JPH06307408A - Hydraulic servo valve - Google Patents

Hydraulic servo valve

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JPH06307408A
JPH06307408A JP9570693A JP9570693A JPH06307408A JP H06307408 A JPH06307408 A JP H06307408A JP 9570693 A JP9570693 A JP 9570693A JP 9570693 A JP9570693 A JP 9570693A JP H06307408 A JPH06307408 A JP H06307408A
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flapper
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flow
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Tomoshirou Yamashina
智四郎 山科
Masao Shinoda
昌男 信田
Shinpei Miyagawa
新平 宮川
Eizo Urata
暎三 浦田
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Ebara Research Co Ltd
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Ebara Corp
Ebara Research Co Ltd
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Abstract

PURPOSE:To constantly obtain an optimum nozzle flapper characteristic by making a passage guided to a nozzle flapper composed of two flows, namely, a flow from a static pressure bearing and a flow through an inlet orifice. CONSTITUTION:Passages 12a, 12b, which are connected to a body 1 and bifurcating to static pressure bearings 15a, 15b, are communicated to lines 6a, 6b through inlet orifices 13a, 13b, respectively. Pressure water PC from a pump port P flow bifurcatingly to two passages of passages 12a, 12b, namely, flows B1, B2 to static pressure bearings 15a, 15b and flows C1, C2 to lines 6a, 6b passing through the inlet orifices 13a, 13b. Flows B1, B2 flow into lines 6a, 6b as keeping a spool 11 and a sleeve 2 in an untouched condition by static pressure bearing effect. Flows C1, C2 past through orifices 13a, 13b join flows B1, B2 entered into lines 6a, 6b and are guided to the flapper part.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、スリーブ及びスプール
を内蔵し、これらの部材により流体切換ポートを構成
し、かつ、作動流体が水である水圧サーボ弁に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a hydraulic servo valve having a sleeve and a spool built therein, which constitutes a fluid switching port and whose working fluid is water.

【0002】[0002]

【従来の技術】水圧サーボ弁は種々知られており、例え
ば図2に示すものが公知である。
2. Description of the Related Art Various hydraulic servo valves are known, for example, the one shown in FIG. 2 is known.

【0003】図2において、プラスチック材等の不錆材
からなる弁本体1Aには、スリーブ2が形成されてい
る。そのスリーブ2内には、プラスチック材等の不錆材
からなるスプール11が、両端を一対の静圧軸受15
a、15bによりスリーブ2に対し非接触に支持され、
左右のばね室3a、3b内に介装されたばね4によりセ
ンタリングされている。
In FIG. 2, a sleeve 2 is formed on a valve body 1A made of a non-rust material such as a plastic material. Inside the sleeve 2, a spool 11 made of a non-rust material such as a plastic material has a pair of static pressure bearings 15 at both ends.
a and 15b are supported on the sleeve 2 in a non-contact manner,
Centering is performed by springs 4 interposed in the left and right spring chambers 3a and 3b.

【0004】また、ばね室3a、3bに接続された管路
6a、6bは弁本体1Aに形成された中央室8内に突出
され、それらの突出端部には、それぞれノズル7a、7
bが形成されている。これらノズル7a、7bの間に
は、隙間Dが形成され、その隙間Dには、弁本体1Aに
固設されたトルクモータ9のフラッパ10がノズル7
a、7bにわずかの隙間を設けて挿通され、これらノズ
ル7a、7b及びフラッパ10によりノズル・フラッパ
部NFが構成されている。
Further, the conduits 6a, 6b connected to the spring chambers 3a, 3b are projected into the central chamber 8 formed in the valve body 1A, and the nozzles 7a, 7 are respectively provided at their projecting ends.
b is formed. A gap D is formed between the nozzles 7a and 7b, and the flapper 10 of the torque motor 9 fixed to the valve body 1A is provided in the gap D.
The nozzles 7a and 7b and the flapper 10 form a nozzle / flapper section NF.

【0005】このように構成され、圧水PSはポンプポ
ートPからスリーブ2内に入り、通路A1、A2の2路
に分岐されて静圧軸受15a、15bの図示しない4個
の絞り部から図示しないポケットに噴出し、スプール1
1を浮上させてスリーブ2に対し非接触に支持してい
る。なお、図中の符号16は水圧サーボ弁で切換え制御
される負荷である。
With such a construction, the pressurized water PS enters the sleeve 2 from the pump port P, is branched into two passages A1 and A2, and is illustrated from four throttle portions (not shown) of the static pressure bearings 15a and 15b. Do not gush into the pocket, spool 1
1 is floated and supported in a non-contact manner with respect to the sleeve 2. Reference numeral 16 in the figure is a load which is switched and controlled by a hydraulic servo valve.

【0006】このように水圧サーボ弁は、静圧軸受15
a、15bを用いて、スプール11とスリーブ2とを非
接触で支持するように構成されている。従って、従来の
油圧サーボ弁に比べ、スプール11とスリーブ2との間
の隙間hが大きいため、内部漏れL(圧液の一部が仕事
せずに直接戻りの流れとなる(図3参照))が大きいと
う欠点がある。
As described above, the hydraulic servo valve has the static pressure bearing 15
A and 15b are used to support the spool 11 and the sleeve 2 in a non-contact manner. Therefore, as compared with the conventional hydraulic servo valve, the gap h between the spool 11 and the sleeve 2 is large, so that the internal leakage L (a part of the pressurized liquid directly returns without working (see FIG. 3). ) Has a big drawback.

【0007】これを低減するにはスプール・スリーブ間
の隙間hを小さくする方法が最も簡単で効果的である。
しかしながら、これまでの水圧サーボ弁は静圧軸受15
a、15bを通過した流体をノズル・フラッパ部NFに
導き、スプール11を駆動するための背圧制御に用いる
ことを特徴としており、内部漏れ低減のために隙間hを
小さくすると、ノズル・フラッパ部NFへ導かれる流体
の流量までが少なくなり、ノズル・フラッパ部NFの特
性が大きく変化する(図4、図5参照)。すなわち、同
一のノズル径を用いてスプール・スリーブの隙間hを小
さくすると距離Xnに対するノズル背圧Pnの勾配が大
きくなり、僅かなフラッパ変位でノズル背圧Pnが大き
く変化する。この勾配が大きいとノズル・フラッパ部N
Fの応答性は良くなるが、逆に安定性が悪くなり、サー
ボ弁が振動する原因となることがある。なお、図4にお
いて、 dn:ノズル7a、7bのノズル径 Xn:ノズル7a、7bとフラッパ10との間のノズル
・フラッパ間距離 Pn:ノズル7a、7bのノズル背圧 Qn:ノズル7a、7bからの流量 である。
To reduce this, the method of reducing the gap h between the spool and the sleeve is the simplest and most effective.
However, the conventional hydraulic servo valve has the static pressure bearing 15
It is characterized in that the fluid that has passed through a and 15b is guided to the nozzle / flapper section NF and is used for back pressure control for driving the spool 11. When the gap h is reduced to reduce internal leakage, the nozzle / flapper section NF is reduced. The flow rate of the fluid guided to the NF decreases, and the characteristics of the nozzle / flapper section NF change significantly (see FIGS. 4 and 5). That is, when the gap h between the spool and the sleeve is reduced by using the same nozzle diameter, the gradient of the nozzle back pressure Pn with respect to the distance Xn increases, and the nozzle back pressure Pn greatly changes with a slight flapper displacement. If this gradient is large, the nozzle flapper part N
Although the responsiveness of F is improved, the stability is deteriorated, which may cause the servo valve to vibrate. In FIG. 4, dn: nozzle diameter of nozzles 7a, 7b Xn: nozzle-flapper distance between nozzles 7a, 7b and flapper Pn: nozzle back pressure of nozzles 7a, 7b Qn: from nozzles 7a, 7b Is the flow rate of.

【0008】また、静圧軸受効果を出すためには、フラ
ッパ中立位置におけるノズル背圧(Pno)をある程度
高く保つ必要があり、この時、ノズル・フラッパ間距離
Xnoが非常に小さくなり(数10μm)、ノズル・フ
ラッパ部NFに高い製作精度が要求され、製作が難しい
という問題を生じる。また、隙間hを小さくした場合、
これに応じてノズル径dnも変えれば原理的には隙間h
によらず同じノズル・フラッパ特性を得ることが可能で
あるが、その場合、ノズル径dnがかなり小さくなり、
やはり、製作上の問題や耐コンタミの問題が生じる。
In order to obtain the hydrostatic bearing effect, it is necessary to maintain the nozzle back pressure (Pno) at the flapper neutral position high to some extent. At this time, the nozzle-flapper distance Xno becomes extremely small (several tens of μm). ), A high manufacturing accuracy is required for the nozzle / flapper section NF, which causes a problem that the manufacturing is difficult. If the gap h is reduced,
In principle, if the nozzle diameter dn is changed accordingly, the gap h
It is possible to obtain the same nozzle flapper characteristics regardless of the above, but in that case, the nozzle diameter dn becomes considerably small,
After all, there are problems in production and contamination.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】本発明はこれらの欠点
を除去するためになされたもので、これまでの静圧軸受
部の他に、別のオリフィスを設け、これらの両者を通過
する流体をノズル・フラッパ部に導き利用して常に最適
なノズル・フラッパ特性を得ることができる水圧サーボ
弁を提供することを目的としている。
The present invention has been made in order to eliminate these drawbacks. In addition to the conventional hydrostatic bearing portion, another orifice is provided so that the fluid passing through both of them can be provided. It is an object of the present invention to provide a hydraulic servo valve that can always obtain optimum nozzle flapper characteristics by being guided to a nozzle flapper section and utilized.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】本発明によれば、スリー
ブ及びスプールを有し、作動流体が水である水圧サーボ
弁において、スプールの両端に設けた静圧軸受を通過し
た流れをノズル・フラッパ部に導くと共に、ポンプポー
トから絞りを介してノズル・フラッパ部に連通する通路
を設け、両者の流れを併用するようになっている。
According to the present invention, in a hydraulic servo valve having a sleeve and a spool, and the working fluid is water, the flow passing through static pressure bearings provided at both ends of the spool is controlled by a nozzle flapper. A passage communicating with the nozzle / flapper portion from the pump port through the throttle is provided so that both flows can be used together.

【0011】上記絞りは、ポンプポートを静圧軸受に導
く通路と、静圧軸受を通過した流れをノズル・フラッパ
部に導く通路に連通する連通部に設けたオリフィスで構
成するのが好ましい。
It is preferable that the throttle is composed of a passage for guiding the pump port to the static pressure bearing and an orifice provided in a communicating portion for communicating with a passage for guiding the flow passing through the static pressure bearing to the nozzle / flapper portion.

【0012】[0012]

【作用】上記のように構成された水圧サーボ弁において
は、静圧軸受を通過した流れとポンプポートからの静圧
軸受に流れる前の水が絞りを通過した後合流されてノズ
ル・フラッパ部に導かれる。したがって、スプール・ス
リーブ間の隙間を小さくしても、最適なノズル・フラッ
パ特性を得ることができる。
In the hydraulic servo valve constructed as described above, the flow of water passing through the hydrostatic bearing and the water from the pump port before flowing into the hydrostatic bearing are combined after passing through the throttle to the nozzle / flapper section. Be guided. Therefore, even if the gap between the spool and the sleeve is reduced, the optimum nozzle flapper characteristic can be obtained.

【0013】[0013]

【実施例】以下図面を参照して本発明の実施例を説明す
る。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0014】なお、図1において、図2に対応する部分
については、同じ符号を付して重複説明を省略する。
In FIG. 1, parts corresponding to those in FIG. 2 are designated by the same reference numerals, and duplicate description will be omitted.

【0015】図1において、本体1に接続され分岐され
て静圧軸受15a,15bに至る通路12a、12b
は、絞りであるインレットオリフィス13a、13bを
介して管路6a、6bにそれぞれ連通されている。
In FIG. 1, passages 12a and 12b connected to the main body 1 and branched to reach the hydrostatic bearings 15a and 15b.
Are communicated with the pipelines 6a and 6b via inlet orifices 13a and 13b, which are throttles, respectively.

【0016】次に作用について説明する。Next, the operation will be described.

【0017】圧水PSは、ポンプポートPから通路12
a、12bの2路に分岐して流れ、静圧軸受15a、1
5bへの流れB1、B2と、インレットオリフィス13
a、13bを通過して管路6a、6bへの流れC1、C
2とに分岐される。前記流れB1、B2は静圧軸受効果
によりスプール11とスリーブ2とを非接触状態に保持
し、管路6a、6bに流れる。この管路6a、6bに入
った流れB1、B2にインレットオリフィス13a、1
3bを通過した流れC1、C2が合流してノズル・フラ
ッパ部NFに導かれる。
The pressurized water PS passes from the pump port P to the passage 12
The hydrostatic bearings 15a, 1
Flows B1 and B2 to 5b and inlet orifice 13
Flows C1 and C passing through a and 13b to the pipelines 6a and 6b
It is branched to 2. The flows B1 and B2 hold the spool 11 and the sleeve 2 in a non-contact state by the hydrostatic bearing effect, and flow into the pipe lines 6a and 6b. The inlet orifices 13a, 1 are connected to the flows B1, B2 entering the pipes 6a, 6b.
The flows C1 and C2 that have passed through 3b join and are guided to the nozzle / flapper unit NF.

【0018】したがって、スプール・スリーブ間隙間h
を小さくすることができ、それにより静圧軸受15a、
15bを介してノズル・フラッパ部NFに導かれる水量
が少くても、インレットオリフィス13a、13bの口
径を変えることにより、ノズル・フラッパ部NFへの流
量を適量に保持し、常に最適なノズル・フラッパ特性を
得ることができる。
Therefore, the clearance h between the spool and the sleeve h
Of the hydrostatic bearing 15a,
Even if the amount of water introduced to the nozzle / flapper section NF via 15b is small, the flow rate to the nozzle / flapper section NF is maintained at an appropriate amount by changing the diameters of the inlet orifices 13a and 13b, and the optimum nozzle / flapper section is always provided. The characteristics can be obtained.

【0019】[0019]

【発明の効果】本発明は、水圧サーボ弁においてノズル
・フラッパ部に導かれる流路が静圧軸受部からの流れと
インレットオリフィスを介する流れの二つから成る構造
としたことによって、水圧サーボ弁の特徴である静圧軸
受による自動調心作用をもたせつつ、内部漏れ流量を減
らす為にスプールとスリーブとの半径方向の隙間を小さ
くしてもノズル・フラッパ部の特性を任意に変更できる
ため、水圧サーボ弁の性能を最適に調整できる効果を生
じた。
According to the present invention, the hydraulic servo valve has a structure in which the flow path guided to the nozzle / flapper section is composed of the flow from the static pressure bearing section and the flow through the inlet orifice. While the self-aligning action by the static pressure bearing, which is a feature of the above, is provided, the characteristics of the nozzle flapper can be changed arbitrarily even if the radial gap between the spool and the sleeve is reduced to reduce the internal leakage flow. This has the effect of optimally adjusting the performance of the hydraulic servo valve.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例を示す側断面図。FIG. 1 is a side sectional view showing an embodiment of the present invention.

【図2】従来の水圧サーボ弁の一例を示す側断面図。FIG. 2 is a side sectional view showing an example of a conventional hydraulic servo valve.

【図3】図2の漏れを説明する図面。FIG. 3 is a diagram illustrating a leak of FIG.

【図4】ノズル・フラッパ部の詳細を示す図面。FIG. 4 is a drawing showing details of a nozzle flapper section.

【図5】スプール・スリーブ間の隙間がノズル・フラッ
パ間距離−ノズル背圧勾配に及ぼす影響を説明する図
面。
FIG. 5 is a drawing for explaining the influence of the gap between the spool and the sleeve on the nozzle-flapper distance-nozzle back pressure gradient.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

A1、A2・・・通路 B1、B2・・・静圧軸受への流れ C1、C2・・・管路への流れ NF・・・ノズル・フラッパ部 P・・・ポンプポート PS・・・圧水 1、1A・・・本体 2・・・スリーブ 3a、3b・・・ばね室 4・・・ばね 6a、6b・・・管路 7a、7b・・・ノズル 8・・・中央室 9・・・トルクモータ 10・・・フラッパ 11・・・スプール 12a、12b・・・通路 13a、13b・・・インレットオリフィス 15a、15b・・・静圧軸受 16・・・負荷 A1, A2 ... Passages B1, B2 ... Flow to static pressure bearing C1, C2 ... Flow to pipeline NF ... Nozzle and flapper P ... Pump port PS ... Compressed water 1, 1A ... Main body 2 ... Sleeve 3a, 3b ... Spring chamber 4 ... Spring 6a, 6b ... Pipe line 7a, 7b ... Nozzle 8 ... Central chamber 9 ... Torque motor 10 ... Flapper 11 ... Spool 12a, 12b ... Passage 13a, 13b ... Inlet orifice 15a, 15b ... Hydrostatic bearing 16 ... Load

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 信田 昌男 神奈川県藤沢市本藤沢4丁目2番1号 株 式会社荏原総合研究所内 (72)発明者 宮川 新平 神奈川県藤沢市本藤沢4丁目2番1号 株 式会社荏原総合研究所内 (72)発明者 浦田 暎三 東京都町田市小川二丁目18番18号 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (72) Inventor Masao Shinoda 4-2-1 Honfujisawa, Fujisawa-shi, Kanagawa Prefecture EBARA Research Institute Ltd. (72) Shinpei Miyakawa 4-2-1, Fujisawa, Kanagawa Prefecture No. 1 Ebara Research Institute, Inc. (72) Inventor Akemi Urata 2-18-18 Ogawa, Machida, Tokyo

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 スリーブ及びスプールを有し、作動流体
が水である水圧サーボ弁において、スプールの両端に設
けた静圧軸受を通過した流れをノズル・フラッパ部に導
くと共に、ポンプポートから絞りを介してノズル・フラ
ッパ部に連通する通路を設け、両者の流れを併用するこ
とを特徴とする水圧サーボ弁。
1. In a hydraulic servo valve having a sleeve and a spool, the working fluid being water, the flow passing through static pressure bearings provided at both ends of the spool is guided to a nozzle flapper portion, and a throttle is provided from a pump port. A hydraulic servo valve characterized in that a passage communicating with the nozzle flapper is provided, and both flows are used together.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR101484476B1 (en) * 2013-12-20 2015-01-21 주식회사 포스코 Edge position control apparatus
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