JPH06302944A - Soldering equipment for electronic component - Google Patents

Soldering equipment for electronic component

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Publication number
JPH06302944A
JPH06302944A JP11403293A JP11403293A JPH06302944A JP H06302944 A JPH06302944 A JP H06302944A JP 11403293 A JP11403293 A JP 11403293A JP 11403293 A JP11403293 A JP 11403293A JP H06302944 A JPH06302944 A JP H06302944A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
heating
nitrogen gas
electronic component
solder
circuit pattern
Prior art date
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Pending
Application number
JP11403293A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kouichi Asai
鎬一 浅井
Kozo Matsumoto
紘三 松本
Kunio Oe
邦夫 大江
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fuji Corp
Original Assignee
Fuji Machine Manufacturing Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Fuji Machine Manufacturing Co Ltd filed Critical Fuji Machine Manufacturing Co Ltd
Priority to JP11403293A priority Critical patent/JPH06302944A/en
Publication of JPH06302944A publication Critical patent/JPH06302944A/en
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/30Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
    • H05K3/32Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
    • H05K3/34Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
    • H05K3/341Surface mounted components
    • H05K3/3421Leaded components

Abstract

PURPOSE:To suitably solder electrodes of an electronic component to a circuit pattern of a mount object like a printed board, with excellent thermal efficiency. CONSTITUTION:A component suction tool 10, a nitrogen supplyier 68 and a heating bar 80, and a seal cover 84 mutually independently elevate. After the component suction tool 10 mounts an electronic component 12 on a printed board 14, and the seal cover 84 descends to form a closed space, the nitrogen gas supplier 68 drscends together with the heating bar 80 while supplying nitrogen gas, and the heating bar 80 comes into contact with the tip part 22 of a lead 20, and heats it effectively. Since the nitrogen gas is supplied, the lead 20, cream solder 26, and a circuit pattern of the printed board 14 are scarcely oxidized, and the deterioration of wetting property of the cream solder can be prevented. Thus the lead 20 can be excellently bonded to the printed board 14. In stead of nitrogen gas, a low oxygen concentration atmosphere is formed with a vauum equipment, and heating may be performed.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は電子部品の電極をプリン
ト基板等装着対象物の回路パターンに半田付けする装置
に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for soldering electrodes of electronic parts to a circuit pattern of an object to be mounted such as a printed circuit board.

【0002】[0002]

【従来の技術】電子部品の電極をプリント基板やMCM
(Multi Chip Module )等の装着対象物の回路パターン
に半田付けすることは広く行われている。半田は回路パ
ターンの所定の位置あるいは電子部品の電極に塗布され
ており、電子部品の電極と回路パターンとが半田を介し
て接触させられた状態で半田が加熱装置によって加熱さ
れることにより溶かされ、電極が回路パターンに接合さ
れるのである。
2. Description of the Related Art Electrodes for electronic parts are used as printed circuit boards and MCMs.
Soldering to a circuit pattern of a mounting target such as (Multi Chip Module) is widely performed. The solder is applied to a predetermined position of the circuit pattern or an electrode of the electronic component, and the solder is melted by being heated by a heating device in a state where the electrode of the electronic component and the circuit pattern are in contact with each other via the solder. , The electrodes are joined to the circuit pattern.

【0003】そのための半田付け装置には、窒素ガスや
アルゴンガス等の不活性ガスを加熱して半田に吹き付
け、半田を加熱,溶融する装置がある。このようにすれ
ば、加熱時に電極および半田を含む空間が不活性ガスに
より満たされ、加熱時に電極,半田および回路パターン
が殆ど酸化せず、半田のぬれ性低下が回避されて、電極
が回路パターンに良好に半田付けされる。
As a soldering device for that purpose, there is a device for heating an inert gas such as nitrogen gas or argon gas and blowing it onto the solder to heat and melt the solder. With this configuration, the space containing the electrodes and the solder is filled with the inert gas during heating, the electrodes, the solder, and the circuit pattern are hardly oxidized during heating, the wettability of the solder is prevented from decreasing, and the electrodes are connected to the circuit pattern. It is well soldered.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この半
田付け装置には熱効率が低い問題がある。熱ガスを吹き
付けて電極を加熱するとき、熱ガスは電極および半田を
加熱するとともに、それらの周辺の空間に逃げる。その
ため、この逃げる熱ガスが持っている分だけ熱が無駄に
なり、熱効率が悪いのである。請求項1および2の発明
はいずれも、高い熱効率で接合度高く電極を回路パター
ンに半田付けすることができる装置を提供することを課
題として為されたものである。
However, this soldering device has a problem of low thermal efficiency. When the hot gas is blown to heat the electrode, the hot gas heats the electrode and the solder and escapes to the space around them. Therefore, heat is wasted by the amount of this escaped hot gas, and the thermal efficiency is poor. It is an object of the inventions of claims 1 and 2 to provide an apparatus capable of soldering an electrode to a circuit pattern with high thermal efficiency and a high degree of bonding.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】請求項1の発明に係る電
子部品半田付け装置は、上記の課題を解決するために、
(A)加熱部材からの熱伝導によって電子部品の電極を
加熱する接触型電極加熱装置と、(B)電極および回路
パターンの周辺に不活性ガスを供給する不活性ガス供給
装置とを含むように構成される。請求項2の発明は、
(a)加熱部材からの熱伝導によって電子部品の電極を
加熱する接触型電極加熱装置と、(b)電極,回路パタ
ーンおよび加熱部材の周辺を気密に覆うカバー手段と、
(c)そのカバー手段の内側空間内を負圧とするバキュ
ーム装置とを含むように構成される。
In order to solve the above-mentioned problems, an electronic component soldering apparatus according to the invention of claim 1
(A) A contact-type electrode heating device that heats an electrode of an electronic component by heat conduction from a heating member, and (B) an inert gas supply device that supplies an inert gas to the periphery of the electrode and the circuit pattern. Composed. The invention of claim 2 is
(A) a contact-type electrode heating device that heats an electrode of an electronic component by heat conduction from the heating member; and (b) cover means that hermetically covers the periphery of the electrode, the circuit pattern, and the heating member.
(C) A vacuum device for creating a negative pressure in the inner space of the cover means.

【0006】[0006]

【作用】請求項1の発明に係る電子部品半田付け装置に
おいては、加熱部材からの熱伝導によって電極が加熱さ
れるとともに半田が加熱され、電極が回路パターンに半
田付けされる。このとき、電極および回路パターンの周
辺には不活性ガスが供給されるため、加熱は不活性ガス
雰囲気中において行われ、電極,回路パターンおよび半
田が酸化することは殆どない。しかも、加熱部材からの
熱伝導により電極を加熱し、半田を加熱するのであっ
て、不活性ガスを熱媒体とするわけではないため、不活
性ガスは電極等の周辺の空気(酸素)を排除するに十分
な流量で供給すればよく、周辺へ逃げる不活性ガスの量
が少なくて済む。また、不活性ガスは加熱部材等によっ
て加熱されるが、不活性ガスが熱媒体とされる場合に比
較すれば周辺へ逃げる不活性ガスの温度も低い。請求項
2の発明に係る電子部品半田付け装置においても、加熱
部材からの熱伝導によって電極が加熱されるとともに半
田が加熱され、電極が回路パターンに半田付けされる。
このとき、電極,回路パターンおよび加熱部材を囲む空
間が負圧とされ、酸素濃度が低くされるため、電極,回
路パターンおよび半田の加熱時における酸化が良好に回
避される。
In the electronic component soldering apparatus according to the first aspect of the invention, the electrodes are heated by the heat conduction from the heating member and the solder is heated, and the electrodes are soldered to the circuit pattern. At this time, since the inert gas is supplied around the electrodes and the circuit pattern, the heating is performed in the inert gas atmosphere, and the electrodes, the circuit pattern, and the solder are hardly oxidized. Moreover, since the electrodes are heated by the heat conduction from the heating member to heat the solder and the inert gas is not used as the heat medium, the inert gas excludes the air (oxygen) around the electrodes. The amount of inert gas that escapes to the surroundings can be small. Further, the inert gas is heated by a heating member or the like, but the temperature of the inert gas that escapes to the surroundings is lower than when the inert gas is used as the heat medium. Also in the electronic component soldering apparatus according to the invention of claim 2, the electrodes are heated by the heat conduction from the heating member and the solder is heated, and the electrodes are soldered to the circuit pattern.
At this time, a negative pressure is applied to the space surrounding the electrodes, the circuit pattern, and the heating member, and the oxygen concentration is lowered, so that the electrodes, the circuit patterns, and the solder are favorably prevented from being oxidized during heating.

【0007】[0007]

【発明の効果】上記のように請求項1の発明によれば、
加熱時に電極,半田および回路パターンが酸化すること
は殆どないため、半田のぬれ性が低下せず、電極を回路
パターンに良好に半田付けすることができる。また、不
活性ガスの消費量が少なくて済むとともに、不活性ガス
の供給により無駄になる熱量が少なく、熱効率が向上す
る効果が得られる。請求項2の発明においても同様に、
電極,半田および回路パターンが酸化し難いため、半田
のぬれ性低下が良好に回避され、電極を回路パターンに
良好に半田付けすることができるとともに、加熱部材か
らの熱伝導によって加熱することにより熱効率を向上さ
せることができる。特に、負圧下において加熱する場合
には不活性ガスを供給する場合のように熱が奪われるこ
とがなく、極めて効率良く加熱することができる。
As described above, according to the invention of claim 1,
Since the electrodes, the solder and the circuit pattern are hardly oxidized at the time of heating, the wettability of the solder does not deteriorate and the electrodes can be well soldered to the circuit pattern. Further, the consumption amount of the inert gas is small, and the amount of heat wasted by the supply of the inert gas is small, so that the thermal efficiency is improved. Similarly in the invention of claim 2,
Since the electrodes, solder, and circuit pattern are difficult to oxidize, deterioration of solder wettability can be satisfactorily avoided, and the electrodes can be satisfactorily soldered to the circuit pattern, and thermal efficiency can be improved by heating by heat conduction from the heating member. Can be improved. In particular, when heating under negative pressure, heat is not taken away as in the case of supplying an inert gas, and heating can be performed extremely efficiently.

【0008】[0008]

【実施例】以下、まず、請求項1の発明をプリント基板
に電子部品を半田付けする装置に適用した一実施例を図
面に基づいて詳細に説明する。図1において10は部品
吸着具であり、電子部品12を部品供給装置から取り出
してプリント基板14に装着する。電子部品12は、正
方形の本体18の4つの側面からそれぞれ多数の電極と
してのリード20が等間隔に延び出させられている。各
リード20は、本体18の側面から直角に延び出させら
れた後、電子部品12の厚さ方向に斜めに曲げられ、さ
らに、先端部22が本体18の側面に直角に成形されて
おり、先端部22においてプリント基板14に接合され
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS First, an embodiment in which the invention of claim 1 is applied to an apparatus for soldering electronic parts to a printed circuit board will be described in detail with reference to the drawings. In FIG. 1, reference numeral 10 denotes a component suction tool, which takes out the electronic component 12 from the component supply device and mounts it on the printed circuit board 14. In the electronic component 12, a large number of leads 20 as electrodes are extended at equal intervals from four side surfaces of a square body 18. Each lead 20 is extended from the side surface of the main body 18 at a right angle, then is bent obliquely in the thickness direction of the electronic component 12, and the tip portion 22 is formed at a right angle to the side surface of the main body 18, It is joined to the printed circuit board 14 at the tip 22.

【0009】また、各リード20の基端部はロの字形の
樹脂フィルム24によって互に連結されている。本電子
部品12は、樹脂フィルムにラミネートされた銅箔の露
光,エッチングによりリード20が形成されるととも
に、チップが取り付けられて成るフィルム保持電子部品
が樹脂フィルムから切り離された後、リード20が上記
の形状に成形されて成り、樹脂フィルム24は電子部品
12の製造工程において残されたものであり、多数のリ
ード20を互に連結し、リード20の曲がりを防止する
役割を果たす。
The base ends of the leads 20 are connected to each other by a square V-shaped resin film 24. In this electronic component 12, the leads 20 are formed by exposing and etching a copper foil laminated on a resin film, and after the film-holding electronic component to which a chip is attached is separated from the resin film, the leads 20 are The resin film 24 is left in the manufacturing process of the electronic component 12, and connects a large number of leads 20 to each other to prevent the leads 20 from bending.

【0010】プリント基板14のリード20の先端部2
2が固定される位置にはそれぞれ、クリーム状半田26
が塗布されている。プリント基板14は図示しない移動
装置により水平面内を一方向(この方向をY方向とす
る)に移動させられる。
The tip portion 2 of the lead 20 of the printed circuit board 14
The creamy solder 26 is provided at each of the positions where 2 is fixed.
Has been applied. The printed circuit board 14 is moved in one direction in the horizontal plane (this direction is the Y direction) by a moving device (not shown).

【0011】部品吸着具10は、図示しない移動装置に
より、水平面内においてY方向と直交するX方向と、上
下方向(Z方向)とに移動させられる。この移動装置
は、ねじ軸がサーボモータによって回転させられること
によりX方向に移動させられるXスライドと、そのXス
ライドに搭載され、ねじ軸がサーボモータによって回転
させられることにより昇降させられるZスライドとを有
しており、部品吸着具10はZスライドに搭載されてい
る。
The component suction tool 10 is moved by an unillustrated moving device in the X direction orthogonal to the Y direction in the horizontal plane and in the vertical direction (Z direction). This moving device includes an X slide that is moved in the X direction by rotating a screw shaft by a servo motor, and a Z slide that is mounted on the X slide and is moved up and down by rotating the screw shaft by the servo motor. The component suction tool 10 is mounted on the Z slide.

【0012】部品吸着具10は吸着具本体30と吸着管
32とを有する。吸着具本体30には下面に開口する嵌
合穴34が形成され、吸着管32の嵌合部36が軸方向
に摺動可能に嵌合されるとともに、嵌合穴34の底面と
の間に配設されたスプリング38によって吸着具本体3
0から突出する向きに付勢されている。スプリング38
の付勢は、吸着管32を半径方向に貫通して嵌合された
ピン40の両端部がそれぞれ、吸着具本体30に形成さ
れた一対の長穴42に嵌合されることにより規定されて
いる。
The component suction tool 10 has a suction tool body 30 and a suction tube 32. A fitting hole 34 that opens to the lower surface is formed in the suction tool body 30, the fitting portion 36 of the suction tube 32 is fitted so as to be slidable in the axial direction, and a space is formed between the fitting hole 34 and the bottom surface of the fitting hole 34. The suction tool body 3 is provided by the spring 38 provided.
It is biased in a direction projecting from 0. Spring 38
The urging force is defined by fitting both ends of the pin 40, which is fitted through the suction tube 32 in the radial direction, into the pair of elongated holes 42 formed in the suction tool body 30. There is.

【0013】吸着管32の嵌合部36の吸着具本体30
から突出した下端部には、吸着部46が設けられてい
る。吸着部46は、断面形状が矩形の箱状を成し、下方
に突出するロの字形の吸着突部48を有している。吸着
突部48は、ちょうど前記電子部品12の樹脂フィルム
24に対応する大きさに形成されている。吸着部46内
には、吸着突部48の下面に開口する空気通路50が形
成され、嵌合部36内の空気通路52,嵌合穴34を介
して吸着具本体30内に形成された空気通路54に連通
させられている。
The suction tool body 30 of the fitting portion 36 of the suction tube 32
An adsorption portion 46 is provided at the lower end portion protruding from the suction portion 46. The suction part 46 has a rectangular box-shaped cross section, and has a square-shaped suction projection 48 protruding downward. The suction protrusion 48 is formed to have a size just corresponding to the resin film 24 of the electronic component 12. An air passage 50 opening to the lower surface of the suction protrusion 48 is formed in the suction portion 46, and air formed in the suction tool body 30 through the air passage 52 and the fitting hole 34 in the fitting portion 36. It communicates with the passage 54.

【0014】部品吸着具10は、吸着具本体30が前記
Zスライドに設けられたチャックによって保持されるこ
とによりZスライドに取り付けられる。吸着具本体30
がチャックによって保持されることにより、吸着具本体
30内に形成された空気通路54は、Zスライド側に形
成された空気通路に連通させられるとともに図示しない
バキューム装置に接続され、吸着突部48にバキューム
が供給される。
The component suction tool 10 is attached to the Z slide by holding the suction tool body 30 by a chuck provided on the Z slide. Adsorption tool body 30
By being held by the chuck, the air passage 54 formed in the suction tool body 30 is connected to the air passage formed on the Z slide side and is connected to a vacuum device (not shown), so that the suction protrusion 48 is provided. Vacuum is supplied.

【0015】前記Xスライドには、半田付け装置60が
搭載されている。半田付け装置60は、窒素ガス供給装
置62,電極加熱装置64およびカバー装置66を有す
る。窒素ガス供給装置62は、二重角筒状を成し、前記
部品吸着具10の外側に配設された窒素ガス供給体68
を有する。窒素ガス供給体68内には、窒素ガス供給通
路70が形成されるとともに図示しない窒素ガス供給源
に接続されており、窒素ガスが供給される。これら窒素
ガス供給体68および窒素ガス供給源が窒素ガス供給装
置62を構成している。また、窒素ガス供給体68の下
端部は、部品吸着具10から離れる向きに傾斜させら
れ、窒素ガス供給通路70の開口がちょうどリード20
の先端部22に至るようにされている。
A soldering device 60 is mounted on the X slide. The soldering device 60 has a nitrogen gas supply device 62, an electrode heating device 64, and a cover device 66. The nitrogen gas supply device 62 is in the shape of a double prism and is a nitrogen gas supply body 68 arranged outside the component suction tool 10.
Have. A nitrogen gas supply passage 70 is formed in the nitrogen gas supply body 68 and is connected to a nitrogen gas supply source (not shown) to supply the nitrogen gas. The nitrogen gas supply body 68 and the nitrogen gas supply source constitute the nitrogen gas supply device 62. Further, the lower end portion of the nitrogen gas supply body 68 is inclined in a direction away from the component adsorption tool 10, and the opening of the nitrogen gas supply passage 70 is just the lead 20.
To the tip 22 of the.

【0016】電極加熱装置64は窒素ガス供給体68と
一体的に設けられた二重角筒状のケーシング76を有し
ており、これらケーシング76およひ窒素ガス供給体6
8は、Xスライドに設けられた図示しないエアシリンダ
によって一体的に昇降させられる。ケーシング76は窒
素ガス供給体68の外側に設けられており、内部にヒー
タ78が収容されるとともに、下面には角筒状を成す加
熱部材として加熱バー80が突設されている。加熱バー
80は、部品吸着具10により吸着された電子部品12
のリード20の先端部22にちょうど対応する大きさに
形成されており、ヒータ78によって加熱される。
The electrode heating device 64 has a casing 76 in the shape of a double prism which is integrally provided with the nitrogen gas supply body 68. The casing 76 and the nitrogen gas supply body 6 are also provided.
8 is integrally lifted by an air cylinder (not shown) provided on the X slide. The casing 76 is provided on the outside of the nitrogen gas supply body 68, the heater 78 is housed inside, and a heating bar 80 as a heating member having a rectangular tubular shape is provided on the lower surface so as to project. The heating bar 80 is used for the electronic component 12 sucked by the component suction tool 10.
It has a size just corresponding to the tip 22 of the lead 20 and is heated by the heater 78.

【0017】カバー装置66は、下方に開口する容器状
を成し、部品吸着具10,窒素ガス供給装置62および
電極加熱装置64を覆うことができる寸法のシールカバ
ー84を有している。シールカバー84の開口端部には
耐熱ゴム製のシール部材86が取り付けられており、ま
た、シールカバー84の上部には図示しないガス穴が設
けられ、ガスの抜け出しを許容するようにされている。
このシールカバー84は、Xスライドに設けられた図示
しないエアシリンダにより、部品吸着具10,加熱装置
64および窒素ガス供給装置62とは独立して昇降させ
られる。
The cover device 66 is in the form of a container that opens downward, and has a seal cover 84 having a size capable of covering the component adsorption tool 10, the nitrogen gas supply device 62 and the electrode heating device 64. A heat-resistant rubber seal member 86 is attached to the open end of the seal cover 84, and a gas hole (not shown) is provided in the upper portion of the seal cover 84 to allow the escape of gas. .
The seal cover 84 is lifted and lowered independently of the component suction tool 10, the heating device 64, and the nitrogen gas supply device 62 by an air cylinder (not shown) provided on the X slide.

【0018】電子部品12をプリント基板14に装着す
る場合には、部品吸着具10は部品取出し位置へ移動さ
せられ、部品供給装置から電子部品12を取り出した
後、プリント基板14上へ移動して電子部品12を装着
する。この移動の途中で部品吸着具10による電子部品
12の保持姿勢の誤差が検出され、プリント基板14の
位置決め誤差と合わせて修正されるが、それら検出,修
正は本発明とは直接関係がないため、図示および説明は
省略する。
When mounting the electronic component 12 on the printed circuit board 14, the component suction tool 10 is moved to the component take-out position, and after the electronic component 12 is taken out from the component supply device, it is moved onto the printed circuit board 14. The electronic component 12 is mounted. During this movement, an error in the posture of holding the electronic component 12 by the component suction tool 10 is detected and corrected together with the positioning error of the printed board 14, but these detections and corrections are not directly related to the present invention. Illustration and description are omitted.

【0019】部品吸着具10はプリント基板14の部品
装着位置上へ移動した後、下降させられて電子部品12
をプリント基板14上に載置する。この下降量はリード
20の先端部22がプリント基板14上に塗布されたク
リーム状半田26に接触させられるのに十分な量であ
り、余分な下降量は吸着具本体30と吸着管32との相
対移動によって吸収される。
After the component suction tool 10 is moved to the component mounting position on the printed circuit board 14, it is lowered to the electronic component 12.
Are placed on the printed circuit board 14. This descending amount is sufficient to bring the tip 22 of the lead 20 into contact with the cream-like solder 26 applied on the printed circuit board 14, and the excessive descending amount is between the suction tool body 30 and the suction tube 32. It is absorbed by relative movement.

【0020】電子部品12がプリント基板14上に載置
されるのと並行してシールカバー84が下降させられ、
シール部材86がプリント基板14に接触させられて閉
じた空間を形成する。次いで、窒素ガス供給体68およ
び加熱バー80が下降させられる。このとき、加熱バー
80はリード20の加熱に必要な温度に加熱され、窒素
ガス供給体68は窒素ガスを供給しつつ下降させられ
る。そのため、窒素ガス供給体68が下降するのにした
がってシールカバー84により形成された気密な空間内
の空気が窒素ガスに置換される。
The seal cover 84 is lowered in parallel with the mounting of the electronic component 12 on the printed circuit board 14.
The seal member 86 is brought into contact with the printed circuit board 14 to form a closed space. Then, the nitrogen gas supplier 68 and the heating bar 80 are lowered. At this time, the heating bar 80 is heated to a temperature necessary for heating the lead 20, and the nitrogen gas supply body 68 is lowered while supplying the nitrogen gas. Therefore, as the nitrogen gas supply body 68 descends, the air in the airtight space formed by the seal cover 84 is replaced with nitrogen gas.

【0021】特に、窒素ガス供給体68がプリント基板
14に近くなるに従って窒素ガスの流れが強くなってプ
リント基板14表面近傍の空気が追い出され、良好に窒
素ガスに置換される。また、窒素ガス供給体68は加熱
バー80と吸着管32との間に設けられており、加熱バ
ー80の内側から外側へ窒素ガスを供給することとなる
ため、空気は加熱バー80とシールカバー84との間を
通って良好に排出される。
In particular, as the nitrogen gas supply member 68 becomes closer to the printed circuit board 14, the flow of the nitrogen gas becomes stronger, and the air near the surface of the printed circuit board 14 is expelled, so that the nitrogen gas is satisfactorily replaced with the nitrogen gas. Further, since the nitrogen gas supply body 68 is provided between the heating bar 80 and the adsorption pipe 32 and supplies the nitrogen gas from the inside of the heating bar 80 to the outside, the air is heated by the heating bar 80 and the seal cover. It is discharged well through 84.

【0022】このように窒素ガスはシールカバー84に
より覆われて成る限られた空間内に供給されるため、そ
の空間内の空気はほぼ完全に窒素ガスに置換される。そ
のため、加熱バー80がリード20の先端部22に接触
する位置まで下降させられ、プリント基板14と共にリ
ード20を挟んでクリーム状半田26を加熱するときに
は、リード20の先端部22,クリーム状半田26およ
びプリント基板14の回路パターンの周辺は窒素を多く
含む雰囲気が形成されており、リード20の加熱により
クリーム状半田26が加熱され、溶融するとき、リード
20,クリーム状半田26および回路パターンが酸化す
ることは殆どなく、ぬれ性の低下が防止され、リード2
0が回路パターンに良好に半田付けされる。窒素ガスは
リード20の加熱中も供給されており、リード20,ク
リーム状半田26および回路パターンの周辺は窒素ガス
が満たされた状態に保たれる。
As described above, since the nitrogen gas is supplied into the limited space covered with the seal cover 84, the air in the space is almost completely replaced with the nitrogen gas. Therefore, when the heating bar 80 is lowered to a position where it contacts the tip 22 of the lead 20 and the cream solder 26 is heated with the lead 20 sandwiched between the printed board 14, the tip 22 of the lead 20 and the cream solder 26. An atmosphere containing a large amount of nitrogen is formed around the circuit pattern of the printed circuit board 14. When the creamy solder 26 is heated by the heating of the lead 20 and melts, the lead 20, the creamy solder 26 and the circuit pattern are oxidized. Hardly occurs, the deterioration of wettability is prevented, and the lead 2
0 is well soldered to the circuit pattern. Nitrogen gas is supplied even while the leads 20 are being heated, and the periphery of the leads 20, the cream solder 26 and the circuit pattern is kept filled with nitrogen gas.

【0023】また、加熱バー80がリード20に接触し
て加熱するため、熱の逃げが少なく、熱効率良く加熱す
ることができる。
Further, since the heating bar 80 contacts the lead 20 and heats it, the heat does not escape so much and the heating can be performed efficiently.

【0024】しかも、加熱バー80からの熱伝導により
リード20を加熱し、クリーム状半田を加熱するのであ
って、窒素ガスを熱媒体とし、加熱した窒素ガスによっ
て加熱するわけではないため、窒素ガスはリード20の
先端部22,クリーム状半田26およびプリント基板1
4の回路パターンの周辺の空気(酸素)を排除するに十
分な流量で供給すればよく、周辺へ逃げる窒素ガスの量
が少なくて済み、熱効率が良い。また、窒素ガスは加熱
バー80等によって加熱されるが、窒素ガスが熱媒体と
される場合に比較すれば周辺へ逃げる窒素ガスの温度も
低く、熱効率良く加熱することができる。
Moreover, since the leads 20 are heated by the heat conduction from the heating bar 80 to heat the creamy solder, the nitrogen gas is not used as a heat medium and is not heated by the heated nitrogen gas. Is the tip portion 22 of the lead 20, the cream solder 26, and the printed circuit board 1.
It suffices that the air (oxygen) around the circuit pattern of No. 4 be supplied at a flow rate sufficient to eliminate it, the amount of nitrogen gas escaping to the surroundings can be small, and thermal efficiency is good. Further, the nitrogen gas is heated by the heating bar 80 or the like, but the temperature of the nitrogen gas escaping to the surroundings is lower than that in the case where the nitrogen gas is used as the heat medium, and thus the heating can be performed with high thermal efficiency.

【0025】さらに、加熱バー80はリード20の先端
部22に当てられ、プリント基板14と共にリード20
を挟んで加熱するため、リード20に垂直方向の浮き上
がりがあり、あるいはプリント基板14の下方への反り
があっても、リード20が加熱バー80によって押され
ることにより、それら浮き上がりや反りが矯正され、リ
ード20がプリント基板14に確実に半田付けされる。
Further, the heating bar 80 is applied to the tip end portion 22 of the lead 20, and together with the printed circuit board 14, the lead 20.
Since the leads 20 are lifted in the vertical direction or the warp of the printed circuit board 14 is downward due to heating by sandwiching, the leads 20 are pressed by the heating bar 80 to correct the lift and warp. The leads 20 are securely soldered to the printed circuit board 14.

【0026】また、窒素ガス供給体68は加熱バー80
と吸着管32との間に設けられているため、加熱バー8
0によるリード20の加熱時に電子部品12への熱輻射
を防止し、電子部品12に対する熱の影響が少なくて済
む。
Further, the nitrogen gas supplier 68 is a heating bar 80.
And the adsorption tube 32, the heating bar 8
When the lead 20 is heated by 0, heat radiation to the electronic component 12 is prevented, and the influence of heat on the electronic component 12 can be reduced.

【0027】さらに、吸着管32の吸着突部48は箱状
を成し、樹脂フィルム24を吸着するとき電子部品12
の本体18を覆うため、この点においても本体18に対
する熱の影響を低減することができる。
Further, the suction protrusion 48 of the suction pipe 32 has a box shape, and when the resin film 24 is sucked, the electronic component 12 is sucked.
Since the main body 18 is covered, the influence of heat on the main body 18 can be reduced in this respect as well.

【0028】請求項2の発明をフリップチップをMCM
に半田付けする装置に適用した一実施例を図2に基づい
て説明する。フリップチップ90は、半導体チップ92
の表面に露出した複数の電極上に半田バンプ94が形成
されたものであり、MCM96上に塗布された半田98
によりMCM96に接合される。そのため、部品吸着具
100は、半導体チップ92の半田バンプ94が形成さ
れた側とは反対側の面を吸着管102でバキュームによ
って吸着するものとされている。この部品吸着具100
は前記部品吸着具10と同様に、図示しないXスライド
およびZスライドによってX方向およびZ方向に移動さ
せられ、MCM96はY方向に移動させられるようにな
っている。。
According to the invention of claim 2, the flip chip is MCM.
An embodiment applied to a soldering device will be described with reference to FIG. The flip chip 90 is a semiconductor chip 92.
The solder bumps 94 are formed on a plurality of electrodes exposed on the surface of the solder, and the solder 98 applied on the MCM 96.
It is joined to MCM96 by. Therefore, in the component suction tool 100, the surface of the semiconductor chip 92 opposite to the side on which the solder bumps 94 are formed is suctioned by the suction tube 102 by vacuum. This component suction tool 100
Like the component suction tool 10, is moved in the X and Z directions by an X slide and a Z slide (not shown), and the MCM 96 is moved in the Y direction. .

【0029】上記Xスライドには、半田付け装置104
が搭載されている。半田付け装置104は、電極加熱装
置106,バキューム装置108およびカバー装置11
0を有する。電極加熱装置106は、吸着管102より
径が大きく、半導体チップ92より小形の角筒状の加熱
部材114を有する。この加熱部材114は図示しない
ヒータにより加熱され、図示しないエアシリンダによっ
て昇降させられる。
A soldering device 104 is attached to the X slide.
Is installed. The soldering device 104 includes an electrode heating device 106, a vacuum device 108 and a cover device 11.
Has 0. The electrode heating device 106 has a rectangular tubular heating member 114 having a larger diameter than the adsorption tube 102 and smaller than the semiconductor chip 92. The heating member 114 is heated by a heater (not shown) and moved up and down by an air cylinder (not shown).

【0030】また、カバー装置110は、フリップチッ
プ90,加熱部材114および半田98を囲むのに十分
な大きさを有する容器状のシールカバー116を有して
おり、シールカバー116の下端部には耐熱ゴム製のシ
ール部材118が取り付けられている。シールカバー1
16も、加熱部材114および部品吸着具100とは独
立してエアシリンダにより昇降させられる。さらに、バ
キューム装置108は、シールカバー116がMCM9
6上に降ろされることにより形成される気密な空間内の
空気をバキューム源120により吸引するものとされて
いる。このバキューム源120は、吸着管102と共用
のバキューム源である。
Further, the cover device 110 has a container-shaped seal cover 116 having a size sufficient to surround the flip chip 90, the heating member 114 and the solder 98, and a lower end portion of the seal cover 116 is provided at a lower end portion thereof. A seal member 118 made of heat resistant rubber is attached. Seal cover 1
16 is also lifted and lowered by an air cylinder independently of the heating member 114 and the component suction tool 100. Further, in the vacuum device 108, the seal cover 116 has the MCM9.
The air in the airtight space formed by being lowered onto the vacuum chamber 6 is sucked by the vacuum source 120. The vacuum source 120 is a vacuum source shared with the adsorption tube 102.

【0031】半田付け時には部品吸着具100により吸
着されたフリップチップ90がMCM96上に載置さ
れ、半田バンプ94が半田98上に載せられた後、シー
ルカバー116が下降させられてMCM96上に載せら
れる。それにより気密な空間が形成された状態でバキュ
ーム装置108によりシールカバー116内の空気が吸
引されて酸素濃度が低下させられた後、加熱部材114
が下降させられて半導体チップ92に当接させられる。
それにより半導体チップ92が加熱され、熱伝導により
半田バンプ94,半田98が加熱されるとともに溶けて
フリップチップ90がMCM96に接合される。
At the time of soldering, the flip chip 90 sucked by the component suction tool 100 is placed on the MCM 96, the solder bumps 94 are placed on the solder 98, and then the seal cover 116 is lowered to be placed on the MCM 96. To be With the airtight space thus formed, the vacuum device 108 sucks the air in the seal cover 116 to reduce the oxygen concentration, and then the heating member 114.
Are lowered and brought into contact with the semiconductor chip 92.
As a result, the semiconductor chip 92 is heated and the solder bumps 94 and the solder 98 are heated by heat conduction and melted, and the flip chip 90 is bonded to the MCM 96.

【0032】このような半田の加熱は、低酸素濃度雰囲
気内において行われるため、半田の酸化によるぬれ性の
低下が防止され、接合度を高くすることができる。ま
た、加熱部材114を半導体チップ92に当接させて加
熱するため、熱効率良く加熱することができる。また、
不活性ガスによって酸化を防止する場合のように不活性
ガスが熱を持って逃げることがなく、この点からも熱効
率が良くなる。さらに、バキューム装置108と部品吸
着具100とはバキューム源120を共用しており、装
置コストの増大を抑えることができる。しかし、共用に
することは不可欠ではなく、それぞれにバキューム源を
設けてもよい。
Since such heating of the solder is performed in an atmosphere of low oxygen concentration, deterioration of the wettability due to oxidation of the solder is prevented and the degree of bonding can be increased. Further, since the heating member 114 is brought into contact with the semiconductor chip 92 to heat it, the heating can be performed with high thermal efficiency. Also,
Unlike the case where oxidation is prevented by an inert gas, the inert gas does not escape with heat, and this also improves the thermal efficiency. Further, the vacuum device 108 and the component suction tool 100 share the vacuum source 120, so that an increase in device cost can be suppressed. However, sharing is not essential, and a vacuum source may be provided for each.

【0033】なお、図1に示す実施例においては、不活
性ガスとして窒素ガスが供給されるようになっていた
が、アルゴンガス等、他の不活性ガスを供給してもよ
い。
In the embodiment shown in FIG. 1, nitrogen gas is supplied as the inert gas, but other inert gas such as argon gas may be supplied.

【0034】また、図1に示すようにリード20を有す
る電子部品12をプリント基板等装着対象物に接合する
とき、不活性ガスの供給に代え、シールカバーおよびバ
キューム装置により低酸素濃度状態を形成して半田付け
を行ってもよい。
As shown in FIG. 1, when the electronic component 12 having the leads 20 is joined to a mounting object such as a printed circuit board, a low oxygen concentration state is formed by a seal cover and a vacuum device instead of supplying an inert gas. Then, soldering may be performed.

【0035】逆に、図2に示すようなフリップチップ9
0を装着対象物に接合するとき、半田周辺に不活性ガス
を供給するようしにてもよい。
On the contrary, the flip chip 9 as shown in FIG.
An inert gas may be supplied around the solder when the 0 is bonded to the mounting target.

【0036】さらに、不活性ガスを供給する場合に電子
部品12のプリント基板14の装着後にシールカバー8
4を下降させてプリント基板14上に載せてもよく、低
酸素濃度雰囲気を形成する場合にフリップチップ90を
MCM96上に載置するのと同時にシールカバー116
を下降させてMCM96上に載せてもよい。
Further, when the inert gas is supplied, the seal cover 8 is mounted after mounting the printed circuit board 14 of the electronic component 12.
4 may be lowered and placed on the printed circuit board 14. When the flip chip 90 is placed on the MCM 96 when forming a low oxygen concentration atmosphere, the seal cover 116 is placed at the same time.
May be lowered and placed on the MCM 96.

【0037】さらに、不活性ガスを供給する場合にシー
ルカバーを設けて電極,回路パターンおよび加熱部材を
覆うことは不可欠ではなく、シールカバーを省略しても
よい。シールカバーを設けなくても、不活性ガスの供給
により、電極近傍の雰囲気を酸素濃度の低い雰囲気とす
ることができるからである。
Further, it is not essential to provide a seal cover to cover the electrodes, the circuit pattern and the heating member when supplying the inert gas, and the seal cover may be omitted. This is because the atmosphere near the electrodes can be made to have a low oxygen concentration by supplying an inert gas without providing a seal cover.

【0038】また、図1に示す実施例において電子部品
12の樹脂フィルム24を吸着し、本体18を覆うこと
は不可欠ではなく、図2に示す部品吸着具100と同様
の部品吸着具によって本体18を吸着保持してもよい。
Further, in the embodiment shown in FIG. 1, it is not essential to adsorb the resin film 24 of the electronic component 12 to cover the main body 18, and the main body 18 can be attached by the component adsorbing tool similar to the component adsorbing tool 100 shown in FIG. May be adsorbed and held.

【0039】さらに、図1に示す電子部品12のよう
に、本体18の4つの側面からそれぞれリード20が延
び出させられている電子部品の場合、上記実施例におい
ては4つの側面の各リード20を角筒状の加熱バー80
によって一挙に加熱するようにされていたが、1辺ずつ
あるいは2辺ずつ加熱してもよい。加熱バーと電子部品
とを順次相対移動させて各辺のリード20を加熱するよ
うにするのであり、加熱バーの位置を調節することによ
り、一つの加熱装置によって大きさが異なる複数種類の
電子部品のリードを加熱することができる。
Further, in the case of an electronic component such as the electronic component 12 shown in FIG. 1 in which the leads 20 are respectively extended from the four side surfaces of the main body 18, in the above embodiment, the leads 20 on the four side surfaces are provided. A square tubular heating bar 80
However, the heating may be performed by one side or two sides. The heating bar and the electronic component are sequentially moved relative to each other to heat the lead 20 on each side. By adjusting the position of the heating bar, a plurality of types of electronic components having different sizes can be obtained by one heating device. The reed can be heated.

【0040】さらに、上記各実施例においては部品吸着
具がX方向およびZ方向に移動し、装着対象物がY方向
に移動するものとされていたが、装着対象物がX方向お
よびY方向に移動し、部品吸着具はZ方向のみに移動す
るものとしてもよく、あるいは部品吸着具がX方向,Y
方向およびZ方向に移動し、装着対象物は位置固定に設
けられた電子部品装着装置の半田付け装置にも本発明を
適用することができる。部品吸着具と装着対象物とが電
子部品の装着に必要な相対移動を行う装置における半田
付けに本発明を適用することができるのである。
Further, in each of the above-described embodiments, the component suction tool moves in the X and Z directions, and the mounting object moves in the Y direction. However, the mounting object moves in the X and Y directions. The component suction tool may move only in the Z direction, or the component suction tool may move in the X direction and the Y direction.
The present invention can also be applied to a soldering device of an electronic component mounting device that moves in the Z direction and the Z direction, and the mounting target is provided in a fixed position. The present invention can be applied to soldering in an apparatus in which a component suction tool and a mounting object move relative to each other to mount an electronic component.

【0041】その他、特許請求の範囲を逸脱することな
く、当業者の知識に基づいて種々の変形,改良を施した
態様で本発明を実施することができる。
In addition, the present invention can be implemented in various modified and improved modes based on the knowledge of those skilled in the art without departing from the scope of the claims.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】請求項1の一実施例である半田付け装置を示す
正面断面図である。
FIG. 1 is a front sectional view showing a soldering device according to an embodiment of claim 1. FIG.

【図2】請求項2の一実施例である半田付け装置を示す
正面断面図である。
FIG. 2 is a front sectional view showing a soldering device according to an embodiment of claim 2;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

12 電子部品 20 リード 26 クリーム状半田 60 半田付け装置 62 窒素ガス供給装置 64 電極加熱装置 66 カバー装置 80 加熱バー 84 シールカバー 90 フリップチップ 94 半田バンプ 96 MCM 104 半田付け装置 106 電極加熱装置 108 バキューム装置 110 カバー装置 114 加熱部材 116 シールカバー 12 electronic parts 20 lead 26 cream solder 60 soldering device 62 nitrogen gas supply device 64 electrode heating device 66 cover device 80 heating bar 84 seal cover 90 flip chip 94 solder bump 96 MCM 104 soldering device 106 electrode heating device 108 vacuum device 110 cover device 114 heating member 116 seal cover

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 加熱部材からの熱伝導によって電子部品
の電極を加熱する接触型電極加熱装置と、 前記電極および回路パターンの周辺に不活性ガスを供給
する不活性ガス供給装置とを含み、前記電極をプリント
基板等装着対象物の回路パターンに半田付けする電子部
品半田付け装置。
1. A contact-type electrode heating device for heating an electrode of an electronic component by heat conduction from a heating member, and an inert gas supply device for supplying an inert gas to the periphery of the electrode and the circuit pattern, An electronic component soldering device that solders electrodes to the circuit pattern of a mounting target such as a printed circuit board.
【請求項2】 加熱部材からの熱伝導によって電子部品
の電極を加熱する接触型電極加熱装置と、 前記電極,回路パターンおよび加熱部材の周辺を気密に
覆うカバー手段と、 そのカバー手段の内側空間内を負圧とするバキューム装
置とを含み、前記電極をプリント基板等装着対象物の回
路パターンに半田付けする電子部品半田付け装置。
2. A contact type electrode heating device for heating an electrode of an electronic component by heat conduction from a heating member, a cover means for hermetically covering the periphery of the electrode, the circuit pattern and the heating member, and an inner space of the cover means. A vacuum device having a negative pressure inside, and an electronic component soldering device for soldering the electrode to a circuit pattern of a mounting target such as a printed circuit board.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06315766A (en) * 1993-04-30 1994-11-15 Kuroda Denki Kk Method and device for soldering for oxidation inhibition
CN102103982A (en) * 2009-11-20 2011-06-22 涩谷工业株式会社 Bonding apparatus

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