JPH06287486A - Negative photosetting electrodeposition coating compound resin composition, electrodeposition coating bath, production of resist pattern, electrically-conductive substrate with produced resist pattern, production of printed circuit board, printed circuit board and device - Google Patents

Negative photosetting electrodeposition coating compound resin composition, electrodeposition coating bath, production of resist pattern, electrically-conductive substrate with produced resist pattern, production of printed circuit board, printed circuit board and device

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JPH06287486A
JPH06287486A JP7263493A JP7263493A JPH06287486A JP H06287486 A JPH06287486 A JP H06287486A JP 7263493 A JP7263493 A JP 7263493A JP 7263493 A JP7263493 A JP 7263493A JP H06287486 A JPH06287486 A JP H06287486A
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JP
Japan
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electrodeposition coating
printed circuit
circuit board
compound
resist pattern
Prior art date
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JP7263493A
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Japanese (ja)
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Hitoshi Amanokura
仁 天野倉
Hideaki Uehara
秀秋 上原
Shigeo Tachiki
繁雄 立木
Takuro Kato
琢郎 加藤
Katsushige Tsukada
勝重 塚田
Yuji Yamazaki
雄治 山崎
Masaharu Yamada
正治 山田
Toshihiko Shiotani
俊彦 塩谷
Yoshihisa Nagashima
義久 長島
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Dai Nippon Toryo KK
Showa Denko Materials Co Ltd
Original Assignee
Dai Nippon Toryo KK
Hitachi Chemical Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To obtain the subject composition having excellent flexibility of film, attaining high resolution, comprising a polymer prepared by neutralizing a (meth)acrylic acid copolymer with a basic organic compound, a specific photopolymerizable unsaturated compound and a water-insoluble photoinitiator. CONSTITUTION:The objective polymer comprises (A) a polymer prepared by neutralizing a polymer prepared by copolymerizing acrylic acid and/or methacrylic acid, having 20-300 acid value, with a basic organic compound, (B) a photopolymerizable unsaturated compound of the formula (R1 and R2 are H or methyl; k, m and n are >=0, k+m is >=1 and k+m+n is 2-15) and (C) a water-insoluble photoinitiator (e.g. benzophenone). The compound of the formula, for example, is obtained by introducing ethylene oxide into water, reacting in the presence of an alkali catalyst and dehydrating a formed dialcohol with (meth)acrylic acid.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、ネガ型感光性電着塗料
用樹脂組成物、電着塗装浴、レジストパターンの製造
法、レジストパターンの製造された導電性基体、プリン
ト回路板の製造法、プリント回路板及び機器に関する。
FIELD OF THE INVENTION The present invention relates to a resin composition for a negative photosensitive electrodeposition coating, an electrodeposition coating bath, a method for producing a resist pattern, a conductive substrate having a resist pattern produced thereon, and a method for producing a printed circuit board. , Printed circuit boards and equipment.

【0002】[0002]

【従来の技術】プリント回路板を製造するに際しては、
まず基板上に光硬化性樹脂組成物の層を形成し、ついで
活性光線を画像状に照射し、未露光部を現像除去し、レ
ジストパターンを形成している。この工程において、光
硬化性樹脂組成物の層の形成には、種々の方法が採用さ
れている。例えば、ディップコート、ロールコート、カ
ーテンコート等の光硬化性樹脂組成物溶液(塗液)を用
いる方法、あるいは光硬化性樹脂組成物のフィルム(感
光性フィルム)を積層する方法が知られている。これら
の方法のうち、感光性フィルムを積層する方法は、簡便
に均一な厚みの光硬化性樹脂組成物の層が形成できるこ
とから、現在主流の方法として採用されている。
2. Description of the Related Art When manufacturing a printed circuit board,
First, a layer of a photocurable resin composition is formed on a substrate, and then an actinic ray is imagewise irradiated to develop and remove an unexposed portion to form a resist pattern. In this step, various methods are adopted for forming the layer of the photocurable resin composition. For example, a method using a photocurable resin composition solution (coating liquid) such as dip coating, roll coating, or curtain coating, or a method of laminating a film (photosensitive film) of the photocurable resin composition is known. . Among these methods, the method of laminating a photosensitive film is currently used as a mainstream method because it can easily form a layer of a photocurable resin composition having a uniform thickness.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】最近、プリント回路板
の高密度、高精度化が進むに従って、レジストパターン
はより高品質のものが必要となってきている。すなわ
ち、ピンホールがなく、下地の基板表面によく密着した
レジストパターンであることが望まれている。かかる要
求に対して、現在主流となっている感光性フィルムを積
層する方法では限界のあることが知られている。この方
法では、基板製造時の打痕、研磨の不均一性、基板内層
のガラス布の網目、表面への銅めっきのピット等の不均
一等によって生起する基板表面の凹凸への追従性が乏し
く、十分な密着性を得ることが困難である。この困難は
フィルムの積層を減圧下で行なうこと(特公昭59−3
740号公報参照)によって回避できるが、これには特
殊で高価な装置が必要となる。
Recently, as the density and precision of printed circuit boards have increased, higher quality resist patterns have become necessary. That is, it is desired that the resist pattern has no pinhole and is well adhered to the surface of the underlying substrate. It is known that there is a limit to the method of laminating the photosensitive film, which is the mainstream at present, with respect to such a demand. In this method, the ability to follow unevenness on the substrate surface, which is caused by dents during manufacturing of the substrate, unevenness of polishing, meshes of the glass cloth of the inner layer of the substrate, unevenness of copper plating pits on the surface, etc., is poor. However, it is difficult to obtain sufficient adhesion. This difficulty is caused by laminating the films under reduced pressure (Japanese Patent Publication No. 59-3).
However, this requires special and expensive equipment.

【0004】このようなことが理由となって、近年再び
ディップコート、ロールコート、カーテンコート等の溶
液塗装方法が見直されるようになってきた。しかしこれ
らの塗装方法では膜厚の制御が困難、膜厚の均一性が不
十分、ピンホールの発生等の問題がある。
For these reasons, solution coating methods such as dip coating, roll coating and curtain coating have come to be reviewed again in recent years. However, these coating methods have problems that it is difficult to control the film thickness, the film thickness is not uniform, and pinholes occur.

【0005】そこで最近新たな方法として電着塗装によ
り感光膜を形成する方法が提案されている(特開昭62
−235496号公報参照)。この方法によると(1)
レジストの密着性が向上する、(2)基板表面の凹凸へ
の追従性が良好である、(3)短時間で膜厚の均一な感
光膜を形成できる、(4)塗液が水溶液のため、作業環
境の汚染が防止でき、防災上にも問題がない等の利点が
ある。そのため最近これに適する電着浴の組成に関して
いくつかの提案がなされている。
Therefore, as a new method, a method of forming a photosensitive film by electrodeposition coating has been recently proposed (Japanese Patent Laid-Open No. 62-62160).
-235496 gazette). According to this method (1)
The adhesion of the resist is improved, (2) the conformability to irregularities on the substrate surface is good, (3) a photosensitive film having a uniform film thickness can be formed in a short time, (4) the coating liquid is an aqueous solution The advantages are that it can prevent the pollution of the work environment and there is no problem in disaster prevention. Therefore, some proposals have recently been made regarding the composition of the electrodeposition bath suitable for this.

【0006】電着塗装法は主にスルーホール内にもレジ
スト形成可能であることからスルーホールを有する外層
基板に、あるいは追従性が良好であることからフレキシ
ブル基板等に有利とされている。その中でパターン幅は
年々細線化しており製造歩留りを維持することが極めて
難しくなってきている。この原因としては工程内での機
械的衝撃によりレジストが欠け、そこにエッチング液や
めっき液が入り込み断線やショートを引き起こしたり、
また欠けたレジストの断片がエッチング液やめっき液中
で基板表面に付着し断線及びショート不良を引き起こ
す。これを防止するには基板の搬送時に加えられる機械
的衝撃に対してもレジストに欠けが生じない可とう性の
優れた電着レジスト組成の開発が必要である。そこでこ
の解決のために(1)バインダポリマーのTgを下げ
る、(2)バインダポリマーに対する光重合性不飽和化
合物の量を増やす、(3)バインダポリマーの分子量を
上げる、と言った提案がなされている。本発明者が検討
したところ、(1)、(2)においてはレジスト表面の
粘着性が問題となり、(3)については電着液の水分散
安定性が不利となる。
The electrodeposition coating method is mainly advantageous for an outer layer substrate having a through hole because a resist can be formed also in the through hole, or for a flexible substrate or the like because of good followability. Among them, the pattern width is becoming finer year by year, and it is becoming extremely difficult to maintain the manufacturing yield. The cause of this is that the resist is chipped due to mechanical shock in the process, and the etching solution and plating solution enter there, causing disconnection or short circuit,
Further, the chipped resist fragments adhere to the surface of the substrate in the etching solution or the plating solution, causing disconnection and short-circuit failure. In order to prevent this, it is necessary to develop an electrodeposition resist composition which is excellent in flexibility so that the resist is not chipped even by mechanical shock applied during the transportation of the substrate. Therefore, in order to solve this problem, a proposal was made to lower the Tg of the binder polymer, (2) increase the amount of the photopolymerizable unsaturated compound relative to the binder polymer, and (3) increase the molecular weight of the binder polymer. There is. As a result of studies by the present inventors, in (1) and (2), the tackiness of the resist surface becomes a problem, and in (3), the water dispersion stability of the electrodeposition solution becomes disadvantageous.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】上記の問題を解決するた
めに本発明者等が鋭意検討した結果、プロピレンオキシ
ド鎖又はエチレンオキシド鎖(片方でも両方でもよい)
を組み込んだ2官能の光重合性不飽和化合物を用いるこ
とによって膜の可とう性と電着液の水分散安定性とを両
立できることを見いだした。すなわち本発明は(a)ア
クリル酸及び/又はメタクリル酸を共重合した酸価20
〜300のポリマーを塩基性の有機化合物で中和したポ
リマー、(b)一般式(I)
Means for Solving the Problems As a result of intensive studies by the present inventors in order to solve the above problems, a propylene oxide chain or an ethylene oxide chain (either one or both may be used)
It was found that the flexibility of the film and the water dispersion stability of the electrodeposition liquid can be made compatible by using a bifunctional photopolymerizable unsaturated compound in which is incorporated. That is, the present invention provides (a) an acid value of 20 obtained by copolymerizing acrylic acid and / or methacrylic acid.
-300 polymer neutralized with a basic organic compound, (b) general formula (I)

【化3】 (式中、R1及びR2はそれぞれ独立して水素原子又はメ
チル基を表し、k、m及びnは繰り返し単位の個数を表
し、それぞれ0以上の整数であり、k及びmの和が1以
上でかつk、m及びnの和が2〜15となるように選択
される)で表される化合物を含む光重合性不飽和化合物
及び(c)非水溶性光開始剤を含有してなるネガ型感光
性電着塗料樹脂組成物、これを用いた電着塗装浴、前記
電着塗装浴に導電性基体を陽極として浸漬し、通常によ
り電着塗装して導電性基体上に電着塗装膜を形成し、そ
の後活性光線を前記電着塗装膜に画像状に照射し、露光
部を光硬化させ、未露光部を現像により除去することを
特徴とするレジストパターンの製造法、レジトパターン
の製造された導電性基体、プリント回路板の製造法、プ
リント回路板及び機器に関する。
[Chemical 3] (In the formula, R 1 and R 2 each independently represent a hydrogen atom or a methyl group, k, m, and n represent the number of repeating units, each is an integer of 0 or more, and the sum of k and m is 1; The photopolymerizable unsaturated compound containing a compound represented by the above and selected such that the sum of k, m and n is 2 to 15) and (c) a water-insoluble photoinitiator. Negative-type photosensitive electrodeposition coating resin composition, electrodeposition coating bath using the same, dipping a conductive substrate in the electrodeposition coating bath as an anode, and usually electrodeposition coating to perform electrodeposition coating on the conductive substrate A resist pattern manufacturing method characterized by forming a film, then irradiating actinic rays onto the electrodeposition coating film imagewise, photocuring the exposed part, and removing the unexposed part by development, a resist pattern Manufactured conductive substrate, method of manufacturing printed circuit board, printed circuit board and Regarding equipment.

【0008】以下、本発明について詳述する。(a)の
成分であるポリマーはアクリル酸及び/又はメタクリル
酸を必須成分として共重合した酸価20〜300のポリ
マー(中和前のポリマー)を塩基性の有機化合物で中和
したポリマーである。アクリル酸及びメタクリル酸は単
独で用いてもよく、併用してもよい。その使用量は、中
和前のポリマーの酸価が20〜300の範囲となるよう
適宜使用される。中和前のポリマーの酸価が20未満で
は塩基性の有機化合物を加えた後、水を加えて水分散さ
せる際の水分散安定性が悪く、沈降しやすい。また、ポ
リマーの酸価が300を越えると電着膜の外観が劣る。
The present invention will be described in detail below. The polymer as the component (a) is a polymer obtained by neutralizing a polymer having an acid value of 20 to 300 (polymer before neutralization) copolymerized with acrylic acid and / or methacrylic acid as an essential component with a basic organic compound. . Acrylic acid and methacrylic acid may be used alone or in combination. The amount used is appropriately used so that the acid value of the polymer before neutralization is in the range of 20 to 300. When the acid value of the polymer before neutralization is less than 20, the water dispersion stability when adding a basic organic compound and then adding water to disperse the water is poor, and sedimentation easily occurs. Further, when the acid value of the polymer exceeds 300, the appearance of the electrodeposition film becomes poor.

【0009】中和前のポリマーは、アクリル酸及び/又
はメタクリル酸に、例えば、メチルアクリレート、メチ
ルメタクリレート、エチルメタクリレート、ブチルメタ
クリレート、エチルアクリレート、イソプロピルアクリ
レート、n−ブチルアクリレート、イソブチルアクリレ
ート、n−ヘキシルアクリレート、n−オクチルアクリ
レート、n−オクチルメタクリレート、n−デシルメタ
クリレート、シクロヘキシルメタクリレート、2−ヒド
ロキシエチルアクリレート、シクロヘキシルメタクリレ
ート、アクリロニトリル、スチレン、塩化ビニル等の重
合性モノマーを一種類以上共重合することにより得られ
る。
The polymer before neutralization is acrylic acid and / or methacrylic acid, for example, methyl acrylate, methyl methacrylate, ethyl methacrylate, butyl methacrylate, ethyl acrylate, isopropyl acrylate, n-butyl acrylate, isobutyl acrylate, n-hexyl. Obtained by copolymerizing one or more polymerizable monomers such as acrylate, n-octyl acrylate, n-octyl methacrylate, n-decyl methacrylate, cyclohexyl methacrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, cyclohexyl methacrylate, acrylonitrile, styrene and vinyl chloride. To be

【0010】この中で、メチルメタクリレートが好適
で、特に、ポリマーを構成する共重合モノマーの総量1
00重量部に対して60〜85重量部用いると、レジス
ト膜の粘着性がなくなり、傷がつきにくく、また、レジ
スト膜同士を重ねても粘着しないので、レジスト膜を形
成した基板を積み重ねることが可能となり好ましい。
Of these, methyl methacrylate is preferable, and in particular, the total amount of the copolymerized monomers constituting the polymer is 1
When it is used in an amount of 60 to 85 parts by weight with respect to 00 parts by weight, the adhesiveness of the resist film is eliminated, scratches are less likely to occur, and even if the resist films are stacked, they do not stick to each other. It is possible and preferable.

【0011】中和前のポリマーの合成は前記の重合性モ
ノマーを有機溶媒中でアゾビスイソブチロニトリル、ア
ゾビスジメチルバレロニトリル、過酸化ベンゾイル等の
重合開始剤を用いて一般的な溶液重合により得ることが
できる。この場合、用いる有機溶媒は電着塗料に供する
ことを考えてジオキサン、エチレングリコールモノメチ
ルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテ
ル、エチレングリコールモノアセテート、ジエチレング
リコールモノエチルエーテルアセテートなどの親水性の
有機溶媒を主に用いることが好ましい。もしトルエン、
キシレン、ベンゼン等の疎水性の有機溶媒を主に用いた
場合には、ポリマー合成後、溶媒を留去して前記の親水
性溶媒に置き換える必要がある。中和前のポリマーの重
量平均分子量(標準ポリスチレン換算)は5,000〜
150,000が好ましい。5,000未満ではレジス
トの機械的強度が弱くなる傾向があり、150,000
を越えると電着塗装性が劣り、塗膜の外観が劣る傾向が
ある。
Synthesis of the polymer before neutralization is carried out by a general solution polymerization of the above polymerizable monomer in an organic solvent using a polymerization initiator such as azobisisobutyronitrile, azobisdimethylvaleronitrile and benzoyl peroxide. Can be obtained by In this case, the organic solvent to be used should be a hydrophilic organic solvent such as dioxane, ethylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoacetate, and diethylene glycol monoethyl ether acetate, considering that it will be used for electrodeposition coating. Is preferred. If toluene,
When a hydrophobic organic solvent such as xylene or benzene is mainly used, it is necessary to distill off the solvent after the polymer synthesis and replace it with the hydrophilic solvent. The weight average molecular weight of the polymer before neutralization (standard polystyrene conversion) is 5,000 to
150,000 is preferred. If it is less than 5,000, the mechanical strength of the resist tends to be weak, and
If it exceeds, the electrodeposition coatability tends to be poor and the appearance of the coating film tends to be poor.

【0012】このようにして得られた中和前のポリマー
((a)成分のポリマー前駆体)の親水性有機溶媒溶液
に塩基性の有機化合物を加えて中和前のポリマー中に含
まれるカルボキシル基を中和することにより、本発明に
おける(a)成分のポリマーを調製することができる。
また、中和前のポリマー、(b)成分、(c)成分等を
混合したものに塩基性の有機化合物を加えることによっ
ても、本発明の(a)成分のポリマーを調製することが
できる。
A basic organic compound is added to a hydrophilic organic solvent solution of the polymer (polymer precursor of the component (a)) thus obtained, which has not been neutralized, and the carboxyl contained in the polymer before neutralization is added. By neutralizing the group, the polymer of the component (a) in the present invention can be prepared.
The polymer of the component (a) of the present invention can also be prepared by adding a basic organic compound to a mixture of the polymer before neutralization, the component (b), the component (c) and the like.

【0013】塩基性の有機化合物としては特に制限はな
いが、例えば、トリエチルアミン、モノエタノールアミ
ン、ジエタノールアミン、ジイソプロピルアミン、ジメ
チルアミノエタノール、モルホリン等が挙げられ、これ
らは単独で又は2種類を組み合わせて用いることができ
る。
The basic organic compound is not particularly limited, but examples thereof include triethylamine, monoethanolamine, diethanolamine, diisopropylamine, dimethylaminoethanol, morpholine, and the like, which are used alone or in combination of two kinds. be able to.

【0014】これら塩基性の有機化合物の使用量は中和
前のポリマー中のカルボキシル基1当量に対して0.3
〜1.0当量とすることが好ましく、0.4〜1.0当
量とすることがより好ましい。0.3当量未満では電着
塗装浴の水分散安定性が低下する傾向があり、1.0当
量を越えると電着塗装後の塗膜厚が薄くなり、外観が低
下する傾向がある。
The amount of these basic organic compounds used is 0.3 with respect to 1 equivalent of the carboxyl group in the polymer before neutralization.
It is preferable to set to 1.0 equivalent, and it is more preferable to set to 0.4 to 1.0 equivalent. If it is less than 0.3 equivalent, the water dispersion stability of the electrodeposition coating bath tends to decrease, and if it exceeds 1.0 equivalent, the coating film thickness after electrodeposition coating tends to be thin and the appearance tends to deteriorate.

【0015】また、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム
などの塩基性の無機化合物は、ネガ型感光性電着塗料樹
脂組成物の加水分解を起こしやすいので使用しない方が
よい。
Also, basic inorganic compounds such as sodium hydroxide and potassium hydroxide are liable to be hydrolyzed in the negative photosensitive electrodeposition coating resin composition, and therefore it is preferable not to use them.

【0016】本発明における(b)成分である光重合性
不飽和化合物は、上記一般式(I)で表される化合物を
必須成分として含むが、一般式(I)においてR1及び
2が水素又はメチル基を表し、k、m及びnはそれぞ
れ0以上の整数であり、kとmの和が1以上でかつk、
m及びnとの和が2〜15となるように選択された化合
物とされる。k及びmの和が0、すなわち光重合性不飽
和化合物中エチレンオキシド鎖単独の場合、光重合性不
飽和化合物がエマルジョン系外に溶出する。k、m及び
nの和が2未満であると現像性が低下し、場合によって
はレジストが基板表面に残存し、また電着液の水分散安
定性が低下する。一方k、m及びnの和が15を越える
と感度が低下する。なお、一般式(I)における繰り返
し単位である2種のプロピレンオキシド基及び1種のエ
チレンオキシド基の基は、必ずしもそれぞれこの位置で
k個連続、m個連続及びn個連続して存在する必要はな
く、ランダムに存在してもよいし、ブロック的に存在し
てもよい。
The photopolymerizable unsaturated compound which is the component (b) in the present invention contains the compound represented by the above general formula (I) as an essential component. In the general formula (I), R 1 and R 2 are Represents hydrogen or a methyl group, k, m and n are each an integer of 0 or more, and the sum of k and m is 1 or more and k,
The compound is selected so that the sum of m and n is 2 to 15. When the sum of k and m is 0, that is, when the ethylene oxide chain alone is in the photopolymerizable unsaturated compound, the photopolymerizable unsaturated compound is eluted out of the emulsion system. When the sum of k, m and n is less than 2, the developability deteriorates, the resist remains on the surface of the substrate in some cases, and the aqueous dispersion stability of the electrodeposition solution decreases. On the other hand, if the sum of k, m and n exceeds 15, the sensitivity will decrease. The groups of two kinds of propylene oxide groups and one kind of ethylene oxide group, which are the repeating units in the general formula (I), do not necessarily have to be present in this position at k consecutive positions, m consecutive positions, and n consecutive positions, respectively. Instead, they may exist randomly or may exist in blocks.

【0017】一般式(I)で表される化合物は、例え
ば、水、エチレングリコール又はプロピレングリコール
中にエチレンオキシド又はプロピレンオキシドを吹き込
んでアルカリ触媒下反応させて一般式(III)
The compound represented by the general formula (I) can be obtained by, for example, blowing ethylene oxide or propylene oxide into water, ethylene glycol or propylene glycol and reacting them under an alkaline catalyst.

【化4】 (式中、k、m及びnは一般式(I)と同意義である)
で表されるジアルコールを得て、このジアルコールとア
クリル酸又はメタクリル酸とを脱水反応させるか、この
ジアルコールとアクリル酸メチル又はメタクリル酸メチ
ルとをエステル交換反応させることにより容易に製造す
ることができる。
[Chemical 4] (In the formula, k, m and n have the same meanings as in the general formula (I))
To obtain a dialcohol represented by and dehydrate the dialcohol with acrylic acid or methacrylic acid, or transesterify the dialcohol with methyl acrylate or methyl methacrylate to easily produce the alcohol. You can

【0018】本発明における(b)光重合性不飽和化合
物には、(b)成分の必須成分としての一般式(I)で
表される化合物以外にも、他の不飽和化合物を用いるこ
とができる。他の不飽和化合物としては、公知の化合物
を用いることができるが、感度が高いという点から
(d)1分子中に3個以上のアクリロイル基又はメタク
リロイル基を有する化合物が好ましい。このような
(d)化合物としては、例えば、トリメチロールプロパ
ントリ(メタ)アクリレート、テトラメチロールメタン
トリ(メタ)アクリレート、テトラメチロールメタンテ
トラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペ
ンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘ
キサ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパント
リグリシジルエーテルトリ(メタ)アクリレート、下記
一般式(II)
As the photopolymerizable unsaturated compound (b) in the present invention, other unsaturated compounds may be used in addition to the compound represented by the general formula (I) as an essential component of the component (b). it can. As the other unsaturated compound, a known compound can be used, but a compound having (d) 3 or more acryloyl groups or methacryloyl groups in one molecule is preferable from the viewpoint of high sensitivity. Examples of such (d) compound include trimethylolpropane tri (meth) acrylate, tetramethylolmethane tri (meth) acrylate, tetramethylolmethane tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipenta. Erythritol hexa (meth) acrylate, trimethylolpropane triglycidyl ether tri (meth) acrylate, the following general formula (II)

【化5】 (式中、R3、R4及びR5は水素原子又はメチル基を表
し、qは1から10の整数である)で表される不飽和基
を1分子中3個以上有する化合物等が挙げられ、これら
は単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができ
る。
[Chemical 5] (Wherein R 3 , R 4 and R 5 represent a hydrogen atom or a methyl group, and q is an integer of 1 to 10) and the like, and compounds having 3 or more unsaturated groups in one molecule. These may be used alone or in combination of two or more.

【0019】なかでも、上記一般式(II)で示される不
飽和基を1分子中に3個以上有する化合物は、感度、水
分散安定性の点から好ましく、そのようなものとして
は、具体的には、グリセリルポリエトキシポリプロポキ
シトリ(メタ)アクリレート、エチレンオキシド変性ト
リメチロールプロパントリアクリレート(三洋化成社製
商品名TA−401)、トリメチロールプロパンポリエ
トキシポリプロポキシトリ(メタ)アクリレート、ペン
タエリスリトールポリエトキシポリプロポキシトリ(メ
タ)アリクレート、ペンタエリスリトールポリエトキシ
ポリプロポキシテトラ(メタ)アクリレート、トリメチ
ロールエタンポリエトキシポリプロポキシトリ(メタ)
アリレート、ジペンタエリスリトールポリエトキシポリ
プロポキシトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリス
リトールポリエトキシポリプロポキシテトラ(メタ)ア
リレート、ジペンタエリスリトールポリエトキシポリプ
ロポキシペンタ(メタ)アリレート、ジペンタエリスリ
トールポリエトキシポリプロポキシヘキサ(メタ)アリ
レート等が挙げられ、これらは単独で又は2種以上を組
み合わせて用いることができる。これら(d)成分の使
用量は、(b)成分の総量100重量部に対して90重
量部以下となるように使用することが好ましく、70重
量部以下となるように使用することがより好ましい。
Of these, compounds having three or more unsaturated groups represented by the general formula (II) in one molecule are preferable from the viewpoints of sensitivity and water dispersion stability. Specific examples of such compounds include: Include glyceryl polyethoxypolypropoxytri (meth) acrylate, ethylene oxide-modified trimethylolpropane triacrylate (trade name TA-401 manufactured by Sanyo Kasei Co., Ltd.), trimethylolpropane polyethoxypolypropoxytri (meth) acrylate, pentaerythritol polyethoxy. Polypropoxytri (meth) acrylate, pentaerythritol polyethoxypolypropoxytetra (meth) acrylate, trimethylolethane polyethoxypolypropoxytri (meth)
Arylate, dipentaerythritol polyethoxypolypropoxytri (meth) acrylate, dipentaerythritol polyethoxypolypropoxytetra (meth) arylate, dipentaerythritol polyethoxypolypropoxypenta (meth) arylate, dipentaerythritol polyethoxypolypropoxyhexa ( (Meth) arylate and the like can be mentioned, and these can be used alone or in combination of two or more kinds. The amount of the component (d) used is preferably 90 parts by weight or less, and more preferably 70 parts by weight or less, based on 100 parts by weight of the total amount of the component (b). .

【0020】本発明における(c)非水溶性光開始剤と
しては、例えば、ベンゾフェノン、N,N′−テトラメ
チル−4,4′−ジアミノベンゾフェノン、4−メトキ
シ−4′−ジメチルアミノベンゾフェノン、2−エチル
アントラキノン、フエナントレンキノン等の芳香族ケト
ン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエー
テル、ベンゾインフェニルエーテル等のベンゾインエー
テル、メチルベンゾイン、エチルベンゾイン等のベンゾ
イン、2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジフェニ
ルイミダゾール二量体、2−(o−クロロフェニル)−
4,5−ジ(m−メトキシフェニル)イミダゾール二量
体、2,4−ジ(p−メトキシフェニル)−5−フェニ
ルイミダゾール二量体などが挙げられ、これらは単独で
又は2種類以上を組み合わせて用いることができる。
Examples of the water-insoluble photoinitiator (c) in the present invention include benzophenone, N, N'-tetramethyl-4,4'-diaminobenzophenone, 4-methoxy-4'-dimethylaminobenzophenone, 2 -Aromatic ketones such as ethylanthraquinone and phenanthrenequinone, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin ether such as benzoin phenyl ether, benzoin such as methylbenzoin and ethylbenzoin, 2- (o-chlorophenyl) -4,5 -Diphenylimidazole dimer, 2- (o-chlorophenyl)-
Examples include 4,5-di (m-methoxyphenyl) imidazole dimer and 2,4-di (p-methoxyphenyl) -5-phenylimidazole dimer, which may be used alone or in combination of two or more. Can be used.

【0021】(a)成分であるポリマーの使用量は
(a)及び(b)成分の総量100重量部に対して50
〜85重量部であることが好ましく、60〜75重量部
の範囲であることがより好ましい。使用量が50重量部
未満では、レジストの機械的強度が弱くなる傾向があ
り、また85重量部を越えると(b)成分である光重合
性不飽和化合物の割合が減って光に対する感度が低下す
る傾向がある。
The amount of the polymer used as the component (a) is 50 based on 100 parts by weight of the total amount of the components (a) and (b).
˜85 parts by weight, more preferably 60 to 75 parts by weight. When the amount used is less than 50 parts by weight, the mechanical strength of the resist tends to be weak, and when it exceeds 85 parts by weight, the proportion of the photopolymerizable unsaturated compound as the component (b) decreases and the sensitivity to light decreases. Tend to do.

【0022】(b)成分の使用量は、(a)及び(b)
成分の総量100重量部に対して15〜50重量部とす
ることが好ましく、25〜40重量部の範囲であること
がより好ましい。使用量が15重量部未満では光に対す
る感度が低下する傾向があり、また50重量部を越える
とレジストがもろくなる傾向がある。
The amount of the component (b) used is (a) and (b)
The total amount of the components is preferably 15 to 50 parts by weight, more preferably 25 to 40 parts by weight, based on 100 parts by weight. If the amount used is less than 15 parts by weight, the sensitivity to light tends to decrease, and if it exceeds 50 parts by weight, the resist tends to become brittle.

【0023】一般式(I)で表される化合物の使用量
は、(b)成分総量100重量部に対して10〜100
重量部が好ましく、20〜100重量部がより好まし
く、30〜100重量部が特に好ましく、40〜100
重量部が極めて好ましい。
The amount of the compound represented by the general formula (I) used is 10 to 100 relative to 100 parts by weight of the total amount of the component (b).
Parts by weight is preferable, 20 to 100 parts by weight is more preferable, 30 to 100 parts by weight is particularly preferable, and 40 to 100
Highly preferred is parts by weight.

【0024】(c)成分の使用量は(a)及び(b)成
分の総量100重量部に対して0.1〜15重量部であ
ることが好ましく、0.2〜10重量部であることがよ
り好ましい。使用量が0.1重量部未満では光に対する
感度が低下する傾向があり、15重量部を越えると露光
の際に組成物の表面での光吸収が増大し、内部の光硬化
が不十分となる傾向がある。
The amount of the component (c) used is preferably 0.1 to 15 parts by weight, and 0.2 to 10 parts by weight, based on 100 parts by weight of the total amount of the components (a) and (b). Is more preferable. If the amount used is less than 0.1 parts by weight, the sensitivity to light tends to decrease, and if it exceeds 15 parts by weight, the light absorption on the surface of the composition increases during exposure, resulting in insufficient internal photocuring. Tends to become.

【0025】(c)成分は非水溶性でければならない。
水溶性では他の成分と均一に混合された状態で電着塗装
することが困難となる。
The component (c) must be water-insoluble.
If it is water-soluble, it becomes difficult to perform electrodeposition coating in a state of being uniformly mixed with other components.

【0026】本発明のネガ型感光性電着塗料樹脂組成物
には染料、顔料等の着色剤を含有させてもよい。着色剤
としては、例えば、フクシン、オーラミン塩基、クリス
タルバイオレット、ビクトリアピュアブルー、マラカイ
トグリーン、メチルオレンジ、アシッドバイオレットR
RH等が用いられる。
The negative photosensitive electrodeposition coating resin composition of the present invention may contain a coloring agent such as a dye or a pigment. Examples of the colorant include fuchsin, auramine base, crystal violet, Victoria pure blue, malachite green, methyl orange, acid violet R.
RH or the like is used.

【0027】さらに、本発明のネガ型感光性電着塗料樹
脂組成物には、熱重合禁止剤、可塑剤、接着促進剤、無
機フィラーなどを添加してもよい。
Further, a thermal polymerization inhibitor, a plasticizer, an adhesion promoter, an inorganic filler and the like may be added to the negative photosensitive electrodeposition coating resin composition of the present invention.

【0028】電着塗装浴は、通常、ネガ型感光性電着塗
料樹脂組成物に水を加えて、水に溶解もしくは分散させ
て作製することができる。電着塗装浴の固形分は5〜2
0重量%、またpHは25℃で6.0〜9.0の範囲とす
ることが浴管理、電着性等の点からも好ましい。pHを上
記の好ましい範囲に合わせるために後から前記の塩基性
の有機化合物を加えて調節してもよい。
The electrodeposition coating bath can be usually prepared by adding water to a negative photosensitive electrodeposition coating resin composition and dissolving or dispersing it in water. The solid content of the electrodeposition coating bath is 5 to 2
From the viewpoints of bath management, electrodeposition properties, etc., it is preferable that the content is 0 wt% and the pH is in the range of 6.0 to 9.0 at 25 ° C. The pH may be adjusted later by adding the basic organic compound in order to adjust the pH to the above preferable range.

【0029】また、ネガ型感光性電着塗料樹脂組成物を
含む電着塗装浴の水分散性や分散安定性を高めるために
非イオン性界面活性剤、陽イオン界面活性剤、陰イオン
界面活性剤等を適宜加えることもできる。
Further, in order to improve the water dispersibility and dispersion stability of the electrodeposition coating bath containing the negative photosensitive electrodeposition coating resin composition, a nonionic surfactant, a cationic surfactant and an anionic surfactant are used. Agents and the like can be added as appropriate.

【0030】電着塗装時の塗布量を多くするために、ト
ルエン、キシレン、2−エチルヘキシルアルコール等の
疎水性溶媒も適宜加えることができる。
Hydrophobic solvents such as toluene, xylene, and 2-ethylhexyl alcohol can be appropriately added to increase the coating amount during electrodeposition coating.

【0031】このようにして得られた電着塗装浴を用い
て導電性の基体に電着塗装するには、導電性の基体を陽
極として電着塗装浴中に浸漬し、通常、50〜400V
の直流電圧を10秒〜5分間印加して行われる。得られ
た塗膜の膜厚は5〜50μmであることが好ましい。こ
のときの電着塗装浴の温度を15〜30℃に管理するこ
とが好ましい。
In order to carry out electrodeposition coating on a conductive substrate using the electrodeposition coating bath thus obtained, the conductive substrate is immersed as an anode in the electrodeposition coating bath, and usually 50 to 400 V is applied.
Is applied for 10 seconds to 5 minutes. The film thickness of the obtained coating film is preferably 5 to 50 μm. The temperature of the electrodeposition coating bath at this time is preferably controlled to 15 to 30 ° C.

【0032】電着塗装後、電着塗装浴から被塗物を引き
上げ、水洗、水切りした後、熱風等で乾燥させる。この
際、乾燥温度が高いと塗膜が熱硬化し、露光後の現像工
程で一部が現像残りとなるため、通常、120℃以下で
乾燥することが望ましい。
After the electrodeposition coating, the article to be coated is pulled out from the electrodeposition coating bath, washed with water, drained and then dried with hot air or the like. At this time, if the drying temperature is high, the coating film is thermally cured, and a part of the film remains undeveloped in the developing step after exposure.

【0033】このようにして得られた電着塗装膜の上
に、該膜の保護や次の露光時の酸素による硬化阻害を防
止するために、ポリビニルアルコール等の水溶性ポリマ
ーの皮膜を約1〜10μm程度の膜厚で形成してもよ
い。
On the electrodeposition coating film thus obtained, a film of a water-soluble polymer such as polyvinyl alcohol is used in an amount of about 1 in order to protect the film and prevent the inhibition of curing by oxygen during the next exposure. You may form with a film thickness of about 10 micrometers.

【0034】ついで該塗装膜に活性光線を画像状に照射
し、該塗装膜の露光部を光硬化させ、未露光部を現像に
より除去し光硬化したレジストパターンを得ることがで
きる。活性光線の光源としては、波長300〜450nm
の光線を発するもの、例えば水銀蒸気アーク、カーボン
アーク、キセノンアーク等が好ましく用いられる。
Then, the coating film is irradiated with an actinic ray in an image-like manner, the exposed portion of the coating film is photocured, and the unexposed portion is removed by development to obtain a photocured resist pattern. As a light source for actinic rays, wavelength 300-450 nm
Those which emit the light of, for example, mercury vapor arc, carbon arc, xenon arc and the like are preferably used.

【0035】現像は、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウ
ム、水酸化カリウム等を用いたアルカリ水溶液を吹きつ
けるか、アルカリ水溶液に浸漬するなどして行うことが
できる。
The development can be carried out by spraying an alkaline aqueous solution using sodium hydroxide, sodium carbonate, potassium hydroxide or the like, or by immersing in an alkaline aqueous solution.

【0036】[0036]

【実施例】以下実施例により本発明を説明する。なお、
光重合性不飽和化合物a〜dは、一般式(I)における
記号が表1に示すものを表す化合物を意味する。
The present invention will be described with reference to the following examples. In addition,
The photopolymerizable unsaturated compounds a to d mean compounds in which the symbols in the general formula (I) represent those shown in Table 1.

【表1】 実施例1 撹拌機、還流冷却機、温度計、滴下ロート及び窒素ガス
導入管を備えたフラスコにプロピレングリコールモノプ
ロピルエーテル1,130gを加え撹拌し、窒素ガスを
吹き込みながら100℃に加温した。温度が100℃で
一定になったところでメタクリル酸185g、メチルメ
タクリレート595g、エチルアクリレート214g及
びアゾビスイソブチロニトリル10gを混合した液を3
時間かけてフラスコ内に滴下し、その後100℃で撹拌
しながら3.5時間保温した。3.5時間後にアゾビス
ジメチルバレロニトリル5gをプロピレングリコールモ
ノプロピルエーテル100gに溶かした溶液を10分か
けてフラスコ内に滴下し、その後再び90℃で撹拌しな
がら4時間保温した。
[Table 1] Example 1 1,130 g of propylene glycol monopropyl ether was added to a flask equipped with a stirrer, a reflux condenser, a thermometer, a dropping funnel and a nitrogen gas introducing tube, and the mixture was stirred and heated to 100 ° C. while blowing nitrogen gas. When the temperature became constant at 100 ° C, 3 parts of a liquid prepared by mixing 185 g of methacrylic acid, 595 g of methyl methacrylate, 214 g of ethyl acrylate and 10 g of azobisisobutyronitrile was used.
The mixture was dropped into the flask over a period of time and then kept at 100 ° C. for 3.5 hours while stirring. After 3.5 hours, a solution prepared by dissolving 5 g of azobisdimethylvaleronitrile in 100 g of propylene glycol monopropyl ether was dropped into the flask over 10 minutes, and then the mixture was again kept at 90 ° C. for 4 hours while stirring.

【0037】このようにして得られた(a)成分の前駆
体としてのポリマーの重量平均分子量は、35,00
0、酸価は120であった。またポリマー溶液の固形分
は45.3重量%であった。
The polymer as a precursor of the component (a) thus obtained has a weight average molecular weight of 35,000.
The acid value was 0 and the acid value was 120. The solid content of the polymer solution was 45.3% by weight.

【0038】次にこのポリマー溶液650gに(b)成
分としての光重合性不飽和化合物aを200g、(c)
成分としてのベンゾフェノン30g及びN,N′−テト
ラエチル−4,4′−ジアミノベンゾフェノン1g及び
プロピレングリコールモノメチルエーテル100gを加
えて溶解し、この溶液に塩基性の有機化合物としてトリ
エチルアミン35gを加えてさらに溶解し、溶液中の
(a)成分の前駆体のポリマーを中和した。
Next, 650 g of this polymer solution was added with 200 g of the photopolymerizable unsaturated compound a as the component (b), and (c).
30 g of benzophenone as a component, 1 g of N, N'-tetraethyl-4,4'-diaminobenzophenone and 100 g of propylene glycol monomethyl ether were added and dissolved, and 35 g of triethylamine as a basic organic compound was added and further dissolved in this solution. The polymer of the precursor of the component (a) in the solution was neutralized.

【0039】ついで、この溶液を撹拌しながらイオン交
換水4,700gを徐々に滴下しながら加えて電着塗装
浴を得た。この電着塗装浴の固形分は10重量%、pH
は25℃で7.5であった。
Next, while stirring this solution, 4,700 g of ion-exchanged water was gradually added dropwise to obtain an electrodeposition coating bath. The solid content of this electrodeposition coating bath is 10% by weight, pH
Was 7.5 at 25 ° C.

【0040】実施例2 撹拌機、還流冷却機、温度計、滴下ロート及び窒素ガス
導入管を備えた実施例1と同様の装置を備えたフラスコ
にプロピレングリコールモノプロピルエーテル1,13
0gを加え撹拌しながら窒素ガスを吹き込みながら90
℃の温度に加温した。温度が90℃で一定になったとこ
ろでメタクリル酸169g、メチルメタクリレート24
2g、n−ブチルアクリレート370g、エチルメタク
リレート219g及びアゾビスイソブチロニトリル10
gを混合した液を2.5時間かけてフラスコ内に滴下
し、その後90℃で撹拌しながら3時間保温した。3時
間後にアゾビスイソブチロニトリル3gをジオキサン1
00gに溶かした溶液を10分かけてフラスコ内に滴下
し、その後再び90℃で撹拌しながら4時間保温した。
Example 2 Propylene glycol monopropyl ether 1,13 was placed in a flask equipped with a stirrer, a reflux condenser, a thermometer, a dropping funnel and a device similar to that of Example 1 equipped with a nitrogen gas introducing tube.
90 g while adding 0 g and blowing nitrogen gas with stirring
Warmed to a temperature of ° C. When the temperature became constant at 90 ° C, 169 g of methacrylic acid and 24 of methyl methacrylate
2 g, n-butyl acrylate 370 g, ethyl methacrylate 219 g and azobisisobutyronitrile 10
The liquid in which g was mixed was dropped into the flask over 2.5 hours, and then the mixture was kept at 90 ° C. for 3 hours while stirring. After 3 hours, 3 g of azobisisobutyronitrile was added to 1 of dioxane.
The solution dissolved in 00 g was dropped into the flask over 10 minutes, and then the temperature was kept at 90 ° C. for 4 hours with stirring.

【0041】このようにして得られた(a)成分の前駆
体としてのポリマーの重量平均分子量は、55,00
0、酸価は111であった。またポリマー溶液の固形分
は46.3重量%であった。
The polymer as a precursor of the component (a) thus obtained has a weight average molecular weight of 55,000.
The acid value was 0 and the acid value was 111. The solid content of the polymer solution was 46.3% by weight.

【0042】つぎにこのポリマー溶液635gに(b)
成分としての光重合性不飽和化合物bを42g及びエチ
レンオキシド変性トリメチロールプロパントリアクリレ
ート(三洋化成社製、商品名TA−401)84g、
(c)成分としてのベンゾフェノン30g及びN,N′
−テトラエチル−4,4′−ジアミノベンゾフェノン1
g加えて溶解した。
Next, (b) was added to 635 g of this polymer solution.
42 g of photopolymerizable unsaturated compound b as a component and 84 g of ethylene oxide-modified trimethylolpropane triacrylate (manufactured by Sanyo Kasei Co., Ltd., trade name TA-401),
30 g of benzophenone and N, N 'as component (c)
-Tetraethyl-4,4'-diaminobenzophenone 1
g was added and dissolved.

【0043】この溶液に塩基性の有機化合物としてジエ
チルアミン32.0gを加えて溶解し溶液中の(a)成
分の前駆体のポリマーを中和した。ついで、この容液を
撹拌しながらイオン交換水4,300gを徐々に滴下し
ながら加えて電着塗装浴を得た。この電着塗装浴の固形
分は10重量%、pHは25℃で7.5であった。
To this solution, 32.0 g of diethylamine as a basic organic compound was added and dissolved to neutralize the precursor polymer of the component (a) in the solution. Next, while stirring this solution, 4,300 g of ion-exchanged water was gradually added dropwise to obtain an electrodeposition coating bath. The electrodeposition coating bath had a solid content of 10% by weight and a pH of 7.5 at 25 ° C.

【0044】実施例3 実施例1と同様の装置を備えたフラスコにエチルセロソ
ルブ1,130gを加え撹拌し、窒素ガスを吹き込みな
がら90℃に加温した。温度が90℃で一定になったと
ころでメタクリル酸198g、メチルメタクリレート3
52g、エチルアクリレート290g、メチルメタクリ
レート160g及びアゾビスイソブチロニトリル10g
を混合した液を2時間かけてフラスコ内に滴下した。そ
の後90℃で撹拌しながら3時間保温した。3時間後に
アゾビスイソバレロニトリル3gをジオキサン100g
に溶かした溶液を10分かけてフラスコ内に滴下し、そ
の後再び90℃で撹拌しながら4時間保温した。
Example 3 To a flask equipped with the same apparatus as in Example 1, 1,130 g of ethyl cellosolve was added and stirred, and the mixture was heated to 90 ° C. while blowing nitrogen gas. When the temperature became constant at 90 ℃, methacrylic acid 198g, methyl methacrylate 3
52 g, ethyl acrylate 290 g, methyl methacrylate 160 g and azobisisobutyronitrile 10 g
The mixed solution of was added dropwise to the flask over 2 hours. Then, the mixture was kept at 90 ° C. for 3 hours while stirring. After 3 hours, 3 g of azobisisovaleronitrile was added to 100 g of dioxane.
The solution dissolved in was added dropwise to the flask over 10 minutes, and then the temperature was maintained at 90 ° C. for 4 hours while stirring again.

【0045】このようにして得られた(a)成分の前駆
体としてのポリマーの重量平均分子量は、44,00
0、酸価は129であった。またポリマー溶液の固形分
は46.2重量%であった。
The polymer as a precursor of the component (a) thus obtained had a weight average molecular weight of 44,000.
The acid value was 0 and the acid value was 129. The solid content of the polymer solution was 46.2% by weight.

【0046】次に、このポリマー溶液700gに(b)
成分としての光重合性不飽和化合物cを145g、
(c)成分としてのベンゾフェノン33g及びN,N′
−テトラエチル−4,4′−ジアミノベンゾフェノン
0.8gを加えて溶解し、この溶液に塩基性の有機化合
物としてトリエチルアミン40gを加え、溶液中の
(a)成分の前駆体のポリマーを中和し、さらにn−ブ
タノール100gを加えて溶解した。
Next, 700 g of this polymer solution was added to (b)
145 g of a photopolymerizable unsaturated compound c as a component,
33 g of benzophenone and N, N 'as component (c)
-Tetraethyl-4,4'-diaminobenzophenone 0.8 g was added and dissolved, and 40 g of triethylamine as a basic organic compound was added to this solution to neutralize the polymer of the precursor of the component (a) in the solution, Further, 100 g of n-butanol was added and dissolved.

【0047】ついで、この溶液を撹拌しながらイオン交
換水4,800gを徐々に滴下しながら加えて電着塗装
浴を得た。この電着塗装浴の固形分は10重量%、pH
は25℃で7.4であった。
Next, while stirring this solution, 4,800 g of ion-exchanged water was gradually added dropwise to obtain an electrodeposition coating bath. The solid content of this electrodeposition coating bath is 10% by weight, pH
Was 7.4 at 25 ° C.

【0048】実施例4 実施例1と同様の装置を備えたフラスコにプロピレング
リコールモノプロピルエーテル1,130gを加え、撹
拌し、窒素ガスを吹き込みながら90℃に加温した。温
度が90℃で一定になったところでアクリル酸148
g、メチルメタクリレート620g、n−プロピルアク
リレート122g、メチルアクリレート110g及びア
ゾビスイソブチロニトリル5gを混合した液を2時間か
けてフラスコ内に滴下し、その後90℃で撹拌しながら
3時間保温した。3時間後にアゾビスイソブチロニトリ
ル1gをエチルセロソルブ100gに溶かした溶液を1
0分かけてフラスコ内に滴下し、その後再び90℃で撹
拌しながら4時間保温した。
Example 4 1,130 g of propylene glycol monopropyl ether was added to a flask equipped with the same apparatus as in Example 1, stirred and heated to 90 ° C. while blowing nitrogen gas. When the temperature became constant at 90 ° C, acrylic acid 148
g, 620 g of methyl methacrylate, 122 g of n-propyl acrylate, 110 g of methyl acrylate, and 5 g of azobisisobutyronitrile were added dropwise into the flask over 2 hours, and then the mixture was kept at 90 ° C. for 3 hours while stirring. After 3 hours, 1 g of azobisisobutyronitrile was dissolved in 100 g of ethyl cellosolve to prepare 1 solution.
The mixture was dropped into the flask over 0 minutes, and then the mixture was kept at 90 ° C. for 4 hours while stirring.

【0049】このようにして得られた(a)成分の前駆
体としてのポリマーの重量平均分子量は、57,00
0、酸価は116であった。またポリマー溶液の固形分
は47.1重量%であった。
The weight average molecular weight of the polymer thus obtained as the precursor of the component (a) is 57,000.
The acid value was 0 and the acid value was 116. The solid content of the polymer solution was 47.1% by weight.

【0050】次にこのポリマー溶液600gに(b)成
分としての光重合性不飽和化合物dを125g及びペン
タエリスリトールテトラアクリレート(サートマーカン
パニー社製、商品名SR−295)を68g、(c)成
分としてのベンゾフェノン30g及びN,N′−テトラ
エチル−4,4′−ジアミノベンゾフェノン1g加えて
溶解し、この溶液に塩基性の有機化合物としてトリエチ
ルアミン30gを加えて溶解し溶液中の(a)成分の前
駆体のポリマーを中和した。ついで、この溶液を撹拌し
ながらイオン交換水3,400gを徐々に滴下しながら
加えて電着浴を得た。この電着塗装浴の固形分は10重
量%、pHは25℃で7.7であった。
Next, in 600 g of this polymer solution, 125 g of the photopolymerizable unsaturated compound d as the component (b), 68 g of pentaerythritol tetraacrylate (trade name SR-295 manufactured by Sartomer Company), and the component (c). Benzophenone as a base and 1 g of N, N'-tetraethyl-4,4'-diaminobenzophenone as a base are dissolved therein, and 30 g of triethylamine as a basic organic compound is dissolved in the solution to prepare a precursor of the component (a) in the solution. The body polymer was neutralized. Next, while stirring this solution, 3,400 g of ion-exchanged water was gradually added dropwise to obtain an electrodeposition bath. The solid content of this electrodeposition coating bath was 10% by weight, and the pH was 7.7 at 25 ° C.

【0051】比較例1 実施例1の中の(b)成分に代えてエチレンオキシド変
性ビスフェノールAジアクリレート(サートマーカンパ
ニー社製、商品名SR−349)を112g使用するこ
とを除いて同様な材料及び方法で電着塗装浴を得た。
Comparative Example 1 The same material as in Example 1 except that 112 g of ethylene oxide-modified bisphenol A diacrylate (manufactured by Sartomer Company, trade name SR-349) was used in place of the component (b). By the method, an electrodeposition coating bath was obtained.

【0052】比較例2 実施例1の中で(b)成分に代えてトリメチロールプロ
パントリアクリレート(新中村化学工業社製、商品名U
NKエステル A−TMPT)を120g使用すること
を同様な材料及び方法で電着塗装浴を得た。
Comparative Example 2 Instead of the component (b) in Example 1, trimethylolpropane triacrylate (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd., trade name U)
An electrodeposition coating bath was obtained by using 120 g of NK ester A-TMPT) with the same materials and method.

【0053】実施例1〜4及び比較例1、2の各電着塗
装浴にガラスエポキシ銅張積層板(日立化成工業社株)
製、MCL−E−61)(200mm×75mm)を陽極と
して、ステンレス板(SUS304)(形状200mm×
75mm×1mm)を陰極として浸漬し、25℃の温度で直
流電圧を3分間印加し、上記銅張積層板の表面に14〜
16μmの電着塗装膜(感光膜)を形成した。この後、
水洗、水切り後80℃で15分乾燥した。
Glass epoxy copper clad laminates (Hitachi Chemical Co., Ltd.) were used in each of the electrodeposition coating baths of Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 and 2.
Manufactured by MCL-E-61) (200 mm x 75 mm) as an anode, stainless steel plate (SUS304) (shape 200 mm x
75 mm × 1 mm) is immersed as a cathode, and a DC voltage is applied for 3 minutes at a temperature of 25 ° C.
A 16 μm electrodeposition coating film (photosensitive film) was formed. After this,
After washing with water and draining, it was dried at 80 ° C. for 15 minutes.

【0054】感光膜の可とう性を評価するため形成した
感光膜に3kW超高圧水銀灯で100mJ/cm2の光量を露
光、1重量%の炭酸ナトリウム水溶液で現像を行った後
1mm角のクロスカットゲージを用いてクロスカット性試
験を行った。クロスカット性試験の評価基準は◎;切り
傷が滑らかで欠損部がない、○;欠損部の面積が全正方
形面積の5%以内、△;欠損部の面積が全正方形面積の
5〜25%、×;欠損部の面積が全正方形面積の25%
以上とした。また、水分散安定性を評価するため実施例
1〜4及び比較例1、2の電着液を25℃、恒温槽中で
保存し、エマルジョンの沈降の有無を目視で観察した。
実施例1〜4及び比較例1、2における可とう性及び水
分散安定性の評価結果を表2に示した。
The photosensitive film formed in order to evaluate the flexibility of the photosensitive film was exposed to a light amount of 100 mJ / cm 2 with a 3 kW ultra-high pressure mercury lamp, developed with a 1 wt% sodium carbonate aqueous solution, and then a 1 mm square cross cut. A cross cut test was performed using a gauge. The evaluation criteria for the cross-cutting property test are ◎; the cuts are smooth and there are no defects, ○: the area of the defect is within 5% of the total square area, Δ: the area of the defect is 5 to 25% of the total square area, ×: 25% of the total square area of the defective area
That's it. Further, in order to evaluate the water dispersion stability, the electrodeposition solutions of Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 and 2 were stored at 25 ° C. in a constant temperature bath, and the presence or absence of emulsion precipitation was visually observed.
Table 2 shows the evaluation results of flexibility and water dispersion stability in Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 and 2.

【0055】[0055]

【表2】 実施例1〜4の場合、いずれもクロスカット性及び水分
散安定性が良好であった。一方、比較例1及び2の場合
では可とう性と水分散安定性とが両立できないことが分
かる。なお、現像後にえられた実施例1〜4のレジスト
パターンは良好なレジスト形状を有していた。
[Table 2] In each of Examples 1 to 4, the cross cut property and the water dispersion stability were good. On the other hand, in the cases of Comparative Examples 1 and 2, it is found that both flexibility and water dispersion stability cannot be achieved at the same time. The resist patterns of Examples 1 to 4 obtained after development had a good resist shape.

【0056】[0056]

【発明の効果】本発明のネガ型電着塗料樹脂組成物は可
とう性の高い感光膜を形成することができ、かつ水分散
安定性に優れるものである。本発明によれば、高密度、
高精度のプリント回路板を得ることができ、このプリン
ト回路板は、テレビ、オーディオ、マイコン、パソコ
ン、通信機、測定器、制御器、ゲーム機等の各種機器に
好適に用いることができる。
The negative electrodeposition coating resin composition of the present invention is capable of forming a photosensitive film having high flexibility and is excellent in water dispersion stability. According to the invention, a high density,
A high-precision printed circuit board can be obtained, and this printed circuit board can be suitably used for various devices such as a television, an audio, a microcomputer, a personal computer, a communication device, a measuring instrument, a controller, and a game machine.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 G03F 7/30 7124−2H (72)発明者 上原 秀秋 茨城県日立市東町四丁目13番1号 日立化 成工業株式会社茨城研究所内 (72)発明者 立木 繁雄 茨城県日立市東町四丁目13番1号 日立化 成工業株式会社茨城研究所内 (72)発明者 加藤 琢郎 茨城県日立市東町四丁目13番1号 日立化 成工業株式会社山崎工場内 (72)発明者 塚田 勝重 茨城県日立市東町四丁目13番1号 日立化 成工業株式会社山崎工場内 (72)発明者 山崎 雄治 栃木県大田原市下石上1382番12号 大日本 塗料株式会社那須工場内 (72)発明者 山田 正治 栃木県大田原市下石上1382番12号 大日本 塗料株式会社那須工場内 (72)発明者 塩谷 俊彦 栃木県大田原市下石上1382番12号 大日本 塗料株式会社那須工場内 (72)発明者 長島 義久 栃木県大田原市下石上1382番12号 大日本 塗料株式会社那須工場内─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 5 Identification number Reference number within the agency FI Technical indication location G03F 7/30 7124-2H (72) Inventor Hideaki Uehara 4-13-1, Higashimachi, Hitachi City, Ibaraki Prefecture Hitachi Chemical Co., Ltd. in Ibaraki Laboratory (72) Inventor Shigeo Tachiki 4-13-1, Higashimachi, Hitachi City, Ibaraki Hitachi Chemical Co., Ltd. in Ibaraki Laboratory (72) Inventor Takuro Kato 4, Higashimachi, Hitachi City, Ibaraki Prefecture 13-1 Hitachi Chemical Co., Ltd. Yamazaki Plant (72) Inventor Katsushige Tsukada 4-13-1, Higashimachi, Hitachi City, Ibaraki Prefecture 13-12 Hitachi Chemical Co., Ltd. Yamazaki Plant (72) Inventor Yuji Yamazaki Otawara, Tochigi Prefecture 1382-12 Shimoishigami, Ichi, Japan Nasu Plant, Dainippon Paint Co., Ltd. (72) Inventor, Shoji Yamada 1382-1212 Shimoishigami, Otawara, Tochigi Dainippon Paint Co., Ltd. Nasu (72) Inventor Toshihiko Shiotani 1382-12 Shimoishigami, Otawara-shi, Tochigi Dainippon Paint Co., Ltd.Nasu factory (72) Inventor Yoshihisa Nagashima 1382-12 Shimoishi, Otawara-shi, Tochigi Dainippon Paint Co., Ltd.Nasu factory Within

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 (a)アクリル酸及び/又はメタクリル
酸を共重合した酸価20〜300のポリマーを塩基性の
有機化合物で中和したポリマー、(b)一般式(I) 【化1】 (式中、R1及びR2はそれぞれ独立して水素原子又はメ
チル基を表し、k、m及びnは繰り返し単位の個数を表
し、それぞれ0以上の整数であり、k及びmの和が1以
上でかつk、m及びnの和が2〜15となるように選択
される)で表される化合物を含む光重合性不飽和化合物
及び(c)非水溶性光開始剤を含有してなるネガ型感光
性電着塗料樹脂組成物。
1. (a) A polymer obtained by neutralizing a polymer having an acid value of 20 to 300 obtained by copolymerizing acrylic acid and / or methacrylic acid with a basic organic compound, and (b) a general formula (I): (In the formula, R 1 and R 2 each independently represent a hydrogen atom or a methyl group, k, m, and n represent the number of repeating units, each is an integer of 0 or more, and the sum of k and m is 1; The photopolymerizable unsaturated compound containing a compound represented by the above and selected such that the sum of k, m and n is 2 to 15) and (c) a water-insoluble photoinitiator. Negative-type photosensitive electrodeposition coating resin composition.
【請求項2】 さらに、(b)成分中に(d)1分子中
に3個以上のアクリロイル基又はメタクロイル基を有す
る化合物を含有する請求項1記載のネガ型感光性電着塗
料樹脂組成物。
2. The negative photosensitive electrodeposition coating resin composition according to claim 1, which further contains (d) a compound having (d) a compound having three or more acryloyl groups or methacryloyl groups in one molecule. .
【請求項3】 (d)1分子中に3個以上のアクリロイ
ル基又はメタクリロイル基を有する化合物が一般式(I
I) 【化2】 (式中、R3、R4及びR5はそれぞれ独立して水素原子
又はメチル基を表し、qは1から10の整数である)で
表される不飽和基を1分子中に3個以上有する化合物で
ある請求項2記載のネガ型感光性電着塗料樹脂組成物。
3. (d) A compound having three or more acryloyl groups or methacryloyl groups in one molecule is represented by the general formula (I
I) [Chemical 2] (Wherein R 3 , R 4 and R 5 each independently represent a hydrogen atom or a methyl group, and q is an integer of 1 to 10) and 3 or more unsaturated groups are contained in one molecule. The negative photosensitive electrodeposition coating resin composition according to claim 2, which is a compound having:
【請求項4】 請求項1又は2記載のネガ型感光性電着
塗料樹脂組成物を含む電着塗装浴。
4. An electrodeposition coating bath containing the negative type photosensitive electrodeposition coating resin composition according to claim 1 or 2.
【請求項5】 請求項4記載の電着塗装浴に導電性基体
を陽極として浸漬し、通電により電着塗装して導電性基
体上に電着塗装膜を形成し、その後活性光線を前記電着
塗装膜に画像状に照射し、露光部を光硬化させ、未露光
部を現像により除去することを特徴とするレジストパタ
ーンの製造法。
5. A conductive substrate is immersed as an anode in the electrodeposition coating bath according to claim 4, and electrodeposition coating is performed by energization to form an electrodeposition coating film on the conductive substrate, after which actinic rays are applied to the electrodeposition. A method for producing a resist pattern, which comprises irradiating an image on a coating film for coating, photo-curing the exposed part, and removing the unexposed part by development.
【請求項6】 請求項5記載の製造法によりレジストパ
ターンの製造された導電性基体。
6. A conductive substrate having a resist pattern manufactured by the manufacturing method according to claim 5.
【請求項7】 請求項6記載のレジストパターンの製造
された導電性基体をエッチング及び/又はメッキするこ
とを特徴とするプリント回路板の製造法。
7. A method of manufacturing a printed circuit board, which comprises etching and / or plating the conductive substrate having the resist pattern of claim 6.
【請求項8】 請求項7記載のプリント回路板の製造法
により製造されたプリント回路板。
8. A printed circuit board manufactured by the method for manufacturing a printed circuit board according to claim 7.
【請求項9】 請求項8記載のプリント回路板を用いた
機器。
9. A device using the printed circuit board according to claim 8.
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