JPH06265715A - Production of color filter - Google Patents

Production of color filter

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JPH06265715A
JPH06265715A JP5704493A JP5704493A JPH06265715A JP H06265715 A JPH06265715 A JP H06265715A JP 5704493 A JP5704493 A JP 5704493A JP 5704493 A JP5704493 A JP 5704493A JP H06265715 A JPH06265715 A JP H06265715A
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JP
Japan
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color
substrate
color resist
transparent
color filter
Prior art date
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Application number
JP5704493A
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Japanese (ja)
Inventor
Masahiko Tateno
舘野  晶彦
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Sekisui Chemical Co Ltd
Original Assignee
Sekisui Chemical Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To provide the production of a color filter which makes a film thickness of a transparent color layer uniform even when a color resist contains much pigment component and shows a big thixotropic property. CONSTITUTION:A color resist 3 essentially consisting of an org. pigment, a water soluble binder resin and a photo-crosslinking agent and formed by blending them so as to satisfy P>V when the weight of the org. pigment is regarded as P and the weight of the water soluble binder resin is regarded as V is applied on a transparent substrate 4 using a roll coater. After coating, the substrate 4 is immediately exposed in air having 60-90% relative humidity and, successively, the color resist 3 is exposed and developed selectively to form a transparent colored layer in picture element regions on the substrate 4 for producing the color filter.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明はカラーフィルターの製造
方法に係り、特に、有機顔料分を多く含有するチクソト
ロピー性の大きいカラーレジストを均一な薄膜で基板上
に塗布することができ、それによって透明着色層の膜厚
を均一な薄膜にすることができ、しかも色特性が良好
な、分光特性の優れたカラーフィルターの製造方法に関
するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a color filter, and more particularly, it is possible to coat a color resist having a large thixotropic property, which contains a large amount of an organic pigment component, on a substrate in a uniform thin film, thereby making it transparent The present invention relates to a method for producing a color filter which can form a uniform thin film of a colored layer and has good color characteristics and excellent spectral characteristics.

【0002】[0002]

【従来の技術】カラーフィルターは、ガラス等の透明基
板と、この透明基板上の画素部位に設けられその透過光
を画素ごとに異なる色(例えば赤、緑、青の光三原色)
に着色する透明着色層とでその主要部が構成されてい
る。この透明着色層は、それぞれの色に対応する色彩の
顔料を含むカラーレジスト(着色感光性樹脂)を透明基
板上に一様に塗布し、これを選択的に露光、現像するこ
とによって形成される。
2. Description of the Related Art A color filter is provided with a transparent substrate such as glass and a pixel portion on the transparent substrate, and the transmitted light thereof has a different color for each pixel (for example, three primary colors of light of red, green and blue).
Its main part is composed of a transparent colored layer that is colored into. This transparent colored layer is formed by uniformly applying a color resist (colored photosensitive resin) containing a pigment of a color corresponding to each color on a transparent substrate, and selectively exposing and developing this. .

【0003】ところで、このようなカラーフィルターの
分光特性は、透明着色層を構成するカラーレジストの膜
厚により調整され、この膜厚が薄い場合には透過率は良
好となるが色度は低下する。
By the way, the spectral characteristics of such a color filter are adjusted by the film thickness of the color resist forming the transparent colored layer. When the film thickness is thin, the transmittance is good but the chromaticity is lowered. .

【0004】そのため、分光特性が良好なカラーフィル
ターを製造するには透明基板上に適切な膜厚のカラーレ
ジストの皮膜を形成することが必要となり、その形成方
法として、従来、特開昭60−403号公報に記載され
たスピンコートによる方法や、特開平1−123665
号公報に記載されたロールコーターによる方法等が利用
されている。
Therefore, in order to manufacture a color filter having good spectral characteristics, it is necessary to form a color resist film having an appropriate film thickness on a transparent substrate. The method by spin coating described in Japanese Patent No. 403, and Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-123665.
A method using a roll coater described in Japanese Patent Publication is used.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】ところで、顔料分を含
有するカラーレジストの場合、顔料分が多く含まれてい
ればそれだけ透明着色層の膜厚は薄くて済む。膜厚を薄
くすることにより平坦化しやすくなり、共通電極(IT
O等)を透明着色層の下に設けることも可能である。
By the way, in the case of a color resist containing a pigment component, the more the pigment component is contained, the thinner the thickness of the transparent colored layer may be. It becomes easier to flatten by decreasing the film thickness, and the common electrode (IT
It is also possible to provide (O etc.) under the transparent colored layer.

【0006】しかしながら、スピンコートによる塗布の
場合、カラーレジスト中に顔料等の固形分が多量に含有
されていると、チクソトロピー性の影響で回転中心部分
の膜厚が厚くなってしまい、膜厚分布が生じるという問
題がある。そのため、露光時、膜厚の厚い部分に露光量
を設定すると膜厚の薄い部分が露光過多になり、逆に膜
厚の薄い部分に露光量を設定すると膜厚の厚い部分が露
光不足でパターン流れを起こし、色ばらつきやパターン
欠陥を発生させてしまうという問題がある。特に顔料分
を多く含有するとそれだけチクソトロピー性の影響が大
きくなり、スピン法での塗布は困難である。
However, in the case of application by spin coating, if the color resist contains a large amount of solids such as pigments, the film thickness at the center of rotation is increased due to the effect of thixotropy and the film thickness distribution. There is a problem that occurs. Therefore, at the time of exposure, if the exposure amount is set to a thick portion, the thin portion is overexposed, and conversely, if the exposure amount is set to a thin portion, the thick portion is underexposed and the pattern However, there is a problem in that the flow causes a color variation and a pattern defect. In particular, if the pigment content is large, the influence of the thixotropy becomes large, and it is difficult to apply by the spin method.

【0007】一方、ロールコーターによる塗布の場合、
一旦ゴムローラー等にカラーレジストを塗布し、その後
このカラーレジストを基板上へ転写するため、この転写
時に塗布方向にスジ状の膜厚分布を発生させやすい。か
かる問題を解決するために、例えば特開平1−1236
65号公報ではコーティングロッドまたはコーティング
ローラに軸方向の機械的振動を与えながら塗布する方法
を提案しているが、カラーフィルターの製造において
は、初めに1色目の精細なパターンを形成し、続いて2
色目、3色目を塗布してパターン形成を行うため、ロー
ラやロッドを振動させることによって先塗りされたパタ
ーンの剥離を招くおそれがあるという問題がある。
On the other hand, in the case of coating with a roll coater,
Since a color resist is once applied to a rubber roller or the like and then this color resist is transferred onto a substrate, a stripe-shaped film thickness distribution is likely to occur in the application direction during this transfer. In order to solve such a problem, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 1-1236
Japanese Patent Laid-Open No. 65 proposes a method of applying a coating rod or a coating roller while applying mechanical vibration in the axial direction. In the production of a color filter, first, a fine pattern of the first color is formed, and then, Two
Since the pattern is formed by applying the third color and the third color, there is a problem that the pre-coated pattern may be peeled off by vibrating the roller or the rod.

【0008】本発明はこのような問題点に着目してなさ
れたもので、その課題とするところは、顔料分を多く含
有するチクソトロピー性の大きいカラーレジストを適用
しても上記問題点を生じないカラーフィルターの製造方
法を提供することにある。
The present invention has been made by paying attention to such a problem, and the problem is that the above problem does not occur even if a color resist containing a large amount of pigment and having a large thixotropic property is applied. It is to provide a manufacturing method of a color filter.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】すなわち、請求項1に係
る発明は、透明基板と、この透明基板上の画素部位に設
けられ画素ごとにその透過光を着色する透明着色層とを
備えるカラーフィルターの製造方法を前提とし、有機顔
料、水溶性バインダー樹脂および光架橋剤を主成分と
し、且つ有機顔料の重量をP、水溶性バインダー樹脂の
重量をVとしたとき、P>Vとなるように配合されて成
るカラーレジストを、上記透明基板上にロールコーター
を用いて塗布し、塗布後の基板を直ちに相対湿度60〜
90%の空気中に晒し、続いて該カラーレジストを選択
的に露光・現像して透明基板の画素部位に上記透明着色
層を形成することを特徴とするものである。
That is, the invention according to claim 1 is a color filter comprising a transparent substrate and a transparent coloring layer which is provided at a pixel portion on the transparent substrate and colors the transmitted light for each pixel. Assuming that the organic pigment, the water-soluble binder resin and the photo-crosslinking agent are the main components, and the weight of the organic pigment is P and the weight of the water-soluble binder resin is V, then P> V. The compounded color resist is applied onto the transparent substrate using a roll coater, and the applied substrate is immediately subjected to relative humidity of 60 to
It is characterized by exposing to 90% air and then selectively exposing and developing the color resist to form the transparent colored layer on the pixel portion of the transparent substrate.

【0010】そして、上記主成分から成るカラーレジス
トをロールコーターを用いて基板上に塗布し、塗布後直
ちに相対湿度60〜90%の空気中に晒すことによりチ
クソトロピー性の大きいカラーレジストの乾燥速度を遅
らせ、これによって均一な膜厚のカラーレジスト薄膜を
基板上に形成することができる。このため、均一な薄い
膜厚の透明着色層を基板上に形成することが可能とな
る。また、カラーレジスト中に多くの顔料分を含ませる
ことにより、より薄膜にすることができ、透過率、色度
ともに良好な、優れた色特性のカラーフィルターを得る
ことができる。
Then, the color resist composed of the above main components is applied onto a substrate by using a roll coater, and immediately after the application, the color resist having a large thixotropic property is dried by exposing it to air having a relative humidity of 60 to 90%. The color resist thin film having a uniform thickness can be formed on the substrate. Therefore, it is possible to form the transparent colored layer having a uniform and thin film thickness on the substrate. Further, by including a large amount of pigment in the color resist, it is possible to obtain a color filter having a thinner film, excellent transmittance and chromaticity, and excellent color characteristics.

【0011】ここで、請求項1に係る発明において使用
するロールコーターのロールは、カラーレジストが一旦
ここに供給され、その後基板上に該カラーレジストを塗
布するためのものであり、ロールの材質(ゴム、SU
S、等)、ロールの本数、回転速度、回転方向等は任意
のものでよく、特に制限はない。
Here, the roll of the roll coater used in the invention according to claim 1 is for supplying the color resist to the substrate once and then applying the color resist on the substrate. Rubber, SU
S, etc.), the number of rolls, the rotation speed, the rotation direction, etc. may be arbitrary and are not particularly limited.

【0012】カラーレジスト塗布直後の基板を相対湿度
60〜90%の空気中に晒す手段に関しては特に限定さ
れないが、加湿器等を使用して湿気を吹き付けること等
によって行うことができる。空気中の相対湿度を60〜
90%に限定したのは、相対湿度が60%未満では乾燥
速度を遅らせるという効果が得られず、一方、相対湿度
が90%を超えた場合は水分が多過ぎ、水がカラーレジ
スト上で液滴になりやすいからである。なお、温度は2
0〜35℃程度が好ましい。
The means for exposing the substrate immediately after the application of the color resist to the air having a relative humidity of 60 to 90% is not particularly limited, but it can be performed by spraying moisture using a humidifier or the like. Relative humidity in air is 60 ~
The limitation to 90% is that when the relative humidity is less than 60%, the effect of delaying the drying rate cannot be obtained, while when the relative humidity exceeds 90%, the water content is too high, and the water is a liquid on the color resist. This is because they tend to become drops. The temperature is 2
About 0 to 35 ° C is preferable.

【0013】次に、請求項1において適用されるカラー
レジストは、有機顔料、水溶性バインダー樹脂および光
架橋剤を主成分とするものである。
Next, the color resist applied in claim 1 has an organic pigment, a water-soluble binder resin and a photo-crosslinking agent as main components.

【0014】そして、上記有機顔料としては、フタロシ
アニン系顔料、キナクリドン系顔料、ジオキサジン系顔
料、アゾレーキ系顔料、不溶性アゾ系顔料、縮合アゾ系
顔料、ペリレン系顔料、イソインドリノン系顔料、アン
トラキノン系顔料、チオインジコ系顔料等が適用でき
る。
The organic pigments include phthalocyanine pigments, quinacridone pigments, dioxazine pigments, azo lake pigments, insoluble azo pigments, condensed azo pigments, perylene pigments, isoindolinone pigments, and anthraquinone pigments. , Thioindico type pigments and the like can be applied.

【0015】また、これら有機顔料は水、ポリビニルア
ルコール、ポリエチレングリコール、ポリエチレングリ
コールアルキルエーテル等と共にボールミル、サンドミ
ル等で分散し、下記の水溶性バインダー樹脂や光架橋剤
と混合して用いてもよい。
These organic pigments may be dispersed in water, polyvinyl alcohol, polyethylene glycol, polyethylene glycol alkyl ether and the like in a ball mill, a sand mill or the like, and mixed with the following water-soluble binder resin or photo-crosslinking agent for use.

【0016】上記水溶性バインダー樹脂としては、アク
リル酸、メタクリル酸、2−ヒドロキシエチルメタクリ
レート、2−ヒドロキシプロピルアクリレート、2−ヒ
ドロキシプロピルメタクリレート、ジメチルアミノプロ
ピルアクリレート、ジメチルアミノプロピルメタクリレ
ート、ポリエチレングリコール、ポリビニルアルコー
ル、アクリルアミド、メトキシメチルアクリルアミド等
から選択される混合物または重合物が適用できる。
As the water-soluble binder resin, acrylic acid, methacrylic acid, 2-hydroxyethyl methacrylate, 2-hydroxypropyl acrylate, 2-hydroxypropyl methacrylate, dimethylaminopropyl acrylate, dimethylaminopropyl methacrylate, polyethylene glycol, polyvinyl alcohol. A mixture or polymer selected from acrylamide, acrylamide, methoxymethylacrylamide and the like can be applied.

【0017】この水溶性バインダー樹脂は、分子量10
00〜4000の範囲のものが好ましい。分子量100
0未満のものでは光架橋しても流れやすく、一方、分子
量が4000を超えたものでは顔料分散能力が劣ってし
まうからである。さらに、バインダー樹脂の分子量を1
000〜4000とすることにより、後述するように、
有機顔料の重量をP、バインダー樹脂の重量をVとした
とき、P>Vでの配合比での顔料分散が可能となる。
This water-soluble binder resin has a molecular weight of 10
The range of 00 to 4000 is preferable. Molecular weight 100
This is because if it is less than 0, it easily flows even when photocrosslinked, and if it has a molecular weight of more than 4000, the pigment dispersibility is poor. Furthermore, the molecular weight of the binder resin is 1
By setting 000 to 4000, as described later,
When the weight of the organic pigment is P and the weight of the binder resin is V, it is possible to disperse the pigment at a compounding ratio of P> V.

【0018】上記光架橋剤としては、ジアゾ樹脂、ジア
ゾニウム塩、多官能アジド等が例示できる。
Examples of the photocrosslinking agent include diazo resins, diazonium salts, polyfunctional azides and the like.

【0019】そして、本発明のカラーレジストでは、有
機顔料の重量をP、水溶性バインダー樹脂の重量をVと
したとき、P>Vになるよう配合されている。有機顔料
とバインダー樹脂の重量配合比をこのように設定するこ
とにより、これまで困難であった透明着色層の薄膜化が
可能となり、膜厚1μm以下の透明着色層を形成するこ
とができ、このように薄膜でも色度の劣らない、色特性
の良好なカラーフィルターを得ることができる。
The color resist of the present invention is formulated so that P> V, where P is the weight of the organic pigment and V is the weight of the water-soluble binder resin. By setting the weight mixing ratio of the organic pigment and the binder resin in this way, it is possible to reduce the thickness of the transparent colored layer, which has been difficult so far, and it is possible to form a transparent colored layer having a thickness of 1 μm or less. As described above, it is possible to obtain a color filter having good color characteristics, which is not inferior in chromaticity even with a thin film.

【0020】また、請求項1に係る発明に適用できる透
明基板としては、例えば、ガラス、プラスチック等が挙
げられる。
Further, examples of the transparent substrate applicable to the invention according to claim 1 include glass, plastic and the like.

【0021】[0021]

【作用】請求項1に係る発明によれば、有機顔料、水溶
性バインダー樹脂および光架橋剤を主成分とし、且つ有
機顔料の重量をP、水溶性バインダー樹脂の重量をVと
したとき、P>Vとなるように配合されて成るカラーレ
ジストを、透明基板上にロールコーターを用いて塗布
し、塗布後の基板を直ちに相対湿度60〜90%の空気
中に晒し、続いて該カラーレジストを選択的に露光・現
像して透明基板の画素部位に上記透明着色層を形成して
いる。
According to the invention of claim 1, when P is the weight of the organic pigment and V is the weight of the water-soluble binder resin, the main component is the organic pigment, the water-soluble binder resin and the photo-crosslinking agent. A color resist formulated so as to be> V is coated on a transparent substrate using a roll coater, and the substrate after coating is immediately exposed to air having a relative humidity of 60 to 90%, and then the color resist is coated. The transparent colored layer is formed on the pixel portion of the transparent substrate by selectively exposing and developing.

【0022】すなわち、カラーレジストをロールコータ
ーを用いて基板上に塗布し、その後直ちに相対湿度60
〜90%の空気中に晒すことによりカラーレジストの乾
燥速度を遅らせ、塗布面が流動性を保ち、自らのレベリ
ング性で均一な膜厚のカラーレジスト層を基板上に形成
することができる。これにより、均一な膜厚の透明着色
層を基板上に形成することが可能となる。
That is, the color resist is coated on the substrate by using a roll coater, and immediately after that, the relative humidity 60 is applied.
By exposing to 90% to 90% of air, the drying speed of the color resist is delayed, the coated surface maintains fluidity, and a color resist layer having a uniform film thickness can be formed on the substrate by its leveling property. This makes it possible to form a transparent colored layer having a uniform film thickness on the substrate.

【0023】さらに、カラーレジスト中にP>Vでの配
合比で多くの顔料分を含ませることにより、これまで困
難であった透明着色層の薄膜化が可能となり、膜厚1μ
m以下の透明着色層を形成することができ、このように
薄膜でも色度の劣らない、色特性の良好なカラーフィル
ターを得ることができる。
Furthermore, by including a large amount of pigment in the compounding ratio of P> V in the color resist, it becomes possible to reduce the thickness of the transparent colored layer, which has been difficult so far, and the film thickness is 1 μm.
It is possible to form a transparent colored layer having a thickness of m or less, and thus it is possible to obtain a color filter having good color characteristics and not inferior in chromaticity even with a thin film.

【0024】[0024]

【実施例】以下、本発明の実施例について詳細に説明す
る。
EXAMPLES Examples of the present invention will be described in detail below.

【0025】まず、水溶性バインダー樹脂として、2−
ヒドロキシエチルメタクリル酸を80重量%、ジメチル
アミノプロピルメタクリルアミド4重量%、メタクリル
アミド2重量%、メトキシメチルアクリルアミド14重
量%を重合して分子量2000のバインダー樹脂を合成
し、かつ、これに光架橋剤としてジアゾ樹脂を10重量
%混合し、感光性樹脂とした。
First, as a water-soluble binder resin, 2-
80% by weight of hydroxyethylmethacrylic acid, 4% by weight of dimethylaminopropylmethacrylamide, 2% by weight of methacrylamide and 14% by weight of methoxymethylacrylamide were polymerized to synthesize a binder resin having a molecular weight of 2000, and a photocrosslinking agent was added to the binder resin. Was mixed with 10% by weight of diazo resin to obtain a photosensitive resin.

【0026】一方、赤色有機顔料としてパーマネントレ
ッド、緑色有機顔料として塩素化シアニングリーン、青
色有機顔料として不安定化シアニンブルーとジオキサジ
ンバイオレットの混合物を適用し、各顔料をボールミ
ル、サンドミルを使用してそれぞれ水、ポリビニルアル
コール、ポリエチレングリコールモノオレインエーテル
中に分散させて赤色、緑色および青色の顔料液を作製し
た。各有機顔料中の顔料平均粒径は0.02μmであっ
た。
On the other hand, permanent red was used as a red organic pigment, chlorinated cyanine green was used as a green organic pigment, and a mixture of destabilized cyanine blue and dioxazine violet was applied as a blue organic pigment. Red, green and blue pigment liquids were prepared by dispersing in water, polyvinyl alcohol and polyethylene glycol monoolein ether, respectively. The average particle diameter of the pigment in each organic pigment was 0.02 μm.

【0027】次に、これら顔料液中の顔料固形分:顔料
液中の樹脂分と感光性樹脂中の固形分の合計重量比が
6:4となる割合でそれぞれ混合し、赤色、緑色および
青色のカラーレジスト液を作製した。
Next, the pigment solid content in these pigment liquids: the resin content in the pigment liquid and the solid content in the photosensitive resin are mixed at a ratio of 6: 4, respectively, and red, green and blue are mixed. To prepare a color resist solution.

【0028】そして、透明基板として各画素間にクロム
薄膜からなる遮光層を備えたガラス基板を使用し、この
基板上に、まず赤色のカラーレジスト液を図1に示した
ロールコーターで膜厚0.5μmになるよう塗布し、塗
布直後に相対湿度80%(気温22℃)の空気を加湿器
を用いて3分間吹き付け、レベリングを行った。その
後、気温60℃下で乾燥し、画素に対応した所定の位置
に透明部を持つフォトマスクを通して紫外線露光し、か
つ1%リンゴ酸溶液で現像し、パターニングして赤色透
明着色層を形成した。
Then, a glass substrate having a light-shielding layer made of a chromium thin film between each pixel is used as a transparent substrate, and a red color resist solution is first applied to this substrate by a roll coater shown in FIG. It was applied so as to have a thickness of 0.5 μm, and immediately after the application, air having a relative humidity of 80% (temperature of 22 ° C.) was blown for 3 minutes using a humidifier to perform leveling. Then, it was dried at an air temperature of 60 ° C., exposed to ultraviolet light through a photomask having a transparent portion at a predetermined position corresponding to a pixel, developed with a 1% malic acid solution, and patterned to form a red transparent colored layer.

【0029】ここで、図1は本実施例で用いられたロー
ルコーターの構成概要図を示し、該ロールコーターは、
コンマロール1、ロール2、およびカバー6に加湿入口
7と加湿出口8が開設された加湿器5から構成されてい
る。そして、コンマロール1とロール2との間に供給さ
れたカラーレジスト液は、ロール2上に塗布され、これ
が矢印方向に搬送されるガラス基板4上に転写される。
カラーレジスト液が転写されたガラス1基板4はカバー
6内に搬送され、該カバー6に開設された加湿器5の加
湿入口7から供給される湿度を含んだ空気によって転写
後直ちに加湿されるようになっている。
Here, FIG. 1 shows a schematic configuration diagram of a roll coater used in this embodiment.
It is composed of a comma roll 1, a roll 2, and a humidifier 5 in which a humidification inlet 7 and a humidification outlet 8 are opened in a cover 6. Then, the color resist liquid supplied between the comma rolls 1 and 2 is applied onto the roll 2 and transferred onto the glass substrate 4 which is conveyed in the arrow direction.
The glass 1 substrate 4 to which the color resist liquid has been transferred is conveyed into the cover 6, and is humidified immediately after the transfer by the air containing the humidity supplied from the humidification inlet 7 of the humidifier 5 provided in the cover 6. It has become.

【0030】上記の赤色透明着色層形成後、順次緑色透
明着色層、青色透明着色層をパターニングして赤色、緑
色、青色の3色の透明着色層を備えた対角10インチ
(=25.4cm)のカラーフィルターを作製した。
After forming the above-mentioned red transparent colored layer, a green transparent colored layer and a blue transparent colored layer are sequentially patterned to provide three transparent colored layers of red, green and blue with a diagonal of 10 inches (= 25.4 cm). ) Was produced.

【0031】得られたカラーフィルターの分光特性を測
定したところ、以下の表1のようになった。
The spectral characteristics of the obtained color filter were measured and the results are shown in Table 1 below.

【0032】[0032]

【表1】 得られたカラーフィルターの透明着色層パターンの膜厚
平均値は0.5μmで、色ばらつきもなく、良好な分光
特性を示した。
[Table 1] The average thickness of the transparent colored layer pattern of the obtained color filter was 0.5 μm, and there was no color variation and good spectral characteristics were exhibited.

【0033】[比較例1]実施例において、相対湿度8
0%の空気を吹き付ける代わりに気温22℃、相対湿度
50%の雰囲気に通した以外は、実施例と同様にしてガ
ラス基板上へ透明着色層を設け、カラーフィルターを作
製した。
[Comparative Example 1] In the example, the relative humidity was 8
A transparent colored layer was provided on a glass substrate in the same manner as in Example except that an atmosphere having a temperature of 22 ° C. and a relative humidity of 50% was passed instead of blowing 0% of air to prepare a color filter.

【0034】得られたカラーフィルターの分光特性を測
定した。結果を表2に示す。
The spectral characteristics of the obtained color filter were measured. The results are shown in Table 2.

【0035】[0035]

【表2】 得られたカラーフィルターの透明着色層パターンの膜厚
の厚みがそのまま色ばらつきとなって現れてしまった。
[Table 2] The thickness of the film thickness of the transparent colored layer pattern of the obtained color filter appeared as a color variation as it was.

【0036】[比較例2]実施例と同様のカラーレジス
トを用い、スピン法でカラーフィルターの作製を試みた
が、基板回転中心部の膜厚が厚過ぎ、露光不足となって
しまうため、中心部のパターンが流れてしまい、透明着
色層を得ることができなかった。
[Comparative Example 2] An attempt was made to produce a color filter by the spin method using the same color resist as in the Example. However, since the film thickness at the center of rotation of the substrate was too thick and the exposure was insufficient, The pattern of the part flowed and the transparent colored layer could not be obtained.

【0037】[0037]

【発明の効果】請求項1に係る発明によれば、カラーレ
ジストをロールコーターを用いて基板上に塗布し、その
後直ちに相対湿度60〜90%の空気中に晒すため、カ
ラーレジストの乾燥速度を遅らせ、塗布面が流動性を保
ち、自らのレベリング性で均一な膜厚のカラーレジスト
層を基板上に形成することができる。このため、均一な
膜厚の透明着色層を基板上に形成することが可能とな
る。また、カラーレジスト中に多くの顔料分を含ませる
ことにより、より薄膜で透過率、色度ともに良好な、優
れた色特性のカラーフィルターを製造することができる
という効果を有している。
According to the invention of claim 1, the color resist is coated on a substrate by using a roll coater and immediately thereafter exposed to air having a relative humidity of 60 to 90%. It is possible to form a color resist layer having a uniform film thickness by delaying the coating, keeping the coated surface fluid, and leveling itself. Therefore, it becomes possible to form a transparent colored layer having a uniform film thickness on the substrate. In addition, by including a large amount of pigment in the color resist, it is possible to manufacture a color filter having a thinner film, good transmittance and chromaticity, and excellent color characteristics.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】実施例で適用したロールコーターの構成概要図
である。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a roll coater applied in an example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 コンマロール 2 ロール 3 カラーレジスト 4 基板 5 加湿器 6 カバー 7 加湿入口 8 加湿出口 1 Comma roll 2 Roll 3 Color resist 4 Substrate 5 Humidifier 6 Cover 7 Humidification inlet 8 Humidification outlet

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】透明基板と、この透明基板上の画素部位に
設けられ画素ごとにその透過光を着色する透明着色層と
を備えるカラーフィルターの製造方法において、 有機顔料、水溶性バインダー樹脂および光架橋剤を主成
分とし、且つ有機顔料の重量をP、水溶性バインダー樹
脂の重量をVとしたとき、P>Vとなるように配合され
て成るカラーレジストを、上記透明基板上にロールコー
ターを用いて塗布し、塗布後の基板を直ちに相対湿度6
0〜90%の空気中に晒し、続いて該カラーレジストを
選択的に露光・現像して透明基板の画素部位に上記透明
着色層を形成することを特徴とするカラーフィルターの
製造方法。
1. A method for producing a color filter comprising a transparent substrate and a transparent colored layer which is provided at a pixel portion on the transparent substrate and colors the transmitted light for each pixel, wherein an organic pigment, a water-soluble binder resin and light are used. When the weight of the organic pigment is P and the weight of the water-soluble binder resin is V and the main component is a cross-linking agent, a color resist is mixed so that P> V, and a roll coater is applied on the transparent substrate. And the substrate after coating is immediately subjected to a relative humidity of 6
A method for producing a color filter, which comprises exposing the color resist to 0 to 90% of air and then selectively exposing and developing the color resist to form the transparent colored layer on the pixel portion of the transparent substrate.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007010845A (en) * 2005-06-29 2007-01-18 Toppan Printing Co Ltd Pixel forming method and color filter

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2007010845A (en) * 2005-06-29 2007-01-18 Toppan Printing Co Ltd Pixel forming method and color filter

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