JPH06319208A - Levitation type conveying apparatus - Google Patents
Levitation type conveying apparatusInfo
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- JPH06319208A JPH06319208A JP5722694A JP5722694A JPH06319208A JP H06319208 A JPH06319208 A JP H06319208A JP 5722694 A JP5722694 A JP 5722694A JP 5722694 A JP5722694 A JP 5722694A JP H06319208 A JPH06319208 A JP H06319208A
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B60—VEHICLES IN GENERAL
- B60L—PROPULSION OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; SUPPLYING ELECTRIC POWER FOR AUXILIARY EQUIPMENT OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRODYNAMIC BRAKE SYSTEMS FOR VEHICLES IN GENERAL; MAGNETIC SUSPENSION OR LEVITATION FOR VEHICLES; MONITORING OPERATING VARIABLES OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRIC SAFETY DEVICES FOR ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES
- B60L2200/00—Type of vehicles
- B60L2200/26—Rail vehicles
Landscapes
- Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
- Linear Motors (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、小物類を搬送する浮上
式搬送装置に係り、特に、省エネルギ、省スペース化を
図れるようにした浮上式搬送装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a levitation type conveyance device for conveying small items, and more particularly to a levitation type conveyance device capable of saving energy and space.
【0002】[0002]
【従来の技術】近年、オフィスオートメーション、ファ
クトリーオートメーションの一環として、建屋内の複数
の地点間において、伝票、書類、現金、資料等を搬送装
置を用いて移動させることが広く行われている。2. Description of the Related Art In recent years, as a part of office automation and factory automation, it has become widespread to move slips, documents, cash, materials and the like between a plurality of points in a building using a carrier device.
【0003】このような用途に用いられる搬送装置は、
搬送物を速やかに、かつ静かに移動させ得るものである
ことが要求される。このため、この種の搬送装置におい
ては、ガイドレール上で搬送車を非接触に支持すること
が行われている。The transport device used for such an application is
It is required that the transported object can be moved quickly and quietly. Therefore, in this type of transfer device, the transfer vehicle is supported on the guide rails in a non-contact manner.
【0004】搬送車を非接触に支持するには、空気力や
磁気力を用いるのが一般的である。中でも搬送車を磁気
力で支持する方式は、ガイドレールに対する追従性や、
騒音低減効果に優れており、最も有望な支持手段である
といえる。To support the transport vehicle in a non-contact manner, it is general to use pneumatic force or magnetic force. Among them, the method of supporting the carrier vehicle with magnetic force is
It has excellent noise reduction effect and can be said to be the most promising support means.
【0005】ところで、搬送車を磁気力で支持するよう
にした従来の浮上式搬送装置は、搬送車を電磁石で支持
し、この電磁石への励磁電流を制御することによって搬
送車を安定に支持するようにしている。したがって、電
磁石のコイルを常時付勢しなければならず、消費電力が
大きいという欠点を回避することができなかった。By the way, in the conventional levitation type carrier device in which a carrier vehicle is supported by magnetic force, the carrier vehicle is supported by an electromagnet, and the carrier current is stably supported by controlling an exciting current to the electromagnet. I am trying. Therefore, the coil of the electromagnet must be constantly energized, and the drawback of high power consumption cannot be avoided.
【0006】そこで、電磁石に要求される磁気力の大部
分を永久磁石で付与し、消費電力の低減化を図るように
した装置も考えられている。しかし、この場合でも、例
えば搬送すべき物を搬送車に搭載するなどして、搬送車
に外力が作用する場合には、定常位置へ搬送車を押し戻
そうとする力を常時電磁石で与える必要があるため、こ
れによる消費電力の増大が問題であった。また、このよ
うに搬送車へ外力が作用することによって電磁石に付与
する電力が大きくなると、電磁石を付勢するための電源
として大容量の電源を使用しなければならず、結局、装
置全体の大型化を招くという問題があった。Therefore, there has been considered a device in which most of the magnetic force required for the electromagnet is applied by a permanent magnet to reduce the power consumption. However, even in this case, if an external force acts on the transport vehicle, for example, by mounting an object to be transported on the transport vehicle, it is necessary to constantly apply an electromagnet force to push the transport vehicle back to the steady position. Therefore, the increase in power consumption due to this is a problem. In addition, when the electric power applied to the electromagnet becomes large due to the external force acting on the transport vehicle in this way, a large-capacity power source must be used as a power source for activating the electromagnet, and as a result, the large size of the entire apparatus There was a problem of inviting.
【0007】[0007]
【発明が解決しようとする課題】上述の如く、磁気力を
用いて搬送車を非接触支持するようにした従来の浮上式
搬送装置にあっては、搬送車を浮上させるためのエネル
ギ消費が多いという問題があった。そこで本発明は、消
費電力の低減化を図れるばかりか、装置全体の単純化お
よび省スペース化を図れる浮上式搬送装置を提供するこ
とを目的にしている。As described above, in the conventional levitation type carrier device in which the carrier vehicle is supported in a non-contact manner by using the magnetic force, much energy is consumed for levitating the carrier vehicle. There was a problem. Therefore, it is an object of the present invention to provide a levitation type transfer device which can reduce power consumption as well as simplify the entire device and save space.
【0008】[0008]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係る浮上式搬送装置は、少なくとも一部が
強磁性体で形成されたガイドレールと、このガイドレー
ルに沿って走行自在に配置された搬送車と、前記ガイド
レールと空隙を介して対向するように前記搬送車に取付
けられた複数の電磁石と、これら電磁石、前記ガイドレ
ールおよび前記空隙で構成される磁気回路中に配置され
るとともに前記搬送車に取付けられ、前記搬送車を浮上
させるのに必要な起磁力を供給する永久磁石と、前記搬
送車に取付けられて前記磁気回路中の変化を検出するセ
ンサ部およびこのセンサ部の出力に基づいて前記搬送車
に作用する外力の有無に拘らず前記電磁石に流れる励磁
電流の定常値を零にするように前記電磁石に流す励磁電
流を制御する制御部を有した制御装置と、前記搬送車に
搭載されて搬送車搭載要素への電力供給源となる電源と
を備えている。In order to achieve the above-mentioned object, a levitation type conveying apparatus according to the present invention is provided with a guide rail at least a part of which is made of a ferromagnetic material, and can freely travel along the guide rail. And a plurality of electromagnets attached to the carrier so as to face the guide rail via a gap, and arranged in a magnetic circuit composed of the electromagnets, the guide rails, and the gap. And a permanent magnet that is attached to the transport vehicle and supplies a magnetomotive force necessary to levitate the transport vehicle, a sensor unit that is attached to the transport vehicle and detects a change in the magnetic circuit, and this sensor. Control for controlling the exciting current flowing through the electromagnet so as to make the steady value of the exciting current flowing through the electromagnet zero regardless of the presence or absence of an external force acting on the transport vehicle based on the output of the section. A control device having a, and a power supply as a power supply source for the mounting has been guided vehicle mounting element to the transport vehicle.
【0009】[0009]
【作用】本発明を説明するに当り、まず本装置における
制御方式がいかなる根拠に基づくものかを説明する。図
6には本装置における磁気支持部の代表的な構成が示さ
れている。In explaining the present invention, the basis of the control method in this apparatus will be described first. FIG. 6 shows a typical configuration of the magnetic support portion in this device.
【0010】すなわち、図中1はガイドレールであり、
このガイドレールの下面に対向する部分には空隙Pを介
して2つの電磁石2,3が対向配置されている。これら
2つの電磁石2,3は、継鉄4,5にそれぞれコイル
6,7を巻装して構成されたものである。そして、両継
鉄4,5の一端側は、永久磁石8によって磁気的に結合
されている。コイル6,7は、励磁電流が流れたときに
互いに加算される向きの磁束を発生するように直列に接
続され、さらに電源9に接続されたものとなっている。
そして、電磁石2,3、永久磁石8および電源9は、ガ
イドレール1に沿って走行する図示しない搬送車に取付
けられている。上記構成から判るように、継鉄4,5お
よび永久磁石8は、これらでU字状の磁芯を構成し、こ
の磁芯の両磁極面がガイドレール1の下面に対向するよ
うに搭載されていることになる。That is, in the figure, 1 is a guide rail,
Two electromagnets 2 and 3 are arranged so as to face each other with a gap P in a portion facing the lower surface of the guide rail. These two electromagnets 2 and 3 are constructed by winding coils 6 and 7 around yokes 4 and 5, respectively. Then, one ends of both yokes 4 and 5 are magnetically coupled by a permanent magnet 8. The coils 6 and 7 are connected in series so as to generate magnetic fluxes that are added to each other when an exciting current flows, and further connected to a power source 9.
The electromagnets 2, 3, the permanent magnet 8 and the power source 9 are attached to a transport vehicle (not shown) that travels along the guide rail 1. As can be seen from the above configuration, the yokes 4, 5 and the permanent magnet 8 form a U-shaped magnetic core with these, and are mounted so that both magnetic pole surfaces of the magnetic core face the lower surface of the guide rail 1. Will be.
【0011】このように構成された磁気支持部におい
て、いまガイドレール1、空隙P、継鉄4,5、永久磁
石8からなる磁気回路について考察する。なお、簡単の
ために、この磁気回路における漏れ磁束は無視すること
にする。この磁気回路の磁気抵抗Rmは、 Rm={2z+(L/μS )}/μ0 S …(1) で表すことができる。ここに、μ0 は真空の透磁率、S
は磁気回路の断面積、zは空隙長、μS は空隙部分以外
の非透磁率、Lは空隙部分以外の磁気回路長である。In the magnetic support portion thus constructed, a magnetic circuit consisting of the guide rail 1, the air gap P, the yokes 4, 5, and the permanent magnet 8 will now be considered. For the sake of simplicity, the leakage magnetic flux in this magnetic circuit will be ignored. The magnetic resistance Rm of this magnetic circuit can be represented by Rm = {2z + (L / μ S )} / μ 0 S (1). Where μ 0 is the magnetic permeability of vacuum, S
Is the cross-sectional area of the magnetic circuit, z is the air gap length, μ S is the non-permeability other than the air gap portion, and L is the length of the magnetic circuit other than the air gap portion.
【0012】また、コイル6,7に励磁電流が流れてい
ない時に空隙Pに生じる磁界の強さをHm、永久磁石8
の長さをLm、コイル6,7の総巻数をN、コイル6,
7への励磁電流をIとすると、この磁気回路に発生する
全磁束Φは、 Φ=(NI+HmLm)/Rm …(2) となる。The strength of the magnetic field generated in the air gap P when the exciting current is not flowing through the coils 6 and 7 is Hm, and the permanent magnet 8 is
Is Lm, the total number of turns of the coils 6 and 7 is N, and the coil 6 is
If the exciting current to 7 is I, the total magnetic flux Φ generated in this magnetic circuit is Φ = (NI + HmLm) / Rm (2)
【0013】したがって、ガイドレール1と各継鉄4,
5との間に働く全吸引力Fは、 F=−S(Φ/S)2 /μ0 =−(NI+HmLm)2 /(μ0 Rm2 S) …(3) で表わせる。ここで、zで示す向きを重力方向として搬
送車の運動方程式を導くと、Therefore, the guide rail 1 and each yoke 4,
The total suction force F that acts between 5 and 5 can be expressed by F = −S (Φ / S) 2 / μ 0 = − (NI + HmLm) 2 / (μ 0 Rm 2 S) (3). Here, when the equation of motion of the carrier is derived with the direction indicated by z as the direction of gravity,
【0014】[0014]
【数1】 となる。なお、ここに、mは前記磁気支持部に加わる負
荷および当該磁気支持部の全質量、gは重力加速度であ
り、Umは搬送車に印加される外力の大きさである。[Equation 1] Becomes Here, m is the load applied to the magnetic support and the total mass of the magnetic support, g is the gravitational acceleration, and Um is the magnitude of the external force applied to the transport vehicle.
【0015】一方、直列に接続されたコイル6,7が鎖
交する磁束数ΦN は、 φN =(NI+HmLm)N/Rm …(5) であるから、コイル6,7の電圧方程式は、コイル6,
7の全抵抗をRとして、On the other hand, since the number of magnetic fluxes Φ N that the coils 6 and 7 connected in series interlink, is φ N = (NI + HmLm) N / Rm (5), the voltage equation of the coils 6 and 7 is Coil 6,
Let R be the total resistance of 7.
【0016】[0016]
【数2】 となる。[Equation 2] Becomes
【0017】ここで、Rmは、(1) 式から明らかなよう
に、空隙長zの関数である。そこで、いま、I=0の時
に吸引力Fと重力mgとが釣合う際のギャップ長をz
0 、全磁気抵抗をRm0 として、上記(5) ,(6) 式を空
隙長z=z0 、速度dz/dt =0、電流I=0の近傍で線
形化する。この場合、z,dz/dt ,Iは、Here, Rm is a function of the air gap length z, as is apparent from the equation (1). Therefore, the gap length when the suction force F and the gravity mg balance when I = 0 is z
0 and total magnetic resistance Rm 0 , the above equations (5) and (6) are linearized in the vicinity of the air gap length z = z 0 , velocity dz / dt = 0, and current I = 0. In this case, z, dz / dt and I are
【0018】[0018]
【数3】 で表わせる。そこで、上記(3) 式の吸引力Fを定常点
(z,dz/dt ,I)=(z0 ,0,0)の近傍で線形化
すると、[Equation 3] Can be expressed as Therefore, if the attraction force F in the above equation (3) is linearized near the steady point (z, dz / dt, I) = (z 0 , 0 , 0),
【0019】[0019]
【数4】 となり、[Equation 4] Next to
【0020】[0020]
【数5】 とおくと、[Equation 5] If you put it
【0021】[0021]
【数6】 となる。したがって、前記(4) 式は次のようにまとめる
ことができる。[Equation 6] Becomes Therefore, the above equation (4) can be summarized as follows.
【0022】[0022]
【数7】 同様に、前記(6) 式を定常点(z,dz/dt ,I)=(z
0 ,0,0)の近傍で線形化すると、[Equation 7] Similarly, the equation (6) is calculated by using the stationary point (z, dz / dt, I) = (z
When linearized near ( 0 , 0 , 0),
【0023】[0023]
【数8】 となる。上記(7) ,(8) 式は、次のような状態方程式に
まとめることができる。[Equation 8] Becomes The above equations (7) and (8) can be summarized in the following state equation.
【0024】[0024]
【数9】 ただし、a21,a23,a32,a33,b31,d21は、それ
ぞれ、[Equation 9] However, a 21 , a 23 , a 32 , a 33 , b 31 , and d 21 are respectively
【0025】[0025]
【数10】 である。ここで、簡単のため上記(9) 式を、[Equation 10] Is. Here, for simplicity, the above equation (9) is changed to
【0026】[0026]
【数11】 と表わす。この(10)式で表わされる線形システムは、一
般には不安定な系であるが、[Equation 11] Represents. The linear system represented by equation (10) is generally an unstable system,
【0027】[0027]
【数12】 印加電圧Eを種々の方法で求め、系にフィードバック制
御を施すことによって安定化を図ることができる。例え
ば、Cを出力行列(この場合単位行列)とし、印加電圧
を、[Equation 12] Stabilization can be achieved by obtaining the applied voltage E by various methods and applying feedback control to the system. For example, let C be an output matrix (in this case, an identity matrix), and apply voltage to
【0028】[0028]
【数13】 (ただし、F1 ,F2 ,F3 はフィードバック定数)と
すれば、(10)式は、[Equation 13] (However, if F 1 , F 2 , and F 3 are feedback constants), equation (10) becomes
【0029】[0029]
【数14】 となり、さらに、この(10)式をラプラス変換してxを求
めると、[Equation 14] Then, when Laplace transform of this equation (10) is used to obtain x,
【0030】[0030]
【数15】 となる。なお、ここに、lは単位行列、x0 はxの初期
値である。上記(13)式において、Umをステップ状の外
力とすれば、xの安定性は、状態推移行列Φ(s) すなわ
ち、[Equation 15] Becomes Here, l is an identity matrix and x 0 is an initial value of x. In the above equation (13), if Um is a step-like external force, the stability of x is the state transition matrix Φ (s), that is,
【0031】[0031]
【数16】 の行列式 det|Φ(s) |の特性根がsの複素平面上で全
て左半面上に保存すれば保障される。(9) 式の場合、Φ
(s) の特性方程式 det|Φ(s) |=0は、[Equation 16] It is guaranteed if the characteristic roots of the determinant det | Φ (s) of are all stored on the left half plane on the complex plane of s. In the case of equation (9), Φ
The characteristic equation det | Φ (s) | = 0 of (s) is
【0032】[0032]
【数17】 となる。[Equation 17] Becomes
【0033】したがって、F1 ,F2 ,F3 の値を適宜
決定することにより、 det|Φ(s)|=0の特性根の複
素平面上での配置を任意に決定することができ、磁気浮
上系の安定化を達成することができる。磁気支持部にこ
の様なフィードバック制御を施した場合の磁気浮上系の
ブロック図を図7に示す。すなわち、制御対象11に
は、フィードバックゲイン補償器12が付加されてい
る。なお、同図中yはCxを表す。Therefore, by appropriately determining the values of F 1 , F 2 and F 3 , the arrangement of the characteristic root of det│Φ (s) │ = 0 on the complex plane can be arbitrarily determined, Stabilization of the magnetic levitation system can be achieved. FIG. 7 shows a block diagram of a magnetic levitation system in the case where such feedback control is applied to the magnetic support portion. That is, the feedback gain compensator 12 is added to the controlled object 11. In the figure, y represents Cx.
【0034】このような磁気浮上系においては、ステッ
プ状の外力Umおよび印加電圧Eのバイアス電圧e0 の
変化に伴ない、系の安定状態時の空隙長偏差Δzおよび
電流偏差Δiに以下に示すような定常偏差ΔzS および
ΔiS が生じる。In such a magnetic levitation system, the air gap length deviation Δz and the current deviation Δi in the stable state of the system are shown below in accordance with changes in the step-like external force Um and the bias voltage e 0 of the applied voltage E. Such stationary deviations Δz S and Δi S occur.
【0035】[0035]
【数18】 [Equation 18]
【0036】本発明装置では、上記(16)、(17)式で表さ
れる定常偏差のうち、電流定常偏差ΔiS をステップ状
の外力Umの有無に拘らず零にするように、磁気支持部
にフィードバック制御を施すようにしている。In the device of the present invention, among the steady-state deviations represented by the above equations (16) and (17), the magnetic steady-state deviation Δi S is set to be zero regardless of the presence or absence of the step-like external force Um. It is designed to give feedback control to the section.
【0037】本発明は、このように電流定常偏差ΔiS
を零に制御するため、例えば次のような制御方法を採用
したものとなっている。 (A) 外力Umを状態観測器によって観測し、この観測値
Umに適当なゲインを持たせて磁気浮上系にフィードバ
ックする方法、(B) ギャップ長偏差Δz、その時間微分
である速度偏差、および電流偏差Δiに全てが同時に零
でない適当なゲインを持たせ、それぞれの値をsの一次
系を構成するフィルタを介して磁気浮上系にフィードバ
ックする方法、(C) 電流偏差Δiを積分補償器を用いて
積分し、その出力値に適当なゲインを持たせて磁気浮上
系にフィードバックする方法、(D) 上記(A) ,(B) ある
いは(C) の方法を併用する方法、等である。According to the present invention, the steady current deviation Δi S
In order to control 0 to zero, for example, the following control method is adopted. (A) A method of observing the external force Um by a state observing device, feeding this observed value Um with an appropriate gain and feeding it back to the magnetic levitation system, (B) Gap length deviation Δz, its time derivative, the speed deviation, and A method in which the current deviation Δi has an appropriate gain that is not all zero at the same time, and the respective values are fed back to the magnetic levitation system via a filter that constitutes the primary system of s, (C) the current deviation Δi is integrated by a compensator. It is a method of performing integration by using it, feeding the output value with an appropriate gain and feeding it back to the magnetic levitation system, a method of using (D) above (A), (B) or (C) together.
【0038】ここでは、一例として、(C) の方法につい
て説明する。上記(C) の方法を用いた磁気浮上系のブロ
ック図は図8に示される。すなわち、上記の方法は、前
述したフィードバックゲイン補償器12に加え、さらに
積分補償器13を付加したものとなっている。この積分
補償器13のゲインKは、K=〔0,0,K3 〕で表わ
される行列であり、K3 は電流偏差Δiの積分ゲインで
ある。したがって、この磁気浮上系における印加電圧E
は、Here, the method (C) will be described as an example. A block diagram of a magnetic levitation system using the method (C) is shown in FIG. That is, in the above method, in addition to the feedback gain compensator 12 described above, the integral compensator 13 is added. The gain K of the integral compensator 13 is a matrix represented by K = [0,0, K 3 ], and K 3 is the integral gain of the current deviation Δi. Therefore, the applied voltage E in this magnetic levitation system is
Is
【0039】[0039]
【数19】 で表わせる。前述と同様にして状態推移行列Φ(s) を求
めると、[Formula 19] Can be expressed as Obtaining the state transition matrix Φ (s) in the same way as above,
【0040】[0040]
【数20】 となる。外力Umを入力とし、y=Cxで表わされるy
を出力とした時の伝達関数G(s) は、[Equation 20] Becomes With the external force Um as input, y represented by y = Cx
When the output is, the transfer function G (s) is
【0041】[0041]
【数21】 ただし、 Δ(s) =s4 +(b31F3 −a33)s3 +{b31K3 −a21+a23(b31F2 −a32)}s2 +{a23b31F1 −a21(b31F3 −a33)}s −a21b31K3 …(21) と表わすことができる。[Equation 21] However, Δ (s) = s 4 + (b 31 F 3 −a 33 ) s 3 + {b 31 K 3 −a 21 + a 23 (b 31 F 2 −a 32 )} s 2 + {a 23 b 31 F 1 −a 21 (b 31 F 3 −a 33 )} s −a 21 b 31 K 3 (21)
【0042】伝達関数G(s) の特性根は、上記(21)式で
表わされるΔ(s) を、Δ(s) =0として求めることがで
き、F1 ,F2 ,F3 ,K3 を適宜決定することによ
り、図8の磁気浮上系の安定化を実現できる。ここで、
もし同図の磁気浮上系が安定であるとすれば、外力Um
に対する偏差電流Δiの応答は、ラプラス変換を用い
て、The characteristic root of the transfer function G (s) can be obtained by setting Δ (s) represented by the above equation (21) as Δ (s) = 0, and F 1 , F 2 , F 3 , K By appropriately determining 3 , the stabilization of the magnetic levitation system in FIG. 8 can be realized. here,
If the magnetic levitation system in the figure is stable, the external force Um
The response of the deviation current Δi to
【0043】[0043]
【数22】 と求めることができる。この(22)式において前記外力U
mがステップ状外力であることから、F0 を外力の大き
さとすれば、Um(s) =F0 /sとなり、(22)式は、[Equation 22] Can be asked. In this equation (22), the external force U
Since m is a step-like external force, if F 0 is the magnitude of the external force, then Um (s) = F 0 / s, and Eq. (22) becomes
【0044】[0044]
【数23】 [Equation 23]
【0045】結局、外力Um の有無に拘らず、電流定常
偏差ΔiS を零に近付ける手段は、現実に存在すること
は明らかである。なお、状態ベクトルxの各要素を検出
するには、例えば、(a) 全ての要素を適当なセンサを用
いて直接測定する方法、(b) 適当なギャップセンサ、速
度センサあるいは加速度センサ等のいずれか一つの出力
信号を、必要に応じて積分器あるいは微分器を用いて積
分または微分して、Δzやこれを時間微分した値などを
検出する方法、(c) 状態ベクトルのうちの2要素を(a)
または(b) の方法で検出し、残りの一つを必要であれば
前記外力Umと合わせて状態観測器で観測する方法など
が挙げられる。After all, it is clear that there is actually a means for bringing the steady-state current deviation Δi S close to zero regardless of the presence or absence of the external force Um. To detect each element of the state vector x, for example, (a) a method of directly measuring all the elements using an appropriate sensor, (b) an appropriate gap sensor, a speed sensor, an acceleration sensor, or the like Integrating or differentiating one output signal using an integrator or differentiator as needed to detect Δz or the time-differentiated value of it, etc. (c) Two elements of the state vector (a)
Alternatively, there may be mentioned a method of detecting by the method of (b) and observing the remaining one together with the external force Um by a state observing device if necessary.
【0046】また、本発明装置では、搬送車に搭載され
た要素への電力供給源となる電源も搬送車に搭載してい
るので、完全非接触浮上を実現し、この状態を持続でき
るとともに、配線の長さを最短にでき、配線における損
失を低減できるので、電源の負担を一層軽減することが
可能となる。Further, in the apparatus of the present invention, since the power source for supplying electric power to the elements mounted on the carrier vehicle is also mounted on the carrier vehicle, the complete non-contact levitation can be realized and this state can be maintained. Since the length of the wiring can be minimized and the loss in the wiring can be reduced, the load on the power supply can be further reduced.
【0047】[0047]
【実施例】以下、図面を参照しながら実施例を説明す
る。図1乃至図3には本発明の一実施例に係る浮上式搬
送装置が示されている。これらの図において、番号21
は少なくとも下面部分が強磁性材で形成されたガイドレ
ールを示している。このガイドレール21上には、搬送
車22がガイドレール21に沿って走行自在に配置され
ている。Embodiments will be described below with reference to the drawings. 1 to 3 show a levitation type carrier device according to an embodiment of the present invention. In these figures, number 21
Indicates a guide rail whose lower surface portion is formed of a ferromagnetic material. A transport vehicle 22 is arranged on the guide rail 21 so as to travel along the guide rail 21.
【0048】搬送車22には、磁気支持装置23が搭載
されており、この磁気支持装置23とガイドレール21
との間に生じる磁気的吸引力によって、搬送車22はガ
イドレール21に対して完全に浮上した状態に支持され
ている。A magnetic support device 23 is mounted on the transport vehicle 22, and the magnetic support device 23 and the guide rail 21 are mounted.
The carrier 22 is supported in a state of being completely levitated with respect to the guide rail 21 by the magnetic attraction force generated between the carrier 22 and the guide rail 21.
【0049】搬送車22の下面には支持板24を介して
リニア誘導電動機25の可動要素である導体板26が固
定されており、ガイドレール21に沿ったベース部分2
7にはリニア誘導電動機25の固定子28が固定されて
いる。また、搬送車22の下面には、磁気支持装置23
に制御信号を与える制御装置29と、この制御装置29
や磁気支持装置23に電力を供給する電源30が搭載さ
れている。A conductor plate 26, which is a movable element of the linear induction motor 25, is fixed to the lower surface of the transport vehicle 22 via a support plate 24, and the base portion 2 along the guide rail 21 is fixed.
A stator 28 of the linear induction motor 25 is fixed to 7. The magnetic support device 23 is provided on the lower surface of the transport vehicle 22.
Control device 29 for giving a control signal to
A power supply 30 for supplying electric power to the magnetic support device 23 is mounted.
【0050】ガイドレール21は、アングル状部材21
a,21bを平行に敷設して構成されている。搬送車2
2は、被搬送物の搬送を容易化するため、偏平な容器2
2aで構成されている。そして、その下面には非常時等
において搬送車22をガイドレール21上で支持する車
輪31が取付けられている。The guide rail 21 is an angle member 21.
a and 21b are laid in parallel. Carrier 2
2 is a flat container 2 for facilitating the transportation of the transported object.
2a. Wheels 31 that support the transport vehicle 22 on the guide rails 21 in an emergency are attached to the lower surface thereof.
【0051】磁気支持装置23は、搬送車22の四隅位
置と対向する位置に配置された4つの磁気支持部33
と、これら磁気支持部33を搬送車22にそれぞれ固定
するための4つのL字状の取付け部材32とで構成され
ている。The magnetic support device 23 includes four magnetic support portions 33 arranged at positions facing the four corners of the transport vehicle 22.
And four L-shaped attachment members 32 for fixing the magnetic support portions 33 to the transport vehicle 22, respectively.
【0052】各磁気支持部33は、一端面がガイドレー
ル21の下面に僅かの空隙を介して対向した2つの継鉄
34,35およびこれら継鉄34,35に巻装されたコ
イル36,37からなる2つの電磁石38,39と、継
鉄34,35間に挿設された永久磁石40とで構成され
ている。コイル36,37は、励磁電流が流れたときに
互いに加算される向きの磁束を発生するように直列に接
続されている。上記構成から判るように、継鉄34,3
5および永久磁石40は、これらでU字状の磁芯を構成
し、この磁芯の両磁極面がガイドレール21の下面に対
向するように搬送車22に搭載されていることになる。Each magnetic support portion 33 has two yokes 34, 35 whose one end faces the lower surface of the guide rail 21 with a slight gap, and coils 36, 37 wound around these yokes 34, 35. And two permanent magnets 40 inserted between the yokes 34 and 35. The coils 36 and 37 are connected in series so as to generate magnetic fluxes that are added to each other when an exciting current flows. As can be seen from the above configuration, yokes 34, 3
The 5 and the permanent magnet 40 form a U-shaped magnetic core with these, and are mounted on the transport vehicle 22 so that both magnetic pole surfaces of the magnetic core face the lower surface of the guide rail 21.
【0053】制御装置29は図4に示すように構成され
ている。なお、この図において矢印は信号経路をまた棒
線は電力経路を示している。この制御装置29は、図8
に示した方法による制御を実現するものであり、具体的
には搬送車22に取付けられて磁気支持部33によって
形成される磁気回路の変化を検出するセンサ部46と、
このセンサ部46からの信号に基づいてコイル36,3
7へ供給すべき電力を演算する演算回路47と、この演
算回路47からの信号に基づいてコイル36,37に電
力を供給するパワーアンプ48とで構成されている。The controller 29 is constructed as shown in FIG. In this figure, arrows indicate signal paths and bar lines indicate power paths. This control device 29 is shown in FIG.
To realize the control by the method shown in FIG. 4, specifically, a sensor unit 46 that is attached to the transport vehicle 22 and detects a change in the magnetic circuit formed by the magnetic support unit 33.
Based on the signal from the sensor unit 46, the coils 36, 3
7 and a power amplifier 48 that supplies power to the coils 36 and 37 based on a signal from the calculation circuit 47.
【0054】センサ部46は、前記継鉄34または35
に固定されて各磁気支持部33とガイドレール21との
間の空隙長を検出するギャップセンサ51と、このギャ
ップセンサ51からの信号を前処理する変調回路52
と、前記コイル36,37の電流値を検出する電流検出
器53とで構成されている。The sensor portion 46 is the yoke 34 or 35.
Gap sensors 51 fixed to the magnetic support portions 33 and the guide rails 21 to detect gap lengths, and a modulation circuit 52 for pre-processing signals from the gap sensors 51.
And a current detector 53 for detecting the current value of the coils 36 and 37.
【0055】演算回路47は、一方においては、ギャッ
プセンサ51の出力信号を変調回路52を介して導入
し、減算器54によって空隙長設定値z0 を減算すると
ともに、この減算器54の出力を直接、また微分器55
を介してそれぞれフィードバックゲイン補償器56,5
7に導き、他方においては電流検出器53の出力信号を
フィードバックゲイン補償器58に導き、さらに電流検
出器53の出力信号を減算器59で0信号と比較し、こ
の減算器59の出力を積分補償器60で補償した信号
と、前記3つのフィードバックゲイン補償器56〜58
の出力を加算器61で加算した信号とを減算器62で比
較し、その偏差を前記パワーアンプ48に出力するもの
となっている。On the one hand, the arithmetic circuit 47 introduces the output signal of the gap sensor 51 through the modulation circuit 52, subtracts the gap length set value z 0 by the subtractor 54, and outputs the output of this subtractor 54. Directly and differentiator 55
Through feedback gain compensators 56 and 5 respectively.
7 and on the other hand, the output signal of the current detector 53 is guided to the feedback gain compensator 58, and the output signal of the current detector 53 is compared with the 0 signal by the subtractor 59, and the output of this subtractor 59 is integrated. The signal compensated by the compensator 60 and the three feedback gain compensators 56 to 58.
A signal obtained by adding the output of 1 to the adder 61 is compared by a subtractor 62, and the deviation thereof is output to the power amplifier 48.
【0056】なお、電源30は、比較的大電力を必要と
するパワーアンプ系統と小電力の演算回路系統とにそれ
ぞれ別個に電力を供給するために、2つの電源部30
a,30bを備えたものとなっている。これら電源部3
0a,30bは、それぞれ他の磁気支持部33へも電力
を供給している。The power supply 30 has two power supply units 30 in order to separately supply power to a power amplifier system requiring a relatively large power and an arithmetic circuit system having a small power.
It is provided with a and 30b. These power supplies 3
0a and 30b also supply power to the other magnetic support portions 33, respectively.
【0057】このように構成された本実施例に係る浮上
式搬送装置は次のように動作する。すなわち、磁気支持
部33において、永久磁石40が作る磁束は、継鉄3
4,35、空隙、ガイドレール21の強磁性体部分を通
過して磁気回路を形成する。この磁気回路は、搬送車2
2に外力が作用していない定常状態で、電磁石38,3
9による磁束を全く必要としないような磁気吸引力を持
たせるように所定の空隙長z0 を保っている。The levitation type transporting apparatus according to this embodiment having the above-mentioned structure operates as follows. That is, in the magnetic support portion 33, the magnetic flux generated by the permanent magnet 40 is
A magnetic circuit is formed by passing through the ferromagnetic portions of the guide rails 21, 35, the air gaps. This magnetic circuit is used in the transport vehicle 2.
In a steady state in which no external force acts on 2, the electromagnets 38, 3
A predetermined air gap length z 0 is maintained so as to have a magnetic attraction force that does not require the magnetic flux of 9 at all.
【0058】この状態で外力Umが作用すると、ギャッ
プセンサ51はこれを検知して変調回路52を介して演
算回路47に検出信号を送出する。演算回路47は、減
算器54によって上記信号から空隙長設定値z0 を減算
し、空隙長偏差信号Δzを算出する。この空隙長偏差信
号Δzは、フィードバックゲイン補償器56に入力され
るとともに、微分器55によってΔzを時間微分した速
度偏差信号に変換された後にフィードバックゲイン補償
器57に入力される。When the external force Um acts in this state, the gap sensor 51 detects this and sends a detection signal to the arithmetic circuit 47 via the modulation circuit 52. The arithmetic circuit 47 subtracts the air gap length setting value z 0 from the signal by the subtractor 54 to calculate the air gap length deviation signal Δz. The gap length deviation signal Δz is input to the feedback gain compensator 56, converted into a speed deviation signal obtained by differentiating Δz with time by the differentiator 55, and then input to the feedback gain compensator 57.
【0059】一方、電流偏差信号Δiは、電流検出器5
3の計測信号によって得られ、フィードバックゲイン補
償器58に入力される。また、電流偏差信号Δiは、減
算器59によって零レベルと比較され、その差信号が積
分補償器60に入力される。そして、加算器61によっ
て加算された3つのフィードバックゲイン補償器56〜
58の出力信号と、積分補償器60の出力信号とは、そ
れぞれ所定のゲインを付与されてパワーアンプ48にフ
ィードバックされる。On the other hand, the current deviation signal Δi is detected by the current detector 5
3 is obtained by the measurement signal and input to the feedback gain compensator 58. Further, the current deviation signal Δi is compared with the zero level by the subtractor 59, and the difference signal is input to the integral compensator 60. Then, the three feedback gain compensators 56 added by the adder 61
The output signal of 58 and the output signal of the integral compensator 60 are given a predetermined gain and fed back to the power amplifier 48.
【0060】したがって、外力Umが作用したときに
は、電磁石38,39のコイル36,37に外力Umに
応じた大きさおよび方向の励磁電流が流れ、これによっ
て継鉄34,35とガイドレール21との間の磁気吸引
力が増加または減少するように制御され、搭載要素を含
む搬送車22の荷重と永久磁石40により磁気吸引力と
が釣り合う浮上位置へ搬送車22が移動した時点、つま
り上記電流偏差Δiが零になった状態で系が安定化する
ことになる。Therefore, when an external force Um is applied, an exciting current having a magnitude and direction according to the external force Um flows through the coils 36, 37 of the electromagnets 38, 39, whereby the yokes 34, 35 and the guide rail 21 are connected. The magnetic attraction force between them is controlled to increase or decrease, and the time when the transport vehicle 22 moves to the floating position where the load of the transport vehicle 22 including the mounting element and the magnetic attraction force are balanced by the permanent magnet 40, that is, the current deviation. The system is stabilized when Δi becomes zero.
【0061】このように、本実施例によれば、コイル3
6,37には、搬送車22に外力が作用して磁気回路に
変動が生じた際の過渡的状態のみ電流が流れ、定常状態
では外力の有無に拘らずその電流が零であるので、電源
の負担を大幅に軽減でき、省エネルギ化を図ることがで
きる。As described above, according to this embodiment, the coil 3
In 6, 37, current flows only in a transient state when an external force acts on the transport vehicle 22 and the magnetic circuit fluctuates, and in the steady state, the current is zero regardless of the presence or absence of the external force. It is possible to significantly reduce the load of and to save energy.
【0062】また、電磁石38,39で重力方向と反対
方向の磁気吸引力だけを制御すればよいので、電磁石3
8,39の上方のみにガイドレール21を設ければよ
く、つまり定常浮上に必要なガイドレールと過渡状態の
収束に必要なガイドレールとを共用できるので、全体を
単純化でき、省スペース化を図ることができる。Since only the magnetic attraction force in the direction opposite to the gravity direction needs to be controlled by the electromagnets 38 and 39, the electromagnet 3
Since the guide rails 21 need only be provided above the parts 8 and 39, that is, the guide rails required for steady levitation and the guide rails required for convergence of the transient state can be shared, the overall structure can be simplified and the space can be saved. Can be planned.
【0063】なお、本発明は、上述した実施例に限定さ
れるものではない。たとえば、上記実施例では電流偏差
Δiを積分補償器を用いて積分し、これに適当なゲイン
を持たせてフィードバックする方法を採用しているが、
前述した他の方法によって制御するようにしてもよい。The present invention is not limited to the above embodiment. For example, the above embodiment adopts a method of integrating the current deviation Δi by using an integral compensator and giving it an appropriate gain and feeding it back.
You may make it control by the other method mentioned above.
【0064】また、前述したようにギャップセンサ51
および電流検出器53の代わりに速度センサや加速度セ
ンサを用いるようにしても良い。図5には、ギャップセ
ンサ51の代わりに加速度センサ65および2つの積分
器66,67を用いた実施例が示されている。このよう
に、加速度センサ65の出力を2回積分して磁気支持部
33とガイドレール21との間の空隙長を検出するよう
にしてもよく、この場合には、特にセンサの設定位置を
それぞれの磁気支持部33の加速度が検出できる範囲で
任意に決定できるという利点がある。Further, as described above, the gap sensor 51
A speed sensor or an acceleration sensor may be used instead of the current detector 53. FIG. 5 shows an embodiment in which an acceleration sensor 65 and two integrators 66 and 67 are used instead of the gap sensor 51. In this way, the output of the acceleration sensor 65 may be integrated twice to detect the gap length between the magnetic support portion 33 and the guide rail 21. In this case, in particular, the set positions of the sensors are respectively set. There is an advantage that it can be arbitrarily determined within a range in which the acceleration of the magnetic support portion 33 can be detected.
【0065】さらには、本発明は、アナログ式の制御を
行なうものに限定されず、デジタル式の制御要素を備え
た装置を構成することもできる。このように、本発明は
その要旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施すること
ができる。Furthermore, the present invention is not limited to the one that performs analog type control, but it is also possible to construct an apparatus having a digital type control element. As described above, the present invention can be implemented with various modifications without departing from the gist thereof.
【0066】[0066]
【発明の効果】本発明によれば、電磁石に要求される磁
気力に相当する部分を永久磁石で補償するようにし、さ
らに上記電磁石に流れる励磁電流の定常値を、搬送車に
作用する外力の有無に拘らず零にするようにしているの
で、上記電磁石のコイルには、搬送車に外力が作用した
際に過渡的に電流が流れるのみである。したがって、コ
イルで消費される電力を従来に較べて大幅に少なくする
ことができ、電源の負担を軽減させることができ、省エ
ネルギ化に大きく寄与できる。According to the present invention, the portion corresponding to the magnetic force required for the electromagnet is compensated by the permanent magnet, and the steady value of the exciting current flowing through the electromagnet is adjusted by the external force acting on the carrier vehicle. Since it is set to zero regardless of the presence / absence, only a current transiently flows through the coil of the electromagnet when an external force acts on the carrier vehicle. Therefore, the power consumed by the coil can be significantly reduced as compared with the conventional case, the load on the power source can be reduced, and the energy saving can be greatly contributed.
【0067】また、搬送車に搭載された要素への電力供
給源となる電源も搬送車に搭載しているので、完全非接
触浮上を実現でき、この状態を持続できるとともに、配
線の長さを最短にでき、配線における損失を低減できる
ので、電源の負担を一層軽減できる。Further, since the power source for supplying electric power to the elements mounted on the carrier vehicle is also mounted on the carrier vehicle, the complete non-contact floating can be realized, this state can be maintained, and the wiring length can be increased. Since the length can be minimized and the loss in wiring can be reduced, the burden on the power supply can be further reduced.
【図1】本発明の一実施例に係る浮上式搬送装置におけ
る要部の斜視図FIG. 1 is a perspective view of a main part of a levitation type transport device according to an embodiment of the present invention.
【図2】同要部を図1におけるA−A線に沿って矢印方
向に見た図FIG. 2 is a view of the main part viewed in the direction of the arrow along the line AA in FIG.
【図3】同要部を一部切欠して示す側面図FIG. 3 is a side view showing the main part with a part thereof cut away.
【図4】同浮上式搬送装置の制御装置およびその周辺の
電気的構成を示すブロック図FIG. 4 is a block diagram showing an electrical configuration of a control device of the floating transfer device and its periphery.
【図5】本発明の他の実施例に係る浮上式搬送装置の制
御装置を示すブロック図FIG. 5 is a block diagram showing a control device of a levitation type transport device according to another embodiment of the present invention.
【図6】本発明の主要部分をなす磁気支持部を示す図FIG. 6 is a view showing a magnetic support portion which is a main part of the present invention.
【図7】磁気支持部の安定化のための従来の制御方法を
示すブロック図FIG. 7 is a block diagram showing a conventional control method for stabilizing a magnetic support unit.
【図8】本発明で採用している磁気支持部の制御方法を
示すブロック図FIG. 8 is a block diagram showing a method of controlling a magnetic support unit used in the present invention.
1,21…ガイドレール 2,3,3
8,39…電磁石 4,5,34,35…継鉄 6,7,3
6,37…コイル 8,40…永久磁石 9,30…電
源 11…制御対象 12,56〜58…フィー
ドバックゲイン補償器 13,60…積分補償器 22…搬送車 23…磁気支持装置 25…リニア
誘導電導機 29…制御装置 33…磁気支
持部 46…センサ部 47…演算回
路 55…微分器 66,67…
積分器1, 21 ... Guide rails 2, 3, 3
8,39 ... Electromagnets 4,5,34,35 ... Yoke 6,7,3
6, 37 ... Coil 8, 40 ... Permanent magnet 9, 30 ... Power supply 11 ... Control object 12, 56-58 ... Feedback gain compensator 13, 60 ... Integral compensator 22 ... Transport vehicle 23 ... Magnetic support device 25 ... Linear induction Electric conductor 29 ... Control device 33 ... Magnetic support part 46 ... Sensor part 47 ... Arithmetic circuit 55 ... Differentiator 66, 67 ...
Integrator
Claims (6)
イドレールと、このガイドレールに沿って走行自在に配
置された搬送車と、前記ガイドレールと空隙を介して対
向するように前記搬送車に取付けられた複数の電磁石
と、これら各電磁石、前記ガイドレールおよび前記空隙
で構成される各磁気回路中に配置されるとともに前記搬
送車に取付けられ、前記搬送車を浮上させるのに必要な
起磁力を供給する永久磁石と、前記搬送車に取付けられ
て前記磁気回路中の変化を検出するセンサ部およびこの
センサ部の出力に基づいて前記搬送車に作用する外力の
有無に拘らず前記電磁石に流れる励磁電流の定常値を零
にするように前記電磁石に流す励磁電流を制御する制御
部を有した制御装置と、前記搬送車に搭載されて搬送車
搭載要素への電力供給源となる電源とを具備してなるこ
とを特徴とする浮上式搬送装置。1. A guide rail at least a part of which is made of a ferromagnetic material, a carrier arranged so as to run along the guide rail, and the carrier so as to face the guide rail through a gap. A plurality of electromagnets mounted on the vehicle, and each magnetic circuit composed of the electromagnets, the guide rails, and the air gaps are arranged in the magnetic circuit and mounted on the transport vehicle, and are necessary for levitating the transport vehicle. A permanent magnet that supplies a magnetomotive force, a sensor unit that is attached to the transport vehicle and detects a change in the magnetic circuit, and the electromagnet regardless of the presence or absence of an external force that acts on the transport vehicle based on the output of the sensor unit. Control unit having a control unit for controlling the exciting current flowing through the electromagnet so that the steady-state value of the exciting current flowing through the carrier is zero, and the power supply to the carrier vehicle-mounted element mounted on the carrier vehicle. Source to become comprises a power source and serving as a floating type conveying apparatus according to claim.
石に供給されてなることを特徴とする請求項1に記載の
浮上式搬送装置。2. The levitating transfer apparatus according to claim 1, wherein electric power from the power source is supplied to at least the electromagnet.
ら前記外力の大きさを観測する状態観測器と、この状態
観測器で観測された前記外力の大きさに所定のゲインを
持たせて前記励磁電流にフィードバックする手段とを備
えてなることを特徴とする請求項1に記載の浮上式搬送
装置。3. The state control device for observing the magnitude of the external force from the output value of the sensor section, and the control device for giving a predetermined gain to the magnitude of the external force observed by the state observing device. And a means for feeding back the exciting current to the exciting current.
レールとの間の空隙長、前記搬送車の前記空隙長方向の
速度および前記電磁石の励磁電流の各偏差に全てが同時
に零でない所定のゲインを持たせ、これらを一次伝達関
数を有するフィルタを介して前記励磁電流にフィードバ
ックする手段を備えてなるものであることを特徴とする
請求項1に記載の浮上式搬送装置。4. The controller controls the deviations of the gap length between the electromagnet and the guide rail, the speed of the carrier in the gap length direction, and the exciting current of the electromagnet, all of which are not zero at the same time. 2. The levitation-type transfer apparatus according to claim 1, further comprising means for giving gains and feeding them back to the exciting current through a filter having a first-order transfer function.
定のゲインを持たせて積分する積分補償器と、この積分
補償器の出力値を前記励磁電流にフィードバックする手
段とを備えてなるものであることを特徴とする請求項1
に記載の浮上式搬送装置。5. The control device comprises an integral compensator for integrating the deviation of the exciting current with a predetermined gain, and means for feeding back the output value of the integral compensator to the exciting current. It is what is characterized by the above-mentioned.
The levitation type transport device described in.
レールとの間の空隙長、この空隙長の変化速度、上記空
隙長の変化加速度および前記電磁石の励磁電流のうちの
少なくとも1つの検出値を得るものであることを特徴と
する請求項1に記載の浮上式搬送装置。6. The sensor unit detects at least one of a gap length between the electromagnet and the guide rail, a change speed of the gap length, a change acceleration of the gap length, and an exciting current of the electromagnet. The levitation type conveyance device according to claim 1, wherein the levitation type conveyance device is obtained.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5722694A JPH06319208A (en) | 1994-03-28 | 1994-03-28 | Levitation type conveying apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5722694A JPH06319208A (en) | 1994-03-28 | 1994-03-28 | Levitation type conveying apparatus |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59222702A Division JP2967822B2 (en) | 1984-10-23 | 1984-10-23 | Floating transfer device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06319208A true JPH06319208A (en) | 1994-11-15 |
Family
ID=13049624
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5722694A Pending JPH06319208A (en) | 1994-03-28 | 1994-03-28 | Levitation type conveying apparatus |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH06319208A (en) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5183312A (en) * | 1975-01-17 | 1976-07-21 | Mitsubishi Electric Corp | Jikikidosochino denjishakusochi |
-
1994
- 1994-03-28 JP JP5722694A patent/JPH06319208A/en active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5183312A (en) * | 1975-01-17 | 1976-07-21 | Mitsubishi Electric Corp | Jikikidosochino denjishakusochi |
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