JPH06259912A - Magnetic disk device - Google Patents
Magnetic disk deviceInfo
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- JPH06259912A JPH06259912A JP4485293A JP4485293A JPH06259912A JP H06259912 A JPH06259912 A JP H06259912A JP 4485293 A JP4485293 A JP 4485293A JP 4485293 A JP4485293 A JP 4485293A JP H06259912 A JPH06259912 A JP H06259912A
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- magnetic disk
- magnetic
- slider
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- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は，磁気ディスク装置用磁
気ヘッドスライダに関し，とくに，塵埃の影響を受けに
くい高信頼性磁気ディスク装置に好適な磁気ヘッドスラ
イダ，及び高信頼性磁気ディスク装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic head slider for a magnetic disk device, and more particularly to a magnetic head slider suitable for a highly reliable magnetic disk device which is hardly affected by dust and a highly reliable magnetic disk device.
【０００２】[0002]
【従来の技術】磁気ディスク装置には記録の大容量化と
高信頼性が強く要求されている。記録の大容量化には磁
気変換器とディスクとの間隙（一般に浮上量と呼ばれて
いる。今後ここでは浮上量と呼ぶ）を狭小化することが
有効であり，現在の磁気ディスク装置では浮上量はサブ
ミクロンオ−ダ−まで狭小化されている。そして，この
浮上量は今後とも記録の大容量化と共に確実に狭小化さ
れていくと考えられる。2. Description of the Related Art A magnetic disk device is strongly required to have a large recording capacity and high reliability. In order to increase the recording capacity, it is effective to narrow the gap between the magnetic transducer and the disk (generally called the flying height. Hereafter called the flying height). The amount is narrowed down to the submicron order. It is considered that this flying height will surely be narrowed as the recording capacity increases.
【０００３】一方，高信頼性を確保するためには，デ−
タの破損あるいは読み出しおよび書き込み誤動作の要因
となるスライダとディスクとの接触は極力避けなければ
ならない。この相反する要求を満足させるためには安定
・低浮上量のスライダ開発が必須である。この安定・低
浮上量を妨げる主要因の１つにヘッドのアクセスやディ
スクの回転及び振動等の機械的作用に起因して発生する
破片，若しくは粒子，シリコン，潤滑剤（軸受部のグリ
スなど）などの塵埃がある。粘着性が低く固い破片，粒
子などの塵埃はスライダとディスクの間に侵入して（噛
み込まれて），浮上レ−ルあるいは磁気ヘッドを摩耗さ
せ，空気ベアリングの機能低下，あるいは浮上量変動
（低減）を発生させたり，読みだし／書き込み誤動作を
起こす。また，粘着性が高い塵埃（軸受部のグリスな
ど）はスライダに付着し空気ベアリングの機能を低下さ
せ浮上量変動（低減）を発生させることが広く知られて
いる。On the other hand, in order to ensure high reliability, data
It is necessary to avoid contact between the slider and the disk as much as possible, which may cause damage to the disk or malfunction of reading and writing. To satisfy these conflicting requirements, it is essential to develop a stable and low flying height slider. One of the main factors that hinders this stable and low flying height is debris, particles, silicon, lubricant (bearing grease, etc.) generated due to mechanical effects such as head access and disk rotation and vibration. There is dust such as. Dust such as hard debris and particles that have low adhesiveness penetrates (is caught) between the slider and the disk, wears the levitation rail or the magnetic head, reduces the function of the air bearing, or changes the flying height ( Reduction) or read / write malfunction occurs. Further, it is widely known that highly sticky dust (such as grease in the bearing portion) adheres to the slider and deteriorates the function of the air bearing, causing fluctuation (reduction) in the flying height.
【０００４】特に，現在広く使用されているスライダ
（特公昭５７−５６９号公報）では，浮上レ−ルの斜面
部に塵埃が付着すると，空気ベアリングの機能が著しく
損なわれ，浮上量が急激に低下し，最悪の場合にはスラ
イダとディスクとが連続接触し，デ−タが破壊されてし
まう，いわゆるクラッシュ事故に発展する可能性が指摘
されている（日本機械学会論文集第488号Ｃ編968-971
頁，論文No86-1058B)。In particular, in the slider which is widely used at present (Japanese Patent Publication No. 57-569), when dust adheres to the slope of the flying rail, the function of the air bearing is significantly impaired, and the flying height increases rapidly. It has been pointed out that there is a possibility that it will decrease, and in the worst case, the slider and the disk will make continuous contact and the data will be destroyed, leading to a so-called crash accident (Journal of the Japan Society of Mechanical Engineers, No. 488, Edition C). 968-971
Page, article No. 86-1058B).
【０００５】従来の磁気ディスク装置では，特開昭５７
−１７９９６９号公報に記載のようにスライダ及びレ−
ルを磁気変換器に関連するトラックの接線速度ベクトル
線に対して所定のスキュ−角度を持って配置することに
より，ヘッドのアクセスやディスクの回転及び振動等の
機械的作用に起因して発生する破片，若しくは粒子が浮
上レ−ルと磁気ディスク感に侵入することを妨げこれら
の塵埃による磁気ヘッドの摩耗を防ぐことが提案されて
いる。A conventional magnetic disk device is disclosed in Japanese Patent Laid-Open No.
As described in Japanese Patent Publication No. 179969,
Occurs at a certain skew angle with respect to the tangential velocity vector line of the track associated with the magnetic transducer, which is caused by mechanical actions such as head access and disk rotation and vibration. It has been proposed to prevent debris or particles from penetrating the floating rail and the magnetic disk feel and prevent wear of the magnetic head due to these dust particles.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】スライダ及びレ−ルを
変換器に関連するトラックの接線速度ベクトル線に対し
て所定のスキュ−角度を持って配置することにより，レ
−ルとディスクの間に侵入する塵埃を防ぐ従来形の磁気
ディスク装置方法では，スライダの流出端に設けられた
磁気変換器もトラックの接線にたいして所定のスキュ−
角（アジマス角と一般に呼ばれている。ここでは以後ア
ジマス角と呼ぶ）を持つために読みだし信号の出力が低
下するという問題がある。また，読み出しと書き込みに
別々のヘッドを設ける２ヘッド方式では，アジマスが大
きくなると磁気ディスク上の半径位置が各ヘッドで異な
るために，デ−タ書き込み後，読み出しヘッドを書き込
みヘッド位置に移動（アクセス）させなければならない
という問題が発生する。このため，高速にデ−タを読み
だしおよび書き込みできないという問題も発生する。By arranging the slider and the rail at a predetermined skew angle with respect to the tangential velocity vector line of the track associated with the transducer, a gap between the rail and the disk is obtained. In the conventional magnetic disk drive method for preventing invading dust, the magnetic transducer provided at the outflow end of the slider also has a predetermined skew with respect to the tangent line of the track.
There is a problem that the output of the read signal is reduced because of having an angle (generally called an azimuth angle; hereinafter referred to as an azimuth angle). Further, in the two-head system in which separate heads are provided for reading and writing, since the radial position on the magnetic disk differs for each head when the azimuth increases, the read head is moved to the write head position after data writing (access). ) There is a problem that it must be done. Therefore, there is a problem that the data cannot be read or written at high speed.
【０００７】本発明は上述の事柄にもとづいてなされた
もので、その目的はスライダの浮上用レ−ルと磁気ディ
スクの間に侵入する塵埃による浮上用レ−ル，あるいは
磁気変換器，あるいは磁気ディスクの摩耗を防止すると
共に,塵埃によるスライダの空気ベアリング機能の低下
を防止することができる磁気ディスクを提供することに
ある。The present invention has been made on the basis of the above-mentioned matters, and the purpose thereof is to make a flying rail, a magnetic converter, or a magnetic field by a dust entering between a flying rail of a slider and a magnetic disk. (EN) It is possible to provide a magnetic disk capable of preventing wear of the disk and preventing deterioration of the air bearing function of the slider due to dust.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】本発明は上記の目的を達
成するために，スライダに浮上用レ−ルとは別に塵埃排
除用レ−ルを設ける。この塵埃排除用レ−ルは浮上レ−
ル高さ以下の高さで，浮上レ−ルの空気流入端の前方，
あるいは浮上レ−ルの側方，あるいは前方と側方の両方
に設ける。さらに，塵埃排除用レ−ルの幅は浮上レ−ル
の幅に比べて著しく小さく構成する。In order to achieve the above object, the present invention provides a slider with a dust removing rail in addition to the flying rail. This dust removal rail is a levitating rail.
Below the height of the rail, in front of the air inlet end of the levitation rail,
Alternatively, it may be provided on the side of the levitation rail, or both on the front and side. Further, the width of the dust removing rail is made significantly smaller than the width of the floating rail.
【０００９】[0009]
【作用】磁気ヘッドスライダの浮上レ−ルの前方，ある
いは側方，あるいは前方と側方の両方に設けた清掃レ−
ルは，回転する磁気ディスクにより発生する空気流によ
って運ばれる塵埃，及びディスク表面に付着している塵
埃を浮上レ−ルと磁気ディスクの間に侵入させることな
く他の位置に排除する。これにより，浮上レ−ル，磁気
変換器，磁気ディスの摩耗を防止することができると共
に，空気ベアリングの機能の低下を抑えることができ
る。その結果，スライダの安定低浮上が実現し，読みだ
しおよび書き込みの誤動作を防ぐことができる。A cleaning level is provided in front of, or at the side of, the flying rail of the magnetic head slider, or both at the front and side.
The ruler removes dust carried by the air flow generated by the rotating magnetic disk and dust adhering to the disk surface to other positions without intruding between the levitation rail and the magnetic disk. As a result, it is possible to prevent the levitation rail, the magnetic converter, and the magnetic disk from being worn, and to suppress the deterioration of the function of the air bearing. As a result, stable low flying of the slider is realized, and erroneous reading and writing operations can be prevented.
【００１０】[0010]
【実施例】本発明の第１実施例を図１から図６を用いて
説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
【００１１】図１は本発明の磁気ディスク装置の一部断
面斜視図を示している。磁気ディスク１はスピンドル
（図示せず）に積層され，スピンドルモ−タにより回転
駆動させられる。磁気ディスク１（以後ディスクと呼
ぶ）表面に記録されたデ−タを読みだし，あるいは書き
込みをするための磁気変換器（図示せず）を搭載した磁
気ヘッドスライダ２（以後スライダと呼ぶ）は磁気ヘッ
ド支持機構４により支持されており，磁気ヘッド支持機
構４はガイドア−ム３１に接合され，位置決め機構４に
連接されている。本実施例の位置決め機構４は，スライ
ダ２をディスク１半径方向に直線的に移動させ位置決め
するものであり，一般的にリニア形アクチュエ−タと称
しているものであるが，円弧上に移動位置決めするロ−
タリ−形のアクチュエ−タにも適用することができる。
以上述べたディスク１，スライダ２，支持機構３及びア
クチュエ−タはカバ−により密封されており，カバ−内
は清浄に保たれている。FIG. 1 is a partial sectional perspective view of a magnetic disk device according to the present invention. The magnetic disk 1 is stacked on a spindle (not shown) and is rotated by a spindle motor. A magnetic head slider 2 (hereinafter referred to as slider) equipped with a magnetic converter (not shown) for reading or writing data recorded on the surface of the magnetic disk 1 (hereinafter referred to as disk) is magnetic. The magnetic head support mechanism 4 is supported by the head support mechanism 4, is joined to the guide arm 31, and is connected to the positioning mechanism 4. The positioning mechanism 4 of this embodiment is for linearly moving the slider 2 in the radial direction of the disk 1 for positioning, and is generally called a linear actuator, but it is moved and positioned on an arc. Slow
It can also be applied to a tally type actuator.
The disk 1, slider 2, support mechanism 3 and actuator described above are sealed by a cover, and the inside of the cover is kept clean.
【００１２】図２は図１に示す本発明の磁気ディスク装
置のＡ部を拡大した図である。この図２において，ディ
スク２はスピンドル５１に積層されており，反時計方向
に，矢印８の方向に回転している。ディスク回転数の制
約は特になく，広く利用されている３６００rpmから７
２００rpm程度であれば良い。ディスク直径についても
特に制約は無い。スライダ２はディスク１の面に対向す
る２本の浮上レ−ル２１と２本の塵埃排除用レ−ル２２
を具備している。スライダ２は浮上レ−ル２１を利用し
て回転するディスク１との間に空気ベアリングを形成し
サブミクロンオ−ダの浮上量で浮上している。前述した
ように，スライダ２は磁気ヘッド支持機構に支持され，
ガイドア−ム３１に連接されている。FIG. 2 is an enlarged view of a portion A of the magnetic disk device of the present invention shown in FIG. In FIG. 2, the disk 2 is stacked on the spindle 51 and rotates counterclockwise in the direction of arrow 8. There is no particular restriction on the number of rotations of the disk, from the widely used 3600 rpm to 7
It may be about 200 rpm. There are no particular restrictions on the disk diameter. The slider 2 has two flying rails 21 and two dust removing rails 22 facing the surface of the disk 1.
It is equipped with. The slider 2 forms an air bearing between the slider 2 and the rotating disk 1 by using the flying rail 21, and is flying at a flying height of sub-micron order. As described above, the slider 2 is supported by the magnetic head support mechanism,
It is connected to the guide arm 31.
【００１３】図３は図１に示す本発明の装置を構成する
スライダの浮上面の斜視図を示している。この図３にお
いて，スライダ２は２本の浮上レ−ル２１とこれらの浮
上レ−ル２１間に設けたブリ−ド２３とを備えている。FIG. 3 is a perspective view of the air bearing surface of the slider which constitutes the apparatus of the present invention shown in FIG. In FIG. 3, the slider 2 is provided with two flying rails 21 and a blade 23 provided between these flying rails 21.
【００１４】浮上レ−ル２１は斜面部２１０と平面部２
１１とから構成されている。また、浮上レ−ル２１の側
部にはそれぞれブリ−ド２３を介して塵埃排除用レ−ル
２２が設けられている。この塵埃排除用レ−ル２２は，
２本の浮上レ−ル２１を囲むように設けられている。塵
埃排除用レ−ル２２は浮上レ−ル２１と同様に斜面部２
２０と平面部２２１とから構成されている。塵埃排除用
レ−ル２２のブリ−ド部２３から平面部２２１までの高
さｈ２は浮上レ−ル２１のそれの高さｈ１と同一であ
る。塵埃排除用レ−ル２２の斜面部２２０は，その傾斜
角が浮上レ−ルの傾斜角と同一にしている。図３中の矢
印１０はディスク１回転に伴って発生する空気流１０を
示している。The levitation rail 21 has a slope 210 and a flat surface 2.
11 and 11. Further, a dust removing rail 22 is provided on each side portion of the floating rail 21 via a bridge 23. This dust removing rail 22 is
It is provided so as to surround the two levitation rails 21. The dust removing rail 22 has the same slope portion 2 as the floating rail 21.
20 and a plane portion 221. The height h2 of the dust removing rail 22 from the blind portion 23 to the flat surface portion 221 is the same as the height h1 of the floating rail 21. The inclination angle of the slope portion 220 of the dust removing rail 22 is the same as that of the levitation rail. An arrow 10 in FIG. 3 indicates an air flow 10 generated with one rotation of the disk.
【００１５】磁気変換器９はスライダ２の流出端面２４
に搭載されている。ここで，塵埃排除用レ−ル２２は空
気流１０の流入端から流出端に向かって，”ハ”の字の
形状で末広がりに広がっている。The magnetic converter 9 has an outflow end surface 24 of the slider 2.
It is installed in. Here, the dust removing rail 22 spreads toward the end from the inflow end to the outflow end of the airflow 10 in the shape of a letter “C”.
【００１６】図４は図３に示す本発明の装置を構成する
スライダ２の下面図であり，ディスク１に書かれたトラ
ック１１０と，磁気変換器９の位置におけるディスク１
のトラック速度ベクトル１１１を示している。浮上レ−
ル２１はトラック速度ベクトル１１１と平行であり，ス
ライダ２の流出端面２４はトラック速度ベクトル１１１
と垂直になる。このため，スライダ２の流出端面２４に
設けられた磁気変換器９はトラック速度ベクトル１１１
と垂直（アジマス角度がゼロ）で，デ−タの読みだしお
よび書き込みに最適な設定となっている。FIG. 4 is a bottom view of the slider 2 which constitutes the apparatus of the present invention shown in FIG. 3, and shows the track 110 written on the disk 1 and the disk 1 at the position of the magnetic converter 9.
The track velocity vector 111 of the above is shown. Levitation
The track 21 is parallel to the track velocity vector 111, and the outflow end face 24 of the slider 2 is
And become vertical. For this reason, the magnetic transducer 9 provided on the outflow end surface 24 of the slider 2 has the track velocity vector 111
Is vertical (the azimuth angle is zero) and is optimal for reading and writing data.
【００１７】図５は図３に示す本発明の装置を構成する
スライダ２の流入端面２５から見たスライダの浮上状態
を，ディスク１も含めて示している。スライダ２の両側
部に設けた塵埃排除用レ−ル２２は，ディスク１の表面
上の塵埃を排除すると共に清掃する区域を形成してお
り，ディスク１の面を清浄にすることができる。このデ
ィスク１を清掃する区域は，スライダ２と共に移動す
る。FIG. 5 shows the flying state of the slider as viewed from the inflow end surface 25 of the slider 2 which constitutes the apparatus of the present invention shown in FIG. 3, including the disk 1. The dust removing rails 22 provided on both sides of the slider 2 form an area for removing dust on the surface of the disk 1 and for cleaning, so that the surface of the disk 1 can be cleaned. The area for cleaning the disk 1 moves with the slider 2.
【００１８】このため，デ−タをアクセス（検索）する
ために，磁気変換器９がディスク１の面をどのように，
移動しても磁気変換器９及び浮上レ−ル２１は常に清浄
なディスク１の面を滑空できるために，塵埃による磁気
変換器９及び浮上レ−ル２１の摩耗，塵埃の浮上レ−ル
２１への付着を無くすることができる。これらにより，
読みだしおよび書き込みの誤動作の無い，信頼性の高い
磁気ディスク装置を実現することができる。Therefore, in order to access (retrieve) the data, how the magnetic converter 9 scans the surface of the disk 1
Even if the magnetic transducer 9 and the levitation rail 21 move, the magnetic transducer 9 and the levitation rail 21 can always slide on the clean surface of the disk 1. Can be eliminated. With these,
It is possible to realize a highly reliable magnetic disk device that does not malfunction in reading and writing.
【００１９】塵埃排除用レ−ル２２の機能について，以
下，詳細にその機能を図５，図６を用いて説明する。図
５の矢印１００はスライダのアクセス方向を示してい
る。例えば，図５に示すような塵埃２００が，ディスク
１上になんらかの原因により存在し，そのトラックのデ
−タをスライダ２が読み出し（アクセス）に行った場合
に，この塵埃２００に最初に接するのは，塵埃排除用レ
−ル２２の側面２２２である。このように，スライダ２
が両方向にアクセスした場合にも，塵埃２００に最初に
接するのは，スライダ２の両端に設けた塵埃排除用レ−
ル２２のどちらかの側面２２２である。The function of the dust removing rail 22 will be described in detail below with reference to FIGS. 5 and 6. The arrow 100 in FIG. 5 indicates the slider access direction. For example, if a dust 200 as shown in FIG. 5 exists on the disk 1 for some reason and the data of the track is read (accessed) by the slider 2, the dust 200 comes into contact with the dust 200 first. Is a side surface 222 of the dust removing rail 22. In this way, the slider 2
When the sliders are accessed in both directions, the first contact with the dust 200 is that the dust removal rails provided at both ends of the slider 2 are in contact with each other.
One of the side surfaces 222 of the rule 22.
【００２０】塵埃排除用レ−ル２２のフラット部２２１
は，前述したように，浮上レ−ル２１のフラット部２１
１と同一の高さで設けられている。スライダ２の浮上量
は本実施例においても，一般に広く使われている浮上量
と同程度で，サブミクロンオ−ダである。このため，塵
埃排除用レ−ル２２のフラット部２２１とディスク表面
の間隙もサブミクロンオ−ダとなっている。このため，
塵埃の大きさがサブミクロン以上の場合には，清掃レ−
ルの側面２２２に接触し，(1)スライダ２の流出端に運
ばれる，あるいは，(2)清掃レ−ルの側面２２２に付着
する,あるいは(3) 塵埃排除用清掃レ−ル２２のフラッ
ト部２２１とディスク表面に噛み込まれ粉砕する。Flat portion 221 of the dust removing rail 22
Is the flat portion 21 of the levitation rail 21 as described above.
It is provided at the same height as 1. Also in this embodiment, the flying height of the slider 2 is on the order of the flying height that is widely used, and is of the order of submicron. For this reason, the gap between the flat portion 221 of the dust removing rail 22 and the disk surface is also of the submicron order. For this reason,
If the size of the dust is submicron or more, the cleaning rate
Contacting the side surface 222 of the slider, (1) being carried to the outflow end of the slider 2, or (2) adhering to the side surface 222 of the cleaning rail, or (3) the flat surface of the cleaning rail 22 for removing dust. The portion 221 and the surface of the disc are bitten and crushed.
【００２１】上述した(1) の場合には塵埃が，磁気変換
器９，浮上レ−ル２１に悪影響を及ぼすことは無い。In the case of (1) described above, dust does not adversely affect the magnetic converter 9 and the levitation rail 21.
【００２２】また，(2) の場合にも，浮上レ−ル２１の
レ−ル幅ｗ１に比べ，塵埃排除用レ−ル２２のレ−ル幅
ｗ２を著しく小さくとってあるために，塵埃排除用レ−
ル２２によって発生する空気ベアリングの効果は，浮上
レ−ル２１の空気ベアリングの効果に比べて無視できる
ほど小さいために，浮上量の大きさを決めることにまっ
たく関与していないので，浮上量に悪影響を及ぼす心配
は無い（浮上量変動の要因となることは無い）。浮上レ
−ル２１のレ−ル幅ｗ１と塵埃排除用レ−ル２２のレ−
ル幅ｗ２との比は，実用的にはｗ２／ｗ１≦２０〜４０
にすれば良い。Also in the case of (2), since the rail width w2 of the dust removing rail 22 is remarkably smaller than the rail width w1 of the levitation rail 21, the dust is small. Exclusion Ray
Since the effect of the air bearing generated by the rule 22 is negligibly smaller than the effect of the air bearing of the levitation rail 21, it has nothing to do with determining the size of the levitation amount. There is no fear of having an adverse effect (it will not cause a change in the flying height). The rail width w1 of the floating rail 21 and the rail of the dust removing rail 22.
In practice, the ratio with the width w2 is w2 / w1 ≦ 20-40
You can do it.
【００２３】(3)の場合にも，塵埃排除用レ−ル２２は
トラック速度ベクトル線１１１に対して，”ハ”の字形
に角度θで設定されているために，塵埃排除用レ−ル２
２のスライダ流出端側で塵埃が粉砕されるために，粉砕
された塵埃が浮上レ−ル２１あるいは磁気変換器９への
悪影響を軽減させることができる。Also in the case of (3), since the dust removal rail 22 is set in a "H" shape at an angle θ with respect to the track velocity vector line 111, the dust removal rail 22 is also formed. Two
Since the dust is crushed on the slider outflow end side of No. 2, it is possible to reduce the adverse effect of the crushed dust on the levitation rail 21 or the magnetic converter 9.
【００２４】本実施例では，塵埃排除用レ−ル２２を角
度θで設定したが，この角度は大きければ大きいほど清
掃区域は広がる。清掃区域ｌは次式で表される。In the present embodiment, the dust removing rail 22 is set at the angle .theta., But the larger this angle, the wider the cleaning area. The cleaning area 1 is represented by the following formula.
【００２５】ｌ＝ｘ・ｓｉｎθ −−−（１） ここで ｘ：塵埃排除用レ−ルの平面部の長さ θ：塵埃排除用レ−ルの設定角度（トラック速度ベクト
ルとの角度） 清掃面積ｓは，清掃区域ｌにディスク周速を掛け合わせ
れば良い。L = xsin θ-(1) where x: length of flat surface of dust removing rail θ: set angle of dust removing rail (angle with track velocity vector) cleaning The area s may be obtained by multiplying the cleaning area 1 by the disk peripheral speed.
【００２６】式（１）より，塵埃排除用レ−ルの設定角
度θをゼロにすると，清掃区域ｌは無くなってしまうの
で，注意しなければならない。また，逆にθを大きくし
過ぎると，清掃面積は拡大するが，スライダ自体も大き
くなってしまい，磁気ディスク装置を小形化できないと
いう問題が発生するため，両者を考慮して決定しなけれ
ばならない。From the equation (1), it should be noted that the cleaning area 1 disappears when the set angle θ of the dust removing rail is set to zero. On the other hand, if θ is set too large, the cleaning area will be expanded, but the slider itself will also be large, and the magnetic disk device cannot be miniaturized. .
【００２７】本実施例では塵埃排除用レ−ル２２の設定
角度を約５度に設定してあるが，約１０度以下にする
と，スライダ２の寸法を大きくすること無く塵埃排除用
レ−ル２２を設けることができる。In the present embodiment, the set angle of the dust removing rail 22 is set to about 5 degrees, but if it is set to about 10 degrees or less, the dust removing rail is not increased in size and the dust removing rail is not enlarged. 22 can be provided.
【００２８】塵埃排除用レ−ル２２への塵埃付着を無く
すという観点からは，塵埃排除用レ−ルの２２の設定角
度を略２０度以下に選ぶことが望ましい。これは第８の
実施例で詳細に説明する。From the viewpoint of eliminating the adhesion of dust to the dust removing rail 22, it is desirable to set the set angle of the dust removing rail 22 to about 20 degrees or less. This will be described in detail in the eighth embodiment.
【００２９】本発明を構成するスライダ２の製作は，浮
上レ−ル２１及び塵埃排除用レ−ル２２の平面部及びブ
リ−ド部をエッチング，イオンミ−リングなどで製作
し，斜面部を機械加工のラッピングなどで仕上げれば良
い。材質としては，現在広く使用されているＡｌＴｉ
Ｃ，ＺｒＯ２，ＭｎＺｎなどのセラッミクス材料，ある
いはシリコンなどを用いれば良い。The slider 2 which constitutes the present invention is manufactured by etching the flat surface and the blade of the flying rail 21 and the dust removing rail 22 by means of etching, ion milling, etc. It may be finished by processing wrapping. AlTi, which is widely used today
A ceramic material such as C, ZrO2, MnZn, or silicon may be used.
【００３０】以上述べたように，本発明に依ればスライ
ダ２をトラックに対して傾けること無く，換言すれば，
磁気変換器９をトラックに対して傾けること無く（アジ
マス角度ゼロ），塵埃による磁気変換器９，浮上レ−ル
２１，磁気ディスク１の摩耗を防ぐことができる。ま
た，塵埃が浮上レ−ル２１に付着することが無いので，
塵埃により，浮上レ−ル２１の空気ベアリング効果が低
下し，浮上量変動による読みだしおよび書き込みの誤動
作が無くなるので，信頼性の高い磁気ディスク装置を提
供することができる。As described above, according to the present invention, the slider 2 is not tilted with respect to the track, in other words,
Without tilting the magnetic converter 9 with respect to the track (zero azimuth angle), it is possible to prevent wear of the magnetic converter 9, the levitation rail 21, and the magnetic disk 1 due to dust. Moreover, since dust does not adhere to the floating rail 21,
Due to the dust, the air bearing effect of the levitation rail 21 is reduced, and erroneous reading and writing operations due to fluctuations in the flying height are eliminated, so that a highly reliable magnetic disk device can be provided.
【００３１】本発明の第２実施例を図７から図８を用い
て説明する。図７は本発明を構成するスライダ流入端
面，図８はその浮上面を表している。A second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 7 to 8. FIG. 7 shows a slider inflow end surface which constitutes the present invention, and FIG. 8 shows an air bearing surface thereof.
【００３２】本実施例は，スライダ２の内周側のみに塵
埃排除用レ−ル２２を設けたものである。In this embodiment, the dust removing rail 22 is provided only on the inner peripheral side of the slider 2.
【００３３】この実施例によれば，塵埃排除用レ−ル２
２を１つにすることができるので，スライダ２を小形化
でき，１枚のウエハからより多くのスライダ２を生産で
きるために，量産性に優れている。また，スライダ２の
アクセス動作は，ディスク１の外周から内周にアクセス
（シ−ク）する場合が圧倒的に多いいために（特に，大
容量磁気ディスク装置では０トラック（最初のトラッ
ク）が外周に設定されているため），スライダ２の内周
側に塵埃排除用レ−ル２２を設けることにより，かなり
の塵埃の排除を期待することができる。また，アクセス
動作が終了し外周トラックに戻るときには既に１度清掃
が終わっているために，新たに清掃する必要が無い。According to this embodiment, the dust removing rail 2
Since the number of sliders 2 can be one, the slider 2 can be made smaller, and more sliders 2 can be produced from one wafer, which is excellent in mass productivity. In addition, since the slider 2 is overwhelmingly accessed (seeked) from the outer circumference to the inner circumference of the disk 1 (especially, 0 track (first track) in a large-capacity magnetic disk device). Since it is set on the outer circumference), by providing the dust removing rail 22 on the inner circumference side of the slider 2, it is possible to expect a considerable amount of dust to be removed. Further, when the access operation is completed and the process returns to the outer track, the cleaning has already been completed once, so that it is not necessary to newly clean it.
【００３４】以上述べたように，本実施例においても，
第１の実施例と同様に，スライダ２をトラックに対して
傾けること無く，換言すれば，磁気変換器９をトラック
に対して傾けること無く（アジマス角度ゼロ），塵埃に
よる磁気変換器９，浮上レ−ル２１，磁気ディスク１の
摩耗を防ぐことができる。また，塵埃が浮上レ−ル２１
に付着することが無いので，塵埃により，浮上レ−ル２
１の空気ベアリング効果が低下し，浮上量変動による読
みだしおよび書き込みの誤動作が無くなるので，信頼性
の高い磁気ディスク装置を供給することができる。As described above, also in this embodiment,
Similar to the first embodiment, the slider 2 is not tilted with respect to the track, in other words, the magnetic converter 9 is not tilted with respect to the track (azimuth angle of zero), and the magnetic converter 9 due to dust is levitated. Wear of the rail 21 and the magnetic disk 1 can be prevented. In addition, dust is floated on the rail 21.
Since it does not adhere to the
Since the air bearing effect of No. 1 is reduced and the malfunction of reading and writing due to the fluctuation of the flying height is eliminated, a highly reliable magnetic disk device can be supplied.
【００３５】本発明の第３の実施例を図９を用いて説明
する。A third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
【００３６】本実施例はスライダ２の前方および側方
に”コ”の字形の塵埃排除用レ−ル２６を設けたもので
ある。塵埃排除用レ−ル２６は，前方レ−ル２６０と側
方レ−ル２６１とから構成されている。前方レ−ル２６
０は，スライダ２の斜面部２１０の前方を囲むように設
けられているため，同一トラックに長時間停止している
場合に，なんらかの理由によりスライダ２の斜面部前方
に塵埃が発生しても斜面部２１０へ塵埃が侵入すること
を防ぐことができる。また，塵埃が前方レ−ル２６０に
付着しても，第１実施例と同様に塵埃排除用レ−ル２６
のレ−ル幅は浮上レ−ル２１のレ−ル幅に比べ十分小さ
くしてあるためには浮上量に影響を与えない。また，塵
埃排除用レ−ル２６のレ−ル高ｈ２さは浮上レ−ル２１
の平面部の高さｈ１と斜面部の最小高さｈ３の間（ｈ１
≧ｈ２＞ｈ３）に設定している。ｈ１＝ｈ２とすること
により，本発明の第１実施例と同様にサブミクロンオ−
ダ以上の大きさの塵埃が浮上レ−ル２１に侵入すること
が防げるからである。また，ｈ２＞ｈ３とする理由は，
ｈ２≦ｈ３では直接塵埃が斜面部に侵入していまうため
である。In this embodiment, a "U" -shaped dust removing rail 26 is provided on the front and side of the slider 2. The dust removing rail 26 includes a front rail 260 and a side rail 261. Front rail 26
0 is provided so as to surround the front of the slope portion 210 of the slider 2, so that even if dust is generated in front of the slope portion of the slider 2 for some reason when the vehicle is stopped on the same track for a long time, It is possible to prevent dust from entering the portion 210. Further, even if dust adheres to the front rail 260, the dust removing rail 26 as in the first embodiment.
Since the rail width is smaller than the rail width of the flying rail 21, it does not affect the flying height. In addition, the rail height h2 of the dust removing rail 26 is set to the floating rail 21.
Between the height h1 of the flat surface and the minimum height h3 of the slope (h1
≧ h2> h3). By setting h1 = h2, as in the first embodiment of the present invention, the submicron ohmic
This is because it is possible to prevent dust of a size larger than D from entering the floating rail 21. The reason for h2> h3 is
This is because when h2 ≦ h3, dust directly enters the slope.
【００３７】以上述べたように，本実施例においても，
第１の実施例と同様の効果を得ることもできる。As described above, also in this embodiment,
It is also possible to obtain the same effect as that of the first embodiment.
【００３８】本発明の第４の実施例を図１０を用いて説
明する。この図において，図９と同符号のものは同一部
分である。A fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In this figure, the same parts as those in FIG. 9 are the same parts.
【００３９】本実施例は，塵埃排除用レ−ル２６を構成
する前方レ−ル２６０における中心部，すなわち後方に
浮上レ−ル２１が無いところに窓２６２を設けたもので
ある。In this embodiment, the window 262 is provided at the central portion of the front rail 260 constituting the dust removing rail 26, that is, at a position where there is no floating rail 21 at the rear.
【００４０】これにより，空気ベアリングに寄与しない
空気は後方に放出さる。このため、塵埃排除用レ−ル２
６が受ける空気流自体の変動による流体加振力（抗力及
び抗力変動）を低減できるので，流力振動の少ない，安
定浮上を実現できる。さらに，本実施例においても第３
の実施例と同様の効果を期待することができる。As a result, the air that does not contribute to the air bearing is discharged rearward. Therefore, the dust removal rail 2
Since the fluid exciting force (drag and drag fluctuation) due to the fluctuation of the air flow itself received by 6 can be reduced, stable levitation with less fluid vibration can be realized. Furthermore, in the present embodiment, the third
It is possible to expect the same effect as that of the embodiment.
【００４１】本発明の第５の実施例を図１１を用いて説
明する。A fifth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
【００４２】本実施例は塵埃排除用レ−ル２６をスライ
ダとは別部材にし，さらに，塵埃排除用レ−ル２６の側
方レ−ル２６１を斜面部２１０とそれに隣接する平面部
２１１の１部のみを囲むように構成している。塵埃排除
用レ−ル２６とスライダ２を別々に製作し，両者を接着
剤などで接合して最終的なスライダとする製作方法は，
従来のスライダ及びその生産設備をそのまま利用できる
ために，新たな設備投資を押さえることができる。In this embodiment, the dust removing rail 26 is formed as a separate member from the slider, and the side rails 261 of the dust removing rail 26 are provided on the slope 210 and the flat portion 211 adjacent thereto. It is configured to surround only one part. The method for manufacturing the dust removing rail 26 and the slider 2 separately and joining them with an adhesive to form a final slider is as follows.
Since the conventional slider and its production equipment can be used as they are, new equipment investment can be suppressed.
【００４３】また，側方レ−ル２６１を斜面部２１０と
それに隣接する平面部２１１の１部のみを囲むように構
成することにより，最も付着塵埃の影響を受けやすい斜
面部への塵埃の侵入を効果的に防ぐとともに，塵埃排除
用レ−ル２６自体を小形化することにより，スライダ２
と塵埃排除用レ−ル２６との組立てを容易にしている。
さらに，本実施例においても第３の実施例と同用の効果
を期待することができる。 本発明の第６の実施例を図
１２を用いて説明する。Further, by forming the side rail 261 so as to surround only the slope 210 and a part of the flat portion 211 adjacent thereto, the intrusion of dust into the slope most susceptible to the adhering dust. Of the slider 2 by effectively reducing the size of the dust removing rail 26 itself.
And the dust removing rail 26 are easily assembled.
Furthermore, in this embodiment, the same effect as that of the third embodiment can be expected. A sixth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
【００４４】本実施例は塵埃排除用レ−ル２７を”く”
の字の三角形に構成し，これをスライダ２の前方に配置
したものである。In this embodiment, the dust removing rail 27 is "turned".
It is constructed in the shape of a triangle and is arranged in front of the slider 2.
【００４５】このように，塵埃排除用レ−ル２７を三角
形状にすることにより，塵埃排除用レ−ル２７に塵埃が
付着しにくくなり，付着した塵埃が大きく成長すること
が無い。また，非常に簡単な構造で浮上レ−ル２１とデ
ィスク１との間に塵埃が侵入することを防げる。これに
より，塵埃の影響を受けにくい，信頼性の高い磁気ディ
スク装置を安価に供給することができる。さらに，本実
施例においても第３の実施例と同様の効果を期待するこ
とができる。As described above, by forming the dust removing rail 27 into a triangular shape, it becomes difficult for dust to adhere to the dust removing rail 27, and the attached dust does not grow significantly. Moreover, it is possible to prevent dust from entering between the levitation rail 21 and the disk 1 with a very simple structure. This makes it possible to inexpensively supply a highly reliable magnetic disk device that is not easily affected by dust. Furthermore, in this embodiment, the same effect as that of the third embodiment can be expected.
【００４６】本発明の第７の実施例を図１３を用いて説
明する。The seventh embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
【００４７】本実施例は浮上レ−ル２１の先端にフラッ
トな段差部２１２を備えたスライダ２に対し，段差部２
１２の前方および側部を囲むように塵埃排除用レ−ル２
７を設けたものである。In the present embodiment, the step portion 2 is different from the slider 2 having the flat step portion 212 at the tip of the flying rail 21.
Dust removal rail 2 so as to surround the front and side of 12
7 is provided.
【００４８】このように構成したことにより，段差部２
１２のエッチングなどによる加工が容易に可能となり，
第５の実施例では別部材とした塵埃排除用レ−ルを一体
成形することが容易に可能となる。また，斜面部をフラ
ットな段差部２１２にしても，斜面部と同様に空気ベア
リングが作られるために，スライダ２の浮上特性は斜面
部の場合と比較しても遜色は無い。これにより，生産性
に優れ，信頼性の高い磁気ディスク装置を提供すること
ができる。Due to this structure, the step portion 2
12 can be easily processed by etching,
In the fifth embodiment, the dust removing rail, which is a separate member, can be easily integrally formed. Further, even if the slope portion is a flat step portion 212, since the air bearing is formed similarly to the slope portion, the flying characteristic of the slider 2 is comparable to that of the slope portion. As a result, it is possible to provide a highly reliable magnetic disk device with high productivity.
【００４９】本発明の第８の実施例を図１４を用いて説
明する。The eighth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
【００５０】本実施例はフラットな浮上レ−ル２８を有
するスライダ２における浮上レ−ル２８のそれぞれの前
方にくの字形とし，塵埃排除用レ−ル２９を各々の浮上
レ−ル２８の前方に設けたものである。ここで，浮上レ
−ル２８と塵埃排除用レ−ル２９のブリ−ド２３からの
高さは略同一である。In this embodiment, the slider 2 having a flat flying rail 28 has a dogleg shape in front of each flying rail 28, and a dust removing rail 29 is provided for each flying rail 28. It is provided in the front. Here, the heights of the floating rail 28 and the dust removing rail 29 from the blade 23 are substantially the same.
【００５１】これにより，本実施例のスライダは，１回
のエッチングで製作可能となり，著しく生産性を向上さ
せることができる。また，浮上レ−ルの前方に”く”の
字の塵埃排除用レ−ル２９を設けることにより，効果的
に，塵埃が浮上レ−ル２８に侵入することを防ぐことが
できる。As a result, the slider of this embodiment can be manufactured by one etching, and the productivity can be remarkably improved. Further, by providing a dust-removing rail 29 having a V-shape in front of the floating rail, it is possible to effectively prevent the dust from entering the floating rail 28.
【００５２】この本発明の第８の実施例においては，図
１５に示すように”く”の字形の塵埃排除用レ−ル２９
の開き角θを所定の角度以下にすると，塵埃の塵埃排除
用レ−ル２９への付着を効果的に著しく低減できること
が明らかになった。同図から開き角θが略７０度を境
に，略７０度以上になると，塵埃の付着量が著しく増加
することがわかる。このため，塵埃の付着を防ぐために
は開き角θは略７０度以下にする必要が有る。また，塵
埃の最大付着量の１０％を設計許容値とすると略５０度
以下が望ましい。さらに，略４０度以下にすると，付着
塵埃を略ゼロにすることができる。In the eighth embodiment of the present invention, as shown in FIG. 15, a dust-removing rail 29 having a V-shape.
It has been revealed that the adhesion of dust to the dust-removing rail 29 can be effectively and significantly reduced by setting the opening angle .theta. From the figure, it can be seen that when the opening angle θ becomes approximately 70 degrees or more at the boundary of approximately 70 degrees, the amount of dust attached remarkably increases. Therefore, in order to prevent the adhesion of dust, the opening angle θ needs to be about 70 degrees or less. Further, when the design allowable value is 10% of the maximum amount of adhered dust, it is desirable that the value is approximately 50 degrees or less. Further, if it is set to about 40 degrees or less, the amount of attached dust can be reduced to about zero.
【００５３】ここで，図３に示す第１の実施例では内周
側と外周側の塵埃排除用レ−ル２２はスライダ２の長手
方向中心線に対して対称であるために，付着塵埃を略ゼ
ロにするためには各々２０度以下にすることが望まし
い。Here, in the first embodiment shown in FIG. 3, since the dust removing rails 22 on the inner peripheral side and the outer peripheral side are symmetrical with respect to the longitudinal center line of the slider 2, the adhered dust is removed. In order to make it substantially zero, it is desirable that the angle be 20 degrees or less.
【００５４】本実施例によれば，生産性に優れ，塵埃の
影響を受けにくく信頼性の高い磁気ディスク装置を提供
することができる。According to the present embodiment, it is possible to provide a magnetic disk device which is excellent in productivity, is hardly influenced by dust and has high reliability.
【００５５】本発明の第９の実施例を図１６，図１７を
用いて，また本発明の第１０の実施例を図１８，図１９
を用いてそれぞれ説明する。A ninth embodiment of the present invention is shown in FIGS. 16 and 17, and a tenth embodiment of the present invention is shown in FIGS.
Will be described respectively.
【００５６】本発明の第９の実施例と第１０の実施例で
は一般に負圧スライダと呼ばれているスライダ２に塵埃
排除用レ−ル２６を設けたものである。負圧スライダ自
体の特性は特公昭６３−５６６３４号公報，あるいは特
公昭６３−５６６３５号公報に記載されているために省
略するが，浮上量のディスク周速の依存性が小さく，線
密度記録を著しく向上可能なCDR(Constant Dennsity Re
cording)記録方式に適していることが広く知られてい
る。In the ninth and tenth embodiments of the present invention, the dust removing rail 26 is provided on the slider 2 generally called a negative pressure slider. Since the characteristics of the negative pressure slider itself are described in Japanese Patent Publication No. 63-56634 or Japanese Patent Publication No. 63-56635, the description thereof will be omitted. CDR (Constant Dennsity Re)
It is widely known that it is suitable for the cording recording method.
【００５７】本発明の第９の実施例は，図１６，図１７
に示すように浮上レ−ル２１が円弧状の曲面で形成され
ている。本実施例では，スライダ２の前方全面に塵埃排
除用レ−ル２６を設け，負圧力（大気圧力より低い圧
力）を発生するブリ−ド部２３に塵埃が侵入捕足されな
いようにしている。一般に負圧の領域に塵埃が捕足され
やすく，捕足された塵埃は浮上量変動の要因ととなるこ
とが広く知られている。The ninth embodiment of the present invention is shown in FIGS.
As shown in FIG. 5, the levitation rail 21 is formed by an arcuate curved surface. In this embodiment, a dust removing rail 26 is provided on the entire front surface of the slider 2 so that the dust is prevented from entering and trapped in the blind portion 23 that generates a negative pressure (pressure lower than atmospheric pressure). Generally, it is widely known that dust is easily trapped in the negative pressure region, and the trapped dust causes fluctuation of the flying height.
【００５８】しかし，本実施例では，ブリ−ド部にも塵
埃が侵入しにくいように，スライダ前方全面に，浮上レ
−ル高さｈ１と同じ高さ（ｈ１＝ｈ２）の塵埃排除用レ
−ル２６を設けているために，塵埃の影響を受けにく
い。このため信頼性の高い，大記録容量（ＣＤＲ記録）
に適した磁気ディスク装置を提供することができる。However, in the present embodiment, in order to prevent dust from entering the blind portion as well, the dust removing rail having the same height (h1 = h2) as the flying rail height h1 is provided on the entire front surface of the slider. -Because the ruler 26 is provided, it is unlikely to be affected by dust. Therefore, high reliability and large recording capacity (CDR recording)
It is possible to provide a magnetic disk device suitable for.
【００５９】次に，本発明の第１０の実施例は図１７，
図１８に示すようにスライダ２の浮上レ−ル２１がフラ
ットで，その前方に段差部２１２を備え，この段差部２
１２の前方に塵埃排除用レ−ルを設けている。なお，清
掃レ−ル２６の高さｈ2は段差部２１２の高さｈ1以下に
設定されている。Next, a tenth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
As shown in FIG. 18, the flying rail 21 of the slider 2 is flat, and a step portion 212 is provided in front of the flying rail 21.
A dust removing rail is provided in front of 12. The height h 2 of the cleaning rail 26 is set to be less than or equal to the height h 1 of the step portion 212.
【００６０】本実施例においてもスライダ２の前方全域
に塵埃排除用レ−ル２６を設けることにより，第９の実
施例と同様に，信頼性が高く，大記録容量（ＣＤＲ記
録）に適した磁気ディスク装置を提供することができ
る。Also in this embodiment, by providing the dust removing rails 26 in the entire area in front of the slider 2, the reliability is high and it is suitable for a large recording capacity (CDR recording) as in the ninth embodiment. A magnetic disk device can be provided.
【００６１】本発明の第１１の実施例を図２０を用い
て，また本発明の第１２の実施例を図２１を用いてそれ
ぞれ説明する。これらの実施例では，スライダ２の浮上
レ−ル２１を１本として，スライダ２の著しい小形化を
可能としている。これにより，１つのウエハから生産で
きスライダの数が飛躍的に増加し，コストの大幅な低減
を可能にすることができる。また浮上レ−ル２１の前方
には塵埃排除用レ−ル２６を全面に設けているために，
塵埃が浮上レ−ル２１に侵入することを防ぐことができ
る。An eleventh embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 20, and a twelfth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In these embodiments, the flying rail 21 of the slider 2 is one, and the slider 2 can be remarkably miniaturized. As a result, the number of sliders that can be produced from one wafer is dramatically increased, and the cost can be significantly reduced. In addition, since a dust removing rail 26 is provided on the entire surface in front of the floating rail 21,
It is possible to prevent dust from entering the floating rail 21.
【００６２】以上のことから，これらの実施例により，
比較的に安価で，高信頼性の磁気ディスク装置を実現す
ることが可能となる。From the above, according to these embodiments,
It is possible to realize a magnetic disk device that is relatively inexpensive and highly reliable.
【００６３】図２０に示す本発明の第１１の実施例と図
２１に示す本発明の第１２の実施例の違いは，第１１の
実施例では浮上レ−ル２１が斜面部を持っていが，第１
２の実施例ではそれが無く，また，塵埃排除用レ−ル２
６が平板となっている。このため，第１１の実施例では
ディスク起動時のスライダの浮き上がり特性が良く，浮
き上がり時損傷が小さく頻繁に起動停止をする磁気ディ
スク装置に適する。一方，第１２の実施例ではテ−パ部
が無く，また塵埃排除用レ−ル２６が平板となっている
ために，さらにスライダを小形化することができるの
で，磁気ディスク装置の小形化に適する。The difference between the eleventh embodiment of the present invention shown in FIG. 20 and the twelfth embodiment of the present invention shown in FIG. 21 is that the levitation rail 21 has an inclined surface portion in the eleventh embodiment. , First
The second embodiment does not have this, and the dust removing rail 2
6 is a flat plate. Therefore, the eleventh embodiment is suitable for a magnetic disk device in which the slider has a good floating characteristic at the time of starting the disk, has little damage at the time of the floating, and frequently starts and stops. On the other hand, in the twelfth embodiment, since there is no taper portion and the dust removing rail 26 is a flat plate, the slider can be further miniaturized, so that the magnetic disk device can be miniaturized. Suitable.
【００６４】本発明の第１３の実施例を図２２と図２３
を用いて説明する。本実施例と第５の実施例との違い
は，塵埃排除用レ−ル２６を，スライダ２よりも一回り
大きなベ−スに成形し，別に成形したスライダ（例えば
ＵＳＰ４，８９４，７４０に記載のスライダ）を上記の
ベ−スに乗せ，接着剤などで接合する方法である。A thirteenth embodiment of the present invention is shown in FIGS. 22 and 23.
Will be explained. The difference between this embodiment and the fifth embodiment is that the dust removing rail 26 is molded into a base slightly larger than the slider 2 and is separately molded (for example, described in USP 4,894,740). This is a method in which the slider) is placed on the above base and bonded with an adhesive or the like.
【００６５】この実施例によれば，スライダを目的のス
ライダに変えるだけで，より簡単に，必要な浮上特性を
持ち，且つ塵埃に対して強い（塵埃による浮上量変動の
少ない）スライダを容易に生産できる。このため，高機
能・高信頼性磁気ディスク装置を安価に提供することが
できる。According to this embodiment, by simply changing the slider to a target slider, a slider having required flying characteristics and being strong against dust (the variation of the flying height due to dust is small) can be facilitated. Can be produced. Therefore, a highly functional and highly reliable magnetic disk device can be provided at low cost.
【００６６】本発明の第１４の実施例を図２４と図２５
を用いて説明する。A fourteenth embodiment of the present invention is shown in FIGS. 24 and 25.
Will be explained.
【００６７】本実施例と第１２の実施例との違いは，浮
上レ−ル２１の空気流入側に段差部２１２を設けている
点である。この段差部によりディスク周速に対する浮き
上がり特性が改善されて，ＣＳＳ方式を採用している磁
気ディスク装置では，起動時のスライダとディスクとの
接触時間（距離）を低減できるので，ディスクとスライ
ダの摺動による摩耗損傷を低減できるという利点があ
る。ここで，ブリ−ド２３から浮上面２１１までの高さ
ｈ１と塵埃排除用レ−ルの高さｈ２は略同一の高さとな
っている。また，段差部２１２と浮上面２１１との距離
ｈ１’は１０ｎｍから１μｍの値となっている。そし
て，ブリ−ド２３から段差部２１２までの高さｈ３は空
気ベアリングに影響を及ぼさないように２０μｍ以上の
値としている。The difference between this embodiment and the twelfth embodiment is that a step portion 212 is provided on the air inflow side of the levitation rail 21. The stepped portion improves the floating characteristics with respect to the disk peripheral speed, and in a magnetic disk device adopting the CSS method, the contact time (distance) between the slider and the disk at the time of start-up can be reduced, so that the disk-slider sliding There is an advantage that wear damage due to motion can be reduced. Here, the height h1 from the blind 23 to the air bearing surface 211 and the height h2 of the dust removing rail are substantially the same. The distance h1 ′ between the step portion 212 and the air bearing surface 211 has a value of 10 nm to 1 μm. The height h3 from the blind 23 to the step portion 212 is set to a value of 20 μm or more so as not to affect the air bearing.
【００６８】[0068]
【発明の効果】以上述べたように，スライダに浮上量に
影響をおよぼさない塵埃排除用レ−ルをスライダに設け
ることにより，スライダの浮上用レ−ルと磁気ディスク
の間への塵埃の侵入を防ぎ，浮上用レ−ル，あるいは磁
気変換器，あるいは磁気ディスクの摩耗を防ぐことがで
きると共に,スライダの浮上レ−ルへの塵埃の付着によ
る浮上量の低下を防ぐことができる。これにより，記録
密度を低下させること無く，大容量，高信頼性磁気ディ
スク装置を提供することができる。As described above, by providing the slider with the dust removing rail that does not affect the flying height, the dust between the flying rail of the slider and the magnetic disk can be reduced. Can be prevented, wear of the flying rail, the magnetic converter, or the magnetic disk can be prevented, and the flying height can be prevented from lowering due to the adhesion of dust to the flying rail of the slider. As a result, a large-capacity, high-reliability magnetic disk device can be provided without reducing the recording density.
【図１】本発明の磁気ディスク装置の第１実施例を１部
断面にて示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing a first embodiment of a magnetic disk device of the present invention in a partial cross section.
【図２】図１のＡ部を拡大して示す斜視図である。FIG. 2 is an enlarged perspective view showing a portion A of FIG.
【図３】本発明の磁気ディスク装置を構成するスライダ
の第１実施例の斜視図である。FIG. 3 is a perspective view of a slider as a first embodiment of the magnetic disk device of the present invention.
【図４】図３に示すスライダの浮上面を示す平面図であ
る。FIG. 4 is a plan view showing an air bearing surface of the slider shown in FIG.
【図５】図３に示すスライダを流入端面側から見た側面
図である。5 is a side view of the slider shown in FIG. 3 as seen from the inflow end face side.
【図６】図３に示すスライダの機能を説明する平面図で
ある。FIG. 6 is a plan view illustrating the function of the slider shown in FIG.
【図７】本発明のスライダの第２実施例を流入端面側か
ら見た図である。FIG. 7 is a view of a second embodiment of the slider of the present invention viewed from the inflow end face side.
【図８】図７に示すスライダの第２実施例の浮上面を示
す図である。8 is a diagram showing an air bearing surface of a second embodiment of the slider shown in FIG.
【図９】本発明のスライダの第３実施例を示す斜視図で
ある。FIG. 9 is a perspective view showing a third embodiment of the slider of the present invention.
【図１０】本発明のスライダの第４実施例を示す斜視図
である。FIG. 10 is a perspective view showing a fourth embodiment of the slider of the present invention.
【図１１】本発明のスライダの第５実施例を示す斜視図
である。FIG. 11 is a perspective view showing a fifth embodiment of the slider of the present invention.
【図１２】本発明のスライダの第６実施例を示す斜視図
である。FIG. 12 is a perspective view showing a sixth embodiment of the slider of the present invention.
【図１３】本発明のスライダの第７実施例を示す斜視図
である。FIG. 13 is a perspective view showing a seventh embodiment of the slider of the present invention.
【図１４】本発明のスライダの第８実施例を示す斜視図
である。FIG. 14 is a perspective view showing an eighth embodiment of the slider of the present invention.
【図１５】図１４に示す本発明のスライダの第８実施例
における塵埃排除用レ−ルの開き角θと付着塵埃量の関
係を示す特性図である。FIG. 15 is a characteristic diagram showing the relationship between the opening angle θ of the dust removing rail and the amount of adhered dust in the eighth embodiment of the slider of the present invention shown in FIG.
【図１６】本発明のスライダの第９実施例を示す斜視図
である。FIG. 16 is a perspective view showing a ninth embodiment of the slider of the present invention.
【図１７】図１６に示す本発明のスライダの第９実施例
の動作状況を示す側面図である。FIG. 17 is a side view showing an operating state of the ninth embodiment of the slider of the present invention shown in FIG.
【図１８】本発明のスライダの第１０実施例の平面図で
ある。FIG. 18 is a plan view of a tenth embodiment of slider of the present invention.
【図１９】図１７に示す本発明のスライダの第１０実施
例の側面図である。FIG. 19 is a side view of the tenth embodiment of the slider of the present invention shown in FIG.
【図２０】本発明のスライダの第１１実施例を示す斜視
図である。FIG. 20 is a perspective view showing an eleventh embodiment of a slider of the present invention.
【図２１】本発明のスライダの第１２実施例を示す斜視
図である。FIG. 21 is a perspective view showing a twelfth embodiment of the slider of the present invention.
【図２２】本発明のスライダの第１３実施例を示す底面
図である。FIG. 22 is a bottom view showing a thirteenth embodiment of the slider of the present invention.
【図２３】図２２に示す本発明のスライダの第１３実施
例の側面図である。23 is a side view of the thirteenth embodiment of the slider of the present invention shown in FIG.
【図２４】本発明のスライダの第１４実施例の斜視図で
ある。FIG. 24 is a perspective view of a fourteenth embodiment of slider of the present invention.
【図２５】図２４に示す本発明のスライダの第１４実施
例の側面図である。FIG. 25 is a side view of the fourteenth embodiment of the slider of the present invention shown in FIG.
１…磁気ディスク，２…磁気ヘッドスライダ，３…磁気
ヘッド支持機構，４…位置決め機構，９…磁気変換器，
１０…空気流，２１…浮上レ−ル，２２…塵埃排除用レ
−ル，２３…ブリ−ド部，２４…流出端面，２５…流入
端面，２６…塵埃排除用レ−ル，２７…塵埃排除用レ−
ル。DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Magnetic disk, 2 ... Magnetic head slider, 3 ... Magnetic head support mechanism, 4 ... Positioning mechanism, 9 ... Magnetic converter,
10 ... Air flow, 21 ... Levitation rail, 22 ... Dust removal rail, 23 ... Blade part, 24 ... Outflow end surface, 25 ... Inflow end surface, 26 ... Dust removal rail, 27 ... Dust Exclusion Ray
Le.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 清水 利彦 茨城県土浦市神立町502番地 株式会社日 立製作所機械研究所内 (72)発明者 時末 裕充 茨城県土浦市神立町502番地 株式会社日 立製作所機械研究所内 (72)発明者 小島 康生 神奈川県小田原市国府津2880番地 株式会 社日立製作所ストレージシステム事業部内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Toshihiko Shimizu 502 Jintamachi, Tsuchiura-shi, Ibaraki Prefecture Hiritsu Seisakusho Co., Ltd.Mechanical Research Laboratory (72) Yumitsu Tokisue 502 Kintate-cho, Tsuchiura-shi, Ibaraki Niitsu Co., Ltd. Machinery Research Laboratory (72) Inventor Yasuo Kojima 2880 Kozu, Odawara City, Kanagawa Stock Company Hitachi Storage Systems Division
Claims (19)
気ディスクと，前記磁気ディスクとの相対運動を利用し
て，前記磁気ディスク表面に対面して空気ベアリングを
形成する浮上レ−ルと前記ディスクに関して磁気変換作
用を行うための磁気変換器とを有する磁気ヘッドスライ
ダとを備えた磁気ディスク装置において，前記スライダ
の浮上レ−ルの前方に，前記浮上レ−ル高さ以下の高さ
で，かつ前記浮上レ−ル幅に比べて狭小な幅を持つ塵埃
排除用レ−ルを設けたことを特徴とする磁気ディスク装
置。1. A rotatable magnetic disk having a circular track on its surface, and a levitation rail that forms an air bearing facing the surface of the magnetic disk by utilizing the relative motion of the magnetic disk. In a magnetic disk device including a magnetic head slider having a magnetic converter for performing a magnetic conversion action on a disk, in front of the flying rail of the slider, at a height equal to or lower than the flying rail height. A magnetic disk drive characterized in that a dust removing rail having a width narrower than that of the floating rail is provided.
て，前記塵埃排除用レ−ルを，前記変換器に関連するト
ラックの接線速度ベクトル線に対して所定のスキュ−角
度を持って配置したことを特徴とする磁気ディスク装
置。2. The magnetic disk drive according to claim 1, wherein the dust removing rail is arranged at a predetermined skew angle with respect to a tangential velocity vector line of a track associated with the converter. Magnetic disk device characterized by.
て，前記塵埃排除用レ−ルを三角形状に構成したことを
特徴とする磁気ディスク装置。3. The magnetic disk device according to claim 1, wherein the dust removing rail is formed in a triangular shape.
対運動を利用して，前記磁気ディスク表面に対面して空
気ベアリングを形成する浮上レ−ルと前記ディスクに関
して磁気変換作用を行うための磁気変換器とを有する磁
気ヘッドスライダとを備えた磁気ディスク装置におい
て，前記スライダの浮上レ−ルの側方に，前記浮上レ−
ル高さ以下の高さで，かつ前記浮上レ−ル幅に比べて狭
小な幅を持つ塵埃排除用レ−ルを設けたことを特徴とす
る磁気ディスク装置。4. A levitation rail that forms an air bearing facing the surface of the magnetic disk by utilizing relative motion between the magnetic disk and the magnetic disk, and a magnet for performing a magnetic conversion action on the disk. In a magnetic disk device including a magnetic head slider having a converter, the flying rail is provided beside the flying rail of the slider.
A magnetic disk drive comprising a dust removing rail having a height equal to or lower than a height of the rail and narrower than the flying rail width.
て，前記塵埃排除用レ−ルを，前記変換器に関連するト
ラックの接線速度ベクトル線に対して所定のスキュ−角
度を持って配置したことを特徴とする磁気ディスク装
置。5. The magnetic disk drive according to claim 4, wherein the dust removing rail is arranged at a predetermined skew angle with respect to a tangential velocity vector line of a track associated with the converter. Magnetic disk device characterized by.
気ディスクと，前記磁気ディスクとの相対運動を利用し
て，前記磁気ディスク表面に対面して空気ベアリングを
形成する浮上レ−ルと前記ディスクに関して磁気変換作
用を行うための磁気変換器とを有する磁気ヘッドスライ
ダとを備え，前記浮上レ−ルが斜面部と平面部から形成
されている磁気ディスク装置において，前記スライダの
浮上レ−ルにおける斜面部の前方に，前記浮上レ−ルの
平面部の高さ以下の高さで，かつ前記浮上レ−ル幅に比
べて狭小な幅を持つ塵埃排除用レ−ルを設けたことを特
徴とする磁気ディスク装置。6. A floating magnetic disk having a rotatable magnetic disk having a circular track on the surface thereof, and a levitation rail for forming an air bearing facing the surface of the magnetic disk by utilizing a relative motion of the magnetic disk. A magnetic head slider having a magnetic converter for performing a magnetic conversion action on a disk, wherein the flying rail is formed of an inclined surface portion and a flat surface portion. In front of the sloped part in the above, a dust removing rail having a height equal to or less than the height of the plane portion of the levitation rail and having a width narrower than the levitation rail width is provided. Characteristic magnetic disk device.
気ディスクと，前記磁気ディスクとの相対運動を利用し
て，前記磁気ディスク表面に対面して空気ベアリングを
形成する浮上レ−ルと前記ディスクに関して磁気変換作
用を行うための磁気変換器とを有する磁気ヘッドスライ
ダとを備え，前記浮上レ−ルが曲面で形成されている磁
気ディスク装置において，前記浮上レ−ルの前方に，浮
上レ−ルの高さ以下の高さで，かつ上記浮上レ−ル幅に
比べて狭小な幅を持つ塵埃排除用レ−ルを設けたことを
特徴とする磁気ディスク装置。7. A rotatable magnetic disk having a circular track on its surface, and a levitation rail that forms an air bearing facing the surface of the magnetic disk by utilizing relative motion between the magnetic disk and the magnetic disk. In a magnetic disk device comprising a magnetic head slider having a magnetic converter for performing a magnetic conversion action on a disk, and the flying rail is formed by a curved surface, a flying level is provided in front of the flying level. A magnetic disk drive characterized in that a dust removing rail having a height equal to or lower than the height of the rail and narrower than the flying rail width is provided.
気ディスクと，前記磁気ディスクとの相対運動を利用し
て，前記磁気ディスク表面に対面して空気ベアリングを
形成する浮上レ−ルと前記ディスクに関して磁気変換作
用を行うための磁気変換器とを有する磁気ヘッドスライ
ダとを備え，前記浮上レ−ルが段差部と平面部から形成
されている磁気ディスク装置において，前記浮上レ−ル
におけるステップ部の前方に，前記浮上レ−ルのフラッ
ト部の高さ以下の高さで，かつ前記浮上レ−ル幅に比べ
て狭小な幅を持つ塵埃排除用レ−ルを設けたことを特徴
とする磁気ディスク装置。8. A floating magnetic disk having a rotatable magnetic disk having a circular track on the surface thereof, and a floating rail for forming an air bearing facing the surface of the magnetic disk by utilizing the relative motion of the magnetic disk. A magnetic head slider having a magnetic converter for performing a magnetic conversion action on the disk, wherein the flying rail is formed of a step portion and a flat surface portion. In front of the portion, a dust removing rail having a height not more than the height of the flat portion of the floating rail and having a width narrower than the width of the floating rail is provided. Magnetic disk drive.
気ディスクと，前記磁気ディスクとの相対運動を利用し
て，前記磁気ディスク表面に対面して空気ベアリングを
形成する複数の浮上レ−ルと前記ディスクに関して磁気
変換作用を行うための磁気変換器と有する磁気ヘッドス
ライダとを備えた磁気ディスク装置において，前記浮上
レ−ル高さ以下の高さで，かつ前記浮上レ−ル幅に比べ
著しく狭小な幅を持つ塵埃排除用レ−ルを，前記スライ
ダの流入端を囲むように設けたことを特徴とする磁気デ
ィスク装置。9. A rotatable magnetic disk having circular tracks on the surface thereof, and a plurality of levitation rails which form air bearings facing the surface of the magnetic disk by utilizing relative movement between the magnetic disk and the rotatable magnetic disk. And a magnetic head slider having a magnetic converter for performing a magnetic conversion action on the disk, a magnetic disk device having a height less than or equal to the flying rail height, and compared with the flying rail width. A magnetic disk drive characterized in that a dust removing rail having a remarkably narrow width is provided so as to surround the inflow end of the slider.
て，前記塵埃排除用レ−ルの各浮上レ−ル間に対応する
場所に，空気取り入れのための窓を設けたことを特徴と
する磁気ディスク装置。10. A magnetic disk drive according to claim 9, wherein a window for taking in air is provided at a position corresponding to each levitation rail of the dust removing rail. Disk device.
て，前記浮上レ−ルの各々の浮上レ−ルに，塵埃排除用
レ−ルを独立して設けたことを特徴とする磁気ディスク
装置。11. The magnetic disk drive according to claim 9, wherein each of the floating rails is independently provided with a dust removing rail.
て，前記塵埃排除用レ−ルをくの字形に形成したことを
特徴とする磁気ディスク装置。12. The magnetic disk device according to claim 9, wherein the dust removing rail is formed in a dogleg shape.
相対運動を利用して，前記磁気ディスク表面に対面して
空気ベアリングを形成する複数の浮上レ−ルと前記ディ
スクに関して磁気変換作用を行うための磁気変換器とを
有する磁気ヘッドスライダとを備えた磁気ディスク装置
において，前記スライダにおけるディスクの最内周側と
ディスクの最外周側に，前記浮上レ−ル高さ以下の高さ
で，かつ前記浮上レ−ル幅に比べて狭小な幅を持つ塵埃
排除用レ−ルを設けたことを特徴とする磁気ディスク装
置。13. A magnetic conversion action is performed on a plurality of levitation rails that form an air bearing facing the surface of the magnetic disk and the magnetic disk by utilizing relative motion between the magnetic disk and the magnetic disk. And a magnetic head slider having a magnetic converter of 1., a height of the flying rail height or less on the innermost peripheral side of the slider and the outermost peripheral side of the disk in the slider, and A magnetic disk device comprising a dust removing rail having a width narrower than the flying rail width.
いて，前記塵埃排除用レ−ルを，前記変換器に関連する
トラックの接線速度ベクトル線に対して所定のスキュ−
角度を持って配置したことを特徴とする磁気ディスク装
置。14. A magnetic disk drive according to claim 13, wherein said dust removing rail is provided with a predetermined skew with respect to a tangential velocity vector line of a track associated with said converter.
A magnetic disk device characterized by being arranged at an angle.
相対運動を利用して，前記磁気ディスク表面に対面して
空気ベアリングを形成する複数の浮上レ−ルと前記ディ
スクに関して磁気変換作用を行うための磁気変換器とを
有する磁気ヘッドスライダとを備え，前記スライダがリ
ニア形あるいはロ−タリ形のアクチュエ−タにより支持
された磁気ディスク装置において，前記スライダにおけ
るディスクの最内周側に，前記浮上レ−ル高さ以下の高
さで，かつ前記浮上レ−ル幅に比べて狭小な幅を持つ塵
埃排除用レ−ルを設けたことを特徴とする磁気ディスク
装置。15. A magnetic conversion operation is performed on a plurality of levitation rails which form an air bearing facing the surface of the magnetic disk and the magnetic disk by utilizing relative movement between the magnetic disk and the magnetic disk. A magnetic head slider having a magnetic transducer of 1., a magnetic disk device in which the slider is supported by a linear or rotary actuator, A magnetic disk drive comprising a dust removing rail having a height equal to or lower than a rail height and having a width narrower than the flying rail width.
いて，前記塵埃排除用レ−ルを，前記変換器に関連する
トラックの接線速度ベクトル線に対して所定のスキュ−
角度を持って配置したことを特徴とする磁気ディスク装
置。16. A magnetic disk drive according to claim 15, wherein the dust removing rail is provided with a predetermined skew with respect to a tangential velocity vector line of a track associated with the converter.
A magnetic disk device characterized by being arranged at an angle.
気ディスク装置において，前記スライダをＳｉで形成
し，浮上レ−ル及び塵埃排除用レ−ルをエッチングによ
り連続的に一体成形したことを特徴とする磁気ディスク
装置。17. The magnetic disk device according to claim 1, wherein the slider is made of Si, and the flying rail and the dust removing rail are continuously formed integrally by etching. Magnetic disk device characterized by.
気ディスク装置において，浮上レ−ル及び塵埃排除用レ
−ルを別部材で成形し，両者を接合してスライダを製作
することを特徴とする磁気ディスク装置。18. The slider according to claim 1, wherein the flying rail and the dust removing rail are formed by separate members and the two are joined together. Characteristic magnetic disk device.
磁気ディスクと，前記磁気ディスクとの相対運動を利用
して，前記磁気ディスク表面に対面して空気ベアリング
を形成する浮上レ−ルと前記ディスクに関して磁気変換
作用を行うための磁気変換器とを有する磁気ヘッドスラ
イダとを備えた磁気ディスク装置において，前記スライ
ダの浮上レ−ルの前方，または側方，または前方および
側方に，前記浮上レ−ル高さ以下の高さで，かつ前記浮
上レ−ル幅に比べて狭小な幅を持つ塵埃排除用レ−ルを
設けたことを特徴とする磁気ディスク装置のスライダ。19. A floating magnetic disk having a rotatable magnetic disk having a circular track on the surface thereof, and a floating rail for forming an air bearing facing the surface of the magnetic disk by utilizing the relative motion of the magnetic disk. In a magnetic disk device comprising a magnetic head slider having a magnetic converter for performing a magnetic conversion action on a disk, the levitation is carried out in front of or on the side of the levitation rail of the slider, or in front of and on the side. A slider for a magnetic disk device, wherein a dust removing rail having a height equal to or lower than a rail height and having a width narrower than the flying rail width is provided.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4485293A JPH06259912A (en) | 1993-03-05 | 1993-03-05 | Magnetic disk device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4485293A JPH06259912A (en) | 1993-03-05 | 1993-03-05 | Magnetic disk device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06259912A true JPH06259912A (en) | 1994-09-16 |
Family
ID=12703018
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4485293A Pending JPH06259912A (en) | 1993-03-05 | 1993-03-05 | Magnetic disk device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06259912A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5940249A (en) * | 1997-11-10 | 1999-08-17 | International Business Machines Corporation | Shielded air bearing slider |
| US6744601B2 (en) * | 2000-10-04 | 2004-06-01 | Seagate Technology Llc | Slider having leading surface for contaminant deflection |
-
1993
- 1993-03-05 JP JP4485293A patent/JPH06259912A/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5940249A (en) * | 1997-11-10 | 1999-08-17 | International Business Machines Corporation | Shielded air bearing slider |
| US6744601B2 (en) * | 2000-10-04 | 2004-06-01 | Seagate Technology Llc | Slider having leading surface for contaminant deflection |
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