JPH06331363A - Vibration gyroscope - Google Patents

Vibration gyroscope

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Publication number
JPH06331363A
JPH06331363A JP5148619A JP14861993A JPH06331363A JP H06331363 A JPH06331363 A JP H06331363A JP 5148619 A JP5148619 A JP 5148619A JP 14861993 A JP14861993 A JP 14861993A JP H06331363 A JPH06331363 A JP H06331363A
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JP
Japan
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vibrator
vibrating body
vibration
stem
vibrating
Prior art date
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Pending
Application number
JP5148619A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Akira Mori
章 森
Kenjiro Okaguchi
口 健 二 朗 岡
Takeshi Nakamura
村 武 中
Yoshiaki Hidenouchi
之 内 義 昭 幣
Kiyoshi Iwai
井 清 岩
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To obtain a vibration gyroscope which is limited in external effect, breakage by external impact, leakage of vibration and transmission of external vibration. CONSTITUTION:Support members 24a and 24b of a vibrator 12 are soldered on mounting base plates 26a and 26b. First and second regulation members 32 and 34 are arranged near a vibration body 14 of the vibrator 12. The mounting base plates 26a and 26b are mounted on a stem 40 through a buffer material 38. A terminal 50 piercing the stem 40 is connected to a piezo-electric element 16b of the vibrator 12 with a lead. A cap 52 is provided to cover the vibrator 12 or the like. The stem 40 and the cap 52 are welded to close the vibrator 12 or the like.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は振動ジャイロに関し、
特にたとえば、自動車のナビゲーションシステムやビデ
オカメラの手ぶれ防止用などに用いられる振動ジャイロ
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vibration gyro,
Particularly, for example, it relates to a vibration gyro used for preventing a camera shake of a navigation system of an automobile or a video camera.

【0002】[0002]

【従来の技術】図3は従来の振動ジャイロの一例を示す
斜視図であり、図4はその断面図である。この振動ジャ
イロ1は、正3角柱状の振動体2を含む。振動体2の3
つの側面の中央部には、それぞれ圧電素子3a,3b,
3cが形成される。さらに、振動体2のノード点付近の
稜線部には、支持部材4a,4bが取り付けられる。支
持部材4a,4bは、たとえば金属線をコ字状に折り曲
げて形成される。これらの支持部材4a,4bは、支持
板5に取り付けられる。
2. Description of the Related Art FIG. 3 is a perspective view showing an example of a conventional vibrating gyro, and FIG. 4 is a sectional view thereof. The vibrating gyro 1 includes a vibrating body 2 having a regular triangular prism shape. Vibrator 2 of 3
The piezoelectric elements 3a, 3b, and
3c is formed. Further, support members 4a and 4b are attached to the ridge portion near the node points of the vibrating body 2. The support members 4a and 4b are formed, for example, by bending a metal wire into a U-shape. These support members 4 a and 4 b are attached to the support plate 5.

【0003】この振動ジャイロ1では、圧電素子3a,
3bと圧電素子3cとの間に発振回路が接続される。圧
電素子3a,3b,3cと発振回路との接続は、リード
線によって行われる。この発振回路からの信号によっ
て、振動体2は圧電素子3c形成面に直交する向きに屈
曲振動する。この状態で、振動体2の軸を中心として回
転すると、コリオリ力によって振動体2の振動方向が変
わる。そのため、圧電素子3a,3bに発生する信号に
差が生じ、この出力信号の差を測定することによって、
回転角速度を検出することができる。
In this vibrating gyro 1, the piezoelectric elements 3a,
An oscillation circuit is connected between 3b and the piezoelectric element 3c. The piezoelectric elements 3a, 3b, 3c and the oscillation circuit are connected by lead wires. The oscillator 2 flexurally vibrates in a direction orthogonal to the surface on which the piezoelectric element 3c is formed by a signal from the oscillation circuit. When rotating around the axis of the vibrating body 2 in this state, the vibration direction of the vibrating body 2 changes due to the Coriolis force. Therefore, a difference occurs between the signals generated in the piezoelectric elements 3a and 3b, and by measuring the difference between the output signals,
The rotational angular velocity can be detected.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな振動ジャイロでは、振動子が常に外気に接触してい
るため、温度や湿度などの変化による特性の変化などの
影響を受けやすい。また、支持部材は細い金属線などで
形成されているため、外部からの衝撃などにより振動体
が大きく振れると、支持部材が曲がるなどの塑性変形が
発生する。さらに、圧電素子と回路との接続はリード線
を引き回すことによって行われるため、リード線から振
動体の振動が漏れたり、外部からの振動がリード線から
振動体に伝わって影響を及ぼしたりすることがある。
However, in such a vibrating gyroscope, since the vibrator is always in contact with the outside air, it is easily affected by changes in characteristics due to changes in temperature and humidity. Moreover, since the supporting member is formed of a thin metal wire or the like, when the vibrating body vibrates greatly due to an external impact or the like, plastic deformation such as bending of the supporting member occurs. Furthermore, since the connection between the piezoelectric element and the circuit is performed by laying around the lead wire, the vibration of the vibrating body may leak from the lead wire, or the vibration from the outside may be transmitted from the lead wire to the vibrating body and affect it. There is.

【0005】それゆえに、この発明の主たる目的は、外
部の影響が少なく、外部からの衝撃による破損が少な
く、また振動漏れや外部の振動の伝達が少ない振動ジャ
イロを提供することである。
Therefore, a main object of the present invention is to provide a vibrating gyro that is less influenced by the outside, less damaged by an impact from the outside, and has less vibration leakage and transmission of external vibration.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】この発明は、柱状の振動
体を有する振動子と、振動体の近傍に配置されて外部か
らの衝撃による前記振動体の振れを抑制するための制止
部材と、振動子および制止部材を収納して密閉するため
のケースと、ケースを貫通するように形成され、振動子
に電気的に接続される端子とを含む、振動ジャイロであ
る。
According to the present invention, there is provided a vibrator having a columnar vibrating body, and a stop member arranged near the vibrating body for suppressing the vibration of the vibrating body due to an impact from the outside. A vibrating gyro that includes a case for accommodating and sealing a vibrator and a stopping member, and a terminal formed to penetrate the case and electrically connected to the vibrator.

【0007】[0007]

【作用】ケースによって、振動子が外部と遮断される。
また、制止部材によって、振動体が振れる範囲が限定さ
れる。さらに、ケース内部で振動子と端子とが電気的に
接続されるため、外部回路と振動子との接続は端子を介
して行うことができ、長いリード線を必要としない。
[Function] The vibrator is shielded from the outside by the case.
Moreover, the range in which the vibrating body shakes is limited by the restraining member. Furthermore, since the vibrator and the terminal are electrically connected inside the case, the external circuit and the vibrator can be connected via the terminal, and a long lead wire is not required.

【0008】[0008]

【発明の効果】この発明によれば、振動子が外部と遮断
されるため、温度や湿度の影響を受けにくく、安定した
特性を得ることができる。また、振動体が振れる範囲が
限定されるため、外部からの衝撃によって振動体が動く
ことによる振動ジャイロの破損を防止することができ
る。さらに、長いリード線を引き回す必要がないため、
振動子の振動の漏れが少なく、また外部の振動がリード
線を介して振動子に影響を与えることを防止することが
できる。
According to the present invention, since the vibrator is shielded from the outside, it is difficult to be affected by temperature and humidity and stable characteristics can be obtained. Further, since the range in which the vibrating body vibrates is limited, it is possible to prevent damage to the vibrating gyro due to the vibrating body moving due to an external impact. Furthermore, it is not necessary to run long lead wires,
It is possible to prevent the vibration of the vibrator from leaking, and to prevent external vibration from affecting the vibrator via the lead wire.

【0009】この発明の上述の目的,その他の目的,特
徴および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳
細な説明から一層明らかとなろう。
The above-mentioned objects, other objects, features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description of the embodiments with reference to the drawings.

【0010】[0010]

【実施例】図1はこの発明の一実施例を示す分解斜視図
である。振動ジャイロ10は、振動子12を含む。振動
子12は、たとえば正3角柱状に形成された振動体14
を含む。振動体14は、たとえばエリンバ,鉄−ニッケ
ル合金,石英,ガラス,水晶,セラミックなど、一般的
に機械的な振動を生じる材料で形成される。
1 is an exploded perspective view showing an embodiment of the present invention. The vibrating gyro 10 includes a vibrator 12. The vibrator 12 is, for example, a vibrating body 14 formed in a regular triangular prism shape.
including. The vibrating body 14 is formed of a material that generally causes mechanical vibration, such as elinvar, iron-nickel alloy, quartz, glass, crystal, or ceramic.

【0011】振動体14の3つの側面の中央部には、図
2に示すように、それぞれ圧電素子16a,16b,1
6cが形成される。圧電素子16aは、たとえば圧電セ
ラミックなどからなる圧電層18aを含む。この圧電層
18aの両面には、電極20a,22aが形成される。
そして、一方の電極22aが、振動体14の側面に接着
される。同様に、圧電素子16b,16cは圧電層18
b,18cを含み、その両面に電極20b,22bおよ
び電極20c,22cが形成される。そして、それらの
圧電素子16b,16cの一方の電極22b,22c
が、振動体14の側面に接着される。
As shown in FIG. 2, piezoelectric elements 16a, 16b, 1 are provided at the central portions of the three side surfaces of the vibrating body 14, respectively.
6c is formed. The piezoelectric element 16a includes a piezoelectric layer 18a made of, for example, piezoelectric ceramic. Electrodes 20a and 22a are formed on both surfaces of the piezoelectric layer 18a.
Then, the one electrode 22a is bonded to the side surface of the vibrating body 14. Similarly, the piezoelectric elements 16b and 16c are the piezoelectric layers 18
b, 18c, and electrodes 20b, 22b and electrodes 20c, 22c are formed on both surfaces thereof. Then, one of the electrodes 22b, 22c of the piezoelectric elements 16b, 16c is
Are bonded to the side surface of the vibrating body 14.

【0012】振動体14のノード点付近の稜線部には、
支持部材24a,24bが取り付けられる。支持部材2
4a,24bは、たとえば金属線をコ字状に折り曲げる
ことによって形成される。これらの支持部材24a,2
4bの中央部が、たとえば溶接などによって、振動体1
2の稜線部分に取り付けられる。そして、支持部材24
a,24bの端部は、それぞれ取り付け基板26a,2
6bに固着される。
At the ridgeline near the node of the vibrating body 14,
The support members 24a and 24b are attached. Support member 2
4a and 24b are formed, for example, by bending a metal wire into a U-shape. These support members 24a, 2
The central part of 4b is made into a vibrating body 1 by welding or the like.
It is attached to the ridge part of 2. And the support member 24
The ends of a and 24b are attached to the mounting boards 26a and 2b, respectively.
It is fixed to 6b.

【0013】取り付け基板26a,26bは、絶縁材料
で矩形板状に形成される。一方の取り付け基板26aに
は、複数の孔28が形成され、それらの孔28の周囲お
よび内面には金属層が形成される。また、他方の取り付
け基板26bにも複数の孔30が形成され、それらの孔
30の周囲および内面に金属層が形成される。一方の支
持部材24aは、取り付け基板26aの孔28に挿入さ
れ、その孔28に形成された金属層にはんだ付けされ
る。また、他方の支持部材24bは、取り付け基板26
bの孔30に挿入され、その孔30に形成された金属層
にはんだ付けされる。
The mounting substrates 26a and 26b are made of an insulating material and are formed into a rectangular plate shape. A plurality of holes 28 are formed in the one mounting substrate 26a, and a metal layer is formed around and inside the holes 28. A plurality of holes 30 are also formed in the other mounting substrate 26b, and a metal layer is formed around and around the holes 30. One support member 24a is inserted into the hole 28 of the mounting substrate 26a and soldered to the metal layer formed in the hole 28. The other supporting member 24b is attached to the mounting substrate 26.
It is inserted into the hole 30 of b and is soldered to the metal layer formed in the hole 30.

【0014】振動体14の近傍には、第1の制止部材3
2および第2の制止部材34が取り付けられる。第1の
制止部材32は、取り付け基板26a,26bに1つず
つ取り付けられる。第1の制止部材32はたとえば金属
板で形成され、略コ字状に形成される。そして、2つの
支持部材24a,24bの間において、振動体14の幅
方向の両側および下方に間隔を隔てて配置される。第1
の制止部材32には2つの突起部が形成され、その突起
部が取り付け基板26aの孔28および取り付け基板2
6bの孔30に挿入される。そして、それらの孔28,
30に形成された金属層に、はんだ付けされる。
In the vicinity of the vibrating body 14, the first stopping member 3
2 and the second stop member 34 are attached. The 1st stop member 32 is attached to the attachment boards 26a and 26b one by one. The first stopping member 32 is formed of, for example, a metal plate, and is formed in a substantially U shape. Then, between the two support members 24a and 24b, they are arranged on both sides and below in the width direction of the vibrating body 14 with a space therebetween. First
Two protrusions are formed on the restraining member 32 of, and the protrusions are formed in the hole 28 of the mounting substrate 26a and the mounting substrate 2
6b is inserted in the hole 30. And those holes 28,
Soldered to the metal layer formed on 30.

【0015】第2の制止部材34は、振動体14の長手
方向の両端部に間隔を隔てて配置される。第2の制止部
材34は、振動体14の側部に配置される2つの側部材
34aを含む。側部材34aは、圧電素子16a,16
bが形成された振動体14の側面に沿う斜めの壁面を有
し、その斜めの壁面から取り付け基板26a,26b方
向に延びている。そして、取り付け基板26a,26b
に固定するための折り曲げ部34bが形成される。2つ
の側部材34aは、連結板34cで連結される。この連
結板34cが、振動体14の長手方向の両端で振動体1
4と間隔を隔てて配置される。第2の制止部材34は、
たとえば金属などで形成され、取り付け基板26a,2
6bにはんだ付けされる。なお、取り付け基板26a,
26bには、第2の制止部材34をはんだ付けするため
の金属層36が形成される。
The second restraining members 34 are arranged at both ends of the vibrating body 14 in the longitudinal direction with a space. The second stop member 34 includes two side members 34 a arranged on the side portion of the vibrating body 14. The side member 34a includes the piezoelectric elements 16a and 16a.
It has an oblique wall surface along the side surface of the vibrating body 14 in which b is formed, and extends from the oblique wall surface in the mounting substrate 26a, 26b direction. Then, the mounting boards 26a and 26b
A bent portion 34b for fixing to is formed. The two side members 34a are connected by a connecting plate 34c. This connecting plate 34c is provided at both ends of the vibrating body 14 in the longitudinal direction of the vibrating body 1.
It is arranged at a distance from 4. The second stop member 34 is
The mounting boards 26a, 2 are made of, for example, metal.
6b is soldered. The mounting board 26a,
A metal layer 36 for soldering the second restraint member 34 is formed on 26b.

【0016】2つの取り付け基板26a,26bは、緩
衝材38を介して、ケースの一部を形成するステム40
に取り付けられる。緩衝材38としては、たとえばシリ
コン発泡体などのような、接着性のあるものが使用され
る。緩衝材38の中央部には4角形状の貫通孔42が形
成され、この貫通孔42の両側に2つの取り付け基板2
6a,26bが配置される。さらに、緩衝材38には、
後述の端子を挿通するための複数の孔44が形成され
る。
The two mounting boards 26a and 26b are provided with a cushioning member 38 and a stem 40 forming a part of the case.
Attached to. As the cushioning material 38, an adhesive material such as silicone foam is used. A quadrangular through hole 42 is formed in the center of the cushioning material 38, and the two mounting boards 2 are provided on both sides of the through hole 42.
6a and 26b are arranged. Further, the cushioning material 38 includes
A plurality of holes 44 for inserting terminals described later are formed.

【0017】ステム40はたとえば矩形板状に形成さ
れ、その幅方向の両側に固定板46が形成される。固定
板46には、ねじなどでステム40を他の基板などに取
り付けるための孔48が形成される。さらに、ステム4
0を貫通するようにして、複数の端子50が形成され
る。端子50は、緩衝材38の孔44および取り付け基
板26aの孔28を貫通して、振動子12側に露出され
る。これらの端子50と振動子12の圧電素子16a,
16b,16cとが、リード線(図示せず)で接続され
る。
The stem 40 is formed in a rectangular plate shape, for example, and the fixing plates 46 are formed on both sides in the width direction thereof. The fixing plate 46 is formed with a hole 48 for attaching the stem 40 to another substrate or the like with a screw or the like. In addition, stem 4
A plurality of terminals 50 are formed so as to pass through 0. The terminal 50 penetrates the hole 44 of the cushioning material 38 and the hole 28 of the mounting substrate 26a and is exposed to the vibrator 12 side. These terminals 50 and the piezoelectric element 16a of the vibrator 12,
16b and 16c are connected by a lead wire (not shown).

【0018】さらに、振動子12,制止部材32,3
4,取り付け基板26a,26bおよび緩衝材38など
を覆うようにして、箱状のキャップ52が被せられる。
キャップ52はステム40に溶接され、振動子12など
は密閉される。このように、ステム40とキャップ52
とで、ケースが形成される。
Further, the vibrator 12, the stopping members 32, 3
4, a box-shaped cap 52 is covered so as to cover the mounting substrates 26a and 26b, the cushioning material 38, and the like.
The cap 52 is welded to the stem 40 to seal the vibrator 12 and the like. Thus, the stem 40 and the cap 52
A case is formed by.

【0019】この振動ジャイロ10を使用するには、圧
電素子16a,16bと圧電素子16cとの間に、発振
回路が接続される。この発振回路からの信号によって、
振動体14は、圧電素子16c形成面に直交する向きに
屈曲振動する。このとき、圧電素子16aと圧電素子1
6bから得られる出力信号は同じであり、出力信号の差
を測定すれば0となる。そして、振動体14の軸を中心
として回転すると、コリオリ力によって振動方向が変わ
り、圧電素子16a,16bの出力信号に差が生じる。
したがって、圧電素子16a,16bの出力信号の差を
測定すれば、回転角速度を検出することができる。
To use this vibrating gyro 10, an oscillation circuit is connected between the piezoelectric elements 16a and 16b and the piezoelectric element 16c. By the signal from this oscillation circuit,
The vibrating body 14 flexurally vibrates in a direction orthogonal to the surface on which the piezoelectric element 16c is formed. At this time, the piezoelectric element 16a and the piezoelectric element 1
The output signals obtained from 6b are the same and are 0 when the difference between the output signals is measured. When the vibrating body 14 is rotated about its axis, the Coriolis force changes the vibrating direction, which causes a difference in the output signals of the piezoelectric elements 16a and 16b.
Therefore, the rotational angular velocity can be detected by measuring the difference between the output signals of the piezoelectric elements 16a and 16b.

【0020】この振動ジャイロ10では、ステム40と
キャップ52とで形成されるケースで、振動子12が密
閉されているため、温度や湿度などの外部環境の変化の
影響を受けにくい。そのため、外部環境の変化による特
性の劣化を少なくすることができる。また、振動体14
の周囲に第1の制止部材32および第2の制止部材34
が配置されているため、外部から衝撃が加わっても振動
体14が大きく移動しない。そのため、外部からの衝撃
による支持部材24a,24bの曲がりなどの塑性変形
を防止することができる。
In this vibrating gyro 10, the vibrator 12 is hermetically sealed in the case formed by the stem 40 and the cap 52, so that it is hardly affected by changes in the external environment such as temperature and humidity. Therefore, the deterioration of the characteristics due to the change of the external environment can be reduced. In addition, the vibrating body 14
Around the circumference of the first stop member 32 and the second stop member 34
The vibrating body 14 does not move significantly even if an external impact is applied. Therefore, it is possible to prevent plastic deformation such as bending of the support members 24a and 24b due to an external impact.

【0021】さらに、振動子12を駆動するための発振
回路や回転角速度を検出するための検出回路などは、ス
テム40を貫通する端子50を介して振動子12に接続
されるため、リード線を長く引き回す必要がない。その
ため、振動体14の振動がリード線から漏れるのを防ぐ
ことができ、またリード線を介して外部の振動が振動子
12に伝わることも防ぐことができる。したがって、安
定した振動を得ることができ、特性の優れた振動ジャイ
ロを得ることができる。
Further, since the oscillation circuit for driving the vibrator 12 and the detection circuit for detecting the rotational angular velocity are connected to the vibrator 12 via the terminal 50 penetrating the stem 40, the lead wire is not used. There is no need to run around for a long time. Therefore, it is possible to prevent the vibration of the vibrating body 14 from leaking from the lead wire, and also to prevent the external vibration from being transmitted to the vibrator 12 via the lead wire. Therefore, stable vibration can be obtained, and a vibration gyro with excellent characteristics can be obtained.

【0022】なお、上述の実施例では、支持部材,制止
部材,端子およびキャップなどは、はんだ付けまたは溶
接によって固定されたが、たとえば接着剤を用いるな
ど、別の方法で固定してもよい。また、振動体14の形
状としては、4角柱状や円柱状など他の柱状に形成され
てもよい。さらに、振動体14を圧電体で形成し、振動
体14の側面に電極を形成した振動子を使用してもよ
い。
In the above-mentioned embodiment, the supporting member, the stopping member, the terminal, the cap and the like are fixed by soldering or welding, but they may be fixed by another method such as using an adhesive. Further, the vibrating body 14 may be formed in another columnar shape such as a quadrangular prismatic shape or a cylindrical shape. Further, a vibrator in which the vibrating body 14 is formed of a piezoelectric body and electrodes are formed on the side surfaces of the vibrating body 14 may be used.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明の一実施例を示す分解斜視図である。FIG. 1 is an exploded perspective view showing an embodiment of the present invention.

【図2】図1に示す振動ジャイロに用いられる振動子の
断面図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view of a vibrator used in the vibrating gyro shown in FIG.

【図3】従来の振動ジャイロの一例を示す斜視図であ
る。
FIG. 3 is a perspective view showing an example of a conventional vibrating gyro.

【図4】図3に示す従来の振動ジャイロの断面図であ
る。
4 is a cross-sectional view of the conventional vibrating gyro shown in FIG.

【符号の説明】 10 振動ジャイロ 12 振動子 14 振動体 24a,24b 支持部材 26a,26b 取り付け基板 32 第1の制止部材 34 第2の制止部材 38 緩衝材 40 ステム 50 端子 52 キャップ[Explanation of reference numerals] 10 vibrating gyro 12 vibrator 14 vibrating body 24a, 24b support member 26a, 26b mounting substrate 32 first blocking member 34 second blocking member 38 cushioning material 40 stem 50 terminal 52 cap

フロントページの続き (72)発明者 幣 之 内 義 昭 京都府長岡京市天神2丁目26番10号 株式 会社村田製作所内 (72)発明者 岩 井 清 京都府長岡京市天神2丁目26番10号 株式 会社村田製作所内Front page continuation (72) Inventor Yoshinobu Yoshinouchi, Yoshioka, Nagaokakyo, Kyoto Prefecture 2 26-10 Tenjin Co., Ltd. Murata Manufacturing Co., Ltd. (72) Inventor, Kiyoshi Iwai 2 26-10 Tenjin, Nagaokakyo, Kyoto Stock Murata Manufacturing Co., Ltd.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 柱状の振動体を有する振動子、 前記振動体の近傍に配置されて外部からの衝撃による前
記振動体の振れを抑制するための制止部材、 前記振動子および前記制止部材を収納して密閉するため
のケース、および前記ケースを貫通するように形成さ
れ、前記振動子に電気的に接続される端子を含む、振動
ジャイロ。
1. A vibrator having a columnar vibrating body, a restraining member arranged near the vibrating body for suppressing vibration of the vibrating body due to an external impact, and the vibrating body and the restraining member are housed. And a case for hermetically sealing, and a terminal formed to penetrate the case and electrically connected to the vibrator.
JP5148619A 1993-05-26 1993-05-26 Vibration gyroscope Pending JPH06331363A (en)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2001020258A1 (en) * 1999-09-10 2001-03-22 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Angular velocity sensor
US6680559B2 (en) 2001-03-26 2004-01-20 Murata Manufacturing Co., Ltd. Vibration gyroscope and electronic device using the same

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