JPH06293836A - Production of thin tube having treated inner surface and production apparatus therefor - Google Patents

Production of thin tube having treated inner surface and production apparatus therefor

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JPH06293836A
JPH06293836A JP8201193A JP8201193A JPH06293836A JP H06293836 A JPH06293836 A JP H06293836A JP 8201193 A JP8201193 A JP 8201193A JP 8201193 A JP8201193 A JP 8201193A JP H06293836 A JPH06293836 A JP H06293836A
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JP
Japan
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thin tube
target
core
film
tube
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Application number
JP8201193A
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Japanese (ja)
Inventor
Takeshi Miura
毅 三浦
Shinichi Yamaki
晋一 山木
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Japan Steel Works Ltd
Original Assignee
Japan Steel Works Ltd
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To continuously and efficiently produce the subject thin tube having excellent antithrombogenetic property and biocompatibility and useful for artificial blood vessel, etc., by irradiating a target with an ion beam, etc., from the outside of the thin tube through the tube and forming a film on the inner surface of the thin tube by sputtering, etc. CONSTITUTION:This thin tube is produced by placing a target in a thin tube of a polymeric material such as silicone rubber at a part to form the thin tube to a prescribed diameter, irradiating the target with ion beam or laser beam from the outside of the thin tube through the thin tube and forming a film on the inner surface of the thin tube by sputtering or ablation.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、内面処理細管の製造
方法および製造装置に関し、さらに詳しくは、イオンビ
ームスパッタ法またはレーザアブレージョン法により内
面処理した細管を製造する内面処理細管の製造方法およ
び製造装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and an apparatus for manufacturing an inner surface-treated thin tube, and more particularly, to an inner surface-treated thin tube for manufacturing an inner surface-treated thin tube by an ion beam sputtering method or a laser abrasion method. Regarding the device.

【0002】[0002]

【従来の技術】特開昭62−74633号公報におい
て、「導電性熱可塑性樹脂管の製造方法」が提案されて
いる。これは、押出成形機から押し出した熱可塑性樹脂
管を、イオン注入装置の内部を通過させて外面処理し、
外面に導電性を付与するものである。また、押出成形機
から押し出した熱可塑性樹脂管を、イオン注入装置の外
方を通過させて内面処理し、内面に導電性を付与するも
のである。
2. Description of the Related Art Japanese Unexamined Patent Publication (Kokai) No. 62-74633 proposes a "method for producing a conductive thermoplastic resin tube". This is a thermoplastic resin tube extruded from an extruder, passed through the inside of the ion implanter to be externally treated,
It imparts conductivity to the outer surface. Further, the thermoplastic resin tube extruded from the extrusion molding machine is passed through the outside of the ion implantation device to be subjected to inner surface treatment to impart conductivity to the inner surface.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】人工血管やカテーテル
等の医療分野で用いられる高分子材料の細管は、抗血栓
性,生体適合性,抗菌性,滅菌性等が要求されるため、
表面処理が必要である。また、食品輸送用の細管などで
も、表面処理が必要である。細管の外面処理は、上記
「導電性熱可塑性樹脂管の製造方法」を応用すれば可能
である。しかし、細管の内面処理は、不可能である。な
ぜなら、径が小さい細管の内部にイオン注入装置を入れ
ることは不可能だからである。そこで、この発明の目的
は、内面処理した細管を好適に製造可能な内面処理細管
の製造方法および製造装置を提供することにある。
PROBLEMS TO BE SOLVED BY THE INVENTION Since capillary tubes made of a polymer material used in the medical field such as artificial blood vessels and catheters are required to have antithrombotic properties, biocompatibility, antibacterial properties, sterilization properties, etc.
Surface treatment is required. Further, surface treatment is also required for thin tubes for food transportation. The outer surface of the thin tube can be treated by applying the above-mentioned “method for producing a conductive thermoplastic resin tube”. However, the inner surface treatment of the thin tube is impossible. This is because it is impossible to put the ion implantation device inside a thin tube having a small diameter. Then, the objective of this invention is to provide the manufacturing method and manufacturing apparatus of the inner surface treatment thin tube which can manufacture suitably the inner surface treated thin tube.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】第1の観点では、この発
明は、細管内部にターゲットを設け、細管外から細管内
部を通じてイオンビームまたはレーザビームを前記ター
ゲットに照射し、スパッタリングまたはアブレージョン
により、細管内面に成膜することを特徴とする内面処理
細管の製造方法を提供する。
According to a first aspect of the present invention, a target is provided inside a thin tube, the target is irradiated with an ion beam or a laser beam from the outside of the thin tube through the inside of the thin tube, and the thin tube is sputtered or abraded. Provided is a method for manufacturing an inner surface-treated thin tube, which is characterized in that a film is formed on the inner surface.

【0005】第2の観点では、この発明は、高分子材料
の細管を所定径に形成する部分の細管内部にターゲット
を設け、細管外から細管内部を通じてイオンビームまた
はレーザビームを前記ターゲットに照射し、スパッタリ
ングまたはアブレージョンにより、細管内面に成膜する
ことを特徴とする内面処理細管の製造方法を提供する。
In a second aspect, the present invention provides a target inside a thin tube of a portion where a thin tube of a polymeric material is formed to have a predetermined diameter, and irradiates the target with an ion beam or a laser beam from outside the thin tube through the inside of the thin tube. There is provided a method for producing an inner surface-treated thin tube, which comprises forming a film on the inner surface of the thin tube by sputtering or abrasion.

【0006】第3の観点では、この発明は、口金と中子
の隙間から溶融高分子材料を押し出して細管を成形する
押出成形手段と、前記中子側から反中子側まで前記押出
成形手段の内部を連通する空間と、前記中子に設けたタ
ーゲットと、前記押出成形手段の反中子側から前記空間
を通じてイオンビームまたはレーザビームを前記ターゲ
ットに照射しスパッタリングまたはアブレージョンによ
り細管内面に成膜するビーム照射手段とを具備したこと
を特徴とする内面処理細管の製造装置を提供する。
In a third aspect, the present invention is an extrusion molding means for extruding a molten polymer material from a gap between a die and a core to form a thin tube, and the extrusion molding means from the core side to the non-core side. A space communicating with the inside of the core, a target provided on the core, and the target is irradiated with an ion beam or a laser beam from the side opposite to the core of the extrusion molding means through the space to form a film on the inner surface of the thin tube by sputtering or abrasion. And a beam irradiating means for producing the inner surface-treated thin tube.

【0007】[0007]

【作用】この発明の内面処理細管の製造方法および製造
装置では、細管内部にターゲットを設ける。そして、細
管の外部から細管内部を通じてイオンビームまたはレー
ザビームを照射する。すると、スパッタリングまたはア
ブレージョンにより前記ターゲットの粒子がターゲット
表面から放出されて細管内面に到達し、成膜する。細管
内部に設けるのはターゲットだけなので、内径の小さな
細管でも好適に内面処理できる。
In the method and apparatus for manufacturing the inner surface treated thin tube of the present invention, the target is provided inside the thin tube. Then, an ion beam or a laser beam is irradiated from the outside of the thin tube through the inside of the thin tube. Then, the particles of the target are emitted from the target surface by sputtering or abrasion and reach the inner surface of the capillary to form a film. Since only the target is provided inside the thin tube, the inner surface of the thin tube having a small inner diameter can be preferably treated.

【0008】[0008]

【実施例】以下、図に示す実施例によりこの発明をさら
に詳細に説明する。なお、これによりこの発明が限定さ
れるものではない。
The present invention will be described in more detail with reference to the embodiments shown in the drawings. The present invention is not limited to this.

【0009】−第1実施例− 図1は、この発明の第1実施例の内面処理細管の製造装
置の概略構成図である。この内面処理細管の製造装置1
00において、1はイオン源、2はイオンビームのイオ
ン種および荷電数を揃える質量分析システム、3はイオ
ンビームを細束にして照射/走査する集束・走査システ
ムである。4は、先端に口金を具備し、細管Pを押出成
形する押出成形機である。5は、引き取り機である。な
お、高品質に成膜しない場合は、質量分析システム2お
よび/または集束・走査システム3を省略してもよい。
First Embodiment FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an inner surface processing thin tube manufacturing apparatus according to a first embodiment of the present invention. This inner surface processing thin tube manufacturing device 1
In 00, 1 is an ion source, 2 is a mass spectrometric system for aligning the ion species and the number of charges of the ion beam, and 3 is a focusing / scanning system for irradiating / scanning the ion beam in a fine bundle. Reference numeral 4 denotes an extrusion molding machine having a tip at its tip, for extruding the thin tube P. 5 is a take-back machine. If the film is not formed with high quality, the mass spectrometry system 2 and / or the focusing / scanning system 3 may be omitted.

【0010】細管Pの材料は、例えばシリコンゴム,ポ
リウレタンとシリコーンのブロックポリマー,ポリテト
ラフルオロエチレン,ポリ塩化ビニル,ポリエチレンテ
レフタレート,セグメント化ポリウレタン,ポリエチレ
ン,ポリプロピレン等の高分子である。細管Pの内径
は、例えば5mm程度でも処理可能である。細管の用途
は、医療や食品加工産業である。
The material of the thin tube P is, for example, a polymer such as silicone rubber, polyurethane and silicone block polymer, polytetrafluoroethylene, polyvinyl chloride, polyethylene terephthalate, segmented polyurethane, polyethylene or polypropylene. The inner diameter of the thin tube P can be processed even if it is, for example, about 5 mm. Applications of capillaries are in the medical and food processing industries.

【0011】図2は、押出成形機4の断面を拡大した説
明図である。シリンダ41は、その外周に、ヒータ42
と、ホッパ43とを具備する。また、内部に、中空スク
リュ44を具備する。さらに、一端には、ウォータジャ
ケット47を設けた口金46を具備する。中空スクリュ
44は、モータ45により回転される。また、中空スク
リュ44の一端に、ピン49により中子48を保持して
いる。また、中空スクリュ44の他端は、前記集束・走
査システム3,質量分析システム2およびイオン源1に
結合されており、中空スクリュ44の内部空間は、中空
スクリュ44の他端側から前記集束・走査システム3,
質量分析システム2およびイオン源1に気密に連通して
いる。
FIG. 2 is an enlarged view of the cross section of the extrusion molding machine 4. The cylinder 41 has a heater 42 on its outer periphery.
And a hopper 43. In addition, a hollow screw 44 is provided inside. Further, a cap 46 provided with a water jacket 47 is provided at one end. The hollow screw 44 is rotated by a motor 45. Further, the core 48 is held by a pin 49 at one end of the hollow screw 44. The other end of the hollow screw 44 is connected to the focusing / scanning system 3, the mass spectrometric system 2 and the ion source 1, and the inner space of the hollow screw 44 extends from the other end side of the hollow screw 44 to the focusing / scanning system. Scanning system 3,
It is in air-tight communication with the mass spectrometry system 2 and the ion source 1.

【0012】中子48の材料は、抗・殺菌性を有する銀
等の金属や,生体適合性の良いハイドロキシアパタイト
等のセラミックスなどであり、後述するようにターゲッ
トとして機能する。
The material of the core 48 is a metal such as silver having antibacterial / sterilizing property, a ceramics such as hydroxyapatite having good biocompatibility, and functions as a target as described later.

【0013】次に、動作を説明する。まず、ヒータ42
でシリンダ41を加熱しておき、ホッパ43から原料
P’を投入する。次に、モータ45で中空スクリュ44
を回転させて、溶融した原料P’を、口金46へ向けて
輸送する。すると、溶融した原料P’が、口金46で冷
却されながら、口金46と中子48の隙間から押し出さ
れて、細管Pとなる。細管Pの内面と中子48とが密接
するため、中空スクリュ44の内部空間は、イオン源1
側には連通しているが、外部とは気密になる。そこで、
イオン源1側に設けられた真空排気システム(図示省
略)により、高真空とされる。この状態で、イオン源1
からイオンビームIBを中子48に照射すると、中子4
8がターゲットとして機能し、そのスパッタ粒子が細管
Pの内面に到達して成膜する。
Next, the operation will be described. First, the heater 42
The cylinder 41 is heated in advance, and the raw material P ′ is charged from the hopper 43. Next, the motor 45 drives the hollow screw 44.
Is rotated to transport the melted raw material P ′ toward the die 46. Then, the melted raw material P ′ is extruded from the gap between the die 46 and the core 48 while being cooled by the die 46, and becomes a thin tube P. Since the inner surface of the thin tube P and the core 48 are in close contact with each other, the inner space of the hollow screw 44 is
It communicates with the side, but is airtight with the outside. Therefore,
A vacuum exhaust system (not shown) provided on the ion source 1 side creates a high vacuum. In this state, the ion source 1
When the core 48 is irradiated with the ion beam IB from the core 4,
8 functions as a target, and the sputtered particles reach the inner surface of the thin tube P to form a film.

【0014】イオンとしては、アルゴン等の不活性ガス
イオン,酸素等の活性ガスイオン,窒素ガス等の分子イ
オンが使用できる。なお、前記集束・走査システム3に
より、イオンビームIBを電磁気的に振って、中子48
の表面を均等に走査するのが好ましい。
As the ions, inert gas ions such as argon, active gas ions such as oxygen, and molecular ions such as nitrogen gas can be used. The focusing / scanning system 3 electromagnetically shakes the ion beam IB to move the core 48
It is preferable to evenly scan the surface of the.

【0015】以上の内面処理細管の製造装置100によ
れば、内面処理を行いながら、径の小さな細管Pを連続
して製造することが出来る。また、スパッタリングを用
いて成膜するので、多種類の高性能,多機能な膜を高速
に得られる。さらに、クリーンな環境で製造できるの
で、衛生上好ましい。
According to the above-described apparatus 100 for manufacturing the inner surface-treated thin tube, it is possible to continuously manufacture the thin tube P having a small diameter while performing the inner surface treatment. Further, since the film is formed by using sputtering, various kinds of high-performance and multi-function films can be obtained at high speed. Further, it can be manufactured in a clean environment, which is preferable in terms of hygiene.

【0016】−第2実施例− 図3は、この発明の第2実施例の内面処理細管の製造装
置の概略構成図である。この内面処理細管の製造装置2
00において、21はレーザ発振器、22はレーザを細
束にして照射/走査する集束・走査システムである。4
は、先端に口金を具備し、細管Pを押出成形する押出成
形機である。5は、細管Pの引き取り機である。細管P
の材料は、例えばシリコンゴム,ポリウレタンとシリコ
ーンのブロックポリマー,ポリテトラフルオロエチレ
ン,ポリ塩化ビニル,ポリエチレンテレフタレート,セ
グメント化ポリウレタン,ポリエチレン,ポリプロピレ
ン等の高分子である。細管の用途は、医療や食品加工産
業である。
-Second Embodiment- FIG. 3 is a schematic configuration diagram of an inner surface processing thin tube manufacturing apparatus according to a second embodiment of the present invention. This inner surface processing thin tube manufacturing device 2
In 00, 21 is a laser oscillator, and 22 is a focusing / scanning system for irradiating / scanning a laser in a fine bundle. Four
Is an extruder for extruding the thin tube P with a die at its tip. Reference numeral 5 is a take-up machine for the thin tube P. Capillary P
The material is a polymer such as silicone rubber, block polymer of polyurethane and silicone, polytetrafluoroethylene, polyvinyl chloride, polyethylene terephthalate, segmented polyurethane, polyethylene, polypropylene. Applications of capillaries are in the medical and food processing industries.

【0017】図4は、押出成形機4の断面を拡大した説
明図である。シリンダ41は、その外周に、ヒータ42
と、ホッパ43とを具備する。また、内部に、中空スク
リュ44を具備する。さらに、一端には、ウォータジャ
ケット47を設けた口金46を具備する。中空スクリュ
44は、モータ45により回転される。また、中空スク
リュ44の一端に、ピン49により中子48を保持して
いる。また、中空スクリュ44の他端は、前記集束・走
査システム22およびレーザ発振器21に結合されてお
り、中空スクリュ44の内部空間は、中空スクリュ44
の他端側から前記集束・走査システム22およびレーザ
発振器21に連通している。
FIG. 4 is an enlarged view of the cross section of the extrusion molding machine 4. The cylinder 41 has a heater 42 on its outer periphery.
And a hopper 43. In addition, a hollow screw 44 is provided inside. Further, a cap 46 provided with a water jacket 47 is provided at one end. The hollow screw 44 is rotated by a motor 45. Further, the core 48 is held by a pin 49 at one end of the hollow screw 44. The other end of the hollow screw 44 is connected to the focusing / scanning system 22 and the laser oscillator 21, and the internal space of the hollow screw 44 is the hollow screw 44.
The focusing / scanning system 22 and the laser oscillator 21 communicate with each other from the other end side.

【0018】中子48の材料は、抗・殺菌性を有する銀
等の金属や,生体適合性の良いハイドロキシアパタイト
等のセラミックスなどであり、後述するようにターゲッ
トとして機能する。
The material of the core 48 is a metal such as silver having an antibacterial / sterilizing property or a ceramic such as hydroxyapatite having good biocompatibility, and functions as a target as described later.

【0019】次に、動作を説明する。まず、ヒータ42
でシリンダ41を加熱しておき、ホッパ43から原料
P’を投入する。次に、モータ45で中空スクリュ44
を回転させて、溶融した原料P’を、口金46へ向けて
輸送する。すると、溶融した原料P’が、口金46で冷
却されながら、口金46と中子48の隙間から押し出さ
れて、細管Pとなる。この状態で、レーザ発振器21か
らレーザビームLBを中子48に照射すると、中子48
がターゲットとして機能し、レーザアブレージョン粒子
が細管Pの内面に到達して成膜する。
Next, the operation will be described. First, the heater 42
The cylinder 41 is heated in advance, and the raw material P ′ is charged from the hopper 43. Next, the motor 45 drives the hollow screw 44.
Is rotated to transport the melted raw material P ′ toward the die 46. Then, the melted raw material P ′ is extruded from the gap between the die 46 and the core 48 while being cooled by the die 46, and becomes a thin tube P. In this state, when the core 48 is irradiated with the laser beam LB from the laser oscillator 21, the core 48
Serves as a target, and the laser abrasion particles reach the inner surface of the thin tube P to form a film.

【0020】なお、レーザアブレージョンの場合は、中
空スクリュ44の内部空間を高真空にする必要はない。
また、前記集束・走査システム22により、レーザビー
ムLBを光学的に振って、中子48の表面を均等に走査
するのが好ましい。
In the case of laser abrasion, it is not necessary to make the internal space of the hollow screw 44 a high vacuum.
Further, it is preferable that the focusing / scanning system 22 optically scans the laser beam LB to uniformly scan the surface of the core 48.

【0021】以上の内面処理細管の製造装置200によ
れば、内面処理を行いながら、径の小さな細管Pを連続
して製造することが出来る。また、アブレージョンを用
いて成膜するので、多種類の高性能,多機能な膜を高速
に得られる。さらに、クリーンな環境で製造できるの
で、衛生上好ましい。
According to the above apparatus 200 for manufacturing the inner surface-treated thin tube, it is possible to continuously manufacture the thin tube P having a small diameter while performing the inner surface treatment. Further, since the film is formed by using abrasion, various kinds of high-performance and multifunctional films can be obtained at high speed. Further, it can be manufactured in a clean environment, which is preferable in terms of hygiene.

【0022】−第3実施例− 図5は、この発明の第3実施例の内面処理細管の製造装
置の要部断面図である。この内面処理細管の製造装置3
00は、別の工程で製造された細管Pの内面を処理し
て、内面処理細管を得るものである。処理搭31の頂部
に取り付けられた上蓋32には、ターゲット支持棒33
が挿通されており、そのターゲット支持棒33の下端に
は、ターゲット34が取り付けられている。そのターゲ
ット34は、昇降機構35によりターゲット支持棒33
がスライドされると、細管Pの内部を上下に移動する。
ターゲット34の材料は、例えばチタンである。
-Third Embodiment- FIG. 5 is a cross-sectional view of an essential part of an apparatus for manufacturing an inner surface treatment thin tube according to a third embodiment of the present invention. This inner surface processing thin tube manufacturing device 3
00 is to obtain an inner surface-treated thin tube by treating the inner surface of the thin tube P manufactured in another process. The target support rod 33 is attached to the upper lid 32 attached to the top of the processing tower 31.
Is inserted, and a target 34 is attached to the lower end of the target support rod 33. The target 34 is attached to the target support rod 33 by the lifting mechanism 35.
When is slid, it moves up and down inside the thin tube P.
The material of the target 34 is titanium, for example.

【0023】細管Pは、上蓋32の底面に設けられたチ
ャック36により把持され、吊り下げられている。37
は、細管Pを押えて位置決めするガイドである。細管P
の材料は、ステンレスである。細管の用途は、冷却水パ
イプである。
The thin tube P is held and hung by a chuck 36 provided on the bottom surface of the upper lid 32. 37
Is a guide for pressing and positioning the thin tube P. Capillary P
The material is stainless steel. The application of capillaries is cooling water pipes.

【0024】処理搭31の底部は、集束・走査システム
3,質量分析システム2およびイオン源1に結合されて
おり、処理搭31の内部空間は、前記集束・走査システ
ム3,質量分析システム2およびイオン源1に気密に連
通している。
The bottom of the processing tower 31 is connected to the focusing / scanning system 3, the mass analysis system 2 and the ion source 1, and the internal space of the processing tower 31 has the focusing / scanning system 3, the mass analysis system 2 and It is in air-tight communication with the ion source 1.

【0025】次に、動作を説明する。別の工程で製造さ
れた細管Pを処理搭31内に入れた後、処理搭31を密
閉する。次に、ターゲット34を細管Pの下端まで下げ
る。次に、イオン源1側に設けられた真空排気システム
(図示省略)により、処理搭31の内部を高真空にす
る。この状態で、イオン源1からイオンビームIBをタ
ーゲット34に照射すると、そのスパッタ粒子が細管P
の内面に到達して成膜する。イオンとしては、窒素ガス
の分子イオンを使用する。ターゲット34を引き上げな
がら、イオンビームIBの照射を続ければ、細管Pの内
面に、窒化チタンを成膜できる。
Next, the operation will be described. After the thin tube P manufactured in another process is put into the processing tower 31, the processing tower 31 is sealed. Next, the target 34 is lowered to the lower end of the thin tube P. Next, the inside of the processing tower 31 is set to a high vacuum by a vacuum exhaust system (not shown) provided on the ion source 1 side. In this state, when the target 34 is irradiated with the ion beam IB from the ion source 1, the sputtered particles generate fine particles P.
To reach the inner surface to form a film. Molecular ions of nitrogen gas are used as the ions. If irradiation of the ion beam IB is continued while pulling up the target 34, a titanium nitride film can be formed on the inner surface of the thin tube P.

【0026】なお、前記集束・走査システム3によりイ
オンビームIBを電磁気的に振るか、ターゲット34を
軸回転させて、ターゲット34の表面を均等に走査する
のが好ましい。
It is preferable that the ion beam IB is electromagnetically shaken by the focusing / scanning system 3 or the target 34 is axially rotated to uniformly scan the surface of the target 34.

【0027】以上の内面処理細管の製造装置300によ
れば、別の工程で製造された径の小さな細管Pを内面処
理できる。また、イオンスパッタリングを用いて成膜す
るので、多種類の高性能,多機能な膜を得られる。さら
に、簡単な構造なので、装置が安価となり、試験,研
究,一品製作等に有用である。
According to the above apparatus 300 for manufacturing an inner surface-treated thin tube, the inner surface of the thin tube P having a small diameter manufactured in another process can be treated. Further, since the film is formed by using ion sputtering, various kinds of high-performance and multi-function films can be obtained. Furthermore, since the structure is simple, the device is inexpensive, and is useful for testing, research, manufacturing one product, and the like.

【0028】[0028]

【発明の効果】この発明の内面処理細管の製造方法およ
び製造装置によれば、細管内部に設けるのはターゲット
だけであり、イオン源やレーザ発振器は細管の外部に設
けるから、内径の小さな細管でも好適に内面処理可能と
なる。また、高分子材料を細管に成形しながら、その細
管の内面処理を行うので、連続的に、能率よく、内面処
理細管を製造できる。
According to the method and apparatus for manufacturing an inner surface-treated thin tube of the present invention, only the target is provided inside the thin tube, and the ion source and the laser oscillator are provided outside the thin tube. The inner surface can be preferably processed. Further, since the inner surface treatment of the thin tube is performed while molding the polymer material into the thin tube, the inner surface treated thin tube can be manufactured continuously and efficiently.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明の第1実施例の内面処理細管の製造装
置の概略構成図である。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an inner surface processing thin tube manufacturing apparatus according to a first embodiment of the present invention.

【図2】図1における押出成形機の断面を拡大した説明
図である。
FIG. 2 is an explanatory view in which a cross section of the extrusion molding machine in FIG. 1 is enlarged.

【図3】この発明の第2実施例の内面処理細管の製造装
置の概略構成図である。
FIG. 3 is a schematic configuration diagram of an inner surface treatment thin tube manufacturing apparatus of a second embodiment of the present invention.

【図4】図3における押出成形機の断面を拡大した説明
図である。
4 is an explanatory view in which a cross section of the extruder shown in FIG. 3 is enlarged.

【図5】この発明の第3実施例の内面処理細管の製造装
置の概略断面図である。
FIG. 5 is a schematic cross-sectional view of an inner surface processing thin tube manufacturing apparatus of a third embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

100,200,300 内面処理細管の製造装置 1 イオン源 2 質量分析システム 3 集束・走査システム 4 押出成形機 5 引き取り機 P 細管 21 レーザ発振器 22 集束・走査システム 41 シリンダ 42 ヒータ 43 ホッパ 44 中空スクリュ 46 口金 47 ウォータジャケット 48 中子(ターゲット) 49 ピン 100, 200, 300 Manufacturing equipment for inner surface treatment thin tube 1 Ion source 2 Mass spectrometric system 3 Focusing / scanning system 4 Extruder 5 Extractor P capillary 21 Laser oscillator 22 Focusing / scanning system 41 Cylinder 42 Heater 43 Hopper 44 Hollow screw 46 Clasp 47 Water jacket 48 Core (target) 49 pins

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 細管内部にターゲットを設け、細管外か
ら細管内部を通じてイオンビームまたはレーザビームを
前記ターゲットに照射し、スパッタリングまたはアブレ
ージョンにより、細管内面に成膜することを特徴とする
内面処理細管の製造方法。
1. A target is provided inside a thin tube, and the target is irradiated with an ion beam or a laser beam from outside the thin tube through the inside of the thin tube, and a film is formed on the inner surface of the thin tube by sputtering or abrasion. Production method.
【請求項2】 高分子材料の細管を所定径に形成する部
分の細管内部にターゲットを設け、細管外から細管内部
を通じてイオンビームまたはレーザビームを前記ターゲ
ットに照射し、スパッタリングまたはアブレージョンに
より、細管内面に成膜することを特徴とする内面処理細
管の製造方法。
2. An inner surface of a thin tube is provided by providing a target inside a thin tube of a polymer material having a predetermined diameter, irradiating the target with an ion beam or a laser beam from outside the thin tube through the inside of the thin tube, and by sputtering or abrasion. A method for producing an inner surface-treated thin tube, which comprises forming a film on the inner surface.
【請求項3】 口金と中子の隙間から溶融高分子材料を
押し出して細管を成形する押出成形手段と、前記中子側
から反中子側まで前記押出成形手段の内部を連通する空
間と、前記中子に設けたターゲットと、前記押出成形手
段の反中子側から前記空間を通じてイオンビームまたは
レーザビームを前記ターゲットに照射しスパッタリング
またはアブレージョンにより細管内面に成膜するビーム
照射手段とを具備したことを特徴とする内面処理細管の
製造装置。
3. Extrusion molding means for extruding a molten polymer material from a gap between a die and a core to form a thin tube, and a space communicating the inside of the extrusion molding means from the core side to the anti-core side. The target provided on the core, and a beam irradiation means for irradiating the target with an ion beam or a laser beam through the space from the side opposite to the core of the extrusion molding means and forming a film on the inner surface of the thin tube by sputtering or abrasion. An inner surface treatment thin tube manufacturing apparatus characterized by the above.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010028257A (en) * 1999-09-20 2001-04-06 박호군 Silicon rubber modified ion assisted reaction and its modification process

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