
As shown in FIG. 2, first, the sufficiently cleaned transparent substrate 1 is held at a predetermined position in the chamber 14 and the inside of the chamber 14 is set to 5 × 10 by an exhaust device (not shown).
-Use a vacuum of 6 Torr or less. Next, in the chamber 14,
Introducing r gas, the transparent substrate 1 is subjected to reverse sputtering (Ar
The surface of the transparent substrate 1 is cleaned by applying a gas pressure of 9 mTorr and a discharge power of 700 W).

【0033】その後、ArガスとN2 ガスとを4:1の
割合となるように導入し、Alターゲット13を使用し
てスパッタリング(混合ガスの圧力8mTorr、放電電力
1kW)することにより、透明基板1表面にAlNから
なる透明誘電体層2を80nmの膜厚で成膜する。
Then, Ar gas and N 2 gas were introduced at a ratio of 4: 1 and sputtering (mixed gas pressure 8 mTorr, discharge power 1 kW) was performed using the Al target 13 to obtain a transparent substrate. A transparent dielectric layer 2 made of AlN is formed on the surface 1 with a thickness of 80 nm.

【0034】混合ガスを排気した後、Arガスを導入
し、Dy0.23Fe0.63Co0.14ターゲット12を使用し
てスパッタリング(Arガスの圧力9mTorr、放電電力
1kW)することにより、透明誘電体層2表面にDy
0.23Fe0.63Co0.14を15nmの膜厚で成膜する。そ
して、Arガスを排気した後、N2 ガスを導入し、上記
のDy0.23Fe0.63Co0.14表面を約10nmエッチン
グ(N2 ガスの圧力9mTorr、放電電力700W)する
ことによりDy0.23Fe0.63Co0.14にNを侵入させ、
窒素侵入型固溶体とすることにより、窒素侵入型固溶体
層3を5nmの膜厚で形成する。
After exhausting the mixed gas, Ar gas was introduced, and sputtering (Ar gas pressure 9 mTorr, discharge power 1 kW) was performed using the Dy 0.23 Fe 0.63 Co 0.14 target 12 to obtain the surface of the transparent dielectric layer 2. To Dy
0.23 Fe 0.63 Co 0.14 is formed to a film thickness of 15 nm. Then, after exhausting Ar gas, N 2 gas was introduced, and the surface of Dy 0.23 Fe 0.63 Co 0.14 was etched by about 10 nm (pressure of N 2 gas 9 mTorr, discharge power 700 W) to obtain Dy 0.23 Fe 0.63 Co 0.14. Intrudes N into
By using the nitrogen-penetrating solid solution, the nitrogen-penetrating solid solution layer 3 is formed with a thickness of 5 nm.

【0035】次に、N2 ガスを排気した後、Arガスを
導入し、再びDy0.23Fe0.63Co0.14ターゲット12
を使用してスパッタリング(Arガスの圧力9mTorr、
放電電力1kW)することにより、窒素侵入型固溶体層
3表面に記録層4を80nmの膜厚で成膜する。
Next, after evacuating N 2 gas, Ar gas was introduced, and again Dy 0.23 Fe 0.63 Co 0.14 target 12 was obtained.
Sputtering (Ar gas pressure 9 mTorr,
The discharge power is set to 1 kW) to form the recording layer 4 on the surface of the nitrogen-intrusion type solid solution layer 3 with a film thickness of 80 nm.

【0036】Arガスを排気した後、ArガスとN2
スとを4:1の割合となるように導入し、上述した透明
誘電体層2の成膜条件と同一の条件により、記録層4表
面にAlNからなる透明誘電体層5を50nmの膜厚で
成膜する。
After the Ar gas was exhausted, Ar gas and N 2 gas were introduced at a ratio of 4: 1, and the recording layer 4 was formed under the same conditions as the film forming conditions for the transparent dielectric layer 2 described above. A transparent dielectric layer 5 made of AlN is formed on the surface to a film thickness of 50 nm.

【0037】その後、透明基板1をチャンバー14内か
ら取り出し、透明誘電体層5表面に紫外線硬化樹脂(オ
ーバーコート層8)を塗布して硬化させる。これによ
り、光磁気ディスクが作成される。
After that, the transparent substrate 1 is taken out from the chamber 14, and an ultraviolet curable resin (overcoat layer 8) is applied to the surface of the transparent dielectric layer 5 and cured. As a result, a magneto-optical disk is created.

【0038】以上のように構成された光磁気ディスク
は、前記の実施例1の光磁気ディスクとほぼ同様の性能
を示した。よって、上記構成により、高精度に情報の再
生が行える、信頼性が向上した光磁気ディスクを得るこ
とができる。
The magneto-optical disk constructed as described above exhibited substantially the same performance as the magneto-optical disk of the first embodiment. Therefore, with the above configuration, it is possible to obtain a magneto-optical disk which can reproduce information with high accuracy and has improved reliability.

【0039】〔実施例3〕本発明の第3の実施例につい
て図6に基づいて説明すれば、以下の通りである。尚、
説明の便宜上、前記の実施例2の図面に示した部材と同
一の機能を有する部材には、同一の符号を付記し、その
説明を省略する。
[Third Embodiment] The third embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG. still,
For convenience of explanation, members having the same functions as those shown in the drawings of the second embodiment will be designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted.

【0040】本実施例にかかる光磁気記録媒体である光
磁気ディスクは、前記の実施例2の構成に加えて、反射
層が設けられた構成となっており、図6に示すように、
透明基板1、透明誘電体層2、窒素侵入型固溶体層3、
記録層4、透明誘電体層5、反射層9、オーバーコート
層8がこの順に積層された構成を有している。
The magneto-optical disk, which is the magneto-optical recording medium according to the present embodiment, has a structure in which a reflecting layer is provided in addition to the structure of the second embodiment, and as shown in FIG.
Transparent substrate 1, transparent dielectric layer 2, nitrogen intrusion type solid solution layer 3,
The recording layer 4, the transparent dielectric layer 5, the reflective layer 9, and the overcoat layer 8 are laminated in this order.

【0041】上記の反射層9は、例えば、Alを使用し
ており、膜厚は10nm〜200nm程度、好ましくは
50nmである。尚、反射層9は、Alに限定されるも
のではなく、Ni、Cr、Ag、Au、Pt等、再生時
の光ビームの反射率が50%以上の材料であればよい。
The reflective layer 9 is made of, for example, Al and has a film thickness of about 10 nm to 200 nm, preferably 50 nm. The reflective layer 9 is not limited to Al, but may be made of a material such as Ni, Cr, Ag, Au, Pt or the like having a light beam reflectance of 50% or more during reproduction.

【0042】尚、本実施例では磁気光学効果をエンハン
スするための反射層9が設けられている以外は、前記の
実施例2の構成および諸特性と同じであるので、詳細な
説明をここでは省略する。但し、膜厚は、記録層4が1
0nm〜50nm程度、好ましくは20nmであり、透
明誘電体層5が10nm〜200nm程度、好ましくは
30nmである。
The present embodiment has the same structure and characteristics as those of the second embodiment except that the reflective layer 9 for enhancing the magneto-optical effect is provided, and therefore a detailed description will be given here. Omit it. However, the film thickness of the recording layer 4 is 1
It is about 0 nm to 50 nm, preferably about 20 nm, and the transparent dielectric layer 5 is about 10 nm to 200 nm, preferably about 30 nm.

【0043】上記の構成によれば、透明基板1の側から
集光レンズを介して再生時の光ビーム(何れも図示せ
ず)が窒素侵入型固溶体層3に照射される。このとき、
入射された光ビームのうち、記録層4および透明誘電体
層5を透過した光ビームは、反射層9で反射されるよう
になっている。
According to the above-mentioned structure, the light beam (not shown) at the time of reproduction is irradiated from the transparent substrate 1 side through the condenser lens to the nitrogen-intrusion type solid solution layer 3. At this time,
Among the incident light beams, the light beam that has passed through the recording layer 4 and the transparent dielectric layer 5 is reflected by the reflection layer 9.

【0044】上記の構成により、前記の実施例2の構成
に伴う効果に加えて、反射層9により、磁気光学効果が
エンハンスされて磁気カー回転角がより大きくなるの
で、読み出される信号レベルが一層高くなり、再生信号
の品質が向上する。よって、高精度に情報の再生が行え
る、信頼性が向上した光磁気ディスクを得ることができ
る。
With the above structure, in addition to the effect of the structure of the second embodiment, the magneto-optical effect is enhanced by the reflection layer 9 and the magnetic Kerr rotation angle becomes larger, so that the read signal level is further improved. As a result, the quality of the reproduced signal is improved. Therefore, it is possible to obtain a magneto-optical disk which can reproduce information with high accuracy and which has improved reliability.

【0045】〔実施例4〕本発明の第4の実施例につい
て図7ないし図10に基づいて説明すれば、以下の通り
である。尚、説明の便宜上、前記の実施例2の図面に示
した部材と同一の機能を有する部材には、同一の符号を
付記し、その説明を省略する。
[Embodiment 4] The following description will discuss Embodiment 4 of the present invention with reference to FIGS. 7 to 10. For convenience of explanation, members having the same functions as the members shown in the drawings of the second embodiment will be designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted.

【0046】本実施例にかかる光磁気記録媒体である光
磁気ディスクは、図7に示すように、透明基板1、透明
誘電体層2、窒素侵入型固溶体層3、読み出し層10、
記録層11、透明誘電体層5、オーバーコート層8がこ
の順に積層された構成を有している。
As shown in FIG. 7, a magneto-optical disk, which is a magneto-optical recording medium according to the present embodiment, has a transparent substrate 1, a transparent dielectric layer 2, a nitrogen intrusion type solid solution layer 3, a reading layer 10,
The recording layer 11, the transparent dielectric layer 5, and the overcoat layer 8 are laminated in this order.

【0047】上記の読み出し層10としては、例えば、
Tb18Fe77Co5 を使用しており、膜厚は10nm〜
200nm程度、好ましくは50nmである。尚、読み
出し層10は、保磁力を比較的大きくできる磁性材料で
あれば、上記のTb18Fe77Co5 に限定されない。
The readout layer 10 is, for example,
Tb 18 Fe 77 Co 5 is used, and the film thickness is 10 nm-
The thickness is about 200 nm, preferably 50 nm. The readout layer 10 is not limited to the above Tb 18 Fe 77 Co 5 as long as it is a magnetic material that can have a relatively large coercive force.

【0048】上記の記録層11としては、例えば、Tb
25Fe61Co14を使用しており、膜厚は10nm〜20
0nm程度、好ましくは50nmである。尚、記録層1
1は、垂直磁気記録が可能な垂直磁気異方性を示す磁性
材料であれば、上記のTb25Fe61Co14に限定されな
い。
The recording layer 11 is, for example, Tb.
25 Fe 61 Co 14 is used, and the film thickness is 10 nm to 20
It is about 0 nm, preferably 50 nm. Incidentally, the recording layer 1
No. 1 is not limited to the above Tb 25 Fe 61 Co 14 as long as it is a magnetic material exhibiting perpendicular magnetic anisotropy that enables perpendicular magnetic recording.

【0049】上記構成の光磁気ディスクは、情報を記録
する記録層11と、情報を読み出す読み出し層10との
交換結合2層膜で構成されているので、光変調による重
ね書き(消去動作をせずに行う書き換え)が可能となっ
ている。ここで、重ね書きの手順について説明する。
Since the magneto-optical disk having the above-mentioned structure is composed of the exchange coupling two-layer film of the recording layer 11 for recording information and the reading layer 10 for reading information, the overwriting (erasing operation is performed by optical modulation). It is possible to rewrite without doing). Here, the procedure of overwriting will be described.

【0050】初期化においては、図8に示す向きに初期
化磁界Hini を印加することによって記録層11の向き
を一方向(この場合、下向き)に揃える。尚、初期化は
常時行われるか、あるいは記録時のみに行われる。この
とき、図9に示すように、記録層11の保磁力H2 は初
期化磁界Hini よりも小さいので、記録層11の磁化は
反転する。一方、読み出し層10の保磁力H1 は初期化
磁界Hini よりも大きいので、読み出し層10の磁化の
反転は生じない。
In the initialization, the recording layer 11 is aligned in one direction (downward in this case) by applying the initialization magnetic field H ini in the direction shown in FIG. The initialization is always performed, or only during recording. At this time, as shown in FIG. 9, since the coercive force H 2 of the recording layer 11 is smaller than the initializing magnetic field H ini , the magnetization of the recording layer 11 is reversed. On the other hand, since the coercive force H 1 of the read layer 10 is larger than the initializing magnetic field H ini , the magnetization reversal of the read layer 10 does not occur.

【0051】情報の記録は、光磁気ディスクに対して、
記録磁界HW を印加しながら、高・低2レベルに強度変
調された光ビームを照射することによって行われる。即
ち、図10中にIで示す高レベルの光ビームが照射され
ると、読み出し層10および記録層11は共にキュリー
温度T1 、T2 付近またはそれ以上となる温度TH まで
昇温するようになっている。一方、図10中にIIで示す
低レベルの光ビームが照射されると、読み出し層10の
みがキュリー温度T1 付近またはそれ以上となる温度T
L まで昇温するようになっている。
Information is recorded on a magneto-optical disk by
It is performed by irradiating a light beam whose intensity is modulated into two levels of high and low while applying the recording magnetic field H W. That is, when the high level of the light beam indicated by I in FIG. 10 is irradiated, the readout layer 10 and the recording layer 11 are both Curie temperature T 1, T 2 near or above the to warm to a temperature T H comprising It has become. On the other hand, when the low-level light beam indicated by II in FIG. 10 is irradiated, only the reading layer 10 has a temperature T around the Curie temperature T 1 or higher.
It is designed to heat up to L.

【0052】従って、光ビームIが照射されると、記録
層11の磁化は、記録磁界HW により、上向き(図8参
照)に反転し、読み出し層10の磁化の向きは、冷却の
過程で界面に作用する交換結合力により記録層11の対
応部位の磁化の向きと一致する。これにより、読み出し
層10の磁化の向きは上向きとなる。
Therefore, when the light beam I is irradiated, the magnetization of the recording layer 11 is inverted upward (see FIG. 8) by the recording magnetic field H W , and the magnetization direction of the reading layer 10 is changed during the cooling process. Due to the exchange coupling force acting on the interface, the direction of magnetization of the corresponding portion of the recording layer 11 matches. As a result, the magnetization direction of the read layer 10 becomes upward.

【0053】一方、光ビームIIが照射されると、記録層
11の磁化は記録磁界HW の影響で反転することはなく
(図9参照)、この場合、読み出し層10の磁化の向き
は、冷却の過程で界面に作用する交換結合力により記録
層11の対応部位の磁化の向きと一致することになる。
従って、読み出し層10の磁化の向きは下向きとなる
(図8参照)。尚、図9に示すように、記録磁界HW
初期化磁界Hini より充分小さくなるように設定されて
いる。また、図10中にIII で示すように、再生時の光
ビームの強度は、記録時よりも充分小さく設定されてい
る。
On the other hand, when the light beam II is irradiated, the magnetization of the recording layer 11 does not reverse under the influence of the recording magnetic field H W (see FIG. 9), and in this case, the magnetization direction of the read layer 10 is Due to the exchange coupling force acting on the interface during the cooling process, the magnetization direction coincides with the magnetization direction of the corresponding portion of the recording layer 11.
Therefore, the magnetization direction of the read layer 10 is downward (see FIG. 8). As shown in FIG. 9, the recording magnetic field H W is set to be sufficiently smaller than the initialization magnetic field H ini . Also, as indicated by III in FIG. 10, the intensity of the light beam during reproduction is set to be sufficiently smaller than that during recording.

【0054】このように、上記の読み出し層10は、常
温で初期化磁界Hini よりも高い保磁力H1 を有してい
るが、記録層11は常温での保磁力H2 は小さい。そし
て、読み出し層10の再生部位の温度が上昇すると記録
層11の影響を受けて、磁化の向きが記録層11の向き
と一致する。即ち、読み出し層10および記録層11の
2層間の交換結合力によって、記録層11の磁化が読み
出し層10に転写されるようになっている。
As described above, the read layer 10 has a coercive force H 1 higher than the initialization magnetic field H ini at room temperature, but the recording layer 11 has a small coercive force H 2 at room temperature. Then, when the temperature of the reproducing portion of the reading layer 10 rises, the magnetization direction is influenced by the recording layer 11, and the direction of magnetization coincides with the direction of the recording layer 11. That is, the magnetization of the recording layer 11 is transferred to the reading layer 10 by the exchange coupling force between the two layers of the reading layer 10 and the recording layer 11.

【0055】尚、本実施例の光磁気ディスクでは、読み
出し層10の保磁力H1 は約10kOe、キュリー温度T
1 は約200℃であり、一方、記録層11の保磁力H2
は約2kOe、キュリー温度T2 は約250℃である。
In the magneto-optical disk of the present embodiment, the coercive force H 1 of the reading layer 10 is about 10 kOe and the Curie temperature T.
1 is about 200 ° C., while the coercive force H 2 of the recording layer 11 is
Is about 2 kOe, and the Curie temperature T 2 is about 250 ° C.

【0056】上記構成の光磁気ディスクは、読み出し層
10にキュリー温度の低い磁性材料を使用しているにも
関わらず、読み出し層10表面に窒素侵入型固溶体層3
が形成されているので、この窒素侵入型固溶体層3によ
り磁気光学効果がエンハンスされて磁気カー回転角が大
きくなり、読み出される信号レベルが高くなる。よっ
て、高精度に情報の再生が行える、信頼性が向上した重
ね書き可能な光磁気ディスクを得ることができる。
In the magneto-optical disk having the above structure, although the read layer 10 is made of a magnetic material having a low Curie temperature, the nitrogen penetrating solid solution layer 3 is formed on the surface of the read layer 10.
Is formed, the magneto-optical effect is enhanced by the nitrogen intrusion type solid solution layer 3, the magnetic Kerr rotation angle is increased, and the read signal level is increased. Therefore, it is possible to obtain an overwritable magneto-optical disk capable of reproducing information with high accuracy and having improved reliability.

【0057】尚、上記実施例1〜4では、光磁気記録媒
体として光磁気ディスクについて説明したが、本発明は
これに限定されるものではなく、光磁気テープ、光磁気
カード等にも適用できる。
Although the magneto-optical disk has been described as the magneto-optical recording medium in the above-mentioned first to fourth embodiments, the present invention is not limited to this and can be applied to a magneto-optical tape, a magneto-optical card and the like. .

【0058】また、発明の詳細な説明の項においてなし
た具体的な実施様態、または実施例は、あくまでも本発
明の技術内容を明らかにするものであって、そのような
具体例にのみ限定して狭義に解釈されるべきものではな
く、本発明の精神と前記特許請求事項の範囲内で、いろ
いろと変更して実施することができるものである。
Further, the specific embodiments or examples made in the section of the detailed description of the invention are merely for clarifying the technical contents of the present invention, and are not limited to such specific examples. It should not be construed in a narrow sense, and various modifications can be made and implemented within the spirit of the present invention and the scope of the above claims.

【0059】[0059]

【発明の効果】請求項1記載の発明の光磁気記録媒体
は、以上のように、情報を光磁気記録する記録層と、少
なくとも上記の記録層と同一の磁性材料を含有し、垂直
磁気異方性を示す窒素侵入型固溶体層とを備えている構
成である。
As described above, the magneto-optical recording medium according to the present invention comprises a recording layer for magneto-optically recording information, and at least the same magnetic material as that of the recording layer, and has a perpendicular magnetic field. And a nitrogen-introducing solid solution layer exhibiting a directionality.

【0060】窒素侵入型固溶体層は、同一の磁性材料か
らなる記録層よりも飽和磁化が大きくなるので、磁気光
学効果が増大し、磁気カー回転角が大きくなり、読み出
される信号レベルが高くなる。
Since the nitrogen intrusion type solid solution layer has a larger saturation magnetization than the recording layer made of the same magnetic material, the magneto-optical effect is increased, the magnetic Kerr rotation angle is increased, and the read signal level is increased.

【0061】これにより、高精度に情報の再生が行え
る、信頼性が向上した光磁気記録媒体を得ることができ
るという効果を奏する。
As a result, it is possible to obtain a magneto-optical recording medium which can reproduce information with high accuracy and has improved reliability.

【0062】また、窒素侵入型固溶体層を備えているの
で、耐環境性が向上するという効果も併せて奏する。
Further, since the solid solution layer of nitrogen intrusion type is provided, the effect of improving the environmental resistance is also obtained.

【0063】請求項2記載の発明の光磁気記録媒体は、
以上のように、情報を光磁気記録する記録層と、上記の
記録層より低いキュリー温度を有し、かつ、常温での保
磁力が記録層より高い読み出し層と、少なくとも上記の
読み出し層と同一の磁性材料を含有し、垂直磁気異方性
を示す窒素侵入型固溶体層とを備えている構成である。
The magneto-optical recording medium according to the second aspect of the invention is
As described above, a recording layer for magneto-optically recording information, a read layer having a Curie temperature lower than that of the above recording layer and having a coercive force at room temperature higher than that of the recording layer, at least the same as the above read layer. And a nitrogen intrusion type solid solution layer exhibiting perpendicular magnetic anisotropy.

【0064】窒素侵入型固溶体層は、同一の磁性材料か
らなる読み出し層よりも飽和磁化が大きくなるので、磁
気光学効果が増大し、磁気カー回転角が大きくなり、読
み出される信号レベルが高くなる。
Since the nitrogen intrusion type solid solution layer has a larger saturation magnetization than the read layer made of the same magnetic material, the magneto-optical effect is increased, the magnetic Kerr rotation angle is increased, and the read signal level is increased.

【0065】これにより、高精度に情報の再生が行え
る、信頼性が向上した重ね書き可能な光磁気記録媒体を
得ることができるという効果を奏する。
As a result, it is possible to obtain an overwritable magneto-optical recording medium which can reproduce information with high accuracy and has improved reliability.

【0066】また、窒素侵入型固溶体層を備えているの
で、耐環境性が向上するという効果も併せて奏する。
Further, since the solid solution layer of nitrogen intrusion is provided, the effect of improving the environment resistance is also obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の第1の実施例における光磁気ディスク
の概略の構成を示す縦断面図である。
FIG. 1 is a vertical sectional view showing a schematic configuration of a magneto-optical disk according to a first embodiment of the present invention.

【図2】上記光磁気ディスクの作成方法の一例を示す説
明図である。
FIG. 2 is an explanatory diagram showing an example of a method for producing the magneto-optical disc.

【図3】上記光磁気ディスクの記録層に印加される外部
印加磁界と磁気カー回転角との関係を示す説明図であ
る。
FIG. 3 is an explanatory diagram showing a relationship between an externally applied magnetic field applied to a recording layer of the magneto-optical disk and a magnetic Kerr rotation angle.

【図4】比較例を示すものであり、窒素侵入型固溶体層
を有しない光磁気ディスクの記録層に印加される外部印
加磁界と磁気カー回転角との関係を示す説明図である。
FIG. 4 shows a comparative example and is an explanatory diagram showing a relationship between an externally applied magnetic field applied to a recording layer of a magneto-optical disk having no nitrogen-intrusion type solid solution layer and a magnetic Kerr rotation angle.

【図5】本発明の第2の実施例における光磁気ディスク
の概略の構成を示す縦断面図である。
FIG. 5 is a longitudinal sectional view showing a schematic configuration of a magneto-optical disk according to a second embodiment of the present invention.

【図6】本発明の第3の実施例における光磁気ディスク
の概略の構成を示す縦断面図である。
FIG. 6 is a vertical sectional view showing a schematic configuration of a magneto-optical disk according to a third embodiment of the present invention.

【図7】本発明の第4の実施例における光磁気ディスク
の概略の構成を示す縦断面図である。
FIG. 7 is a vertical sectional view showing a schematic configuration of a magneto-optical disk according to a fourth embodiment of the present invention.

【図8】本発明の第4の実施例における光磁気ディスク
の光磁気記録方法を示す説明図である。
FIG. 8 is an explanatory diagram showing a magneto-optical recording method for a magneto-optical disk according to a fourth embodiment of the present invention.

【図9】本発明の第4の実施例における光磁気ディスク
の記録層および読み出し層の保磁力の温度依存性を示す
説明図である。
FIG. 9 is an explanatory diagram showing the temperature dependence of the coercive force of the recording layer and the reading layer of the magneto-optical disk in the fourth example of the present invention.

【図10】本発明の第4の実施例における光磁気ディス
クを用いて記録、再生を行うときの光ビームの強度を示
す説明図である。
FIG. 10 is an explanatory diagram showing the intensity of a light beam when recording / reproducing is performed using the magneto-optical disk according to the fourth embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 透明基板 2 透明誘電体層 3 窒素侵入型固溶体層 4 記録層 5 透明誘電体層 6 基板 7 接着層 8 オーバーコート膜 9 反射層 10 読み出し層 11 記録層 1 Transparent Substrate 2 Transparent Dielectric Layer 3 Nitrogen Penetration Type Solid Solution Layer 4 Recording Layer 5 Transparent Dielectric Layer 6 Substrate 7 Adhesive Layer 8 Overcoat Film 9 Reflective Layer 10 Readout Layer 11 Recording Layer

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 片山 博之 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 (72)発明者 太田 賢司 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Hiroyuki Katayama 22-22 Nagaike-cho, Abeno-ku, Osaka-shi, Osaka Within Sharp Corporation (72) Kenji Ota 22-22 Nagaike-cho, Abeno-ku, Osaka, Osaka Within the corporation

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】情報を光磁気記録する記録層と、 少なくとも上記の記録層と同一の磁性材料を含有し、垂
直磁気異方性を示す窒素侵入型固溶体層とを備えたこと
を特徴とする光磁気記録媒体。
1. A recording layer for magneto-optically recording information, and a nitrogen intrusion type solid solution layer containing at least the same magnetic material as the above recording layer and exhibiting perpendicular magnetic anisotropy. Magneto-optical recording medium.
【請求項2】情報を光磁気記録する記録層と、 上記の記録層より低いキュリー温度を有し、かつ、常温
での保磁力が記録層より高い読み出し層と、 少なくとも上記の読み出し層と同一の磁性材料を含有
し、垂直磁気異方性を示す窒素侵入型固溶体層とを備え
たことを特徴とする光磁気記録媒体。
2. A recording layer for magneto-optically recording information, a reading layer having a Curie temperature lower than that of the recording layer and having a coercive force higher than that of the recording layer at room temperature, at least the same as the reading layer. 2. A magneto-optical recording medium containing the magnetic material of 1. and a nitrogen-intrusion type solid solution layer exhibiting perpendicular magnetic anisotropy.
JP19976392A 1992-07-27 1992-07-27 Magneto-optical recording medium Expired - Fee Related JP2948420B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP19976392A JP2948420B2 (en) 1992-07-27 1992-07-27 Magneto-optical recording medium

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP19976392A JP2948420B2 (en) 1992-07-27 1992-07-27 Magneto-optical recording medium

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0644622A true JPH0644622A (en) 1994-02-18
JP2948420B2 JP2948420B2 (en) 1999-09-13

Family

ID=16413216

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP19976392A Expired - Fee Related JP2948420B2 (en) 1992-07-27 1992-07-27 Magneto-optical recording medium

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2948420B2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4894043A (en) * 1988-02-09 1990-01-16 Nixon Jr Robert E Torque transmitting coupler with shear capability and component separation containment

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4894043A (en) * 1988-02-09 1990-01-16 Nixon Jr Robert E Torque transmitting coupler with shear capability and component separation containment

Also Published As

Publication number Publication date
JP2948420B2 (en) 1999-09-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4414650A (en) Magneto-optic memory element
JP2812817B2 (en) Magneto-optical recording medium
JP2986622B2 (en) Magneto-optical memory device and its recording / reproducing method
US4842956A (en) Opto-magnetic recording medium having three exchange-coupled magnetic layers
US5663935A (en) Magneto-optical recording medium having two magnetic layers of exchange-coupled at ferromagnetic phase
JP2954440B2 (en) Magneto-optical recording medium and magneto-optical recording method
JPH0519213B2 (en)
JPH06302031A (en) Magneto-optical recording medium and magnetooptical recorder
JP2948420B2 (en) Magneto-optical recording medium
JP3192281B2 (en) Recording method for magneto-optical recording medium
JPH09231630A (en) Magneto-optical recording medium
KR100205403B1 (en) Structure of magneto-optical recording medium
JP2606729B2 (en) Magneto-optical recording medium
JP2942060B2 (en) Magneto-optical recording medium and method of manufacturing the same
JPH04335231A (en) Single plate optical disk for magneto-optical recording
JPH06349137A (en) Amorphous or quasi-amorphous film structure for optical or magneto-optical data storage medium, optical data storage device and its manufacture
JPS5960745A (en) Photomagnetic recording medium
JP2740814B2 (en) Magneto-optical recording medium
JP2551620B2 (en) Magneto-optical disk
KR0137444B1 (en) Magneto optical recording medium and manufacturing method
JP3316287B2 (en) Magneto-optical recording method and magneto-optical recording device
JPS61208650A (en) Photomagnetic recording medium
JP2793083B2 (en) Magneto-optical recording medium
JPH0855375A (en) Magneto-optical memory element
JPH11126384A (en) Magneto-optical record medium and its recording and reproducing method

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070702

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 9

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080702

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090702

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 11

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100702

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 12

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110702

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110702

Year of fee payment: 12

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 13

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120702

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees