JPH0629707Y2 - Fluid pressure detector for piping - Google Patents
Fluid pressure detector for pipingInfo
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- JPH0629707Y2 JPH0629707Y2 JP1986052229U JP5222986U JPH0629707Y2 JP H0629707 Y2 JPH0629707 Y2 JP H0629707Y2 JP 1986052229 U JP1986052229 U JP 1986052229U JP 5222986 U JP5222986 U JP 5222986U JP H0629707 Y2 JPH0629707 Y2 JP H0629707Y2
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Description
【考案の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本考案は、特にクリーン度が要求されるクリーンルーム
などへの流体配管中に取付けるのに好適な配管の流体圧
検出装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial field of application] The present invention relates to a fluid pressure detection device for a pipe suitable for being installed in a fluid pipe such as a clean room where cleanliness is particularly required.
[背景技術とその問題点] ICやLSIなどの半導体産業分野では、微粒子や塵芥
などを排除したクリーンルームでの作業が要求され、製
造作業環境並びに条件は益々厳しいものとなってきてい
る。[Background Art and Problems] In the field of semiconductor industries such as IC and LSI, it is required to work in a clean room in which fine particles and dust are excluded, and the manufacturing work environment and conditions are becoming more and more severe.
半導体製造に用いられる特殊ガスはクリーンルーム内に
外部より配管を通じて導入されるが、そのガス配管ライ
ンにおける圧力検出については、従来、アネロイド型ブ
ルドン管式圧力計をガス配管ラインの途中にねじ込み、
配管内の流通ガスをブルドン管内へ導いて圧力検出を行
っていた。Special gas used in semiconductor manufacturing is introduced into the clean room from the outside through piping.For pressure detection in the gas piping line, conventionally, an Aneroid type Bourdon tube pressure gauge was screwed in the middle of the gas piping line.
The flow gas in the pipe was introduced into the Bourdon pipe to detect the pressure.
ところが、このような構造であると、圧力計をガス配管
ラインの途中にねじ込む際に、そのねじ込みによって生
じる塵芥が配管内に侵入する問題があった。また、圧力
計自体の構造についても、そのエレメントであるブルド
ン管内部の面粗度が粗く、かつブルドン管自体が行き留
まり構造であるため、これらの箇所にガスが滞留する、
いわゆるデッドゾーンが形成されてしまう問題があっ
た。However, with such a structure, when the pressure gauge is screwed in the middle of the gas pipe line, there is a problem that dust generated by the screwing enters the pipe. Also, regarding the structure of the pressure gauge itself, the surface roughness of the inside of the Bourdon tube, which is the element, is rough, and the Bourdon tube itself has a dead structure, so that gas accumulates at these points,
There was a problem that a so-called dead zone was formed.
このようなデッドゾーンの存在は、流通ガスの滞留によ
りブルドン管内の接ガス面の凹凸表面から分子単位の微
粒子を発生させ、これが流通ガスに混入する事態を招
く。また、ブルドン管の内部に入った流通ガスは、IC
素子への所定ガスの真空蒸着時などにおいて蒸着ライン
を真空引きしたとき、徐々に流出拡散し、蒸着すべきガ
スに混入して不良発生の原因となる可能性がある。The presence of such a dead zone causes the generation of fine particles of a molecular unit from the uneven surface of the gas contacting surface in the Bourdon tube due to the retention of the flowing gas, which is mixed into the flowing gas. In addition, the circulating gas that enters the Bourdon tube is
When the vapor deposition line is evacuated during vacuum vapor deposition of a predetermined gas onto the device, the vapor may gradually flow out and diffuse, and may mix with the gas to be vapor-deposited and cause defects.
従って、LSIなどの半導体産業分野での使用に適した
圧力検出装置が要望されている。Therefore, there is a demand for a pressure detection device suitable for use in the semiconductor industry field such as LSI.
[考案の目的] 本考案の目的は、このような要望に応え、配管中に滞留
部となるデッドゾーンが形成されることが少なく、しか
も、高い検出精度を維持しつつ、取付部における密封性
を著しく高めることができる配管の流体圧検出装置を提
供することにある。[Object of the Invention] The object of the present invention is to meet such a demand, a dead zone which is a retention part is not formed in the pipe, and the sealing property in the mounting part is maintained while maintaining high detection accuracy. It is an object of the present invention to provide a fluid pressure detection device for a pipe that can significantly increase the pressure.
[問題点を解決するための手段および作用] そのため、本考案では、今までのブルドン管式圧力計自
体の構造に伴う問題、つまりブルドン管内の面粗度や行
き留まりによる流体滞留部の発生を解消すべく、流体圧
を電気的信号として検知する圧力センサを用い、さらに
圧力センサを配管の圧力検出口に取付けた際に生じる両
者間の隙間を金属製シール部材によりシールすると同時
に、圧力センサを保持する袋ナットと圧力センサとの間
にスラストベアリングを介在させ、袋ナットの締付け時
の回転力による圧力センサおよびシール部材の捩れを防
止し、捩れによる圧力センサの検出精度の低下を防止し
つつ、金属性シール部材の本来の高い密封性を発揮でき
るようにしたものである。[Means and Actions for Solving Problems] Therefore, in the present invention, the problems associated with the structure of the Bourdon tube type pressure gauge itself, that is, the occurrence of the fluid retention portion due to the surface roughness and the retention in the Bourdon tube are considered. In order to solve this problem, a pressure sensor that detects the fluid pressure as an electrical signal is used, and the gap between the pressure sensor and the pressure sensor that is created when the pressure sensor is attached to the pressure detection port of the pipe is sealed with a metal seal member. The thrust bearing is interposed between the cap nut to be held and the pressure sensor to prevent the pressure sensor and the seal member from twisting due to the rotational force when tightening the cap nut, while preventing the detection accuracy of the pressure sensor from lowering due to twisting. The metallic seal member is designed to exhibit the original high sealing performance.
具体的には、配管内の流体流路を流れる流体圧を検出す
る配管の流体圧検出装置において、前記配管の途中に筒
状の突部を一体的に形成し、この突部内に前記配管の流
体流路と連通する圧力検出口を形成し、この圧力検出口
に流体圧を電気信号として検知する圧力センサを前記配
管の流体流路内に臨ませた状態で収納するとともに、こ
の圧力センサと圧力センサを受ける前記圧力検出口の受
座との間に金属製シール部材を設け、前記突部の外周に
前記圧力センサを保持する袋ナットを螺合し、この袋ナ
ットと圧力センサとの間にスラストベアリングを介在さ
せるとともに、袋ナットの中央に前記圧力センサから引
き出された導管を挿通しかつその導管の外径より大きい
径の挿通孔を形成したことを特徴としている。Specifically, in a fluid pressure detection device for a pipe that detects a fluid pressure flowing through a fluid flow path in a pipe, a tubular protrusion is integrally formed in the middle of the pipe, and the pipe of the pipe is formed in the protrusion. A pressure detection port that communicates with the fluid flow channel is formed, and a pressure sensor that detects the fluid pressure as an electrical signal is stored in the pressure detection port while facing the fluid flow channel of the pipe. A metal seal member is provided between the pressure sensor and the seat for receiving the pressure sensor, and a cap nut for holding the pressure sensor is screwed onto the outer periphery of the protrusion, and the cap nut is held between the cap nut and the pressure sensor. In addition to the thrust bearing, a cap nut is formed in the center of which a conduit drawn from the pressure sensor is inserted and an insertion hole having a diameter larger than the outer diameter of the conduit is formed.
[実施例] 第1図は本考案の一実施例を示している。同図におい
て、配管1の途中に設けられた筒状の立上り突部2に
は、配管1の流体流路3と連通しかつ途中に段状の受座
4A,4Bを有する圧力検出口5が開口されている。な
お、流体流路3の内面は超精密仕上げされ、その面粗度
による滞留部の発生が防止されている。また、圧力検出
口5の受座4A.4Bの間には流体流路3を流れる流体
圧を電気的信号として検知する圧力センサ6が収納され
ているとともに、圧力センサ6の胴部6Aとそれを受け
る受座4Aとの間にはシール部材としての金属Cリング
7が挿入されている。[Embodiment] FIG. 1 shows an embodiment of the present invention. In the figure, a pressure detecting port 5 communicating with the fluid flow path 3 of the pipe 1 and having stepped seats 4A and 4B is provided in the tubular rising protrusion 2 provided in the middle of the pipe 1. It is open. The inner surface of the fluid flow path 3 is ultra-precision finished to prevent generation of a retention portion due to its surface roughness. In addition, the seat 4A. A pressure sensor 6 for detecting the fluid pressure flowing in the fluid flow path 3 as an electrical signal is housed between the 4B and a seal between the body portion 6A of the pressure sensor 6 and the seat 4A for receiving it. A metal C ring 7 as a member is inserted.
前記圧力センサ6は、前記圧力検出口5の受座4Aに前
記Cリング7を介して当接された円筒形状の胴部6A
と、この胴部6Aの先端に設けられた圧力検出端6B
と、この圧力検出端6Bで検出された電気的信号を外部
へ送るための導管6Cとからなる。胴部6Aは、前記圧
力検出口5の受座4Bに位置決めされる鍔を備えてい
る。鍔の受座4Bと接する面とは反対側の面には筒状の
キャップ8が装着されている。また、先端の圧力検出端
6Bは、例えばダイヤフラム面にストレンゲージを蒸着
した、いわゆるダイヤフラム型ストレンゲージによって
構成され、そのダイヤフラム面が前記圧力検出口5を施
蓋するように前記流体流路3内へ臨ませられている。こ
の場合、流体流路3内へ臨む端部は、流体に対して抵抗
とならない形状、つまり球面形状に形成されている。さ
らに、導管6Cの先端は、図示しない圧力表示器へ接続
されている。The pressure sensor 6 has a cylindrical body portion 6A that is in contact with the seat 4A of the pressure detection port 5 via the C ring 7.
And a pressure detection end 6B provided at the tip of the body 6A
And a conduit 6C for sending the electric signal detected by the pressure detecting end 6B to the outside. The body portion 6A includes a collar that is positioned on the receiving seat 4B of the pressure detecting port 5. A cylindrical cap 8 is attached to the surface of the flange opposite to the surface in contact with the receiving seat 4B. Further, the pressure detecting end 6B at the tip is constituted by, for example, a so-called diaphragm type strain gauge in which a strain gauge is vapor-deposited on a diaphragm surface, and the inside of the fluid passage 3 is covered with the diaphragm surface so as to cover the pressure detecting port 5. Is faced with. In this case, the end facing the fluid flow path 3 is formed in a shape that does not resist the fluid, that is, a spherical shape. Further, the tip of the conduit 6C is connected to a pressure indicator (not shown).
前記立上り突部2の外周にはおねじ2Aが形成され、こ
のおねじ2Aには中心に前記導管6Cを挿通させかつそ
の導管6Cの外径より大きい径の挿通孔9を有する袋ナ
ット10が螺合されている。袋ナット10の内端面と前
記圧力センサ6のキャップ8との間には、円筒状の押え
11を介してスラストベアリング12が介装されてい
る。スラストベアリング12の構成要素、つまりボール
や一対のリング等は、弾性を有する筒状のリティーナ1
3により一体として保持され、かつそのリティーナ13
を介して前記押え11に取付けられている。A male screw 2A is formed on the outer periphery of the rising projection 2, and a cap nut 10 having a through hole 9 having a diameter larger than the outer diameter of the conduit 6C is screwed into the male screw 2A. Have been combined. A thrust bearing 12 is interposed between an inner end surface of the cap nut 10 and the cap 8 of the pressure sensor 6 via a cylindrical presser 11. The components of the thrust bearing 12, that is, the balls, the pair of rings, etc., are the cylindrical tubular retainer 1 having elasticity.
Held as one by 3 and its Ritina 13
It is attached to the presser foot 11 via.
いま、スラストベアリング12がない状態では、袋ナッ
ト10を螺合すると、その回転力が押え11、キャップ
8を介して圧力センサ6およびCリング7へ伝達される
結果、圧力センサ6およびCリング7には捩れが生じ
る。圧力センサ6に捩れが生じると、その捩れによっ検
出精度が低下し、また、Cリング7に捩れが生じると、
圧力センサ6と圧力検出口5の受座4Aとの隙間を完全
にシールできないことになる。しかし、本実施例では、
スラストベアリング12の作用によって袋ナット10の
回転力が押え11以降の部材へ伝達されることがないの
で、圧力センサ6の捩れによる検出精度の低下がなく、
また、Cリング7も捩れが生じることがないから、軸方
向のみの締付力によって締付けられる。Now, in the state where the thrust bearing 12 is not provided, when the cap nut 10 is screwed, its rotational force is transmitted to the pressure sensor 6 and the C ring 7 via the presser 11 and the cap 8, and as a result, the pressure sensor 6 and the C ring 7 Is twisted. When the pressure sensor 6 is twisted, the twisting reduces the detection accuracy, and when the C ring 7 is twisted,
The gap between the pressure sensor 6 and the seat 4A of the pressure detection port 5 cannot be completely sealed. However, in this embodiment,
Since the rotational force of the cap nut 10 is not transmitted to the members after the presser 11 by the action of the thrust bearing 12, there is no decrease in the detection accuracy due to the twist of the pressure sensor 6,
Further, since the C ring 7 is not twisted, it can be tightened by the tightening force only in the axial direction.
従って、本実施例によれば、従来のブルドン管式圧力計
に代えて、流体圧を電気的信号として検出する圧力セン
サ6を用いたので、ブルドン管式圧力計自体の構造に伴
なう問題、つまりブルドン管内部の面粗度および行き留
まりによって生じる滞留部の発生がない。しかも、配管
1の流体流路3の内面を超精密仕上げしてあるので、こ
の点からも滞留部の発生を防止できる。Therefore, according to the present embodiment, the pressure sensor 6 for detecting the fluid pressure as an electric signal is used in place of the conventional Bourdon tube pressure gauge, so that there is a problem with the structure of the Bourdon tube pressure gauge itself. In other words, there is no generation of a retention part caused by the surface roughness and the retention inside the Bourdon tube. In addition, since the inner surface of the fluid flow path 3 of the pipe 1 is ultra-precision finished, it is possible to prevent the retention portion from occurring also from this point.
また、圧力センサ6とそれを受ける圧力検出口5の受座
4Aとの間に金属Cリング7を挿入し、このCリング7
によって両者間の隙間をシールするようにしたので、圧
力検出口5と圧力センサ6との隙間をシールすることが
できる。特に、金属Cリング7を用いているから、通常
のゴム製シール部材では得られない高い密封性を確保す
ることができるとともに、ゴム製シール部材に比べそれ
自体微細な塵芥の発生源となることもないので高いクリ
ーン度を確保できる。In addition, a metal C ring 7 is inserted between the pressure sensor 6 and the receiving seat 4A of the pressure detection port 5 that receives the pressure sensor 6.
Since the gap between the two is sealed by the above, the gap between the pressure detection port 5 and the pressure sensor 6 can be sealed. In particular, since the metal C ring 7 is used, it is possible to secure a high sealing property that cannot be obtained with a normal rubber seal member, and it becomes a source of generation of fine dust as compared with the rubber seal member. Since there is no such thing, a high degree of cleanliness can be secured.
さらに、袋ナット10と圧力センサ6との間に押え11
を介してスラストベアリング12を介在させたので、袋
ナット10の回転力が押え11を介して圧力センサ6お
よびCリング7に伝達されることがない。よって、圧力
センサ6の捩れによる検出精度の低下を防止できるとと
もに、Cリング7にも捩れが生じることがないから、金
属Cリング7本来の高い密封性を発揮させることができ
る。しかも、スラストベアリング12の構成要素をリテ
ィーナ13により所定位置に保持させたので、組込みを
容易に行なえるばかりでなく、スラストベアリング12
の機能を確実に発揮できる。Further, the presser 11 is provided between the cap nut 10 and the pressure sensor 6.
Since the thrust bearing 12 is interposed via the pressure bearing 6, the rotational force of the cap nut 10 is not transmitted to the pressure sensor 6 and the C ring 7 via the retainer 11. Therefore, it is possible to prevent the detection accuracy from deteriorating due to the twist of the pressure sensor 6, and since the C ring 7 is not twisted, it is possible to exhibit the original high sealing performance of the metal C ring 7. Moreover, since the constituent elements of the thrust bearing 12 are held in the predetermined positions by the retainer 13, not only can the assembly be performed easily, but also the thrust bearing 12
The function of can be surely demonstrated.
なお、第1図では、配管1の両端に他の配管を連結する
場合、両者を溶接などによって連結する必要がある。溶
接による連結では、流体流路3の内面を耐腐食処理(流
体が腐食性ガスの場合の処理)してあると、その処理が
無駄になってしまう問題がある。第2図および第3図は
この点を解消したものである。なお、第2図および第3
図の説明に当って、第1図の構成要素と同一のものにつ
いては、同一符号を付し、その説明を省略する。In FIG. 1, when connecting other pipes to both ends of the pipe 1, it is necessary to connect both pipes by welding or the like. In the connection by welding, if the inner surface of the fluid flow path 3 is subjected to corrosion-resistant treatment (treatment when the fluid is corrosive gas), there is a problem that the treatment is wasted. FIGS. 2 and 3 eliminate this point. Incidentally, FIG. 2 and FIG.
In the description of the drawings, the same components as those in FIG. 1 are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted.
第2図では、T継手20の両端外周面におねじ21,2
2が形成され、この各おねじ21,22に袋ナット2
3,24が螺合され、この袋ナット23,24によって
配管25,26がT継手20の両端に連結されている。
この場合、T継手20の一端面と配管25の端面および
T継手20の他端面と配管26の端面との間には金属C
リング27,28が、また袋ナット23と配管25との
間および袋ナット24と配管26との間にはリティーナ
31,32によって保持されたスラストベアリング2
9,30がそれぞれ挿入されている。従って、各袋ナッ
ト23,24を螺合しても、それによる回転力が配管2
5,26および金属Cリング27,28に伝達されるこ
とがないので、シール効果の完全を期すことができる。In FIG. 2, external threads 21, 2 are formed on the outer peripheral surfaces of both ends of the T joint 20.
2 is formed, and the cap nut 2 is attached to each of the male screws 21 and 22.
3, 24 are screwed together, and the cap nuts 23, 24 connect the pipes 25, 26 to both ends of the T joint 20.
In this case, a metal C is provided between one end face of the T-joint 20 and the end face of the pipe 25 and between the other end face of the T-joint 20 and the end face of the pipe 26.
Thrust bearing 2 in which rings 27, 28 are retained by retainers 31, 32 between cap nut 23 and pipe 25 and between cap nut 24 and pipe 26.
9 and 30 are inserted respectively. Therefore, even if the cap nuts 23 and 24 are screwed together, the rotational force due to the screw is applied to the pipe 2
5, 26 and the metal C-rings 27, 28 are not transmitted, so that the sealing effect can be perfected.
第3図では、第2図におけるリティーナ31,32付ス
ラストベアリング29,30をボールベアリング41に
変えたものである。これによっても、第2図と同様な効
果を奏することができる。In FIG. 3, the thrust bearings 29, 30 with the retainers 31, 32 in FIG. 2 are replaced with ball bearings 41. With this, the same effect as that of FIG. 2 can be obtained.
また、上記各実施例では、圧力センサとしてダイヤフラ
ム型ストレンゲージを用いたが、圧力センサとしてはこ
れに限らず、流体圧を電気的信号として検知できるもの
であればいずれでもよい。Further, in each of the above embodiments, the diaphragm type strain gauge is used as the pressure sensor, but the pressure sensor is not limited to this, and any pressure sensor capable of detecting the fluid pressure as an electrical signal may be used.
また、上記各実施例では、流体をガスとして説明した
が、液体などの流体にも十分に適用できる。Further, in each of the above-described embodiments, the fluid is described as a gas, but the invention can be sufficiently applied to a fluid such as a liquid.
[考案の効果] 以上の通り、本考案によれば、滞留部の発生が少なく、
しかも、高い検出精度を維持しつつ、密封性を高めるこ
とができるので、微粒子や塵芥などが流体中に混入され
ることもなく、特にクリーン度が必要とされるクリーン
ルームなどへの配管中に取付けるのに好適な配管の流体
圧検出装置を提供できる。[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, the occurrence of the stagnant portion is small,
In addition, since it is possible to improve the sealing performance while maintaining high detection accuracy, it is possible to install it in piping such as in a clean room where cleanliness is required, without particles or dust being mixed into the fluid. It is possible to provide a fluid pressure detection device for piping suitable for the above.
第1図は本考案の一実施例を示す断面図、第2図および
第3図はそれぞれ本考案の他の実施例を示す断面図であ
る。 1……配管、2……立上り突部、3……流体流路、5…
…圧力検出口、6……圧力センサ、7……金属Cリン
グ、9……挿通孔、10……袋ナット、12……スラス
トベアリング、13……リティーナ、20……T継手。FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment of the present invention, and FIGS. 2 and 3 are sectional views showing other embodiments of the present invention. 1 ... Piping, 2 ... Standing protrusion, 3 ... Fluid flow path, 5 ...
... pressure detection port, 6 ... pressure sensor, 7 ... metal C ring, 9 ... insertion hole, 10 ... cap nut, 12 ... thrust bearing, 13 ... retainer, 20 ... T joint.
フロントページの続き (56)参考文献 実開 昭50−124978(JP,U) 実開 昭48−2876(JP,U) 特公 昭39−25259(JP,B1) 実公 昭47−554(JP,Y1) 実公 昭52−14444(JP,Y2)Continuation of the front page (56) Bibliography Sho 50-124978 (JP, U) Steady Sho 48-2876 (JP, U) Japanese Patent Sho 39-25259 (JP, B1) Real Sho 47-554 (JP , Y1) Actual public Sho 52-14444 (JP, Y2)
Claims (5)
る配管の流体圧検出装置において、前記配管の途中に筒
状の突部を一体的に形成し、この突部内に前記配管の流
体流路と連通する圧力検出口を形成し、この圧力検出口
に流体圧を電気信号として検知する圧力センサを前記配
管の流体流路内に臨ませた状態で収納するとともに、こ
の圧力センサと圧力センサを受ける前記圧力検出口の受
座との間に金属製シール部材を設け、前記突部の外周に
前記圧力センサを保持する袋ナットを螺合し、この袋ナ
ットと圧力センサとの間にスラストベアリングを介在さ
せるとともに、袋ナットの中央に前記圧力センサから引
き出された導管を挿通しかつその導管の外径より大きい
径の挿通孔を形成したことを特徴とする配管の流体圧検
出装置。1. A fluid pressure detection device for a pipe, which detects a fluid pressure flowing in a fluid flow path in the pipe, wherein a tubular protrusion is integrally formed in the middle of the pipe, and the pipe is provided in the protrusion. A pressure detection port that communicates with the fluid flow channel is formed, and a pressure sensor that detects the fluid pressure as an electrical signal is stored in the pressure detection port while facing the fluid flow channel of the pipe. A metal seal member is provided between the pressure sensor and the seat for receiving the pressure sensor, and a cap nut for holding the pressure sensor is screwed onto the outer periphery of the protrusion, and the cap nut is held between the cap nut and the pressure sensor. A fluid pressure detecting device for a pipe, characterized in that a thrust bearing is interposed in the pipe, and a conduit drawn from the pressure sensor is inserted in the center of the cap nut and an insertion hole having a diameter larger than the outer diameter of the conduit is formed. .
の流体圧検出装置において、前記圧力センサを、ダイヤ
フラム型ストレンゲージとしたことを特徴とする配管の
流体圧検出装置。2. A fluid pressure detecting device for a pipe according to claim 1, wherein the pressure sensor is a diaphragm type strain gauge.
項記載の配管の流体圧検出装置において、前記シール部
材を、金属Cリングとしたことを特徴とする配管の流体
圧検出装置。3. Claim for utility model registration claim 1 or 2
A fluid pressure detecting apparatus for a pipe according to the above item, wherein the seal member is a metal C ring.
項のいずれかに記載の配管の流体圧検出装置において、
前記スラストベアリングのボール、リングなどの構成要
素を所定位置に保持するためのリティーナを設けたこと
を特徴とする配管の流体圧検出装置。4. Claims 1 to 3 of the utility model registration claim.
In the fluid pressure detection device for piping according to any one of items,
A fluid pressure detecting device for a pipe, comprising a retainer for holding components such as balls and rings of the thrust bearing at predetermined positions.
項のいずれかに記載の配管の流体圧検出装置において、
前記配管の内面粗度を、超精密仕上げとしたことを特徴
とする配管の流体圧検出装置。5. Claims 1 to 4 of the utility model registration claim
In the fluid pressure detection device for piping according to any one of items,
A fluid pressure detection device for a pipe, characterized in that the inner surface roughness of the pipe is ultra-precision finished.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1986052229U JPH0629707Y2 (en) | 1986-04-08 | 1986-04-08 | Fluid pressure detector for piping |
Applications Claiming Priority (1)
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JP1986052229U JPH0629707Y2 (en) | 1986-04-08 | 1986-04-08 | Fluid pressure detector for piping |
Publications (2)
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JPS62163741U JPS62163741U (en) | 1987-10-17 |
JPH0629707Y2 true JPH0629707Y2 (en) | 1994-08-10 |
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ID=30877213
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP1986052229U Expired - Lifetime JPH0629707Y2 (en) | 1986-04-08 | 1986-04-08 | Fluid pressure detector for piping |
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Country | Link |
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Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JP2001272295A (en) * | 2000-03-27 | 2001-10-05 | Tadahiro Kato | Pressure measuring sensor |
JP2002156302A (en) * | 2000-11-17 | 2002-05-31 | Surpass Kogyo Kk | Pressure sensor |
DE102010040213B4 (en) * | 2010-09-03 | 2022-02-03 | Aktiebolaget Skf | pressure switch |
JP7261689B2 (en) * | 2019-08-07 | 2023-04-20 | ナブテスコ株式会社 | Pressure sensor mounting adapters and sensors |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS47554U (en) * | 1971-01-21 | 1972-08-03 |
-
1986
- 1986-04-08 JP JP1986052229U patent/JPH0629707Y2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS62163741U (en) | 1987-10-17 |
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