JPH0640995B2 - Filter system - Google Patents
Filter systemInfo
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- JPH0640995B2 JPH0640995B2 JP61243619A JP24361986A JPH0640995B2 JP H0640995 B2 JPH0640995 B2 JP H0640995B2 JP 61243619 A JP61243619 A JP 61243619A JP 24361986 A JP24361986 A JP 24361986A JP H0640995 B2 JPH0640995 B2 JP H0640995B2
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- module
- module case
- filter system
- organic solvent
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- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、束ねられた複数個のウルトラフィルターモ
ジュール膜（以下「ＵＦ膜」という）をウルトラフィル
ターモジュールケース（以下「ＵＦモジュールケース」
という）によって収納し、前記ＵＦ膜内に純水を通過さ
せ、このＵＦ膜で純水を濾過して超純水を得るフィルタ
ーシステムに関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial application] The present invention relates to a plurality of bundled ultra filter module membranes (hereinafter referred to as “UF membranes”) in an ultra filter module case (hereinafter referred to as “UF module case”).
The present invention relates to a filter system in which pure water is passed through the UF membrane and pure water is filtered by the UF membrane to obtain ultrapure water.
［従来の技術］ 半導体工場において使用される超純水は、純水中に含ま
れるバクテリアの死骸、配管内のごみ等の微粒子をＵＦ
膜で濾過して得ている。[Prior Art] Ultra-pure water used in semiconductor factories contains UFs such as dead bodies of bacteria contained in pure water and fine particles such as dust in pipes.
Obtained by filtration through a membrane.
第２図は、従来のフィルタシステムにおけるＵＦモジュ
ール膜の断面斜視図である。FIG. 2 is a cross-sectional perspective view of a UF module membrane in a conventional filter system.
ＵＦモジュール膜１は、一般的には酢酸セルロース製の
細長い管状の膜であり、厚さ５mmのポリスルホン製のＵ
Ｆモジュールケース２により、複数個が束になって収納
されている。The UF module membrane 1 is generally an elongated tubular membrane made of cellulose acetate, and is made of polysulfone having a thickness of 5 mm.
A plurality of F module cases 2 are stored in a bundle.
このＵＦモジュールケースの長さは約１ｍで、直径は１
５ないし３０cmである。The length of this UF module case is about 1m, and the diameter is 1
It is 5 to 30 cm.
次に、このＵＦモジュール膜の動作について説明する。Next, the operation of this UF module membrane will be described.
矢印３より純水が５kg/cm2の水圧で供給され、矢印４か
ら純水が３kg/cm2の水圧で排水される。この圧力差によ
り、純水中のバクテリアの死骸、配管内のごみ等の微粒
子がＵＦモジュール膜１の側壁で濾過される。そして超
純水が矢印５より出てくる。Pure water is supplied from the arrow 3 at a water pressure of 5 kg / cm 2 , and pure water is discharged from the arrow 4 at a water pressure of 3 kg / cm 2 . Due to this pressure difference, bacterial dead bodies in pure water and fine particles such as dust in the piping are filtered by the side wall of the UF module membrane 1. Then, ultrapure water comes out from the arrow 5.
［発明が解決しようとする問題点］ 従来のフィルタシステムは以上のように構成されてお
り、クリーンルームのメッシュ状の床下のユーティリテ
ィゾーンに設置されている。[Problems to be Solved by the Invention] The conventional filter system is configured as described above, and is installed in the mesh-like underfloor utility zone of a clean room.
そして、クリーンルーム内では、半導体製造のために、
感光剤の希釈剤である酢酸ブチルやアセトン等の有機溶
剤や半導体基板の洗浄に用いる濃硫酸、硝酸等の酸が用
いられている。このような環境下では、クリーンルーム
内で漏らした有機溶剤や酸のミストがダウンフローの気
流にのって落下し、ＵＦモジュールケース２に振りかか
るのは必定である。And in the clean room, for semiconductor manufacturing,
Organic solvents such as butyl acetate and acetone, which are diluents for photosensitizers, and acids such as concentrated sulfuric acid and nitric acid used for cleaning semiconductor substrates are used. In such an environment, it is inevitable that the mist of the organic solvent or the acid leaked in the clean room falls on the downflow airflow and is sprinkled on the UF module case 2.
かかる場合、ＵＦモジュールケース２に超純水によって
応力６がかかっていると、ＵＦモジュールケース２は有
機溶剤に弱いために瞬時にしてＵＦモジュールケース２
に亀裂が生じる。In such a case, when the stress 6 is applied to the UF module case 2 by the ultrapure water, the UF module case 2 is vulnerable to the organic solvent, and thus the UF module case 2 is instantly exposed.
Cracks occur in.
その結果、しばしば水漏れが発生し、作業環境を悪化さ
せていた。As a result, water leaks often occur, deteriorating the working environment.
この発明は上記のような問題点を解決するためになされ
たもので、有機溶剤に耐え得るフィルタシステムを提供
することを目的とする。The present invention has been made to solve the above problems, and an object thereof is to provide a filter system that can withstand an organic solvent.
［問題点を解決するための手段］ この発明に係るフィルターシステムは、複数個のウルト
ラフィルターモジュール膜を備える。上記ウルトラフィ
ルターモジュール膜は束ねられた状態でウルトラフィル
ターモジュールケースに収納される。ウルトラフィルタ
ーモジュールケースは、ウルトラフィルターモジュール
膜の側壁から濾過されて出てくる超純水を取出す取出口
を有する。上記ウルトラフィルターモジュールケースの
周囲を、酸や有機溶剤に耐え得る材料から形成された保
護カバーが覆っている。[Means for Solving Problems] A filter system according to the present invention includes a plurality of ultra filter module membranes. The ultra filter module membrane is bundled and housed in the ultra filter module case. The ultrafilter module case has an outlet for taking out ultrapure water filtered out from the side wall of the ultrafilter module membrane. A protective cover made of a material that can withstand an acid or an organic solvent covers the periphery of the ultra filter module case.
［作用］ ＵＦモジュールケースの周囲を、酸や有機溶剤に耐え得
る材料から形成される保護カバーで覆うので、ＵＦモジ
ュールケースに直接有機溶剤や酸がかからない。[Operation] Since the periphery of the UF module case is covered with the protective cover made of a material that can withstand acid or organic solvent, the UF module case is not directly exposed to the organic solvent or acid.
［実施例］ 第１図はこの発明の一実施例を示すフィルターシステム
を表わす断面斜視図である。[Embodiment] FIG. 1 is a sectional perspective view showing a filter system showing an embodiment of the present invention.
複数個のＵＦモジュール膜７がＵＦモジュールケース８
に束になって収納されている。そして、ＵＦモジュール
ケース８の周囲をさらに保護カバー９が覆っている。A plurality of UF module membranes 7 are UF module cases 8
It is stored in a bundle. The protective cover 9 further covers the periphery of the UF module case 8.
保護カバー９はテフロン（デュポン社製ポリテトラフロ
オロエチレンの登録商標）によって作製されている。The protective cover 9 is made of Teflon (registered trademark of polytetrafluoroethylene manufactured by DuPont).
この保護カバー９によって、ＵＦモジュールケース８に
は直接有機溶剤や酸が振りかからないので、ＵＦモジュ
ールケース８に亀裂が発生することはない。その結果、
水漏れ事故を未然に防止することができる。The protective cover 9 prevents the organic solvent and the acid from directly splashing on the UF module case 8, so that the UF module case 8 is not cracked. as a result,
It is possible to prevent water leakage accidents.
このフィルターシステムを用いて純水を濾過する動作に
ついては、従来のものと同じである。すなわち、矢印１
０より純水が５kg/cm2の水圧で供給され、矢印１１から
純水が３kg/cm2の水圧で排出される。この圧力差によ
り、純水中のバクテリアの死骸、配管内のごみ等の微粒
子がＵＦモジュール膜７で濾過される。そして超純水が
矢印１２より出てくる。本実施例の場合においてもＵＦ
モジュールケース８には純水による応力１３がかかって
いる。しかし、上述の如く、ＵＦモジュールケース８に
は直接有機溶剤等がかからないので、ＵＦモジュールケ
ース８が破裂することはない。The operation of filtering pure water using this filter system is the same as the conventional one. That is, arrow 1
Pure water is supplied at a water pressure of 5 kg / cm 2 from 0, and pure water is discharged at a water pressure of 3 kg / cm 2 from the arrow 11. Due to this pressure difference, bacterial dead bodies in pure water and fine particles such as dust in the pipe are filtered by the UF module membrane 7. Then, ultrapure water comes out from the arrow 12. Also in the case of this embodiment, the UF
A stress 13 due to pure water is applied to the module case 8. However, as described above, since the UF module case 8 is not directly exposed to the organic solvent or the like, the UF module case 8 does not burst.
なお、本実施例では保護カバー９の好ましい材質として
テフロンの場合を示したが、本発明はこの物に限定され
ず、ＳＵＳ３１６番（鉄−クロムの合金）、ポリプロピ
レン等を使用しても本発明の目的を同様に達成し得る。Although Teflon is shown as a preferred material for the protective cover 9 in the present embodiment, the present invention is not limited to this, and SUS316 (iron-chromium alloy), polypropylene or the like may also be used. The objective of can be achieved similarly.
［発明の効果］ 以上のように、この発明によれば、ＵＦモジュールケー
スの周囲を、酸や有機溶剤に耐え得る材料から形成され
る保護カバーで覆うので、ＵＦモジュールケースに直接
有機溶剤や酸がかからない。As described above, according to the present invention, since the periphery of the UF module case is covered with the protective cover formed of a material that can withstand an acid or an organic solvent, the UF module case can be directly covered with the organic solvent or the acid. It doesn't take.
その結果、クリーンルームから有機溶剤や酸が漏れてフ
ィルタシステムにかかっても、ＵＦモジュールケースに
亀裂が生じることがないので、フィルターシステムの水
漏れ事故を防ぐことができる。As a result, even if the organic solvent or acid leaks from the clean room and is applied to the filter system, the UF module case is not cracked, so that the water leakage accident of the filter system can be prevented.
第１図はこの発明の一実施例を示す断面斜視図、第２図
は従来のフィルターシステムを示す断面斜視図である。 図において、７はウルトラフィルターモジュール膜、８
はウルトラフィルターモジュールケース、９は保護カバ
ー、１２は超純水出口である。FIG. 1 is a sectional perspective view showing an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a sectional perspective view showing a conventional filter system. In the figure, 7 is an ultra filter module membrane, 8
Is an ultra filter module case, 9 is a protective cover, and 12 is an ultrapure water outlet.
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭60−153902（ＪＰ，Ａ) 大矢晴彦監修「純水・超純水製造法−要 素技術と応用システム−」（昭60−３− 20）幸書房ｐ．72，ｐ．174，ｐ．186Continuation of the front page (56) References JP-A-60-153902 (JP, A) Supervision of Haruhiko Oya "Pure water / ultra pure water production method-element technology and applied system-" (SHO 60-3-20) Sachi Shobo p. 72, p. 174, p. 186
Claims (1)
と、 前記複数個のウルトラフィルターモジュール膜を束ねた
状態で収納し、かつ前記ウルトラフィルターモジュール
膜の側壁から濾過されて出てくる超純水を取出す取出口
を有するウルトラフィルターモジュールケースと、 前記ウルトラフィルターモジュールケースの周囲を覆
う、酸や有機溶剤に耐え得る材料から形成された保護カ
バーと、 を備えたフィルターシステム。1. A plurality of ultrafilter module membranes, and a plurality of the ultrafilter module membranes are housed in a bundled state, and ultrapure water that is filtered out from the side wall of the ultrafilter module membranes is taken out. A filter system comprising: an ultra filter module case having an outlet; and a protective cover that covers the periphery of the ultra filter module case and is made of a material that can withstand an acid or an organic solvent.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61243619A JPH0640995B2 (en) | 1986-10-13 | 1986-10-13 | Filter system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61243619A JPH0640995B2 (en) | 1986-10-13 | 1986-10-13 | Filter system |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6397287A JPS6397287A (en) | 1988-04-27 |
| JPH0640995B2 true JPH0640995B2 (en) | 1994-06-01 |
Family
ID=17106513
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61243619A Expired - Fee Related JPH0640995B2 (en) | 1986-10-13 | 1986-10-13 | Filter system |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0640995B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008090117A1 (en) | 2007-01-24 | 2008-07-31 | Glaxo Group Limited | Pharmaceutical compositions comprising 3, 5-diamin0-6- (2, 3-dichl0phenyl) -l, 2, 4-triazine or r (-) -2, 4-diamino-5- (2, 3-dichlorophenyl) -6-fluoromethyl pyrimidine and an nk1 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60153902A (en) * | 1984-01-21 | 1985-08-13 | Kurabo Ind Ltd | Capsule type filter and its preparation |
-
1986
- 1986-10-13 JP JP61243619A patent/JPH0640995B2/en not_active Expired - Fee Related
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 大矢晴彦監修「純水・超純水製造法−要素技術と応用システム−」（昭６０−３−２０）幸書房ｐ．７２，ｐ．１７４，ｐ．１８６ |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008090117A1 (en) | 2007-01-24 | 2008-07-31 | Glaxo Group Limited | Pharmaceutical compositions comprising 3, 5-diamin0-6- (2, 3-dichl0phenyl) -l, 2, 4-triazine or r (-) -2, 4-diamino-5- (2, 3-dichlorophenyl) -6-fluoromethyl pyrimidine and an nk1 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6397287A (en) | 1988-04-27 |
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