JPH0635720U - Dust-proof structure of uniaxial compound motion unit - Google Patents
Dust-proof structure of uniaxial compound motion unitInfo
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 シンプルな構成によって軸に付着した油脂等
の飛散を未然に防止し、信頼性を向上させる。
【構成】 軸２１の外周にねじ溝２１ａ等の溝を設け、
この溝にナット２２を係合して軸２１を回転もしくは軸
方向に移動させ、このナット２２と回転駆動用のモータ
Ｍ１及び記ロータリーエンコーダＲＥとをパイプ状の連
結部材３６によって連結して一体に回転させ、連結部材
３６を軸２１の周囲に嵌挿した一軸複合動作ユニットで
あって、連結部材３６の開口端に隣接した他の回転体も
しくは固定体との間に形成される隙間に、防塵用のシー
ル手段４０を配設している。
【効果】 軸に付着した油脂等はシール手段によって封
止状態とすることができ、ロータリーエンコーダへの飛
散を未然に防止できる。このため、ロータリーエンコー
ダの信頼性を一段と向上することができる。
(57) [Abstract] [Purpose] The simple structure prevents the oils and fats attached to the shaft from scattering and improves the reliability. [Configuration] A groove such as a screw groove 21a is provided on the outer periphery of the shaft 21,
The nut 22 is engaged with this groove to rotate or move the shaft 21 in the axial direction, and the nut 22 and the rotary driving motor M1 and the rotary encoder RE are connected by a pipe-shaped connecting member 36 to be integrated. It is a uniaxial compound motion unit that is rotated and the connecting member 36 is fitted around the shaft 21, and is dustproof in a gap formed between another rotating body or a fixed body adjacent to the open end of the connecting member 36. A sealing means 40 is provided. [Effect] The oil and the like attached to the shaft can be sealed by the sealing means, and can be prevented from scattering to the rotary encoder. Therefore, the reliability of the rotary encoder can be further improved.
Description
【０００１】[0001]
本考案は、軸に形成した溝に係合したナットを回転して、軸を回転もしくは移 動させる一軸複合動作ユニットに関し、特に軸から飛散するダストを防止する防 塵構造に関する。 The present invention relates to a uniaxial compound operation unit that rotates or moves a shaft by rotating a nut engaged with a groove formed in the shaft, and particularly to a dustproof structure for preventing dust scattered from the shaft.
【０００２】[0002]
直交Ｘ−Ｙロボット或いはスカラ型ロボットにはチャックやハンドをＺ軸及び θ軸方向に移動及び回転させる一軸複合動作ユニットがアームの先端に設けられ ている。この種の一軸複合動作ユニットとしては、例えば、図２に示すような構 成のものが提案されている。 A Cartesian XY robot or a SCARA robot has a uniaxial compound motion unit for moving and rotating a chuck and a hand in the Z-axis and θ-axis directions at the tip of an arm. As this type of uniaxial compound motion unit, for example, a unit having a structure as shown in FIG. 2 has been proposed.
【０００３】 図２において、軸１の外周には、ねじ溝１ａと、軸線に平行なスプライン溝１ ｂが設けられている。このねじ溝１ａにはボールねじナット２を係合させ、スプ ライン溝１ｂには図示しないスプラインナットを係合させている。さらに、ボー ルねじナット２の隣には軸１と同軸に駆動用のモータＭが並設されている。また 、上記モータＭの隣には、このモータによって回転駆動されるボールねじナット ２の回転角度を正確に検出するためのロータリーエンコーダーＲＥ１が、やはり 軸１と同軸に並設されている。そして、上記モータＭの後述するロータ部３と上 記ボールねじナット２及びロータリーエンコーダーＲＥ１とは、軸１の外周に回 転自在に配設された連結部材４を介して連結されている。この連結部材４はパイ プ状に形成されていて、上記軸１の外周に嵌挿され、その開口端４ａは後述する 他方の連結部材１０の開口端側に隣接している。In FIG. 2, a screw groove 1 a and a spline groove 1 b parallel to the axis are provided on the outer periphery of the shaft 1. A ball screw nut 2 is engaged with the screw groove 1a, and a spline nut (not shown) is engaged with the spline groove 1b. Further, next to the ball screw nut 2, a driving motor M is installed in parallel with the shaft 1 coaxially. Further, next to the motor M, a rotary encoder RE1 for accurately detecting the rotation angle of the ball screw nut 2 which is rotationally driven by the motor is also provided in parallel with the shaft 1. The rotor portion 3 of the motor M, which will be described later, is connected to the ball screw nut 2 and the rotary encoder RE1 via a connecting member 4 that is rotatably arranged on the outer periphery of the shaft 1. The connecting member 4 is formed in a pipe shape and is fitted into the outer periphery of the shaft 1, and its opening end 4a is adjacent to the opening end side of the other connecting member 10 described later.
【０００４】 上記連結部材４には、例えば周方向にＮ・Ｓ極が着磁された環状の永久磁石か らなるロータ部３が一体的に配設されている。さらに、ロータ部４の外周には固 定子コア５が対向配置され、この固定子コア５には、図示しない複数の突極が形 成されていて、各突極には各相の駆動コイル６が巻回されている。この駆動コイ ル６に所定の駆動電流を通電することにより、ロータ部３が回転付勢されると共 に、連結部材４を介してボールねじナット２とロータリーエンコーダーＲＥ１が 所定の回転角度をもって回転駆動される。The connecting member 4 is integrally provided with a rotor portion 3 formed of, for example, an annular permanent magnet whose N and S poles are magnetized in the circumferential direction. Further, a stator core 5 is arranged opposite to the outer circumference of the rotor portion 4, and a plurality of salient poles (not shown) are formed on the stator core 5, and each salient pole has a drive coil 6 for each phase. Is wound. When a predetermined drive current is applied to the drive coil 6, the rotor portion 3 is urged to rotate, and the ball screw nut 2 and the rotary encoder RE1 rotate at a predetermined rotation angle via the connecting member 4. Driven.
【０００５】 モータＭの固定子コア５の端面には、内周にボールねじナット２を嵌合固定し た円筒状のナットホルダー７及び側板８がネジ９によって一体連結されている。 そして、ナットホルダー７、或いは側板９は、前述した直交Ｘ−Ｙロボット或い はスカラ型ロボットのアームに取り付けられる。On the end surface of the stator core 5 of the motor M, a cylindrical nut holder 7 having a ball screw nut 2 fitted and fixed to the inner periphery thereof and a side plate 8 are integrally connected by a screw 9. Then, the nut holder 7 or the side plate 9 is attached to the arm of the orthogonal XY robot or the SCARA type robot described above.
【０００６】 今、モータＭの各相の駆動コイル６に所定の電流を通電すると、ロータ部４が 回転付勢され、連結部材４を介してボールねじナット２が直接回転する。ボール ねじナット２は軸１のねじ溝１ａに係合しているので、この回転によって軸１が 軸方向であるＺ軸方向に移動する。また、軸１の移動寸法はロータリーエンコー ダＲＥ１の出力信号によって正確に決められる。When a predetermined current is applied to the drive coil 6 of each phase of the motor M, the rotor portion 4 is rotationally biased and the ball screw nut 2 is directly rotated via the connecting member 4. Since the ball screw nut 2 is engaged with the screw groove 1a of the shaft 1, this rotation causes the shaft 1 to move in the Z-axis direction which is the axial direction. Further, the moving dimension of the shaft 1 is accurately determined by the output signal of the rotary encoder RE1.
【０００７】 一方、前記した図示しないスプラインナットにも、モータ及びロータリーエン コーダＲＥ２が連結部材１０を介して連結されて一体に回転する。尚、スプライ ンナットは軸１のスプライン溝１ｂに係合しているので、この回転によって軸１ が周方向であるθ軸方向に回転する。この回転角度もロータリーエンコーダＲＥ ２の出力信号によって正確に決定される。On the other hand, the motor and the rotary encoder RE2 are also connected to the spline nut (not shown) via the connecting member 10 to rotate integrally. Since the spline nut is engaged with the spline groove 1b of the shaft 1, this rotation causes the shaft 1 to rotate in the θ-axis direction which is the circumferential direction. This rotation angle is also accurately determined by the output signal of the rotary encoder RE 2.
【０００８】[0008]
上記一軸複合動作ユニットにあっては、軸１の外周に嵌挿されたパイプ状の連 結部材４の開口端４ａが、他方の連結部材１０の開口端側に隣接させているが、 これら連結部材４，１０は互いに回転動作がことなることから、両開口端の間に は隙間１１が形成されている。このため、上記隙間１１から油脂及び埃等が付着 している軸１が露出状態となっていて、動作中に上記油脂や埃が隙間１１を通過 してロータリーエンコーダに飛散する。ロータリーエンコーダは周知のとおり、 例えば微細ピッチで着磁されたロータリーマグネットに磁気抵抗素子等の磁気セ ンサーを近接対向させて、微細角度等を検出するように構成されている。従って 、このロータリーマグネットと磁気抵抗素子との間に、上記油脂や埃が侵入する と、検出信号に欠落が生じて正確な回転角度が検出できなくなる等の故障の原因 になる問題点がある。 In the uniaxial compound motion unit, the open end 4a of the pipe-shaped connecting member 4 fitted on the outer periphery of the shaft 1 is adjacent to the open end side of the other connecting member 10. Since the members 4 and 10 rotate differently from each other, a gap 11 is formed between both open ends. Therefore, the shaft 1 to which the oil and fat and the dust adhere is exposed from the gap 11, and the oil and dust pass through the gap 11 and are scattered to the rotary encoder during operation. As is well known, the rotary encoder is configured to detect a fine angle by, for example, placing a magnetic sensor such as a magnetoresistive element in close proximity to a rotary magnet magnetized at a fine pitch. Therefore, there is a problem in that if the oil or fat or dust enters between the rotary magnet and the magnetoresistive element, the detection signal will be lost and an accurate rotation angle cannot be detected.
【０００９】 本考案は、このような問題点を解消するためになされたもので、シンプルな構 成によって軸に付着した油脂等の飛散を未然に防止し、信頼性を向上させること のできる一軸複合動作ユニットの防塵構造を提供することを目的とする。The present invention has been made in order to solve such a problem, and a simple structure can prevent the oils and fats attached to the shaft from scattering and improve the reliability. An object is to provide a dustproof structure for a composite operation unit.
【００１０】[0010]
本考案は、軸の外周にねじ溝等の溝を設け、この溝にナットを係合して上記軸 を回転もしくは軸方向に移動させ、このナットと回転駆動用のモータ及び記ロー タリーエンコーダとをパイプ状の連結部材によって連結して一体に回転させ、上 記連結部材を上記軸の周囲に嵌挿した一軸複合動作ユニットであって、上記連結 部材の開口端に隣接した他の回転体もしくは固定体との間に形成される隙間に、 防塵用のシール手段を配設したことを特徴としている。 According to the present invention, a groove such as a screw groove is provided on the outer circumference of a shaft, and a nut is engaged with this groove to rotate or move the shaft in the axial direction. Is a single-shaft compound operation unit in which the above-mentioned connecting members are fitted around the above-mentioned shaft by connecting them with a pipe-like connecting member and integrally rotating, and another rotating body adjacent to the open end of the above-mentioned connecting member or It is characterized in that dust-proof sealing means is arranged in a gap formed between the fixed body and the fixed body.
【００１１】[0011]
連結部材の開口端に隣接した他の回転体もしくは固定体との間に形成される隙 間に、防塵用のシール手段を配設すると、軸に付着した油脂等はシール手段によ って封止状態となるので、ロータリーエンコーダへの飛散が未然に防止される。 このため、ロータリーエンコーダの信頼性が向上する。 If a dust-proof sealing means is provided in a gap formed between another rotating body or a fixed body adjacent to the open end of the connecting member, oil and grease adhering to the shaft will be sealed by the sealing means. Since it is in the stopped state, scattering to the rotary encoder is prevented in advance. Therefore, the reliability of the rotary encoder is improved.
【００１２】[0012]
以下、本考案にかかる一軸複合動作ユニットの防塵構造の実施例について図面 を参照しながら説明する。図１は、軸にねじ溝とスプライン溝を設け、この各溝 にボールねじナット及びボールスプラインナットを各々係合させ、これらナット を個々のモータによって回転駆動することにより、軸を軸方向に移動したり回転 させたりさせるモータ駆動一軸複合動作ユニットを例に説明する。 Hereinafter, an embodiment of a dustproof structure of a uniaxial compound motion unit according to the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 shows that a shaft is provided with a thread groove and a spline groove, and a ball screw nut and a ball spline nut are engaged with the grooves, respectively, and these nuts are rotationally driven by individual motors to move the shaft in the axial direction. An explanation will be given by taking a motor-driven single-axis compound operation unit for rotating and rotating as an example.
【００１３】 図１において、軸２１の外周にはねじ溝２１ａと、軸線に平行なスプライン溝 ２１ｂが設けられている。そして、ねじ溝２１ａには前述した図２と同様の第１ のナットであるボールねじナット２３が係合し、スプライン溝２１ｂには第２の ナットであるスプラインナット２２が係合するように離間して配設されている。 さらに、ボールねじナット２３の隣には、軸２１と同軸に駆動用の第１のモータ Ｍ１が並設され、スプラインナット２２の隣には、やはり軸２１と同軸に駆動用 の第２のモータＭ２が並設されている。そして、これら第１及び第２のモータＭ １，Ｍ２は、離間して配設されたスプラインナット２２及びボールねじナット２ ３の間に位置するように並設されている。In FIG. 1, a screw groove 21 a and a spline groove 21 b parallel to the axis are provided on the outer periphery of the shaft 21. The ball groove nut 23, which is the first nut similar to that shown in FIG. 2, is engaged with the screw groove 21a, and the spline groove 21b is separated so that the spline nut 22 which is the second nut is engaged. Are arranged. Further, next to the ball screw nut 23, a first motor M1 for driving is coaxially arranged with the shaft 21, and next to the spline nut 22, a second motor M1 for driving is also coaxial with the shaft 21. M2 is installed in parallel. The first and second motors M1 and M2 are arranged side by side so as to be located between the spline nut 22 and the ball screw nut 23 which are arranged separately.
【００１４】 また、上記第１及び第２のモータＭ１，Ｍ２との間には、これらモータによっ て回転駆動される両ナット２２，２３の各々の回転角度を正確に検出するための 一対のロータリーエンコーダーＲＥ１，ＲＥ２が、やはり軸２１と同軸に並設さ れている。そして、上記第１のモータＭ１の後述するロータ部２４と上記ボール ねじナット２３及びロータリーエンコーダーＲＥ１とは、軸２１の外周に回転自 在に配設された第１の連結部材３６を介して連結されている。また、同様に上記 第２のモータＭ２のロータ部２７と上記スプラインナット２２及びロータリーエ ンコーダーＲＥ２も、第２の連結部材３７を介して連結されている。上記第１の 連結部材３６の開口端と上記第２の連結部材３７の開口端とは、両者の回転動作 が異なるために隙間が設けられている。In addition, between the first and second motors M1 and M2, a pair of nuts for accurately detecting the respective rotation angles of both nuts 22 and 23 rotationally driven by these motors are provided. The rotary encoders RE1 and RE2 are also arranged side by side coaxially with the shaft 21. The rotor portion 24 of the first motor M1, which will be described later, is connected to the ball screw nut 23 and the rotary encoder RE1 via a first connecting member 36 that is rotatably arranged on the outer periphery of the shaft 21. Has been done. Similarly, the rotor portion 27 of the second motor M2, the spline nut 22, and the rotary encoder RE2 are also connected via the second connecting member 37. A gap is provided between the opening end of the first connecting member 36 and the opening end of the second connecting member 37 because the rotating operations of the two are different.
【００１５】 上記第１のモータＭ１は、上記第１の連結部材３６と一体に、例えば周方向に Ｎ・Ｓ極が着磁された環状の永久磁石からなるロータ部２４が配設されている。 さらに、ロータ部２４の外周には固定子コア２５が所定の間隔をあけて対向配置 されている。固定子コア２５には、図示しない複数の突極が形成され、各突極に は各相の駆動コイル２６が巻回されている。この固定子２５の駆動コイル２６に 所定の駆動電流を通電することにより、ロータ部２４が回転付勢されると共に、 第１の連結部材３６を介して第１のナットであるボールねじナット２３とロータ リーエンコーダーＲＥ１が所定の回転角度をもって回転駆動される。The first motor M1 is provided integrally with the first connecting member 36 and the rotor portion 24 formed of, for example, an annular permanent magnet magnetized with N and S poles in the circumferential direction. . Further, stator cores 25 are arranged on the outer periphery of the rotor portion 24 so as to face each other with a predetermined gap. A plurality of salient poles (not shown) are formed on the stator core 25, and a drive coil 26 of each phase is wound around each salient pole. By supplying a predetermined drive current to the drive coil 26 of the stator 25, the rotor portion 24 is rotationally biased, and at the same time, the ball screw nut 23, which is the first nut, is passed through the first connecting member 36. The rotary encoder RE1 is rotationally driven at a predetermined rotation angle.
【００１６】 一方、上記第２のモータＭ２も上記第１のモータＭ１と同様に構成され、上記 第２の連結部材３７と一体に、例えば永久磁石からなるロータ部２７が配設され ている。さらに、ロータ部２７の外周には固定子コア２８が対向配置され、この 固定子コア２８の複数の突極にも各相の駆動コイル２９が巻回されている。そし て、上記駆動コイル２９に所定の駆動電流を通電することにより、ロータ部２７ が回転付勢されると共に、第２の連結部材３７を介して、第１のナットであるス プラインナット２３及びロータリーエンコーダーＲＥ２が所定の回転角度をもっ て回転駆動される。On the other hand, the second motor M2 is also configured in the same manner as the first motor M1, and the rotor portion 27 made of, for example, a permanent magnet is provided integrally with the second connecting member 37. Further, a stator core 28 is arranged opposite to the outer periphery of the rotor portion 27, and a drive coil 29 of each phase is also wound around a plurality of salient poles of the stator core 28. Then, by applying a predetermined drive current to the drive coil 29, the rotor portion 27 is rotationally biased, and the spline nut 23, which is the first nut, and The rotary encoder RE2 is rotationally driven at a predetermined rotation angle.
【００１７】 第１のモータＭ１の固定子コア２５の端面には、内周にボールねじナット２３ を嵌合固定した円筒状のナットホルダー３０、及び側板３１がネジ３２によって 一体連結されている。また、第２のモータＭ２の固定子コア２８の端面にも、内 周にスプラインナット２２を嵌合固定したナットホルダー３３、及び側板３４が ネジ３５によって一体連結されている。そして、ナットホルダー３０，３３、或 いは側板３４は、前述した直交Ｘ−Ｙロボット或いはスカラ型ロボットのアーム に取り付けられる。A cylindrical nut holder 30 having a ball screw nut 23 fitted and fixed to the inner periphery thereof and a side plate 31 are integrally connected to the end surface of the stator core 25 of the first motor M1 by screws 32. Further, a nut holder 33 having the spline nut 22 fitted and fixed to the inner periphery thereof and a side plate 34 are integrally connected to the end surface of the stator core 28 of the second motor M2 by screws 35. Then, the nut holders 30, 33 or the side plates 34 are attached to the arms of the orthogonal XY robot or SCARA type robot described above.
【００１８】 以上の構成からなる一軸複合動作ユニットにおいて、本考案は、連結部材の開 口端に隣接した他の回転体もしくは固定体との間に形成される隙間に、防塵用の シール手段を配設したものである。即ち、上記第１の連結部材３６の開口端には 上記第２の連結部材３７の開口端側に嵌挿したラビリンス構造のシール部４０が 設けられている。このシール部４０は内面を第２の連結部材３７に対し、僅かな 隙間をもって非接触状態で対向させている。このため、軸２１に付着した油脂等 が封止状態となり、この結果、ロータリーエンコーダＲＥ１やＲＥ２への油脂等 の飛散が未然に防止されると共に、ロータリーエンコーダの信頼性が向上する。In the uniaxial compound motion unit having the above structure, the present invention provides a dustproof sealing means in a gap formed between another rotating body or a fixed body adjacent to the opening end of the connecting member. It is arranged. That is, a seal portion 40 having a labyrinth structure is provided at the opening end of the first connecting member 36 and is inserted into the opening end side of the second connecting member 37. The inner surface of the sealing portion 40 faces the second connecting member 37 in a non-contact state with a slight gap. As a result, the oil and the like attached to the shaft 21 is sealed, and as a result, the oil and the like are prevented from being scattered on the rotary encoders RE1 and RE2, and the reliability of the rotary encoder is improved.
【００１９】 次に、かかる一軸複合動作ユニットの動作を説明する。今、第１のモータＭ１ を回転させると、ロータ部２４に連結した第１の連結部材３６を介してボールね じナット２３が直接回転する。ボールねじナット２３は軸２１のねじ溝２１ａに 係合しているので、軸２１が軸方向であるＺ軸方向に移動する。また、軸２１の 移動寸法はロータリーエンコーダＲＥ１の出力信号によって正確に決められる。Next, the operation of the uniaxial compound motion unit will be described. Now, when the first motor M1 is rotated, the ball screw nut 23 is directly rotated via the first connecting member 36 connected to the rotor portion 24. Since the ball screw nut 23 is engaged with the screw groove 21a of the shaft 21, the shaft 21 moves in the Z-axis direction which is the axial direction. Further, the moving dimension of the shaft 21 is accurately determined by the output signal of the rotary encoder RE1.
【００２０】 一方、第２のモータＭ２を回転させると、ロータ部２７に連結した第２の連結 部材３７を介してスプラインナット２２が直接回転する。スプラインナット２２ は軸２１のスプライン溝２１ｂに係合しているので、この回転によって軸２１が 周方向であるθ軸方向に回転する。この回転角度もロータリーエンコーダＲＥ２ の出力信号によって正確に決定される。On the other hand, when the second motor M2 is rotated, the spline nut 22 is directly rotated via the second connecting member 37 connected to the rotor portion 27. Since the spline nut 22 is engaged with the spline groove 21b of the shaft 21, this rotation causes the shaft 21 to rotate in the θ-axis direction which is the circumferential direction. This rotation angle is also accurately determined by the output signal of the rotary encoder RE2.
【００２１】 ところで、前述した例は、上記第１の連結部材３６と、上記第２の連結部材３ ７の開口端の間にラビリンス構造のシール部４０を設けている。しかし、連結部 材の開口端に隣接して形成される隙間が、ロータリーエンコーダの近傍のボール ねじナットやスプラインナット、或いはモータ等の他の回転体、もしくは、ナッ トホルダーや側板等の固定体との間に形成される場合には、これらの隙間にラビ リンス構造のシール部４０を設けるようにしてもよいことは勿論である。By the way, in the above-described example, the labyrinth structure seal portion 40 is provided between the open ends of the first connecting member 36 and the second connecting member 37. However, the gap that is formed adjacent to the open end of the connecting member is a ball screw nut or spline nut near the rotary encoder, another rotating body such as a motor, or a fixed body such as a nut holder or side plate. Of course, when it is formed between them, the seal portion 40 having the labyrinth structure may be provided in these gaps.
【００２２】 尚、上述の実施例は一例を示すもので、第１のナットはボールねじナットに限 らず、一般的なねじとナットの構成であっても良く、また、モータをステッピン グモータの構成とする等、本考案を逸脱しない範囲で種々変更可能である。It should be noted that the above-described embodiment is merely an example, and the first nut is not limited to a ball screw nut, and may have a general screw and nut configuration. Various changes can be made to the configuration and the like without departing from the scope of the present invention.
【００２３】[0023]
以上の説明から明らかなように、本考案の一軸複合動作ユニットの防塵構造に よれば、連結部材の開口端に隣接した他の回転体もしくは固定体との間に形成さ れる隙間に、防塵用のシール手段が配設されるので、軸に付着した油脂等はシー ル手段によって封止状態とすることができ、ロータリーエンコーダへの飛散を未 然に防止できる。このため、ロータリーエンコーダの信頼性を一段と向上するこ とができる利点がある。 As is clear from the above description, according to the dustproof structure of the uniaxial compound operation unit of the present invention, the dustproof structure is formed in the gap formed between the rotating end and the fixed end adjacent to the opening end of the connecting member. Since the sealing means is provided, oil and the like attached to the shaft can be sealed by the sealing means, and scattering to the rotary encoder can be prevented in advance. Therefore, there is an advantage that the reliability of the rotary encoder can be further improved.
【００２４】[0024]
【提出日】平成５年５月６日[Submission date] May 6, 1993
【手続補正１】[Procedure Amendment 1]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】考案の詳細な説明[Compensation target item name] Detailed explanation of the device
【補正方法】変更[Correction method] Change
【０００１】[0001]
本考案は、軸に形成した溝に係合したナットを回転して、軸を回転もしくは移 動させる一軸複合動作ユニットに関し、特に軸から飛散するダストを防止する防 塵構造に関する。 The present invention relates to a uniaxial compound operation unit that rotates or moves a shaft by rotating a nut engaged with a groove formed in the shaft, and particularly to a dustproof structure for preventing dust scattered from the shaft.
【０００２】[0002]
直交Ｘ−Ｙロボット或いはスカラ型ロボットにはチャックやハンドをＺ軸及び θ軸方向に移動及び回転させる一軸複合動作ユニットがアームの先端に設けられ ている。この種の一軸複合動作ユニットとしては、例えば、図２に示すような構 成のものが提案されている。 A Cartesian XY robot or a SCARA robot has a uniaxial compound motion unit for moving and rotating a chuck and a hand in the Z-axis and θ-axis directions at the tip of an arm. As this type of uniaxial compound motion unit, for example, a unit having a structure as shown in FIG. 2 has been proposed.
【０００３】 図２において、軸１の外周には、ねじ溝１ａと、軸線に平行なスプライン溝１ ｂが設けられている。このねじ溝１ａにはボールねじナット２を係合させ、スプ ライン溝１ｂには図示しないスプラインナットを係合させている。さらに、ボー ルねじナット２の隣には軸１と同軸に駆動用のモータＭが並設されている。また 、上記モータＭの隣には、このモータによって回転駆動されるボールねじナット ２の回転角度を正確に検出するためのロータリーエンコーダーＲＥ１が、やはり 軸１と同軸に並設されている。そして、上記モータＭの後述するロータ部３と上 記ボールねじナット２及びロータリーエンコーダーＲＥ１とは、軸１の外周に回 転自在に配設された連結部材４を介して連結されている。この連結部材４はパイ プ状に形成されていて、上記軸１の外周に嵌挿され、その開口端４ａは後述する 他方の連結部材１０の開口端側に隣接している。In FIG. 2, a screw groove 1 a and a spline groove 1 b parallel to the axis are provided on the outer periphery of the shaft 1. A ball screw nut 2 is engaged with the screw groove 1a, and a spline nut (not shown) is engaged with the spline groove 1b. Further, next to the ball screw nut 2, a driving motor M is installed in parallel with the shaft 1 coaxially. Further, next to the motor M, a rotary encoder RE1 for accurately detecting the rotation angle of the ball screw nut 2 which is rotationally driven by the motor is also provided in parallel with the shaft 1. The rotor portion 3 of the motor M, which will be described later, is connected to the ball screw nut 2 and the rotary encoder RE1 via a connecting member 4 that is rotatably arranged on the outer periphery of the shaft 1. The connecting member 4 is formed in a pipe shape and is fitted into the outer periphery of the shaft 1, and its opening end 4a is adjacent to the opening end side of the other connecting member 10 described later.
【０００４】 上記連結部材４には、例えば周方向にＮ・Ｓ極が着磁された環状の永久磁石か らなるロータ部３が一体的に配設されている。さらに、ロータ部４の外周には固 定子コア５が対向配置され、この固定子コア５には、図示しない複数の突極が形 成されていて、各突極には各相の駆動コイル６が巻回されている。この駆動コイ ル６に所定の駆動電流を通電することにより、ロータ部３が回転付勢されると共 に、連結部材４を介してボールねじナット２とロータリーエンコーダーＲＥ１が 所定の回転角度をもって回転駆動される。The connecting member 4 is integrally provided with a rotor portion 3 formed of, for example, an annular permanent magnet whose N and S poles are magnetized in the circumferential direction. Further, a stator core 5 is arranged opposite to the outer circumference of the rotor portion 4, and a plurality of salient poles (not shown) are formed on the stator core 5, and each salient pole has a drive coil 6 for each phase. Is wound. When a predetermined drive current is applied to the drive coil 6, the rotor portion 3 is urged to rotate, and the ball screw nut 2 and the rotary encoder RE1 rotate at a predetermined rotation angle via the connecting member 4. Driven.
【０００５】 モータＭの固定子コア５の端面には、内周にボールねじナット２を嵌合固定し た円筒状のナットホルダー７及び側板８がネジ９によって一体連結されている。 そして、ナットホルダー７、或いは側板９は、前述した直交Ｘ−Ｙロボット或い はスカラ型ロボットのアームに取り付けられる。On the end surface of the stator core 5 of the motor M, a cylindrical nut holder 7 having a ball screw nut 2 fitted and fixed to the inner periphery thereof and a side plate 8 are integrally connected by a screw 9. Then, the nut holder 7 or the side plate 9 is attached to the arm of the orthogonal XY robot or the SCARA type robot described above.
【０００６】 今、モータＭの各相の駆動コイル６に所定の電流を通電すると、ロータ部４が 回転付勢され、連結部材４を介してボールねじナット２が直接回転する。ボール ねじナット２は軸１のねじ溝１ａに係合しているので、この回転によって軸１が 軸方向であるＺ軸方向に移動する。また、軸１の移動寸法はロータリーエンコー ダＲＥ１の出力信号によって正確に決められる。When a predetermined current is applied to the drive coil 6 of each phase of the motor M, the rotor portion 4 is rotationally biased and the ball screw nut 2 is directly rotated via the connecting member 4. Since the ball screw nut 2 is engaged with the screw groove 1a of the shaft 1, this rotation causes the shaft 1 to move in the Z-axis direction which is the axial direction. Further, the moving dimension of the shaft 1 is accurately determined by the output signal of the rotary encoder RE1.
【０００７】 一方、前記した図示しないスプラインナットにも、モータ及びロータリーエン コーダＲＥ２が連結部材１０を介して連結されて一体に回転する。尚、スプライ ンナットは軸１のスプライン溝１ｂに係合しているので、この回転によって軸１ が周方向であるθ軸方向に回転する。この回転角度もロータリーエンコーダＲＥ ２の出力信号によって正確に決定される。On the other hand, the motor and the rotary encoder RE2 are also connected to the spline nut (not shown) via the connecting member 10 to rotate integrally. Since the spline nut is engaged with the spline groove 1b of the shaft 1, this rotation causes the shaft 1 to rotate in the θ-axis direction which is the circumferential direction. This rotation angle is also accurately determined by the output signal of the rotary encoder RE 2.
【０００８】[0008]
上記一軸複合動作ユニットにあっては、軸１の外周に嵌挿されたパイプ状の連 結部材４の開口端４ａが、他方の連結部材１０の開口端側に隣接させているが、 これら連結部材４，１０は互いに回転動作がことなることから、両開口端の間に は隙間１１が形成されている。このため、上記隙間１１から油脂及び埃等が付着 している軸１が露出状態となっていて、動作中に上記油脂や埃が隙間１１を通過 してロータリーエンコーダに飛散する。ロータリーエンコーダは周知のとおり、 例えば微細ピッチで着磁されたロータリーマグネットに磁気抵抗素子等の磁気セ ンサーを近接対向させて、微細角度等を検出するように構成されている。従って 、このロータリーマグネットと磁気抵抗素子との間に、上記油脂や埃が侵入する と、検出信号に欠落が生じて正確な回転角度が検出できなくなる等の故障の原因 になる問題点がある。 In the uniaxial compound motion unit, the open end 4a of the pipe-shaped connecting member 4 fitted on the outer periphery of the shaft 1 is adjacent to the open end side of the other connecting member 10. Since the members 4 and 10 rotate differently from each other, a gap 11 is formed between both open ends. Therefore, the shaft 1 to which the oil and fat and the dust adhere is exposed from the gap 11, and the oil and dust pass through the gap 11 and are scattered to the rotary encoder during operation. As is well known, the rotary encoder is configured to detect a fine angle by, for example, placing a magnetic sensor such as a magnetoresistive element in close proximity to a rotary magnet magnetized at a fine pitch. Therefore, there is a problem in that if the oil or fat or dust enters between the rotary magnet and the magnetoresistive element, the detection signal will be lost and an accurate rotation angle cannot be detected.
【０００９】 本考案は、このような問題点を解消するためになされたもので、シンプルな構 成によって軸に付着した油脂等の飛散を未然に防止し、信頼性を向上させること のできる一軸複合動作ユニットの防塵構造を提供することを目的とする。The present invention has been made in order to solve such a problem, and a simple structure can prevent the oils and fats attached to the shaft from scattering and improve the reliability. An object is to provide a dustproof structure for a composite operation unit.
【００１０】[0010]
本考案は、軸の外周にねじ溝等の溝を設け、この溝にナットを係合して上記軸 を回転もしくは軸方向に移動させ、このナットと回転駆動用のモータ及び記ロー タリーエンコーダとをパイプ状の連結部材によって連結して一体に回転させ、上 記連結部材を上記軸の周囲に嵌挿した一軸複合動作ユニットであって、上記連結 部材の開口端に隣接した他の回転体もしくは固定体との間に形成される隙間に、 防塵用のシール手段を配設したことを特徴としている。 According to the present invention, a groove such as a screw groove is provided on the outer circumference of a shaft, and a nut is engaged with this groove to rotate or move the shaft in the axial direction. Is a single-shaft compound operation unit in which the above-mentioned connecting members are fitted around the above-mentioned shaft by connecting them with a pipe-like connecting member to rotate them integrally. It is characterized in that dust-proof sealing means is arranged in a gap formed between the fixed body and the fixed body.
【００１１】[0011]
連結部材の開口端に隣接した他の回転体もしくは固定体との間に形成される隙 間に、防塵用のシール手段を配設すると、軸に付着した油脂等はシール手段によ って封止状態となるので、ロータリーエンコーダへの飛散が未然に防止される。 このため、ロータリーエンコーダの信頼性が向上する。 If a dust-proof sealing means is provided in a gap formed between another rotating body or a fixed body adjacent to the open end of the connecting member, oil and grease adhering to the shaft will be sealed by the sealing means. Since it is in the stopped state, scattering to the rotary encoder is prevented in advance. Therefore, the reliability of the rotary encoder is improved.
【００１２】[0012]
以下、本考案にかかる一軸複合動作ユニットの防塵構造の実施例について図面 を参照しながら説明する。図１は、軸にねじ溝とスプライン溝を設け、この各溝 にボールねじナット及びボールスプラインナットを各々係合させ、これらナット を個々のモータによって回転駆動することにより、軸を軸方向に移動したり回転 させたりさせるモータ駆動一軸複合動作ユニットを例に説明する。 Hereinafter, an embodiment of a dustproof structure of a uniaxial compound motion unit according to the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 shows that a shaft is provided with a thread groove and a spline groove, and a ball screw nut and a ball spline nut are engaged with the grooves, respectively, and these nuts are rotationally driven by individual motors to move the shaft in the axial direction. An explanation will be given by taking a motor-driven single-axis compound operation unit for rotating and rotating as an example.
【００１３】 図１において、軸２１の外周にはねじ溝２１ａと、軸線に平行なスプライン溝 ２１ｂが設けられている。そして、ねじ溝２１ａには前述した図２と同様の第１ のナットであるボールねじナット２３が係合し、スプライン溝２１ｂには第２の ナットであるスプラインナット２２が係合するように離間して配設されている。 さらに、ボールねじナット２３の隣には、軸２１と同軸に駆動用の第１のモータ Ｍ１が並設され、スプラインナット２２の隣には、やはり軸２１と同軸に駆動用 の第２のモータＭ２が並設されている。そして、これら第１及び第２のモータＭ １，Ｍ２は、離間して配設されたスプラインナット２２及びボールねじナット２ ３の間に位置するように並設されている。In FIG. 1, a screw groove 21 a and a spline groove 21 b parallel to the axis are provided on the outer periphery of the shaft 21. The ball groove nut 23, which is the first nut similar to that shown in FIG. 2, is engaged with the screw groove 21a, and the spline groove 21b is separated so that the spline nut 22 which is the second nut is engaged. Are arranged. Further, next to the ball screw nut 23, a first motor M1 for driving is coaxially arranged with the shaft 21, and next to the spline nut 22, a second motor M1 for driving is also coaxial with the shaft 21. M2 is installed in parallel. The first and second motors M1 and M2 are arranged side by side so as to be located between the spline nut 22 and the ball screw nut 23 which are arranged separately.
【００１４】 また、上記第１及び第２のモータＭ１，Ｍ２との間には、これらモータによっ て回転駆動される両ナット２２，２３の各々の回転角度を正確に検出するための 一対のロータリーエンコーダーＲＥ１，ＲＥ２が、やはり軸２１と同軸に並設さ れている。そして、上記第１のモータＭ１の後述するロータ部２４と上記ボール ねじナット２３及びロータリーエンコーダーＲＥ１とは、軸２１の外周に回転自 在に配設された第１の連結部材３６を介して連結されている。また、同様に上記 第２のモータＭ２のロータ部２７と上記スプラインナット２２及びロータリーエ ンコーダーＲＥ２も、第２の連結部材３７を介して連結されている。上記第１の 連結部材３６の開口端と上記第２の連結部材３７の開口端とは、両者の回転動作 が異なるために隙間が設けられている。In addition, between the first and second motors M1 and M2, a pair of nuts for accurately detecting the respective rotation angles of both nuts 22 and 23 rotationally driven by these motors are provided. The rotary encoders RE1 and RE2 are also arranged side by side coaxially with the shaft 21. The rotor portion 24 of the first motor M1, which will be described later, is connected to the ball screw nut 23 and the rotary encoder RE1 via a first connecting member 36 that is rotatably arranged on the outer periphery of the shaft 21. Has been done. Similarly, the rotor portion 27 of the second motor M2, the spline nut 22, and the rotary encoder RE2 are also connected via the second connecting member 37. A gap is provided between the opening end of the first connecting member 36 and the opening end of the second connecting member 37 because the rotating operations of the two are different.
【００１５】 上記第１のモータＭ１は、上記第１の連結部材３６と一体に、例えば周方向に Ｎ・Ｓ極が着磁された環状の永久磁石からなるロータ部２４が配設されている。 さらに、ロータ部２４の外周には固定子コア２５が所定の間隔をあけて対向配置 されている。固定子コア２５には、図示しない複数の突極が形成され、各突極に は各相の駆動コイル２６が巻回されている。この固定子２５の駆動コイル２６に 所定の駆動電流を通電することにより、ロータ部２４が回転付勢されると共に、 第１の連結部材３６を介して第１のナットであるボールねじナット２３とロータ リーエンコーダーＲＥ１が所定の回転角度をもって回転駆動される。The first motor M1 is provided integrally with the first connecting member 36 and the rotor portion 24 formed of, for example, an annular permanent magnet magnetized with N and S poles in the circumferential direction. . Further, stator cores 25 are arranged on the outer periphery of the rotor portion 24 so as to face each other with a predetermined gap. A plurality of salient poles (not shown) are formed on the stator core 25, and a drive coil 26 of each phase is wound around each salient pole. By supplying a predetermined drive current to the drive coil 26 of the stator 25, the rotor portion 24 is rotationally biased, and at the same time, the ball screw nut 23, which is the first nut, is passed through the first connecting member 36. The rotary encoder RE1 is rotationally driven at a predetermined rotation angle.
【００１６】 一方、上記第２のモータＭ２も上記第１のモータＭ１と同様に構成され、上記 第２の連結部材３７と一体に、例えば永久磁石からなるロータ部２７が配設され ている。さらに、ロータ部２７の外周には固定子コア２８が対向配置され、この 固定子コア２８の複数の突極にも各相の駆動コイル２９が巻回されている。そし て、上記駆動コイル２９に所定の駆動電流を通電することにより、ロータ部２７ が回転付勢されると共に、第２の連結部材３７を介して、第１のナットであるス プラインナット２３及びロータリーエンコーダーＲＥ２が所定の回転角度をもっ て回転駆動される。On the other hand, the second motor M2 is also configured in the same manner as the first motor M1, and the rotor portion 27 made of, for example, a permanent magnet is provided integrally with the second connecting member 37. Further, a stator core 28 is arranged opposite to the outer periphery of the rotor portion 27, and a drive coil 29 of each phase is also wound around a plurality of salient poles of the stator core 28. Then, by applying a predetermined drive current to the drive coil 29, the rotor portion 27 is rotationally biased, and the spline nut 23, which is the first nut, and The rotary encoder RE2 is rotationally driven at a predetermined rotation angle.
【００１７】 第１のモータＭ１の固定子コア２５の端面には、内周にボールねじナット２３ を嵌合固定した円筒状のナットホルダー３０、及び側板３１がネジ３２によって 一体連結されている。また、第２のモータＭ２の固定子コア２８の端面にも、内 周にスプラインナット２２を嵌合固定したナットホルダー３３、及び側板３４が ネジ３５によって一体連結されている。そして、ナットホルダー３０，３３、或 いは側板３４は、前述した直交Ｘ−Ｙロボット成いはスカラ型ロボットのアーム に取り付けられる。A cylindrical nut holder 30 having a ball screw nut 23 fitted and fixed to the inner periphery thereof and a side plate 31 are integrally connected to the end surface of the stator core 25 of the first motor M1 by screws 32. Further, a nut holder 33 having the spline nut 22 fitted and fixed to the inner periphery thereof and a side plate 34 are integrally connected to the end surface of the stator core 28 of the second motor M2 by screws 35. Then, the nut holders 30, 33 or the side plates 34 are attached to the arms of the orthogonal XY robot or SCARA type robot described above.
【００１８】 以上の構成からなる一軸複合動作ユニットにおいて、本考案は、連結部材の開 口端に隣接した他の回転体もしくは固定体との間に形成される隙間に、防塵用の シール手段を配設したものである。即ち、上記第１の連結部材３６の開口端には 上記第２の連結部材３７の開口端側に嵌挿したラビリンス構造のシール部４０が 設けられている。このシール部４０は内面を第２の連結部材３７に対し、僅かな 隙間をもって非接触状態で対向させている。このため、軸２１に付着した油脂等 が封止状態となり、この結果、ロータリーエンコーダＲＥ１やＲＥ２への油脂等 の飛散が未然に防止されると共に、ロータリーエンコーダの信頼性が向上する。In the uniaxial compound motion unit having the above structure, the present invention provides a dustproof sealing means in a gap formed between another rotating body or a fixed body adjacent to the opening end of the connecting member. It is arranged. That is, a seal portion 40 having a labyrinth structure is provided at the opening end of the first connecting member 36 and is inserted into the opening end side of the second connecting member 37. The inner surface of the sealing portion 40 faces the second connecting member 37 in a non-contact state with a slight gap. As a result, the oil and the like attached to the shaft 21 is sealed, and as a result, the oil and the like are prevented from being scattered on the rotary encoders RE1 and RE2, and the reliability of the rotary encoder is improved.
【００１９】 次に、かかる一軸複合動作ユニットの動作を説明する。今、第１のモータＭ１ を回転させると、ロータ部２４に連結した第１の連結部材３６を介してボールね じナット２３が直接回転する。ボールねじナット２３は軸２１のねじ溝２１ａに 係合しているので、軸２１が軸方向であるＺ軸方向に移動する。また、軸２１の 移動寸法はロータリーエンコーダＲＥ１の出力信号によって正確に決められる。Next, the operation of the uniaxial compound motion unit will be described. Now, when the first motor M1 is rotated, the ball screw nut 23 is directly rotated via the first connecting member 36 connected to the rotor portion 24. Since the ball screw nut 23 is engaged with the screw groove 21a of the shaft 21, the shaft 21 moves in the Z-axis direction which is the axial direction. Further, the moving dimension of the shaft 21 is accurately determined by the output signal of the rotary encoder RE1.
【００２０】 一方、第２のモータＭ２を回転させると、ロータ部２７に連結した第２の連結 部材３７を介してスプラインナット２２が直接回転する。スプラインナット２２ は軸２１のスプライン溝２１ｂに係合しているので、この回転によって軸２１が 周方向であるθ軸方向に回転する。この回転角度もロータリーエンコーダＲＥ２ の出力信号によって正確に決定される。On the other hand, when the second motor M2 is rotated, the spline nut 22 is directly rotated via the second connecting member 37 connected to the rotor portion 27. Since the spline nut 22 is engaged with the spline groove 21b of the shaft 21, this rotation causes the shaft 21 to rotate in the θ-axis direction which is the circumferential direction. This rotation angle is also accurately determined by the output signal of the rotary encoder RE2.
【００２１】 ところで、前述した例は、上記第１の連結部材３６と、上記第２の連結部材３ ７の開口端の間にラビリンス構造のシール部４０を設けている。しかし、連結部 材の開口端に隣接して形成される隙間が、ロータリーエンコーダの近傍のボール ねじナットやスプラインナット、或いはモータ等の他の回転体、もしくは、ナッ トホルダーや側板等の固定体との間に形成される場合には、これらの隙間にラビ リンス構造のシール部４０を設けるようにしてもよいことは勿論である。By the way, in the above-described example, the labyrinth structure seal portion 40 is provided between the open ends of the first connecting member 36 and the second connecting member 37. However, the gap that is formed adjacent to the open end of the connecting member is a ball screw nut or spline nut near the rotary encoder, another rotating body such as a motor, or a fixed body such as a nut holder or side plate. Of course, when it is formed between them, the seal portion 40 having the labyrinth structure may be provided in these gaps.
【００２２】 尚、上述の実施例は一例を示すもので、第１のナットはボールねじナットに限 らず、一般的なねじとナットの構成であっても良く、また、モータをステッピン グモータの構成とする等、本考案を逸脱しない範囲で種々変更可能である。It should be noted that the above-described embodiment is merely an example, and the first nut is not limited to a ball screw nut, and may have a general screw and nut configuration. Various changes can be made to the configuration and the like without departing from the scope of the present invention.
【００２３】[0023]
以上の説明から明らかなように、本考案の一軸複合動作ユニットの防塵構造に よれば、連結部材の開口端に隣接した他の回転体もしくは固定体との間に形成さ れる隙間に、防塵用のシール手段が配設されるので、軸に付着した油脂等はシー ル手段によって封止状態とすることができ、ロータリーエンコーダへの飛散を未 然に防止できる。このため、ロータリーエンコーダの信頼性を一段と向上するこ とができる利点がある。 As is clear from the above description, according to the dustproof structure of the uniaxial compound operation unit of the present invention, the dustproof structure is formed in the gap formed between the rotating end and the fixed end adjacent to the opening end of the connecting member. Since the sealing means is provided, oil and the like attached to the shaft can be sealed by the sealing means, and scattering to the rotary encoder can be prevented in advance. Therefore, there is an advantage that the reliability of the rotary encoder can be further improved.
【００２４】[0024]
【図１】本考案の一軸複合動作ユニットの防塵構造の実
施例を示す断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view showing an embodiment of a dustproof structure of a uniaxial compound operation unit of the present invention.
【図２】従来の一軸複合動作ユニットを示す断面図であ
る。FIG. 2 is a sectional view showing a conventional uniaxial compound motion unit.
２１ 軸 ２１ａ ねじ溝 ２１ｂ スプライン溝 ２２ スプラインナット（第１のナット） ２３ ボールねじナット（第２のナット） ２４，２７ ロータ部 ２５，２８ 固定子コア ３６，３７ 連結部材 ４０ シール部 Ｍ１，Ｍ２ モータ 21 shaft 21a screw groove 21b spline groove 22 spline nut (first nut) 23 ball screw nut (second nut) 24, 27 rotor part 25, 28 stator core 36, 37 connecting member 40 seal part M1, M2 motor
Claims (1)
にナットを係合して上記軸を回転もしくは軸方向に移動
させ、このナットと回転駆動用のモータ及び記ロータリ
ーエンコーダとをパイプ状の連結部材によって連結して
一体に回転させ、上記連結部材を上記軸の周囲に嵌挿し
た一軸複合動作ユニットであって、上記連結部材の開口
端に隣接した他の回転体もしくは固定体との間に形成さ
れる隙間に、防塵用のシール手段を配設してなる一軸複
合動作ユニットの防塵構造。1. A groove such as a thread groove is provided on the outer circumference of a shaft, and a nut is engaged with the groove to rotate or move the shaft in the axial direction, and the nut, a rotation driving motor, and a rotary encoder. Is a uniaxial compound motion unit in which the above-mentioned connecting member is fitted around the above-mentioned shaft by connecting with a pipe-like connecting member and is integrally rotated. A dust-proof structure for a uniaxial compound operation unit in which a dust-proof seal means is disposed in a gap formed between the body and the body.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7696692U JPH0635720U (en) | 1992-10-12 | 1992-10-12 | Dust-proof structure of uniaxial compound motion unit |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7696692U JPH0635720U (en) | 1992-10-12 | 1992-10-12 | Dust-proof structure of uniaxial compound motion unit |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0635720U true JPH0635720U (en) | 1994-05-13 |
Family
ID=13620536
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7696692U Withdrawn JPH0635720U (en) | 1992-10-12 | 1992-10-12 | Dust-proof structure of uniaxial compound motion unit |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0635720U (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002266973A (en) * | 2001-03-12 | 2002-09-18 | Automax Kk | Electric cylinder |
| USRE45385E1 (en) | 2005-06-02 | 2015-02-24 | Ghalib Saad A | Wastewater treatment system |
| JP2015124864A (en) * | 2013-12-27 | 2015-07-06 | オリエンタルモーター株式会社 | Rotation and linear motion actuator |
-
1992
- 1992-10-12 JP JP7696692U patent/JPH0635720U/en not_active Withdrawn
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Legal Events
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| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19970306 |