JPH063054A - Ceramic calcining furnace - Google Patents

Ceramic calcining furnace

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JPH063054A
JPH063054A JP16477292A JP16477292A JPH063054A JP H063054 A JPH063054 A JP H063054A JP 16477292 A JP16477292 A JP 16477292A JP 16477292 A JP16477292 A JP 16477292A JP H063054 A JPH063054 A JP H063054A
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JP
Japan
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core tube
furnace
raw material
ceramic
ceramic raw
Prior art date
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Application number
JP16477292A
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Japanese (ja)
Inventor
Osamu Nishisato
修 西里
Toshitaka Tanaka
俊隆 田中
Masaru Kojima
勝 小島
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Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
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Abstract

PURPOSE:To obtain a calcining furnace having a furnace core tube which enables the suppression of reaction with a heavy metal vapor sufficiently to allow practical use. CONSTITUTION:This calcining furnace 1 has a cylindrical furnace core tube 2 to transfer a ceramic material with own rotating action. The furnace core tube 2 has an inner cylinder 3 comprising a high purity and highly dense ceramic material inserted into an outer cylinder 4 comprising a heat resistant metal.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、電子部品形成用原料で
ある誘電体材料や圧電体材料などの仮焼を行う際に使用
されるセラミック仮焼炉に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a ceramic calcining furnace used for calcining a dielectric material or a piezoelectric material, which is a raw material for forming electronic parts.

【0002】[0002]

【従来の技術】チタン酸バリウム系の誘電体材料やチタ
ン酸ジルコン酸鉛系の圧電体材料などのセラミック原料
を仮焼するに際しては、ロータリーキルン構造といわれ
るセラミック仮焼炉(以下、仮焼炉という)を用いるの
が一般的となっている。すなわち、この仮焼炉10は、
図4で簡略化して示すように、長手方向に沿う一定の傾
きをもって配置され、かつ、回転自在に支持された円筒
状の炉心管11を備えたものであり、この炉心管11の
長手方向に沿う外側周囲を取り囲んで配設された炉体1
2の内側には温度制御可能なヒータ13が配設されてい
る。
2. Description of the Related Art When calcining a ceramic raw material such as a barium titanate-based dielectric material or a lead zirconate titanate-based piezoelectric material, a ceramic calcining furnace called a rotary kiln structure (hereinafter referred to as a calcining furnace) is used. ) Is commonly used. That is, this calcination furnace 10
As shown in a simplified manner in FIG. 4, it is provided with a cylindrical core tube 11 which is arranged with a constant inclination along the longitudinal direction and is rotatably supported. Furnace body 1 arranged to surround the outer periphery
A temperature controllable heater 13 is provided inside the unit 2.

【0003】そして、この仮焼炉10を用いて仮焼され
るべきセラミック原料(図示していない)は、炉心管1
1の上向きに位置する一端側から投入されたうえ、炉心
管11自らの回転動作によって下向きに位置する他端側
へと向かって移送されながらヒータ12で加熱されるこ
とによって仮焼される。なお、図4においては、炉心管
11の支持構造及び回転駆動構造についての図示を省略
している。
A ceramic raw material (not shown) to be calcined by using the calcining furnace 10 is a core tube 1
1 is charged from one end located upward, and is then calcined by being heated by the heater 12 while being transferred to the other end positioned downward by the rotation operation of the core tube 11 itself. Note that, in FIG. 4, the illustration of the support structure and the rotation drive structure of the core tube 11 is omitted.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ところで、前記従来構
成とされた仮焼炉においては、炉心管11の長手方向に
沿う端部及び中央部間における温度差が大きく、また、
この炉心管11が大きなヒートショック(熱衝撃)を繰
り返し受けながら回転駆動されるから、熱間強度特性に
優れた素材、例えば、ポーラスな状態に焼成されたセラ
ミック素材からなる炉心管11を用いたり、比較的純度
の低いシャモット質やムライト質のセラミック素材によ
って炉芯管11を形成しておくことが行われている。
By the way, in the calcination furnace having the above-mentioned conventional structure, the temperature difference between the end portion and the central portion along the longitudinal direction of the core tube 11 is large, and
Since the core tube 11 is rotationally driven while repeatedly receiving a large heat shock, a core tube 11 made of a material excellent in hot strength characteristics, for example, a ceramic material fired in a porous state is used. The furnace core tube 11 is made of a chamotte or mullite ceramic material having a relatively low purity.

【0005】しかしながら、このような炉心管11を用
いてセラミック原料の仮焼を行った場合には、セラミッ
ク原料から発生した鉛などの重金属蒸気と炉心管11を
構成するセラミック素材とが激しく反応することが起こ
り、炉心管11の劣化が促進される結果、炉芯管11の
短期間での損傷が生じてしまう。また、重金属蒸気と炉
心管11との反応によって鉛ガラス,シリカ,アルミナ
などのような反応生成物が発生することもあり、これら
の反応生成物が製品となるセラミック原料中に不純物と
して混入する結果、品質上の不都合を引き起こしてしま
うこともある。
However, when the ceramic raw material is calcined by using such a furnace core tube 11, heavy metal vapor such as lead generated from the ceramic raw material and the ceramic material forming the furnace core tube 11 react violently. As a result, the deterioration of the core tube 11 is accelerated, and as a result, the core tube 11 is damaged in a short period of time. In addition, reaction products such as lead glass, silica, and alumina may be generated due to the reaction between the heavy metal vapor and the core tube 11. As a result, these reaction products are mixed as impurities in the ceramic raw material as a product. However, it may cause quality inconvenience.

【0006】なお、ここで、高純度かつ高密度のセラミ
ック素材からなる炉芯管を使用した場合には、この炉芯
管と重金属蒸気との反応が生じることはないと考えられ
るのであるが、このような素材からなる炉芯管では熱的
に十分な機械的強度が得られない恐れがあり、未だ実用
化には踏み切れていないのが現状である。
When a furnace core tube made of a high-purity and high-density ceramic material is used, it is considered that the reaction between the furnace core tube and the heavy metal vapor does not occur. A furnace core tube made of such a material may not be able to obtain a sufficiently high mechanical strength thermally, and at present it has not yet been put to practical use.

【0007】本発明は、このような不都合に鑑みて創案
されたものであって、重金属蒸気との反応を十分に抑制
することができ、実用化可能な炉芯管を備えてなる仮焼
炉の提供を目的としている。
The present invention was devised in view of such inconvenience, and it is a calcining furnace provided with a furnace core tube which can suppress the reaction with heavy metal vapor sufficiently and can be put to practical use. The purpose is to provide.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明に係る仮焼炉は、
このような目的を達成するために、自らの回転動作によ
ってセラミック原料を移送する円筒状の炉心管を備えて
おり、この炉心管は、高純度かつ高密度のセラミック素
材からなる内筒を耐熱性金属からなる外筒に挿入した構
造とされていることを特徴とするものである。
A calcining furnace according to the present invention comprises:
In order to achieve such an object, it is equipped with a cylindrical core tube that transfers the ceramic raw material by its own rotating operation, and this core tube is made of a high purity and high density ceramic material that is heat resistant. It is characterized in that it has a structure of being inserted into an outer cylinder made of metal.

【0009】[0009]

【作用】上記構成によれば、炉芯管を構成する内筒が高
純度かつ高密度のセラミック素材からなっているため、
この内筒と重金属蒸気との反応が生じることはほとんど
ない。そして、この内筒の有する熱的な機械的強度が十
分でないことに起因し、温度差やヒートショックの影響
に基づくクラック(亀裂)などが生じることがあったと
しても、この内筒の長手方向に沿う周囲は耐熱性金属か
らなる外筒によって覆われているのであるから、さほど
の不都合も生じることなく、そのままセラミック原料の
仮焼を続行しうることになる。
According to the above construction, since the inner cylinder forming the furnace core tube is made of high purity and high density ceramic material,
The reaction between the inner cylinder and the heavy metal vapor hardly occurs. And, even if cracks due to the influence of temperature difference or heat shock may occur due to insufficient thermal mechanical strength of this inner cylinder, the longitudinal direction of this inner cylinder Since the periphery along the line is covered with the outer cylinder made of a heat-resistant metal, the calcination of the ceramic raw material can be continued as it is without causing any inconvenience.

【0010】[0010]

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0011】図1は本実施例にかかる仮焼炉の全体構造
を簡略化して示す縦断面図、図2は炉心管の構造を簡略
化して示す斜視図、図3は炉芯管の変形例構造を示す分
解斜視図であり、これらの図における符号1は仮焼炉を
示している。なお、図1において、従来例にかかる図4
と互いに同一となる部位については同一符号を付してお
り、ここでの説明は省略する。
FIG. 1 is a vertical sectional view showing a simplified overall structure of a calcining furnace according to this embodiment, FIG. 2 is a perspective view showing a simplified structure of a core tube, and FIG. 3 is a modification of the core tube. It is an exploded perspective view which shows a structure, and the code | symbol 1 in these figures has shown the calcination furnace. In addition, in FIG. 1, FIG.
The same reference numerals are given to the portions that are the same as each other, and description thereof is omitted here.

【0012】この仮焼炉1は、長手方向に沿う一定の傾
きをもって配置されたうえで自らの回転動作によってセ
ラミック原料を移送する円筒状の炉心管2を備えてお
り、この炉心管2は、図2で示すように、内筒3を外筒
4に挿入した構造とされている。すなわち、この炉心管
2を構成する内筒3は高純度かつ高密度のセラミック素
材、例えば、純度99.5%以上のアルミナ焼結体から
なる長尺状の一体管として形成されたものであり、外筒
4はインコネルなどのような耐熱性金属からなる長尺状
の一体管として形成されたものである。そして、これら
の挿入によって一体化された内筒3及び外筒4間の直径
方向に沿って生じた隙間には、セラミックファイバーブ
ランケットなどのような不定形断熱材(図示していな
い)が詰め込まれている。
This calcination furnace 1 is provided with a cylindrical core tube 2 which is arranged with a certain inclination along the longitudinal direction and which transfers the ceramic raw material by its own rotating operation. As shown in FIG. 2, the inner cylinder 3 is inserted into the outer cylinder 4. That is, the inner cylinder 3 that constitutes the furnace core tube 2 is formed as a long, integral tube made of a high-purity and high-density ceramic material, for example, an alumina sintered body having a purity of 99.5% or more. The outer cylinder 4 is formed as a long, integral tube made of a heat-resistant metal such as Inconel. Then, an irregular heat insulating material (not shown) such as a ceramic fiber blanket is packed in the diametrical gap between the inner cylinder 3 and the outer cylinder 4 integrated by these insertions. ing.

【0013】なお、ここで、炉芯管2を構成する内筒3
が長尺状の一体管に限定されるわけではなく、例えば、
短尺状として分割形成されたものを互いに連続配置する
ことによって一体化したものであってもよい。また、外
筒4についても長尺状の一体管に限定されるものではな
く、例えば、図3で示すように、外筒4をその長手方向
に沿う二つ割り形状や三つ割り形状などとしたうえ、こ
れらをボルト,ナットなどを用いて連結することによっ
て内筒3を挟み込んで一体化したものであってもよい。
Here, the inner cylinder 3 which constitutes the furnace core tube 2
Is not limited to a long integral tube, for example,
It may be integrated by arranging the divided and divided pieces in a continuous manner. Further, the outer cylinder 4 is not limited to the long integral tube, and for example, as shown in FIG. 3, the outer cylinder 4 may be formed in a split shape or a split shape along the longitudinal direction. Alternatively, the inner cylinder 3 may be sandwiched and integrated by connecting them using bolts, nuts and the like.

【0014】そこで、この仮焼炉1を用いて仮焼される
べきセラミック原料(図示していない)も、従来例同
様、炉心管2を構成する内筒3の上向きに位置する一端
側から投入されたうえ、炉心管2自らの回転動作によっ
て下向きに位置する他端側へと向かって移送されながら
ヒータ12によって仮焼されていくことになる。なお、
この仮焼に際してセラミック原料から重金属蒸気が発生
することがあったとしても、内筒3は高純度かつ高密度
のセラミック素材によって形成されているのであるか
ら、この内筒3と重金属蒸気とが反応することはほとん
ど起こり得ないことになる。
Therefore, the ceramic raw material (not shown) to be calcined by using the calcining furnace 1 is also charged from the one end side of the inner tube 3 constituting the furnace core tube 2 which is located upward as in the conventional example. In addition, the core tube 2 is calcinated by the heater 12 while being transferred toward the other end side which is positioned downward by the rotating operation of the core tube 2 itself. In addition,
Even if heavy metal vapor may be generated from the ceramic raw material during this calcination, since the inner cylinder 3 is formed of a high-purity and high-density ceramic raw material, the inner cylinder 3 reacts with the heavy metal vapor. It is almost impossible to do.

【0015】ところで、本発明の発明者らは、上記構造
とされた炉芯管2及び従来例である炉芯管11それぞれ
を使用して仮焼されたセラミック原料についての調査を
行ったので、この調査内容について説明する。
By the way, the inventors of the present invention have conducted an investigation on the ceramic raw material that has been calcined by using the furnace core tube 2 having the above structure and the conventional furnace core tube 11, respectively. The contents of this survey will be described.

【0016】まず、BaCO3,TiO2及びPbOを調合
し、ボールミルを使用して混合した後、得られた混合物
を脱水乾燥して造粒することにより鉛系チタン酸バリウ
ム用のセラミック原料を作成した。そして、本実施例に
かかる仮焼炉1及び従来例にかかる仮焼炉10それぞれ
の備える炉芯管2,11内にセラミック原料の1Kg/
hrずつを定量投入しながら、共に500℃/hr以上
の昇温速度で1100℃まで加熱することによってセラ
ミック原料の仮焼を行った。つぎに、仮焼済みとなった
セラミック原料のそれぞれを粉砕し、各々に対してバイ
ンダを加えたうえで造粒した後、成形することによって
直径10mmの円板状試料を作成した。
First, BaCO 3 , TiO 2 and PbO were prepared, mixed using a ball mill, and the resulting mixture was dehydrated and dried and granulated to prepare a ceramic raw material for lead-based barium titanate. did. Then, in the furnace core tubes 2 and 11 provided in the calcination furnace 1 according to the present embodiment and the calcination furnace 10 according to the conventional example, 1 kg / g of the ceramic raw material
The ceramic raw material was calcined by heating to 1100 ° C. at a heating rate of 500 ° C./hr or more while quantitatively adding each hr. Next, each of the calcined ceramic raw materials was crushed, a binder was added to each, and the mixture was granulated, followed by molding to prepare a disk-shaped sample having a diameter of 10 mm.

【0017】さらに、このようにして得られた円板状試
料のそれぞれを1100℃の温度下で焼結し、焼結体と
して得られた円板状試料の各々に含まれる不純物を測定
したところ、表1で示すように、従来例にかかる炉芯管
11を用いた場合よりも本実施例にかかる炉芯管2を用
いた場合における不純物量の方が少なくなっていること
が明らかとなった。なお、この表1中における本実施例
品とは本実施例にかかる炉芯管2を備えた仮焼炉1を用
いて仮焼されたセラミック原料からなるものを意味し、
従来例品とは従来例にかかる炉芯管11を備えた仮焼炉
10を用いて仮焼されたセラミック原料からなるものを
意味している。また、ここで、これらの不純物は、セラ
ミック原料の仮焼に伴って発生した重金属蒸気と炉芯管
との反応によって生じた反応生成物がセラミック原料中
に混入したものである。
Further, each of the disk-shaped samples thus obtained was sintered at a temperature of 1100 ° C., and impurities contained in each of the disk-shaped samples obtained as a sintered body were measured. As shown in Table 1, it is clear that the amount of impurities is smaller when the furnace core tube 2 according to the present embodiment is used than when the furnace core tube 11 according to the conventional example is used. It was In addition, the product of this example in Table 1 means a product made of a ceramic raw material that is calcined using a calcining furnace 1 equipped with a furnace core tube 2 according to this example,
The conventional product means a product made of a ceramic raw material that is calcined by using a calcining furnace 10 including a furnace core tube 11 according to the conventional example. Further, here, these impurities are those in which the reaction product generated by the reaction between the heavy metal vapor generated along with the calcination of the ceramic raw material and the furnace core tube is mixed in the ceramic raw material.

【0018】[0018]

【表1】 [Table 1]

【0019】さらに、不純物を含むセラミック原料から
なる焼結体においてはピンホールが発生するから、仮焼
炉1,10の各々を用いて仮焼されたセラミック原料か
らなる焼結体それぞれにおけるピンホールの発生数を調
べたところ、従来例によって作成された焼結体では8個
/cm2 のピンホールが発生するのに対し、本実施例にか
かる仮焼炉1を用いて作成された焼結体では2個/cm2
と大幅に減少することが確認された。また、従来例にか
かる炉心管11では1本当たり3000kg程度の仮焼
しか行うことができなかったのに対し、本実施例にかか
る炉心管2では30000kg程度まで仮焼でき、その
寿命が約10倍程度まで延びることが確認された。な
お、セラミック原料の仮焼に使用した炉芯管2を構成す
る内筒3の内面状態を目視によって調査したところ、ク
ラックの発生が多少認められはしたが、クラックが発生
しているにも拘わらず、内筒3は外筒4によって何らの
不都合なく支持されていた。
Further, since pinholes are generated in the sintered body made of the ceramic raw material containing impurities, the pinholes in the sintered body made of the ceramic raw material which are calcined in each of the calcination furnaces 1 and 10. When the number of occurrences of 8 was generated in the sintered body prepared by the conventional example, the number of generated pinholes of 8 pieces / cm 2 was found, while the sintering produced by using the calcining furnace 1 according to the present example. 2 pieces / cm 2 in the body
It was confirmed that it would be significantly reduced. Further, in the core tube 11 according to the conventional example, only about 3000 kg of calcination per one can be performed, whereas in the core tube 2 according to the present example, calcination can be performed up to about 30,000 kg, and the life thereof is about 10. It was confirmed that it doubled. When the inner surface state of the inner cylinder 3 constituting the furnace core tube 2 used for calcination of the ceramic raw material was visually inspected, some cracks were found, but despite the occurrence of cracks, In other words, the inner cylinder 3 was supported by the outer cylinder 4 without any inconvenience.

【0020】[0020]

【発明の効果】以上説明したように、本発明にかかる仮
焼炉は、高純度かつ高密度のセラミック素材からなる内
筒を耐熱性金属からなる外筒に挿入した構造の炉芯管を
備えているので、セラミック原料の仮焼によって発生し
た重金属蒸気と内筒との反応が十分に抑制されることに
なり、反応生成物の混入による品質上の不都合が生じる
ことはなくなる。また、炉芯管を構成する内筒の有する
熱的な機械的強度が十分でないことに起因して多少のク
ラックなどが発生することがあるとしても、この内筒は
外筒によって支持され、かつ、補強されているのである
から、さほどの不都合をも生じることなく、そのままセ
ラミック原料の仮焼を続行しうることになり、十分に実
用化できるという効果が得られる。
As described above, the calcination furnace according to the present invention includes the furnace core tube having a structure in which the inner cylinder made of high-purity and high-density ceramic material is inserted into the outer cylinder made of heat-resistant metal. Therefore, the reaction between the heavy metal vapor generated by the calcination of the ceramic raw material and the inner cylinder is sufficiently suppressed, and the inconvenience in quality due to the mixing of the reaction product does not occur. Further, even if some cracks may occur due to insufficient thermal mechanical strength of the inner cylinder forming the furnace core tube, this inner cylinder is supported by the outer cylinder, and Since it is reinforced, calcination of the ceramic raw material can be continued as it is without causing any inconvenience, and an effect that it can be put to practical use is obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本実施例にかかる仮焼炉の全体構造を簡略化し
て示す縦断面図である。
FIG. 1 is a vertical cross-sectional view showing a simplified overall structure of a calcination furnace according to the present embodiment.

【図2】炉心管の構造を簡略化して示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing a simplified structure of a core tube.

【図3】炉芯管の変形例構造を示す分解斜視図である。FIG. 3 is an exploded perspective view showing a modified structure of the furnace core tube.

【図4】従来例にかかる仮焼炉の全体構造を簡略化して
示す縦断面図である。
FIG. 4 is a vertical cross-sectional view showing a simplified overall structure of a conventional calcination furnace.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 仮焼炉 2 炉心管 3 内筒 4 外筒 1 Calcination furnace 2 Core tube 3 Inner cylinder 4 Outer cylinder

─────────────────────────────────────────────────────
─────────────────────────────────────────────────── ───

【手続補正書】[Procedure amendment]

【提出日】平成4年8月31日[Submission date] August 31, 1992

【手続補正1】[Procedure Amendment 1]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0005[Name of item to be corrected] 0005

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【0005】しかしながら、このような炉心管11を用
いてセラミック原料の仮焼を行った場合には、セラミッ
ク原料から発生した鉛などの重金属蒸気と炉心管11を
構成するセラミック素材とが激しく反応することが起こ
り、炉心管11の劣化が促進される結果、炉芯管11の
短期間での損傷が生じてしまう。また、重金属蒸気と炉
心管11との反応によって鉛ガラスのような反応生成物
が発生することもあり、これらの反応生成物やシリカ,
アルミナなどが製品となるセラミック原料中に不純物と
して混入する結果、品質上の不都合を引き起こしてしま
うこともある。
However, when the ceramic raw material is calcined by using such a furnace core tube 11, heavy metal vapor such as lead generated from the ceramic raw material and the ceramic material forming the furnace core tube 11 react violently. As a result, the deterioration of the core tube 11 is accelerated, and as a result, the core tube 11 is damaged in a short period of time. Also, there the reaction product, such as lead glass is produced by the reaction of the heavy metal vapors and the core tube 11, these reaction products, silica,
As a result of inclusion of alumina or the like as an impurity in the ceramic raw material used as a product, quality inconvenience may occur.

【手続補正2】[Procedure Amendment 2]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0018[Correction target item name] 0018

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【0018】[0018]

【表1】 [Table 1]

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 自らの回転動作に伴ってセラミック原料
を移送する円筒状の炉心管(2)を備えており、 この炉心管(2)は、高純度かつ高密度のセラミック素
材からなる内筒(3)を耐熱性金属からなる外筒(4)
に挿入した構造とされていることを特徴とするセラミッ
ク仮焼炉。
1. A cylindrical core tube (2) for transferring a ceramic raw material according to its rotation operation is provided, and this core tube (2) is an inner cylinder made of high-purity and high-density ceramic material. (3) is an outer cylinder made of heat-resistant metal (4)
Ceramic calcination furnace characterized by having a structure inserted in.
JP16477292A 1992-06-23 1992-06-23 Ceramic calcining furnace Pending JPH063054A (en)

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