JPH064405U - Fluid pressure spool type servo valve - Google Patents

Fluid pressure spool type servo valve

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JPH064405U
JPH064405U JP4988892U JP4988892U JPH064405U JP H064405 U JPH064405 U JP H064405U JP 4988892 U JP4988892 U JP 4988892U JP 4988892 U JP4988892 U JP 4988892U JP H064405 U JPH064405 U JP H064405U
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 作動流体が低粘性流体の場合でも内部リーク
量が少なく、かつ取扱流量を大きくすることができる、
したがって経済性及び実用性に優れた流体圧式スプール
型サーボ弁を図る。 【構成】 弁体とスプールで形成された流路を有する流
体圧式スプール型サーボ弁において、上記流路の央部に
配設された供給ポート25と、供給ポート25の外端側
にそれぞれ配設された負荷ポート26,27と、上記各
負荷ポート26,27の外端側にそれぞれ配設された戻
りポート28と、各戻りポート28の外端側にそれぞれ
配設されたドレンポート30,31と、スプール15の
一端に鉛直状連動部材8及び直線運動化機構を介して接
続されたスプール15の変位用モーター1と、スプール
15の他端に付設されたスプール変位計22とを具えた
こと。
(57) [Summary] [Purpose] Even if the working fluid is a low-viscosity fluid, the internal leak rate is small and the handling flow rate can be increased.
Therefore, a fluid pressure spool type servo valve excellent in economy and practicality is aimed at. In a fluid pressure spool type servo valve having a flow passage formed of a valve element and a spool, a supply port 25 disposed in the central portion of the flow passage and an outer end side of the supply port 25 are disposed. Load ports 26 and 27, return ports 28 arranged on the outer end sides of the load ports 26 and 27, and drain ports 30 and 31 arranged on the outer end sides of the return ports 28, respectively. A spool displacement motor 1 connected to one end of the spool 15 through the vertical interlocking member 8 and the linear movement mechanism, and a spool displacement meter 22 attached to the other end of the spool 15. .

Description

【考案の詳細な説明】[Detailed description of the device]

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】[Industrial applications]

本考案は、流体圧式スプール型サーボ弁に関する。 The present invention relates to a fluid pressure spool type servo valve.

【0002】[0002]

【従来の技術】[Prior art]

流体圧式スプール型サーボ弁としては、従来、例えば、図2縦断面図に示すよ うに、トルクモーター01,ノズル02,ノズル03,フラッパー04等から構 成されたパイロット部05と、ボディ06,スリーブ07,スプール08等から 構成されたメインスプール部09とから形成されたフラッパー型のものが知られ ている。 このようなフラッパー型装置においては、 アマチュア010の傾動→フラッ パー04の左右方向変位→フラッパー04のノズル02,ノズル03とのすき間 変化→圧力制御室011と圧力制御室012との間の圧力アンバランス→スプー ル08の変位→フィードバックスプリング013を介してのフラッパー04の中 立移動 といった一連の動作によって入力電流に比例したスプール08の変位が 得られ、これによってスプール08とボディ06のポート間を流れる流体の流れ 方向と流量とが制御されている。 ここで、014は通常のサーボ弁の場合、インレットオリフィス015,ノズ ル02及びノズル03の開口部がそれぞれ孔径0.1〜0.2mmであって非常 に小さいので、これらへの微小ごみの目詰まり防止用に挿入されたインレットフ ィルターである。 Conventionally, as a fluid pressure spool type servo valve, for example, as shown in the vertical cross-sectional view of FIG. 2, a pilot portion 05 including a torque motor 01, a nozzle 02, a nozzle 03, a flapper 04, a body 06, and a sleeve. There is known a flapper type formed by a main spool portion 09 composed of 07, a spool 08 and the like. In such a flapper type device, the tilting of the amateur 010 → the lateral displacement of the flapper 04 → the change in the clearance between the flapper 04 and the nozzle 02 and the nozzle 03 → the pressure unbalance between the pressure control chamber 011 and the pressure control chamber 012. Displacement of spool 08 proportional to the input current is obtained by a series of operations such as balance → displacement of spool 08 → neutral movement of flapper 04 via feedback spring 013, which causes displacement between spool 08 and body 06 ports. The flow direction and flow rate of the flowing fluid are controlled. Here, in the case of an ordinary servo valve, 014 is an inlet orifice 015, a nozzle 02, and the opening of the nozzle 03 each have a hole diameter of 0.1 to 0.2 mm, which is very small. It is an inlet filter inserted to prevent clogging.

【0003】 ところで、この種のサーボ弁装置ではスプール08を左右方向に変位させるのに 、常時パイロット流量OQL1が必要である。また、スプール08のスプール変 位Oxは1〜1.5mmであり、制御性やスプール変位量に対する不感帶領域の 割合を極力小さくし、出力流量制御範囲を大きくするために、図3部分拡大横断 面図に示すように、スリーブ07とスプール08とのすき間OCは数ミクロンか ら十数ミクロンに設定されているが、弁閉止時においてもこの弁の構造上、供給 ポート016はスプール08の両端部に、戻りポート017はスプール08の中 央部にそれぞれ配設される。 その結果、内部リークの個所は 供給ポート016→負荷ポート018,01 9→戻りポート017 の内部リーク量OQL3と、 供給ポート016→圧力制 御室011,012 の内部リーク量OQL2と、 供給ポート016→インレッ トフィルター014→圧力制御室011,012→ノズルフラッパー04 のパ イロット流量OQL1との3種が生じ、これらの量は供給圧力OPS が高圧になる ほど、また流体の粘性が低下するほど、増加して装置のエネルギ効率を著しく低 下させている。なお、ここで供給圧力OPS >>圧力制御室圧力である。By the way, in this type of servo valve device, the pilot flow rate OQ L1 is always required to displace the spool 08 in the left-right direction. Further, the spool displacement Ox of the spool 08 is 1 to 1.5 mm, and in order to minimize the ratio of the dead zone region to the controllability and the spool displacement amount and to increase the output flow rate control range, the partial enlarged transverse cross section in FIG. As shown in the front view, the clearance OC between the sleeve 07 and the spool 08 is set to several microns to several tens of microns, but even when the valve is closed, due to the structure of this valve, the supply port 016 has both ends of the spool 08. The return port 017 is disposed in the center of the spool 08. As a result, the internal leak points are: the supply port 016 → the load ports 018, 019 → the return port 017, the internal leak amount OQ L3 , the supply port 016 → the pressure control chambers 011 and 012, the internal leak amount OQ L2, and the supply port. 016 → inlet filter 014 → pressure control chambers 011 and 012 → nozzle flapper 04 pilot flow rate OQ L1 occurs, and these amounts decrease as the supply pressure OP S increases. The higher the energy efficiency of the device, the more it decreases. The supply pressure OP S >> pressure control chamber pressure.

【0004】 すなわち、これらの内部リーク量OQL と供給圧力OPS との定性的関係は、 図4線図に示すように、供給圧力OPS の上昇とともに内部リーク量OQL が増 加する特性がある。 また、内部リーク量OQL3とスプール08とスリーブ07とのすき間OC及び スプール08とスリーブ07とのラップ量OΔxとの関係は、図5線図に示すよ うに、すき間OCが大きくなるとともに内部リーク量OQL3は増加し、ラップ量 OΔxが大きくなるほど低下する特性を有し、いずれも、破線で示すように、流 体の粘性が低下するほど、内部リーク量OQL3は増加する傾向がある。 さらに、スプール08を左右方向に変位させた際の負荷ポート018,019 からの出力流量OQA ,OQB は、図6線図に示すような特性を有し、一般には 実線で示すように、制御性の面から不感帶Zを小さくするためラップ量OΔxは ほぼゼロにしている。ラップ量OΔxを大きくすると、内部リーク量は低減でき るが、鎖線で示すように、油等の高粘性流体ではスプール変位量Oxがゼロ付近 で流量がゼロになる不感帶領域が大きくなり、制御性が悪くなる。That is, the qualitative relationship between the internal leak amount OQ L and the supply pressure OP S is that the internal leak amount OQ L increases as the supply pressure OP S increases, as shown in FIG. There is. The relationship between the internal leak amount OQ L3 , the clearance OC between the spool 08 and the sleeve 07, and the overlap amount OΔx between the spool 08 and the sleeve 07 is as shown in the diagram in FIG. The amount OQ L3 increases and decreases as the lapping amount OΔx increases. In both cases, the internal leak amount OQ L3 tends to increase as the fluid viscosity decreases, as indicated by the broken line. Further, the output flow rates OQ A , OQ B from the load ports 018, 019 when the spool 08 is displaced in the left-right direction have the characteristics shown in the diagram of FIG. 6, and generally, as shown by the solid line, From the aspect of controllability, the lap amount OΔx is set to almost zero in order to reduce the dead zone Z. If the lap amount OΔx is increased, the internal leak amount can be reduced, but as shown by the chain line, in the case of high viscosity fluid such as oil, the dead zone region where the flow rate becomes zero when the spool displacement amount Ox is near zero becomes large and the control The sex becomes worse.

【0005】 したがって、このような装置では、下記のような欠点がある。 (1)構造的に主として3個所で内部リークが発生するので、作動流体が低粘 性流体の場合、内部リーク量OQL1,OQL2,OQL3が増加してエネルギ効率が 低下し、したがって経済性が悪化する。 (2)機構的にスプール08の移動量が小さいので、スプールランドと弁体と の間のラップ量が制限され、したがってポートを閉じた場合の内部リーク量OQ L が増加して経済性が悪化する。 (3)また、機構的にスプールの移動量が小さいので、ポートの寸法が制限さ れ、したがってポートを開いた場合の流量が制約され、装置の大容量化が難しい 。Therefore, such a device has the following drawbacks. (1) Internal leakage mainly occurs at three locations structurally, so if the working fluid is a low viscosity fluid, the internal leakage amount OQL1, OQL2, OQL3Increase energy efficiency and reduce energy efficiency, thus deteriorating economic efficiency. (2) Since the movement amount of the spool 08 is mechanically small, the wrap amount between the spool land and the valve body is limited, and therefore the internal leak amount OQ when the port is closed. L Increase and economic efficiency deteriorates. (3) Also, since the spool movement is mechanically small, the size of the port is limited, and therefore the flow rate when the port is opened is restricted, making it difficult to increase the capacity of the device.

【0006】[0006]

【考案が解決しようとする課題】[Problems to be solved by the device]

本考案は、このような事情に鑑みて提案されたもので、作動流体が低粘性流体 の場合でも内部リーク量が少なく、かつ取扱流量を大きくすることができる、し たがって経済性及び実用性に優れた流体圧式スプール型サーボ弁を提供すること を目的とする。 The present invention has been proposed in view of such circumstances, and even when the working fluid is a low-viscosity fluid, the internal leak amount is small, and the handling flow rate can be increased. Therefore, it is economical and practical. It is an object of the present invention to provide an excellent fluid pressure spool type servo valve.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】[Means for Solving the Problems]

そのために、本考案は弁体とスプールで形成された流路を有する流体圧式スプ ール型サーボ弁において、上記流路の央部に配設された供給ポートと、上記供給 ポートの外端側にそれぞれ配設された負荷ポートと、上記各負荷ポートの外端側 にそれぞれ配設された戻りポートと、上記各戻りポートの外端側にそれぞれ配設 されたドレンポートと、上記スプールの一端に連動部材及び直線運動化機構を介 して接続された上記スプールの変位用モーターと、上記スプールの他端に付設さ れたスプール変位計とを具えたことを特徴とする。 Therefore, in the present invention, in a fluid pressure spool type servo valve having a flow passage formed by a valve body and a spool, a supply port disposed at a central portion of the flow passage and an outer end side of the supply port are provided. , A return port disposed on the outer end side of each load port, a drain port disposed on the outer end side of each return port, and one end of the spool. And a spool displacement meter connected to the other end of the spool through a link member and a linear movement mechanism, and a spool displacement meter attached to the other end of the spool.

【0008】[0008]

【作用】[Action]

このような構成によれば、スプールの一端に連動部材及び直線運動化機構を介 して接続されたスプール変位用モーターを設けているので、下記の作用が行われ る。 (1)流路ポートの配列で央部に供給ポートを配設でき、リーク発生箇所を従 来の3箇所から1箇所に少なくすることが可能となり、内部リーク量が大幅に低 減する。 (2)上記変位用モーターの高速回転を直線運動化することにより、上記スプ ールの大ストローク化が可能となり、スプールランドと弁体との間のラップ量を 大きくすることができるようになり、特に低粘性流体を扱う際の内部リーク量が 大巾に低減する。 (3)上記スプールの大ストローク化が可能となり、サーボ弁の大流量化も容 易に実現できる。 According to such a configuration, since the spool displacement motor connected to the one end of the spool through the interlocking member and the linear movement mechanism is provided, the following operation is performed. (1) A supply port can be arranged at the center of the flow path port arrangement, and the number of leak occurrence points can be reduced from the conventional three locations to one location, and the amount of internal leak is greatly reduced. (2) By linearizing the high-speed rotation of the displacement motor, the stroke of the spool can be increased, and the amount of lap between the spool land and the valve body can be increased. , The amount of internal leak when handling low viscosity fluid is greatly reduced. (3) It is possible to increase the stroke of the spool and easily increase the flow rate of the servo valve.

【0009】[0009]

【実施例】【Example】

本考案の一実施例を図面について説明すると、図1縦断面図において、1は水 平厚肉筒状の弁体2の上面央部にモーター取付台3を介して弁体2の軸線に平行 に固定された変位用モーター、4はモーター取付台3の一部を形成する水平円筒 状の軸受支持筒、5は軸受支持筒4の右端部に内嵌的に支持された軸受である。 6は水平円柱部材の右端部におねじが刻設されたボールスクリュー、7は軸受 5に支持されたボールスクリュー6の左端部と変位用モーター1の出力軸とを連 結するカップリング、8は上端部にボールスクリュー6の右端部と螺合するナッ トハウジング10が付設され、央部左面にボールスクリュー6と平行的に適宜長 さ延びるガイド軸11が突設され、下端部に水平ねじ孔12が刻設された鉛直状 連動部材である。 An embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In the vertical cross-sectional view of FIG. 1, reference numeral 1 is parallel to the axis of the valve body 2 through a motor mount 3 at the center of the upper surface of the valve body 2 in the shape of a horizontal and thick wall. The motor 4 for displacement fixed to is a horizontal cylindrical bearing support cylinder forming a part of the motor mount 3, and 5 is a bearing internally supported by the right end of the bearing support cylinder 4. 6 is a ball screw in which a screw is formed on the right end of a horizontal cylindrical member, 7 is a coupling that connects the left end of the ball screw 6 supported by a bearing 5 and the output shaft of the displacement motor 1, and 8 Is provided with a nut housing 10 which is screwed into the right end of the ball screw 6 at the upper end thereof, a guide shaft 11 extending in parallel with the ball screw 6 at an appropriate length on the left side of the center, and a horizontal screw at the lower end. It is a vertical interlocking member having holes 12 formed therein.

【0010】 13は弁体2の軸線部に貫設されたスプール孔、14はスプール孔13に挿入 されたスプール15に適宜間隔で外嵌された複数のスプールランド、16は弁体 2の上面右端部に突設された水平方向のガイド軸支持孔である。 17はスプール15の左端部に同一軸線上に螺合され適宜長さ左方へ延びる支 持棒、18は支持棒17の左端部に同軸的に外嵌されたコア、19はコア18を 同軸的に包囲するとともに外周面に同軸的にコイル20が外嵌されたコアチュー ブ、21はコア18〜コイル20で形成された変位計22を弁体2の左端面に支 持する変位計ハウジングである。 23は鉛直状連動部材8にスプール15の右端を固定する止めねじ、24はス プール15の弁体2の右端貫通部に内嵌されたシール、25は弁体2の下面央部 に配設された供給ポート、26,27はそれぞれ弁体2の供給ポート25の左, 右に配設された負荷ポート、28はそれぞれ弁体2の負荷ポート26,27の左 ,右に配設された戻りポート、30,31はそれぞれ弁体2の戻りポート28の 左,右に配設されたドレンポートである。Reference numeral 13 is a spool hole penetrating the axial portion of the valve body 2, 14 is a plurality of spool lands fitted onto the spool 15 inserted in the spool hole 13 at appropriate intervals, and 16 is an upper surface of the valve body 2. It is a horizontal guide shaft support hole protruding from the right end portion. Reference numeral 17 denotes a supporting rod which is screwed onto the left end portion of the spool 15 on the same axis line and extends to the left by an appropriate length, 18 denotes a core coaxially fitted to the left end portion of the support rod 17, and 19 denotes a core 18 coaxially. Is a core tube in which the coil 20 is coaxially fitted on the outer peripheral surface of the valve body, and 21 is a displacement meter housing that supports a displacement meter 22 formed of the core 18 to the coil 20 on the left end surface of the valve body 2. is there. Reference numeral 23 is a set screw for fixing the right end of the spool 15 to the vertical interlocking member 8, 24 is a seal fitted in the right end penetrating portion of the valve body 2 of the spool 15, and 25 is a central portion of the lower surface of the valve body 2. The supply ports 26 and 27 are arranged on the left and right of the supply port 25 of the valve body 2, and the load ports 28 are arranged on the left and right of the load ports 26 and 27 of the valve body 2, respectively. Return ports 30 and 31 are drain ports disposed on the left and right of the return port 28 of the valve body 2, respectively.

【0011】 このような装置において、変位用モーター1を回転すると、ボールスクリュー 6,ナット7等の作用により鉛直状連動部材8が左右方向に水平移動するのに伴 い、スプール15はスプール変位xを行い、その際の弁体2内の流路ポート間の 流体の流れ方向及び流量は、変位用モーター1の回転方向及び回転速度により制 御され、さらに、スプール15の変位量は変位計22により検出される。 そこで、同図において、流体の流れは、スプール15を左方へ変位させると、 供給ポート25→負荷ポート26→シリンダー(図示省略)→負荷ポート27 →戻りポート28 となり、スプール15を右方へ変位させると、 供給ポート 25→負荷ポート27→負荷ポート26→戻りポート28 となる。 また、同図に示すように、弁閉止状態においては、供給ポート25に作用する 圧力流体は、リーク量QL3で示すように、弁体2とスプールランド14とのすき 間から、負荷ポート26及び負荷ポート27へリークしたのち、戻りポート28 へとリークしていく。In such a device, when the displacement motor 1 is rotated, the vertical interlocking member 8 moves horizontally in the left-right direction by the action of the ball screw 6, the nut 7, etc. The flow direction and flow rate of the fluid between the flow path ports in the valve body 2 at that time are controlled by the rotation direction and rotation speed of the displacement motor 1, and the displacement amount of the spool 15 is determined by the displacement meter 22. Detected by. Therefore, in the figure, when the spool 15 is displaced to the left, the flow of the fluid is: supply port 25 → load port 26 → cylinder (not shown) → load port 27 → return port 28, and the spool 15 moves to the right. When displaced, the supply port 25 → the load port 27 → the load port 26 → the return port 28. Further, as shown in the same figure, in the valve closed state, the pressure fluid acting on the supply port 25 flows from the gap between the valve body 2 and the spool land 14 into the load port 26 as indicated by the leak amount QL3. And after leaking to the load port 27, it leaks to the return port 28.

【0012】 一方、戻りポート28から弁体2とスプールランド14とのすき間を通ってド レンポート30,31にリークするリーク量QL2は戻りポート28が大気圧に近 い一般的な使用状態では、ほとんどなく、無視できる。 更に、本装置では、スプール15はモーター1,ボールスクリュー6等による 直動方式なので、スプール変位x=3〜4mmを容易に得ることができる。した がってラップ量Δx1 ,Δx2 も従来より大きくすることが可能で、低粘性流体 使用時でも内部リーク量QL3をより低く抑えることができる。その際、スプール 変位xと負荷ポート26,27の出力流量QA ,QB は低粘性流体であるので、 弁体2とスプール15とのすき間Cを通って負荷ポート26,27へ流出するか ら、出力流量QA ,QB がゼロになる領域の不感帶は、図6に破線で示すように 、小さくなり、制御性が大きく損なわれることがない。On the other hand, the leak amount Q L2 that leaks from the return port 28 to the drain ports 30 and 31 through the gap between the valve body 2 and the spool land 14 is a general use condition in which the return port 28 is close to the atmospheric pressure. , Almost none, can be ignored. Further, in this apparatus, since the spool 15 is a direct drive type using the motor 1, the ball screw 6, etc., the spool displacement x = 3 to 4 mm can be easily obtained. Therefore, the lap amounts Δx 1 and Δx 2 can be made larger than before, and the internal leak amount QL3 can be suppressed to a lower level even when a low-viscosity fluid is used. At that time, since the spool displacement x and the output flow rates Q A and Q B of the load ports 26 and 27 are low-viscosity fluids, do they flow to the load ports 26 and 27 through the clearance C between the valve body 2 and the spool 15. As shown by the broken line in FIG. 6, the dead zone in the region where the output flow rates Q A and Q B are zero becomes small, and the controllability is not significantly impaired.

【0013】 このような、実施例の装置によれば、スプールの一端に連動部材及び直線運動 化機構を介して接続されたスプール変位用モーターを設けているので、下記効果 が奏せられる。 (1)流路ポートの配列で央部に供給ポートを配設でき、リーク発生箇所を従 来の3箇所から1箇所に少なくすることが可能となり、内部リーク量が大幅に低 減し、したがってエネルギ損失が少なくなり、経済性が向上する。 (2)上記変位用モーターの高速回転を直線運動化することにより、上記スプ ールの大ストローク化が可能となり、スプールランドと弁体との間のラップ量を 大きくすることができるようになり、特に低粘性流体を扱う際の内部リーク量が 大巾に低減し、したがって経済性が向上する。 (3)上記スプールの大ストローク化が可能となったことにより、サーボ弁の 大流量化も容易に実現でき、したがって実用性が向上する。According to the apparatus of the embodiment as described above, the spool displacement motor connected to the one end of the spool through the interlocking member and the linear motion mechanism is provided, and therefore the following effects can be obtained. (1) It is possible to arrange the supply port in the central part in the arrangement of the flow path ports, and it is possible to reduce the number of leak occurrence points from the conventional three locations to one location, which significantly reduces the internal leak amount. Energy loss is reduced and economic efficiency is improved. (2) By linearizing the high-speed rotation of the displacement motor, the stroke of the spool can be increased, and the amount of lap between the spool land and the valve body can be increased. In particular, the amount of internal leak when handling low-viscosity fluid is greatly reduced, thus improving the economical efficiency. (3) Since the stroke of the spool can be increased, it is possible to easily increase the flow rate of the servo valve, and thus the practicality is improved.

【0014】[0014]

【考案の効果】[Effect of device]

要するに本考案によれば、弁体とスプールで形成された流路を有する流体圧式 スプール型サーボ弁において、上記流路の央部に配設された供給ポートと、上記 供給ポートの外端側にそれぞれ配設された負荷ポートと、上記各負荷ポートの外 端側にそれぞれ配設された戻りポートと、上記各戻りポートの外端側にそれぞれ 配設されたドレンポートと、上記スプールの一端に連動部材及び直線運動化機構 を介して接続された上記スプールの変位用モーターと、上記スプールの他端に付 設されたスプール変位計とを具えたことにより、作動流体が低粘性流体の場合で も内部リーク量が少なく、かつ取扱流量を大きくすることができる、したがって 経済性及び実用性に優れた流体圧式スプール型サーボ弁を得るから、本考案は産 業上極めて有益なものである。 In short, according to the present invention, in a fluid pressure spool type servo valve having a flow passage formed by a valve body and a spool, a supply port disposed in the central portion of the flow passage and an outer end side of the supply port are provided. Load ports respectively arranged, return ports respectively arranged at outer ends of the respective load ports, drain ports respectively arranged at outer ends of the respective return ports, and one end of the spool. In the case where the working fluid is a low-viscosity fluid, the motor for displacing the spool connected through the interlocking member and the linear movement mechanism and the spool displacement gauge attached to the other end of the spool are provided. In addition, the present invention is extremely useful in the industry because it has a small internal leak amount and can handle a large flow rate, thus providing a hydraulic spool type servo valve that is highly economical and practical. It is intended.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本考案の一実施例を示す縦断面図である。FIG. 1 is a vertical sectional view showing an embodiment of the present invention.

【図2】公知の流体圧式スプール型サーボ弁を示す縦断
面図である。
FIG. 2 is a vertical cross-sectional view showing a known fluid pressure spool type servo valve.

【図3】図2のスプール08を示す部分拡大図である。FIG. 3 is a partially enlarged view showing the spool 08 of FIG.

【図4】図2のサーボ弁の供給圧力と内部リーク量との
関係を示す線図である。
FIG. 4 is a diagram showing a relationship between a supply pressure of the servo valve of FIG. 2 and an internal leak amount.

【図5】図2のサーボ弁のスプールラップ量,スプール
とスリーブとのすき間と内部リーク量との関係を示す線
図である。
5 is a diagram showing the relationship between the spool wrap amount of the servo valve of FIG. 2, the clearance between the spool and the sleeve, and the internal leak amount.

【図6】図2のサーボ弁のスプール変位と出力流量との
関係を示す線図である。
FIG. 6 is a diagram showing a relationship between spool displacement and output flow rate of the servo valve of FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 変位用モーター 2 弁体 3 モーター取付台 4 軸受支持筒 5 軸受 6 ボールスクリュー 7 カップリング 8 鉛直状連動部材 9 ナット 10 ナットハウジング 11 ガイド軸 12 ねじ孔 13 スプール孔 14 スプールランド 15 スプール 16 ガイド軸支持孔 17 支持棒 18 コア 19 コアチューブ 20 コイル 21 変位計ハウジング 22 変位計 23 止めねじ 24 シール 25 供給ポート 26 負荷ポート 27 負荷ポート 28 戻りポート 30 ドレンポート 31 ドレンポート C すき間 QA 出力流量 QB 出力流量 QL2 リーク量 QL3 リーク量 Δx1 ラップ量 Δx2 ラップ量1 Displacement Motor 2 Valve Body 3 Motor Mounting Base 4 Bearing Support Tube 5 Bearing 6 Ball Screw 7 Coupling 8 Vertical Interlocking Member 9 Nut 10 Nut Housing 11 Guide Shaft 12 Screw Hole 13 Spool Hole 14 Spool Land 15 Spool 16 Guide Shaft Support hole 17 Support rod 18 Core 19 Core tube 20 Coil 21 Displacement meter housing 22 Displacement meter 23 Set screw 24 Seal 25 Supply port 26 Load port 27 Load port 28 Return port 30 Drain port 31 Drain port C Clearance Q A Output flow rate Q B Output flow rate Q L2 leak amount Q L3 leak amount Δx 1 lap amount Δx 2 lap amount

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 【請求項1】 弁体とスプールで形成された流路を有す
る流体圧式スプール型サーボ弁において、上記流路の央
部に配設された供給ポートと、上記供給ポートの外端側
にそれぞれ配設された負荷ポートと、上記各負荷ポート
の外端側にそれぞれ配設された戻りポートと、上記各戻
りポートの外端側にそれぞれ配設されたドレンポート
と、上記スプールの一端に連動部材及び直線運動化機構
を介して接続された上記スプールの変位用モーターと、
上記スプールの他端に付設されたスプール変位計とを具
えたことを特徴とする流体圧式スプール型サーボ弁。
1. A fluid pressure spool type servo valve having a flow passage formed by a valve element and a spool, wherein a supply port disposed in a central portion of the flow passage and an outer end side of the supply port are disposed. Installed load ports, return ports provided on the outer ends of the respective load ports, drain ports provided on the outer ends of the respective return ports, and an interlocking member at one end of the spool. And a motor for displacing the spool, which is connected through a linear movement mechanism,
A fluid pressure spool type servo valve comprising a spool displacement gauge attached to the other end of the spool.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2000283112A (en) * 1999-03-31 2000-10-13 Kawasaki Steel Corp Hydraulic servo valve

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