JPH06300748A - Thermal analyzer - Google Patents

Thermal analyzer

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Publication number
JPH06300748A
JPH06300748A JP8759993A JP8759993A JPH06300748A JP H06300748 A JPH06300748 A JP H06300748A JP 8759993 A JP8759993 A JP 8759993A JP 8759993 A JP8759993 A JP 8759993A JP H06300748 A JPH06300748 A JP H06300748A
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JP
Japan
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gas
analysis
valve
sample
heating mechanism
Prior art date
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Pending
Application number
JP8759993A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Eriko Irisa
英里子 入佐
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
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Publication of JPH06300748A publication Critical patent/JPH06300748A/en
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  • Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)
  • Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Non-Biological Materials By The Use Of Chemical Means (AREA)

Abstract

PURPOSE:To provide a thermal analysis technique wherein not only a thermal analysis but also an efficient analytical operation including the analysis of a metal contained in a residue can be carried out by effectively utilizing the residue produced in the thermoanalysis. CONSTITUTION:The analyzer is composed of a sample container 5 installed at the inside of a furnace 3, of a thermogravimetric measuring device 6 which measures the weight of a sample 4 held at the inside of the sample container 5, of a pipe 14, of a valve 7, of a valve 10, of a sampling device 8, of a gas chromatograph 9, of a Fourier transform infrared spectrophotometer 11 and of a mass spectrometer 12. The gas chromatograph 9 is connected to the Fourier transform infrared spectrophotometer 11 via a pipe 9a, and an inert gas 1 and oxygen gas 2 are supplied to the furnace 3 via a pipe 1a, a valve 1b, a pipe 2a and a valve 2b. A system control part 13 unifies and control the whole, and it performs the data processing operation of an analyzed result, etc.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、熱分析技術に関し、特
に、有機材料の揮発性成分、熱分解ガス成分の分析と、
含有金属分析のための前処理などに適用して有効な技術
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a thermal analysis technique, and more particularly to the analysis of volatile components and pyrolysis gas components of organic materials,
The present invention relates to a technique effectively applied to pretreatment for analysis of contained metals.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来では、たとえば、特開昭48-56497号
公報に開示されたように、試料の熱分解等によって発生
するガスの定性および定量分析を自動的に行おうとする
構成の熱分析装置が提案されている。
2. Description of the Related Art Conventionally, for example, as disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 48-56497, thermal analysis having a structure for automatically performing qualitative and quantitative analysis of gas generated by thermal decomposition of a sample or the like. A device has been proposed.

【0003】また、特開昭61-213655 号公報には、直結
測定モードと分離して同定するモードを切り換えバルブ
で切り換えるようにし、時々刻々に発生ガスの分析を正
しく行おうとする構成の熱分析装置が開示されている。
Further, Japanese Patent Laid-Open No. 61-213655 discloses a thermal analysis of a structure in which a mode for separately identifying a direct coupling measurement mode and a mode for identification is switched by a switching valve, and the generated gas is correctly analyzed every moment. A device is disclosed.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、熱分
析後の残渣の利用や汚染等に配慮がなされておらず、残
渣中の含有金属分析をするには汚染による分析精度の低
下が懸念される。
The above-mentioned prior art does not take into consideration the use and contamination of the residue after the thermal analysis, and there is a concern that the analysis accuracy may decrease due to the contamination in the analysis of the metal contained in the residue. To be done.

【0005】また、発生ガスの導入や分析のタイミング
をきめ細かく制御できず、発生ガスの多様な分析ができ
ないという問題があった。
Further, there is a problem that the timing of introduction and analysis of the generated gas cannot be finely controlled and various analyzes of the generated gas cannot be performed.

【0006】本発明の目的は、熱分析のみならず、熱分
析において発生する残渣を有効に利用して、残渣中の含
有金属分析をも含めた効率的な分析作業を可能にする熱
分析技術を提供することにある。
The object of the present invention is not only thermal analysis but also the thermal analysis technology that enables efficient analysis work including effective analysis of the metal contained in the residue by effectively utilizing the residue generated in the thermal analysis. To provide.

【0007】本発明の他の目的は、試料から発生するガ
スの多様な分析を多様なタイミングで行うことが可能な
熱分析技術を提供することにある。
Another object of the present invention is to provide a thermal analysis technique capable of performing various analyzes of gas generated from a sample at various timings.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。
Among the inventions disclosed in the present application, a brief description will be given to the outline of typical ones.
It is as follows.

【0009】すなわち、本発明の熱分析装置は、試料の
灰化前処理を行う加熱機構と、この加熱機構において発
生するガスを分析するガス分析機構とを備えたものであ
る。
That is, the thermal analysis apparatus of the present invention comprises a heating mechanism for pretreatment of the sample for ashing and a gas analysis mechanism for analyzing the gas generated in the heating mechanism.

【0010】また、本発明は、請求項1記載の熱分析装
置において、加熱機構における試料容器は、試料におけ
る分析対象の金属元素を含まない素材からなり、試料容
器のままで金属分析工程に供するものである。
Further, according to the present invention, in the thermal analysis apparatus according to claim 1, the sample container in the heating mechanism is made of a material which does not contain a metal element to be analyzed in the sample, and is used in the metal analysis step as it is. It is a thing.

【0011】また、本発明は、請求項1または2記載の
熱分析装置において、ガス分析機構は、第1のバルブを
介して加熱機構からガスを取り込む質量分析部と、第2
のバルブを介して加熱機構からガスを取り込み、当該ガ
スを単離して質量分析部に供給するサンプリング部およ
びガスクロマトグラフとからなるものである。
Further, according to the present invention, in the thermal analysis apparatus according to claim 1 or 2, the gas analysis mechanism comprises a mass analysis part for taking in gas from the heating mechanism via the first valve, and a second aspect.
The gas chromatograph comprises a sampling unit and a gas chromatograph which take in gas from the heating mechanism via the valve of (1), isolate the gas and supply it to the mass spectrometric unit.

【0012】また、本発明は、請求項1,2または3記
載の熱分析装置において、第1および第2のバルブの開
閉制御を、加熱機構における試料の重量変化および温度
の少なくとも一方、または質量分析部におけるガスの分
析結果に応じて行う制御手段を備えたものである。
Further, the present invention provides the thermal analyzer according to the first, second or third aspect, wherein opening / closing control of the first and second valves is performed by at least one of weight change and temperature of the sample in the heating mechanism, or mass. The control means is provided according to the gas analysis result in the analysis section.

【0013】また、本発明は、請求項1,2,3または
4記載の熱分析装置において、サンプリング部は、加熱
機構において発生したガスを複数保管する保管機構を備
え、当該ガスを、随時、ガスクロマトグラフを介して質
量分析部に供給可能にしたものである。
Further, the present invention provides the thermal analysis apparatus according to claim 1, 2, 3 or 4, wherein the sampling section is provided with a storage mechanism for storing a plurality of gases generated in the heating mechanism, It can be supplied to the mass spectrometric section via a gas chromatograph.

【0014】また、本発明は、請求項1,2,3,4ま
たは5記載の熱分析装置において、質量分析部の前段に
は、フーリエ変換赤外分光光度計を配置したものであ
る。
Further, according to the present invention, in the thermal analyzer according to the first, second, third, fourth or fifth aspect, a Fourier transform infrared spectrophotometer is arranged in front of the mass spectrometric section.

【0015】[0015]

【作用】上記した本発明の熱分析装置によれば、たとえ
ば有機物試料の灰化前処理と、熱分析とを同時に行うこ
とができ、分析工程を効率化できる。また、加熱機構に
おける試料容器は、前記試料における分析対象の金属元
素を含まない素材からなり、前記試料容器のままで金属
分析工程に供するので、熱分析の残渣を有効に利用した
高精度の金属分析を行うことができる。
According to the above-described thermal analysis apparatus of the present invention, for example, pretreatment for ashing an organic sample and thermal analysis can be performed simultaneously, and the analysis process can be made efficient. In addition, the sample container in the heating mechanism is made of a material that does not contain the metal element to be analyzed in the sample, and the sample container is used as it is for the metal analysis step. Therefore, a highly accurate metal that effectively uses the residue of thermal analysis. Analysis can be performed.

【0016】また、試料の重量変化や分析信号強度変化
等によりバルブの切り換えができる制御手段を備えたた
め、設定値により自動でバルブの切り換えができ、多様
なタイミングで多様な分析操作を行うことができる。
Further, since the control means for switching the valve according to the change of the weight of the sample or the change of the analysis signal strength is provided, the valve can be automatically switched according to the set value, and various analytical operations can be performed at various timings. it can.

【0017】さらに、ガスクロトグラフ導入のためサン
プリングが、自動で複数行え、ガスクロトグラフ導入も
自動で行える機能を備えたため、分離を必要とする混合
ガスの分析が複数自動で行える。
Further, since a plurality of samplings can be automatically performed for introducing the gas chromatograph and a gas chromatograph can be automatically introduced, a plurality of mixed gases that need to be separated can be automatically analyzed.

【0018】[0018]

【実施例】以下、本発明の一実施例である熱分析装置に
ついて図面を参照しながら詳細に説明する。図1は、本
実施例の熱分析装置の構成の一例を示す概念図であり、
図2は、その作用の一例を示すフローチャート、また、
図3は、その一部の構成の一例をさらに詳細に示す概念
図である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A thermal analysis apparatus according to an embodiment of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings. FIG. 1 is a conceptual diagram showing an example of the configuration of the thermal analysis apparatus of this embodiment,
FIG. 2 is a flowchart showing an example of the operation,
FIG. 3 is a conceptual diagram showing an example of a part of the configuration in more detail.

【0019】本実施例の熱分析装置は、炉3と、この炉
3の内部に設けられた試料容器5と、この試料容器5の
内部に保持された試料4の重量を計測する熱重量測定装
置6とを備えている。炉3には、配管14およびバルブ
7、バルブ10を介して、サンプリング装置8およびガ
スクロマトグラフ9と、フーリエ変換赤外分光光度計1
1(FT−IR)および質量分析装置12(MS)が接
続されている。また、ガスクロマトグラフ9は、配管9
aを介してフーリエ変換赤外分光光度計11に接続され
ている。
The thermal analyzer of the present embodiment is a thermogravimetric measurement for measuring the weight of a furnace 3, a sample container 5 provided inside the furnace 3, and a sample 4 held inside the sample container 5. And a device 6. In the furnace 3, a sampling device 8 and a gas chromatograph 9 and a Fourier transform infrared spectrophotometer 1 through a pipe 14 and a valve 7 and a valve 10.
1 (FT-IR) and mass spectrometer 12 (MS) are connected. In addition, the gas chromatograph 9 is a pipe 9
It is connected to the Fourier transform infrared spectrophotometer 11 via a.

【0020】炉3には、配管1a、バルブ1bおよび配
管2a、バルブ2bを介して、不活性ガス1および酸素
ガス2が供給される構成となっている。
An inert gas 1 and an oxygen gas 2 are supplied to the furnace 3 through a pipe 1a, a valve 1b, a pipe 2a and a valve 2b.

【0021】熱重量測定装置6、サンプリング装置8、
ガスクロマトグラフ9、フーリエ変換赤外分光光度計1
1、質量分析装置12、バルブ1b,2bおよびバルブ
7,10は、システム制御部13によって一括制御され
るとともに、システム制御部13は、分析結果などのデ
ータ処理を行う。
Thermogravimetric measuring device 6, sampling device 8,
Gas chromatograph 9, Fourier transform infrared spectrophotometer 1
1, the mass spectrometer 12, the valves 1b and 2b, and the valves 7 and 10 are collectively controlled by the system control unit 13, and the system control unit 13 processes data such as analysis results.

【0022】サンプリング装置8は、たとえば、図3に
例示されるように、複数のサンプリングカラム8aと、
このサンプリングカラム8aの各々に対する発生ガス4
aの導入を個別に制御する導入制御バルブ8bと、個々
のサンプリングカラム8aに保持された発生ガスを選択
的にガスクロマトグラフ9に供給するための供給制御弁
8cと、導入制御バルブ8bの上流側に、キャリアガス
を供給するキャリアガス配管8eおよびキャリアガスバ
ルブ8dなどで構成されており、複数のタイミングで採
取した複数の発生ガス4aを個別に保持するとともに、
保持した各発生ガス4aを順次、ガスクロマトグラフ9
に供給することが可能になっている。
The sampling device 8 has a plurality of sampling columns 8a, as shown in FIG.
Generated gas 4 for each of the sampling columns 8a
an introduction control valve 8b for individually controlling the introduction of a, a supply control valve 8c for selectively supplying the generated gas retained in each sampling column 8a to the gas chromatograph 9, and an upstream side of the introduction control valve 8b. In addition, a carrier gas pipe 8e for supplying a carrier gas, a carrier gas valve 8d, and the like are configured to individually hold a plurality of generated gases 4a collected at a plurality of timings,
The generated gas 4a thus held is sequentially analyzed by the gas chromatograph 9
It is possible to supply to.

【0023】不活性ガス1、酸素ガス2としては高純度
ガスを用い、金属汚染のない配管1a,2aを用いて炉
3まで導く。試料容器5は、たとえば高純度石英などを
用いることにより、金属元素などによる汚染の懸念を解
消するとともに、後の金属分析工程にそのまま供するこ
とを可能にする。
High-purity gases are used as the inert gas 1 and the oxygen gas 2, and they are led to the furnace 3 through pipes 1a and 2a free from metal contamination. By using, for example, high-purity quartz, the sample container 5 can eliminate the concern of contamination by metal elements and the like and can be directly used in the subsequent metal analysis step.

【0024】測定は、まず、不活性ガス1や酸素ガス2
などのガス流量、および試料4の加熱温度プロファイル
をシステム制御部13に設定する(ステップ21)。そ
の後、試料4をセットし、不活性ガス1で充分、炉3内
を置換させてから昇温を開始する(ステップ22)。昇
温が始まると試料4から揮発性成分や熱分解成分が発生
し、熱重量測定装置6の重量変化、または加熱温度のプ
ロファイルの任意のタイミングによりバルブ10が開き
(ステップ23:ステップ24)、発生ガス4aはフー
リエ変換赤外分光光度計11、質量分析装置12へと流
れる(ステップ25)。
First, the measurement is carried out with an inert gas 1 and an oxygen gas 2
The gas flow rate such as the above and the heating temperature profile of the sample 4 are set in the system controller 13 (step 21). Then, the sample 4 is set, the inside of the furnace 3 is sufficiently replaced with the inert gas 1, and then the temperature rise is started (step 22). When the temperature rise starts, a volatile component and a thermal decomposition component are generated from the sample 4, and the valve 10 is opened by the weight change of the thermogravimetric measuring device 6 or at any timing of the heating temperature profile (step 23: step 24), The generated gas 4a flows to the Fourier transform infrared spectrophotometer 11 and the mass spectrometer 12 (step 25).

【0025】フーリエ変換赤外分光光度計11、質量分
析装置12測定信号結果により発生ガス4aが混合ガス
と判明した時は(ステップ26)、そのままでは質量分
析には適さないので、バルブ7が開き、サンプリング装
置8で発生ガス4aを複数サンプリグして個別に保持す
る(ステップ27:ステップ28)。
When it is determined from the measurement signal results of the Fourier transform infrared spectrophotometer 11 and the mass spectrometer 12 that the generated gas 4a is a mixed gas (step 26), the valve 7 is opened because it is not suitable for mass spectrometry as it is. A plurality of generated gases 4a are sampled by the sampling device 8 and held individually (step 27: step 28).

【0026】単一のガスの場合には、分析結果を記録し
ていく(ステップ29)。
In the case of a single gas, the analysis result is recorded (step 29).

【0027】揮発性成分や熱分解成分の発生が終了すれ
ば(ステップ30)、バルブ7、バルブ10は閉まり
(ステップ31)、酸素ガス2が導入され、試料の灰化
処理が行われる(ステップ32)。
When the generation of volatile components and pyrolyzed components is completed (step 30), the valves 7 and 10 are closed (step 31), oxygen gas 2 is introduced, and the sample is incinerated (step). 32).

【0028】この間に、サンプリング装置8で複数サン
プリングされて保持されているガスは個々にガスクロマ
トグラフ9に導入され、混合ガスが単一成分に分離さ
れ、フーリエ変換赤外分光光度計11、質量分析装置1
2へと流れ、質量分析などが行われる(ステップ35:
ステップ36:ステップ37)。
During this period, a plurality of gases sampled and held by the sampling device 8 are individually introduced into the gas chromatograph 9, the mixed gas is separated into a single component, and the Fourier transform infrared spectrophotometer 11 and the mass spectrometric analyzer are used. Device 1
2, and mass spectrometry and the like are performed (step 35:
Step 36: Step 37).

【0029】分析終了後、試料容器5ごと試料4を取り
出し(ステップ33)、残渣溶解用酸溶液などを直接加
え、溶解後、原子吸光法などにより金属元素分析を行う
(ステップ34)。
After the analysis is completed, the sample 4 is taken out together with the sample container 5 (step 33), an acid solution for dissolving the residue is directly added, and after dissolution, metal element analysis is performed by atomic absorption method or the like (step 34).

【0030】このように、本実施例の熱分析装置によれ
ば、たとえば有機材料を、一回の測定操作で、含有金属
分析の前処理としての灰化処理と、揮発成分や熱分解成
分の定性分析、熱分解温度と分解量の測定が可能とな
り、試料4の効率的な分析を行うことができる。
As described above, according to the thermal analysis apparatus of this embodiment, for example, an organic material is subjected to an ashing treatment as a pretreatment for the analysis of contained metals and a volatile component and a thermal decomposition component in a single measurement operation. The qualitative analysis, the thermal decomposition temperature and the decomposition amount can be measured, and the sample 4 can be efficiently analyzed.

【0031】また、サンプリング装置8およびガスクロ
マトグラフ9に発生ガス4aを導くバルブ7、およびフ
ーリエ変換赤外分光光度計11、質量分析装置12に発
生ガス4aを導くバルブ10の開閉のタイミングを、シ
ステム制御部13が、試料4の重量変化や分析結果に応
じて制御するので、多様なタイミングでの多様な分析を
行うことができる。
The timing of opening and closing the valve 7 for guiding the generated gas 4a to the sampling device 8 and the gas chromatograph 9, the Fourier transform infrared spectrophotometer 11, and the valve 10 for guiding the generated gas 4a to the mass spectrometer 12 are controlled by the system. Since the control unit 13 controls according to the weight change of the sample 4 and the analysis result, various analyzes can be performed at various timings.

【0032】なお、上記の説明では、最初にバルブ10
を開いて発生ガス4aが混合ガスか否かを判定しながら
分析を進める場合について説明したが、バルブ7および
バルブ10を同時に開いて、サンプリング装置8におけ
る発生ガス4aのサンプリング保持と、質量分析とを並
行して行うようにしてもよい。
In the above description, first the valve 10
The case has been described where the analysis is performed while opening the valve to determine whether the generated gas 4a is a mixed gas or not, but the valves 7 and 10 are simultaneously opened to hold the sampling of the generated gas 4a in the sampling device 8 and perform mass spectrometry. May be performed in parallel.

【0033】以上本発明者によってなされた発明を実施
例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変更可能であることはいうまでもない。
Although the invention made by the present inventor has been specifically described based on the embodiments, the invention is not limited to the above embodiments, and various modifications can be made without departing from the scope of the invention. Needless to say.

【0034】[0034]

【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
The effects obtained by the typical ones of the inventions disclosed in the present application will be briefly described as follows.
It is as follows.

【0035】すなわち、本発明の熱分析装置によれば、
熱分析のみならず、熱分析において発生する残渣を有効
に利用して、残渣中の含有金属分析をも含めた効率的な
分析作業を行うことができる、という効果が得られる。
That is, according to the thermal analysis apparatus of the present invention,
Not only the thermal analysis, but also the residue generated in the thermal analysis can be effectively used, and the effect that the efficient analysis work including the analysis of the metal contained in the residue can be performed is obtained.

【0036】また、試料から発生するガスの多様な分析
を多様なタイミングで行うことができる、という効果が
得られる。
Further, there is an effect that various analyzes of gas generated from the sample can be performed at various timings.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例である熱分析装置の構成の一
例を示す概念図である。
FIG. 1 is a conceptual diagram showing an example of the configuration of a thermal analysis apparatus that is an embodiment of the present invention.

【図2】その作用の一例を示すフローチャートである。FIG. 2 is a flowchart showing an example of the operation.

【図3】その一部の構成の一例をさらに詳細に示す概念
図である。
FIG. 3 is a conceptual diagram showing an example of a part of the configuration in more detail.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 不活性ガス 1a 配管 1b バルブ 2 酸素ガス 2a 配管 2b バルブ 3 炉(加熱機構) 4 試料 4a 発生ガス 5 試料容器 6 熱重量測定装置(加熱機構) 7 バルブ(第2のバルブ) 8 サンプリング装置(ガス分析機構) 8a サンプリングカラム(保管機構) 8b 導入制御バルブ(保管機構) 8c 供給制御弁(保管機構) 8d キャリアガスバルブ(保管機構) 8e キャリアガス配管(保管機構) 9 ガスクロマトグラフ(ガス分析機構) 9a 配管 10 バルブ(第1のバルブ) 11 フーリエ変換赤外分光光度計(ガス分析機構) 12 質量分析装置(ガス分析機構) 13 システム制御部(制御手段) 14 配管 1 inert gas 1a pipe 1b valve 2 oxygen gas 2a pipe 2b valve 3 furnace (heating mechanism) 4 sample 4a generated gas 5 sample container 6 thermogravimetric measuring device (heating mechanism) 7 valve (second valve) 8 sampling device ( Gas analysis mechanism 8a Sampling column (storage mechanism) 8b Introduction control valve (storage mechanism) 8c Supply control valve (storage mechanism) 8d Carrier gas valve (storage mechanism) 8e Carrier gas pipe (storage mechanism) 9 Gas chromatograph (gas analysis mechanism) 9a piping 10 valve (first valve) 11 Fourier transform infrared spectrophotometer (gas analysis mechanism) 12 mass spectrometer (gas analysis mechanism) 13 system control unit (control means) 14 piping

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 G01N 31/00 Y 7132−2J 31/12 Z 7132−2J ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 5 Identification code Office reference number FI Technical display location G01N 31/00 Y 7132-2J 31/12 Z 7132-2J

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 試料の灰化前処理を行う加熱機構と、こ
の加熱機構において発生するガスを分析するガス分析機
構とを備えたことを特徴とする熱分析装置。
1. A thermal analysis apparatus comprising: a heating mechanism for performing pre-ashing treatment of a sample; and a gas analysis mechanism for analyzing a gas generated in the heating mechanism.
【請求項2】 前記加熱機構における試料容器は、前記
試料における分析対象の金属元素を含まない素材からな
り、前記試料容器のままで金属分析工程に供することを
特徴とする請求項1記載の熱分析装置。
2. The heat according to claim 1, wherein the sample container in the heating mechanism is made of a material that does not contain a metal element to be analyzed in the sample, and is used in the metal analysis step as it is. Analysis equipment.
【請求項3】 前記ガス分析機構は、第1のバルブを介
して前記加熱機構から前記ガスを取り込む質量分析部
と、第2のバルブを介して前記加熱機構から前記ガスを
取り込み、当該ガスを単離して前記質量分析部に供給す
るサンプリング部およびガスクロマトグラフとからなる
ことを特徴とする請求項1または2記載の熱分析装置。
3. The gas analyzing mechanism takes in the gas from the heating mechanism via a second valve, and a mass spectrometric unit that takes in the gas from the heating mechanism via a first valve. The thermal analysis apparatus according to claim 1, comprising a sampling section and a gas chromatograph which are isolated and supplied to the mass spectrometric section.
【請求項4】 前記第1および第2のバルブの開閉制御
を、前記加熱機構における前記試料の重量変化および温
度の少なくとも一方、または前記質量分析部における前
記ガスの分析結果に応じて行う制御手段を備えたことを
特徴とする請求項1,2または3記載の熱分析装置。
4. A control means for controlling the opening and closing of the first and second valves according to at least one of a weight change and a temperature of the sample in the heating mechanism or an analysis result of the gas in the mass spectrometric section. The thermal analysis apparatus according to claim 1, further comprising:
【請求項5】 前記サンプリング部は、前記加熱機構に
おいて発生した前記ガスを複数保管する保管機構を備
え、当該ガスを、随時、前記ガスクロマトグラフを介し
て前記質量分析部に供給可能にしたことを特徴とする請
求項1,2,3または4記載の熱分析装置。
5. The sampling unit includes a storage mechanism for storing a plurality of the gases generated in the heating mechanism, and the gas can be supplied to the mass spectrometric unit via the gas chromatograph at any time. The thermal analyzer according to claim 1, 2, 3, or 4.
【請求項6】 前記質量分析部の前段には、フーリエ変
換赤外分光光度計が配置されていることを特徴とする請
求項1,2,3,4または5記載の熱分析装置。
6. The thermal analysis device according to claim 1, wherein a Fourier transform infrared spectrophotometer is arranged in the preceding stage of the mass spectrometric section.
JP8759993A 1993-04-14 1993-04-14 Thermal analyzer Pending JPH06300748A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8759993A JPH06300748A (en) 1993-04-14 1993-04-14 Thermal analyzer

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