JPH06300631A - フィゾー型フーリエ分光計測装置 - Google Patents
フィゾー型フーリエ分光計測装置Info
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- JPH06300631A JPH06300631A JP8965593A JP8965593A JPH06300631A JP H06300631 A JPH06300631 A JP H06300631A JP 8965593 A JP8965593 A JP 8965593A JP 8965593 A JP8965593 A JP 8965593A JP H06300631 A JPH06300631 A JP H06300631A
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- ray
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 外乱に強いフィゾー型の干渉計を構成するフ
ーリエ分光計測装置を提供する。 【構成】 検体１０の表面からの光ａ1 を複屈折光学媒
体２３に入射させて常光線ａ3 と異常光線ａ4 とに分離
し、ミラー２４を移動させてこの２つの光ａ3，ａ4 の
光路差を変化させる。
ーリエ分光計測装置を提供する。 【構成】 検体１０の表面からの光ａ1 を複屈折光学媒
体２３に入射させて常光線ａ3 と異常光線ａ4 とに分離
し、ミラー２４を移動させてこの２つの光ａ3，ａ4 の
光路差を変化させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はフーリエ分光計測装置に
関し、詳細には光の干渉を生じさせる、光路差の僅かに
異なる２つの光を略同軸にした、フィゾー型フーリエ分
光計測装置に関するものである。
関し、詳細には光の干渉を生じさせる、光路差の僅かに
異なる２つの光を略同軸にした、フィゾー型フーリエ分
光計測装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】周知のように、物質の構造研究や機能研
究の観点から種々の分光分析法が開発され、その多くが
既に実用に供されている。これらの分光分析法としては
例えば紫外可視近赤外分光法、赤外分光法、ラマン分光
法などが挙げられる。特に赤外分光法は、生体物質の顕
著な吸光領域である赤外域を利用する点で生物学、医学
等の生命科学の分野において主たる観察手段として用い
られてきた。
究の観点から種々の分光分析法が開発され、その多くが
既に実用に供されている。これらの分光分析法としては
例えば紫外可視近赤外分光法、赤外分光法、ラマン分光
法などが挙げられる。特に赤外分光法は、生体物質の顕
著な吸光領域である赤外域を利用する点で生物学、医学
等の生命科学の分野において主たる観察手段として用い
られてきた。
【０００３】この赤外分光法はさらに詳しくは、その測
定方式から分散型赤外分光法とフーリエ変換赤外（ＦＴ
−ＩＲ）分光法の２つに分類される。分散型赤外分光法
は、回析格子やプリズムを用いて光を空間的に分散し分
光する方式である。一方、ＦＴ−ＩＲ分光法は光を分光
するために光の干渉現象を利用する方式である。近年は
高速フーリエ変換（ＦＦＴ）法の確立により高速処理が
可能となったＦＴ−ＩＲ分光法が主流となっている。
定方式から分散型赤外分光法とフーリエ変換赤外（ＦＴ
−ＩＲ）分光法の２つに分類される。分散型赤外分光法
は、回析格子やプリズムを用いて光を空間的に分散し分
光する方式である。一方、ＦＴ−ＩＲ分光法は光を分光
するために光の干渉現象を利用する方式である。近年は
高速フーリエ変換（ＦＦＴ）法の確立により高速処理が
可能となったＦＴ−ＩＲ分光法が主流となっている。
【０００４】ＦＴ−ＩＲ分光法は一般に以下の i) 〜 i
v)項に記すような点で非常に優れている。
v)項に記すような点で非常に優れている。
【０００５】i) 全波数域のスペクトルの同時測定が可
能 ii) スペクトルの波数精度がきわめて高い iii) スペクトル全域にわたって一定でかつ高い分解能
が得られる iv) 光の利用効率が高く、光検出器に到達する光量が多
い ＦＴ−ＩＲ分光法は一般に等厚干渉計であるマイケルソ
ン型の干渉計を構成する。以下にこのＦＴ−ＩＲ分光法
の原理の概略を述べる。
能 ii) スペクトルの波数精度がきわめて高い iii) スペクトル全域にわたって一定でかつ高い分解能
が得られる iv) 光の利用効率が高く、光検出器に到達する光量が多
い ＦＴ−ＩＲ分光法は一般に等厚干渉計であるマイケルソ
ン型の干渉計を構成する。以下にこのＦＴ−ＩＲ分光法
の原理の概略を述べる。
【０００６】物質の表面からの光をコリメータレンズや
コリメータ鏡等のコリメータ系により平行光束とし、こ
の平行光束をビームスプリッタ等の光路分割手段により
異なる２つの光路にそれぞれ沿って進行する２つの光束
に分割する。分割された一方の光束は、ビームスプリッ
タから一定の位置に設けられた固定鏡に入射し、それに
反射されてビームスプリッタに戻る。一方、分割された
他方の光束は一定の速度ｖでこの光束の光軸方向に移動
する可動鏡に入射し、それに反射されてビームスプリッ
タに戻る。ビームスプリッタに戻った２つの光束はこの
ビームスプリッタ上で合成される。この合成光の強度を
可動鏡を移動しつつ検出する。
コリメータ鏡等のコリメータ系により平行光束とし、こ
の平行光束をビームスプリッタ等の光路分割手段により
異なる２つの光路にそれぞれ沿って進行する２つの光束
に分割する。分割された一方の光束は、ビームスプリッ
タから一定の位置に設けられた固定鏡に入射し、それに
反射されてビームスプリッタに戻る。一方、分割された
他方の光束は一定の速度ｖでこの光束の光軸方向に移動
する可動鏡に入射し、それに反射されてビームスプリッ
タに戻る。ビームスプリッタに戻った２つの光束はこの
ビームスプリッタ上で合成される。この合成光の強度を
可動鏡を移動しつつ検出する。
【０００７】ここでこの合成光は、固定鏡とビームスプ
リッタ間の距離と、可動鏡とビームスプリッタ間の距離
との光路差に依存する光の干渉を生じ、光の波長をλ、
物質の表面からの光の強度をＰ（λ）、光路差をｘとす
れば、 Ｉ（ｘ）＝０．５Ｐ（λ）｛１＋cos （２πｘ／λ）｝ （１） なる光強度Ｉ（ｘ）を得ることができる。可動鏡の移動
速度をｖ、時間をｔとすると、 ｘ＝２ｖｔ （２） であるから、波長λを波数νに置き換えて上式（１）
は、 Ｉ（ｔ）＝０．５Ｐ（ν）｛１＋cos （４πｖνｔ）｝ （３） と変形される。ここで上式（３）の交流成分である右辺
２項（インターフェログラム）についてフーリエ変換す
ることによって入斜光のスペクトルを得ることができ
る。
リッタ間の距離と、可動鏡とビームスプリッタ間の距離
との光路差に依存する光の干渉を生じ、光の波長をλ、
物質の表面からの光の強度をＰ（λ）、光路差をｘとす
れば、 Ｉ（ｘ）＝０．５Ｐ（λ）｛１＋cos （２πｘ／λ）｝ （１） なる光強度Ｉ（ｘ）を得ることができる。可動鏡の移動
速度をｖ、時間をｔとすると、 ｘ＝２ｖｔ （２） であるから、波長λを波数νに置き換えて上式（１）
は、 Ｉ（ｔ）＝０．５Ｐ（ν）｛１＋cos （４πｖνｔ）｝ （３） と変形される。ここで上式（３）の交流成分である右辺
２項（インターフェログラム）についてフーリエ変換す
ることによって入斜光のスペクトルを得ることができ
る。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ところで従来のＦＴ−
ＩＲ分光法は上述のようにマイケルソン型干渉計が用い
られているため、干渉する２つの光の光路が大巾に分離
されている。このように２つの光路が大きく離れている
と、特に検体の蛍光といった可視光領域の光の分光を行
う場合には、これら２つの光路上にそれぞれ介在する空
気のわずかな温度差や揺らぎ等の外乱が、これら２つの
光路上における各光に対して等しく作用せず、そのため
これら２つの光による干渉が安定せず、その結果分光計
測の精度に誤差を生じる虞がある。
ＩＲ分光法は上述のようにマイケルソン型干渉計が用い
られているため、干渉する２つの光の光路が大巾に分離
されている。このように２つの光路が大きく離れている
と、特に検体の蛍光といった可視光領域の光の分光を行
う場合には、これら２つの光路上にそれぞれ介在する空
気のわずかな温度差や揺らぎ等の外乱が、これら２つの
光路上における各光に対して等しく作用せず、そのため
これら２つの光による干渉が安定せず、その結果分光計
測の精度に誤差を生じる虞がある。
【０００９】本発明は上記事情に鑑みなされたものであ
って、外乱に対して強い、すなわち外乱があっても光の
干渉を安定的に発生させるフィゾー型のフーリエ分光計
測装置を提供することを目的とするものである。
って、外乱に対して強い、すなわち外乱があっても光の
干渉を安定的に発生させるフィゾー型のフーリエ分光計
測装置を提供することを目的とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明のフィゾー型フー
リエ分光計測装置は、検体の表面からの光を複屈折媒体
に入射してこの光を複屈折媒体に対して屈折率の異なる
常光線と異常光線とに分離し、これら２つの光線をそれ
ぞれ反射手段によって反射してこの複屈折媒体より出射
する。これら反射手段は、複屈折媒体より出射する２つ
の光線を一致させるように、かつこれら２つの光線が複
屈折媒体より出射するまでの間に通過する光路長、すな
わち光学距離の差（光路差）がゼロとなるように配置さ
れ、少なくとも一方の反射手段は、少なくとも光の波長
の数十倍程度の光路差を生じるように移動自在にされて
いる。複屈折媒体より出射した２つの光線を、偏光子を
通過させることによって同一偏光面成分を干渉させ、こ
の干渉された光の成分の強度を光検出器により検出す
る。この検出の際、上記移動自在の反射手段を移動させ
て干渉された光の強度を変化させる。この検出された光
の強度と上記反射手段の移動量に応じた光路差とから得
られるインターフェログラムをフーリエ分光手段によっ
てフーリエ変換して分光情報を得る。
リエ分光計測装置は、検体の表面からの光を複屈折媒体
に入射してこの光を複屈折媒体に対して屈折率の異なる
常光線と異常光線とに分離し、これら２つの光線をそれ
ぞれ反射手段によって反射してこの複屈折媒体より出射
する。これら反射手段は、複屈折媒体より出射する２つ
の光線を一致させるように、かつこれら２つの光線が複
屈折媒体より出射するまでの間に通過する光路長、すな
わち光学距離の差（光路差）がゼロとなるように配置さ
れ、少なくとも一方の反射手段は、少なくとも光の波長
の数十倍程度の光路差を生じるように移動自在にされて
いる。複屈折媒体より出射した２つの光線を、偏光子を
通過させることによって同一偏光面成分を干渉させ、こ
の干渉された光の成分の強度を光検出器により検出す
る。この検出の際、上記移動自在の反射手段を移動させ
て干渉された光の強度を変化させる。この検出された光
の強度と上記反射手段の移動量に応じた光路差とから得
られるインターフェログラムをフーリエ分光手段によっ
てフーリエ変換して分光情報を得る。
【００１１】すなわち本発明のフィゾー型フーリエ分光
計測装置は請求項１に記載したように、検体の表面から
の光を集光する集光レンズと、該集光レンズにより集光
された光の光路上に設けられた、該集光された光を常光
線と異常光線とに分離する複屈折媒体と、該分離して得
られた常光線および異常光線をそれぞれ反射し、該反射
された常光線および異常光線を一致させる第１の反射手
段および第２の反射手段と、該２つの反射手段によりそ
れぞれ反射されて一致した前記常光線と異常光線との光
路上に設けられた、前記２つの光の所定の偏光面成分を
通過させて該２つの光の偏光面成分同士を干渉せしめる
偏光子と、該干渉された光の強度を検出する光検出器と
を有し、前記第１の反射手段と前記第２の反射手段と
は、前記複屈折媒体の前記常光線に対する屈折率に応じ
た該常光線の光学距離と前記異常光線に対する屈折率に
応じた該常光線の光学距離とが等しくなるように配さ
れ、該第１の反射手段と該第２の反射手段とのうち少な
くとも一方を、前記２つ光学距離の差が変化するように
移動させる駆動手段と、該光学距離の差を検出する光路
差検出手段と、該光路差検出手段により検出された光路
差および前記光検出器により検出された光強度に基づい
て前記検体の表面からの光のスペクトルを得るフーリエ
分光手段とを備えてなることを特徴とするものである。
計測装置は請求項１に記載したように、検体の表面から
の光を集光する集光レンズと、該集光レンズにより集光
された光の光路上に設けられた、該集光された光を常光
線と異常光線とに分離する複屈折媒体と、該分離して得
られた常光線および異常光線をそれぞれ反射し、該反射
された常光線および異常光線を一致させる第１の反射手
段および第２の反射手段と、該２つの反射手段によりそ
れぞれ反射されて一致した前記常光線と異常光線との光
路上に設けられた、前記２つの光の所定の偏光面成分を
通過させて該２つの光の偏光面成分同士を干渉せしめる
偏光子と、該干渉された光の強度を検出する光検出器と
を有し、前記第１の反射手段と前記第２の反射手段と
は、前記複屈折媒体の前記常光線に対する屈折率に応じ
た該常光線の光学距離と前記異常光線に対する屈折率に
応じた該常光線の光学距離とが等しくなるように配さ
れ、該第１の反射手段と該第２の反射手段とのうち少な
くとも一方を、前記２つ光学距離の差が変化するように
移動させる駆動手段と、該光学距離の差を検出する光路
差検出手段と、該光路差検出手段により検出された光路
差および前記光検出器により検出された光強度に基づい
て前記検体の表面からの光のスペクトルを得るフーリエ
分光手段とを備えてなることを特徴とするものである。
【００１２】また上記フィゾー型フーリエ分光計測装置
において、上記２つの反射手段によりそれぞれ反射され
て一致した前記常光線の中心軸を、前記集光レンズによ
り集光された光の中心軸に一致するように構成すること
ができる。
において、上記２つの反射手段によりそれぞれ反射され
て一致した前記常光線の中心軸を、前記集光レンズによ
り集光された光の中心軸に一致するように構成すること
ができる。
【００１３】すなわち請求項２に記載したように、前記
第１の反射手段と前記第２の反射手段とは、該第１の反
射手段により反射された常光線の中心軸と該第２の反射
手段により反射された異常光線の中心軸とが、前記集光
レンズにより集光された光の中心軸に一致するように配
され、該２つの反射手段によりそれぞれ反射されて中心
軸の一致した常光線および異常光線の光路上に、該常光
線および異常光線の進行する向きを変える導光手段が設
けられ、該導光手段より出射した前記２つの光が前記偏
光子を通過するように構成する。
第１の反射手段と前記第２の反射手段とは、該第１の反
射手段により反射された常光線の中心軸と該第２の反射
手段により反射された異常光線の中心軸とが、前記集光
レンズにより集光された光の中心軸に一致するように配
され、該２つの反射手段によりそれぞれ反射されて中心
軸の一致した常光線および異常光線の光路上に、該常光
線および異常光線の進行する向きを変える導光手段が設
けられ、該導光手段より出射した前記２つの光が前記偏
光子を通過するように構成する。
【００１４】さらに上記フィゾー型フーリエ分光計測装
置において、各構成要素を複数個並列に設けて検体の表
面の異なる複数の部分からの光を同時に検出し、この検
出された、検体の表面の複数の部分からの光のスペクト
ル情報を２次元画像化することもできる。
置において、各構成要素を複数個並列に設けて検体の表
面の異なる複数の部分からの光を同時に検出し、この検
出された、検体の表面の複数の部分からの光のスペクト
ル情報を２次元画像化することもできる。
【００１５】すなわち請求項３に記載したように、前記
集光レンズが、検体の表面の異なる複数の部分からの光
を各別に集光するように、複数個並列に設けられ、前記
複屈折媒体が、該複数個の集光レンズによりそれぞれ集
光された光を各別に前記常光線と異常光線とに分離する
ように配設され、前記第１の反射手段と前記第２の反射
手段とが、該分離された複数の常光線および複数の異常
光線をそれぞれ反射し、該反射されたそれぞれの常光線
および異常光線をそれぞれ一致させるように配置され、
前記光検出器が２次元状に複数並設されたアレイ光検出
器であり、前記フーリエ分光手段により得られたスペク
トルに基づいて該スペクトルの２次元画像を再構成する
画像再構成手段を備えた構成である。
集光レンズが、検体の表面の異なる複数の部分からの光
を各別に集光するように、複数個並列に設けられ、前記
複屈折媒体が、該複数個の集光レンズによりそれぞれ集
光された光を各別に前記常光線と異常光線とに分離する
ように配設され、前記第１の反射手段と前記第２の反射
手段とが、該分離された複数の常光線および複数の異常
光線をそれぞれ反射し、該反射されたそれぞれの常光線
および異常光線をそれぞれ一致させるように配置され、
前記光検出器が２次元状に複数並設されたアレイ光検出
器であり、前記フーリエ分光手段により得られたスペク
トルに基づいて該スペクトルの２次元画像を再構成する
画像再構成手段を備えた構成である。
【００１６】ここで上記集光レンズは、検体の表面から
の光を平行光とするコリメータレンズ等のコリメータ光
学系であってもよい。
の光を平行光とするコリメータレンズ等のコリメータ光
学系であってもよい。
【００１７】また上記第１の反射手段と該第２の反射手
段とのうち少なくとも一方を、前記２つ光学距離の差が
変化するように移動させる駆動手段とは、上記第１の反
射手段および第２の反射手段のいずれをも移動させず
に、上記光路長が変化するように、その光路上の媒質の
特性を変化させる作用をする手段を含むものである。
段とのうち少なくとも一方を、前記２つ光学距離の差が
変化するように移動させる駆動手段とは、上記第１の反
射手段および第２の反射手段のいずれをも移動させず
に、上記光路長が変化するように、その光路上の媒質の
特性を変化させる作用をする手段を含むものである。
【００１８】
【作用および発明の効果】本発明のフィゾー型フーリエ
分光計測装置によれば、検体の表面からの光を集光レン
ズにより集光し、この集光された光は複屈折媒体に入射
され、この入射された光は屈折率の異なる常光線と異常
光線とに分離される。複屈折媒体中においてこれら常光
線と異常光線とはそれぞれ異なる光路を進行し、常光線
は第１の反射手段により反射されて複屈折媒体より出射
する。一方異常光線も第２の反射手段により反射されて
複屈折媒体より出射するが、この複屈折媒体より出射の
際、第１の反射手段の配置位置および第２の反射手段の
配置位置によって、常光線と異常光線は一致され、また
常光線および異常光線が複屈折媒体より出射するまでに
通過する光学距離は等しい。このそれぞれの光線が通過
する光学距離の差（光路差）は駆動手段によって移動さ
れることによって変化する。
分光計測装置によれば、検体の表面からの光を集光レン
ズにより集光し、この集光された光は複屈折媒体に入射
され、この入射された光は屈折率の異なる常光線と異常
光線とに分離される。複屈折媒体中においてこれら常光
線と異常光線とはそれぞれ異なる光路を進行し、常光線
は第１の反射手段により反射されて複屈折媒体より出射
する。一方異常光線も第２の反射手段により反射されて
複屈折媒体より出射するが、この複屈折媒体より出射の
際、第１の反射手段の配置位置および第２の反射手段の
配置位置によって、常光線と異常光線は一致され、また
常光線および異常光線が複屈折媒体より出射するまでに
通過する光学距離は等しい。このそれぞれの光線が通過
する光学距離の差（光路差）は駆動手段によって移動さ
れることによって変化する。
【００１９】このように複屈折媒体より一致して出射し
た２つの光は、偏光子を通過することによって同一偏光
面成分が干渉され、この干渉された光の成分の強度が光
検出器により検出される。
た２つの光は、偏光子を通過することによって同一偏光
面成分が干渉され、この干渉された光の成分の強度が光
検出器により検出される。
【００２０】ここで上記第１の反射手段および／または
第２の反射手段を移動させて２つの光の光路差を変化さ
せ、それによって干渉された光の強度を変化させる。光
検出器によって検出された光強度はフーリエ分光手段に
入力される。
第２の反射手段を移動させて２つの光の光路差を変化さ
せ、それによって干渉された光の強度を変化させる。光
検出器によって検出された光強度はフーリエ分光手段に
入力される。
【００２１】一方、光路差検出手段は第１の反射手段お
よび／または第２の反射手段の移動距離あるいはその位
置あるいは駆動手段の駆動信号などにより上記２つの光
の光路差を検出し、フーリエ分光手段に入力される。
よび／または第２の反射手段の移動距離あるいはその位
置あるいは駆動手段の駆動信号などにより上記２つの光
の光路差を検出し、フーリエ分光手段に入力される。
【００２２】フーリエ分光手段は、入力された光強度と
光路差とから得られるインターフェログラムをフーリエ
変換処理し、スペクトルすなわち分光情報を得る。
光路差とから得られるインターフェログラムをフーリエ
変換処理し、スペクトルすなわち分光情報を得る。
【００２３】このように本発明のフィゾー型フーリエ分
光計測装置によれば、干渉する２つの光の光路の大部分
が一致されており、また異なる光路を通過する領域は空
気等の不安定な流体媒質ではないため、例え外乱があっ
た場合にも２つの光に対して等しく作用し、それにより
これら２つの光による干渉が安定し、その結果分光計測
の精度が向上される。
光計測装置によれば、干渉する２つの光の光路の大部分
が一致されており、また異なる光路を通過する領域は空
気等の不安定な流体媒質ではないため、例え外乱があっ
た場合にも２つの光に対して等しく作用し、それにより
これら２つの光による干渉が安定し、その結果分光計測
の精度が向上される。
【００２４】またこのフィゾー型フーリエ分光計測装置
を、検体の表面に走査することによって、あるいはこの
分光計測装置を並列化することによって、検体の表面の
複数の部分からの光の分光情報を２次元画像化すること
もできる。
を、検体の表面に走査することによって、あるいはこの
分光計測装置を並列化することによって、検体の表面の
複数の部分からの光の分光情報を２次元画像化すること
もできる。
【００２５】
【実施例】以下、図面を用いて本発明の実施例について
説明する。
説明する。
【００２６】図１は本発明にかかるフィゾー型フーリエ
分光計測装置の第１の実施例を示す概略構成図である。
図示のフィゾー型フーリエ分光計測装置は、計測しよう
とする検体１０よりの光ａ1 を集光する集光レンズ２１
と、この集光レンズ２１によって集光された光ａ2 の光
路上に配設されたハーフミラー２２と、ハーフミラー２
２を透過した光ａ2 を常光線ａ3 と異常光線ａ4 とに分
離する複屈折光学媒体２３と、複屈折光学媒体２３の、
光ａ2 の入射面と反対の面に設けられ、常光線ａ3 を反
射して入射光ａ2 の中心軸に一致するように複屈折光学
媒体２３より出射させるハーフミラー２３ａと、複屈折
光学媒体２３の外側であって、ハーフミラー２３ａより
距離ｄの位置に設けられた、異常光線ａ4 を反射して入
射光ａ2の中心軸に一致するように複屈折光学媒体２３
より出射させるミラー２４と、これら複屈折光学媒体２
３より出射され、ハーフミラー２２によって光路が変更
された２つの光ａ3 ，ａ4 の所定の偏光面成分だけを通
過させて該２つの光ａ3 ，ａ4 の同一偏光面成分を干渉
させる偏光板２５と、この干渉された光ａ5 を集光する
集光レンズ２６と、集光された光ａ6 の強度を検出する
光検出器２７とを有する。ここで上記ミラー２４は、常
光線ａ3 が複屈折光学材料２３から出射されるまでに通
過する光学距離と、異常光線ａ4 がミラー２４によって
反射され複屈折光学材料２３から出射されるまでに通過
する光学距離とが等しくなるように配され、この異常光
線ａ4 についての光学距離を変化させるように矢印Ｌ方
向に移動自在にされている。また反射した異常光線ａ4
を複屈折光学媒体２３より出射した後に入射光ａ2 の中
心軸に一致させるため、このミラー２４はハーフミラー
２３ａに対して角度θだけ傾斜して配されている。な
お、図ではミラー２４は複屈折光学媒体２３の背面のハ
ーフミラー２３ａから大きく離れているように図示され
ているが、これは理解のために誇張して図示したもので
あって、実際は上記距離ｄは例えば１ｍｍ程度であり、
ハーフミラー２３ａの僅か後方に離れているだけであ
る。
分光計測装置の第１の実施例を示す概略構成図である。
図示のフィゾー型フーリエ分光計測装置は、計測しよう
とする検体１０よりの光ａ1 を集光する集光レンズ２１
と、この集光レンズ２１によって集光された光ａ2 の光
路上に配設されたハーフミラー２２と、ハーフミラー２
２を透過した光ａ2 を常光線ａ3 と異常光線ａ4 とに分
離する複屈折光学媒体２３と、複屈折光学媒体２３の、
光ａ2 の入射面と反対の面に設けられ、常光線ａ3 を反
射して入射光ａ2 の中心軸に一致するように複屈折光学
媒体２３より出射させるハーフミラー２３ａと、複屈折
光学媒体２３の外側であって、ハーフミラー２３ａより
距離ｄの位置に設けられた、異常光線ａ4 を反射して入
射光ａ2の中心軸に一致するように複屈折光学媒体２３
より出射させるミラー２４と、これら複屈折光学媒体２
３より出射され、ハーフミラー２２によって光路が変更
された２つの光ａ3 ，ａ4 の所定の偏光面成分だけを通
過させて該２つの光ａ3 ，ａ4 の同一偏光面成分を干渉
させる偏光板２５と、この干渉された光ａ5 を集光する
集光レンズ２６と、集光された光ａ6 の強度を検出する
光検出器２７とを有する。ここで上記ミラー２４は、常
光線ａ3 が複屈折光学材料２３から出射されるまでに通
過する光学距離と、異常光線ａ4 がミラー２４によって
反射され複屈折光学材料２３から出射されるまでに通過
する光学距離とが等しくなるように配され、この異常光
線ａ4 についての光学距離を変化させるように矢印Ｌ方
向に移動自在にされている。また反射した異常光線ａ4
を複屈折光学媒体２３より出射した後に入射光ａ2 の中
心軸に一致させるため、このミラー２４はハーフミラー
２３ａに対して角度θだけ傾斜して配されている。な
お、図ではミラー２４は複屈折光学媒体２３の背面のハ
ーフミラー２３ａから大きく離れているように図示され
ているが、これは理解のために誇張して図示したもので
あって、実際は上記距離ｄは例えば１ｍｍ程度であり、
ハーフミラー２３ａの僅か後方に離れているだけであ
る。
【００２７】さらにミラー２４を矢印Ｌ方向に移動さ
せ、その移動量に応じた信号を出力するアクチュエータ
２８と、アクチュエータ２８より出力された上記移動量
に応じた信号に基づいて常光線ａ3 と異常光線ａ4 との
光路差を演算する光路差演算器２９と、光路差演算器２
９により算出された光路差と光検出器２７により検出さ
れた光強度とより得られるインターフェログラムをフー
リエ変換処理し、検体１０の表面からの光ａ1 の分光情
報を得るフーリエ分光手段３１とを備えている。
せ、その移動量に応じた信号を出力するアクチュエータ
２８と、アクチュエータ２８より出力された上記移動量
に応じた信号に基づいて常光線ａ3 と異常光線ａ4 との
光路差を演算する光路差演算器２９と、光路差演算器２
９により算出された光路差と光検出器２７により検出さ
れた光強度とより得られるインターフェログラムをフー
リエ変換処理し、検体１０の表面からの光ａ1 の分光情
報を得るフーリエ分光手段３１とを備えている。
【００２８】次に本実施例のフィゾー型フーリエ分光計
測装置の作用について説明する。
測装置の作用について説明する。
【００２９】検体１０の表面からの光ａ1 は集光レンズ
２１により集光され、この集光された光ａ2 は複屈折光
学媒体２３に入射され、この入射された光ａ2 は屈折率
の異なる常光線ａ3 と異常光線ａ4 とに分離される。複
屈折光学媒体２３中においてこれら常光線ａ3 と異常光
線ａ4 とはそれぞれ異なる光路を進行し、常光線ａ3は
ハーフミラー２３ａにより反射されて、入射光ａ2 の中
心軸に一致するように複屈折光学媒体２３より出射す
る。一方異常光線ａ4 はハーフミラー２３ａを透過して
複屈折光学媒体２３より一旦出射し、この複屈折光学媒
体２３より数ｍｍ程度の距離ｄだけ離れたミラー２４に
より反射され、再度複屈折光学媒体２３に入射し、常光
線ａ3 と同様、入射光ａ2 の中心軸に一致するように複
屈折光学媒体２３より出射する。
２１により集光され、この集光された光ａ2 は複屈折光
学媒体２３に入射され、この入射された光ａ2 は屈折率
の異なる常光線ａ3 と異常光線ａ4 とに分離される。複
屈折光学媒体２３中においてこれら常光線ａ3 と異常光
線ａ4 とはそれぞれ異なる光路を進行し、常光線ａ3は
ハーフミラー２３ａにより反射されて、入射光ａ2 の中
心軸に一致するように複屈折光学媒体２３より出射す
る。一方異常光線ａ4 はハーフミラー２３ａを透過して
複屈折光学媒体２３より一旦出射し、この複屈折光学媒
体２３より数ｍｍ程度の距離ｄだけ離れたミラー２４に
より反射され、再度複屈折光学媒体２３に入射し、常光
線ａ3 と同様、入射光ａ2 の中心軸に一致するように複
屈折光学媒体２３より出射する。
【００３０】このように複屈折光学媒体２３より出射し
た２つの光ａ3 ，ａ4 は、入射した光ａ2 と同一の光路
を逆向きに進行し、ハーフミラー２２により反射されて
光路を変え、偏光板２５に入射する。偏光板２５は入射
した２つの光ａ3 ，ａ4 の所定の偏光面成分だけを通過
させ、これにより２つの光ａ3 ，ａ4 の所定の偏光面成
分同士が干渉される。干渉された光ａ5 は集光レンズ２
６によって光検出器２７に集光されて光強度が検出さ
れ、検出された光強度はフーリエ分光手段３１に入力さ
れる。
た２つの光ａ3 ，ａ4 は、入射した光ａ2 と同一の光路
を逆向きに進行し、ハーフミラー２２により反射されて
光路を変え、偏光板２５に入射する。偏光板２５は入射
した２つの光ａ3 ，ａ4 の所定の偏光面成分だけを通過
させ、これにより２つの光ａ3 ，ａ4 の所定の偏光面成
分同士が干渉される。干渉された光ａ5 は集光レンズ２
６によって光検出器２７に集光されて光強度が検出さ
れ、検出された光強度はフーリエ分光手段３１に入力さ
れる。
【００３１】一方、ミラー２４はアクチュエータ２８に
よって矢印Ｌ方向に移動され、常光線ａ3 が複屈折光学
媒体２３より出射するまでに通過した光学距離と、異常
光線ａ4 が複屈折光学媒体２３より出射し、ミラー２４
に反射され、再度複屈折光学媒体２３に入射して出射す
るまでに通過した光学距離とが等しい場合、光検出器２
７に検出される光強度は最大となり、これら２つの光学
距離が異なるとその光路差に応じて光強度が変化する。
アクチュエータ２８は、ミラー２４を移動する移動量に
応じた信号を光路差演算器２９に出力し、光路差演算器
２９が前記ミラー移動量に応じた信号に基づいて、常光
線ａ3 についての光学距離と異常光線ａ4 についての光
学距離との差を演算し、フーリエ分光手段３１に入力す
る。
よって矢印Ｌ方向に移動され、常光線ａ3 が複屈折光学
媒体２３より出射するまでに通過した光学距離と、異常
光線ａ4 が複屈折光学媒体２３より出射し、ミラー２４
に反射され、再度複屈折光学媒体２３に入射して出射す
るまでに通過した光学距離とが等しい場合、光検出器２
７に検出される光強度は最大となり、これら２つの光学
距離が異なるとその光路差に応じて光強度が変化する。
アクチュエータ２８は、ミラー２４を移動する移動量に
応じた信号を光路差演算器２９に出力し、光路差演算器
２９が前記ミラー移動量に応じた信号に基づいて、常光
線ａ3 についての光学距離と異常光線ａ4 についての光
学距離との差を演算し、フーリエ分光手段３１に入力す
る。
【００３２】フーリエ分光手段３１は入力された光強度
と光路差とから得られるインターフェログラムをフーリ
エ変換し、検体１０の表面からの光ａ1 の分光情報を得
る。
と光路差とから得られるインターフェログラムをフーリ
エ変換し、検体１０の表面からの光ａ1 の分光情報を得
る。
【００３３】上述のように本実施例のフィゾー型フーリ
エ分光計測装置によれば、干渉する２つの光ａ3 ，ａ4
の光路の大部分が一致されているため、例え外乱があっ
た場合にも２つの光ａ3 ，ａ4 に対して等しく作用し、
それによりこれら２つの光ａ3 ，ａ4 による干渉が安定
し、その結果分光計測の精度が向上される。
エ分光計測装置によれば、干渉する２つの光ａ3 ，ａ4
の光路の大部分が一致されているため、例え外乱があっ
た場合にも２つの光ａ3 ，ａ4 に対して等しく作用し、
それによりこれら２つの光ａ3 ，ａ4 による干渉が安定
し、その結果分光計測の精度が向上される。
【００３４】なお本実施例において、光学系および光検
出器を空間的に並列に配し、フーリエ分光手段３１から
の分光情報を２次元画像として再構成する画像再構成手
段をフーリエ分光手段３１の後段に配し、検体１０の表
面の異なる位置からの光を並列に分光することにより、
分光情報を２次元画像化するフーリエ分光画像装置を構
成することができる。
出器を空間的に並列に配し、フーリエ分光手段３１から
の分光情報を２次元画像として再構成する画像再構成手
段をフーリエ分光手段３１の後段に配し、検体１０の表
面の異なる位置からの光を並列に分光することにより、
分光情報を２次元画像化するフーリエ分光画像装置を構
成することができる。
【００３５】図２は本発明にかかるフーリエ分光計測装
置の第２の実施例を示す概略構成図である。図示のフィ
ゾー型フーリエ分光計測装置は、計測しようとする検体
１０よりの光ａ1 を集光する集光レンズ２１と、この集
光レンズ２１によって集光された光ａ2 の光路上に配設
されたハーフミラー２２と、ハーフミラー２２を透過し
た光ａ2 を常光線ａ3 と異常光線ａ4 とに分離する複屈
折光学媒体５１と、複屈折光学媒体５１の、光ａ2 の入
射面と反対の面に設けられ、印加される電圧に応じて屈
折率の変化する液晶セル５１ｃと、この液晶セル５１ｃ
を介して常光線ａ3 を反射して入射光ａ2 の中心軸に一
致するように複屈折光学媒体５１より出射させるミラー
５１ｂと、複屈折光学媒体５１の一端面にあって、この
異常光線ａ4 を反射して入射光ａ2 の中心軸に一致する
ように複屈折光学媒体５１より出射させるミラー５１ａ
と、これら複屈折光学媒体５１より出射され、ハーフミ
ラー２２によって光路が変更された２つの光ａ3 ，ａ4
の所定の偏光面成分だけを通過させて該２つの光ａ3 ，
ａ4 の同一偏光面成分を干渉させる偏光板２５と、この
干渉された光ａ5 を集光する集光レンズ２６と、集光さ
れた光ａ6 の強度を検出する光検出器２７とを有する。
置の第２の実施例を示す概略構成図である。図示のフィ
ゾー型フーリエ分光計測装置は、計測しようとする検体
１０よりの光ａ1 を集光する集光レンズ２１と、この集
光レンズ２１によって集光された光ａ2 の光路上に配設
されたハーフミラー２２と、ハーフミラー２２を透過し
た光ａ2 を常光線ａ3 と異常光線ａ4 とに分離する複屈
折光学媒体５１と、複屈折光学媒体５１の、光ａ2 の入
射面と反対の面に設けられ、印加される電圧に応じて屈
折率の変化する液晶セル５１ｃと、この液晶セル５１ｃ
を介して常光線ａ3 を反射して入射光ａ2 の中心軸に一
致するように複屈折光学媒体５１より出射させるミラー
５１ｂと、複屈折光学媒体５１の一端面にあって、この
異常光線ａ4 を反射して入射光ａ2 の中心軸に一致する
ように複屈折光学媒体５１より出射させるミラー５１ａ
と、これら複屈折光学媒体５１より出射され、ハーフミ
ラー２２によって光路が変更された２つの光ａ3 ，ａ4
の所定の偏光面成分だけを通過させて該２つの光ａ3 ，
ａ4 の同一偏光面成分を干渉させる偏光板２５と、この
干渉された光ａ5 を集光する集光レンズ２６と、集光さ
れた光ａ6 の強度を検出する光検出器２７とを有する。
【００３６】さらに液晶セル５１ｃに電圧を印加して液
晶セル５１ｃの屈折率を変化させ、その印加電圧に応じ
た信号を出力する電圧印加手段５２と、この印加電圧に
応じた信号に基づいて、異常光線ａ4 の複屈折光学媒体
５１を出射するまでの光学距離と液晶セル５１ｃの屈折
率変化に応じて変化する常光線ａ3 の複屈折光学媒体５
１を出射するまでの光学距離との差を算出する光路差演
算手段５３と、光路差演算器５３により算出された光路
差と光検出器２７により検出された光強度とから得られ
るインターフェログラムをフーリエ変換し、検体１０の
表面からの光ａ1 の分光情報を得るフーリエ分光手段３
２とを備えている。
晶セル５１ｃの屈折率を変化させ、その印加電圧に応じ
た信号を出力する電圧印加手段５２と、この印加電圧に
応じた信号に基づいて、異常光線ａ4 の複屈折光学媒体
５１を出射するまでの光学距離と液晶セル５１ｃの屈折
率変化に応じて変化する常光線ａ3 の複屈折光学媒体５
１を出射するまでの光学距離との差を算出する光路差演
算手段５３と、光路差演算器５３により算出された光路
差と光検出器２７により検出された光強度とから得られ
るインターフェログラムをフーリエ変換し、検体１０の
表面からの光ａ1 の分光情報を得るフーリエ分光手段３
２とを備えている。
【００３７】次に本実施例のフィゾー型フーリエ分光計
測装置の作用について説明する。
測装置の作用について説明する。
【００３８】検体１０の表面からの光ａ1 は集光レンズ
２１により集光され、この集光された光ａ2 は複屈折光
学媒体５１に入射され、この入射された光ａ2 は屈折率
の異なる常光線ａ3 と異常光線ａ4 とに分離される。複
屈折光学媒体５１中においてこれら常光線ａ3 と異常光
線ａ4 とはそれぞれ異なる光路を進行し、異常光線ａ4
はミラー５１ａにより反射され、再度複屈折光学媒体５
１を通過して入射光ａ 2 の中心軸に一致するように複屈
折光学媒体５１より出射する。一方常光線ａ3は液晶セ
ル５１ｃに入射し、ミラー５１ｂにより反射され、再度
液晶セル５１ｃ、複屈折光学媒体５１を通過して入射光
ａ2 の中心軸に一致するように複屈折光学媒体５１より
出射する。
２１により集光され、この集光された光ａ2 は複屈折光
学媒体５１に入射され、この入射された光ａ2 は屈折率
の異なる常光線ａ3 と異常光線ａ4 とに分離される。複
屈折光学媒体５１中においてこれら常光線ａ3 と異常光
線ａ4 とはそれぞれ異なる光路を進行し、異常光線ａ4
はミラー５１ａにより反射され、再度複屈折光学媒体５
１を通過して入射光ａ 2 の中心軸に一致するように複屈
折光学媒体５１より出射する。一方常光線ａ3は液晶セ
ル５１ｃに入射し、ミラー５１ｂにより反射され、再度
液晶セル５１ｃ、複屈折光学媒体５１を通過して入射光
ａ2 の中心軸に一致するように複屈折光学媒体５１より
出射する。
【００３９】このように複屈折光学媒体５１より出射し
た２つの光ａ3 ，ａ4 は、入射した光ａ2 と同一の光路
を逆向きに進行し、ハーフミラー２２により反射されて
光路を変え、偏光板２５に入射する。偏光板２５は入射
した２つの光ａ3 ，ａ4 の所定の偏光面成分だけを通過
させ、これにより２つの光ａ3 ，ａ4 の所定の偏光面成
分同士が干渉される。干渉された光ａ5 は集光レンズ２
６によって光検出器２７に集光されて光強度が検出さ
れ、検出された光強度はフーリエ分光手段３２に入力さ
れる。
た２つの光ａ3 ，ａ4 は、入射した光ａ2 と同一の光路
を逆向きに進行し、ハーフミラー２２により反射されて
光路を変え、偏光板２５に入射する。偏光板２５は入射
した２つの光ａ3 ，ａ4 の所定の偏光面成分だけを通過
させ、これにより２つの光ａ3 ，ａ4 の所定の偏光面成
分同士が干渉される。干渉された光ａ5 は集光レンズ２
６によって光検出器２７に集光されて光強度が検出さ
れ、検出された光強度はフーリエ分光手段３２に入力さ
れる。
【００４０】一方、液晶セル５１ｃは電圧印加手段５２
による印加電圧によって屈折率が変化し、それによって
この液晶セル５１ｃを通過する常光線ａ3 の光学距離が
変化する。これによって常光線ａ3 が複屈折光学媒体５
１より出射するまでに通過した光学距離と、異常光線ａ
4 が複屈折光学媒体５１より出射するまでに通過した光
学距離との差が変化し、この光路差がゼロの場合、光検
出器２７に検出される光強度は最大となり、これら２つ
の光路差がゼロでない場合はその光路差に応じて光強度
が変化する。光路差演算手段５３は、電圧印加手段５２
からの信号より上記２つの光の光路差を算出し、この算
出された光路差はフーリエ分光手段３２に入力される。
による印加電圧によって屈折率が変化し、それによって
この液晶セル５１ｃを通過する常光線ａ3 の光学距離が
変化する。これによって常光線ａ3 が複屈折光学媒体５
１より出射するまでに通過した光学距離と、異常光線ａ
4 が複屈折光学媒体５１より出射するまでに通過した光
学距離との差が変化し、この光路差がゼロの場合、光検
出器２７に検出される光強度は最大となり、これら２つ
の光路差がゼロでない場合はその光路差に応じて光強度
が変化する。光路差演算手段５３は、電圧印加手段５２
からの信号より上記２つの光の光路差を算出し、この算
出された光路差はフーリエ分光手段３２に入力される。
【００４１】フーリエ分光手段３２は入力された光強度
と光路差とから得られるインターフェログラムをフーリ
エ変換し、検体１０の表面からの光ａ1 の分光情報を得
る。
と光路差とから得られるインターフェログラムをフーリ
エ変換し、検体１０の表面からの光ａ1 の分光情報を得
る。
【００４２】上述のように本実施例のフィゾー型フーリ
エ分光計測装置によれば、第１の実施例と同様、干渉す
る２つの光ａ3 ，ａ4 の光路の大部分が一致されている
ため、例え外乱があった場合にも２つの光ａ3 ，ａ4 に
対して等しく作用し、それによりこれら２つの光ａ3 ，
ａ4 による干渉が安定し、その結果分光計測の精度が向
上される。
エ分光計測装置によれば、第１の実施例と同様、干渉す
る２つの光ａ3 ，ａ4 の光路の大部分が一致されている
ため、例え外乱があった場合にも２つの光ａ3 ，ａ4 に
対して等しく作用し、それによりこれら２つの光ａ3 ，
ａ4 による干渉が安定し、その結果分光計測の精度が向
上される。
【００４３】なお本実施例においても前記第１の実施例
の場合と同様に、光学系および光検出器を空間的に並列
に配し、フーリエ分光手段３２からの分光情報を２次元
画像として再構成する画像再構成手段をフーリエ分光手
段３２の後段に配し、検体１０の表面の異なる位置から
の光を並列に分光することにより、分光情報を２次元画
像化するフーリエ分光画像装置を構成することができ
る。
の場合と同様に、光学系および光検出器を空間的に並列
に配し、フーリエ分光手段３２からの分光情報を２次元
画像として再構成する画像再構成手段をフーリエ分光手
段３２の後段に配し、検体１０の表面の異なる位置から
の光を並列に分光することにより、分光情報を２次元画
像化するフーリエ分光画像装置を構成することができ
る。
【００４４】また前記第１の実施例および第２の実施例
のフィゾー型フーリエ分光計測装置において上記画像再
構成手段を導入し、この分光計測装置を矢印Ｑ方向に走
査して、検体１０の表面の異なる部分の分光情報を複数
収集し、これら複数の分光情報を再構成して分光情報を
２次元画像化するフーリエ分光画像装置を構成すること
もできる。
のフィゾー型フーリエ分光計測装置において上記画像再
構成手段を導入し、この分光計測装置を矢印Ｑ方向に走
査して、検体１０の表面の異なる部分の分光情報を複数
収集し、これら複数の分光情報を再構成して分光情報を
２次元画像化するフーリエ分光画像装置を構成すること
もできる。
【図１】本発明にかかるフーリエ分光計測装置の第１の
実施例を示す概略構成図
実施例を示す概略構成図
【図２】本発明にかかるフーリエ分光計測装置の第２の
実施例を示す概略構成図
実施例を示す概略構成図
１０ 検体 ２１，２６ 集光レンズ ２２，２３ａ ハーフミラー ２３，５１ 複屈折光学媒体 ２４，５１ａ，５１ｂ ミラー ２５ 偏光板 ２７ 光検出器 ２８ アクチュエータ ２９，５３ 光路差演算手段 ３１，３２ フーリエ分光手段 ５１ｃ 液晶セル ５２ 電圧印加手段
Claims (3)
- 【請求項１】 検体の表面からの光を集光する集光レン
ズと、該集光レンズにより集光された光の光路上に設け
られた、該集光された光を常光線と異常光線とに分離す
る複屈折媒体と、該分離して得られた常光線および異常
光線をそれぞれ反射し、該反射された常光線および異常
光線を一致させる第１の反射手段および第２の反射手段
と、該２つの反射手段によりそれぞれ反射されて一致し
た前記常光線と異常光線との光路上に設けられた、前記
２つの光の所定の偏光面成分を通過させて該２つの光の
偏光面成分同士を干渉せしめる偏光子と、該干渉された
光の強度を検出する光検出器とを有し、前記第１の反射
手段と前記第２の反射手段とは、前記複屈折媒体の前記
常光線に対する屈折率に応じた該常光線の光路長と前記
異常光線に対する屈折率に応じた該常光線の光路長とが
等しくなるように配され、該第１の反射手段と該第２の
反射手段とのうち少なくとも一方を、前記２つ光路長の
差が変化するように移動させる駆動手段と、該光路長の
差を検出する光路差検出手段と、該光路差検出手段によ
り検出された光路差および前記光検出器により検出され
た光強度より前記検体の表面からの光のスペクトルを得
るフーリエ変換を行うフーリエ分光手段とを備えてなる
ことを特徴とするフィゾー型フーリエ分光計測装置。 - 【請求項２】 前記第１の反射手段と前記第２の反射手
段とは、該第１の反射手段により反射された常光線の中
心軸と該第２の反射手段により反射された異常光線の中
心軸とが、前記集光レンズにより集光された光の中心軸
に一致するように配され、該２つの反射手段によりそれ
ぞれ反射されて中心軸の一致した常光線および異常光線
の光路上に、該常光線および異常光線の進行する向きを
変える導光手段が設けられ、該導光手段より出射した前
記２つの光が前記偏光子を通過することを特徴とする請
求項１記載のフィゾー型フーリエ分光計測装置。 - 【請求項３】 前記集光レンズが、検体の表面の異なる
複数の部分からの光を各別に集光するように、複数個並
列に設けられ、前記複屈折媒体が、該複数個の集光レン
ズによりそれぞれ集光された光を各別に前記常光線と異
常光線とに分離するように配設され、前記第１の反射手
段と前記第２の反射手段とが、該分離された複数の常光
線および複数の異常光線をそれぞれ反射し、該反射され
たそれぞれの常光線および異常光線をそれぞれ一致させ
るように配置され、前記光検出器が２次元状に複数並設
されたアレイ光検出器であり、前記フーリエ分光手段に
より得られたスペクトルに基づいて該スペクトルの２次
元画像を再構成する画像再構成手段を備えたことを特徴
とする請求項１あるいは請求項２に記載のフィゾー型フ
ーリエ分光計測装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8965593A JPH06300631A (ja) | 1993-04-16 | 1993-04-16 | フィゾー型フーリエ分光計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8965593A JPH06300631A (ja) | 1993-04-16 | 1993-04-16 | フィゾー型フーリエ分光計測装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06300631A true JPH06300631A (ja) | 1994-10-28 |
Family
ID=13976779
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8965593A Withdrawn JPH06300631A (ja) | 1993-04-16 | 1993-04-16 | フィゾー型フーリエ分光計測装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06300631A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012184962A (ja) * | 2011-03-03 | 2012-09-27 | Kagawa Univ | 分光特性測定装置及び分光特性測定方法 |
| WO2019240227A1 (ja) * | 2018-06-13 | 2019-12-19 | 国立大学法人香川大学 | 分光測定装置及び分光測定方法 |
-
1993
- 1993-04-16 JP JP8965593A patent/JPH06300631A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012184962A (ja) * | 2011-03-03 | 2012-09-27 | Kagawa Univ | 分光特性測定装置及び分光特性測定方法 |
| WO2019240227A1 (ja) * | 2018-06-13 | 2019-12-19 | 国立大学法人香川大学 | 分光測定装置及び分光測定方法 |
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