JPH06318647A - Package for optical module and its manufacture - Google Patents

Package for optical module and its manufacture

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JPH06318647A
JPH06318647A JP5106807A JP10680793A JPH06318647A JP H06318647 A JPH06318647 A JP H06318647A JP 5106807 A JP5106807 A JP 5106807A JP 10680793 A JP10680793 A JP 10680793A JP H06318647 A JPH06318647 A JP H06318647A
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window
package
brazing
sapphire
optical module
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Hitoshi Kitazawa
等 北沢
Takemi Machida
武巳 町田
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Abstract

PURPOSE:To easily manufacture a package with a sapphire window, for an optical module, to which a sapphire window can be attached so as to be sealed and bonded well at high quality. CONSTITUTION:A package for an optical module is formed in such a way that a light-transmitting window 14 composed mainly of alumina such as sapphire or the like has been sealed and bonded to a window part for a package body. In the package, a window component formed by brazing a metal ring 16 to the light-transmitting window 14 so as to sandwich a titanium ring 18 is sealed and bonded by brazing the metal ring 16 to a brazing face in the window part.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は光透過窓を気密に封着し
て成る光モジュール用パッケージ及びその製造方法に関
する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical module package in which a light transmitting window is hermetically sealed and a method for manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】半導体レーザ装置、光通信装置等では光
透過窓を備えた光モジュール用パッケージが使用され
る。この光モジュール用パッケージは金属製のホルダに
よって形成されるが、光透過窓はパッケージ本体の窓部
に気密に封着する必要があり、その封着方法について種
々提案されている(特公昭63-47148号、特開昭62-29149
号、特開平1-214143号)。
2. Description of the Related Art In a semiconductor laser device, an optical communication device, etc., an optical module package having a light transmitting window is used. Although this optical module package is formed by a metal holder, the light transmitting window needs to be hermetically sealed to the window portion of the package body, and various sealing methods have been proposed (Japanese Patent Publication No. 63- 47148, JP-A-62-29149
No. 1-214143).

【0003】光モジュール用パッケージで用いる光透過
窓としては、サファイア等のアルミナを主成分とするも
のと光学ガラス等の二酸化ケイ素を主成分とするものが
主に使用され、それぞれ次のような封着方法によって気
密に取り付けられる。すなわち、サファイヤ等のアルミ
ナを主成分とする光透過窓の場合は、光透過窓の封着部
分にあらかじめメタライズを施しておき、パッケージ本
体の窓部に銀ろう付けあるいは低融点ろう付けによって
取り付ける方法や、チタン部材と銀ろうを封止部材とし
て封着する方法がある。また、光学ガラス等の光透過窓
を封着する場合は、金属枠表面に金属酸化膜を形成し低
融点ガラスを用いて光透過窓を封着した後、パッケージ
本体の窓部に金属枠裏面を封着する方法や高周波加熱を
使用して融着する方法がある。
As a light transmitting window used in a package for an optical module, one having alumina as a main component such as sapphire and one having silicon dioxide as a main component such as optical glass are mainly used. It is attached airtight by the wearing method. That is, in the case of a light-transmissive window containing sapphire as a main component, a method of preliminarily metallizing the sealing portion of the light-transmissive window and attaching it to the window of the package body by silver brazing or low melting point brazing Alternatively, there is a method of sealing a titanium member and a silver solder as a sealing member. When sealing a light-transmitting window such as optical glass, a metal oxide film is formed on the surface of the metal frame, and the light-transmitting window is sealed using low melting point glass. There is a method of sealing and a method of fusion using high frequency heating.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ところで、サファイア
等のアルミナを主成分とする光透過窓を使用する場合に
は以下のような問題点があった。すなわち、 光透過窓にメタライズを施す際にメタライズ金属が飛
び散り窓部が汚れる。銀ろう付け時の加熱によりパッ
ケージ本体にリードを固定しているガラスが軟化するた
め、リードを支持している支持治具が複雑になり、治具
の製作コストが高くなる。光透過窓を封着した後にパ
ッケージ本体に保護めっきを施すようにするから、パッ
ケージ本体が複雑な形状の場合にはめっき液が残留した
りして窓部にしみが発生し光透過性に悪影響を与える。
However, the following problems have been encountered when using a light transmission window containing alumina such as sapphire as a main component. That is, when metallizing the light transmitting window, the metallized metal scatters and the window is contaminated. Since the glass fixing the leads to the package body is softened by the heating during silver brazing, the supporting jig for supporting the leads becomes complicated and the manufacturing cost of the jig increases. Since the package body is protected by plating after sealing the light transmission window, if the package body has a complicated shape, the plating solution may remain and stains may occur on the window, adversely affecting light transmission. give.

【0005】なお、光透過窓を低融点ろう付けによって
封着する場合には、上記の問題があり、チタン部材と
銀ろうを封止部材として用いる場合にはメタライズを施
さないことから上記の問題は生じないものの、上記
、の問題がある。本発明は、これら問題点を解消す
べくなされたものであり、その目的とするところは、サ
ファイア等のアルミナを主成分とする光透過窓を使用す
る場合にパッケージ本体の窓部に光透過窓を確実に封着
できるとともに光透過窓の汚れのない良品として得るこ
とができる光モジュール用パッケージ及びその製造方法
を提供しようとするものである。
Incidentally, when the light transmissive window is sealed by low melting point brazing, there is the above problem, and when the titanium member and the silver solder are used as the sealing member, no metallization is applied and therefore the above problem. Although it does not occur, there are the above problems. The present invention has been made to solve these problems, and an object thereof is to provide a light-transmitting window in a window portion of a package body when a light-transmitting window containing alumina such as sapphire as a main component is used. The present invention aims to provide an optical module package that can be reliably sealed and can be obtained as a non-defective product with no contamination of the light transmission window, and a method for manufacturing the same.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するため次の構成を備える。すなわち、サファイア等の
アルミナを主体とする光透過窓をパッケージ本体の窓部
に封着して成る光モジュール用パッケージにおいて、前
記光透過窓にチタンリングを挟んで金属リングをろう付
けして成る窓部品が、前記窓部のろう付け面に前記金属
リングをろう付けして封着されたことを特徴とする。ま
た、サファイア等のアルミナを主体とする光透過窓をパ
ッケージ本体の窓部に封着して成る光モジュール用パッ
ケージの製造方法において、前記光透過窓にチタンリン
グを挟んで金属リングをろう付けすることによって窓部
品を作成し、該窓部品の前記金属リングを前記窓部のろ
う付け面にろう付けして光透過窓を封着することを特徴
とする。また、前記窓部品に所要のめっきを施した後、
前記窓部のろう付け面にろう付けすることを特徴とす
る。
The present invention has the following constitution in order to achieve the above object. That is, in a package for an optical module, which is formed by sealing a light transmitting window mainly made of alumina such as sapphire to a window portion of a package body, a window formed by brazing a metal ring with a titanium ring sandwiched in the light transmitting window. The parts are sealed by brazing the metal ring to the brazing surface of the window. Further, in a method for manufacturing an optical module package, which is formed by sealing a light transmitting window mainly made of alumina such as sapphire to a window portion of a package body, a metal ring is brazed with a titanium ring sandwiched in the light transmitting window. Thus, a window component is produced, and the metal ring of the window component is brazed to the brazing surface of the window portion to seal the light transmitting window. Also, after applying the required plating to the window component,
The brazing surface of the window is brazed.

【0007】[0007]

【作用】窓部品は光透過窓にチタンリングを挟んで金属
リングをろう付けして成るものであり、この窓部品の金
属リングをパッケージ本体の窓部にろう付けすることに
よってパッケージに光透過窓を封着する。光透過窓と金
属リングとはチタンリングを挟むことによって光透過窓
にメタライズを施すことなく直接に金属リングがろう付
けされる。窓部品は金属リングをパッケージ本体の窓部
にろう付けすることで確実にパッケージに取り付けるこ
とができる。窓部品にあらかじめ所要のめっきを施して
おくことによって、後工程で光透過窓が汚染されたりす
ることがなくなり、光透過特性等の優れた製品として提
供できる。
The window component is formed by brazing a metal ring on a light transmitting window with a titanium ring sandwiched therebetween. The metal ring of this window component is brazed to the window portion of the package body to allow the package to transmit the light transmitting window. Seal. By sandwiching the titanium ring between the light transmitting window and the metal ring, the metal ring is directly brazed without metalizing the light transmitting window. The window component can be securely attached to the package by brazing the metal ring to the window portion of the package body. By subjecting the window component to necessary plating in advance, it is possible to prevent the light transmitting window from being contaminated in a later step, and it is possible to provide a product having excellent light transmitting characteristics and the like.

【0008】[0008]

【実施例】以下、本発明の好適な実施例を添付図面に基
づいて詳細に説明する。図3は本発明に係る光モジュー
ル用パッケージの一実施例を示す。実施例の光モジュー
ル用パッケージは箱形に形成されるパッケージ本体10
と、パッケージ本体10の一側面に取り付けられる光透
過窓取り付け用のパイプ部12と、パイプ部12に光透
過窓として封着されたサファイア窓14と、外部接続用
のリード15とを有している。サファイア窓14はパイ
プ部12の端面に設けられた収納穴内にその周縁部で気
密に封着されている。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT A preferred embodiment of the present invention will be described in detail below with reference to the accompanying drawings. FIG. 3 shows an embodiment of the optical module package according to the present invention. The optical module package of the embodiment is a box-shaped package body 10
And a pipe portion 12 for attaching a light transmitting window attached to one side surface of the package body 10, a sapphire window 14 sealed as a light transmitting window in the pipe portion 12, and a lead 15 for external connection. There is. The sapphire window 14 is hermetically sealed at its peripheral edge in a storage hole provided in the end surface of the pipe portion 12.

【0009】実施例の光モジュール用パッケージではサ
ファイア窓14をパイプ部12に封着する方法として、
まずサファイア窓14に金属リング16をろう付けし、
この金属リング16をろう付けしたサファイア窓14を
パイプ部12にろう付けすることによって封着してい
る。図2にサファイア窓14に金属リング16をろう付
けした窓部品21を示す。金属リング16はサファイア
窓14の外径サイズに合わせて金属の薄板材によりリン
グ状に形成したものである。金属リング16の材料はと
くに限定されず、鉄−コバルト−ニッケル合金、鉄−ニ
ッケル合金等の適宜材料が使用できる。
In the optical module package of the embodiment, as a method of sealing the sapphire window 14 to the pipe portion 12,
First, braze the metal ring 16 to the sapphire window 14,
The sapphire window 14 to which the metal ring 16 is brazed is brazed to the pipe portion 12 for sealing. FIG. 2 shows a window component 21 in which the metal ring 16 is brazed to the sapphire window 14. The metal ring 16 is formed in a ring shape from a thin metal plate material according to the outer diameter size of the sapphire window 14. The material of the metal ring 16 is not particularly limited, and an appropriate material such as iron-cobalt-nickel alloy or iron-nickel alloy can be used.

【0010】サファイア窓14に金属リング16をろう
付けする場合には、チタン材を用いた銀ろう付けによる
従来方法を利用して行う。すなわち、金属リング16と
ほぼ同サイズのリング状に形成したチタンリング18を
用意し、金属リング16とサファイア窓14との間にチ
タンリング18を挟んで銀ろう付けすることによって金
属リング16をサファイア窓14にろう付けする。この
チタン材を用いた銀ろう付けは活性合金化法を利用する
もので、チタンが銀ろう中に拡散するとともにサファイ
ア窓中にも拡散しサファイア中の酸素と強く結合する性
質を利用して気密に封着するものである。したがって、
この方法による場合はサファイア窓14にあらかじめメ
タライズを施す必要がない。こうして、図2に示すよう
な銀ろう材20によってサファイア窓14に金属リング
16がろう付けされた窓部品21が得られる。
When the metal ring 16 is brazed to the sapphire window 14, the conventional method of silver brazing using a titanium material is used. That is, a titanium ring 18 formed into a ring shape having substantially the same size as the metal ring 16 is prepared, and the titanium ring 18 is sandwiched between the metal ring 16 and the sapphire window 14 and brazed with silver to sapphire the metal ring 16. Brazing to the window 14. The silver brazing using this titanium material uses an active alloying method, and the titanium is diffused into the silver braze as well as into the sapphire window and is strongly bonded to oxygen in the sapphire. It is to be sealed to. Therefore,
With this method, it is not necessary to pre-metallize the sapphire window 14. Thus, the window component 21 in which the metal ring 16 is brazed to the sapphire window 14 by the silver brazing material 20 as shown in FIG. 2 is obtained.

【0011】金属リング16を取り付けた上記の窓部品
21はパッケージ本体10のパイプ部12の端面に銀ろ
う付けよりも低温のろう付けによって取り付けるが、ろ
う付け前に窓部品21に対して所要のめっきを施す。な
お、光透過窓を取り付けるパッケージ側についても、あ
らかじめパッケージ本体10にパイプ部12、リード1
5を取り付けた後、所要のめっきを施しておく。そし
て、上記の窓部品21を上記パイプ部12の端面にろう
付けして封着する。なお、この場合のろう付けに用いる
ろう材としては、たとえば金−ゲルマニウム、金−す
ず、金−シリコン、はんだ等の低融点ろう材を使用す
る。
The window part 21 having the metal ring 16 attached thereto is attached to the end face of the pipe portion 12 of the package body 10 by brazing at a temperature lower than that of silver brazing. Apply plating. In addition, as for the package side to which the light transmitting window is attached, the pipe portion 12 and the lead 1 are previously attached to the package body 10.
After attaching 5, the required plating is performed. Then, the window component 21 is brazed to the end face of the pipe portion 12 and sealed. As the brazing material used for brazing in this case, a low melting point brazing material such as gold-germanium, gold-tin, gold-silicon or solder is used.

【0012】図1に上記窓部品21をパイプ部12の端
面にろう付けした状態を拡大して示す。窓部品21には
あらかじめ金属リング16が銀ろう付けされているか
ら、金属リング16を介してろう材22によって窓部品
21を確実にパイプ部12に封着することができる。こ
うして、サファイア窓14をパッケージ本体10の窓部
23に確実に封着することができる。なお、ろう付けに
際してはヒータブロック上で加熱して行う方法やトンネ
ル炉を用いる方法によって行うことができる。
FIG. 1 shows an enlarged view of the window component 21 brazed to the end face of the pipe portion 12. Since the metal ring 16 is previously brazed with silver on the window component 21, the window component 21 can be reliably sealed to the pipe portion 12 by the brazing material 22 via the metal ring 16. In this way, the sapphire window 14 can be reliably sealed to the window portion 23 of the package body 10. The brazing can be performed by heating on a heater block or by using a tunnel furnace.

【0013】上記方法によってサファイア窓14を封着
する方法の場合には、低温でろう付けするから、窓部品
21とパッケージ本体10に対してあらかじめ所要のめ
っきを施した後にろう付けして製品とすることができ
る。このように窓部品21とパッケージ本体10を別々
にめっきすることができることから、めっきの際に複雑
な治具を用いる必要がなく、各々に対して容易にかつ確
実にめっきを施すことができるという利点がある。ま
た、窓部品21についてみるとパイプ部12にろう付け
する前にめっきを施すことによって、めっき液の洗浄等
が容易にできサファイア窓14にめっき液が残留してし
みが生じるといった問題を解消することができるという
利点もある。
In the case of the method of sealing the sapphire window 14 by the above method, since the brazing is performed at a low temperature, the window component 21 and the package body 10 are preliminarily plated and then brazed to obtain a product. can do. Since the window component 21 and the package body 10 can be separately plated in this way, it is not necessary to use a complicated jig for plating, and plating can be performed easily and reliably for each. There are advantages. Further, regarding the window component 21, by performing plating before brazing the pipe portion 12, it is possible to easily wash the plating solution and the like, and solve the problem that the plating solution remains on the sapphire window 14 to cause stains. There is also an advantage that you can.

【0014】また、本実施例の方法によればチタンリン
グ18を利用することでサファイア窓14にメタライズ
を施さずに済ますことができるからメタライズ金属が飛
散してサファイア窓14を汚すといった問題も解消で
き、サファイア窓14の光透過性を損なうことがないと
いう利点もある。
Further, according to the method of the present embodiment, the titanium ring 18 can be used to eliminate the need for metallizing the sapphire window 14. Therefore, the problem that the metallized metal scatters and stains the sapphire window 14 is solved. There is also an advantage that the light transmittance of the sapphire window 14 is not impaired.

【0015】また、本実施例の光モジュール用パッケー
ジはサファイア窓14とパイプ部12との間に金属リン
グ16を挟んでろう付けしているから、金属リング16
がパイプ部12とサファイア窓14との間で緩衝作用を
奏している。したがって、パッケージ本体10の材質に
応じて金属リング16の形状や、厚み、材質等を適宜選
択することによって種々材質に応じて確実に封着するこ
とが可能になる。こうして、パッケージの材質として種
々材料を使用することが可能になり、パッケージの材質
の適用範囲をひろげることが可能になる。また、金属リ
ング16の形状は円形に限らず適宜形状にできるから、
光透過窓の取り付け部分の形状に合わせた取り付けも容
易に可能になる。
Further, in the optical module package of this embodiment, the metal ring 16 is sandwiched between the sapphire window 14 and the pipe portion 12 and brazed.
Has a cushioning effect between the pipe portion 12 and the sapphire window 14. Therefore, by appropriately selecting the shape, thickness, material and the like of the metal ring 16 according to the material of the package body 10, it is possible to reliably seal the metal ring 16 according to various materials. In this way, various materials can be used as the material of the package, and the range of application of the material of the package can be expanded. Further, the shape of the metal ring 16 is not limited to the circular shape, but can be an appropriate shape,
It is also possible to easily fit the light transmitting window in accordance with the shape of the mounting portion.

【0016】なお、上記実施例はサファイア窓を取り付
けた光モジュール用パッケージの一例として示したもの
で、図4、図5に光モジュール用パッケージの他の実施
例を示す。図4に示す実施例はパッケージ本体10に光
透過窓の取付ブロック25を銀ろう付けし、取付ブロッ
ク25の窓部に光透過窓としてのサファイア窓14を封
着した例である。また、図5に示す実施例はパッケージ
本体10に光透過窓を取り付ける窓部を設け、窓部の外
側に光透過窓を封着するための取付部10aを突設して
取付部10aにサファイア窓14を封着した例である。
これら各実施例でのサファイア窓14の封着方法は上記
実施例による方法と同様で、まずサファイア窓14にチ
タンリング18を介して金属リング16を銀ろう付けし
た窓部品を作成し、この窓部品を取付ブロック25ある
いは取付部10aに低融点ろう材を用いてろう付けして
いる。
The above embodiment is shown as an example of an optical module package having a sapphire window attached, and FIGS. 4 and 5 show other embodiments of the optical module package. The embodiment shown in FIG. 4 is an example in which the mounting block 25 of the light transmitting window is brazed to the package body 10 by silver brazing, and the sapphire window 14 as the light transmitting window is sealed to the window portion of the mounting block 25. In the embodiment shown in FIG. 5, the package body 10 is provided with a window portion to which a light transmission window is attached, and an attachment portion 10a for sealing the light transmission window is provided on the outside of the window portion so that the attachment portion 10a is made of sapphire. This is an example in which the window 14 is sealed.
The method for sealing the sapphire window 14 in each of these embodiments is similar to the method according to the above-described embodiment. First, a window component is prepared by silver brazing the metal ring 16 to the sapphire window 14 through the titanium ring 18, and then forming the window component. Parts are brazed to the mounting block 25 or the mounting portion 10a by using a low melting point brazing material.

【0017】これら実施例の場合も前記実施例と同じく
光透過窓を有する光モジュール用パッケージを容易にか
つ確実に製造することができ、光透過窓が汚染されたり
することがなく、光透過窓の光透過性に優れる等の高品
質の製品を効率的に生産することができる。なお、本発
明方法は上記実施例以外にカンタイプ等の種々の形式の
パッケージに対しても同様に適用することができる。ま
た、本発明に係る製造方法は純粋なサファイアによるも
のの他にアルミナを主体とする光透過窓を取り付けた光
モジュール用パッケージの製造に対しても適用すること
ができるものである。
Also in the case of these embodiments, the optical module package having the light transmitting window can be easily and surely manufactured similarly to the above embodiments, the light transmitting window is not contaminated, and the light transmitting window is not polluted. It is possible to efficiently produce high-quality products such as having excellent light transmittance. The method of the present invention can be similarly applied to various types of packages such as a can type other than the above embodiment. Further, the manufacturing method according to the present invention can be applied to the manufacture of an optical module package having a light-transmitting window mainly made of alumina, in addition to the pure sapphire.

【0018】[0018]

【発明の効果】本発明に係る光モジュール用パッケージ
及びその製造方法によれば、上述したように、光透過窓
の封着性および光透過特性にすぐれた光モジュール用パ
ッケージ製品を提供することができ、高品質の製品を確
実に製造できるとともに、製造も容易にできる等の著効
を奏する。
As described above, according to the optical module package and the method of manufacturing the same of the present invention, it is possible to provide an optical module package product excellent in the sealing property of the light transmission window and the light transmission characteristics. In addition to being able to reliably manufacture high quality products, it is also possible to manufacture easily, and so on.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】光モジュール用パッケージの光透過窓の取り付
け部分を拡大して示す断面図である。
FIG. 1 is an enlarged sectional view showing a mounting portion of a light transmission window of an optical module package.

【図2】光透過窓に金属リングを取り付けた窓部品の構
成を示す説明図である。
FIG. 2 is an explanatory diagram showing a configuration of a window component in which a metal ring is attached to a light transmitting window.

【図3】光モジュール用パッケージの一実施例の構成を
示す説明図である。
FIG. 3 is an explanatory diagram showing a configuration of an embodiment of an optical module package.

【図4】光モジュール用パッケージの他の実施例の構成
を示す説明図である。
FIG. 4 is an explanatory diagram showing the configuration of another embodiment of the optical module package.

【図5】光モジュール用パッケージのさらに他の実施例
の構成を示す説明図である。
FIG. 5 is an explanatory diagram showing the configuration of still another embodiment of the optical module package.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 パッケージ本体 10a 取付部 12 パイプ部 14 サファイア窓 16 金属リング 18 チタンリング 20 銀ろう材 21 窓部品 22 低融点ろう材 23 窓部 25 取付ブロック 10 Package Main Body 10a Mounting Part 12 Pipe Part 14 Sapphire Window 16 Metal Ring 18 Titanium Ring 20 Silver Brazing Material 21 Window Parts 22 Low Melting Point Brazing Material 23 Window Part 25 Mounting Block

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 サファイア等のアルミナを主体とする光
透過窓をパッケージ本体の窓部に封着して成る光モジュ
ール用パッケージにおいて、 前記光透過窓にチタンリングを挟んで金属リングをろう
付けして成る窓部品が、前記窓部のろう付け面に前記金
属リングをろう付けして封着されたことを特徴とする光
モジュール用パッケージ。
1. A package for an optical module, which is formed by sealing a light-transmitting window mainly made of alumina such as sapphire to a window portion of a package body, and brazing a metal ring with a titanium ring sandwiched in the light-transmitting window. An optical module package, wherein the window component formed by the above is sealed by brazing the metal ring to the brazing surface of the window portion.
【請求項2】 サファイア等のアルミナを主体とする光
透過窓をパッケージ本体の窓部に封着して成る光モジュ
ール用パッケージの製造方法において、 前記光透過窓にチタンリングを挟んで金属リングをろう
付けすることによって窓部品を作成し、 該窓部品の前記金属リングを前記窓部のろう付け面にろ
う付けして光透過窓を封着することを特徴とする光モジ
ュール用パッケージの製造方法。
2. A method of manufacturing a package for an optical module, which comprises sealing a light transmitting window mainly made of alumina such as sapphire to a window portion of a package body, wherein a metal ring is sandwiched between the light transmitting window and a titanium ring. A method for manufacturing a package for an optical module, characterized in that a window component is created by brazing, and the metal ring of the window component is brazed to a brazing surface of the window portion to seal a light transmitting window. .
【請求項3】 前記窓部品に所要のめっきを施した後、
前記窓部のろう付け面にろう付けすることを特徴とする
請求項2記載の光モジュール用パッケージの製造方法。
3. After applying the required plating to the window component,
The method for manufacturing an optical module package according to claim 2, wherein brazing is performed on a brazing surface of the window portion.
JP10680793A 1993-05-07 1993-05-07 Optical module package and method of manufacturing the same Expired - Lifetime JP3478559B2 (en)

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10680793A JP3478559B2 (en) 1993-05-07 1993-05-07 Optical module package and method of manufacturing the same

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JP10680793A JP3478559B2 (en) 1993-05-07 1993-05-07 Optical module package and method of manufacturing the same

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