JPH06297372A - Guide mechanism for work held in noncontact - Google Patents
Guide mechanism for work held in noncontactInfo
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- JPH06297372A JPH06297372A JP11229893A JP11229893A JPH06297372A JP H06297372 A JPH06297372 A JP H06297372A JP 11229893 A JP11229893 A JP 11229893A JP 11229893 A JP11229893 A JP 11229893A JP H06297372 A JPH06297372 A JP H06297372A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、非接触吸着ヘッドに
保持されたワークをガイドする機構に関するものであ
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a mechanism for guiding a work held by a non-contact suction head.
【０００２】[0002]
【従来の技術】半導体部品などの検査ラインにおいて
は、未検査カセットに収容されたワーク部品は、ハンド
リング機構のロボットハンドにチャックされて検査装置
に搬送され、検査が終了すると検査済みカセットに収納
される。ワークをチャックする一般な方法としては機械
的なチャック機構またはエア吸着機構が使用されてい
る。しかし、これらの機構はワークに直接接触するの
で、例えば最近開発されたマイクロ・キャリヤー・チッ
プ（ＭＣＣ）とよばれる精密な部品に対しては好ましく
ないとされ、そのハンドリングには非接触のエア吸着方
式が使用されている。2. Description of the Related Art In an inspection line for semiconductor parts and the like, a work part housed in an uninspected cassette is chucked by a robot hand of a handling mechanism and conveyed to an inspection device, and when the inspection is completed, it is stored in an inspected cassette. It As a general method of chucking a work, a mechanical chuck mechanism or an air suction mechanism is used. However, since these mechanisms are in direct contact with the work piece, they are not preferable for precision parts such as the recently developed micro carrier chip (MCC), and their handling is non-contact air adsorption. The scheme is being used.
【０００３】図５により、上記のＭＣＣと、これを収納
するカセット、および非接触のエア吸着ヘッド（単に非
接触吸着ヘッド、またはヘッドという）を説明する。図
５(a) に示すＭＣＣ１は、各辺の幅ｗが〜１０ｍｍの正
方形をなし、厚さｔは約１ｍｍのもので、両面には極め
て微小な配線パターンが形成され、これにＩＣチップが
搭載され、スーパーコンピュータなどに使用されるもの
である。図５(b) はＭＣＣ１に対するカセット２を示
し、その表面には適当な高さの仕切枠21が格子状に設け
られ、それぞれの中にＭＣＣ１が収容される。図５(c)
は非接触吸着ヘッド３を示し、角柱31の中心を貫通する
噴射孔32と、底面35に設けた環状の吸入溝33、およびこ
れに接続された排出孔34を有し、エア供給部より噴射孔
32にエアＡを供給して底面35より噴射し、これを吸入溝
33により吸引して排出孔34よりエア吸引部に戻る。いま
底面35をＭＣＣ１に接近すると、噴射されたエアは層流
Ａs となって速度が上昇し、いわゆるベルヌイの原理に
より負圧を生ずる。この負圧によりＭＣＣ１が吸引さ
れ、その重量と吸引力とがバランスした位置に保持され
る。エアＡの噴射と吸入を停止すると負圧がなくなり、
ＭＣＣ１は解放されて仕切枠21内に収納される。Referring to FIG. 5, the above MCC, a cassette for storing the MCC, and a non-contact air suction head (simply called a non-contact suction head or head) will be described. The MCC1 shown in FIG. 5 (a) has a square shape with a width w of each side of 10 mm and a thickness t of about 1 mm. An extremely fine wiring pattern is formed on both sides of the MCC1. It is installed and used in supercomputers. FIG. 5 (b) shows the cassette 2 for the MCC1, on the surface of which a partition frame 21 having an appropriate height is provided in a grid pattern, and the MCC1 is housed in each of them. Figure 5 (c)
Shows the non-contact suction head 3, which has an injection hole 32 penetrating the center of the prism 31 and an annular suction groove 33 provided on the bottom surface 35, and a discharge hole 34 connected to the injection hole 32. Hole
Air A is supplied to 32 and jetted from the bottom surface 35, and this is sucked into the suction groove.
It is sucked by 33 and returned from the discharge hole 34 to the air suction portion. If now approaching the bottom surface 35 to the MCC1, injected air velocity is increased by a laminar flow A s, produce a negative pressure by the principle of the so-called Bernoulli. Due to this negative pressure, the MCC 1 is sucked and held at a position where its weight and suction force are balanced. When the injection and intake of air A is stopped, the negative pressure disappears,
The MCC 1 is released and stored in the partition frame 21.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】さて、上記のヘッド３
の負圧は、層流エアＡs の直角方向に生ずるが、横方向
には生じない。このために、保持されたＭＣＣ１は横方
向に対してやや不安定で、ハンドリング機構の搬送時な
どで横ズレが生じ易く、これが生ずるとカセットに収納
するとき支障する。図６(a) は横ズレしたＭＣＣ１を示
し、横ズレ量をδｗとする。一方、ＭＣＣ１の側面とカ
セット２の仕切壁21の間には、０．２５ｍｍ程度の微小
なギャップδｇが余裕として設けられている。横ズレ量
δｗがギャップδｇより大きいと、ヘッド３より解放さ
れて落下するＭＣＣ１は、いずれか一方の端が点線のよ
うに仕切壁21に当接して収納が確実になされない。そこ
で、このような横ズレを防止するガイド機構が必要であ
る。次に、ＭＣＣ１には、図６(b) に示すように、幅寸
法ｗが、例えば１ｍｍ刻みで僅かに相違した、ｗ1 ＝
９．０，ｗ2 ＝１０．０，ｗ3 ＝１１．０ｍｍなどの各
種のものがあり、それぞれに対応したカセット２Ａ，２
Ｂ，２Ｃなどに収納されている。この場合、各カセット
２Ａ……のギャップδｇは前記と同一とされているの
で、仕切枠21の間隔もカセットごとに相違し、従ってガ
イド機構はこれらの間隔に対応できるものが必要であ
る。この発明は以上に鑑みてなされたもので、各種のカ
セットに収納され、大きさの異なるＭＣＣなどの角型ワ
ークを、非接触吸着ヘッドにより確実に吸引して保持
し、保持されたワークに生ずる横ズレを防止し、対応す
るカセットに確実に収納するガイド機構を提供すること
を目的とする。Now, the above-described head 3 is used.
Negative pressure is generated in the perpendicular direction of laminar flow air A s, it does not occur in the transverse direction. For this reason, the held MCC 1 is slightly unstable in the lateral direction, and lateral deviation easily occurs during transportation of the handling mechanism, and if this occurs, it hinders storage in the cassette. FIG. 6A shows the laterally displaced MCC1, and the lateral displacement amount is δw. On the other hand, a minute gap δg of about 0.25 mm is provided as a margin between the side surface of the MCC 1 and the partition wall 21 of the cassette 2. When the lateral displacement amount δw is larger than the gap δg, one end of the MCC 1 released from the head 3 and abutted against the partition wall 21 as shown by the dotted line is not reliably stored. Therefore, a guide mechanism that prevents such lateral displacement is necessary. Next, in the MCC 1, as shown in FIG. 6 (b), the width dimension w is slightly different in steps of 1 mm, for example, w 1 =
There are various types such as 9.0, w 2 = 10.0, w 3 = 11.0 mm, etc., and the corresponding cassettes 2A, 2
It is stored in B, 2C, etc. In this case, since the gap δg of each cassette 2A ... Is the same as that described above, the interval of the partition frame 21 is also different for each cassette, and therefore the guide mechanism needs to be capable of coping with these intervals. The present invention has been made in view of the above, and square workpieces such as MCCs, which are housed in various cassettes and have different sizes, are reliably sucked and held by the non-contact suction head, and are generated in the held workpieces. It is an object of the present invention to provide a guide mechanism that prevents lateral displacement and surely stores it in a corresponding cassette.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】この発明は、上記の目的
を達成する非接触保持ワークのガイド機構であって、非
接触吸着ヘッド（以下単にヘッドという）を具備するハ
ンドリング機構において、ヘッドに接近して対称的に設
けられ、ヘッドに保持されたワークの横ズレを防止する
４個のガイド板を有するガイド部と、各カセットの仕切
枠の間隔に対応して、各ガイド板の相互間隔を微調整す
る微小調整部、および相互間隔を複数の段階に設定する
段階設定部とにより構成される。微小調整部は、下部に
ヘッドが固定された筐体を設け、この筐体に固定された
ベアリングに軸支された中心軸と、中心軸の中間に固定
され、互いに直角をなす４個のテーパー平面を有するテ
ーパー駒と、中心軸の上部に結合されたエアシリンダ、
および、中心軸の周囲に設けられ、各テーパー平面にそ
れぞれ接触するローラーを有し、それぞれの上端が筐体
に軸支され、スプリングにより内側に付勢された４本の
可動アームとを具備し、各可動アームの下端に、上記の
各ガイド板を、非接触吸着ヘッドに接近して弾性的に取
り付けて構成される。段階調整部は、２個のエアシリン
ダを具備し、微小調整部のエアシリンダと中心軸とを一
体として、軸方向に段階的に移動する移動機構により構
成される。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention is a guide mechanism for a non-contact holding work which achieves the above-mentioned object, wherein a handling mechanism including a non-contact suction head (hereinafter simply referred to as a head) approaches a head. And symmetrically, the guide part having four guide plates that prevent lateral displacement of the work held by the head and the interval between the partition frames of each cassette correspond to the mutual intervals of the guide plates. It is composed of a fine adjustment unit for fine adjustment and a stage setting unit for setting the mutual interval in a plurality of stages. The fine adjustment unit is provided with a housing to which a head is fixed at the bottom, and a central axis supported by a bearing fixed to the housing and four tapers that are fixed in the middle of the central axis and are perpendicular to each other. A taper piece having a flat surface and an air cylinder connected to the upper part of the central axis,
And four rollers which are provided around the central axis and have rollers that come into contact with the respective tapered planes, the upper ends of which are axially supported by the housing and which are biased inward by springs. The guide plates are elastically attached to the lower ends of the movable arms in proximity to the non-contact suction head. The stage adjustment unit includes two air cylinders, and is configured by a moving mechanism that integrally moves the air cylinder of the fine adjustment unit and the central axis to move in stages in the axial direction.
【０００６】[0006]
【作用】上記のガイド機構においては、ヘッドに保持さ
れたワークが横ズレすると、ワークはヘッドに接近して
対称的に設けた４個のガイド板のいずれかに当接して、
横ズレが防止される。各ガイド板の相互間隔は微小調整
機構により、ワークの吸引時には、ガイド板が各カセッ
トの仕切枠の頭部に当接するように微調整されて確実に
吸引され、収納時には、仕切枠の内側となるように微調
整されて確実に収納される。異なる間隔の仕切壁を有す
る各種のカセットに対しては、段階設定部により各ガイ
ド板の相互間隔が、それぞれの仕切枠の間隔と同一に設
定され、各段階ごとに上記の微調整がなされる。微小調
整部においては、エアシリンダにより中心軸を微小な間
隔に昇降すると、これに固定されたテーパー駒の４個の
テーパー平面が、これに接触しているローラーを移動し
て、４本の可動アームが軸支点の回りに微小量回動す
る。これにより各ガイド板は微小移動し、前記のように
相互間隔が微調整される。段階設定部においては、移動
機構のエアシリンダにより、カム機構が微小調整部のエ
アシリンダと中心軸とを一体として、軸方向に段階的に
移動して４本の可動アームを回動させ、各ガイド板の相
互間隔が異なる間隔の仕切枠にそれぞれ対応するように
設定される。In the above guide mechanism, when the work held by the head is laterally displaced, the work approaches the head and abuts on one of the four symmetrically arranged guide plates,
Horizontal displacement is prevented. The distance between the guide plates is adjusted by a fine adjustment mechanism so that when the work is sucked, the guide plates are finely adjusted so that the guide plates come into contact with the heads of the partition frames of each cassette, and are reliably sucked. It is finely adjusted so that it is stored securely. For various cassettes having partition walls with different intervals, the step setting section sets the mutual intervals of the guide plates to be the same as the intervals of the respective partition frames, and the above fine adjustment is performed for each step. . In the fine adjustment part, when the central axis is moved up and down by a small distance by the air cylinder, the four taper planes of the taper piece fixed to this move the rollers in contact therewith to move the four movable arms. Rotates a small amount around the pivot point. As a result, each guide plate is slightly moved, and the mutual spacing is finely adjusted as described above. In the stage setting unit, the air mechanism of the moving mechanism causes the cam mechanism to integrally move the air cylinder of the fine adjusting unit and the central shaft to move in stages in the axial direction to rotate the four movable arms. The mutual intervals of the guide plates are set so as to correspond to partition frames having different intervals.
【０００７】[0007]
【実施例】図１〜図４はこの発明の一実施例を示し、図
１はこの発明のガイド機構１０の垂直断面とその一部の
直角断面を示す構成図、図２は図１のガイド部６の詳細
を示す断面図、図３は図１のガイド駒53の作用説明図、
図４は図１の各ガイド板の動作説明図である。図１にお
いて、ガイド機構１０は、ハンドリング機構のロボット
ハンド（図示省略）に装着され、下部に非接触吸着ヘッ
ド３が固定された筐体４と、筐体４の内部に微小調整部
５、その下部にガイド部６、その側面に段階設定部７を
それぞれ設けて構成される。微小調整部５は、筐体４に
固定されたベアリング51に中心軸52を軸支し、その中間
部に、互いに直角をなす４個のテーパー平面531 を有す
るテーパー駒53が固定され、中心軸52の上端にはエアシ
リンダ54が結合される。これに対して、上端が筐体４に
軸支された４本の可動アーム55a 〜55d を設け、各可動
アームのテーパー平面531 に対応する位置にローラー56
a 〜56d を軸支する。また、対応する２本の可動アーム
55a,55b と55c,55d を、互いに弾性結合して内側に付勢
するスプリング57を設けて構成される。ガイド部６は、
各可動アーム55a 〜55d の下端に軸支されたガイド板61
a 〜61d と、その内側を下方に付勢するスプリング62a
〜62d とにより構成される。また段階設定部７は、微小
調整部５のエアシリンダ54に固定された結合アーム71
と、これに固定され、筐体４に設けたベアリング72に軸
支され、垂直方向に可動な昇降軸73と、エアシリンダ7
4、および結合アーム715 とにより構成される。1 to 4 show an embodiment of the present invention, FIG. 1 is a structural view showing a vertical cross section of a guide mechanism 10 of the present invention and a right-angled cross section thereof, and FIG. 2 is a guide of FIG. FIG. 3 is a sectional view showing the details of the portion 6, and FIG. 3 is an explanatory view of the action of the guide piece 53 of FIG.
FIG. 4 is an operation explanatory view of each guide plate in FIG. In FIG. 1, a guide mechanism 10 is attached to a robot hand (not shown) of a handling mechanism, a casing 4 having a non-contact suction head 3 fixed to a lower portion thereof, a fine adjustment unit 5 inside the casing 4, The lower part is provided with a guide part 6, and the side face thereof is provided with a step setting part 7, respectively. The fine adjustment unit 5 has a center shaft 52 supported on a bearing 51 fixed to the housing 4, and a taper piece 53 having four taper planes 531 forming a right angle with each other is fixed to an intermediate portion of the center shaft 52. An air cylinder 54 is coupled to the upper end of 52. On the other hand, four movable arms 55a to 55d whose upper ends are axially supported by the housing 4 are provided, and the roller 56 is provided at a position corresponding to the tapered plane 531 of each movable arm.
A-56d is pivotally supported. Also, two corresponding movable arms
The springs 55a, 55b and 55c, 55d are elastically coupled to each other and provided with a spring 57 for urging them inward. The guide part 6 is
A guide plate 61 pivotally supported on the lower ends of the movable arms 55a to 55d.
a to 61d and a spring 62a that urges the inside downward
~ 62d. Further, the stage setting unit 7 includes a coupling arm 71 fixed to the air cylinder 54 of the fine adjustment unit 5.
And a lift shaft 73 that is fixed to this and is supported by a bearing 72 provided in the housing 4 and that is vertically movable, and an air cylinder 7
4 and the connecting arm 715.
【０００８】図２に示すガイド部６において、各ガイド
板61の先端には図示の形状の突起611 を形成し、これが
ヘッド３の底面35より下側となるように設定される。各
ガイド板61の相互間隔は、微小調整機構５により微調整
されて、各突起611 が各仕切枠21の頭部、または、その
内側（点線）に位置決めされる。また相互間隔は、段階
設定部により、各種のカセットの仕切枠21の間隔に対応
するようにそれぞれ設定される。In the guide portion 6 shown in FIG. 2, a protrusion 611 having the illustrated shape is formed at the tip of each guide plate 61, and it is set so as to be below the bottom surface 35 of the head 3. The mutual spacing of the guide plates 61 is finely adjusted by the fine adjustment mechanism 5 so that the protrusions 611 are positioned at the head of each partition frame 21 or inside (dotted line) thereof. The mutual intervals are set by the stage setting unit so as to correspond to the intervals of the partition frames 21 of various cassettes.
【０００９】以下、図１〜図４により上記のガイド機構
１０の動作を説明する。図１において、段階設定部７の
エアシリンダ74を上下して、微小調整機構のエアシリン
ダ54を上昇または下降すると、中心軸52とともにテーパ
ー駒53のテーパー平面531 が、図３のように昇降し、こ
れに接触している各ローラー531 が左右に移動して各可
動アーム55を開閉し、各ガイド板61a 〜61d の相互間隔
が、各種のカセット２の仕切枠21の間隔にそれぞれ対応
するように設定される。さらに、微小調整部５のエアシ
リンダ54の動作により、各ガイド板の突起611 の相互間
隔が、ワーク１の吸引と収納に対してそれぞれ微調整さ
れる。ついで、図示しないロボットハンドにより筐体４
をハンドリングし、ヘッド３を所定の高さに停止してワ
ーク１に対面させると、各突起611 が各仕切枠21の、次
に述べる所定の位置に弾性的に接触する。図４の(イ) は
ワーク１の吸引時を示し、この場合は、微小調整部５の
微調整により各突起611 は各仕切枠21の頭部に弾性的に
当接し、ワーク１は各突起にガイドされてヘッド３に確
実に吸引保持され、保持されたワーク１は搬送などによ
り横ズレしない。これに対して(ロ）はワーク１の収納時
を示し、この場合は、各突起611 は各仕切枠21の内側に
弾性的に当接し、ワーク１は各突起にガイドされて仕切
枠21内に確実に収納される。なお吸引時に、各突起の当
接位置を収納時と同様の位置とすると、ワーク１が突起
611 に引っ掛かることがあり、またこれと反対に収納時
に、吸引時と同様の位置とすると、ワーク１は仕切枠21
に引っ掛かかり、いずれにしても吸引動作と収納動作が
確実になされない。従ってそれぞの微調整は非常に重要
である。The operation of the guide mechanism 10 will be described below with reference to FIGS. In FIG. 1, when the air cylinder 74 of the step setting unit 7 is moved up and down to raise or lower the air cylinder 54 of the fine adjustment mechanism, the taper plane 531 of the taper piece 53 moves up and down together with the central shaft 52 as shown in FIG. , Each roller 531 in contact with this moves left and right to open and close each movable arm 55 so that the mutual intervals of the guide plates 61a to 61d correspond to the intervals of the partition frames 21 of the various cassettes 2, respectively. Is set to. Further, the operation of the air cylinder 54 of the fine adjustment unit 5 finely adjusts the mutual distance between the protrusions 611 of the respective guide plates for suction and storage of the work 1. Then, the housing 4 is moved by a robot hand (not shown).
When the head 3 is handled, the head 3 is stopped at a predetermined height to face the work 1, each projection 611 elastically contacts a predetermined position of each partition frame 21 described below. 4A shows the work 1 being sucked. In this case, the fine adjustment of the fine adjustment unit 5 causes the protrusions 611 to elastically abut the heads of the partition frames 21, so that the work 1 moves to the protrusions. The work 1 held by the head 3 is securely sucked and held by the head 3, and the held work 1 does not laterally shift due to conveyance or the like. On the other hand, (B) shows the time when the work 1 is stored. In this case, each projection 611 elastically abuts on the inside of each partition frame 21, and the work 1 is guided by each projection and inside the partition frame 21. It is securely stored in. In addition, when the abutting position of each protrusion is set to the same position as when it is stored during suction, the work 1 will be projected.
The work piece 1 may be caught by the 611, and conversely, if the work piece 1 is placed in the same position as when it is sucked, the work 1 will be separated by the partition frame 21.
In either case, the suction operation and the storage operation cannot be reliably performed. Therefore, each fine adjustment is very important.
【００１０】[0010]
【発明の効果】以上の説明のとおり、この発明によるガ
イド機構においては、非接触吸着ヘッドに保持された角
型ワークは、ガイド板により横ズレの発生が防止されて
安定に保持され、大きさの異なるワークを収容する各種
のカセットに対して、ガイド板の相互間隔が、段階設定
部によりそれぞれの仕切枠の間隔に対応して設定され、
さらに微小調整機構により、ワークの吸引時と収納時に
対応して適切に微調整されて、ワークの吸引と収納が確
実になされるもので、ＭＣＣなどの角型ワークに対する
非接触吸着ヘッドの動作の確実、安定化に寄与する効果
には大きいものがある。As described above, in the guide mechanism according to the present invention, the rectangular work held by the non-contact suction head is stably held by the guide plate while preventing the lateral displacement, and the size of the work is increased. For various cassettes that accommodate different workpieces, the mutual spacing of the guide plates is set by the stage setting unit in correspondence with the spacing of each partition frame,
Further, the fine adjustment mechanism appropriately finely adjusts during suction and storage of the work to ensure the suction and storage of the work, and the operation of the non-contact suction head for the square work such as MCC can be performed. Certainly, there are significant effects that contribute to stabilization.
【図１】 この発明の一実施例における、ガイド機構１
０の構成を示す断面図である。FIG. 1 shows a guide mechanism 1 according to an embodiment of the present invention.
It is sectional drawing which shows the structure of 0.
【図２】 図１のガイド部６の詳細図である。FIG. 2 is a detailed view of the guide portion 6 of FIG.
【図３】 図１のガイド駒53の作用説明図である。FIG. 3 is an explanatory view of the action of the guide piece 53 of FIG.
【図４】 図１の各ガイド板61の動作説明図である。FIG. 4 is an operation explanatory view of each guide plate 61 in FIG.
【図５】 ＭＣＣ１と、これを収容するカセット２、お
よび非接触吸着ヘッド３の説明図である。FIG. 5 is an explanatory diagram of an MCC1, a cassette 2 that houses the MCC1, and a non-contact suction head 3.
【図６】 ＭＣＣ１の横ズレと、カセット２に対する収
納の問題点、および幅寸法の異なるＭＣＣと、これに対
するカセットの説明図である。FIG. 6 is an explanatory diagram of a lateral deviation of the MCC1, problems of accommodation in the cassette 2, and MCCs having different width dimensions, and a cassette for the MCC.
１…ＭＣＣまたはそのワーク、２…カセット、21…カセ
ットの仕切枠、３…非接触吸着ヘッド、単にヘッド、31
…角柱、32…噴射孔、33…吸入溝、34…排出孔、35…底
面、４…筐体、５…微小調整部、51…ベアリング、52…
中心軸、53…テーパー駒、531 …テーパー平面、54…エ
アシリンダ、55a 〜55d …可動アーム、56a 〜56d …ロ
ーラー、57…スプリング、６…ガイド部、61a 〜61d …
ガイド板、611 …ガイド板の突起、62a 〜62d …スプリ
ング、７…打開設定部、71…結合アーム、72…ベアリン
グ、73…昇降軸、74…ロータリエアシリンダ、75…カム
機構、１０…この発明のガイド機構。DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... MCC or its work, 2 ... cassette, 21 ... partitioning frame of a cassette, 3 ... non-contact adsorption head, simply head, 31
... prism, 32 ... injection hole, 33 ... suction groove, 34 ... discharge hole, 35 ... bottom surface, 4 ... housing, 5 ... fine adjustment part, 51 ... bearing, 52 ...
Central shaft, 53 ... Tapered piece, 531 ... Tapered plane, 54 ... Air cylinder, 55a-55d ... Movable arm, 56a-56d ... Roller, 57 ... Spring, 6 ... Guide part, 61a-61d ...
Guide plate, 611 ... Projection of guide plate, 62a-62d ... Spring, 7 ... Break setting part, 71 ... Coupling arm, 72 ... Bearing, 73 ... Lifting shaft, 74 ... Rotary air cylinder, 75 ... Cam mechanism, 10 ... Invention guide mechanism.
Claims (2)
たエアを吸入溝により吸入し、該角型ワークを吸引して
非接触で保持する非接触吸着ヘッドを具備し、未検査カ
セットの格子状の仕切枠内に収容された該角型ワーク
を、前記非接触吸着ヘッドに保持して検査装置に搬送
し、検査終了後、検査済みカセットの前記仕切枠内に収
納するハンドリング機構において、前記非接触吸着ヘッ
ドに接近して対称的に設けられ、該非接触吸着ヘッドに
保持された角型ワークの横ズレを防止する４個のガイド
板を有するガイド部と、前記各カセットの仕切枠の間隔
に対応して、該各ガイド板の相互間隔を微調整する微小
調整部、および該相互間隔を複数の段階に設定する段階
設定部とにより構成されたことを特徴とする、非接触保
持ワークのガイド機構。1. A non-contact suction head for sucking air jetted from a jet hole to a square work through a suction groove, sucking the square work and holding the square work in a non-contact manner. In the handling mechanism, the square work housed in the grid-shaped partition frame is held by the non-contact suction head and conveyed to the inspection device, and after the inspection, stored in the partition frame of the inspected cassette. A guide portion having four guide plates which are provided symmetrically close to the non-contact suction head and prevent lateral displacement of a rectangular work held by the non-contact suction head, and a partition frame of each cassette. A non-contact holding work, characterized by comprising a fine adjustment unit for finely adjusting the mutual spacing of the respective guide plates corresponding to the spacing, and a stage setting unit for setting the mutual spacing in a plurality of stages. Guide mechanism.
着ヘッドが固定された筐体を設け、該筐体に固定された
ベアリングに軸支された中心軸と、該中心軸の中間に固
定され、互いに直角をなす４個のテーパー平面を有する
テーパー駒と、該中心軸の上部に結合されたエアシリン
ダ、および、該中心軸の周囲に設けられ、前記各テーパ
ー平面にそれぞれ接触するローラーを有し、それぞれの
上端が前記筐体に軸支され、スプリングにより内側に付
勢された４本の可動アームとを具備し、該各可動アーム
の下端に、前記ガイド部の各ガイド板を前記非接触吸着
ヘッドに接近して弾性的に取り付けて構成され、 前記段階設定部は、２個のエアシリンダを具備し、前記
微小調整部のエアシリンダと中心軸とを一体として、軸
方向に段階的に移動する移動機構により構成されたこと
を特徴とする、請求項１記載の非接触保持ワークのガイ
ド機構。2. The fine adjustment unit is provided with a casing to which the non-contact suction head is fixed in a lower portion, and a central shaft rotatably supported by a bearing fixed to the casing and an intermediate portion of the central shaft. A taper piece that is fixed and has four taper planes that are perpendicular to each other, an air cylinder that is connected to the upper part of the central axis, and rollers that are provided around the central axis and that contact the respective tapered planes. And four movable arms each of which has an upper end pivotally supported by the housing and is biased inward by a spring, and each guide plate of the guide portion is provided at a lower end of each movable arm. The step setting unit includes two air cylinders, which are elastically attached close to the non-contact suction head. Move in stages Characterized in that it is constituted by a rotation mechanism, according to claim 1 contactless holding workpiece guide mechanism according.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11229893A JPH06297372A (en) | 1993-04-15 | 1993-04-15 | Guide mechanism for work held in noncontact |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11229893A JPH06297372A (en) | 1993-04-15 | 1993-04-15 | Guide mechanism for work held in noncontact |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06297372A true JPH06297372A (en) | 1994-10-25 |
Family
ID=14583185
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11229893A Pending JPH06297372A (en) | 1993-04-15 | 1993-04-15 | Guide mechanism for work held in noncontact |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06297372A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007074855A1 (en) * | 2005-12-27 | 2007-07-05 | Harmotec Co., Ltd. | Non-contact delivery device |
-
1993
- 1993-04-15 JP JP11229893A patent/JPH06297372A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007074855A1 (en) * | 2005-12-27 | 2007-07-05 | Harmotec Co., Ltd. | Non-contact delivery device |
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